JP2008240701A - 排気ポンプ、連通管及び排気システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置10はチャンバ11を備え、チャンバ11にはTMP18が接続され、TMP18は、複数の回転翼群と、円筒状の本体37の上側、すなわち最上の回転翼群よりもチャンバ11側に配置される円筒状の吸気部40と、該吸気部40内に配置され、チャンバ11側から吸気部40を眺めたときに、上記最上の回転翼群を遮蔽する遮蔽装置41とを備える。
【選択図】図2
Description
佐藤等,「ターボ分子ポンプからの逆流パーティクルの可視化」,日本工業出版株式会社,クリーンテクノロジー,2003.6,p.20〜23
1)繊維状物質がランダムに絡み合った材料、繊維状物質が特定のパターンで織り込まれた材料又は多数の小空間を有する材料(以下、「パーティクル捕捉材」という。)
2)パーティクルの衝突による衝撃を吸収することが可能な柔軟性を有する材料(以下、「衝撃吸収材」という。)
3)パーティクルが粘着可能な材料(以下、「粘着材」という。)
4)パーティクルが侵入及び反跳する空間に向けて開口する複数の小部屋の集合体や複数の溝の集合体(以下、「パーティクル導入構造体」という。)
パーティクル捕捉材では、該パーティクル捕捉材に侵入したパーティクルが繊維状物質や小空間の境界面との衝突を繰り返す。また、衝突の繰り返しによってパーティクルの飛行経路が延びるため、パーティクルとガス分子との摩擦が増加する。これにより、パーティクルの運動量を低下させることができ、結果としてパーティクルを捕捉することができる。さらに、衝突の繰り返しによってパーティクルの運動エネルギーが損失する。これによっても、パーティクルの運動量を低下させることができ、結果としてパーティクルを捕捉することができる。
S 処理空間
IP,RP パーティクル
10,65 基板処理装置
11 チャンバ
18,45,49,52,56,62 TMP
16,66,68,70,72,74,76 排気マニホールド
36 回転軸
38 回転翼
39 静止翼
40 吸気部
41,46,50,53,57,63,67,69,71,73,75,77 遮蔽装置
Claims (27)
- 基板処理装置の処理室に接続され且つ回転翼及び該回転翼より前記処理室側に配置された吸気部を備える排気ポンプであって、
前記吸気部の内部に配置され、且つ前記処理室側から前記吸気部を眺めたときに、前記回転翼を遮蔽する遮蔽装置を備えることを特徴とする排気ポンプ。 - 前記遮蔽装置は複数の漏斗状部材と、該複数の漏斗状部材より前記回転翼側に配置された板状部材とからなり、各前記漏斗状部材は底部に前記板状部材に対向する開口部を有し、各前記開口部の大きさは、該開口部を有する前記漏斗状部材が前記板状部材に近いほど小さいことを特徴とする請求項1記載の排気ポンプ。
- 前記漏斗状部材及び前記板状部材はパーティクルを捕捉するパーティクル捕捉部材からなることを特徴とする請求項2記載の排気ポンプ。
- 前記漏斗状部材及び前記板状部材はパーティクルの運動エネルギーを低下させる運動エネルギー低下部材からなることを特徴とする請求項2記載の排気ポンプ。
- 前記遮蔽装置は複数の環状部材と、該複数の環状部材より前記回転翼側に配置された板状部材とからなり、各前記環状部材は前記板状部材に対向する開口部を有し、各前記開口部の大きさは、該開口部を有する前記環状部材が前記板状部材に近いほど小さいことを特徴とする請求項1記載の排気ポンプ。
- 前記環状部材及び前記板状部材はパーティクルを捕捉するパーティクル捕捉部材からなることを特徴とする請求項5記載の排気ポンプ。
- 前記環状部材及び前記板状部材はパーティクルの運動エネルギーを低下させる運動エネルギー低下部材からなることを特徴とする請求項5記載の排気ポンプ。
- 前記遮蔽装置は複数の屈曲部材を並設した薄板状構造体であることを特徴とする請求項1記載の排気ポンプ。
- 前記屈曲部材はパーティクルを捕捉するパーティクル捕捉部材からなることを特徴とする請求項8記載の排気ポンプ。
- 前記屈曲部材はパーティクルの運動エネルギーを低下させる運動エネルギー低下部材からなることを特徴とする請求項8記載の排気ポンプ。
- 前記遮蔽装置は複数の板状部材を並設した薄板状構造体であり、各前記板状部材は前記回転翼に対向する複数の穴を有することを特徴とする請求項1記載の排気ポンプ。
- 前記板状部材はパーティクルを捕捉するパーティクル捕捉部材からなることを特徴とする請求項11記載の排気ポンプ。
- 前記板状部材はパーティクルの運動エネルギーを低下させる運動エネルギー低下部材からなることを特徴とする請求項11記載の排気ポンプ。
- 前記遮蔽装置は漏斗状部材と、該漏斗状部材より前記回転翼側に配置された板状部材と、該板状部材より前記回転翼側に配置され、複数の筒状部材を並設した整流装置とからなり、前記漏斗状部材は底部に前記板状部材に対向する開口部を有することを特徴とする請求項1記載の排気ポンプ。
- 前記漏斗状部材、板状部材及び筒状部材はパーティクルを捕捉するパーティクル捕捉部材からなることを特徴とする請求項14記載の排気ポンプ。
- 前記漏斗状部材、板状部材及び筒状部材はパーティクルの運動エネルギーを低下させる運動エネルギー低下部材からなることを特徴とする請求項14記載の排気ポンプ。
- 前記遮蔽装置はフィルタであることを特徴とする請求項1記載の排気ポンプ。
- 前記フィルタはパーティクルを捕捉するパーティクル捕捉部材からなることを特徴とする請求項17記載の排気ポンプ。
- 前記フィルタはパーティクルの運動エネルギーを低下させる運動エネルギー低下部材からなることを特徴とする請求項17記載の排気ポンプ。
- 基板処理装置の処理室及び回転翼を有する排気ポンプを連通する連通管であって、
前記連通管の内部に配置され、且つ前記処理室側から前記連通管を眺めたときに、前記回転翼を遮蔽する遮蔽装置を備えることを特徴とする連通管。 - 前記遮蔽装置は複数の漏斗状部材と、該複数の漏斗状部材より前記回転翼側に配置された板状部材とからなり、各前記漏斗状部材は底部に前記板状部材に対向する開口部を有し、各前記開口部の大きさは、該開口部を有する前記漏斗状部材が前記板状部材に近いほど小さいことを特徴とする請求項20記載の連通管。
- 前記遮蔽装置は複数の環状部材と、該複数の環状部材より前記回転翼側に配置された板状部材とからなり、各前記環状部材は前記板状部材に対向する開口部を有し、各前記開口部の大きさは、該開口部を有する前記環状部材が前記板状部材に近いほど小さいことを特徴とする請求項20記載の連通管。
- 前記遮蔽装置は複数の屈曲部材を並設した薄板状構造体であることを特徴とする請求項20記載の連通管。
- 前記遮蔽装置は複数の板状部材を並設した薄板状構造体であり、各前記板状部材は前記回転翼に対向する複数の穴を有することを特徴とする請求項20記載の連通管。
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- 前記遮蔽装置はフィルタであることを特徴とする請求項20記載の連通管。
- 排気ポンプと、該排気ポンプ及び基板処理装置の処理室を連通する連通管とを備える排気システムであって、
請求項1乃至19のいずれか1項に記載の排気ポンプ、及び請求項20乃至26のいずれか1項に記載の連通管の少なくとも一方を備えることを特徴とする排気システム。
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