WO2010092399A3 - Transducteur mems intégré et circuits - Google Patents
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Abstract
La présente invention concerne l'intégration de transducteurs MEMS avec des circuits électroniques sur le même substrat. Elle concerne également un procédé de fabrication d'un transducteur MEMS intégré et de circuits, le procédé étant entièrement compatible avec un traitement CMOS standard et ne nécessitant pas de posttraitement. Le transducteur est fabriqué par la formation d'au moins une couche membrane, d'une pluralité de couches de plaque arrière et d'au moins une structure sacrificielle, de façon que le retrait de ladite structure laisse la membrane libre de se déplacer par rapport à la plaque arrière fixe. Le procédé forme également des couches de circuits sur le substrat, afin de former les composants des circuits, et fait intervenir le partage de couches de matériau de façon qu'au moins certaines des couches qui forment la plaque arrière du transducteur forment également l'une des couches de circuits et que de telles couches comprennent au moins une couche métallique et au moins une couche diélectrique. Le procédé réduit ainsi le nombre d'étapes de traitement nécessaires par rapport à la fabrication séquentielle des circuits et du transducteur. L'invention concerne également un transducteur intégré et des dispositifs électroniques.
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