WO2010047253A1

WO2010047253A1 - 積層フィルム

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Publication number: WO2010047253A1
Application number: PCT/JP2009/067769
Authority: WO
Inventors: 勝啓高藤; 孝徳磯▲ざき▼
Original assignee: Kuraray Co Ltd
Current assignee: Kuraray Co Ltd
Priority date: 2008-10-21
Filing date: 2009-10-14
Publication date: 2010-04-29
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Abstract

　ブロッキングを防止し、取り扱い性に優れる新規な積層フィルムを提供すること。ポリビニルアルコールフィルム層と保護フィルム層とからなる積層フィルムであって、当該ポリビニルアルコールフィルム層は、（１）架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、ポリビニルアルコールならびに無機塩を含有するか、または、（２）重合度が２３００以上のポリビニルアルコールおよび無機塩を含有する、積層フィルム。本発明の積層フィルムは、エッチングレジスト膜の端部を折り曲げるクッションを形成するための材料として好ましく使用することができる。

Description

積層フィルム

　本発明は、積層フィルムに関する。より詳細には、架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、ポリビニルアルコールならびに無機塩を含有するか、または特定の重合度を有するポリビニルアルコールおよび無機塩を含有するポリビニルアルコールフィルムと保護フィルムとからなる、取り扱い性に優れる積層フィルムに関する。

　ポリビニルアルコール（以後、ＰＶＡと略称することがある）からなるフィルムは、造膜性、透明性および強度等に優れていることから、その特性を活かして幅広く使用されている。

　さらに、ＰＶＡフィルムに無機塩を加えることにより、種々の物性を向上しようとする試みが行われている。例えば、特許文献１には、ＰＶＡ等の水溶性高分子を、硝酸マグネシウム等の無機塩を含む水溶液と混合して、フィルム等の含水高分子成形材を得ることが記載されている。また、特許文献２には、ＰＶＡに水溶性無水無機塩または水溶性無機塩水和物を添加することで、透明で弾力性のあるフィルム等を成形することが記載されている。しかしながら、これらのフィルムは水分を吸収して粘着性が増加しやすく、フィルムを重ねて保管するとブロッキングして取り扱い性が乏しくなる問題があった。

　また、特許文献３には、重合度が５００以上のＰＶＡに二価の金属塩化物を添加してハイドロゲルを成形することが記載されている。さらに特許文献４には結晶水を含有することができる無機塩を添加したＰＶＡを支持体上に積層することが記載されている。しかしながら、特許文献３に記載されている素材は高粘着性を目的としており、また、特許文献４に記載されている積層体は粘着性を有する創傷被覆材や貼付剤としての用途を意図しており、これらの材料のいずれもが粘着性の付与を目的としたものであって取り扱い性に関する検討は行われていなかった。

　ところで、基板上に配線回路を形成する方法として、導体層上にレジスト膜を形成し、これを露光・現像するなどしてパターン化されたエッチングレジスト膜とした後、導体層を所定の深さまでエッチング（ハーフエッチング）し、その後、ハーフエッチングによりひさし状になったエッチングレジスト膜の端部をエッチングの深さ方向に折り曲げてエッチング面に密着させ、さらにエッチングを行う技術が知られている（特許文献５を参照）。当該技術において、ハーフエッチング後のエッチングレジスト膜の端部を折り曲げるのに使用されるクッション板等のクッションの材料として高分子合成樹脂シートを使用することができるが、近年では配線ピッチが小さくなり続けており、配線のピッチがより小さくなると、エッチングレジスト膜の端部を均一に折り曲げるために、さらにはエッチングレジスト膜の端部を折り曲げた後にクッションを取り除く際に当該エッチングレジスト膜が剥離するのを防ぐために、クッションには柔軟性に加えて弾力性や低粘着性も要求される。そのため、配線のピッチがより小さい場合であってもエッチングレジスト膜の端部を均一に折り曲げることができるとともに、取り扱い性にも優れるクッションの材料が求められていた。

特開昭６１－１１５９３６号公報特開２００４－１４９６９４号公報特開平１－２３０６５９号公報特開２００８－２３８５５６号公報特開平１１－２１４８２６号公報

　本発明の目的は、ブロッキングを防止し、取り扱い性に優れる新規な積層フィルムを提供することにある。

　本発明者らは、上記の目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、ＰＶＡならびに硝酸マグネシウム等の無機塩を含有するＰＶＡフィルム層と保護フィルム層とからなる積層フィルムによれば、取り扱い性が大幅に改善され、それにより上記目的を達成することができることを見出した。また、重合度が２３００以上のＰＶＡおよび硝酸マグネシウム等の無機塩を含有するＰＶＡフィルム層と保護フィルム層とからなる積層フィルムによっても、取り扱い性が大幅に改善され、それにより上記目的を達成することができることを見出した。本発明者らはこれらの知見に基づいてさらに検討を重ねて本発明を完成させた。

　すなわち、本発明は、
［１］ポリビニルアルコールフィルム層と保護フィルム層とからなる積層フィルムであって、当該ポリビニルアルコールフィルム層は、
（１）架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、ポリビニルアルコールならびに無機塩を含有するか、または、
（２）重合度が２３００以上のポリビニルアルコールおよび無機塩を含有する、
積層フィルム、
［２］前記ポリビニルアルコールフィルム層が、ポリビニルアルコール１００質量部に対して無機塩を２０～１００質量部含有する、上記［１］の積層フィルム、
［３］前記無機塩が硝酸マグネシウムである、上記［１］または［２］の積層フィルム、
［４］前記ポリビニルアルコールフィルム層が架橋剤を含有し、当該架橋剤がホウ酸である、上記［１］～［３］のいずれか１つの積層フィルム、
［５］前記ポリビニルアルコールフィルム層が、ポリビニルアルコール１００質量部に対してホウ酸を１～３０質量部含有する、上記［４］の積層フィルム、
［６］前記ポリビニルアルコールフィルム層が、前記ポリビニルアルコール１００質量部に対して前記シリカを０．１～１５質量部含有する、上記［１］～［５］のいずれか１つの積層フィルム、
［７］前記ポリビニルアルコールフィルム層の水分率が１０～４０質量％である、上記［１］～［６］のいずれか１つの積層フィルム、
［８］前記ポリビニルアルコールフィルム層が架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有し、前記ポリビニルアルコールの重合度が１５００以上である、上記［１］～［７］のいずれか１つの積層フィルム、
［９］前記ポリビニルアルコールのけん化度が９７モル％以上である、上記［１］～［８］のいずれか１つの積層フィルム、
［１０］前記ポリビニルアルコールフィルム層がさらに界面活性剤を含有する、上記［１］～［９］のいずれか１つの積層フィルム、
［１１］積層フィルムの一方の表面に前記ポリビニルアルコールフィルム層が配置され、もう一方の表面に前記保護フィルム層が配置されている、上記［１］～［１０］のいずれか１つの積層フィルム、
［１２］前記ポリビニルアルコールフィルム層および前記保護フィルム層の２層のみからなる、上記［１１］の積層フィルム、
［１３］前記保護フィルム層において、表面でない側の面の、水に対する接触角が５０°以下であり、かつ表面側の面の、水に対する接触角が６０°以上である、上記［１１］または［１２］の積層フィルム、
［１４］前記保護フィルムがポリエステルフィルムである、上記［１］～［１３］のいずれか１つの積層フィルム、
［１５］エッチングレジスト膜の端部を折り曲げるクッション形成用積層フィルムである、上記［１］～［１４］のいずれか１つの積層フィルム、
に関する。

　本発明によると、無機塩を含有するＰＶＡフィルムのブロッキングが防止され、取り扱い性が向上した積層フィルムが提供される。

　以下に本発明をさらに詳細に説明する。
　本発明の積層フィルムは、ＰＶＡフィルム層と保護フィルム層とからなる。そして、当該ＰＶＡフィルム層は、
（１）架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、ＰＶＡならびに無機塩を含有するか、または、
（２）重合度が２３００以上のＰＶＡおよび無機塩を含有する。

　本発明において使用されるＰＶＡは、ビニルエステルを重合して得られるポリビニルエステル系重合体をけん化することにより製造することができる。ビニルエステルとしては、酢酸ビニル、ギ酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、ピバリン酸ビニル、バーサティック酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、安息香酸ビニル等を例示することができる。これらの中でも酢酸ビニルが、入手の容易性、ＰＶＡの製造の容易性、コスト等の点から好ましく用いられる。

　上記のＰＶＡは、ビニルエステルの単独重合体のけん化物に限定されず、本発明の効果が損なわれることがない限り、ビニルエステルと少量の他の共重合性単量体との共重合体のけん化物（変性ＰＶＡと呼ばれることがある）、ＰＶＡの水酸基の一部を架橋したポリビニルアセタール系重合体等であってもよい。

　ビニルエステルとの共重合に用いることができる他の共重合性単量体としては、例えば、エチレン、プロピレン、１－ブテン、イソブテン等の炭素数２～３０のα－オレフィン類；（メタ）アクリル酸またはその塩；（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ－プロピル、（メタ）アクリル酸ｉ－プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｉ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸２－エチルへキシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル等の（メタ）アクリル酸エステル類；（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸またはその塩、（メタ）アクリルアミドプロピルジメチルアミンまたはその塩、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミドまたはその誘導体等の（メタ）アクリルアミド誘導体；Ｎ－ビニルホルムアミド、Ｎ－ビニルアセトアミド、Ｎ－ビニルピロリドン等のＮ－ビニルアミド類；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ｎ－プロピルビニルエーテル、ｉ－プロピルビニルエーテル、ｎ－ブチルビニルエーテル、ｉ－ブチルビニルエーテル、ｔ－ブチルビニルエーテル、ドデシルビニルエーテル、ステアリルビニルエーテル等のビニルエーテル類；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のニトリル類；塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン等のハロゲン化ビニル類；酢酸アリル、塩化アリル等のアリル化合物；マレイン酸またはその塩もしくはエステル；イタコン酸またはその塩もしくはエステル；ビニルトリメトキシシラン等のビニルシリル化合物；酢酸イソプロペニル；不飽和スルホン酸等を挙げることができる。これらの共重合性単量体は、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

　ＰＶＡの水酸基の一部が架橋されたポリビニルアセタール系重合体の例としては、ホルマリン、ブチルアルデヒド、ベンズアルデヒド等のアルデヒド類でＰＶＡの水酸基の一部を架橋したポリビニルアセタール系重合体を挙げることができる。

　ＰＶＡフィルム層が架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有する場合において、当該ＰＶＡフィルム層が含有するＰＶＡの重合度は、１５００以上であることが好ましく、１８００以上であることがより好ましく、２３００以上であることがさらに好ましい。ＰＶＡの重合度が１５００未満であると、粘着性が高くブロッキングしやすくなり、取り扱い性が悪くなるおそれがある。重合度の上限としては特に制限はないが、ＰＶＡの製造が工業的に困難であることから１００００以下であることが好ましく、８０００以下であることがより好ましく、６０００以下であることがさらに好ましい。なお、本発明でいうＰＶＡの重合度は、ＪＩＳ　Ｋ　６７２６に準じて測定した平均重合度を意味する。

　またＰＶＡフィルム層が架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有しない場合であっても、当該ＰＶＡフィルム層が含有するＰＶＡの重合度が２３００以上であることにより、得られる積層フィルムの取り扱い性が改善される。当該ＰＶＡの重合度は、３０００以上であることが好ましく、４０００以上であることがより好ましく、５０００以上であることがさらに好ましい。ＰＶＡフィルム層が架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有しない場合においてＰＶＡの重合度が２３００未満であると、粘着性が高くブロッキングしやすくなり、取り扱い性が悪くなるため不適である。重合度の上限としては特に制限はないが、ＰＶＡの製造が工業的に困難であることから１００００以下であることが好ましく、８０００以下であることがより好ましく、６０００以下であることがさらに好ましい。

　また、ＰＶＡのけん化度は、得られるＰＶＡフィルムの耐水性、粘着性等の観点から、９７モル％以上であることが好ましく、９８モル％以上であることがより好ましく、９９モル％以上であることがさらに好ましい。ＰＶＡのけん化度が９７モル％未満であると、得られるＰＶＡフィルムの粘着性が高くなるおそれがある。なお、ＰＶＡのけん化度とは、重合体（ポリビニルエステル系重合体）を構成する構造単位のうちで、けん化によってビニルアルコール単位に変換され得る単位（典型的にはビニルエステル単位）の全モル数に対して実際にビニルアルコール単位にけん化されている単位の割合（モル％）をいう。ＰＶＡのけん化度は、ＪＩＳ　Ｋ　６７２６に記載されている方法に準じて測定することができる。

　本発明において使用される無機塩としては、本発明の効果が損なわれることがない限り、いずれの無機塩を使用することもでき、その例としては、ハロゲン化物、硝酸塩、亜硝酸塩、炭酸塩、ホウ酸塩、硫酸塩、リン酸塩、一水素リン酸塩、二水素リン酸塩、酸化物等が挙げられ、これらのアニオン種に対応するカチオン種としては、例えば、カルシウム、マグネシウム等が挙げられる。具体的な無機塩の例としては、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、硝酸マグネシウム等が挙げられる。これらの無機塩は、取り扱い性の観点から、いずれも水和物の形で使用することが好ましい。これらの無機塩は１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。上記の無機塩の中でも、積層フィルムの柔軟性および弾力性を向上させることができることや安全性の観点から、硝酸マグネシウムが特に好ましい。硝酸マグネシウムは、６水和物の形で用いることができる。

　ＰＶＡフィルム層は、ＰＶＡ１００質量部に対して無機塩を２０～１００質量部含有することが好ましく、２２～９８質量部含有することがより好ましく、２５～９５質量部含有することがさらに好ましく、４０～９３質量部含有することが特に好ましく、５５～９０質量部含有することが最も好ましい。ＰＶＡフィルム層における無機塩の含有量がＰＶＡ１００質量部に対して２０質量部未満であると、未添加品と比べ有意な差がでにくく、柔軟な積層フィルムが得られないおそれがある。また、ＰＶＡフィルム層における無機塩の含有量がＰＶＡ１００質量部に対して１００質量部を超えると、無機塩がＰＶＡフィルム層の表面にブリードアウトしやすくなり、またＰＶＡフィルム層がブロッキングしやすくなるおそれがある。

　本発明の積層フィルムを構成するＰＶＡフィルム層が架橋剤を含有すると、当該積層フィルムの取り扱い性が改善される。架橋剤は水酸基（中でもＰＶＡが有する水酸基）と反応して架橋を形成することができる。架橋剤の中でも、架橋に際して光照射や高熱処理などの工程を必要としないホウ素化合物が好ましく、取り扱い性や安全性の点でホウ酸がより好ましい。
　ＰＶＡフィルム層が架橋剤を含有する場合、その含有量は、架橋剤の種類によって異なるが、例えば架橋剤がホウ酸であるときには、ＰＶＡ１００質量部に対して１～３０質量部であることが好ましく、５～２５質量部であることがより好ましく、１０～２０質量部であることがさらに好ましい。ホウ酸の含有量がＰＶＡ１００質量部に対して１質量部未満であると、得られる積層フィルムの取り扱い性が未添加品と比べて有意に改善されにくくなるおそれがある。また、ホウ酸の含有量がＰＶＡ１００質量部に対して３０質量部を超えると、製膜の段階でＰＶＡのゲル化により製膜ができなくなるおそれがある。

　また、本発明の積層フィルムを構成するＰＶＡフィルム層がシリカを含有することによっても、当該積層フィルムの取り扱い性が改善される。ここで使用されるシリカの形状に特に制限はなく、例えば球状シリカ、円柱状シリカ、直方状シリカ等を使用することができる。これらの中でも、分散性の点で球状シリカが好ましい。
　ＰＶＡフィルム層がシリカを含有する場合、その含有量は、ＰＶＡ１００質量部に対して０．１～１５質量部であることが好ましく、３～１０質量部であることがより好ましい。シリカの含有量がＰＶＡ１００質量部に対して０．１質量部未満であると、得られる積層フィルムの取り扱い性が未添加品と比べて有意に改善されにくくなるおそれがある。また、シリカの含有量がＰＶＡ１００質量部に対して１５質量部を超えると、添加による取り扱い性の改善効果が頭打ちとなるので、コスト的に不利になるおそれがある。

　ＰＶＡフィルム層の水分率は、ＰＶＡフィルム層に対して１０～４０質量％であることが好ましく、１２～３８質量％であることがより好ましく、１３～３５質量％であることがさらに好ましく、１４～３２質量％であることが特に好ましく、１５～２９質量％、さらには１８～２６質量％であってもよい。本発明の積層フィルムを構成するＰＶＡフィルム層は、架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有するか、または架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有しない場合であっても重合度が２３００以上のＰＶＡを含有することにより、従来のＰＶＡフィルム層よりも粘着性が低くなるので、より多くの水分を保持することができるようになる。ＰＶＡフィルム層の水分率が１０質量％未満であると、ＰＶＡフィルム層が保護フィルム層から剥離しやすくなるおそれがあり、一方、４０質量％を超えると、ＰＶＡフィルム層がブロッキングして積層フィルムの取り扱い性が低下するおそれがある。

　ここで積層フィルムの取り扱い性とは、積層フィルムのロール形状からの巻き出しをイメージしたものであり、後述する引き剥がし粘着力試験で評価することができる。すなわち、粘着力が低いほど取り扱い性は良好と判断することができる。無機塩を含有するＰＶＡフィルムは、無機塩の添加量が多くなるか、または水分率が高いときに粘着力が高く取り扱い性が悪くなる傾向があり、架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種の添加、またはＰＶＡの重合度による取り扱い性の改善がより重要となる。本発明の積層フィルムの取り扱い性については、近年ますますそのレベルが厳しくなっており、粘着力が１２ｍＮ／１０ｍｍ以下であることが好ましく、１１．０ｍＮ／１０ｍｍ以下であることがより好ましく、１０．０ｍＮ／１０ｍｍ以下であることがさらに好ましく、９．８ｍＮ／１０ｍｍ以下であることが特に好ましく、９．５ｍＮ／１０ｍｍ以下、９．０ｍＮ／１０ｍｍ以下、さらには８ｍＮ／１０ｍｍ以下であってもよい。粘着力が１２ｍＮ／１０ｍｍより大きいと粘着力が高くなり、ＰＶＡフィルム層と保護フィルム層とのブロッキングが起こるなどして積層フィルムの取り扱い性が低下するおそれがある。

　上記のＰＶＡフィルム層には、架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、ＰＶＡならびに無機塩の他に、可塑剤を配合することができる。可塑剤としては、多価アルコールが好ましく用いられ、その具体例としては、エチレングリコール、グリセリン、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジグリセリン、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、トリメチロールプロパン等を挙げることができる。これらの可塑剤は１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、揮発性と可塑性の観点からグリセリンが好ましい。
　ＰＶＡフィルム層における可塑剤の含有量は、可塑化の効果を十分に発揮することができ、また可塑剤が表面にブリードアウトしにくいことから、ＰＶＡ１００質量部に対して３～２０質量部であることが好ましく、５～１５質量部であることがより好ましい。

　また、ＰＶＡフィルム層には、積層フィルムの取り扱い性をより向上させるために界面活性剤を含有させることが好ましい。中でも、アニオン系またはノニオン系の界面活性剤が好ましい。アニオン系の界面活性剤としては、トリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム等のアルキルエーテルスルホン酸ナトリウムが好ましく、ノニオン系の界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテルが好ましい。これらの界面活性剤を併用してもよい。
　ＰＶＡフィルム層における界面活性剤の含有量は、取り扱い性の向上および表面へのブリードアウトを抑制する観点から、ＰＶＡ１００質量部に対して０．０１～１．０質量部であることが好ましく、０．０５～０．５質量部であることがより好ましい。

　さらに、ＰＶＡフィルム層は必要に応じて、酸化防止剤、凍結防止剤、ｐＨ調整剤、隠蔽剤、着色防止剤、油剤、無機フィラー等の、上記したＰＶＡ、無機塩、架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、水分、可塑剤および界面活性剤以外の他の成分を含有していてもよい。
　ＰＶＡフィルム層における上記他の成分の含有率は、取り扱い性の観点から、２０質量％以下であることが好ましく、１０質量％以下であることがより好ましく、５質量％以下であることがさらに好ましく、１質量％以下であることが特に好ましい。

　本発明の積層フィルムにおいては、上記のＰＶＡフィルム層を外力によるキズ、汚れ等から保護するために、またＰＶＡフィルム層を重ねた際のブロッキングを防止するために、さらには他部材に押し付けた際の弾力性向上のために、保護フィルム層を設ける。層構成としては、ＰＶＡフィルム層の両面に保護フィルム層が配置されていてもよいし、積層フィルムを重ねて、またはロール状に巻いた状態にして保存する場合を考慮して、片面のみに保護フィルム層が配置されていてもよいし、ＰＶＡフィルム層と保護フィルム層とが交互に積層されていてもよい。中でも、積層フィルムの一方の表面に上記ＰＶＡフィルム層が配置され、もう一方の表面に当該保護フィルム層が配置されている態様が好ましく、ＰＶＡフィルム層および保護フィルム層の２層のみからなる態様がより好ましい。
　ＰＶＡフィルム層と保護フィルム層との間には、例えばＰＶＡやウレタンからなる接着層を設けてもよいが、製造工程を簡便にし、かつ製造コストを低く抑えるという観点から、ＰＶＡフィルム層と保護フィルム層とが直接接触するように配置することが好ましい。保護フィルム層の厚みは、１～１００μｍの範囲内にあることが好ましく、５～７５μｍの範囲内にあることがより好ましく、８～６０μｍの範囲内にあることがさらに好ましく、１０～５０μｍの範囲内にあることが特に好ましい。保護フィルムの厚みが１μｍ未満であると得られる積層フィルムの強度が弱くなる傾向があり、また保護フィルムの厚みが１００μｍを超えると得られる積層フィルムをロール状に巻く際に巻きにくくなり取り扱い性が低下する傾向がある。

　積層フィルムの一方の表面に上記ＰＶＡフィルム層が配置され、もう一方の表面に当該保護フィルム層が配置されている態様（例えば、ＰＶＡフィルム層および保護フィルム層の２層のみからなる態様）において、保護フィルム層とＰＶＡフィルム層とが接着しやすくなるように、保護フィルム層の表面でない側の面（ＰＶＡフィルム層と接する面）の水に対する接触角は５０°以下であることが好ましく、４７°以下であることがより好ましく、４５°以下であることがさらに好ましい。一方、積層フィルムを重ねた場合、またはロール状に巻いた場合の剥離を容易にするために、保護フィルム層の表面側の面（ＰＶＡフィルム層と接する面に対して反対側の面）の水に対する接触角は６０°以上であることが好ましく、６３°以上であることがより好ましく、６５°以上であることがさらにより好ましい。なお、フィルム面における上記接触角とは、水の自由表面がフィルムに接する場所で、水面とフィルム面とのなす角（水の内部にある角をとる）をいう。

　上記のような接触角を有するフィルム面を得るために、保護フィルム層として疎水性の樹脂フィルムを使用することが好ましい。そして、保護フィルム層の表面でない側の面（ＰＶＡフィルム層と接する面）に対して、コロナ処理、プラズマ処理、アンカーコート等を実施して親水性を向上させることが好ましい。なお、表面側の面（ＰＶＡフィルム層と接する面に対して反対側の面）は疎水性を保つことが好ましい。

　上記の疎水性の樹脂フィルムの種類としては、特に制限はないが、例えばポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムに代表されるポリエステルフィルム等が挙げられる。これらの中でも、ポリエステルフィルムが好ましい。

　本発明の積層フィルムを製造する方法としては、例えば、ＰＶＡ、無機塩、ならびに所望によりさらに架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種や他の成分を含有する製膜原液を保護フィルム上にコートして乾燥する方法、ＰＶＡ、無機塩、ならびに所望によりさらに架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種や他の成分からなる配合物を溶融混練して保護フィルム上に押し出す方法、ＰＶＡ、無機塩、ならびに所望によりさらに架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種や他の成分を含有するフィルムを公知の方法で作製してから、保護フィルムと貼り合わせる方法等が挙げられる。保護フィルム層をＰＶＡフィルム層の両側に設ける場合、保護フィルム層とＰＶＡフィルム層との間に接着層を設ける場合も、上記の積層方法やその他の公知の積層方法を適宜選択して繰り返すことにより、所望の層構成を有する積層フィルムを製造することができる。これらの中でも、ＰＶＡ、無機塩、ならびに所望によりさらに架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種や他の成分を含有する製膜原液を保護フィルム上にコートして乾燥する方法が好ましい。

　上記の製膜原液においては、ＰＶＡ１００質量部に対して無機塩を２０～１００質量部含有することが好ましく、２２～９８質量部含有することがより好ましく、２５～９５質量部含有することがさらに好ましく、４０～９３質量部含有することが特に好ましく、５５～９０質量部含有することが最も好ましい。製膜原液中のＰＶＡの濃度は、３～２０質量％の範囲内にあることが好ましい。

　こうして得られるＰＶＡフィルム層の厚みは、２～２００μｍの範囲内にあることが好ましく、１５～１５０μｍの範囲内にあることがより好ましく、２０～１００μｍの範囲内にあることがさらに好ましい。当該厚みが２μｍ未満になると柔軟性および弾力性が不足する傾向があり、２００μｍを超えると得られる積層フィルムをロール状に巻く際に巻きにくくなり取り扱い性が低下する傾向がある。

　本発明の積層フィルムの厚みは、３～３００μｍの範囲内にあることが好ましく、２０～２２５μｍの範囲内にあることがより好ましく、２８～１６０μｍの範囲内にあることがさらに好ましい。当該厚みが３μｍ未満になると柔軟性および弾力性が不足する傾向があり、３００μｍを超えるとロール状に巻く際に巻きにくくなり特に取り扱い性が低下する傾向がある。

　本発明の積層フィルムの用途に特に制限はないが、本発明の積層フィルムは、柔軟性および弾力性に優れると共に取り扱い性にも優れ、しかも親水性のポリビニルアルコールを含む層を有することにより、本発明の積層フィルムを取り除いた後に残存した積層フィルムの破片は水洗により容易に除去することができることから、配線回路を形成する際にエッチングレジスト膜の端部を折り曲げるのに使用されるクッションを形成するための材料として好ましく使用することができる。

　以下に本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
　なお、以下の実施例および比較例において採用されたＰＶＡフィルム層の水分率、硝酸マグネシウム含有量、ホウ酸含有量およびシリカ含有量；保護フィルム層の接触角；ならびに積層フィルムの取り扱い性の各測定方法を以下に示す。

［ＰＶＡフィルム層の水分率の測定方法］
　適当な大きさの積層フィルムを切り出し、質量を測定した（Ａとする）。次に、この積層フィルムを１０５℃で１２時間乾燥し、質量を測定した（Ｂとする）。さらに、乾燥後の積層フィルムを９５℃の熱水で６時間煮沸してＰＶＡフィルム層を溶解させ、残った保護フィルム層を１０５℃で１２時間乾燥し、質量を測定した（Ｃとする）。ＰＶＡフィルム層の水分率Ｈ（質量％）は、下記式で算出した。
　　　Ｈ＝１００－１００×（Ｂ－Ｃ）／（Ａ－Ｃ）

［ＰＶＡフィルム層の硝酸マグネシウム（無機塩）含有量の測定方法］
　積層フィルムから３ｇのＰＶＡフィルム層を剥離し、メタノール５００ｍＬを使用してＰＶＡフィルムから硝酸マグネシウム以外の添加剤を４時間抽出して除去し、１０５℃で１２時間乾燥し、質量を測定した（Ｄとする）。次に、乾燥したＰＶＡフィルムを３０℃の蒸留水１０００ｍＬに１時間浸漬し、硝酸マグネシウムを溶出させた。この硝酸マグネシウムが溶出した蒸留水を５０℃のエバポレーターにかけて水分を留去し、得られた硝酸マグネシウム水和物を１５０℃で１２時間乾燥し、質量を測定した（Ｅとする）。ＰＶＡフィルム層のＰＶＡ１００質量部に対する硝酸マグネシウム含有量Ｍ（質量部）は、下記式で算出した。
　　　Ｍ＝１００×Ｅ／（Ｄ－Ｅ×２５６．４０／１４８．３１）

［ＰＶＡフィルム層のホウ酸含有量の測定方法］
　積層フィルムからＰＶＡフィルム層を剥離し、ＰＶＡフィルムを１０５℃で１２時間乾燥した。乾燥後のフィルムを３００℃で焼成し、株式会社島津製作所製　原子吸光光度計「ＡＡ－６６５０Ｆ」を用いてＰＶＡフィルム層に含まれるホウ素元素量を求め、ホウ酸量に換算した。

［ＰＶＡフィルム層のシリカ含有量の測定方法］
　積層フィルムから５ｇのＰＶＡフィルム層を剥離し、蒸留水１０００ｍＬに浸漬し、９５℃で６時間煮沸して溶解させた。このＰＶＡ水溶液（シリカが分散した分散液）を遠心分離し、得られた粒子を乾燥し秤量して、シリカの含有量を求めた。

［保護フィルム層の接触角の測定方法］
　協和界面科学株式会社製「ＤｒｏｐＭａｓｔｅｒ５００」を使用し、２０℃、６５％ＲＨの環境下で、内径０．４ｍｍの針から２μＬの純水をフィルムの測定面に押し出して接触角を測定した。

［積層フィルムの取り扱い性の測定方法］
　ロール形状のフィルム保管状態を想定し、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７の１８０°引き剥がし粘着力試験に従って行った。試験環境は２０℃、６５％ＲＨとした。また、予想される粘着力の範囲を勘案して、荷重を５０ｇ／ｃｍ^２、２４時間に変更した。

［実施例１］
　平均重合度２４００、けん化度９８．７モル％のＰＶＡ１００質量部、ホウ酸１５質量部、硝酸マグネシウム６水和物１５０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量８７質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度７質量％の水溶液を、東レ株式会社製　ＰＥＴフィルム「ルミラー」（登録商標）（厚み２５μｍ、コロナ処理面の接触角４３°、非コロナ処理面の接触角６７°）のコロナ処理面上にアプリケーターを使用して流延し、８０℃で乾燥してＰＶＡフィルム層の厚みが１００μｍの積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は３０質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８４質量部）、ホウ酸含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１５．１質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は４．８ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例２］
　ＰＶＡ１００質量部に対するホウ酸の量を２５質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２９質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４３質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８３質量部）、ホウ酸含有量はＰＶＡ１００質量部に対して２４．９質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は８．６ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例３］
　ＰＶＡ１００質量部に対するホウ酸の量を５質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は３１質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４６質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８５質量部）、ホウ酸含有量はＰＶＡ１００質量部に対して５．２質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は８．５ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例４］
　ＰＶＡ１００質量部に対する硝酸マグネシウム６水和物の量を５０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量２９質量部）に変更したこと以外は、実施例１と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は１５質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して４７質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量２７質量部）、ホウ酸含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４．８質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は６．６ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例５］
　平均重合度２４００、けん化度９８．７モル％のＰＶＡ１００質量部、東亞合成株式会社製　機能性球状シリカ「ＨＰＳ－３５００」（登録商標）５質量部、硝酸マグネシウム６水和物１５０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量８７質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度１２質量％の水溶液（機能性球状シリカが分散した分散液）を、東レ株式会社製　ＰＥＴフィルム「ルミラー」（登録商標）（厚み２５μｍ、コロナ処理面の接触角４３°、非コロナ処理面の接触角６７°）のコロナ処理面上にアプリケーターを使用して流延し、８０℃で乾燥してＰＶＡフィルム層の厚みが１００μｍの積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は３１質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４２質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８２質量部）、球状シリカの含有量はＰＶＡ１００質量部に対して５質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は９．１ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例６］
　ＰＶＡ１００質量部に対する機能性球状シリカの量を１０質量部に変更したこと以外は、実施例５と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は３０質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４６質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８５質量部）、球状シリカの含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１０質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は８．８ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例７］
　平均重合度２４００、けん化度９８．７モル％のＰＶＡ１００質量部、ホウ酸１５質量部、東亞合成株式会社製　機能性球状シリカ「ＨＰＳ－３５００」（登録商標）５質量部、硝酸マグネシウム６水和物１５０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量８７質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度７質量％の水溶液（機能性球状シリカが分散した分散液）を、東レ株式会社製　ＰＥＴフィルム「ルミラー」（登録商標）（厚み２５μｍ、コロナ処理面の接触角４３°、非コロナ処理面の接触角６７°）のコロナ処理面上にアプリケーターを使用して流延し、８０℃で乾燥してＰＶＡフィルム層の厚みが１００μｍの積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２９質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８４質量部）、ホウ酸含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１５．０質量部、球状シリカの含有量はＰＶＡ１００質量部に対して５質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は３．７ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例８］
　ＰＶＡ１００質量部に対する機能性球状シリカの量を１０質量部に変更したこと以外は、実施例７と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は３０質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８４質量部）、ホウ酸含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１５．２質量部、球状シリカの含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１０質量部であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は４．５ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［比較例１］
　実施例１で使用したのと同じ水溶液を金属ロール上に流延し、８０℃で乾燥して厚みが１００μｍの単層フィルムを得た。
　この単層フィルムを分析したところ、水分率は３１質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４７質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８５質量部）、ホウ酸含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１５．０質量部であった。この単層フィルムの取り扱い性の評価を試みたところ、ブロッキングして材破し、評価できなかった。

［比較例２］
　実施例６で使用したのと同じ水溶液を金属ロール上に流延し、８０℃で乾燥して厚みが１００μｍの単層フィルムを得た。
　この単層フィルムを分析したところ、水分率は３０質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８４質量部）、球状シリカの含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１０質量部であった。この単層フィルムの取り扱い性の評価を試みたところ、ブロッキングして材破し、評価できなかった。

［比較例３］
　平均重合度２４００、けん化度９８．７モル％のＰＶＡ１００質量部、硝酸マグネシウム６水和物１５０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量８７質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度７質量％の水溶液を用いて、比較例１と同様にして単層フィルムを得た。
　この単層フィルムを分析したところ、水分率は３０質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４８質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８６質量部）であった。この単層フィルムの取り扱い性の評価を試みたところ、ブロッキングして材破し、評価できなかった。

［実施例９］
　平均重合度２４００、けん化度９９．９モル％のＰＶＡ１００質量部、硝酸マグネシウム６水和物１１０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量６４質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度１２質量％の水溶液を、東レ株式会社製　ＰＥＴフィルム「ルミラー」（登録商標）（厚み２５μｍ、コロナ処理面の接触角４３°、非コロナ処理面の接触角６７°）のコロナ処理面上にアプリケーターを使用して流延し、８０℃で乾燥してＰＶＡフィルム層の厚みが１００μｍの積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２１質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１０７質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量６２質量部）であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は１０．６ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例１０］
　平均重合度３５００、けん化度９９．５モル％のＰＶＡ１００質量部、硝酸マグネシウム６水和物１３０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量７６質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度６質量％の水溶液を用いて、実施例９と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２５質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１２５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量７３質量部）であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は６．４ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［実施例１１］
　平均重合度５５００、けん化度９９．６モル％のＰＶＡ１００質量部、硝酸マグネシウム６水和物１４０質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量８１質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度４質量％の水溶液を用いて、実施例９と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２６質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１３４質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量７８質量部）であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は７．３ｍＮ／１０ｍｍであり、良好であった。

［比較例４］
　平均重合度１０００、けん化度９８．５モル％のＰＶＡ１００質量部、硝酸マグネシウム６水和物１００質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量５８質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度１４質量％の水溶液を用いて、実施例９と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２１質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して９５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量５５質量部）であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は１５．４ｍＮ／１０ｍｍであり、剥離が難しかった。

［比較例５］
　平均重合度１７００、けん化度９８．７モル％のＰＶＡ１００質量部、硝酸マグネシウム６水和物１００質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）量５８質量部）、およびトリエトキシドデカンスルホン酸ナトリウム０．１質量部を含有する、ＰＶＡ濃度１２質量％の水溶液を用いて、実施例９と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２１質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して９５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量５５質量部）であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は１３．０ｍＮ／１０ｍｍであり、剥離が難しかった。

［比較例６］
　実施例９で使用したのと同じ水溶液を金属ロール上に流延し、８０℃で乾燥して厚みが１００μｍの単層フィルムを得た。
　この単層フィルムを分析したところ、水分率は２２質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１０６質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量６２質量部）であった。この単層フィルムの取り扱い性の評価を試みたところ、ブロッキングして材破し、評価できなかった。

［実施例１２］
　ホウ酸を添加しなかったこと以外は、実施例１と同様にして積層フィルムを得た。
　この積層フィルムを分析したところ、ＰＶＡフィルム層の水分率は２９質量％、硝酸マグネシウム６水和物（無機塩水和物）の含有量はＰＶＡ１００質量部に対して１４５質量部（硝酸マグネシウム（無機塩）含有量８４質量部）であった。この積層フィルムの取り扱い性を評価したところ、粘着力は１１．４ｍＮ／１０ｍｍであり、剥離に若干難があったものの剥離することは可能であった。

　以上の結果を、表１にまとめて示す。

　本発明によれば、無機塩を含有するＰＶＡフィルム層の粘着性が、架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有するか、または架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有しない場合であっても重合度が２３００以上のＰＶＡを含有することによって低下するとともに、保護フィルム層を有する構成となっているので、ブロッキングが防止され、取り扱い性が向上した積層フィルムが提供される。本発明の積層フィルムは、エッチングレジスト膜の端部を折り曲げるクッションを形成するための材料として好ましく使用することができる。

Claims

　ポリビニルアルコールフィルム層と保護フィルム層とからなる積層フィルムであって、当該ポリビニルアルコールフィルム層は、
（１）架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種、ポリビニルアルコールならびに無機塩を含有するか、または、
（２）重合度が２３００以上のポリビニルアルコールおよび無機塩を含有する、
積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層が、ポリビニルアルコール１００質量部に対して無機塩を２０～１００質量部含有する、請求項１に記載の積層フィルム。
　前記無機塩が硝酸マグネシウムである、請求項１または２に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層が架橋剤を含有し、当該架橋剤がホウ酸である、請求項１～３のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層が、ポリビニルアルコール１００質量部に対してホウ酸を１～３０質量部含有する、請求項４に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層が、前記ポリビニルアルコール１００質量部に対して前記シリカを０．１～１５質量部含有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層の水分率が１０～４０質量％である、請求項１～６のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層が架橋剤およびシリカからなる群から選ばれる少なくとも１種を含有し、前記ポリビニルアルコールの重合度が１５００以上である、請求項１～７のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールのけん化度が９７モル％以上である、請求項１～８のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層がさらに界面活性剤を含有する、請求項１～９のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　積層フィルムの一方の表面に前記ポリビニルアルコールフィルム層が配置され、もう一方の表面に前記保護フィルム層が配置されている、請求項１～１０のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　前記ポリビニルアルコールフィルム層および前記保護フィルム層の２層のみからなる、請求項１１に記載の積層フィルム。
　前記保護フィルム層において、表面でない側の面の、水に対する接触角が５０°以下であり、かつ表面側の面の、水に対する接触角が６０°以上である、請求項１１または１２に記載の積層フィルム。
　前記保護フィルムがポリエステルフィルムである、請求項１～１３のいずれか１項に記載の積層フィルム。
　エッチングレジスト膜の端部を折り曲げるクッション形成用積層フィルムである、請求項１～１４のいずれか１項に記載の積層フィルム。