WO2010073745A1 - キャリア付金属箔 - Google Patents

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WO2010073745A1
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雅之 高森
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日鉱金属株式会社
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    • Y10T428/31678Of metal

Definitions

  • the present invention relates to a copper foil with a carrier used in the production of a single-sided or multilayer laminate having two or more layers used for a printed wiring board.
  • a typical example of a multilayer laminate is a printed circuit board.
  • a printed circuit board has a basic configuration of a dielectric material called “prepreg” obtained by impregnating a synthetic resin into a base material such as a synthetic resin plate, a glass plate, a glass nonwoven fabric, and paper. Sheets such as copper or copper alloy foil having electrical conductivity are joined to the prepreg surface (front and back surfaces).
  • the laminated body thus assembled is generally called a CCL (Copper Clad Laminate) material.
  • CCL Copper Clad Laminate
  • the laminated body thus assembled is generally called a CCL (Copper Clad Laminate) material.
  • substrate instead of the copper or copper alloy foil, a foil of aluminum, nickel, zinc or the like may be used. Their thickness is about 5 to 200 ⁇ m.
  • the copper foil with a carrier is used for the purpose of preventing foreign matters from adhering to the surface of the copper foil and for improving the handling property.
  • a stainless steel plate having a smooth press surface with a thickness of 0.2 to 2 mm is used.
  • a press plate commonly called “mirror plate”
  • an ultrathin copper foil that is peelably bonded to a carrier is placed with the M surface (rough surface) facing upward, and then a predetermined number of sheets.
  • the worker needs to repeat the work of arranging the copper foil with the M surface facing up or arranging the M surface with the lowering at the time of layup (stacking and stacking work). Therefore, there is a problem that work efficiency is lowered. Further, since the copper foil and the carrier have the same dimensions, it is difficult to separate each copper foil at the time of layup, and there is a problem that workability is lowered in this respect as well.
  • the linear expansion coefficients (room temperature) of various materials used for the printed wiring board are as follows. It can be seen that the linear expansion coefficient of the aluminum plate is prominently large. Copper foil: 16.5 ( ⁇ 10 ⁇ 6 / ° C) SUS304: 17.3 ⁇ 10 ⁇ 6 / ° C SUS301: 15.2 ⁇ 10 ⁇ 6 / ° C ⁇ SUS630: 11.6 ⁇ 10 -6 / ° C ⁇ Prepreg (C stage): 12-18 ⁇ 10 -6 / ° C Aluminum plate (JIS # 5182): 23.8 ⁇ 10 ⁇ 6 / ° C Although not directly related to the present invention, examples of the ultrathin copper foil with a carrier include the following documents (Patent Document 2, Patent Document 3, and Patent Document 4). Japanese Patent No. 3100833 JP 2005-161840 A JP 2007-186797 A Japanese Patent Laid-Open No. 2001-140090
  • the present invention has been made in view of these events, and relates to a carrier-attached copper foil used in the production of a single-sided or two-layer multilayer board or an ultra-thin coreless board used for printed wiring boards. .
  • the present invention relates to a copper foil with a carrier used in the production of a laminated board, and its purpose is to realize improved handling in a printed circuit board production process and cost reduction by increasing yield.
  • the present invention 1) It is a laminate in which the carrier A and the metal foil B are alternately overlapped, and the carrier A and the metal foil B each have a glossy surface (S surface) and are laminated so that the glossy surfaces face each other.
  • a metal foil with a carrier is provided. 2) The carrier-attached metal foil according to 1) above, wherein the carrier A and the metal foil B are rectangular. 3) The metal foil B is a copper foil or a copper alloy foil. 2) Metal foil with a carrier according to 2) 4) A copper foil with a carrier, wherein the carrier A and the metal foil B are alternately laminated, and the carrier A and the metal foil B are ultrasonically bonded, I will provide a.
  • the present invention 5) The laminate according to any one of 1) to 3) above, wherein the carrier A and the metal foil B are alternately laminated, and the carrier A and the metal foil B are ultrasonically bonded.
  • Carrier A is copper foil or copper alloy foil
  • metal foil B is copper foil or copper alloy foil
  • the rough surface of the copper foil of carrier A and the glossy surface of the copper foil of metal foil B are
  • the copper foil with a carrier characterized by being ultrasonically bonded
  • the carrier A is aluminum, copper or a copper alloy foil
  • the metal foil B is a copper foil or a copper alloy foil 1) above To 6)
  • To 7) A metal foil with a carrier according to any one of the above items. To.
  • the present invention also provides: 9) The metal foil with a carrier according to any one of 1) to 8) above, wherein the metal foil is an electrolytic foil having a thickness of 5 to 120 ⁇ m. 10) The metal foil has a thickness of 5 to 120 ⁇ m.
  • the metal foil with a carrier of the present invention is a laminate in which the carrier A and the metal foil B are alternately overlapped, and the carrier A and the metal foil B are alternately laminated in which the carrier A and the metal foil B are glossy surfaces (
  • the first feature is that it has a structure in which each of the glossy surfaces is laminated so as to face each other. Since any rough surface (M surface) of the carrier A and the metal foil B can be used, this eliminates the need for the reversing operation of placing the M surface of the copper foil on the top or the top so that the work efficiency is improved. Will improve dramatically.
  • the carrier it is optional to make the carrier a copper foil, but when the carrier is a copper foil, the linear expansion coefficient is at the same level as the copper foil that is a constituent material of the substrate and the prepreg after polymerization, Since the circuit is not displaced, the generation of defective products is reduced and the yield can be improved.
  • the present invention is characterized in that the copper foil with a carrier having a structure in which the metal foil B is ultrasonically bonded so as to be in contact with the carrier A made of aluminum, copper, or a copper alloy.
  • the carrier A is a rolled copper foil or an electrolytic copper foil, and ultrasonic bonding is performed so that the glossy surface of the copper foil B is in contact with the roughened surface of the rolled copper foil or the roughened or roughened surface of the electrolytic copper foil. It is effective to do.
  • the material of the carrier A and the metal foil B particularly by selecting the material and the surface state, it is possible to improve the releasability when the bond is peeled off. Therefore, there is an effect that these can be used in any combination.
  • a printed circuit board uses a dielectric material called “prepreg” obtained by impregnating a synthetic resin into a base material such as a synthetic resin plate, a glass plate, a glass nonwoven fabric, and paper, and sandwiches the prepreg therebetween.
  • a sheet of copper or copper alloy foil having electrical conductivity is joined.
  • the laminated body thus assembled is generally called a CCL (CopperoppClad Laminate) material.
  • CCL CopperoppClad Laminate
  • a foil of aluminum, nickel, zinc or the like may be used. Their thickness is about 5 to 200 ⁇ m.
  • FIG. 1 shows a metal foil with a carrier according to the present invention.
  • the carrier is indicated by A and the metal foil is indicated by B in the metal foil with carrier.
  • the carrier-attached metal foil of the present invention has a structure in which the carrier A and the metal foil B are finally separated and can be easily peeled mechanically. Have. In this respect, since the CCL material is not peeled off, the structure and function are completely different.
  • the metal foil with a carrier of the present invention is laminated so that the carrier A and the metal foil B each have a glossy surface (S surface) and the glossy surfaces face each other.
  • the rough surface or roughening surface of the carrier A mentioned later can be used as needed. That is, in the case of a rolled copper foil, the rolled surface is a glossy surface, which can be used after being roughened. In the case of an electrolytic copper foil, the glossy surface or rough surface can be further roughened and used as the carrier A.
  • any surface joining it is very effective to join by using the sonic welding method.
  • a copper foil is used for the upper metal foil B, the upper surface is the M surface (rough surface), the lower surface is the S surface (glossy surface), and the upper surface of the lower carrier A is the S surface (glossy). Surface), the lower surface is an M surface (rough surface), and these S surfaces (glossy surfaces) are bonded to each other.
  • the carrier A and the metal foil B are made of the same material, the rough surfaces on the front and back surfaces of the carrier A and the metal foil B can be used without turning them over when laying up. This can significantly improve workability.
  • the carrier A and the metal foil B are rectangular (rectangular or square). This shape may be a shape convenient for handling in manufacturing, and is arbitrary, but generally a square or a rectangle is used. Further, the carrier A may have a larger area than the metal foil B so that the carrier A protrudes. In this case, it becomes easy to distinguish between another set of carrier A and metal foil B of the same type as the paired carrier A and metal foil B, and the dimensions are different when the carrier is peeled from the copper foil. Since there is a portion (edge or side), peeling is also facilitated. When these are combined, there is an effect that the handling property of the worker is remarkably improved as compared with the conventional process, and the saliency of the present invention is obvious.
  • FIG. 3 shows an example in which the glossy surface of the carrier (for example, copper foil) A is facing up and the glossy surface of the metal (copper) foil B is facing down, and is welded by ultrasonic waves. That is, FIG. 3 shows a state in which both the carrier and the glossy surface of the metal foil are bonded face to face.
  • the carrier A since the carrier A has a structure in which the area of the carrier A is larger than that of the metal foil B and the carrier A protrudes, the glossy surface of the carrier (for example, copper foil) A is partially exposed on the right side. Moreover, it turns out that the rough surface (M surface) of metal (copper) foil B is visible in the back. As described above, since the carrier A and the metal foil B are fixed to the operator, the lay-up (lamination) operation is efficiently improved. Further, since the entire surface is not fixed, the peeling (disassembling) work after the lamination is also facilitated.
  • the metal foil B copper or copper alloy foil is representative, and most preferably, foil of aluminum, nickel, zinc or the like can be used.
  • the carrier A can be made of the same material as the metal foil B.
  • electrolytic foil or rolled foil having a thickness of 5 to 120 ⁇ m can be used.
  • the thermal expansion coefficient of the metal foil B is within + 10% and ⁇ 30% of the thermal expansion coefficient of the metal foil B.
  • the carrier A and the metal foil B are mechanically peeled off before a process such as plating or etching, so that the peel strength of both is preferably 1 g / cm or more and 1 kg / cm or less.
  • the peeling surface is a boundary between the carrier A and the metal B, and it is necessary to avoid that the residue of the counterpart material remains between them because a removal process is required and the process becomes complicated. Don't be.
  • Example 1 A prepreg produced from an epoxy resin was used as the resin material. On the metal foil with carrier, a desired number of prepregs, then a two-layer printed circuit board called the inner core, then prepreg, and then a metal foil with carrier are stacked in order to complete a set of four-layer board material assembly units. I let you. Next, this unit (commonly called “page”) was repeated about 10 times to form a press assembly (commonly called “book”).
  • FIG. 5 shows this structure.
  • a unit (commonly called “page”) of a four-layer board in which a metal foil with a carrier, a desired number of prepregs, a two-layer printed circuit board as an inner core, a prepreg, and a metal foil with a carrier are sequentially stacked.
  • a state in which the mirror plate (intermediate plate) is further sandwiched is shown (two steps in FIG. 5). Usually, this is repeated about 10 times to produce an assembly for press (commonly called “book”).
  • this book was set in a hot press machine, and a four-layer substrate could be manufactured by press molding at a predetermined temperature and pressure.
  • a substrate having four or more layers can be produced in the same process by increasing the number of inner core layers.
  • the laminated plate thus produced was peeled and separated between the carrier and the copper foil, and then a circuit was formed through a plating step and / or an etching step to obtain a finished product.
  • a circuit was formed through a plating step and / or an etching step to obtain a finished product.
  • no generation of wrinkles was observed on the metal foil.
  • the copper foil is used for the carrier A and the copper foil and the metal foil B, the linear expansion coefficient is almost the same level as that of the copper foil which is the constituent material of the substrate, the prepreg after polymerization and the mirror plate. Therefore, the circuit was not misaligned. Therefore, compared with the case where a conventional CAC is used, the generation of defective products is reduced, and the yield can be improved.
  • the laminated plate thus produced was peeled and separated between the carrier and the copper foil, and then a circuit was formed through a plating step and / or an etching step to obtain a finished product. Since the metal foil B was supported over the entire surface by the carrier A, no generation of wrinkles was observed in the metal foil during the lamination. Furthermore, since copper is used for the carrier A and the copper alloy foil and the metal foil B, the linear expansion coefficient is almost the same as that of the copper foil as a constituent material of the substrate and the prepreg after polymerization. There was no misalignment. Therefore, compared with the case where a conventional CAC is used, the generation of defective products is reduced, and the yield can be improved.
  • Example 3 A hot press machine is used as a book in the same manner as in Example 1 except that the roughened surface of the rolled copper foil of the carrier A and the S surface of the electrolytic copper foil of the metal foil B are joined using an ultrasonic welding method.
  • a four-layer substrate was manufactured by press molding at a predetermined temperature and pressure. And a circuit was formed through the plating process and / or the etching process, and it was made to peel and separate between a carrier and copper foil, and it was set as the finished product.
  • this exfoliation separation in Example 2, there were some cases where the copper foil after exfoliation separation was broken or the copper carrier remained on the copper foil. There was no residue of copper carrier on the copper foil. From the above, it has been found that it is very effective to join the roughened surface of the rolled copper foil of the carrier A and the S surface of the electrolytic copper foil of the metal foil B using an ultrasonic welding method.
  • Example 4 Electrolytic copper foil was used for carrier A.
  • the electrolytic copper foil has a rough surface and a glossy surface.
  • the rough surface of the electrolytic copper foil and the S surface of the electrolytic copper foil of the metal foil B were joined using an ultrasonic welding method.
  • the others were made into a book by the same method as in Example 1, set in a hot press machine, and pressure molded at a predetermined temperature and pressure to produce a four-layer substrate. And a circuit was formed through the plating process and / or the etching process, and it was made to peel and separate between a carrier and copper foil, and it was set as the finished product.
  • there was no breakage of the copper foil or any remaining copper carrier on the copper foil there was no breakage of the copper foil or any remaining copper carrier on the copper foil. From the above, it has been found that it is very effective to join the rough surface of the electrolytic copper foil of the carrier A and the S surface of the electrolytic copper foil of the metal foil B using an ultrasonic welding method.
  • Example 5 A rolled aluminum foil was used as the carrier A, and the aluminum rolled foil and the S surface of the electrolytic copper foil of the metal foil B were joined using an ultrasonic welding method to make a book in the same manner as in Example 1, A four-layer substrate was manufactured by setting in a press and press molding at a predetermined temperature and pressure. And a circuit was formed through the plating process and / or the etching process, and it was made to peel and separate between a carrier and copper foil, and it was set as the finished product. In this separation and separation, as in Example 3, in the configuration of this example, there was no breakage of the copper foil or any residual aluminum carrier on the copper foil.
  • the metal foil B a copper foil or a copper alloy foil is usually used, but it goes without saying that another metal foil can be used as the metal foil B.
  • carrier A copper foil, copper alloy foil or aluminum foil is used.
  • a rolled aluminum foil is usually used for aluminum.
  • the copper foil includes a rolled copper foil and an electrolytic copper foil, both of which can be applied to the carrier A of the present invention. That is, the glossy surface of rolled copper foil and electrolytic copper foil can be used, and a rough surface can also be used.
  • the rolled surface is a glossy surface, which can be used after being roughened.
  • the glossy surface or rough surface can be further roughened and used as the carrier A. Further, by selecting the material of the carrier A and the metal foil B, particularly by selecting the material and the surface state, it is possible to improve the releasability when the bond is peeled off. Therefore, these can be used in any combination.
  • the metal foil with a carrier of the present invention is a laminate in which the carrier A and the metal foil B are alternately overlapped, and the copper surface of the copper foil of the carrier A and the metal foil B is overlapped with each other, so that the operator can change the M surface of the copper foil.
  • the work efficiency is drastically improved because there is no need for the reversing work of placing it on the bottom or on the top.
  • it is optional to make the carrier a copper foil but when the carrier is a copper foil, the linear expansion coefficient is at the same level as the copper foil that is a constituent material of the substrate and the prepreg after polymerization, Since the circuit is not displaced, the generation of defective products is reduced and the yield can be improved.
  • the merit of the metal foil with carrier obtained by the present invention is great, and is particularly useful for the production of printed circuit boards.

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Abstract

 キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアA及び金属箔Bがそれぞれ光沢面(S面)を有し、それぞれ光沢面が互いに向き合うように積層されていることを特徴とするキャリア付金属箔。プリント配線板に使用される片面若しくは2層以上の多層積層板の製造の際に用いられるキャリア付銅箔に関し、特に積層板の製造時に使用するキャリア付き銅箔に係り、その目的とするのはプリント基板製造工程のハンドリング性向上及び歩留りアップによるコスト削減を実現することを課題とする。

Description

キャリア付金属箔
 本発明は、プリント配線板に使用される片面若しくは2層以上の多層積層板の製造において用いられるキャリア付銅箔に関する。
 多層積層体の代表的な例は、プリント回路板である。一般に、プリント回路板は、合成樹脂板、ガラス板、ガラス不織布、紙などの基材に合成樹脂を含浸させて得た「プリプレグ(Prepreg)」と称する誘電材を、基本的な構成としている。
 プリプレグ表面(表裏面)には電気伝導性を持った銅又は銅合金箔等のシートが接合されている。このように組み立てられた積層物を、一般にCCL(Copper Clad Laminate)材と呼んでいる。そしてCCL材料に、さらに銅箔をプリプレグを介して多層化したものを多層基板と呼んでいる。
 前記銅又は銅合金箔の替りに、アルミニウム、ニッケル、亜鉛などの箔を使用する場合もある。これらの厚さは5~200μm程度である。
 以上の工程において、銅箔の表面に異物が付着することを防ぐ目的及びハンドリング性を向上させる目的でキャリア付銅箔が用いられる。
 例えば、従来知られているキャリア付銅箔(特許文献2,3,4参照)を使用した4層基板の製造工程においては、厚さが0.2~2mmのプレス面が平滑なステンレス製のプレス板(通称、「鏡面板」と言う。)の上に、キャリアに剥離可能に接着された極薄銅箔をM面(粗面)が上になるように載置し、次に所定枚数のプリプレグ、次に内層コアと称するCCL材料に回路を形成したプリント回路基板、次にプリプレグ、次にキャリアに剥離可能に接着された極薄銅箔をM面(粗面)が下になるように載置し、これらを鏡面板の順に重ねることにより、1組の4層基板材料からなる組み立てユニットが完成する。
 以降は、これらのユニット(通称「ページ」)を2~10回程度繰り返して重ね、プレス組立体(通称「ブック」)を構成する。次に、上記ブックをホットプレス機内の熱板上にセットし、所定の温度及び圧力で加圧成型することにより、積層板を製造する。4層以上の基板については、内層コアの層数を上げることで、同様の工程で生産することが可能である。
 この際、使用されるキャリア付銅箔は、極薄銅箔とキャリアとが全面で接着しているため、積層後に作業者がこのキャリアを剥離するのに、かなりの力を必要とし手間がかかるという問題がある。
 また、前記の通り、作業者はレイアップ(積層積み作業)の際に、銅箔のM面を上にして配置する、又はM面を下にして配置する作業を、交互に繰り返す必要があるため、作業効率が低下するという問題がある。さらに、銅箔及びキャリアが同寸法であるため、レイアップ時に銅箔1枚1枚を取り分けることが難しく、この点においても作業性が低下するという問題がある。
 また、特許文献1に記載されるような、アルミ板表裏に銅箔が接着された構造のCACを用いた回路基板の製造に際して、CAC材料の一部にアルミ板(JIS#5182)が使用されているが、このアルミ板の線膨張係数は、23.8×10-6/°Cと、基板の構成材料である銅箔(16.5×10-6/°C)及び重合後のプリプレグ(Cステージ:12~18×10-6/°C)に比べて大きいことから、プレス前後の基板サイズが設計時のそれとは異なる現象(スケーリング変化)が起きる。これは面内方向の回路の位置ずれを招くことから、歩留り低下の一因となる問題がある。
 プリント配線板に使用される各種材料の線膨張係数(常温)は、下記の通りである。アルミニウム板の線膨張係数が、他に突出して大きいことが分かる。
 ・銅箔:16.5(×10-6/°C) 
 ・SUS304:17.3×10-6/°C
 ・SUS301:15.2×10-6/°C
 ・SUS630:11.6×10-6/°C
 ・プリプレグ(Cステージ):12~18×10-6/°C
 ・ アルミニウム板(JIS#5182):23.8×10-6/°C
 本願発明には直接関係しないが、キャリア付極薄銅箔に関する例として次の文献がある(特許文献2、特許文献3、特許文献4)。
特許第3100983号公報 特開2005-161840号公報 特開2007-186797号公報 特開2001-140090号公報
 本発明は、これらの事象に鑑みてなされたものであり、プリント配線板に使用される片面若しくは2層以上の多層積層板又は極薄のコアレス基板の製造の際に用いられるキャリア付銅箔に関する。特に、積層板の製造時に使用するキャリア付き銅箔に係り、その目的とするのはプリント基板製造工程のハンドリング性向上及び歩留りアップによるコスト削減を実現することを課題とする。
 本発明者等は、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、銅箔を支持するキャリアを銅箔の面積よりも大きくすることにより、操作がし易くなるという知見を得た。
 この知見に基づき、本発明は、
 1)キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアA及び金属箔Bがそれぞれ光沢面(S面)を有し、それぞれ光沢面が互いに向き合うように積層されていることを特徴とするキャリア付金属箔、を提供する。
 2)キャリアA及び金属箔Bが矩形であることを特徴とする上記1)記載のキャリア付金属箔
 3)金属箔Bが、銅箔又は銅合金箔であることを特徴とする上記1)又は2)記載のキャリア付金属箔
 4)キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアAと金属箔Bとが超音波接合されていることを特徴とするキャリア付銅箔、を提供する。
 また、本願発明は、
 5)キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアAと金属箔Bとが超音波接合されていることを特徴とする上記1)~3)のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔
 6)キャリアAが銅箔又は銅合金箔で、金属箔Bが銅箔又は銅合金箔であり、キャリアAの銅箔の粗面と金属箔Bの銅箔の光沢面が超音波接合されていることを特徴とするキャリア付銅箔
 7)キャリアAがアルミニウム又は銅若しくは銅合金箔であり、金属箔Bが銅箔又は銅合金箔であることを特徴とする上記1)~6)のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔
 8)キャリアA及び金属箔Bがずれないように、接着剤、かしめ若しくは重ね折又は溶着により接合されていることを特徴とする上記1)~7)のいずか一項に記載のキャリア付金属箔、を提供する。
 また、本発明は、
 9)金属箔が、5~120μmの厚みを有する電解箔であることを特徴とする上記1)~8)のいずかに記載のキャリア付金属箔
 10)金属箔が、5~120μmの厚みを有する圧延箔であることを特徴とする請求項1)~8)のいずかに記載のキャリア付金属箔
 11)キャリアの熱膨張率が金属箔の熱膨張率の+10%、-30%以内であることを特徴とする上記1)~10)のいずかに記載のキャリア付金属箔、を提供する。
 本発明のキャリア付金属箔は、キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体で、キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアA及び金属箔Bがそれぞれ光沢面(S面)を有し、それぞれ光沢面が互いに向き合うように積層されている構造を備えていることが第一の特徴である。キャリアA及び金属箔Bのいずれの粗面(M面)も使用できるので、これによって、作業者が銅箔のM面を下に置くとか上に置くという、反転作業が必要としなくなるので作業効率は飛躍的に向上する。
 また、キャリアを銅箔にすることは任意であるが、キャリアを銅箔にした場合には線膨張係数が基板の構成材料である銅箔及び重合後のプリプレグと同等のレベルにあることから、回路の位置ずれを招くことがないので、不良品発生が少なくなり、歩留りを向上させることができるという優れた効果を有する。
 さらに、本願発明は、金属箔Bが、アルミニウム又は銅若しくは銅合金のキャリアAに接するように超音波接合されている構造のキャリア付銅箔が、第二の特徴である。これにより、積層後のアルミキャリアの剥離が容易になり、解体後の銅箔が破断したり、アルミキャリアが銅箔上に残留したりすることを回避できる効果を有する。
 特に、キャリアAが圧延銅箔又は電解銅箔であり、銅箔Bの光沢面が、圧延銅箔の粗化処理面又は電解銅箔の粗面若しくは粗化処理面に接するように超音波接合することが有効である。
 また、キャリアAと金属箔Bの材料の選択によって、特に材質と表面状態を選ぶことによって、接合を剥離する際の剥離性を改善することができる。したがって、これらを任意に組み合わせて使用することができるという効果を有する。
キャリアAの光沢面(S面)と金属箔Bの光沢面(S面)を相互に張り合わせた本発明のキャリア付銅箔の説明図である。 銅箔、プリプレグ、コア材、銅箔を順に重ね、キャリアAの光沢面(S面)と金属箔Bの光沢面(S面)を相互に張り合わせると共に、キャリアAの縁部の一部が金属箔Bからはみ出す構造を備えた本発明のキャリア付金属箔の概念説明図である。 本発明のキャリアAと金属箔Bの接合部を示す説明図である。 キャリアAの縁部の一部が金属箔Bからはみ出す構造を備え、かつキャリアAの光沢面(S面)と金属箔Bの光沢面(S面)を相互に張り合わせた様子を示す説明図である。 銅箔、プリプレグ、コア材、銅箔を順に重ね、さらにキャリアA及び金属箔Bの光沢面を相互に接合したキャリア付銅箔を使用して、ホットプレスすることにより、最外層の銅箔層を形成する様子を示す説明図である。
 一般に、プリント回路板は、合成樹脂板、ガラス板、ガラス不織布、紙などの基材に合成樹脂を含浸させて得た「プリプレグ(Prepreg)」と称する誘電材を用い、このプリプレグを間に挟んで、電気伝導性を持った銅又は銅合金箔等のシートが接合されている。このように組み立てられた積層物を、一般にCCL(Copper Clad Laminate)材と呼んでいる。この一般的に用いられるCCL(Copper Clad Laminate)材の前記銅又は銅合金箔の替りに、アルミニウム、ニッケル、亜鉛などの箔を使用する場合もある。これらの厚さは5~200μm程度である。
 本願発明のキャリア付金属箔を図1に示す。図1キャリア付金属箔においてキャリアをAで、金属箔をBで示す。構造的には、前記CCL材と類似しているが、本願発明のキャリア付金属箔は、キャリアAと金属箔Bとは最終的に分離されるもので、機械的に容易に剥離できる構造を有する。この点、CCL材は剥離させるものではないので、構造と機能は、全く異なるものである。
 本発明のキャリア付金属箔は、キャリアA及び金属箔Bがそれぞれ光沢面(S面)を有し、それぞれ光沢面が互いに向き合うように積層する。なお、必要に応じて、後述するキャリアAの粗面又は粗化面を使用することができる。すなわち、圧延銅箔の場合、圧延面は光沢面となっているので、これを粗化処理して使用することができる。また、電解銅箔の場合、光沢面若しくは粗面を、さらに粗化処理しキャリアAとして使用することもできる。
 また、キャリアAと金属箔Bの材料の選択によって、特に材質と表面状態を選ぶことによって、接合を剥離する際の剥離性を改善することができる。したがって、これらを任意に組み合わせて使用することができる。いずれの面の接合においても、音波溶着法を使用して接合することが非常に有効である。
 超音波溶着法を使用して接合すると、銅キャリアAと金属箔Bの剥離分離工程において、剥離分離後の金属箔が破断したり、銅キャリアが金属箔上に残留したりすることなくなるという効果がある。
 図1において、上方の金属箔Bに、例えば銅箔を使用し上面をM面(粗面)とし、下面をS面(光沢面)とすると共に、下のキャリアAの上面をS面(光沢面)とし、下面をM面(粗面)とし、これらのS面(光沢面)相互を接着したものである。
 この場合、キャリアAと金属箔Bが同質材料の箔であれば、レイアップ時にキャリアAと金属箔Bのそれぞれ表裏の粗面を、裏返しの操作をしなくても、使用することができる。これは作業性を著しく高めることが可能である。
 従来、作業者はレイアップ(積層組み作業)の際に、銅箔のM面を上にして配置すること、さらにM面を下にして配置する作業を、交互に繰り返す必要があるため、作業効率が低下するという問題があったが、これが一挙に解決させることができる効果を有する。
 通常、キャリアA及び金属箔Bは、矩形(長方形又は正方形)とする。この形状は製造上での取り扱いの便宜な形状とするので良く、任意であるが、一般には正方形又は長方形を用いる。
 また、キャリアAを金属箔Bよりも面積を大きくしてキャリアAがはみ出した構造とすることもできる。この場合、積層された一組のキャリアAと金属箔Bと同種の別の組のキャリアAと金属箔Bとの区別が容易となり、またキャリアを銅箔から剥離する際にも、寸法が異なっている箇所(縁部又は辺部)があるので、剥離も容易となる。
 これらを綜合すると、従来の工程に比べて、作業者のハンドリング性が著しく向上する効果があり、本願発明の顕著性が明らかである。
 キャリアA及び金属箔Bがずれないように、相互が接合されるが、接着剤、かしめ若しくは重ね折又は溶着により接合することが望ましい。この接合方法も任意であるが、上記の接合法が好ましい接合方法である。
 図3に、キャリア(例えば銅箔)Aの光沢面を上にして、金属(銅)箔Bの光沢面を下にして、超音波により溶着させた例を示す。すなわち図3では、キャリアと金属箔の光沢面の双方が向かい合って接合されている様子を示す。
 この場合、キャリアAを金属箔Bよりも面積を大きくしてキャリアAがはみ出した構造となっているので、キャリア(例えば銅箔)Aの光沢面が一部右側に露出している。また金属(銅)箔Bの粗面(M面)が背に見えているのが分かる。
 以上により、作業者はキャリアAと金属箔Bが固定されているので、レイアップ(積層)作業が効率的に改善される。また、全面が固定されているわけではないので、積層後の剥離(解体)作業も容易となる。
 金属箔Bとしては、銅又は銅合金箔が代表的なものであり、最も好ましいが、アルミニウム、ニッケル、亜鉛などの箔を使用することもできる。同様に、キャリアAは金属箔Bと同一の材質の箔を使用することができる。
 銅又は銅合金箔の場合、5~120μmの厚みを有する電解箔又は圧延箔を使用することができる。
 さらに、金属箔Bの熱膨張率が、金属箔Bの熱膨張率の+10%、-30%以内であることが望ましい。これによって、熱膨張差に起因する回路の位置ずれを効果的に防止することができ、不良品発生を減少させ、歩留りを向上させることができる。
 一般に、キャリアAと金属箔Bとは、めっき又はエッチング等の工程前に機械的に剥がすことになるので、両者の剥離強度は、1g/cm以上、1kg/cm以下であることが望ましい。さらに、剥離面はキャリアAと金属Bとの境界であることが望ましく、両者の間で、相手材料の残渣が残ることは、除去工程が必要となり、工程の複雑化になるので、避けなければならない。
 次に、本発明の具体的な実施例を説明する。なお、以下の実施例は、本願発明の理解を容易にするためのものであり、これに制限されるものではない。すなわち、本願発明の技術思想に基づく変形、実施態様、他の例は、本願発明に含まれるものである。
(実施例1)
 樹脂材料として、エポキシ樹脂から作製したプリプレグを用いた。キャリア付金属箔上に、所望枚数のプリプレグ、次に内層コアと称する2層プリント回路基板、次にプリプレグ、さらにキャリア付金属箔を順に重ねることで1組の4層基板の材料組み立てユニットを完成させた。
 次に、このユニット(通称「ページ」と言う)を10回程度繰り返し、プレス組み立て物(通称「ブック」と言う)を構成した。
 本発明においては、キャリア付金属箔の構造に特徴があり、キャリアAに銅を金属箔Bに銅を使用し、それぞれの光沢面(S面)相互を接合した。図5にこの構造を示す。この図5において、キャリア付金属箔、所望枚数のプリプレグ、内層コアである2層プリント回路基板、プリプレグ、さらにキャリア付金属箔を順に重ね合わせた4層基板のユニット(通称、「ページ」)を形成する。
 鏡面板(中間板)を挟んで、さらに積み重ねた様子を示す(図5では2段)。通常、これを10回程度繰り返してプレス用の組立物(通称、「ブック」)を作製する。なお、図5に示す「×n」は、多層(n=1、2、3・・n)を意味する。
 これらの積層体は、全て整列している。キャリアAに圧延銅箔を使用すると共に、金属箔Bには電解銅箔を使用した。そして、それぞれの光沢面(S面)相互を超音波溶着法を使用して接合させた。接合箇所は図3に示す位置とした。
 上記の通り、このプレス用の組立物を作製する前段階で、さらに作業効率の大きな改善が図ることができた。すなわち、キャリアA及び金属箔Bのいずれの粗面(M面)も使用できるので、これによって、作業者が銅箔のM面を下に置くとか上に置くという、反転作業が必要としなくなるので作業効率は飛躍的に向上した。
 その後、このブックをホットプレス機にセットし、所定の温度及び圧力で加圧成型することにより4層基板を製造することができた。なお、4層以上の基板についても、一般的には内層コアの層数を上げることで、同様の工程で生産することが可能である。
 このようにして作製された、積層板はキャリアと銅箔の間で、剥離分離させ、その後めっき工程及び又はエッチング工程経て回路を形成して完成品とした。前記積層中に、金属箔に皺の発生は全く認められなかった。
 さらに、キャリアAに銅箔と金属箔Bにも銅箔を使用しているので、線膨張係数が基板の構成材料である銅箔及び重合後のプリプレグ及び鏡面板と、殆ど同じレベルにあることから、回路の位置ずれを起こすことがなかった。したがって、従来のCACを使用する場合に比べて、不良品発生が少なくなり、歩留りを向上させることができた。
(実施例2)
 本発明においては、実施例1と同様であるが、キャリアAに圧延銅合金箔を金属箔Bに電解銅箔を使用し、それぞれの光沢面(S面)相互を接合した。構造的には図5と同一なので、説明は省略する。
 図5にキャリア付金属箔、所望枚数のプリプレグ、内層コアである2層プリント回路基板、プリプレグ、さらにキャリア付金属箔を順に重ね合わせた4層基板のユニット(通称、「ページ」)を形成する。鏡面板(中間板)を挟んで、さらに積み重ねた様子を示す(図4では2段)。通常、これを10回程度繰り返してプレス用の組立物(通称、「ブック」)を作製する。なお、図5に示す「×n」は、多層(n=1、2、3・・n)を意味する。
 これらの積層体は、整列しており、キャリアAに35μmの圧延銅合金箔を使用(この例では、銅65%、亜鉛35%の真鍮を使用)すると共に、金属箔Bには5μmの圧延銅箔を使用し、これらを、エポキシ系接着剤を使用して接合させたものである。接合箇所は図3に示す位置とした。
 従来は、この1組の4層基板の材料組み立てユニットを作製する段階で、キャリア付金属箔を反転する必要があったが、キャリアA及び金属箔Bのいずれの粗面(M面)も使用できるので、反転操作は不要であった。上記の通り、このプレス用の組立物を作製する前段階で、作業効率の大きな改善が図ることができた。その後、このブックをホットプレス機にセットし、所定の温度及び圧力で加圧成型することにより4層基板を製造することができた。なお、4層以上の基板についても、一般的には内層コアの層数を上げることで、同様の工程で生産することが可能である。
 このようにして作製された、積層板はキャリアと銅箔の間で剥離分離させ、その後めっき工程及び又はエッチング工程経て回路を形成して完成品とした。キャリアAで金属箔Bを全面に亘って支持しているので、前記積層中に、金属箔に皺の発生は全く認められなかった。
 さらに、キャリアAに銅合金箔と金属箔Bに銅を使用しているので、線膨張係数が基板の構成材料である銅箔及び重合後のプリプレグと、殆ど同じレベルにあることから、回路の位置ずれを起こすことがなかった。したがって、従来のCACを使用する場合に比べて、不良品発生が少なくなり、歩留りを向上させることができた。
(実施例3)
 キャリアAの圧延銅箔の粗化処理面と金属箔Bの電解銅箔のS面とを超音波溶着法を使用して接合させた以外は実施例1と同じ方法でブックとし、ホットプレス機にセットし、所定の温度及び圧力で加圧成型することにより4層基板を製造した。そして、めっき工程及び又はエッチング工程経て回路を形成し、さらにキャリアと銅箔の間で、剥離分離させて完成品とした。
 この剥離分離において、実施例2の場合、剥離分離後の銅箔が破断したり、銅キャリアが銅箔上に残留したりすることが若干あったが、本例の構成では銅箔の破断ないし銅キャリアの銅箔上への残留は全くなかった。
 以上から、キャリアAの圧延銅箔の粗化処理面と金属箔Bの電解銅箔のS面とを超音波溶着法を使用して接合することが非常に有効であることが分かった。
(実施例4)
 キャリアAに電解銅箔を使用した。電解銅箔には粗面と光沢面があるが、この電解銅箔の粗面と金属箔Bの電解銅箔のS面とを超音波溶着法を使用して接合した。そして、他は実施例1と同じ方法でブックとし、ホットプレス機にセットし、所定の温度及び圧力で加圧成型することにより4層基板を製造した。そして、めっき工程及び又はエッチング工程経て回路を形成し、さらにキャリアと銅箔の間で、剥離分離させて完成品とした。
 本例の構成では、実施例3と同様に、銅箔の破断ないし銅キャリアの銅箔上への残留は全くなかった。
 以上から、キャリアAの電解銅箔の粗面と金属箔Bの電解銅箔のS面とを超音波溶着法を使用して接合することが非常に有効であることが分かった。
(実施例5)
 キャリアAとしてアルミニウム圧延箔を用い、このアルミニウム圧延箔と金属箔Bの電解銅箔のS面とを超音波溶着法を使用して接合させた以外は実施例1と同じ方法でブックとし、ホットプレス機にセットし、所定の温度及び圧力で加圧成型することにより4層基板を製造した。そして、めっき工程及び又はエッチング工程経て回路を形成し、さらにキャリアと銅箔の間で、剥離分離させて完成品とした。
 この剥離分離において、実施例3と同様に、本例の構成では銅箔の破断ないしアルミニウムキャリアの銅箔上への残留は全くなかった。
 金属箔Bとしては、通常銅箔又は銅合金箔を使用するが、この金属箔Bには他の金属箔を使用できることは言うまでもない。また、キャリアAには、銅箔若しくは銅合金箔又はアルミニウム箔を使用する。この場合、アルミニウムについては、通常圧延アルミニウム箔を使用する。
 銅箔には、圧延銅箔と電解銅箔があるが、いずれも本願発明のキャリアAに適用できる。すなわち、圧延銅箔と電解銅箔の光沢面を使用することもできるし、粗面を使用することもできる。
 圧延銅箔の場合、圧延面は光沢面となっているので、これを粗化処理して使用することができる。また、電解銅箔の場合、光沢面若しくは粗面を、さらに粗化処理しキャリアAとして使用することもできる。
 また、キャリアAと金属箔Bの材料の選択によって、特に材質と表面状態を選ぶことによって、接合を剥離する際の剥離性を改善することができる。したがって、これらを任意に組み合わせて使用することができる。
 本発明のキャリア付金属箔は、キャリアAと金属箔Bを交互に重なり合う積層体とし、キャリアAと金属箔Bの銅箔の光沢面相互を重ねることにより、作業者が銅箔のM面を下に置くとか上に置くという、反転作業が必要としなくなるので作業効率は飛躍的に向上する。
 さらに、キャリアを銅箔にすることは任意であるが、キャリアを銅箔にした場合には線膨張係数が基板の構成材料である銅箔及び重合後のプリプレグと同等のレベルにあることから、回路の位置ずれを招くことがないので、不良品発生が少なくなり、歩留りを向上させることができるという優れた効果を有する。
 本願発明により得られるキャリア付金属箔のメリットは大きく、特にプリント回路板の製造に有用である。
 

Claims (8)

  1.  キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアA及び金属箔Bがそれぞれ光沢面(S面)を有し、それぞれ光沢面が互いに向き合うように積層されていることを特徴とするキャリア付金属箔。
  2.  キャリアA及び金属箔Bが矩形であることを特徴とする請求項1記載のキャリア付金属箔。
  3.  金属箔Bが、銅箔又は銅合金箔であることを特徴とする請求項1又は2記載のキャリア付金属箔。
  4.  キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアAと金属箔Bとが超音波接合されていることを特徴とするキャリア付銅箔。
  5.  キャリアAと金属箔Bが交互に重なり合う積層体であって、キャリアAと金属箔Bとが超音波接合されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。
  6.  キャリアAが銅箔又は銅合金箔で、金属箔Bが銅箔又は銅合金箔であり、キャリアAの銅箔の粗面と金属箔Bの銅箔の光沢面が超音波接合されていることを特徴とするキャリア付銅箔。
  7.  キャリアAがアルミニウム又は銅若しくは銅合金箔であり、金属箔Bが銅箔又は銅合金箔であることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載のキャリア付銅箔。
  8.  キャリアA及び金属箔Bがずれないように、接着剤、かしめ若しくは重ね折又は溶着により接合されていることを特徴とする請求項1~7のいずか一項に記載のキャリア付金属箔。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016143117A1 (ja) * 2015-03-12 2016-09-15 三井金属鉱業株式会社 キャリア付き金属箔及び配線基板の製造方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009143234A (ja) * 2008-12-24 2009-07-02 Nippon Mining & Metals Co Ltd キャリア付金属箔
JP4579347B1 (ja) * 2009-12-22 2010-11-10 Jx日鉱日石金属株式会社 積層体の製造方及び積層体
EP2589488A1 (en) * 2009-12-22 2013-05-08 JX Nippon Mining & Metals Corporation Rectangular laminated body
JP5697892B2 (ja) * 2010-05-11 2015-04-08 Jx日鉱日石金属株式会社 銅箔積層体及び積層板の製造方法
US11299619B2 (en) 2011-07-01 2022-04-12 The Boeing Company Composite structure having an inorganic coating adhered thereto and method of making same
JP5190553B1 (ja) * 2012-03-06 2013-04-24 フリージア・マクロス株式会社 キャリア付き金属箔
JP6125418B2 (ja) * 2013-12-18 2017-05-10 アズビル株式会社 粒子検出装置及び粒子の検出方法
JP6246857B2 (ja) * 2016-05-24 2017-12-13 Jx金属株式会社 ロール状積層体、ロール状積層体の製造方法、積層体の製造方法、ビルドアップ基板の製造方法、プリント配線板の製造方法、電子機器の製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10291080A (ja) * 1997-04-17 1998-11-04 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 銅箔の支持用帯状体への超音波溶接方法
JP2001068804A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd キャリア箔付電解銅箔及びその電解銅箔の製造方法並びにその電解銅箔を使用した銅張積層板
JP2002134877A (ja) * 2000-10-10 2002-05-10 Morton Internatl Inc 薄膜物質の取付および加工方法

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5222380B2 (ja) * 1973-05-30 1977-06-17
US4591087A (en) * 1984-03-07 1986-05-27 Kulicke And Soffa Industries Inc. Apparatus for making rolling spot bonds
US5153050A (en) 1991-08-27 1992-10-06 Johnston James A Component of printed circuit boards
US5685970A (en) 1992-07-01 1997-11-11 Gould Electronics Inc. Method and apparatus for sequentially metalized polymeric films and products made thereby
JP3192507B2 (ja) * 1992-12-18 2001-07-30 三菱電機株式会社 樹脂シール中空型半導体装置の製造方法
JPH06252554A (ja) * 1993-02-26 1994-09-09 Hitachi Chem Co Ltd 多層印刷配線板の製造方法
JPH08157621A (ja) 1994-12-08 1996-06-18 Japan Gore Tex Inc プリプレグ並びにこれを用いたプリント基板及びカバーレイフィルム
JPH11277562A (ja) 1998-03-31 1999-10-12 Hitachi Chem Co Ltd 銅張積層板製造用キャリア板
DE69919822T2 (de) * 1998-12-10 2005-09-15 Ultex Corp. Ultraschallschwingungsschweissverfahren
JP3370624B2 (ja) * 1999-08-24 2003-01-27 三井金属鉱業株式会社 キャリア箔付電解銅箔及びその電解銅箔を使用した銅張積層板
JP3676152B2 (ja) 1999-11-11 2005-07-27 三井金属鉱業株式会社 キャリア箔付電解銅箔及びその製造方法
JP3258308B2 (ja) 2000-02-03 2002-02-18 株式会社日鉱マテリアルズ レーザー穴開け性に優れた銅箔及びその製造方法
JP2002113812A (ja) 2000-02-14 2002-04-16 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd ポリイミドと導体層の積層体およびそれを用いてなる多層配線板ならびにその製造方法
JP3628585B2 (ja) 2000-04-05 2005-03-16 株式会社日鉱マテリアルズ 銅張り積層板及び銅張り積層板のレーザーによる穴開け方法
US20020182432A1 (en) 2000-04-05 2002-12-05 Masaru Sakamoto Laser hole drilling copper foil
JP2003051673A (ja) 2001-08-06 2003-02-21 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd プリント配線板用銅箔及びそのプリント配線板用銅箔を用いた銅張積層板
JP4006618B2 (ja) 2001-09-26 2007-11-14 日鉱金属株式会社 キャリア付銅箔の製法及びキャリア付銅箔を使用したプリント基板
JP4298943B2 (ja) 2001-10-18 2009-07-22 日鉱金属株式会社 銅箔表面処理剤
JP4379854B2 (ja) 2001-10-30 2009-12-09 日鉱金属株式会社 表面処理銅箔
CN1301046C (zh) 2002-05-13 2007-02-14 三井金属鉱业株式会社 膜上芯片用软性印刷线路板
JP3731006B2 (ja) * 2002-06-27 2006-01-05 古河サーキットフォイル株式会社 プリント配線板用銅箔複合品
JP3811680B2 (ja) * 2003-01-29 2006-08-23 富士通株式会社 配線基板の製造方法
US20040253473A1 (en) * 2003-06-13 2004-12-16 Michael Weekes Metal foil composite structure for producing clad laminate
EP1531656A3 (en) 2003-11-11 2007-10-03 Furukawa Circuit Foil Co., Ltd. Ultra-thin copper foil with carrier and printed wiring board using ultra-thin copper foil with carrier
JP4087369B2 (ja) 2003-11-11 2008-05-21 古河サーキットフォイル株式会社 キャリア付き極薄銅箔、およびプリント配線板
WO2005079130A1 (ja) 2004-02-17 2005-08-25 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 黒化処理面又は層を有する銅箔
TW200626364A (en) 2004-09-29 2006-08-01 Ube Industries Polyimide film and polyimide composite sheet
JP4986060B2 (ja) 2005-06-23 2012-07-25 Jx日鉱日石金属株式会社 プリント配線板用銅箔
GB0515584D0 (en) 2005-07-28 2005-09-07 Glaxo Group Ltd Medicament dispenser
JP4890546B2 (ja) 2006-06-12 2012-03-07 Jx日鉱日石金属株式会社 粗化処理面を備えた圧延銅又は銅合金箔及び圧延銅又は銅合金箔の粗化方法
WO2008065890A1 (fr) 2006-11-29 2008-06-05 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. Stratifié bicouches à placage de cuivre
MY143791A (en) 2006-12-28 2011-07-15 Jx Nippon Mining & Metals Corp Roll unit dipped in surface treatment liquid
JP5096375B2 (ja) 2006-12-28 2012-12-12 Jx日鉱日石金属株式会社 銅箔の表面処理に用いるロール装置
JP2007186797A (ja) * 2007-02-15 2007-07-26 Furukawa Circuit Foil Kk キャリア付き極薄銅箔の製造方法、及び該製造方法で製造された極薄銅箔、該極薄銅箔を使用したプリント配線板、多層プリント配線板、チップオンフィルム用配線基板
US20100323215A1 (en) 2007-03-20 2010-12-23 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. Non-Adhesive-Type Flexible Laminate and Method for Production Thereof
WO2009041292A1 (ja) 2007-09-28 2009-04-02 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 印刷回路用銅箔及び銅張積層板
US20100215982A1 (en) 2007-10-18 2010-08-26 Nippon Mining And Metals Co., Ltd. Metal Covered Polyimide Composite, Process for Producing the Composite, and Apparatus for Producing the Composite
JP4455675B2 (ja) 2007-10-18 2010-04-21 日鉱金属株式会社 金属被覆ポリイミド複合体及び同複合体の製造方法並びに電子回路基板の製造方法
KR101199816B1 (ko) 2007-12-27 2012-11-12 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 2 층 동장 적층판의 제조 방법 및 2 층 동장 적층판
EP2241436A4 (en) 2008-02-04 2012-06-06 Jx Nippon Mining & Metals Corp ADHESIVE-FREE FLEXIBLE LAMINATE
US8375577B2 (en) * 2008-06-04 2013-02-19 National Semiconductor Corporation Method of making foil based semiconductor package
MY151361A (en) 2008-06-17 2014-05-15 Jx Nippon Mining & Metals Corp Copper foil for printed circuit board and copper clad laminate for printed circuit board
JP2009143234A (ja) * 2008-12-24 2009-07-02 Nippon Mining & Metals Co Ltd キャリア付金属箔

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10291080A (ja) * 1997-04-17 1998-11-04 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 銅箔の支持用帯状体への超音波溶接方法
JP2001068804A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd キャリア箔付電解銅箔及びその電解銅箔の製造方法並びにその電解銅箔を使用した銅張積層板
JP2002134877A (ja) * 2000-10-10 2002-05-10 Morton Internatl Inc 薄膜物質の取付および加工方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016143117A1 (ja) * 2015-03-12 2016-09-15 三井金属鉱業株式会社 キャリア付き金属箔及び配線基板の製造方法
WO2016143484A1 (ja) * 2015-03-12 2016-09-15 三井金属鉱業株式会社 キャリア付き金属箔及び配線基板の製造方法

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