WO2010085942A3 - Mikrostruktur, verfahren zu deren herstellung, vorrichtung zum bonden einer mikrostruktur und mikrosystem - Google Patents

Mikrostruktur, verfahren zu deren herstellung, vorrichtung zum bonden einer mikrostruktur und mikrosystem Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei das reaktive Mehrschichtsystem wenigstens eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen befindliche, mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllte Bereiche aufweist. Die Erfindung beinhaltet ferner ein Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei für ein Ausbilden des reaktiven Mehrschichtsystems eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates unter Ausbildung vertikal ausgerichteter, voneinander beabstandeter Nanostrukturen strukturiert wird oder strukturiert abgeschieden wird und Bereiche zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllt werden. Zudem enthält die Erfindung eine Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur, wobei die Vorrichtung eine öffen- und/oder schließbare, evakuierbare Bondkammer, in welcher die Mikrostruktur und die weitere Struktur einbringbar und zueinander justierbar sind, sowie einen mit der Bondkammer gekoppelten Aktivierungsmechanismus aufweist, mit welchem das aus reaktiven Nanostrukturen mit einem dazwischen befindlichen einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material ausgebildete reaktive Mehrschichtsystem der Mikrostruktur derart mechanisch, elektrisch, elektromagnetisch, optisch und/oder thermisch aktivierbar ist, dass zwischen den Nanoschichten eine selbstausbreitende, exotherme Reaktion stattfindet. Außerdem betrifft die Erfindung ein Mikrosystem, welches aus zwei Bondsubstraten und einem zwischen den Bondsubstraten liegenden Aufbau ausgebildet ist, der ein reagiertes, reaktives Schichtsystem aufweist, wobei das reagierte, reaktive Schichtsystem eine reagierte Strukturabfolge aus wenigstens einer auf dem Bondsubstrat vorgesehenen Oberflächenschicht mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllten Bereichen ist, wobei das Mikrosystem ein mit Biomaterial beschichteter Sensor ist und/oder Elemente aus polymerem Material und/oder wenigstens eine magnetische und/oder piezoelektrische und/oder piezoresistive Komponente aufweist.
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