WO2008044495A1 - Corps de couvercle et récipient recevant des substrats - Google Patents

Description

明 細 書

蓋体及び基板収納容器

技術分野

[0001] 本発明は、半導体ゥエーハ等からなる基板を収納する容器本体の蓋体及び基板収 納容器に関するものである。

背景技術

[0002] 従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ゥェーハからなる複数枚の基板を 整列収納する容器本体と、この容器本体の開口正面部に着脱自在に嵌入される蓋 体とを備えて構成されている。この基板収納容器は、半導体部品の量産工程で半導 体ゥエーハの加工装置にセットされ、クリーン化の要求に鑑み、蓋体が加工装置の蓋 体開閉装置により自動的に開閉される（特許文献 1、 2参照)。

[0003] ところで、基板収納容器は、基本的には加工装置の蓋体開閉装置により蓋体が自 動的に開閉されるが、トラブルの発生時や試験時には、作業者により蓋体が手動で 開閉される。この場合、作業者は、専用の小さな治具を使用して容器本体から蓋体を 取り外したり、あるいは蓋体の表面に予め軸支させておいた手動操作用の開閉ハン ドルを揺動操作して容器本体から蓋体を取り外している。

特許文献 1 :特開平 11 -91864号公報

特許文献 2 :特開 2003- 174081号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] 従来における基板収納容器は、以上のように構成され、専用の小さな治具や手動 操作用の開閉ハンドルを使用して容器本体から蓋体が手動により取り外されるが、専 用の治具を使用する場合には、各工程に治具を用意しておく必要があるし、小型な ので紛失するおそれがある。また、開閉ハンドルを使用する場合には、蓋体の表面に 開閉ハンドルを予め軸支させておく必要があるので、作業に手間がかかり、しかも、 構成が煩雑であるという問題がある。

[0005] また、開閉ハンドルが可動であるので、搬送時の振動や衝撃で摺動部にパーテイク ルが発生しやすいという問題もある。さらに、蓋体の洗浄時に開閉ハンドルの軸支部 や操作用の空隙部に洗浄水が残留しやす!/、ので、洗浄後の乾燥作業に長時間を要 するおそれが少なくない。

[0006] 本発明は上記に鑑みなされたもので、手動で開閉する場合にも部品や付属品等の 紛失するおそれが少なぐ搬送時の振動や衝撃等でもパーティクルが発生しにくぐ しかも、洗浄後の乾燥作業に長時間を要することのない蓋体及び基板収納容器を提 供することを目白勺としている。

課題を解決するための手段

[0007] 本発明にお!/、ては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口部 に着脱自在に嵌め入れられるものであって、

容器本体の開口部に嵌め入れられる筐体と、この筐体に配設され、回転体の回転 に基づき筐体の周壁から出没可能に突出させた係止体を容器本体の開口部内周に 干渉させることにより筐体を施錠する施錠機構と、この施錠機構を覆うカバーと、この カバーに形成されて回転体に対向する操作窓とを含んでなることを特徴としている。

[0008] なお、施錠機構は、蓋体の筐体に回転可能に支持されて外部から操作される回転 体と、筐体に支持され、回転体の回転に伴い筐体の内外方向に往復動する複数の 連結体と、各連結体に連結され、この連結体の往復動により筐体の周壁の貫通口か ら出没する複数の係止体とを含むと良い。

また、施錠機構の回転体の操作窓との対向部に、手動操作手段を備えることが好 ましい。

[0009] また、手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられる指揷入孔とすることができ また、回転体の指揷入孔の周囲に指係合片を形成することができる。

また、手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられて操作窓から露出する操作 ノ 一とすることあでさる。

また、手動操作手段を、施錠機構の回転体に形成されるローレットとすることも可能 である。

[0010] また、本発明にお!/、ては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開 口部に請求項 1な!/、し 61/、ずれかに記載の蓋体を着脱自在に嵌め入れることを特徴 としている。

なお、容器本体の開口部の内周縁に、施錠機構の係止体に干渉される複数の係 止穴を形成することができる。

[0011] ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも口径 200mm、 300mm, 45 Ommの半導体ゥヱーハ、再生ゥエーハ、ガラスゥエーハ等が単数複数含まれる。容 器本体や基板収納容器は、透明、不透明、半透明のトップオープンボックスタイプ、 フロントオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプ、工程内用、輸送用等 を特に問うものではない。

[0012] 施錠機構は、単数複数や着脱を特に問うものではない。この施錠機構の係止体に は、爪やローラ等が含まれる。操作窓は、単数複数や形状を問うものではない。例え ば、操作窓を円弧形、円形、矩形、多角形、あるいは楕円形等とすること力 Sできる。さ らに、手動操作手段の指揷入孔 (底の有無を問わない）、指係合片、操作バー（レバ 一等を含む）は、単数複数や形状を問うものではない。

[0013] 本発明によれば、基板を収納する容器本体の蓋体を手動により開閉する場合には 、カバーの操作窓に指や棒等を揷入し、施錠機構の回転体を回せば、施錠機構が 作動して蓋体を手動により開閉することができる。

発明の効果

[0014] 本発明によれば、例え蓋体を手動で開閉する場合にも部品、付属品、専用品等が 紛失するおそれが少なぐ搬送時の振動や衝撃等でも蓋体にパーティクルが発生す るのを抑制あるいは防止することができるという効果がある。また、洗浄した蓋体の乾 燥作業の迅速化を図ることができる。

また、手動操作手段として指揷入孔を使用すれば、施錠機構の回転体に適切に指 等を引っ掛けることができるので、手動操作が容易になる。

[0015] また、手動操作手段である指揷入孔に指係合片を形成すれば、施錠機構の回転 体に指等の操作力を確実に伝達することが可能になる。

さらに、手動操作手段を、施錠機構の回転体に形成されるローレットとすれば、施 錠機構の回転体を操作する際、簡易な構成で指等が滑るのを防ぐことが可能になる 図面の簡単な説明

[0016] [図 1]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説 明図である。

[図 2]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示 す正面説明図である。

[図 3]図 2の蓋体からカバーを取り外した蓋体を模式的に示す正面説明図である。

[図 4]図 3の回転プレートが 90° 回転した状態を模式的に示す正面説明図である。

[図 5]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転プ レートを模式的に示す正面説明図である。

[図 6]図 5の回転プレートが回転した状態を模式的に示す正面説明図である。

[図 7]図 6の回転プレートが回転した状態を模式的に示す正面説明図である。

[図 8]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態におけるカバーを模式的に 示す正面説明図である。

[図 9]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第 2の実施形態における施錠機構の 回転プレートを模式的に示す斜視説明図である。

[図 10]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第 2の実施形態における施錠機構を 模式的に示す斜視説明図である。

[図 11]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第 3の実施形態における施錠機構の 回転プレートを模式的に示す斜視説明図である。

[図 12]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第 3の実施形態における施錠機構を 模式的に示す斜視説明図である。

[図 13]本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第 4の実施形態における施錠機構を 模式的に示す斜視説明図である。

符号の説明

[0017] 1 容器本体

2 開口正面部（開口部）

10 蓋体 11 筐体

14 施錠機構

15 回転プレート（回転体）

16 操作穴

19 連結プレート

21 係止爪 (係止体）

22 カバープレート（カバー)

24 操作口

30 操作窓

40 手動操作手段

41 指揷入孔

42 指係合リブ

43 操作バー

43A 操作バー

44 ローレット

発明を実施するための最良の形態

[0018] 以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態に おける基板収納容器は、図 1ないし図 8に示すように、複数枚の基板を収納する容器 本体 1と、この容器本体 1の開口正面部 2にシール状態に着脱自在に嵌入される蓋 体 10とを備え、この蓋体 10を、容器本体 1の開口正面部 2に着脱自在に嵌入される 筐体 11と、この筐体 11の表面に配設され、各回転プレート 15の回転に基づき筐体 1 1の周壁から出没可能に突出させた複数の係止爪 21を容器本体 1の開口正面部 2 内周に係止させることにより筐体 11を施錠閉鎖する複数の施錠機構 14と、筐体 11 の表面に装着されて各施錠機構 14を覆う複数のカバープレート 22と、各カバープレ ート 22に形成されて各回転プレート 15に部分的に対向する複数の操作窓 30とから 構成し、各施錠機構 14の回転プレート 15の操作窓 30との対向部には、手動操作手 段 40を備えるようにして!/、る。

[0019] 基板は、図示しないが、例えば口径 300mmの薄く丸い半導体ゥエーハ（Siゥエー ハ等）からなり、半導体ゥエーハの結晶方位の判別や位置合わせのため、周縁部の 一部が選択的かつ直線的に切り欠かれてオリフラとされたり、あるいは周縁部の一部 が略細溝形に切り欠かれてノッチとされており、容器本体 1内に 1〜25枚、又は;!〜 2 6枚整列収納される。

[0020] 容器本体 1は、図 1に示すように、所定の成形材料を使用して正面の開口したフロ ントオープンボックスタイプに射出成形される。この容器本体 1の成形材料としては、 例えばポリカーボネート、シクロォレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテル スルフォン、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂があげられ、この熱可塑 性樹脂には、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電 剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤等が適宜添加される。

[0021] 容器本体 1は、その内部背面に、基板の後部周縁を水平に嵌合保持する左右一対 のリャリテーナが突出形成され、この一対のリャリテーナが所定の間隔をおいて上下 方向に並設される。また、容器本体 1の内部両側には、基板の側部周縁を水平に支 持する左右一対のティースが突出形成され、この相対向する左右一対のティースが 所定の間隔をおいて上下方向に並設される。

[0022] 容器本体 1の底面には、平面略 Y字形、多角形、あるいは三角形等のボトムプレー トが着脱自在に装着され、このボトムプレートには、図示しない加工装置に対する断 面略 V字形の複数の位置決め具が配列して装着されており、容器本体 1の天井中央 部には、搬送ロボットに把持される平面略矩形のフランジが着脱自在に装着される。 また、容器本体 1の開口正面部 2は、図 1や図 2に示すように、外方向に張り出すよう に段差を付けて屈曲形成され、この段差の平坦な段差面が蓋体 10用のシール形成 面として機能する。

[0023] 容器本体 1の開口正面部 2の内周縁上下には、施錠機構 14の係止爪 21に嵌合す る左右一対の係止穴が所定の間隔をおいて凹み形成され、容器本体 1の左右両側 部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルノ、ンドルがそれぞれ着脱自在 に装着される。

[0024] 蓋体 10の筐体 11、複数の施錠機構 14、複数のカバープレート 22、及び手動操作 手段 40は、容器本体 1と同様の成形材料を使用して成形される。筐体 11は、図 1な いし図 4に示すように、基本的には断面略皿形を呈した正面横長の長方形に形成さ れ、中央部 12が表面側（正面側）に略矩形に隆起することにより左右の両側部が相 対的に凹み形成されるとともに、この凹んだ左右の両側部内には施錠機構 14がそれ ぞれ設置されており、周壁の上下両側には、矩形の貫通口がそれぞれ穿孔される。

[0025] 筐体 11の中央部 12は、同図に示すように、表面の上下両側に、加工装置の蓋体 開閉装置に吸着される円形の吸着領域 13が併設され、凹んだ裏面には、基板の前 部周縁を水平に嵌合保持する弾性のフロントリテーナが着脱自在に装着される。また 、筐体 11の裏面の周縁部には、断面略 U字形の嵌合保持溝がエンドレスの枠形に 形成され、この嵌合保持溝には、容器本体 1のシール形成面に圧接する弾性変形可 能なシールガスケットが嵌入される。このシールガスケットは、例えばシリコーンゴムや フッ素ゴム等を使用してエンドレスに成形される。

[0026] 各施錠機構 14は、図 3ないし図 7に示すように、筐体 11の表面に回転可能に軸支 され、蓋体 10の外部から加工装置の蓋体開閉装置により回転操作される回転プレー ト 15と、筐体 11の表面に複数のガイドピンやガイドを介しスライド可能に支持され、回 転プレート 15の回転に伴い筐体 11の上下内外方向にスライドする一対の連結プレ ート 19と、筐体 11の周壁の貫通口付近に軸支されるとともに、各連結プレート 19の 先端部に連結軸支され、連結プレート 19のスライドにより筐体 11の周壁の貫通口か ら出没する一対の係止爪 21とを備えて構成される。

[0027] 各回転プレート 15は、断面略凸字形に形成され、表面側に突出した円形の中心部 には外部操作用の操作穴 16が正面矩形に凹み形成される。この回転プレート 15は 、その外周部に略 180° の間隔をおいて一対の円弧溝 17がそれぞれ穿孔され、周 縁部には、可撓性を有する一対の湾曲片 18が略 180° の間隔をおいて付設される

[0028] 各連結プレート 19は、連結体として長方形の平板に形成され、その表面末端部の 円柱形の連結ピン 20が回転プレート 15の円弧溝 17に嵌入して連結される。このよう な連結プレート 19は、回転プレート 15がー方向に回転すると、筐体 11の上下外方 向にスライドして周壁の貫通口から容器本体 1の係止穴に嵌合する係止爪 21を突出 させ、回転プレート 15が他方向に回転すると、筐体 11の上下内方向にスライドして 係止爪 21を元の位置に復帰させる。

[0029] 各カバープレート 22は、図 1、図 2、図 8に示すように、筐体 11の各側部に対応する よう縦長に形成され、中央部上方や側部には、筐体 11やその中央部側面に着脱自 在に係合する可撓性の係合片 23が複数突出形成される。このカバープレート 22に は、回転プレート 15の操作穴 16に対向して連通する正面矩形の操作口 24が穿孔さ れ、この操作口 24を貫通した蓋体開閉装置の操作キーが回転プレート 15の操作穴 16に揷入されて回転することにより、各施錠機構 14が外部から操作される。

[0030] 複数の操作窓 30は、図 1、図 2、図 8に示すように、各カバープレート 22の略中央 部に形成されて操作口 24の左右に並べて一対配列され、各操作窓 30が正面略円 弧形に穿孔されており、回転プレート 15の表面に部分的に対向して外部からの手動 操作を許容するよう機能する。

[0031] 手動操作手段 40は、図 5ないし図 7に示すように、操作窓 30に対向する回転プレ ート 15の対向部に 180° の間隔で正面略扇形に穿孔される一対の指揷入孔 41と、 各指揷入孔 41の周縁部の一部分に突出形成される指係合リブ 42とを備えて形成さ れる。この手動操作手段 40は、容器本体 1と同様の成形材料を使用して成形される なお、操作窓 30と指揷入孔 41は、例えば SEMI規格 S8 (半導体製造装置の人間 工学エンジニアリング）に準拠する寸法に形成されることが好ましレ、。

[0032] 上記において、容器本体 1から蓋体 10を手動により取り外す場合には、各カバープ レート 22の操作窓 30内に指を揷入するとともに、手動操作手段 40の指揷入孔 41内 に指を揷入して指係合リブ 42に係合させ、回転プレート 15を任意の方向に回せば、 施錠機構 14が作動して容器本体 1の開口正面部 2に嵌合した蓋体 10を手動により 取り外すことができる。

[0033] 上記によれば、専用の小さな治具を使用しなくても、手動操作手段 40の指揷入孔

41と指係合リブ 42とを使用すれば、容器本体 1から蓋体 10を手動により簡単に取り 外すことができるので、各工程に治具を予め用意しておく必要が全くなぐしかも、治 具紛失のおそれもない。また、蓋体 10の表面に開閉ハンドルを予め軸支させておく 必要もないので、蓋体 10の開閉作業の円滑化、簡易化、迅速化、容易化を図ること ができる他、蓋体 10の構成を簡素にすることができる。また、開閉ハンドルを省略す ることができるので、搬送時の振動や衝撃で摺動部にパーティクルの発生することが ない。

[0034] また、開閉ハンドルの省略に伴い、開閉ハンドルの軸支部や操作用の空隙部に洗 浄水の残留することがないので、洗浄後の乾燥作業の迅速化を図ることが可能にな る。また、操作窓 30に対向する回転プレート 15の対向部に指揷入孔 41と指係合リブ 42とを配設するので、指の挿入が容易となり、手動操作に支障を来たすことが少ない 。また、手動操作手段 40の指揷入孔 41を使用すれば、適切に指を係止することがで きるので、手動操作が容易になる。さらに、指係合リブ 42を使用すれば、回転プレー ト 15に指の操作力を確実に伝達することが可能になる。

[0035] 次に、図 9、図 10は本発明の第 2の実施形態を示すもので、この場合には、手動操 作手段 40を、各回転プレート 15の表面に突出形成され、各カバープレート 22の操 作窓 30から露出する一対の操作バー 43とするようにしている。

[0036] 各操作バー 43は、直線的で短い長方形片あるいは正方形片に形成されて各円弧 溝 17の端部に近接配置され、作業者の指の干渉により回転プレート 15を回転させる 。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

[0037] 本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、カバ 一プレート 22の各操作窓 30から操作バー 43が突出するので、手動操作の際に指の 揷入量を減少させることができるのは明らかである。また、手動操作手段 40の形状や 構造の多様化を図ることができる。

[0038] 次に、図 11、図 12は本発明の第 3の実施形態を示すもので、この場合には、手動 操作手段 40を、各回転プレート 15の表面中心部に 180° の間隔をおいて形成され 、各カバープレート 22の円形を呈した操作窓 30から露出する一対の操作バー 43A とするようにしている。

[0039] 各操作バー 43Aは、操作バー 43よりも大きく長い略く字形に屈曲形成され、各回 転プレート 15の表面中心部から半径外方向に伸長形成されており、作業者の指の 干渉により回転プレート 15を回転させる。その他の部分については、上記実施形態 と同様であるので説明を省略する。 [0040] 本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、各操 作バー 43Aが操作バー 43よりも大きく長いので、操作性がさらに向上するのは明白 である。

[0041] 次に、図 13は本発明の第 4の実施形態を示すもので、この場合には、手動操作手 段 40を、各回転プレート 15の周面に横又は斜めに複数並べて刻設され、各カバー プレート 22の矩形を呈した複数の操作窓 30からそれぞれ露出する滑り止め用の口 一レット（ナーリングともいう） 44とするようにしている。その他の部分については、上記 実施形態と同様であるので説明を省略する。

[0042] 上記において、容器本体 1から蓋体 10を手動により取り外す場合に、各カバープレ ート 22の操作窓 30内に指を揷入し、手動操作手段 40のギザギザのローレット 44に 指をあてがい、回転プレート 15を任意の方向に回せば、回転プレート 15が滑ることな く円滑に回転する。

[0043] 本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、回転 プレート 15に複数の操作バー 43を新たに設ける必要性が全くないので、回転プレー ト 15の構成の簡素化を図ることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 基板を収納する容器本体の開口部に着脱自在に嵌め入れられる蓋体であって、容 器本体の開口部に嵌め入れられる筐体と、この筐体に配設され、回転体の回転に基 づき筐体の周壁から出没可能に突出させた係止体を容器本体の開口部内周に干渉 させることにより筐体を施錠する施錠機構と、この施錠機構を覆うカバーと、このカバ 一に形成されて回転体に対向する操作窓とを含んでなることを特徴とする蓋体。

[2] 施錠機構の回転体の操作窓との対向部に、手動操作手段を備える請求項 1記載の 蓋体。

[3] 手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられる指揷入孔とした請求項 2記載の 蓋体。

[4] 回転体の指揷入孔の周囲に指係合片を形成した請求項 3記載の蓋体。

[5] 手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられて操作窓から露出する操作バーと した請求項 2記載の蓋体。

[6] 手動操作手段を、施錠機構の回転体に形成されるローレットとした請求項 2記載の 蓋体。

[7] 基板を収納する容器本体の開口部に請求項 1ないし 6いずれかに記載の蓋体を着 脱自在に嵌め入れることを特徴とする基板収納容器。