WO2008013137A1

WO2008013137A1 - Appareil de détection de position, procédé de détection de position, appareil d'inspection, programme de détection de position et support d'enregistrement lisible par ordinateur

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Publication number: WO2008013137A1
Application number: PCT/JP2007/064425
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Inventors: Minoru Yasukawa
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Publication date: 2008-01-31
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Description

明細書

位置検出装置、位置検出方法、検查装置、位置検出プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体

技術分野

[0001] 本発明は、表示用パネルの位置を検出するための位置検出装置に関するものであり、特に表示用パネルの欠陥を検査するための検査装置が備える位置検出装置に関するものである。

背景技術

[0002] フラットパネルディスプレイ（以下、 FPDと称する）は、赤、青、緑の 3色に発光する多くのドットの組み合わせで映像の表示を行っている。この FPDの製造において欠陥が発生することがある。欠陥には多くの種類が有り、その中には、ドットが常時発光したままになる輝点欠陥、ドットが点灯しなくなる黒点欠陥、多くのドットの発光量が均一でないムラ欠陥が含まれる。これらの欠陥は検査を行う検査工程で発見され、修正や製品の等級の設定の対象となる。

[0003] FPDの検査工程は、製造工程の様々な段階で行われて!/、る。その中で点灯検査工程は、 FPDに映像を表示させ、欠陥がないか検査を行う工程である。この点灯検查工程には、表示を行う板状のパネル部分のみの検査を行う工程と、パネルに強度を持たせる額縁状のべゼルおよびパネルを点灯するための電気回路を組み込んだモジュールの状態で検査を行う工程とが含まれる。モジュールは、部品として FPDのメーカーへ販売されることがあるため、モジュールの状態での検査工程は重要な地位を占めている。

[0004] 従来モジュールの点灯検査では、検査員による目視検査が行われており、その判定は検査員に欠陥が見えるか否かで判断されていた。 FPDは人間が見るためのものであるため、たとえ回路上に微小な異常があつたとしても、人間に見えない異常であれば欠陥ではないともいえる。目視検査を効率良く行うための検査装置は、例えば特許文献 1に記載されて!/、る。

[0005] 近年、 FPDの大型化、高精細化が進み、細かな部分を見る必要性と、広!/、領域を見る必要性が高まり、目視による判定での負担が増大してきている。また、検査員の目視に頼った判定では、見逃しや、判断基準のばらつきがあり、製品の品質管理をしにくいといった問題点がある。

[0006] このため、 FPD点灯検査装置が開発され、実用に供されている。この FPD点灯検查装置は、 FPDに特定の映像を表示させ、表示された状態を撮像装置で撮像し、撮像した画像に対して画像処理を行うことによって欠陥の有無を判断する。このような F PD点灯検査装置は、例えば、特許文献 2および 3に記載されている。

[0007] 多くの FPD点灯検査装置は、パネルのみの FPDの検査を行う検査装置である。パネルのみの検査工程では、パネルは壊れやすぐまた、パネルを駆動するために、コンタクトプローブと呼ばれる電極にパネルの端にある電極を正確に接触させるための位置あわせを行う必要があり、パネルの搬送を作業員の手搬送で行うことは困難である。そのため、搬送系に自動搬送機構及び位置決め機構が搭載されており、作業員は機構部を操作しつつ、目視で検査する作業をこれまで行っていた。そのため、パネルのみの検査工程に FPD点灯検査装置を導入する場合には、パネルの正確な位置を検出する機構を新たに設ける必要はない。

[0008] 一方、モジュール状態での検査工程では、パネルはべゼルに保護されて!/、るため壊れにくぐパネルを駆動するためにはハーネスと呼ばれる端がコネクタになっている配線を差し込むだけであるため、正確な位置あわせはこれまで必要な力た。また、ハーネスを差し込む作業は自動化が難しい作業であるため、もっぱら作業員が行つていた。さらに、モジュールは、外側のベゼルとパネルとの組み付け精度により、外側のべゼルを正確に位置あわせしても、パネルの位置は製品によって多少ばらつくといった問題もあった。そのため、モジュールの検査工程に FPD点灯検査装置を導入する場合には、パネルの正確な位置を検出する仕組みが必要となる。

[0009] パネルの正確な位置を検出する方法のひとつとして、パターン検査または露光を行うときに、パネルの端にァライメントマークを作成し、そのァライメントマークを照明して撮像を行い、位置を検出する方法が挙げられる。

[0010] し力、し、モジュールの検査を行う場合、パネルの端部はべゼルに隠れてしまうことから、表示領域付近にァライメントマークを作成する必要がある。更に FPD点灯検査装置で、輝点欠陥を検出する場合、輝点欠陥のわずかな発光も撮像するために、外乱光が入らないような暗室状態で撮像を行うことが要求されるため、この方法を用いるには、輝点欠陥を検出する撮像装置のほかに、その撮像装置では検出できない波長の光を照明する照明装置と、その波長の光で撮像できる撮像装置とが必要となり、コストが高くなることから、上記の検出方法を実施することは困難である。

[0011] パネルの正確な位置を検出する別の方法として、パネルのァライメント時に、当該パネルにァライメントマークを表示させ、そのァライメントマークを撮像し、パネルの位置を検出する方法が挙げられる。このような、パネルの表示画素の位置及び回転角の検出方法は、例えば特許文献 4に記載されている。

[0012] この位置検出方法において、撮像装置としてエリアセンサ型の撮像装置またはラインセンサ型の撮像装置を用いることができる。エリアセンサ型の撮像装置を用いた場合、パネルと撮像素子との位置関係を変更することなぐ撮像を行うことが可能であるため、パネルの領域を認識することが可能な撮像画像を欠陥検出工程の前に取得し、パネルの位置を認識することが可能である。

[0013] パネルのァライメント方法は、エリアセンサ型の撮像装置を用いた場合には、光学系とパネルとの位置関係を一度決めてしまえば、点灯パターンを変更し撮像を行つても位置関係は変化しなレ、ため、

(1)ァライメントマークを表示してパネルの位置を確認し、

(2— 1)パネルの位置を微調整し、液晶表示パネルの表示画素の位置及び回転角を検出するか、

(2— 2)ァライメントマークの位置を記憶し、そのまま検査し、ァライメントマークの位置を基に画像内の座標を変換するといつた方法をとることができる。

[0014] しかしながら、エリアセンサ型の撮像装置は、大型 TV用の FPDを検査するのに十分な画素数を備えたものはなぐ複数のカメラを複数搭載する必要がありコストが増加するという問題がある。

[0015] これに対し、ラインセンサ型の撮像装置を用いた場合、エリアセンサ型の撮像装置に比べ安価に高画素の画像を得ることが出来る。

特許文献 1 :日本国公開特許公報「特開 2003— 42959号公報 (公開日： 2003年 2 月 13日）」

特許文献 2 :日本国公開特許公報「特開 2002— 131180号公報 (公開日： 2002年 5 月 9日）」

特許文献 3 :日本国公開特許公報「特開 2002— 98651号公報 (公開日： 2002年 4 月 5日公開）」

特許文献 4 :日本国公開特許公報「特開平 6— 250138号公報 (公開日： 1994年 9月 9日公開）」

発明の開示

[0016] しかしながら、上記従来の構成では、撮像装置の型に関わらず、点灯検査では、ァライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合、その欠陥を検出することが出来ず、検出不能領域が出来てしまう。この問題を回避するために、ァライメントマークの位置を変えて複数回検査を行うと、検査のタクトが伸びてしまうという問題が生じる。

[0017] 本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、ァライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、当該輝点欠陥を検出することができる検査装置および当該検査装置が備える位置検出装置を提供することにある。

[0018] 本発明に係る位置検出装置は、上記の課題を解決するために、表示用パネルに位置検出のためのァライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる点灯制御手段と、上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出手段とを備えることを特徴としている。

[0019] 本発明に係る位置検出方法は、上記の課題を解決するために、表示用パネルの位置を検出する位置検出装置における位置検出方法であって、位置検出のためのァラィメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる点灯制御工程と、上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出工程とを含むことを特徴としている。

[0020] 輝点欠陥は、基準値よりも高い輝度を有するドットが存在する欠陥であるが、人間の目によって視認されなければ欠陥とはならない。

[0021] 上記の構成によれば、点灯制御手段は、ァライメントマークを目視困難な輝度で表示用パネルに点灯させ、位置検出手段は、上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する。

[0022] それゆえ、本発明の位置検出装置を検査装置に適用した場合、ァライメントマークを形成するドットに輝点欠陥がある場合でも、当該輝点欠陥の輝度は、ァライメントマークの輝度よりも高いため、当該ドットを輝点欠陥として検出すること力 Sできる。換言すれば、ァライメントマークの輝度よりも高い輝度を有する、目視可能な輝点欠陥を検出すること力 Sでさる。

[0023] したがって、ァライメントマークの位置を変えて複数回検査を行う必要がないため、検査装置における検査効率を高めることができる。

[0024] 本発明に係る検査装置は、上記の課題を解決するために、表示用パネルの画像に基づいて当該表示用パネルの検査を行う検査装置であって、位置検出のためのァラィメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる信号を出力する点灯制御手段と、上記点灯制御手段の信号に基づいて、表示用パネルに上記ァライメントマークを点灯させる点灯手段と、上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する撮像手段と、上記撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて上記表示用パネルの位置を検出する位置検出手段と、上記位置検出手段の検出結果をもとに上記撮像画像の補正を行うとともに、補正された撮像画像に基づいて上記表示用パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴としている。

[0025] 上記の構成によれば、点灯手段は、点灯制御手段の制御下において、ァライメントマークを目視困難な輝度で表示用パネルに点灯させ、撮像手段は、当該ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する。そして、位置検出手段は、撮像手段が撮像した画像に基づいて表示用パネルの位置を検出し、欠陥検出手段は、位置検出手段の検出結果を利用して撮像画像を補正するとともに、補正された撮像画像に基づ!/、て表示用パネルの欠陥を検出する。

[0026] それゆえ、ァライメントマークを形成するドットに輝点欠陥がある場合でも、当該輝点欠陥の有無を検査することができる。

[0027] したがって、ァライメントマークの位置を変えて複数回検査を行う必要がないため、検査効率を高めることができる。

[0028] 以上のように、本発明に係る位置検出装置は、表示用パネルに位置検出のためのァライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる点灯制御手段と、上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出手段とを備える構成である。

[0029] 発明に係る位置検出方法は、以上のように、位置検出のためのァライメントマークを

、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる点灯制御工程と、上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出工程とを含む構成である。

[0030] それゆえ、本発明を検査装置に適用した場合、ァライメントマークを形成するドットに輝点欠陥がある場合でも、当該ドットを輝点欠陥として検出することができるという効果を奏する。

[0031] 本発明に係る検査装置は、以上のように、位置検出のためのァライメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる信号を出力する点灯制御手段と、上記点灯制御手段の信号に基づレ、て、表示用パネルに上記ァライメントマークを点灯させる点灯手段と、上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する撮像手段と、上記撮像手段が撮像した撮像画像に基づ!/、て上記表示用パネルの位置を検出する位置検出手段と、上記位置検出手段の検出結果をもとに上記撮像画像の補正を行うとともに、補正された撮像画像に基づいて上記表示用パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出手段とを備える構成である。

[0032] それゆえ、ァライメントマークを形成するドットに輝点欠陥がある場合でも、当該ドットを輝点欠陥として検出することができるという効果を奏する。

図面の簡単な説明

[0033] [図 1]本発明の一実施形態に係る検査装置の構成を示す機能ブロック図である。

[図 2]本発明の一実施形態に係る検査装置の構成を示す概略図である。

[図 3]本発明の一実施形態に係る検査装置の外観を示す斜視図である。

[図 4]本発明の一実施形態に係る検査装置が備える画像処理部の構成を示す機能ブロック図である。

[図 5]液晶パネルモジュールに表示する点灯検査用画像を示す図である。

[図 6]ァライメントマークを表示する点灯制御値の範囲を示す図である。 [図 7]液晶パネルモジュールに表示されたァライメントマークを示す図である。

[図 8]テンプレート画像の一例を示す図である。

[図 9]画像処理部が備える位置検出部における処理の流れを示すフローチャートである。

[図 10]撮像画像から液晶パネルモジュールの表示面を撮像した領域を検出する方法を説明する図である。

[図 11]欠陥検出部における処理の流れを示すフローチャートである。

[図 12]撮像画像から切り出されたパネル表示面画像を示す図である。

[図 13]—実施形態の検査装置における処理の流れを示すフローチャートである。

[図 14]FPDの発光波長の分布を示すグラフである。

[図 15]人間の明暗視感度特性を示すグラフである。

[図 16]FPDを明所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。

[図 17]FPDを喑所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。

[図 18]CCDのセンサ分光感度特性を示すグラフである。

[図 19]FPDを CCDで撮像した場合の受光感度特性を示すグラフである。

符号の説明

1 液晶パネルモジュール点灯検査装置 (検査装置）

2 点灯部（点灯手段）

3 TDIラインセンサ（センサ）

4 ステージ (移動手段）

5 撮像部 (撮像手段）

6 画像処理部

7 制御部（点灯制御手段、位置検出装置）

11 液晶パネルモジュール (表示用パネル）

12 ァライメントマーク

12a 第 1ァライメントマーク

12b 第 2ァライメントマーク

61 位置検出部 (位置検出手段、位置検出装置） 67 欠陥検出部 (欠陥検出手段）

発明を実施するための最良の形態

[0035] 本発明の実施の一形態について図 1〜図 19に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

[0036] (人間の視感度特性）

まず、本発明を理解する上で重要な、人間の視感度特性について、図 14〜図 19 を参照しつつ説明する。図 14は、 FPDの発光波長の分布を示すグラフである。図 15 は、人間の明暗視感度特性を示すグラフである。図 16は、 FPDを明所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。図 17は、 FPDを喑所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。図 18は、 CCDのセンサ分光感度特性を示すグラフである。図 19は、 FPDを CCDで撮像した場合の受光感度特性を示すグラフである。

[0037] 図 14に示すように、 FPDは赤（R)ドットが 610nmをピークに 580nm〜700nm、緑

(G)ドット力 S540nmをピークに 490nm〜610nm、青（B)ドット力 35nmをピークに 4 20nm〜510nmの波長の光を発している。

[0038] 一方、図 15に示すように、人間の視感度は、明所視で 555nmをピークに 460nm 〜660nm、喑所視で 507nmをピークに 420nm〜590nmの波長の光に対して高い。また、図 16および図 17に示すように、明所および喑所において、緑色と比較して、青色および赤色の視認性は悪い。特に、喑所では、赤色の視認性が悪い。

[0039] これに対し、図 18に示すように、一般的な撮像装置に用いられる CCD素子の分光感度は、 540nmをピークに 400nm〜950nmまでの波長の光に対して高ぐ FPDの発光するすべての波長の光を検出できる。また、図 19に示すように、 CCD素子の受光感度は、目視と比較して、青色および赤色に対しても比較的高い感度を保ってい

[0040] そのため、明所視の場合、青ドットが CCD素子に比べ感度が特に低ぐ喑所視の場合、赤ドットが CCD素子に比べ感度が特に低い。

[0041] (本発明の基本的な技術思想）

上記の人間の目の受光感度と CCD素子の受光感度との差を利用し、本発明の検查装置では、表示用パネルの輝点欠陥検出を行う場合に、表示用パネル上に低輝度のァライメントマークを表示し、このァライメントマークを撮像した画像からァライメントマークの位置を検出し、ァライメントマークの位置をもとに表示用パネルの位置を特定する。このとき、明所で使用されることが想定される FPD製品のときは、低輝度の B ドットでァライメントマークを表示し、喑所視で使用することが想定される FPD製品の場合は、低輝度の Rドットでァライメントマークを表示する。

[0042] また、ァライメントマークの輝度は、ァライメントマークの色と同じ色のドットが輝点欠陥であると判定される輝度 (欠陥基準輝度）より低ぐ撮像装置が検出できる最低輝度より高くする。なお、欠陥基準輝度とは、その輝度よりも高い輝度を有する場合に輝点欠陥であると判定される輝度である。

[0043] 上記の構成とすることで、ァライメントマークを表示したドットに輝点欠陥があった場合でも、その輝点欠陥のドットを輝点欠陥として検出できる。また、ァライメントマークの輝度より低い輝度のドットが当該ァライメントマークに存在する場合には、そのドットは輝点欠陥ではなレ、ため問題とならなレ、。

[0044] (検査装置 1の構成）

次に、本実施形態の液晶パネルモジュール点灯検査装置 1 (以下、検査装置 1と称する）の構成について図 1〜図 4を参照しつつ説明する。図 1は、検査装置 1の構成を示す機能ブロック図である。図 2は、検査装置 1の構成を示す概略図である。検査装置 1は、液晶パネルモジュール 11 (表示用パネル）の欠陥を検出するものである。なお、本発明の検査装置の被検査体は、液晶パネルモジュールに限定されず、表示

[0045] 図 1および図 2に示すように、検査装置 1は、液晶パネルモジュール 11に画像を表示させる点灯部 2 (点灯手段）、 TDI (Time Delay Integration)ラインセンサ 3と TDIラインセンサ 3 (センサ）を走査するステージ 4 (移動手段）とから構成される撮像部 5 (撮像手段）、撮像部 5が撮像した画像を処理する画像処理部 6、点灯部 2と撮像部 5と画像処理部 6とを連携して駆動させる制御部 7 (点灯制御手段、位置検出装置)からなる。

[0046] 点灯部 2には、予め検査装置 1における検査内容に合わせて、液晶パネルモジュール 11に表示させる画像（点灯検査用画像）が登録されており、点灯部 2は、制御部 7からの指令に従って点灯検査用画像を液晶パネルモジュール 11に表示する。

[0047] 撮像部 5は、図 2に示すように、液晶パネルモジュール 11が載置される台（不図示）の上方に配置されている。撮像部 5が備える TDIラインセンサ 3の撮像軸は、下方（図 2にお!/、て Y軸方向に沿う方向）を向いて!/、る。

[0048] この TDIラインセンサ 3は、ステージ 4の伸長方向（時間積分する方向）（図 2において X軸方向）に沿って移動可能であり、 TDIラインセンサ 3のライン方向は、ステージ 4 の伸長方向に直交する方向（図 2において Z軸方向）に設定されている。そして、液晶パネルモジュール 11は、その長手方向がステージ 4の伸長方向と略平行になるように配置される。そのため、 TDIラインセンサ 3をステージ 4に沿って走査することにより、液晶パネルモジュール 11の一方の端部から他方の端部までを撮像することができる。

[0049] TDIラインセンサ 3には、レンズ 3a等の光学部品が取り付けられている。この光学部品は、 TDIラインセンサ 3がステージ 4に沿って走査された時に液晶パネルモジユール 11の表示面全面を撮像できるよう、倍率およびピント位置が設定されている。

[0050] 液晶パネルモジュール 11は、工場の搬送装置（不図示）から検査装置 1へ搬入され、検査される。その時、上述したように、 TDIラインセンサ 3を走査したときに、液晶パネルモジュール 11の液晶パネル表示面全面を撮像できる位置に配置される。

[0051] ここで液晶パネル表示面全面とは、液晶パネルモジュール 11の搬入位置の誤差や、液晶パネルをモジュールに組み付けたときの組み付け誤差がある場合でも、必ず液晶パネル表示面全体が入るような領域を意味する。

[0052] 画像処理部 6は、撮像部 5が撮像した画像を処理し、液晶パネルモジュール 11の位置や傾きを検出するとともに、液晶パネルモジュール 11の欠陥の有無を検出し、制御部 7へ検出結果を送信する。画像処理部 6の詳細については後述する。

[0053] 制御部 7は、上記各部を制御するものであり、特に、点灯検査用画像を表示するときの輝度に関する情報を点灯部 2へ出力する。

[0054] 図 3は、検査装置 1の外観を示す斜視図である。同図に示すように、検査装置 1は、その内部が暗室となるよう外壁 8で囲まれており、外壁 8に設けられた、開閉可能な扉 9を通って液晶パネルモジュール 11が搬入出される。そのため、検査時には外乱光の影響を受けない。

[0055] (画像処理部 6の構成）

画像処理部 6の構成について、図 4を参照しつつ説明する。図 4は、画像処理部 6 の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、画像処理部 6は、液晶パネルモジュール 11の位置を検出する位置検出部 61 (位置検出手段、位置検出装置）および液晶パネルモジュール 11の欠陥を検出する欠陥検出部 67 (欠陥検出手段）を備えている。

[0056] 位置検出部 61は、撮像部 5が撮像した撮像画像と、後述するテンプレート画像とをマッチングさせることにより、液晶パネルモジュール 11の位置を検出する。この位置検出部 61は、メモリ 62、一致度算出部 63、距離算出部 64、距離判定部 65、回転角度算出部 66を備えている。

[0057] メモリ 62は、テンプレート画像を予め格納するものである。このテンプレート画像とは、回転ズレのない状態で、ァライメントマーク 12を表示した液晶パネルモジュール 1 1を撮像した画像である。テンプレート画像の詳細については後述する。なお、メモリ 62は、位置検出部 61の外部に設けられていてもよい。

[0058] 一致度算出部 63は、撮像部 5が撮像した撮像画像とテンプレート画像とのマツチングを行い、撮像画像における 4つのァライメントマークと、テンプレート画像における 4 つのァライメントマークとの一致度を算出する。ここで、一致度とは、正規化相関（=r )の自乗である。

[0059] このとき、例えば、撮像画像における右上のァライメントマークと、テンプレート画像における右上のァライメントマークとの間の一致度が算出される。すなわち、最も位置の近いァライメントマーク間の一致度が算出される。

[0060] そして、一致度算出部 63は、 4つのァライメントマークから 2つを選んで構成されるァライメントマークのペアを形成し、このペアにおける一致度の和を求める。ここで、 4 つのァライメントマークから 2つを選び出す組み合わせは 6通りあるため、一致度算出部 63は、この 6通りの一致度の和を算出する。

[0061] 距離算出部 64は、 6通りの一致度の和を数値の高い順にソートする。そして、最も一致度の和が大きレヽァライメントマークの組み合わせとマッチングした、テンプレート画像におけるァライメントマークのピクセル座標を抽出し、当該ピクセル座標間のピクセル距離を算出する。

[0062] 距離判定部 65は、距離算出部 64が算出したピクセル距離力ァライメントマーク間の距離として予め定められた範囲内にあるか否かを判定する。 2つのァライメントマ一ク間のピクセル距離が予め定められた範囲内であった場合、一致度の高い方のァラィメントマーク 12の座標を第 1ァライメントマーク 12aの座標として確定し、他方のァラィメントマーク 12の座標を第 2ァライメントマーク 12bの座標として確定する（後述する図 10参照)。

[0063] 回転角度算出部 66は、第 1ァライメントマーク 12aの座標を用いて、撮像画像における液晶パネルモジュール 11の角部の X、 Z座標を確定し、第 2ァライメントマーク 12 bの座標を用いて液晶パネルモジュール 11の回転角度 Θを算出する。この回転角度 Θの算出方法については後述する。回転角度算出部 66は、算出した回転角度 Θの値を欠陥検出部 67のパネル表示面画像形成部 68へ出力する。

[0064] 欠陥検出部 67は、パネル表示面画像形成部 68、濃度比較部 69、欠陥判定部 70 を備えている。

[0065] パネル表示面画像形成部 68は、回転角度算出部 66から出力された回転角度 Θの値を用いて、撮像部 5が撮像した撮像画像から、パネル表示面画像を作成する。具体的には、パネル表示面画像形成部 68は、第 1ァライメントマーク 12aの撮像画像におけるピクセル座標と回転角度 Θとから、撮像画像中のパネル表示面を撮像した領域を算出し、その領域を切り出すことによりパネル表示面画像を形成する。

[0066] すなわち、パネル表示面画像は、撮像部 5が撮像した撮像画像における液晶パネルモジュール 11のパネル表示面の領域に相当する画像であり、液晶パネルモジュール 11の回転ズレが補正された画像である。また、パネル表示面画像は、濃度比較部 69によって利用される、欠陥検出用の画像である。

[0067] 濃度比較部 69は、パネル表示面画像形成部 68が形成したパネル表示面画像から、基準濃度を超える濃度のピクセルを抽出する。上記基準濃度は、輝点欠陥と判定される輝度の基準値である欠陥基準輝度を有する輝点欠陥を撮像したときの濃度であり、予め測定し、定められたものである。 [0068] より具体的には、上記基準濃度は、欠陥基準輝度を有する、 Rドット輝点欠陥、 Gドット輝点欠陥、 Bドット輝点欠陥を撮像したときの濃度のうち、最も低い濃度に計測再現性を加味した濃度である。濃度比較部 69では、過検出気味に検出しておき、後述する欠陥判定部 70で再判定する。

[0069] ここで、輝度とは、液晶パネルモジュール 11が実際に発光している光量の値を意味し、濃度とは、液晶パネルモジュール 11を撮像した画像におけるドットの輝度を意味する。

[0070] 欠陥判定部 70は、濃度比較部 69によって抽出されたピクセルが R, G, Bいずれのドットを撮像したものかを、ピクセルの座標から判定する。そして、欠陥判定部 70は、そのドットの濃度が、当該ドットと同じ色の、欠陥基準輝度を有するドットを撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルを輝点欠陥を撮像したものとして、輝点欠陥の欠陥コードと、ピクセルの座標と、ピクセルの濃度とを自らが備えるメモリ（不図示 )に格納する。

[0071] 例えば、上記ドットが Rドットである場合には、欠陥判定部 70は、欠陥基準輝度を有する Rドット輝点欠陥を撮像したときの濃度と、当該 Rドットの濃度とを比較する。

[0072] 上記のように濃度比較部 69と欠陥判定部 70との 2段階で判定することにより、ピクセルの座標から、輝点欠陥を有するドットが RGBの!/、ずれであるかを判定する処理の量を減らすことができ、画像処理を高速に行うことができる。

[0073] 欠陥判定部 70は、記録された、輝点欠陥のピクセルの座標を、液晶パネルモジュールの表示ドットの位置へ座標変換し、その結果を制御部 7へ送信する。

[0074] (ァライメントマーク 12の表示方法）

次に、液晶パネルモジュール 11におけるァライメントマーク 12の表示方法につ!/、て、図 5〜図 7を参照しつつ説明を行う。図 5は、液晶パネルモジュール 11に表示する点灯検査用画像 13を示す図である。図 6は、ァライメントマーク 12を表示する点灯制御値の範囲を示す図である。

[0075] 輝点検出を行う場合、液晶パネルモジュール 11に表示する点灯検査用画像 13は、各色 256階調で表示する場合、図 5に示すように、画素の RGB値が（0, 0, 0)となるようにする。ただし、液晶パネルモジュール 11の四隅付近の予め定めた位置には、ァライメント用のマークであるァライメントマーク 12を RGB値力 O, 0, Vm)となるように不する。

[0076] ここで、欠陥基準輝度と同等の輝度で点灯する欠陥基準制御値 Vdと、撮像部 5によって検出可能な輝度の最低値と同等の輝度で点灯する最低点灯制御値 VLとを予め測定しておく。そして、図 6に示すように、 Vmは、

VL<Vm<Vd

となる値を、検出再現性などから予め定めておく。すなわち、 Vmは、撮像部 5の検出限界の下限値となる輝度で点灯する点灯制御値よりも大きぐ欠陥基準輝度で点灯する点灯制御値よりも小さレ、、ァライメントマーク用の点灯制御値である。

[0077] また、 Vdは、目視可能な輝度の最低値と略等しい。すなわち、 Vdは、ァライメントマーク 12を視認できる輝度の下限値と略等しい輝度で点灯する点灯制御値である。

[0078] そのため、液晶パネルモジュール 11に点灯されたァライメントマーク 12は、撮像部 5によって検出できる力人間の目では確認できないものとなる。すなわち、ァライメントマーク 12は、目視困難な輝度で点灯するものである。よって、このァライメントマーク 12を表示するドットに輝点欠陥があった場合でも、その輝点欠陥のドットを欠陥として検出でき、ァライメントマーク 12の輝度より低い輝度のドットが当該ァライメントマーク 12に存在する場合には、そのドットは輝点欠陥ではないため問題とならない。

[0079] なお、上記目視困難な輝度とは、実際には輝点欠陥であると判定する輝度である。

この目視困難な輝度は、製品の納入先や製品の格に応じて設定されるものであり、基本的に目視との相関を有する値である。上記目視困難な輝度は、本来は輝度計等で測定された輝度であることが望ましいが、実際には、基準を決定する人物が近距離から輝点を目視し、欠陥とすべき力、を判断して!/、る。

[0080] この目視困難な輝度は、コントラスト比や画面サイズや画素サイズや階調数により異なる。また、色相により目視感受性が異なるため、 R絵素と G絵素と B絵素とでは、目視困難な輝度は一般に異なる。

[0081] また、同じコントラストの得られる仕様で同じカラーフィルタを使用しても、赤から黄に対する感受性の比較的高い日本人向けと、緑から青に対する感受性の比較的高い欧米人向けとでは、目視困難な輝度は異なる。 [0082] また、パネルの使用環境（部屋の明るさ、照明や部屋の壁'天井などの色調、観察距離など）により目視困難な輝度は異なる。

[0083] このように、目視困難な輝度は、それぞれのユーザー群 ·環境によりその基準が変化するが、そのユーザー群 ·環境での想定されるやや厳し!/、観察者 ·環境で目視困難な輝度を、経験的にデータベース化して設定することができる。また、この基準を決定する経験値の高い基準決定者が近距離による目視で、ある色調のある輝度が欠陥に見えるか否かの判断で決定してもよい。

[0084] 図 7は、液晶パネルモジュール 11に表示されたァライメントマーク 12を示す図である。ァライメントマーク 12を液晶パネルモジュール 11に表示させる場合、 RGBの 3つのドットで 1つの画素を構成しているため、同図に示すように、実際には各画素のひとつのドット（同図では B)が点灯する。同図では、 9個の Bドットをピラミッド形状に配置することによりァライメントマーク 12を構成した場合の例が示されており、点灯検査用画像の四隅に示されたァライメントマーク 12のうちのひとつ（右上のもの）を含む、縦横 5画素の領域が示されて!/、る。

[0085] RGBのどのドットをァライメントマーク 12として点灯させるかは、液晶パネルモジュール 11が明所で使用されるもの力、、喑所で使用されるものかという用途と、上述した人間の視感特性に基づいて設定すればよい。例えば、明所で使用される場合には、 Bドットによってァライメントマーク 12を表示し、喑所で使用される場合には、 Rドットによってァライメントマーク 12を表示すればよい。

[0086] ァライメントマーク 12は、液晶パネルモジュール 11の四隅付近にそれぞれ表示されるカその形状は特に限定されない。すなわち、ァライメントマーク 12を構成するドットの数や、ドットの相対的な位置関係は、特に限定されない。

[0087] (テンプレート画像の一例）

位置検出部 61は、撮像部 5が撮像した撮像画像の四隅から、液晶パネルモジユール 11の位置が最大限にずれたとしてもァライメントマーク 12が入るサイズの領域とテンプレート画像とをマッチングさせる。

[0088] 図 8には、テンプレート画像の一例として、 1画素を 3 X 3の解像度で撮像したときのテンプレート画像 14を示している。同図には、ァライメントマーク 12を撮像した領域を含む、テンプレート画像 14の右上の部分（縦横 15ピクセル）のみが示されている。テンプレート画像 14では、ひとつのドットは撮像素子の 3ピクセルによって表示されて!/ヽる。なお、テンプレート画像の解像度は、各ドットを個別に撮像できる程度のものであればよぐ特に限定されない。

[0089] (位置検出部 61における位置検出処理の流れ）

次に、位置検出部 61における位置検出処理の流れについて、図 9〜図 10を参照しつつ説明する。

[0090] 図 9は、位置検出部 61における処理の流れを示すフローチャートである。まず、一致度算出部 63は、四隅におけるテンプレートマッチングの一致度を算出し、 4つの隅力、ら選んだ 2つの隅の一致度の和を算出する（S l)。ここで、 4つの隅の中から 2つの隅を選び出す組み合わせは 6通りあるため、一致度算出部 63は、この 6通りの一致度の和を算出する。一致度算出部 63は、算出した一致度の和の値を距離算出部 64 へ出力する。

[0091] 一致度の和の値を受け取ると、距離算出部 64は、 6通りの一致度の和を数値の高い順にソートする。そして、最も一致度の和が大きいァライメントマーク 12の組み合わせとマッチングした、テンプレート画像 14におけるァライメントマーク 12のピクセル座標を抽出し、当該ピクセル座標間のピクセル距離を算出する（S2)。距離算出部 64 は、算出したピクセル距離の値を距離判定部 65へ出力する。

[0092] ピクセル距離の値を受け取ると、距離判定部 65は、当該ピクセル距離力ァライメントマーク 12間の距離として予め定められた範囲内にあるか否かを判定する。当該ピクセル距離力所定の範囲内に入っていない場合は（S3にて、 NO)、テンプレートマツチングのミスとして、次に一致度の和が大きいァライメントマーク 12の組み合わせで照合を行う。

[0093] 距離判定部 65は、 6通りの組み合わせすべてで、所定の範囲を超えた場合には（S 4にて、 YES)、テンプレートマッチングに失敗した旨を示すエラー情報を制御部 7へ出力する（S5)。

[0094] 2つのァライメントマーク 12間のピクセル距離が所定の範囲内であった場合（S3にて、 YES)、距離判定部 65は、一致度の高い方のァライメントマーク 12の座標を第 1 ァライメントマーク 12aの座標とし、他方のァライメントマーク 12の座標を第 2ァライメントマーク 12bの座標として、両座標を回転角度算出部 66へ出力する（S6)。

[0095] 図 10は、撮像画像から液晶パネルモジュールの表示面を撮像した領域を検出する方法を説明する図である。

[0096] 図に示すように、撮像部 5が有する撮像分解能は固定であり、撮像対象である液晶パネルモジュール 11の大きさも既知であるため、撮像画像 16内における液晶パネルモジュール 11の姿勢は X方向、 Z方向、 XZ面内の回転の 3自由度を有している。そのため、上記座標を受け取ると、回転角度算出部 66は、第 1ァライメントマーク 12aの座標 (X, y)を用いて、液晶パネルモジュール 11を撮像した領域であるパネル表示面領域 15の角部の X、 Z座標を確定し、第 2ァライメントマーク 12bの座標を用いて撮像画像 16に対するパネル表示面領域 15の回転角度 Θを算出する（S7)。回転角度算出部 66は、算出した回転角度 Θの値を欠陥検出部 67のパネル表示面画像形成部 68へ出力する。

[0097] なお、距離算出部 64は、 6通りの一致度の和のうち、最も一致度の和が大きいもののみに対してピクセル距離を算出してもよい。

[0098] (欠陥検出部 67における欠陥検出処理の流れ）

次に、欠陥検出部 67における欠陥検出処理の流れについて、図 11および図 12を参照しつつ説明する。図 11は、欠陥検出部 67における処理の流れを示すフローチヤートでめる。

[0099] まず、回転角度 Θの値を回転角度算出部 66から受け取ると、パネル表示面画像形成部 68は、当該回転角度 Θの値を用いて、撮像部 5が撮像した撮像画像 16から、パネル表示面画像 17を作成する（S21)。

[0100] 図 12は、撮像画像 16から切り出されたパネル表示面画像 17を示す図である。図 1 2に示すように、パネル表示面画像 17は、回転角度 Θの値を用いてパネル表示面領域 15の傾きが補正されたものであるため、パネル表示面画像 17の各辺は、欠陥検出用画像のための座標軸である Xi軸または Zi軸と平行になっている。

[0101] パネル表示面画像形成部 68は、作成したパネル表示面画像 17を濃度比較部 69 へ出力する。 [0102] パネル表示面画像 17を受け取ると、濃度比較部 69は、当該パネル表示面画像 17 から、輝度欠陥であると判定される濃度の基準値である基準濃度を超える濃度のピクセルを抽出し（S22)、抽出したピクセルの情報を欠陥判定部 70へ出力する。

[0103] 上記ピクセルの情報を受け取ると、欠陥判定部 70は、抽出されたピクセルが R, G, Bいずれのドットを撮像したものかを、ピクセルの座標から求め、欠陥か否かを判定する（S23)。

[0104] 具体的には、欠陥判定部 70は、ピクセル力 ¾ドットを撮像した領域であれば、欠陥基準輝度の Rドット輝点欠陥を撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルは Rドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、 Rドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を自らが備えるメモリ（不図示）に記憶する。

[0105] また、欠陥判定部 70は、ピクセルが Gドットを撮像した領域であれば、欠陥基準輝度の Gドット輝点欠陥を撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルは Gドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、 Gドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を記憶する。

[0106] また、欠陥判定部 70は、ピクセルが Bドットを撮像した領域であれば、欠陥基準輝度の Bドット輝点欠陥を撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルは Bドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、 Bドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を記憶する。

[0107] また、ァライメントマーク 12を構成するドットに関しては、ァライメントマーク 12は Bドットの基準輝度で点灯しているため、ァライメントマーク 12を構成するドットに Bドット輝点欠陥があった場合でも、当該 Bドット輝点欠陥を検出できる。その場合、欠陥判定部 70は、当該ドットを撮像したピクセルは Bドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、 Bドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を記 fe、する。

[0108] 欠陥判定部 70は、記憶した、輝点欠陥のピクセルの座標を、液晶パネルモジユール 11の表示ドットの位置へ座標変換し、制御部 7へ送信する。

[0109] (検査装置 1における処理の流れ）

検査装置 1における処理の流れについて図 13を参照しつつ説明する。図 13は、検查装置 1における処理の流れを示すフローチャートである。撮像部 5、画像処理部 6、点灯部 2等の動作は制御部 7からの指示に従って行われる。

[0110] 検査装置 1は、撮像部 5が液晶パネルモジュール 11の搬入の妨げにならない位置へ移動し、扉 9が開いた状態で待機して!/、る。

[0111] 搬送装置（不図示）が検査装置 1へ液晶パネルモジュール 11を搬入すると、扉 9が閉まり、検査装置 1の内部は喑室になる（S31)。

[0112] そして、点灯部 2と液晶パネルモジュール 11との配線が接続され、液晶パネルモジユール 11の駆動が開始される（S32)。

[0113] そして、液晶パネルモジュール 11の検査項目に対応する点灯検査用画像が、点灯部 2により液晶パネルモジュール 11に表示される（点灯制御工程）（S33)。このとき、制御部 7は、ァライメントマーク 12の輝度が目視困難な輝度になるように、点灯制御値 (Vm)を点灯部 2へ出力する。

[0114] 撮像部 5は、液晶パネル表示面全面を一定の速度で TDIラインセンサ 3を走査し、

TDIラインセンサ 3は、液晶パネル表示面全面の撮像を行う（S34)。このときの速度は、液晶パネルの駆動周波数、 TDIラインセンサ 3の感度及び、時間積分する積分時間、撮像分解能、ステージ 4の能力によって予め定められている。 TDIラインセンサ 3により撮像された画像は画像処理部 6へ送信される。

[0115] 撮像画像を受信すると、画像処理部 6は、その撮像画像をもとに、液晶パネルモジユール 11の位置を検出する (位置検出工程）（S35)。

[0116] そして、画像処理部 6は、位置の補正を行ったパネル表示面画像 17をもとに欠陥の有無を検出し (S36)、制御部 7へ検出結果を送信する。

[0117] なお、液晶パネルモジュール 11の検査項目が複数ある場合、検査項目に対応する画像が、点灯部 2により液晶パネルモジュール 11に表示される。撮像部 5は、表示された各画像を撮像し、画像処理部 6は、撮像された各画像をもとに欠陥の有無を検出し、制御部 7へ検出結果を送信すると!/、う処理を繰り返す。

[0118] すべての検査項目が終了すると、液晶パネルモジュール 11の駆動は停止され、点灯部 2と液晶パネルモジュール 11の配線が外される（S37)。

[0119] そして、撮像部 5が液晶パネルモジュール 11の搬出の妨げにならない位置へ移動し、扉 9が開き、液晶パネルモジュール 11は搬送装置によって搬出される（S38)。

[0120] 制御部 7は、画像処理部 6から受信した検査結果を総合して、液晶パネルモジユーノレ 11の良否の判定を行う（S39)。このようにして検査が行われる。

[0121] (検査装置 1の効果）

以上のように、検査装置 1では、目視の分光感度と TDIラインセンサ 3の分光感度特性とが異なることを用い、目視より TDIラインセンサ 3の分光感度の高い、青色の波長に着目し、所定の輝度の青色のァライメントマーク 12を液晶パネルモジュール 11 上に表示することで、当該液晶パネルモジュール 11の座標を特定している。

[0122] ァライメントマーク 12の形状は予め、輝点欠陥やノイズを誤認識しないような特殊な形状としておき、ァライメントマーク 12のあると思われる領域内をテンプレートマツチングすることによって、撮像された画像からァライメントマーク 12を認識する。

[0123] ァライメントマーク 12を表示する所定の輝度は、目視により認識できないが、 TDIラインセンサ 3により撮像された画像では認識可能な濃度値となるように設定されてい

[0124] このように構成することにより、液晶パネルモジュール 11は、特殊なァライメント機構カレ、場合でも、機械的な精度により土 5mm程度の位置精度で検査装置 1に搭載可能で、液晶パネルモジュール 11の表示面にァライメントマーク 12を表示することで、検査装置 1は、撮像画像内のどの位置に液晶パネルモジュール 11の表示部分があるかを認識することが出来る。

[0125] また、ァライメントマーク 12上に所定の輝度以上の明るさの輝点欠陥があった場合は、検出が可能であり、ァライメントマーク 12の所定の輝度未満の輝点欠陥があった場合は検出が不可能であるが、その欠陥は、目視不能であるため、検出不能であつても、当該欠陥を有する液晶パネルモジュールは、不良品とならない。

[0126] なお、液晶パネルモジュールを白く点灯させ、黒点欠陥を検出する場合には、ァラィメントマーク 12を表示するまでも無ぐ白点灯のエッジ部分を用いて表示領域を特定することが出来る。

[0127] (変更例）

上述の構成では、ァライメントマーク 12を Bドットによって形成している力 S、 Rドットによって形成してもよい。その場合には、赤色の目視特性を考慮して、ァライメントマ一ク 12を形成する Rドットの輝度を目視困難なものに設定すればよい。

[0128] 上述の構成では、点灯検査用画像は、点灯部 2に登録されている力制御部 7に登録されていてもよい。

[0129] また、制御部 7と位置検出部 61とをひとつの半導体チップ上で実現し、位置検出装置としてあよい。

[0130] また、撮像部 5が備えるラインセンサは、 TDIラインセンサ 3に限定されず、どのようなラインセンサであってもよい。さらに、撮像部 5は、エリアセンサを備えるものであつてもよい。

[0131] また、位置検出部 61における位置検出方法は、上述のものが好ましいが、上述のものでなくてもよい。

[0132] また、上述した検査装置 1の各ブロック、特に画像処理部 6および制御部 7は、ハードウエアロジックによって構成してもよいし、次のように CPUを用いてソフトウェアによつて実現してもよい。

[0133] すなわち、検査装置 1は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行する CP ij (central processing unit)、上記プロクフムを格糸内した RuM (read only memoryノ、上記プログラムを展開する RAM (random access memory)、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置 (記録媒体)などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである検査装置 1の制御プロダラム（位置検出プログラム）のプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記検査装置 1に供給し、そのコンピュータほたは CPUや MPU)が記録媒体に記録されて!/、るプログラムコードを読み出し実行することによつても、達成可能である。

[0134] 上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク/ハードディスク等の磁気ディスクや CD— ROM/MO/ MD/DVD/CD— R等の光ディスクを含むディスク系、 ICカード（メモリカードを含む）/光カード等のカード系、あるいはマスク ROM/EPROM/EEPROM/フラッシュ ROM等の半導体メモリ系などを用いることができる。 [0135] また、検査装置 1を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、 LAN, ISDN, VAN, CATV通信網、仮想専用網（virtual private network)、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、 IEEE1394、 USB、電力線搬送、ケーブル TV回線、電話線、 ADSL回線等の有線でも、 IrDAやリモコンのような赤外線、 Bluetooth (登録商標）、 802. 11無線、 HDR、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。

[0136] 以上のように、上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の青色のァライメントマークを点灯させることが好ましい。

[0137] 人間の視角感度は、緑色よりも青色に対して低い。それゆえ、上記の構成により、目視困難なァライメントマークを容易に点灯することができる。

[0138] また、上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の赤色のァライメントマークを点灯させることが好ましい。

[0139] 人間の視角感度は、緑色よりも赤色に対して低い。特に喑所では、赤色は目視しにくい。それゆえ、上記の構成により、目視困難なァライメントマークを容易に点灯すること力 Sでさる。

[0140] また、上記撮像手段は、撮像素子を有するセンサと、当該センサを 1軸方向に移動させる移動手段とを備えることが好まし!/、。

[0141] 上記の構成により、表示用パネルがセンサの撮像エリアに入りきらない大きさであつても、センサを 1軸方向に移動させることにより表示用パネル全体を撮像することが可能となる。

[0142] また、上記位置検出装置の上記手段としてコンピュータを機能させるための位置検出プログラムおよび当該位置検出プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の技術的範囲に含まれる。 [0143] また、本発明は以下のように表現することができる。

[0144] 上記検査装置は、表示装置を点灯させる点灯装置と、表示装置を撮像する撮像装置と、撮像した画像を画像処理する画像処理装置で構成され表示装置を点灯させた状態で画質を検査する装置において、人間の視覚では捉えることの出来ない輝度と色とでァライメントマークを表示装置に表示させることが可能な点灯装置と、前記ァラィメントマークを撮像可能な撮像装置を備えて!/、る。

[0145] また、上記検査装置において、ァライメントマークの表示方法が青色のドットを用いて人間の視覚では捉えることの出来ない輝度で表示するものであることが好ましい。

[0146] また、上記検査装置において、ァライメントマークの表示方法が赤色のドットを用いて人間の視覚では捉えることの出来ない輝度で表示するものであることが好ましい。

[0147] また、上記撮像装置が TDIラインセンサと、移動ステージで構成され、撮像装置を表示装置に対して相対的に 1軸方向に移動させることによって撮像を行うことが好ましい。

[0148] なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなぐ請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、実施の形態に開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

産業上の利用可能性

[0149] ァライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、その輝点欠陥を検出することができるため、液晶パネルなど、表示用パネルの検査装置または検査装置が備える位置検出装置として利用できる。

Claims

請求の範囲

[1] 表示用パネルに位置検出のためのァライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる点灯制御手段と、

上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出手段とを備えることを特徴とする位置検出装置。

[2] 上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の青色のァライメントマークを点灯させることを特徴とする請求項 1に記載の位置検出装置。

[3] 上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の赤色のァライメントマークを点灯させることを特徴とする請求項 1に記載の位置検出装置。

[4] 表示用パネルの画像に基づいて当該表示用パネルの検査を行う検査装置であつて、

位置検出のためのァライメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる信号を出力する点灯制御手段と、

上記点灯制御手段の信号に基づ!/、て、表示用パネルに上記ァライメントマークを点灯させる点灯手段と、

上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する撮像手段と、上記撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて上記表示用パネルの位置を検出する位置検出手段と、

上記位置検出手段の検出結果をもとに上記撮像画像の補正を行うとともに、補正された撮像画像に基づいて上記表示用パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出手段とを備える検査装置。

[5] 上記撮像手段は、撮像素子を有するセンサと、当該センサを 1軸方向に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする請求項 4に記載の検査装置。

[6] 表示用パネルの位置を検出する位置検出装置における位置検出方法であって、位置検出のためのァライメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる点灯制御工程と、

上記ァライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出工程とを含むことを特徴とする位置検出方法

〇

請求項 1〜3に記載の位置検出装置の上記各手段としてコンピュータを機能させるための位置検出プログラム。

請求項 7に記載の位置検出プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。