WO2009030494A2 - Halterungsvorrichtung für scheibenartige substrate wie solarzellenwafer - Google Patents

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Lutz Redmann
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    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • the invention relates to a Garrungsvor ⁇ chtung for disc-like substrates such as solar cell wafer, with at least one comb-like holder with an elongated web on which over its longitudinal extent (X-axis) towards a plurality of equidistantly spaced comb elements is provided, each perpendicular to the longitudinal extent of the web (Z-axis) protrude over an equal height and each corresponding to the width of the elongated web perpendicular (Y-axis) to the plane formed by the X and Z axis have an identical total depth t, wherein between the respective facing each other
  • At least one recess for the supported solar cell wafer is formed with a Um ⁇ ßkontur whose central axis extends in the direction of the Z-axis and a contact surface and a Fuhrungsflache, which are arranged both to each other and parallel to the central axis of the recess for the in the recess has held to be received solar cell wafer
  • a Garrungsvor ⁇ chtung in the form of a Ubertragungsusion having a plurality each at the same distance to each other located recesses in the form of Ubertragungs ⁇ llen, in each of which a In the totallysrandabschmtt each Ubertragungs ⁇ lle a Wegnlochformiger cavity is provided which can hold only a chip component Since the radial length of the cavity is shorter than the long side of the chip component, A portion of the chip component contained in the cavity protrudes from the peripheral surface side of the transmission disk.
  • a step in the lower surface between the cavity and the transmission portion is smaller than the width of the short side of the transmission disk Chip Component This controls the movement of successive chip components toward the outer diameter of the transfer disk
  • the invention is based on the object for disk-like substrates such as solar cell wafers Halterungsvor ⁇ chtung with at least one comb-like holder available, each with any narrow to be produced support gap between each adjacent comb elements for a secure recording and holding each to be supported solar cell wafer both a defined side of a comb element, as well as in a defined height in the comb-like holder in a technically simple and economical way to make is also allow the inventive mounting device a backlash-free fixation of her salaried solar cell wafer
  • Supporting gap has to be included in the solar cell wafer, with in the direction of the X-axis arbitrary width of two mutually offset in the direction of the X-axis recesses, which have an outline contour U 1 and u, and whose depth t ( or t 7 is smaller than the total depth t ges j E ach comb member, said depth t 1 and t 2, the depth j J in each case the
  • Investment plan is to bring into abutment and in the same time there is a tolerance match between the surface of the solar cell wafer facing away from the contact surface and the guide surface of the outline contour u s of the support gap parallel to the contact surface.
  • the depth t ] and the depth t, the first recess or the second recess between the respective mutually adjacent comb elements are equal and the acute angle ⁇ is in the range of 46 ° to 50 °, depending on the material pairing of the comb-like holder and the solar cell wafer
  • the width of the mounting gap is - measured in the direction of the X-axis - equal to the thickness of the solar cell wafer plus the tolerance clearance
  • the outline contour u s of the support gap can expand in a funnel-shaped opposite to the direction of introduction of the solar cell wafer in an opening region by - seen in the longitudinal section of the comb-like holder - each of the opening area limiting surfaces of the Fuhrungs simulation and to the contact surface of the outline u s of the support gap are at an acute angle ß or ⁇ in the range of 18 "to 22" or in the range of 13 "to 17" outwardly guided by the Fuhrungsthesis or the contact surface, wherein the opening region of the outline contour U 1 or u "the first or the second recess, which has the web-side groove, is designed stephole-shaped
  • the lower long edge of the web of the comb-like holder for perpendicular to the contact surface of the outline u Retaining gap be inclined at an acute angle of 3 °
  • each comb-like holder of the Garrungsvor ⁇ chtung by machining a blank the z B consists of a flexible plastic, light metal or an alloy of the latter and having the outer dimensions of the manufacturing comb-like holder, manufactured such that by means of a single Fraswerkmaschines the Fraskontur the comb-like holder first partly from the one longitudinal side of the blank in the direction of the Y-axis to the depth t ( and after subsequent rotation of the partially blanked blank by 180 ° about the Z-axis from the other longitudinal side of the fretting contour in the direction of the Y - axis
  • a simultaneous machining of the blank for the production of the comb-like holder from its two longitudinal sides by means of a correspondingly to be positioned Fraswerkmaschinees is also possible
  • the comb-like holder according to the invention can also be formed from two components to be produced at the same time, the outline contour of which is in each case the outline contour u of a
  • the comb-like holder of the invention In contrast to the conventional production of the fraskontur of a holder for thin parallel substrates, such as silicon wafers, using a Frastechnikmaschinees in one operation, wherein the width of the support gap for each silicon wafer is defined by the thickness of Frastechnikmaschinees, the comb-like holder of the invention
  • the frictional contour of the comb-like holder a plan concerns all in the latter to be supported solar cell wafer both on a defined side of the outline contour of the support gap u ⁇ and in a defined height of the latter ensures the comb-like holder of the invention
  • Mounting device for disc-shaped substrates such as solar cell wafers is thus technically relatively simple and economical to manufacture with a support gap of any width
  • the holding device according to the invention can have a paired arrangement of the comb-like holder, wherein the elongate webs of the two identically formed comb-like holders are arranged spaced apart parallel and in the long profile exactly aligned with each other for receiving the solar cell wafers.
  • At least one further comb-like holder can be provided Controlled longitudinally relative to the other comb-like holders so move is that held in the mutually corresponding support columns of the two fixed comb-like holder and the movable comb-like holder solar cell wafer from the respective contact surface Um ⁇ ßkontur the respective corresponding support gap of the two comb-like holder and the Fuhrungsflache the Outline contour of the corresponding support gap of the movable comb-like holder is to be fixed in a play-free position
  • the elongate web of each of the two spaced apart and identically formed comb-like holder be einstuckig formed with a latter connecting base, in the upper surface centrally between the two comb-like holders a running in the longitudinal direction guide is provided, in which the elongated web of the displaceable comb-like holder with its lower long edge parallel and guided in the long profile in alignment with the respective elongated web of the two outer comb-like holder slidably guided
  • the slidable comb-like holder In the position of the solar cell wafer fixed without play by the comb-like holders, the slidable comb-like holder is appropriately displaced in the longitudinal direction with respect to the other comb-like holders to the plane defined by the abutment surfaces of the respective support gap of the two comb-like holders by a distance is equal to the tolerance game that is given between the flat surfaces of the solar cell wafer facing away from the contact surfaces and the Fuhrungsflache parallel to the contact surfaces of the outline contour u ⁇ of the holding gap of each of the stationary comb-like holder
  • the elongated comb-like web of the movable comb-like holder may be formed identically to the elongate web of the stationary comb-like holder.
  • the holding gaps of the elongate web of the displaceable comb-like holder may be U-shaped, as seen in longitudinal section
  • FIG. 1 is a plan view of a longitudinal side of a comb-like holder of an embodiment of the holding device
  • FIG. 2 is a sectional view of a detail shown in FIG. 1 at the left end of the comb-like holder, showing a solar cell wafer in a holding gap.
  • FIG. 2 is a sectional view of a detail shown in FIG. 1 at the left end of the comb-like holder, showing a solar cell wafer in a holding gap.
  • FIG. 3 is a perspective view of the marked in Figure 1 detail of the comb-like holder, seen in the direction from the left front on the longitudinal side of the comb-like holder,
  • Fig. 4 is a perspective view of the marked in Figure 1 detail of the comb-like holder seen from the right on the longitudinal side of the comb-like holder, and
  • Fig. 5 is a view of a section perpendicular to the longitudinal direction of another embodiment of the comb-like holder, which is composed of two components, and
  • FIG. 6 shows a perspective view of a further embodiment of the holding device with a solar cell wafer in a held position, in which the solar cell wafer is fixed without play
  • a first embodiment of the support device for disc-like substrates such as solar cell wafer 2 is to be designed by two identically shaped comb-like holder 1 of the type shown in FIGS. 1 to 4, which are spaced apart parallel to each other and exactly aligned with each other in the long profile.
  • the distance between the two comb-like holders may be smaller than the length of the lower edge 21 of the solar cell wafer 2, which is to be supported in mutually corresponding support columns 9 of the webs 3 of the two comb-like holders 1
  • the comb-like holder 1 has a web 3, on which over its longitudinal extension in the direction of the X-axis towards a plurality of equally spaced comb elements 4 is provided
  • the comb elements 4 project respectively in the direction of Z-axis perpendicular to the longitudinal extent of the web 3 up an equal height and each have according to the width b of the elongated web 3 perpendicular - in the direction of the Y-axis - to the plane formed by the X and Z axis an identical total depth t tot
  • first recess 5 with an outline contour u A] and a second recess 6 with a first recess 5
  • a support gap 9 of any width b H outline outline u s to form which has a contact surface 7 and a Fuhrungsflache 8 for the
  • the abutment surface 7 and the guide surface 8 are arranged both parallel to one another and parallel to the center axis A of the outline contour u as well as the outline contour u v of the first recess 5 and the second recess 5 and 6, respectively, the central axis A in FIG extends substantially in the direction of the Z-axis
  • the outline contour u A2 of the second recess 6 has on the web side a groove 10 with an inclined web-side surface portion 1 1, which lies in a plane 12 to the plane 13 of the contact surface 7 of the outline contour
  • Angle ⁇ inclined proceeds Depending on the material pairing of the web 3 and the solar cell wafer 2, the angle ⁇ can be chosen and in the range of 46 ° to 50
  • the outline contour u of the support gap 9 widens in a funnel shape opposite to the direction of insertion R 1 of the solar cell wafer 2 into the support gap 9 into an opening region 15 of the outline contour u A
  • the first recess 5 between the corresponding adjacent comb elements 4 This opening region 15 is - as seen in longitudinal section of the comb-like holder 1 ( Figure 2) - limited by surfaces 16 and 17 of the adjacent comb elements, the guide surface 8 and the contact surface 7 of the outline contour u s of the mounting gap 9 adjacent to the surface 16 and the flat 17 are preferably ß at an acute angle or ⁇ according außwarts to Fuhrungsflache 8 respectively for abutment surface 7 guided, the "or in the range 18 ° to 22 ° in the range of 13 ⁇ to 17
  • the opening region of the outline contour u 1 of the second recess 6, which has the web-side groove 10, is designed in the form of a stepped hole
  • FIG. 6 shows an embodiment of the holding device with which the solar cell wafer 2 supported by the latter is to be fixed in a play-free position.
  • identical comb-like holders 1 are provided in parallel and at a distance, the elongate web 3 of which is below each one-piece with a base part connecting the latter Formed in the upper surface of the base member 24 is centrally between the two stationary comb-like holders 1 extending in the longitudinal direction Fuhrung in which the elongated web 3 of a movable comb-like holder 27 with its lower long edge 18 parallel and controlled in the long profile in alignment with the respective elongate web 3 of the two outer comb-like holder 1 is guided back and forth displaceable, as indicated by the double arrow 26 in Figure 6, the displacement of the movable comb-like holder 27 in the longitudinal direction from a home position in which, for the solar cell wafer 2, the corresponding support gap 9 of the slidable comb-like holder 27 is in alignment with the respective respective support gap 9 of the two outward

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Halterungsvorrichtung für Solarzellenwafer (2), mit mindestens einem kammartigen Halter (1) mit einem langgestreckten Steg (3), an dem über dessen Längserstreckung hin eine Vielzahl in gleichem Abstand zueinander angeordneter Kammelemente (4) vorgesehen ist, wobei zwischen den jeweils einander zugewandten Flächen benachbarter Kammelemente (4) mindestens eine Ausnehmung (5 bzw 6) gebildet, die eine Anlagefläche (7) und eine Führungsfläche (8) für den in der Ausnehmung (5 bzw 6) aufzunehmenden Solarzellenwafer (2) aufweist. Zur sicheren Aufnahme und Halterung des Solarzellenwafers in der Halterungsvorrichtung ist zwischen den jeweils benachbarten Kammelementen (4) des langgestreckten Stegs (3) des mindestens einen kammartigen Halters (1) ein Halterungsspalt (9), dessen Umrißkontur (us) die Anlagefläche (7) und die Führungsfläche (8) aufweist, mit beliebiger Breite (bH) von zwei zueinander versetzten Ausnehmungen (5 und 6) gebildet ist, deren Tiefe (t1) bzw (t2) jeweils kleiner ist als die Gesamttiefe (tges) jedes Kammelementes (4) ist, wobei die Tiefe (t1) und die Tiefe (t2) zusammen jeweils die Gesamttiefe (tges) jedes Kammelementes (4) bilden und die Umrißkontur (uA1 oder uA2) der Ausnehmungen (5 bzw 6) stegseitig eine Auskehlung (10) mit einem geneigten stegseitigen Flächenabschnitt (11) aufweist, der in einer Ebene (12) liegt, die zur Ebene (13) der Anlagefläche (7) der Umrißkontur (us) des Halterungsspaltes (9) geneigt verläuft derart, daß bei Ineingriffkommen der Unterkante (21) des Solarzellenwafers (2) mit dem geneigten Flachenabschnitt (11) der Auskehlung (10) der Umrißkontur (uA1 oder uA2) auf diesem Schwerkraft bedingt in eine vorbestimmte Position gleitend zu versetzen ist, in der der Solarzellenwafer (2) bei Drehung des kammartige Halters (1) um einen vorbestimmten spitzen Winkel (φ) zur Lotrechten auf die Anlagefläche (7) der Umrißkontur (us) des Halterungsspaltes (9) mit seiner letzterer zugewandten Fläche (13) an der Anlagefläche (7) plan in Anlage zu bringen ist und in der zugleich ein Toleranzspiel (14) zwischen der der Anlagefläche (7) abgewandten Fläche (22) des Solarzellenwafers (2) und der zur Anlagefläche (7) parallel verlaufenden Führungsflache (8) der Umrißkontur (us) des Halterungsspaltes (9) gegeben ist.

Description

Halterungsvorrichtung für scheibenartige Substrate wie Solarzellenwafer
Die Erfindung betrifft eine Halterungsvorπchtung für scheibenartige Substrate wie Solarzellenwafer, mit mindestens einem kammartigen Halter mit einem langgestreckten Steg, an dem über dessen Langserstreckung (X-Achse) hin eine Vielzahl in gleichem Abstand zueinander angeordneter Kammelemente vorgesehen ist, die jeweils zur Langserstreckung des Stegs senkrecht (Z-Achse) über eine gleiche Hohe emporragen und jeweils entsprechend der Breite des langgestreckten Stegs senkrecht (Y-Achse) zu der von der X- und der Z-Achse gebildeten Ebene eine identische Gesamttiefe t aufweisen, wobei zwischen den jeweils einander zugewandten
Flachen benachbarter Kammelemente mindestens eine Ausnehmung für den gehaltert aufzunehmenden Solarzellenwafer mit einer Umπßkontur gebildet ist, deren Mittelachse in Richtung der Z-Achse verlauft und die eine Anlageflache und eine Fuhrungsflache, die sowohl zueinander als auch parallel zur Mittelachse der Ausnehmung angeordnet sind, für den in der Ausnehmung gehaltert aufzunehmenden Solarzellenwafer aufweist
Bei einer aus der DE 199 13 134 Al bekannten Ubertragungsvorrich'tung für Chipkomponenten mit rechteckiger Quaderform ist eine Halterungsvorπchtung in Form einer Ubertragungsscheibe vorgesehen, die über ihren Umfang eine Vielzahl jeweils im gleichen Abstand zueinander befindliche Ausnehmungen in Form von Ubertragungsπllen aufweist, in denen jeweils ein quaderförmiges Chipelement mittels Luftansaugung zu haltern und bei Drehung der Ubertragungsscheibe an eine andere Handhabungsposition zu bewegen ist In dem Umfangsrandabschmtt jeder Ubertragungsπlle ist eine stufenlochformiger Hohlraum vorgesehen, der nur eine Chipkomponente halten kann Da die radiale Lange des Hohlraums kurzer als die lange Seite der Chipkomponente ist, steht ein Teil der Chipkomponente, die in dem Hohlraum enthalten ist, von der Umfangsoberflachenseite der Ubertragungsscheibe vor Eine Stufe in der unteren Oberflache zwischen dem Hohlraum und der Ubertragungsπlle ist kleiner als die Breite der kurzen Seite der Chipkomponente Hierdurch wird die Bewegung aufeinanderfolgender Chipkomponenten in Richtung zu dem äußeren Durchmesser der Ubertragungsscheibe geregelt Weiterhin ist bei einer aus der DE 199 06 805 B4 bekannten Vorrichtung zum Transportieren von zu bearbeitenden Substraten wie Wafern eine Lageanderungsvorπchtung vorgesehen, die ein Paar zueinander beabstandeter und im wesentlichen rechteckfbrmiger Halter aufweist, zwischen denen die Wafer anzuordnen sind Jeder Halter ist dabei auf der dem anderen Halter zugewendeten Seite in angemessenen Abstanden mit einer Vielzahl Haltenuten versehen, um die Wafer einzeln zu halten Die Haltenuten weisen im wesentlichen V-formigen Querschnitte auf, deren Offnungsseiten so aufgeweitet sind, daß soweit wie möglich eine Berührung von Haltenuten und Wafern verhindert wird
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für scheibenartige Substrate wie Solarzellenwafer eine Halterungsvorπchtung mit mindestens einem kammartigen Halter zur Verfügung zu stellen, der mit jeweils beliebig eng zu fertigendem Halterungsspalt zwischen jeweils benachbart angeordneten Kammelementen für eine sichere Aufnahme und Halterung des jeweils zu halternden Solarzellenwafers sowohl an einer definierten Seite eines Kammelementes, als auch in einer definierten Hohe in dem kammartigen Halter auf technisch einfache und ökonomische Weise zu gestalten ist Zudem soll die erfindungsgemaße Halterungsvorrichtung eine spielfreie Fixierung der von ihr gehalterten Solarzellenwafer ermöglichen
Diese Aufgabe wird erfindungsgemaß dadurch gelost, daß zwischen jeweils zwei benachbarten Kammelementen des langgestreckten Stegs des mindestens einen kammartigen Halters ein Halterungsspalt, dessen Umrißkontur u^ die Anlageflache und die Fuhrungsflache für den im
Halterungsspalt aufzunehmenden Solarzellenwafer aufweist, mit in Rjchtung der X-Achse beliebiger Weite von zwei in Richtung der X-Achse zueinander versetzten Ausnehmungen gebildet ist, die eine Umrißkontur U1 bzw u., aufweisen und deren Tiefe t( bzw t7 jeweils kleiner ist als die Gesamttiefe t ges j Jedes Kammelementes ist, wobei die Tiefe t 1 und die Tiefe t 2 j Jeweils die
Gesamttiefe tws jedes Kammelementes bilden und die Umrißkontur U1 oder u, stegseitig eine Auskehlung mit einem geneigten stegseitigen Flachenabschnitt aufweist, der in einer Ebene liegt, die zur Ebene der Anlageflache des Halterungsspaltes unter einem spitzen Winkel α geneigt verlauft derart, daß der in den Halterungsspalt einzuführende Solarzellenwafer bei Ineingπffkom- men seiner Unterkante mit dem geneigten Flächenabschnitt der Auskehlung der Umrißkontur U1 oder u2 auf diesem Schwerkraft bedingt unter Überwindung der Haftreibung in eine vorbestimmte gleitend Position zu versetzen ist, in der der Solarzellenwafer bei Drehung des kammartigen Halters um einen vorbestimmten spitzen Winkel zur Lotrechten auf die Umrißkontur us des Halterungsspaltes mit seiner seiner letzteren zugewandten Flache an der
Anlageflache plan in Anlage zu bringen ist und in der zugleich ein Toleranzspiel zwischen der der Anlageflache abgewandten Flache des Solarzellenwafers und der zur Anlagefläche parallel verlaufenden Fuhrungsfläche der Umrißkontur us des Halterungsspaltes gegeben ist.
Vorzugsweise sind die Tiefe t] und die Tiefe t, der ersten Ausnehmung bzw der zweiten Ausnehmung zwischen den jeweils zueinander benachbarten Kammelementen gleich und der spitze Winkel α ist in Abhängigkeit von der Werkstoffpaarung des kammartigen Halters und des Solarzellenwafers im Bereich von 46° bis 50° zu wählen Die Breite des Halterungsspaltes ist - gemessen in Richtung der X-Achse - gleich der Dicke des Solarzellenwafers plus dem Toleranzspiel
Die Umrißkontur us des Halterungsspaltes kann sich entgegengesetzt zu der Einfuhrungsrichtung des Solarzellenwafers trichterförmig in einen Offnungsbereich erweitern, indem - gesehen im Längsschnitt des kammartigen Halters - jeweils die den Offnungsbereich begrenzenden Flachen, die an die Fuhrungsfläche und an die Anlageflache der Umrißkontur us des Halterungsspaltes angrenzen, unter einem spitzen Winkel ß bzw γ im Bereich von 18" bis 22" bzw im Bereich von 13" bis 17" nach außwärts von der Fuhrungsfläche bzw von der Anlageflache gefuhrt sind, wobei der Offnungsbereich der Umrißkontur U1 oder u„ der ersten oder der zweiten Ausnehmung, die die stegseitige Auskehlung aufweist, stufenlochfόrmig gestaltet ist
Um in geeigneter Weise für eine planes Anliegen jedes Solarzellenwafers an der Anlageflache der Umrißkontur us des entsprechenden Halterungsspaltes zu sorgen, kann die untere Langskante des Stegs des kammartigen Halters zur Lotrechten auf die Anlageflache der Umrißkontur u^ des Halterungsspaltes unter einem spitzen Winkel von 3° geneigt sein
Bevorzugt ist jeder kammartige Halter der Halterungsvorπchtung durch Bearbeitung eines Rohlings, der z B aus einem flexiblen Kunststoff, aus Leichtmetall oder einer Legierung des letzteren besteht und die Außenabmessungen des fertigenden kammartigen Halters aufweist, derart hergestellt, daß mittels eines einzigen Fraswerkzeugs die Fraskontur des kammartigen Halters zunächst teilweise von der einen Längsseite des Rohlings aus in Richtung der Y-Achse bis zu der Tiefe t( und nach anschließender Drehung des teilgefrasten Rohlings um 180° um die Z- Achse von dessen anderen Längsseite aus die Fraskontur in Richtung der Y - Achse bis zur Tiefe t„ vollkommen gefertigt ist Eine gleichzeitige Bearbeitung des Rohlings zur Herstellung des kammartigen Halters von dessen beiden Längsseiten aus mittels je eines entsprechend zu positionierenden Fraswerkzeuges ist ebenfalls möglich
Der erfindungsgemaße kammartige Halter kann auch aus zwei gleichzeitig herzustellende Bauteile gebildet sein, deren Umrißkontur leweils der Umrißkontur u der bei einem
Längsschnitt des kammartigen Halters definierten beiden Schnitteile des letzteren entspricht, wenn die Ebene des Längsschnitts parallel zur X-Achse bei y = t bzw y = t es - t2 verlauft, und die an ihren einander zugewandten Längsseiten plan aneinanderliegend losbar miteinander verschraubt sind
Im Gegensatz zur herkömmlichen Fertigung der Fraskontur eines Halters für dünne parallel angeordnete Substrate, wie z B Siliziumwafer, mittels eines Fraswerkzeuges in einem Arbeitsgang, bei dem die Breite des Halterungsspaltes für jeden Siliziumwafer durch die Dicke des Fraswerkzeuges definiert ist, ist der kammartigen Halter der erfindungsgemaßen Halterungsvorrichtung mit einem beliebig engen Halterungsspalt zu fertigen Zudem ist durch die Fraskontur des kammartigen Halters ein planes Anliegen aller in letzterem zu halternden Solarzellenwafer sowohl an einer definierten Seite der Umrißkontur des Halterungsspaltes u^ als auch in einer definierten Hohe des letzteren gewährleistet Der kammartige Halter der erfindungsgemaßen Halterungsvorrichtung für scheibenförmige Substrate wie Solarzellenwafer ist somit mit einem Halterungsspalt beliebiger Breite technisch verhältnismäßig einfach und ökonomisch zu fertigen
Die erfindungsgemaße Halterungsvorrichtung kann eine paarweise Anordnung des kammartigen Halters aufweisen, wobei die langgestreckten Stege der beiden identisch ausgebildeten kammartigen Halter mit Abstand zueinander parallel und im Langsprofil exakt zueinander ausgerichtet zwecks Aufnahme der Solarzellenwafer anzuordnen sind Geeigneterweise kann mindestens ein weiterer kammartigen Halter vorgesehen sein, der in Längsrichtung relativ zu den anderen kammartigen Haltern gesteuert so zu verschieben ist, dass der in den einander entsprechenden Halterungsspalten der beiden ortsfesten kammartigen Halter und des verschiebbaren kammartigen Halters gehalterte Solarzellenwafer von der jeweiligen Anlageflache der Umπßkontur des jeweiligen entsprechenden Halterungsspaltes der beiden kammartigen Halter und der Fuhrungsflache der Umrißkontur des entsprechenden Halterungsspaltes des verschiebbaren kammartigen Halters in einer spielfreien Position zu fixieren ist
Bevorzugt kann der langgestreckte Steg jedes der beiden zueinander beabstandeten und identisch ausgebildeten kammartigen Halter einstuckig mit einem letztere verbindenden Basisteil ausgebildet sein, in dessen oberer Flache mittig zwischen den beiden kammartigen Haltern eine in deren Längsrichtung verlaufende Fuhrung vorgesehen ist, in der der langgestreckte Steg des verschiebbaren kammartigen Halters mit seiner unteren Langskante parallel und im Langsprofil in Ausrichtung zu dem jeweiligen langgestreckten Steg der beiden aussenhegenden kammartigen Halter gesteuert verschiebbar gefuhrt ist
In der von den kammartigen Haltern spielfrei fixierten Position des Solarzellenwafers ist der verschiebbare kammartige Halter geeigneterweise in Längsrichtung in Bezug zu den anderen kammartigen Haltern zur Ebene, die von den Anlageflachen des jeweiligen Halterungsspaltes der beiden kammartigen Halter aufgespannt ist, um eine Strecke hin verschoben, die gleich dem Toleranzspiel ist, das zwischen der den Anlageflachen abgewandten Flache des Solarzellenwafers und der zu den Anlageflachen parallel verlaufenden Fuhrungsflache der Umrißkontur u^ des Haltespaltes jedes der ortsfesten kammartigen Halter gegeben ist Der langgestreckte kammartige Steg des verschiebbaren kammartigen Halters kann identisch wie der langgestreckte Steg der ortsfesten kammartigen Halter ausgebildet sein Alternativ können die Halterungsspalte des langgestreckten Stegs des verschiebbaren kammartigen Halters - gesehen im Längsschnitt - U-formig ausgebildet sein
Bevorzugte Ausfuhrungsformen der erfmdungsgemaßen Halterungsvorπchtung werden nun unter Bezug auf die Zeichnungen beschrieben In diesen sind
Fig. 1 eine Aufsicht auf eine Längsseite eines kammartigen Halters einer Ausführungsform der Halterungsvorrichtung,
Fig. 2 eine Schnittansicht eines in Fig 1 am linken Enden des kammartigen Halters gekennzeichneten Details, wobei ein Solarzellenwafer in einem Halterungsspalt gezeigt ist,
Fig. 3 eine Perspektivansicht des in Fig 1 gekennzeichneten Details des kammartigen Halters, gesehen in Richtung von links vorne auf die Längsseite des kammartigen Halters,
Fig. 4 eine Perspektivansicht des in Fig 1 gekennzeichneten Details des kammartigen Halters gesehen von rechts auf die Längsseite des kammartigen Halters, und
Fig. 5 eine Ansicht eines Schnitts senkrecht zur Längsrichtung einer anderen Ausfuhrungsform des kammartigen Halters, der aus zwei Bauteilen zusammengesetzt ist, und
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Halterungsvorrichtung mit einem Solarzellenwafer in gehalterter Position, in der der Solarzellenwafer spielfrei fixiert ist
Eine erste Ausführungsform der Halterungsvorrichtung für scheibenartige Substrate wie Solarzellenwafer 2 ist durch zwei identisch ausgebildete kammartige Halter 1 der aus den Fig 1 bis 4 ersichtlichen Art zu gestalten, die mit Abstand zueinander parallel und im Langsprofil exakt zueinander ausgerichtet anzuordnen sind Der Abstand zwischen den beiden kammartigen Haltern kann kleiner sein als die Länge der Unterkante 21 des Solarzellenwafers 2, der in einander entsprechenden Halterungsspalten 9 der Stege 3 der beiden kammartigen Haltern 1 zu haltern ist
Wie aus den Fig 1 bis 4 hervorgeht, weist der kammartige Halter 1 einen Steg 3 auf, an dem über dessen Langserstreckung in Richtung der X-Achse hin eine Vielzahl in gleichem Abstand zueinander angeordneter Kammelemente 4 vorgesehen ist Die Kammelemente 4 ragen jeweils in Richtung der Z-Achse senkrecht zur Längserstreckung des Stegs 3 über eine gleiche Hohe empor und weisen jeweils entsprechend der Breite b des langgestreckten Stegs 3 senkrecht - in Richtung der Y-Achse - zu der von der X - und der Z-Achse gebildeten Ebene eine identische Gesamttiefe t ges auf
Wie besonders Fig 2 verdeutlicht, ist zwischen den jeweils benachbarten Kammelementen 4 sind eine erste Ausnehmung 5 mit einer Umrißkontur uA] und eine zweite Ausnehmung 6 mit einer
Umrißkontur u^2 vorgesehen, die in Richtung der X-Achse zueinander versetzt sind Die Tiefe t, und die Tiefe t, der ersten Ausnehmung 5 bzw der zweiten Ausnehmung 6 sind jeweils kleiner als die Gesamttiefe t jedes Kammelementes 4 und bilden zusammen jeweils die Gesamttiefe t es jedes Kammelementes 4 Die Tiefe t und die Tiefe t, der ersten Ausnehmung 5 bzw der zweiten Ausnehmung 6 können gleich sein
Durch die Versetzung der ersten Ausnehmung 4 und der zweiten Ausnehmung 5 in Richtung der X-Achse zueinander ist zwischen den jeweils benachbarten Kammelementen 4 ein Halterungsspalt 9 beliebiger Breite bH einer Umrißkontur us zu bilden, die eine Anlageflache 7 und eine Fuhrungsflache 8 für den im Halterungsspalt 9 aufzunehmenden Solarzellenwafer 2 aufweist Die Anlageflache 7 und die Fuhrungsflache 8 sind sowohl zueinander als auch parallel zur Mittelachse A der Umrißkontur u wie auch der Umrißkontur u v der ersten Ausnehmung 5 bzw der zweiten Ausnehmung 5 bzw 6 angeordnet, wobei die Mittelachse A im wesentlichen in Richtung der Z-Achse verlauft Die Breite bH des Halterungsspaltes 9 ist, gemessen in Richtung der X-Achse, gleich der Dicke d des Solarzellenwafers 2 plus einem Toleranzspiel 14 Die Umrißkontur uA2 der zweiten Ausnehmung 6 weist stegseitig eine Auskehlung 10 mit einem geneigten stegseitigen Flachenabschnitt 1 1 auf, der in einer Ebene 12 liegt, die zur Ebene 13 der Anlagefläche 7 der Umrißkontur us des Halterungsspaltes 9 unter einem vorbestimmten spitzen
Winkel α geneigt verlauft In Abhängigkeit von der Werkstoffpaarung des Stegs 3 und des Solarzellenwafers 2 kann der Winkel α im Bereich von 46° bis 50u gewählt werden
Wie aus den Fig 2 und 4 am besten ersichtlich ist, erweitert sich die Umrißkontur u des Halterungsspaltes 9 entgegengesetzt zu der Einfuhrungsrichtung R^ des Solarzellenwafers 2 in den Halterungsspalt 9 trichterförmig in einen Offnungsbereich 15 der Umrißkontur uA| der ersten Ausnehmung 5 zwischen den entsprechenden benachbarten Kammelementen 4 Dieser Offnungsbereich 15 wird - gesehen im Längsschnitt des kammartigen Halters 1 (Fig 2) - von Flachen 16 und 17 der zueinander benachbarten Kammelemente begrenzt, die an die Führungsfläche 8 bzw an die Anlageflache 7 der Umrißkontur us des Halterungsspaltes 9 angrenzen Die Flache 16 und die Flache 17 sind bevorzugt unter einem spitzen Winkel ß bzw γ nach außwarts zur Fuhrungsflache 8 bzw zur Anlageflache 7 gefuhrt, der im Bereich von 18" bis 22° bzw im Bereich von 13π bis 17" liegt Der Offnungsbereich der Umrißkontur u^ der die stegseitige Auskehlung 10 aufweisenden zweiten Ausnehmung 6 ist stufenlochformig gestaltet
Bei Ineingriffkommen der Unterkante 21 des in den Halterungsspalt 9 einzuführenden Solarzellenwafers 2 mit dem geneigten stegseitigen Flachenabschnitt 1 1 der Auskehlung 10 der Umrißkontur uΛ, der zweiten Ausnehmung 6 wird der Solarzellenwafer 2 auf dem geneigten
Flachenabschnitt 1 1 Schwerkraft bedingt unter Überwindung der Haftreibung in eine vorbestimmte Position gleitend nach unten versetzt, in der der Solarzellenwafer 2 bei Drehung des kammartigen Halters 1 um einen vorbestimmten spitzen Winkel φ zur Lotrechten auf die Anlageflache 7 der Umrißkontur us des Halterungsspaltes 9 mit seiner letzterer zugewandten
Flache 13 an der Anlageflache 7 plan in Anlage zu bringen ist und in der zugleich das Toleranzspiel 14 zwischen der der Anlageflache 7 abgewandten Flache 22 des Solarzellenwafers 2 und der zur Anlageflache 7 parallel verlaufenden Fuhrungsflache 8 der Umrißkontur us des Halteaingsspaltes 9 gegeben ist Der spitze Winkel φ betragt für gewöhnlich 3n Es ist auch möglich, für die plane Anlage des Solarzellenwafers 2 an der Anlageflache 7 bei Versetzung der Unterkante 21 des Solarzellenwafers auf dem geneigten Flachenabschnitt 1 1 der Auskehlung 10 der zweiten Ausnehmung 6 zu sorgen, indem die untere Langskante 18 des Stegs 3 des kammartigen Halters 1 von vorneherein unter dem spitzen Winkel φ = 3° geneigt zur Lotrechten auf die Anlageflache 7 der Umrißkontur us der zweiten Ausnehmung 6 gefertigt ist
Bei der aus Fig 5 hervorgehenden Ausfuhrungsform des kammartigen Halters 1 sind zwei Bauteile 19 und 20, die getrennt und gleichzeitig gefräst sein können und deren Umπßkontur u] } bzw u,. jeweils der Umπßkontur u . der bei einem Längsschnitt des kammartigen Halters 1 definierten beiden Schnittteile des letzteren entspricht, wenn die Ebene des Längsschnitts parallel zur X-Achse bei y = t bzw y = t - t, verlauft, an ihren einander zugewandten Längsseiten plan aneinanderliegend losbar miteinander befestigt
Fig 6 zeigt eine Ausfuhrungsform der Halterungsvorrichtung, mit der der von dieser gehalterte Solarzellenwafer 2 in einer spielfreien Position zu fixieren ist Bei dieser Ausfuhrungsform sind parallel und im Abstand angeordnete identische kammartige Halter 1 vorgesehen, deren langgestreckte Steg 3 unten jeweils einstuckig mit einem letztere verbindenden Basisteil 24 mit einer ebenen Unterflache 25 ausgebildet ist In der oberen Flache des Basisteils 24 ist mittig zwischen den beiden ortsfesten kammartigen Haltern 1 eine in deren Längsrichtung verlaufende Fuhrung ausgebildet, in der der langgestreckte Steg 3 eines verschiebbaren kammartigen Halters 27 mit seiner unteren Langskante 18 parallel und im Langsprofil in Ausrichtung zu dem jeweiligen langgestreckten Steg 3 der beiden aussenhegenden kammartigen Halter 1 gesteuert hin und her verschiebbar geführt ist, wie durch den Doppelpfeil 26 in Fig 6 angezeigt ist Die Verschiebung des verschiebbaren kammartigen Halters 27 in Längsrichtung aus einer Grundposition, in der zur Aufname des Solarzellenwafers 2 der entsprechende Halterungsspalt 9 des verschiebbaren kammartigen Halters 27 in Ausrichtung mit dem jeweiligen entsprechenden Halterungsspalt 9 der beiden aussenhegenden kammartigen Halter 1 ist, in die Position , in der der Solarzellenwafer 2 von den beiden kammartigen Haltern 1 und dem verschiebbaren kammartigen Halter 27 spielfrei fixiert ist, und zurück in die Grundposition kann z B durch einen Roboter gesteuert werden In der spielfrei fixierten Position des Solarzellenwafers 2 ist der verschiebbare kammartige Halter 27 aus der Grundposition in Längsrichtung in Bezug zu den beiden kammartigen Haltern 1 zur Ebene, die von den Anlageflachen 7 der jeweiligen entsprechenden Halterungsspalte 9 der beiden kammartigen Halter 1 aufgespannt ist, um eine Strecke hin verschoben, die gleich dem Toleranzspiel 14 ist, das zwischen der den Anlageflachen 7 abgewandten Flache 22 des Solarzellenwafers 2 und der zur jeweiligen Anlageflache 7 parallel verlaufenden Fuhrungsflache 8 der Umrißkontur us des Halterungsspaltes 9 jedes der beiden kammartigen Halter 1 gegeben ist
Liste der Bezugszeichen:
1 Kammartiger Halter
2 Solarzellenwafer
3 Steg
4 Kammelement
5 erste Ausnehmung
6 zweite Ausnehmung
7 Anlageflache
8 Fuhrungsflache
9 Halterungsspalt
10 stegseitige Auskehlung
1 1 stegseitiger geneigter Flachenabschnitt der Auskehlung
12 Ebene des stegseitigen Flachenabschnitts der Auskehlung
13 der Anlageflache zugewandte Flache des Solarzellenwafers
14 Toleranzspiel
15 Offnungsbereich
16 an die Anlageflache angrenzende Flache
17 an die Fuhrungsflache angrenzende Flache
18 untere Langskante des Stegs
19 erste Bauteil
20 zweite Bauteil
21 Unterkante des Solarzellenwafers
22 vorbestimmte Position auf dem stegseitigen geneigten Flachenanschnitt der Auskehlung
23 der Anlageflache abgewandte Flache des Solarzellenwafers
24 Basisteil
25 Unterflache des Basisteils 26 Doppelrichtungspfeil für die Verschiebbarkeit des verschiebbaren kammartigen Halters
27 verschiebbarer kammartiger Halter uλ Umrißkontur einer Ausnehmung
A Mittelachse der Ausnehmung mit der Umrißkontur uA uλl Umπßkontur der ersten Ausnehmung uΛ2 Umπßkontur der zweiten Ausnehmung ub Umrißkontur des Halterungsspaltes u Schnitt Umrißkontur der Schnittteile u19 Umrißkontur des ersten Bauteils u,0 Umrißkontur des zweiten Bauteils t Tiefe der ersten Ausnehmung t, Tiefe der zweiten Ausnehmung t ges Gesamttiefe des Kammelementes b Breite des Stegs bR Breite des Halterungsspaltes d Dicke des Solarzellenwafers
R^ Einfuhrungsrichtung des Solarzellenwafers in der Halterungsspalt α Neigungswinkel der Ebene des stegseitigen Flachenabschnitts ß Neigungswinkel der an die Fuhrungsflache angrenzenden Flache γ Neigungswinkel der an die Anlageflache angrenzenden Flache φ Neigungswinkel der unteren Langskante des Stegs

Claims

Patentansprüche
1. Halterungsvorπchtung für scheibenartige Substrate wie Solarzellenwafer (2) mit mindestens einem kammartigen Halter (1) mit einem langgestreckten Steg (3), an dem über dessen Langserstreckung (X-Achse) hin eine Vielzahl in gleichem Abstand zueinander angeordneter Kammelemente (4) vorgesehen ist, die jeweils zur Langserstreckung des Stegs (3) senkrecht (Z- Achse) über eine gleiche Hohe emporragen und jeweils entsprechend der Breite (b) des langgestreckten Stegs (3) senkrecht (Y-Achse) zu der von der X- und der Z- Achse gebildeten Ebene eine identische Gesamttiefe (t ) aufweisen, wobei zwischen den jeweils einander zugewandten Flachen benachbarter Kammelemente (4) mindestens eine Ausnehmung (5 bzw 6) für den gehaltert aufzunehmenden Solarzellenwafer (2) mit einer Umπßkontur (uΛ) gebildet ist, deren Mittelachse (A) in Richtung der Z-Achse verlauft und die eine Anlageflache (7) und eine Fuhrungsflache (8), die sowohl zueinander als auch parallel zur Mittelachse (A) der Ausnehmung (5 bzw 6) angeordnet sind, für den in der Ausnehmung (5 bzw 6) gehaltert aufzunehmenden Solarzellenwafer (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den jeweils benachbarten Kammelementen (4) des langgestreckten Stegs (3) des mindestens einen kammartigen Halters (1) ein Halterungsspalt (9), dessen Umrißkontur (u ) die Anlageflache (7) und die Fuhrungsflache (8) für den im Halterungsspalt (9) aufzunehmenden Solarzellenwafer (2) aufweist, mit in Richtung der X-Achse beliebiger Breite (bH) von zwei in Richtung der X-Achse zueinander versetzten Ausnehmungen (5 und 6) gebildet ist, die eine Umrißkontur (uΛ| bzw uv) aufweisen und deren Tiefe (t:) bzw (tj jeweils kleiner ist als die Gesamttiefe (t ^) jedes Kammelementes (4) ist, wobei die Tiefe (tt) und die Tiefe (t2) zusammen jeweils die Gesamttiefe (t ) jedes Kammelementes (4) bilden und die Umπßkontur (uΛ1 oder u^2) stegseitig eine Auskehlung (10) mit einem geneigten stegseitigen Flachenabschnitt ( 1 1 ) aufweist, der in einer Ebene ( 12) liegt, die zur Ebene ( 13) der Anlageflache (7) der Umrißkontur (uj des
Halterungsspaltes (9) unter einem vorbestimmten spitzen Winkel (α) geneigt verlauft derart, daß der in den Halterungsspalt (9) einzuführende Solarzellenwafer (2) bei Ineingπffkommen seiner Unterkante (21) mit dem geneigten Flachenabschnitt (1 1) der Auskehlung (10) der Umrißkontur (uA1 oder uA2) auf diesem Schwerkraft bedingt unter Überwindung der Haftreibung in eine vorbestimmte Position gleitend zu versetzen ist, in der der Solarzellenwafer (2) bei Drehung des kammartige Halters (1) um einen vorbestimmten spitzen Winkel (φ) zur Lotrechten auf die Anlageflache (7) der Umrißkontur (us) des Halterungsspaltes (9) mit seiner letzterer zugewandten Flache (13) an der Anlageflache (7) plan in Anlage zu bringen ist und in der zugleich ein Toleranzspiel (14) zwischen der der Anlageflache (7) abgewandten Flache (22) des Solarzellenwafers (2) und der zur Anlageflache (7) parallel verlaufenden Fuhrungsflache (8) der Umrißkontur (us) des Halterungsspaltes (9) gegeben ist
2. Halterungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefe (t() und die Tiefe (tj der ersten Ausnehmung (5) bzw der zweiten Ausnehmung (6) gleich sind
3. Halterungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der spitze Winkel (α), unter der die Ebene (12) des stegseitigen Flachenabschnitts (1 1) der stegseitigen Auskehlung (10) der Umrißkontur (uχ) oder uΛJ der ersten oder zweiten Ausnehmung (5 bzw
6) zur Ebene (13) der Anlageflache (7) der Umπßkontur (u.) des Halterungsspaltes (7) geneigt verlauft, in Abhängigkeit von der Werkstoffpaarung des Stegs (3) und des Solarzellenwafers (1) im Bereich von 46° bis 50υ gewählt ist
4. Halterungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite (bH) des Halterungsspaltes (9) - gemessen in Richtung der X-Achse - gleich der Dicke (d) des Solarzellenwafers (2) plus dem Toleranzspiel (14) ist
5. Kammartiger Halter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Umrißkontur (u ) des Halterungsspaltes (9) sich entgegengesetzt zu der
Einfuhrungsrichtung (R1J des Solarzellenwafers (2) in den Halterungsspalt (9) trichterförmig in einen Offnungsbereich (15) erweitert, indem - gesehen im Längsschnitt des kammartigen Halters (1 ) - in dem Offhungsbereich (15) jeweils die an die Fuhrungsflache (8) und die an die Anlageflache (7) der Umrißkontur (us) des Halterungsspaltes (9) angrenzende und den Offhungsbereich (15) begrenzenden Flachen (16 bzw 17) der zueinander benachbarten Kammelemente (14) unter einem spitzen Winkel (ß) bzw (γ), der im im Bereich von 18° bis 22° bzw im Bereich von 13° bis 17n liegt, nach außwarts gerichtet zur Fuhrungsflache (8) bzw zur Anlageflache (7) gefuhrt ist
6. Halterungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die untere Langskante (18) des Stegs (3) zur Lotrechten auf die Anlageflache (7) der
Umrißkontur (u ) des Halterungsspaltes (9) unter einem spitzen Winkel (φ) = 3" geneigt ist
7. Halterungsvorπchtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Steg (3), an dem über dessen Langserstreckung hin eine Vielzahl im gleichen Abstand zueinander angeordneter Kammelemente (14) vorgesehen ist, durch Bearbeitung eines Rohlings, der die Außenabmessungen des zu fertigenden kammartigen Halters ( 1) aufweist, hergestellt ist derart, daß mittels eines einzigen Fraswerkzeugs die Fraskontur des kammartigen Halters ( 1 ) zunächst teilweise von der einen Längsseite des Rohlings aus in Richtung der Y-Achse bis zu Tiefe (t() und nach anschließender Drehung des teilgefrasten Rohlings um 180° um die Z- Achse von dessen anderer Längsseite aus die Fraskontur in Richtung der Y-Achse bis zur Tiefe (t.,) vollkommen gefertigt ist
8. Halterungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Rohling aus Kunststoff, Leichtmetall oder einer Legierung des letzteren besteht
9. Halterungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch zwei gleichzeitig getrennt zu fräsende Bauteile (19 und 20), deren Umrißkontur (u19 bzw uw) jeweils der Umrißkontur u m der bei einem Längsschnitt des kammartigen Halters ( 1 ) definierten beiden Schnitteile des letzteren entspricht, wenn die Ebene des Längsschnitts parallel zur X- Achse bei y = tj bzw y = t es - t2 verlauft, und die an ihren einander zugewandten Längsseiten plan aneinanderliegend losbar miteinander befestigt sind
10. Halterungsvorπchtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Bauteile (19 und 20) miteinander verschraubt sind
11. Halterungsvorrichtung nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch mindestens ein Paar des kammartigen Halters (1), wobei die langgestreckte Stege (3) der beiden identisch ausgebildeten kammartigen Halter (1 ) mit Abstand zueinander parallel und im Langsprofil exakt zueinander ausgerichtet angeordnet sind
12. Halterungsvorrichtung nach Anspruch 1 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein weiterer kammartiger Halter (27) vorgesehen ist, der in Längsrichtung relativ zu den anderen kammartigen Haltern (1) gesteuert so zu verschieben ist, dass der in den einander entprechenden Halterungsspalten (9) der beiden kammartigen Halter (1) und des verschiebbaren kammartigen Halters (27) gehalterte Solarzellenwafer (2) von der jeweiligen Anlageflache (7) der Umrißkontur (us) des jeweiligen entsprechenden Halterungsspaltes (9) der beiden kammartigen Halter (1) und der Fuhrungsflache (8) der Umπßkontur (uj des entsprechenden Halterungsspaltes (9) des verschiebbaren kammartigen Halters (27) in einer spielfreien Position zu fixieren ist
13. Halterungsvorrichtung nach Anspruch 1 1 und 12, dadurch gekennzeichnet, dass der langgestreckte Steg (3) jedes der beiden zueinander beabstandeten und identisch ausgebildeten kammartigen Halter (1) einstuckig mit einem letztere verbindenden Basisteil (24) ausgebildet ist, in dessen oberer Flache mittig zwischen den beiden kammartigen Haltern (1 ) eine in deren Längsrichtung verlaufende Fuhrung vorgesehen ist, in der der langgestreckte Steg (3) des verschiebbaren kammartigen Halters (27) mit seiner unteren Langskante (18) parallel und im Langsprofil in Ausrichtung zu dem jeweiligen langgestreckten Steg (3) der beiden aussenliegenden kammartigen Halter (1 ) gesteuert hin und her verschiebbar gefuhrt ist
14 Halterungsvorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass in der von den kammartigen Haltern (1, 28) spielfrei fixierten Position des Solarzellenwafers (2) der verschiebbare kammartige Halter (28) aus seiner Grundposition, in der zur Aufnahme des Solarzellenwafers 2 der entsprechende Halterungsspalt (9) des verschiebbaren kammartigen Halters (27) in Ausrichtung mit den jeweiligen entsprechenden Halterungsspalten (9) der beiden aussenliegenden kammartigen Halter (1) ist, in Längsrichtung in Bezug zu den beiden kammartigen Haltern zur Ebene, die von den Anlageflachen (7) des jeweiligen Halterungsspaltes (9) der beiden kammartigen Halter (1) aufgespannt ist, um eine Strecke hin verschoben ist, die gleich dem Toleranzspiel ( 14) ist, das zwischen der der Anlageflache (7) abgewandten Flache (22) des Solarzellenwafers (2) und der zur Anlageflache (7) parallel verlaufenden Fuhrungsflache (8) der Umrißkontur (us) des Halterungsspaltes (9) jedes der kammartigen Halter (1) gegeben ist
15. Halterungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der langgestreckte Steg (3) der kammartigen Halter ( 1 ) und der langgestreckte Steg (3) des verschiebbaren kammartigen Halters (28) identisch ausgebildet sind
16. Halterungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterungsspalte (9) des langgestreckten Stegs (3) des verschiebbaren kammartigen Halters (28) - gesehen im Längsschnitt - U-formig ausgebildet sind
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