WO2008006504A2 - Verfahren zur herstellung optoelektronischer bauelemente und damit hergestellte erzeugnisse - Google Patents

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Joseph S. Hayden
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Definitions

  • the invention relates generally to optoelectronic devices and their manufacture.
  • the invention relates to the assembly of optical components with the optoelectronic functional substrates, such as optoelectronic chips or functional wafers with optoelectronic chips.
  • the invention is therefore based on the object to provide qualitatively improved optoelectronic components. This object is already achieved in a surprisingly simple manner by the subject matter of the independent claims. Advantageous embodiments and further developments are specified in the dependent claims.
  • the invention provides a method for producing optoelectronic components, in particular image signal detecting or image signal-emitting components, in which optical components are respectively provided, picked up and placed on a wafer, the optical components preferably being arranged individually or in groups relative to the position of associated optoelectronic or optical components optical components of the wafer or a wafer to be connected to this be positioned.
  • the wafer is correspondingly a functional wafer on which the optoelectronic circuits of the individual components have been produced.
  • silicon wafers are suitable here, on which the optoelectronic circuits are produced.
  • Component a plane-parallel substrate. This serves to cover the sensor areas, as an optical window and can be used with a defined thickness in particular as a precise spacer for other optical components.
  • the optical component can also have spectrally filtering properties. In particular, it is intended to a UV and / or IR-blocking effect.
  • the above-described plane-parallel substrate may be a filter glass with which infrared and / or ultraviolet components are filtered out become.
  • the optical component in particular, to have beam-shaping and spectrally-filtering action.
  • refractive, diffractive or refractive-diffractive lenses, aspherical lenses or free-forms of the base body of the optical components come into consideration as beam-shaping optical elements.
  • the optical component may comprise a filter glass for spectrally filtering effect or be coated accordingly.
  • an antireflection and / or anti-scratch coating may alternatively or additionally also be present.
  • an easily cleanable hydrophobic coating can also be applied.
  • fluorine-containing layers such as fluoroalkylsilane-containing sol-gel layers can be applied.
  • a hydrophobic, easy-to-clean coating is not only advantageous for later use, but easier cleaning can already take place during the course of production.
  • individual or groups of chips are accommodated with optoelectronic circuits and placed on a transparent wafer with optical components, for example also integrated optical components, the chips respectively aligned individually or in groups relative to the position of associated optical components of the wafer and the alignment is performed on the basis of at least one control parameter measured in the course of the alignment.
  • Control parameters can be register marks, interferometric signals relative to optical axes, Be camera recording and evaluation.
  • the alignment techniques used in lithography can also be used.
  • a functional wafer with a plurality of optoelectronic circuits with sensor and / or emitter regions is provided and optical components for the sensor and / or emitter regions of the optoelectronic circuits are mounted on the wafer, wherein at least one of the optoelectronic circuits optical component is received, placed and aligned individually to the position of the respective sensor and / or emitter region, wherein the alignment is carried out based on at least one measured in the course of the alignment control parameter.
  • This technique is particularly suitable for emitting optoelectronic components, such as lasers and laser bars.
  • the optical component may be a single component, such as a single lens or an associated plurality of optical components, such as in particular a multi-component optical module.
  • the attachment of the components may be by anodic bonding, gluing or mechanical fastening.
  • the optical components do not necessarily have to be applied directly to the functional wafer.
  • the functional wafer may already be provided with transparent cover parts, on which the optical components are then arranged, aligned and fastened.
  • the assembly may include on the one hand an individual alignment and attachment of optical components on a functional wafer or on the other hand an individual alignment and attachment of optoelectronic chips on a wafer with optical components.
  • optical components can be further developed
  • Invention for example in the form of a strand or in the form of a network relative to each other, preferably with interposed predetermined separation points, be prepositioned.
  • Such arrays of optical components can be produced in particular by molding of fibers.
  • This method and arrangements made therefrom of optical components, in particular of lenses, are known, for example, from German patent application with the application number 10 2006 001790, the disclosure of which relating to the production of optical components is also fully made subject to this application.
  • This method of manufacturing optical components comprises the steps of: inserting a glass fiber into a mold having at least two mold halves and a pressing surface area for at least one optical element, and closing the mold, heating the mold and the fiber to the cladding region of the fiber and the mold at least have reached the pressing temperature, -Blankpressen the fiber, so that a glass part is obtained with an optical element,
  • the pre-positioning is intended to facilitate the group-wise assembly and can include components associated with glass strands and predetermined breaking points, which are produced in particular by means of blank pressing. If the mold has several cavities for the optical components, which are arranged at a definite distance from each other, the optical components are also arranged on the glass strand at defined intervals and thus pre-positioned.
  • a pre-positioning can also be achieved with spacers obtained by lithographic techniques, which hold the optical components prepositioned. Also, when positioning multiple optical components in multiple groups, as provided in accordance with this embodiment of the invention, high alignment accuracy can be achieved because of difficulties in aligning all the optical components on an optical wafer with all sensor or emitter regions on a functional wafer with the semiconductor Circuits are avoided.
  • pre-positioning is to use pre-assembled optical assemblies in positioning carriers, wherein each a positioning carrier mounted with multiple optical assemblies and these are positioned laterally together.
  • the optoelectronic components can be connected in an advantageous manner and for alignment electrical signals of the optoelectronic components as control parameters by the wiring be recorded.
  • One example is to apply a camera chip and to focus light on the sensor via the optical component or assembly. The alignment can then be based on the signals supplied by the sensor.
  • a point light source or an arrangement of point light sources can be used, and the alignment can take place with optimization of the focus size.
  • the alignment is monitored, controlled and controlled by means of an additional optical sensor arrangement, for example an interferometric arrangement provided with a camera. Also, for example, the image of the focused via the respective optical component or optical assembly image of the sensor and / or emitter region can be detected and the alignment made on the basis of this.
  • an additional optical sensor arrangement for example an interferometric arrangement provided with a camera.
  • the image of the focused via the respective optical component or optical assembly image of the sensor and / or emitter region can be detected and the alignment made on the basis of this.
  • the invention also provides a method for packaging optoelectronic components, in which optoelectronic circuits are packaged with sensor and / or emitter regions in the wafer composite, in which a transparent wafer, in particular a glass, glass ceramic and / or optoceramic produced and on a Functional wafer is placed with the circuits on the functional side of the functional wafer and fixed, wherein the transparent wafer is produced with a tolerance of the average thickness less than ⁇ 10 microns, preferably less than ⁇ 6 microns.
  • the thickness of the wafer is particularly suitable for short focal length optics, preferably between 50 and 500 microns. Particularly preferred is a thickness in the range of 100 to 400, most preferably a thickness of 250 to 350 microns.
  • the thickness varies as little as possible along the wafer, so that the distances of the optical components are respectively defined according to the functional wafer.
  • transparent wafers in particular glass, glass ceramic and / or optoceramic wafers, whose thickness varies along the surface of one side by at most ⁇ 10 micrometers, preferably at most ⁇ 6 micrometers.
  • a multiplicity of glass, glass-ceramic and / or optoceramic wafers from one or more glass, glass-ceramic and / or optoceramic wafers make a thickness measurement on the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafers and perform sorting in at least two groups based on the thickness measurement, so that the wafers of at least one screened group of wafers have a layer thickness tolerance of less than ⁇ 10 microns.
  • wafers of a certain required or desired thickness are selected for further processing and the remaining wafers are sorted out.
  • appropriate groups of optical elements can be used, which match the respective thickness of the wafer.
  • lenses or lens modules may be provided in groups of different focal lengths and further processed together with the respective appropriate groups of wafers, so that the focal lengths respectively match the thicknesses of the wafers.
  • Another, alternative or additional way to make wafers having a tolerance of average thickness less than + 10 microns is to polish the wafers to reduce their thickness, with a thickness control during polishing and / or in pauses between multiple polishing steps is made.
  • a thickness measurement is carried out on the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafers and then a coating is deposited whose layer thickness is selected so that the total thickness of the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafers with the coating deposited thereon is the intended one Thickness with a tolerance of average thickness less than ⁇ 10 microns achieved.
  • a suitable glass layer preferably by electron beam evaporation, are evaporated.
  • Borosilicate glasses have proven to be particularly suitable for vapor deposition.
  • Wafer material is also used as Aufdampfmaterial.
  • optical components can, according to yet another
  • a method for producing optoelectronic components are performed, in which a functional wafer is connected to a plurality of optoelectronic circuits with a glass, glass ceramic and / or optoceramic wafer having a plurality of optical components, wherein an optical component in each case an optoelectronic circuit wherein the optical components in the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafer are produced by dry etching, in particular reactive ion etching or ion beam etching or ion milling, in a plasma, wherein the structures of the optical components on the wafer by applying a structured intermediate layer and removal of both material of the intermediate layer, and of Material of the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafer are generated by the reactive ions during the etching process.
  • This method even allows the production of aspherical lenses in a well-defined lateral position.
  • photolithographic patterning is particularly preferably used. Since the production of the optoelectronic circuits takes place by means of photolithographic masks, the same position accuracy can be achieved by means of the photolithographic structuring of the intermediate layer as in the production of the circuits. Due to the precise positioning, the assembly of the optical components with the optoelectronic circuits can take place completely in the wafer assembly.
  • a fluorine-containing, preferably CF 4 -containing atmosphere for the production of a plasma for the reactive ion etching in conjunction with a glass, glass ceramic and / or
  • the wafer material may contain at least one of the components SiO 2 , GeO 2 , B 2 O 3 , P 2 O 5 for this purpose .
  • Optokeramik covers are applied to the optoelectronic circuits, wherein a glass, glass ceramic and / or optoceramic wafer connected to a sacrificial substrate, and the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafer is divided into individual covers, which are interconnected via the sacrificial wafer, and wherein the bond with the sacrificial wafer and the covers with the exposed sides of the covers attached to the functional wafer, the bond between sacrificial wafers and the covers removed, and the sacrificial wafer removed so that an intermediate with the functional wafer and attached to the optoelectronic circuits are laterally spaced from each other spaced covers is obtained.
  • the optical wafer is broken in this way into individual parts, which are connected to the functional wafer in the wafer composite, occurring stresses can degrade, so that a strong deflection or detachment of the cover substrates from the optical wafer is prevented.
  • the coefficients of thermal expansion differ at room temperature by at least 3.5 ⁇ 10 "6 K '1. This is also true possible if cover parts individually or in groups on a functional wafer, or vice versa chips are placed on an optical, transparent wafer, such as in particular a glass, glass ceramic or optoceramic wafers.
  • a glass wafer or glass covers can be used with a spectrally-filtering glass, in particular an infrared filter glass.
  • a spectrally-filtering glass in particular an infrared filter glass.
  • An example of such a glass is the Schott glass BG 50th infrared filter glasses often have expansion coefficients in the range of 8 to 9 * 10 -6 K "1, during which silicon as the semiconductor material for the functional wafer or chip only an expansion coefficient of about 2 * 10 ⁇ 6 K '1.
  • Other glasses, some of which differ even more in their coefficient of expansion are, for example, optical glasses which are particularly suitable for bright pressing, where even coefficients of expansion of up to about 17 * 10 -6 K -1 are known , Such glasses can also be used according to the invention. Accordingly, differences in the coefficients of linear expansion of at least 8 * 10 -6 K -1 or even at least 14 * 10 -6 K -1 may also occur.
  • a further possibility, which can also be used in addition to a filter glass, to obtain spectrally filtering properties is the use of a glass wafer or of glass covers with a spectrally effective coating, in particular an infrared and / or UV filter coating.
  • a spectrally effective coating in particular an infrared and / or UV filter coating.
  • Filter glass with a filter coating is advantageous in order to obtain a broadband defined filter effect with fixed edges. Accordingly, it is provided in a further development of the invention that a glass wafer or glass covers with spectrally-filtering glass, in particular an infrared filter glass and a spectrally effective coating, in particular an infrared and / or UV filter coating can be used.
  • spectrally-filtering glass in particular an infrared filter glass and a spectrally effective coating, in particular an infrared and / or UV filter coating
  • integrated optics can also be produced by blank pressing.
  • a method is provided in which a glass wafer or glass covers, preferably with a low-T g glass having a transformation temperature below 600 0 C, preferably below 550 0 C, particularly preferably used in the range of 450 to 550 0 C and optical components are produced by molding the glass.
  • Silicon molds are particularly suitable for small optical elements. These can be processed to produce the corresponding cavities with lithography steps, as they are used in semiconductor manufacturing. It has surprisingly been found that in addition - glasses with transformation temperatures above 600 0 C can be used - by using suitable materials for the mold, for example silicon and a special temperature and pressure control. A particularly preferred temperature and
  • Pressure guidance provides to lower the contact pressure during cooling after pressing the optical components.
  • blank pressing is also suitable for the production of diffractive elements, such as diffractive lenses.
  • recesses may also be formed on an optical wafer or a single transparent one Covers are made by molding. These then form, after the connection to the functional wafer, cavities which hermetically surround the sensor and / or emitter regions.
  • a method for producing optoelectronic components in which a stack with at least two glass, glass ceramic and / or optoceramic wafers, of which at least one has a multiplicity of optical components which are assigned in position to optoelectronic components on a functional wafer, is used ,
  • glass, glass ceramic and / or optoceramic wafers with a plurality of lenses are used as optical components. These can generally be produced by means of blank pressing.
  • a further, alternative or additional possibility for producing an optical wafer with integrated optics is preferably prepositioned the optical components to be mounted on the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafer wafer.
  • multi-element optics, such as lenses can be pre-assembled on the transparent wafer and then connected to the functional wafer.
  • an intermediate product is obtained in which the optoelectronic components are assembled together with optical components in the wafer assembly.
  • the intermediate product comprises a functional wafer with optoelectronic circuits and on the optoelectronic circuits mounted, laterally spaced covers.
  • Such an intermediate product is obtained, for example, when an optical wafer is mounted on a sacrificial substrate as described above, divided and then connected to the functional wafer.
  • the intermediate product with a cattle number of optical or optoelectronic components comprises isolated optical or optoelectronic components which are each mounted on a wafer, wherein the optical or optoelectronic components are each individually aligned with the position of associated optoelectronic or optical components of the wafer.
  • isolated chips with optoelectronic circuits can be placed on a transparent wafer with optical components, preferably integrated optical components, and aligned individually with the optical components of the wafer assigned to the position.
  • This intermediate is obtained when individual optoelectronic chips, as described above, are placed on an optical or transparent wafer, such as a glass ceramic or optoceramic wafer, aligned and bonded.
  • Functional wafer with a plurality of optoelectronic circuits with sensor and / or emitter regions optical components for the sensor and / or emitter regions of the optoelectronic circuits are mounted on the wafer, wherein for the optoelectronic circuits respectively at least one isolated optical component is placed and aligned individually to the position of the respective sensor and / or emitter region.
  • Optoelectronic components or components can then be produced by separating off wafers from the abovementioned intermediates.
  • a preferred field of application are digital image recording devices with such optoelectronic components.
  • Imaging devices may include, for example, digital still and video cameras, and devices including them, such as: surveillance cameras, imaging devices for automotive, avionics, nautical, robotic, security applications, medical applications, such as in endoscopes, arthroscopes.
  • filters for the cover parts are filter glasses, such as the glasses known under the name BG 50,
  • Borosilicate glasses such as borofloate glass, alkali-free borosilicate glasses such as those known under the names AF 37 and AF 45 or D 263 glasses into consideration.
  • the borosilicate glasses are well suited to be connected to a silicon wafer as a functional wafer, since the aforementioned glasses have similar coefficients of expansion to silicon.
  • FIG. 4 process steps for producing a wafer composite with a semiconductor functional wafer and a transparent glass cover with a small thickness tolerance
  • FIG. 18 is a photograph of a glass-formed lens-formed glass wafer with lenses
  • FIG. 19 shows profile measurements on a cavity of the press mold and a lens produced therewith
  • FIG. 20 shows a variant of the wafer composite shown in FIG. 4, FIG.
  • Filter coating and an infrared filter glass and their combination.
  • the method is based on packaging the optoelectronic components in the wafer composite by producing a glass wafer and placing it on a functional wafer with the circuits on the wafer
  • the glass wafer is preferably made with a thickness between 50 and 500 microns and a tolerance of the average thickness less than ⁇ 10 microns, preferably less than ⁇ 6 microns.
  • the thickness of the optical glass wafer also fluctuates by at most ⁇ 10 micrometers, preferably at most ⁇ 6 micrometers.
  • a plurality of glass wafers is machined out of one or more glass panes, a thickness measurement is made on the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafers and the thickness measurement results in a sorting into at least two groups, so that the wafers of at least one sorted group of wafers have a layer thickness tolerance smaller than ⁇ 10 microns.
  • 1 shows the production of the glass panes by means of a down-draw device 1.
  • the device 1 comprises a crucible 3, which is filled with molten glass 5.
  • the glass melt 5 runs as a strand 7 from a slot 4 and cools to a solid glass strand. This is decomposed by means of a separator into individual glass panes ii.
  • Glass wafer 13 for example cut out with a diameter of 8 inches.
  • a thickness measurement and a sorting into groups 20, 21, 22 of different thickness takes place.
  • the thickness measurement takes place in the example shown by means of a triangulation measuring device.
  • a laser beam of a laser 15 is directed obliquely onto a wafer 13.
  • the laser light is reflected at the surfaces of both sides, so that two parallel beams are produced, which are detected by a sensor 17.
  • the thicker the wafer the greater the parallel spacing of the light rays.
  • the classification into the various groups 20, 21, 22 is such that the wafers 13 within a group differ in their average thickness by at most ⁇ 10 microns, preferably less than ⁇ 6 microns.
  • the glass wafers 13 are then, as shown in Fig. 4, bonded to a functional wafer in the form of a semiconductor wafer 25 with a plurality of optoelectronic circuits, for example camera sensors.
  • the bonding can, for example, by an adhesive bond, anodic bonding, low-temperature bonding to form a inorganic network between the wafers 13, and 25, or by local rapid melting of a metal coating, for example by means of a laser.
  • the optoelectronic circuits 27 are now hermetically packaged by means of the optical wafer 13.
  • the outside of the optical wafer 13 is at a precisely defined distance from the encapsulated surface of the semiconductor wafer 25 with the optoelectronic circuits 27. This now makes it possible to set up optical components, in particular lenses or lens modules, directly on the glass wafer 13. An adjustment of the distance can be omitted accordingly.
  • the functional wafer 25 is provided with a plurality of optoelectronic circuits 27 with individual glass covers for the optoelectronic circuits, wherein a glass wafer is connected to a sacrificial substrate, and the glass wafer is divided into individual covers, which the sacrificial wafer are joined together, and wherein the composite with the sacrificial wafer and the covers with the exposed sides of the covers attached to the functional wafer, the
  • a detachable Adhesive connection can be used for attachment.
  • a thermally dissolvable adhesive or, if the sacrificial wafer is transparent to UV light, a UV-releasable adhesive are used for attachment.
  • cuts 32 are inserted into the glass wafer 13, which sever the glass wafer 13.
  • the cuts can also, as shown in FIG. 6, partially extend into the sacrificial wafer 30 without severing it.
  • cover parts 130 are obtained, but which are connected to each other via the sacrificial wafer 30.
  • This composite is then bonded to the cover wafer on the semiconductor wafer 25 and the sacrificial wafer 30 is removed, so that in each case an optoelectronic circuit 27 is covered by a cover member 130 and encapsulated.
  • FIG. 9 shows, proceeding from the intermediate product shown in FIG. 8, processing steps for further processing of the glass cover parts 130 provided with the glass cover parts Functional wafer 25. The process may also be performed with the intermediate product shown in FIG. In particular, lenses 35 are now placed on the wafer 25.
  • the method is based on the fact that the functional wafer 25 is provided with a multiplicity of optoelectronic circuits 27 with sensor and / or emitter regions, and optical components in the form of lenses 35 for the sensor and / or emitter regions of the optoelectronic circuits are mounted on the wafer 25 In each case, at least one lens 35 is picked up, placed and individually aligned with the position of the respective sensor and / or emitter region for the optoelectronic circuits, the alignment taking place based on at least one control parameter measured in the course of the alignment.
  • the recording, setting and alignment is performed by means of a robot arm 38.
  • the robot arm 38 may be equipped with a suction device for holding a lens 35. Since the distance between the lenses 35 has already been optimized by the precisely defined thickness of the cover parts 130 or of the optical wafer 13, a lateral alignment still takes place in this example.
  • the orientation of the lens relative to the underlying associated optoelectronic circuit, or its sensor and / or emitter region is detected by means of an additional sensor arrangement, wherein the exact alignment is based on the data of this sensor arrangement.
  • a camera 40 is provided here, which records the positioning of the lens. Based on the images, the robot arm is controlled and controlled. If the lateral position of the lens 35 is optimized, this is fixed.
  • a UV-curing adhesive may be used.
  • the glue between lens 35 and Cover 130 is initially liquid or at least viscous, so that the lens can be moved laterally. Once the correct position has been found, the adhesive can be cured quickly by UV irradiation and the lens can thus be permanently attached.
  • FIG. 10 shows a variant of the arrangement shown in FIG. 9.
  • the optoelectronic components, or the optoelectronic circuits are connected and to
  • Alignment electrical signals of the optoelectronic components detected as control parameters by the wiring The optoelectronic circuits are contacted in the example shown in Fig. 10 via conductive channels to the wafer back.
  • the respective circuit 27 is now connected via these channels and connected to a control device 45.
  • the image of a light source 41 is evaluated by the control device 45 and the robot arm 38 is controlled on the basis of this evaluation.
  • the lens can be moved laterally until there is an optimum focus on the sensor region of the optoelectronic circuit 27. Subsequently, as already described with reference to FIG. 9, the lens 35 is finally fixed.
  • FIG. 11 shows a schematic view of a further variant.
  • a glass strand 47 with a plurality of lenses 35 is fastened on the functional wafer 25.
  • the lenses 35 on the glass strand 47 are arranged at a defined spacing, which corresponds to the spacing of the optoelectronic circuits 27 on the functional wafer.
  • the lenses 35 are thus already prepositioned in one direction.
  • the robot arm 38 now positions the strand 47 so that the lenses 35 are optimally aligned with the optoelectronic circuits 27.
  • the Positioning can be carried out as described with reference to FIG. 9 or FIG. 10. It is advantageous if the alignment is carried out for at least two of the lenses, or the associated optoelectronic circuits 27. For example, two optoelectronic circuits can be connected and their signals used to control the alignment.
  • Fig. 12 shows a further variant in which optical modules are placed and aligned. Here is in the
  • FIGS. 10 and 11 uses an intermediate product, as shown in Fig. 4.
  • optical components are placed on the functional wafer 25 by means of a controlled robot arm 38, aligned and fixed individually to the respective optoelectronic circuits 27.
  • prefabricated optical modules 50 having a plurality of lenses 351, 352, 353 are placed on and positioned.
  • the optical modules 50 are placed and fixed on the optical wafer 13 before the wafer 13 is bonded to the functional wafer 25. Also in this case can one
  • Orientation can be made individually to the position of the respective sensor and / or emitter region, for example by aligning using alignment marks, for example a suitable mask.
  • optical components in the form of optical modules are accordingly respectively provided, picked up and placed on a wafer, wherein the optical components are each individually or positioned in groups relative to the position of associated opto-electronic components of a functional wafer to be later joined thereto.
  • FIGS. 13 to 15 show process steps for producing an intermediate product having a functional wafer and an optical wafer with integrated optical components connected thereto.
  • an optical wafer is provided with optical components, in particular with lenses.
  • the method is based on connecting a functional wafer with a multiplicity of optoelectronic circuits to a glass, glass-ceramic and / or optoceramic wafer having a multiplicity of optical components, wherein an optical wafer
  • Component is assigned in each case an optoelectronic circuit, wherein the optical components in the glass, glass ceramic and / or optoceramic wafer by dry etching, in particular reactive ion etching, ion beam etching, ion milling, are produced in a plasma, wherein the
  • Structures of the optical components on the wafer by applying a structured intermediate layer and removal of both material of the intermediate layer, and material of the glass, glass-ceramic and / or opto-ceramic wafer can be generated by the reactive ions during the etching process.
  • a structured intermediate layer 52 with lenticular structures 52 is applied to a glass wafer 13.
  • Distribution of the lenticular structures corresponds to the distribution and arrangement of optoelectronic circuits on a functional wafer.
  • the intermediate layer can be produced, for example, photolithographically.
  • To lenticular arched structures from the To obtain photolithographically produced structures of the intermediate layer for example, gray-scale lithography can be used.
  • Another possibility is to melt the intermediate layer after structuring, so that the surface tension of the molten material converts the structures into a teardrop shape.
  • the side of the wafer 13 becomes the lenticular structures 54 in one
  • Plasma 55 treated by reactive ion etching For this purpose, a fluorine-containing, preferably CF / j-containing atmosphere is used for the production of a plasma for reactive ion etching.
  • the wafer 13 contains a material which contains at least one component which forms a volatile fluoride with fluorine.
  • a glass with at least one of the components SiO 2 , GeO 2 , B 2 O 3 , P2O5 is used.
  • the exposed areas of the wafer, which are not covered by the structures 54 are thereby removed to form volatile fluorides.
  • the structures 54 are also removed, so that further areas of the wafer surface are exposed and etched in the course of the etching process at the edge thereof.
  • lens-shaped structures also form in the glass.
  • a wafer with lenses 35 produced in this way can then be bonded to a functional wafer 25, as shown in FIG. 15.
  • Figs. 16 and 17 show another way to fabricate optical wafers 13 with lens arrays.
  • the method is based on producing optical components on a glass wafer by means of blank pressing of the glass.
  • a mold with mold halves 58, 62 is used.
  • the mold half 58 has a plurality of Cavities 60 on.
  • the cavities are formed as negative forms of the lenses to be produced.
  • these cavities can also be aspherical in order to produce corresponding aspherical lenses.
  • silicon is used as the material for the mold half 58.
  • the cavities can pass through this way
  • Lithography steps such as those used in semiconductor manufacturing can be produced.
  • Fig. 18 shows a photograph of such a glass wafer 13.
  • the edge of the wafer 13 is visible at the corners of the image.
  • a section 64 is shown enlarged under the photograph. It can be seen that the lateral position of the lenses on the wafer 13 can be produced with a tolerance of less than 20 micrometers distance of the lens center from the nominal position by blank pressing.
  • Fig. 19 shows measurements of the profile of a cavity 60 (thick dashed line) and a lens 35 (solid line) made therewith. As can be seen from this measurement, the two profiles lie on each other with practically no apparent deviation.
  • the lens shape of the cavity is accordingly imaged very well on the produced lenses. In particular, the shape deviation from the nominal shape can be limited to well below 1 micron.
  • FIG. 20 shows a variant of the wafer composite shown in FIG. 4.
  • the optical wafer 13 of this embodiment comprises a colored glass 65, for example a glass marketed by the applicant under the name BG 50, and an infrared filter coating 67.
  • the infrared filter coating is a mono- or preferably multilayer interference coating.
  • the infrared filter coating 67 is applied to the side of the optical wafer 13 facing away from the functional wafer 25.
  • the infrared filter coating 67 may also be applied to the opposite, the functional wafer 25 side facing or on both sides.
  • FIGS. 21 and 22 show transmission characteristics of a filter coating and an infrared filter glass, as well as their combination.
  • Fig. 21 the spectral Transition region between visible and infrared light shown.
  • the curve 70 is the transmission of an infrared filter coating 67 at normal incidence of light.
  • the curve 71 shows the transmission of this infrared filter coating 67 at a light incidence angle of 35 ° measured to the surface normal.
  • the curves 72 and 73 also show the transmission of a BG5 filter glass under normal incidence (curve 72) and oblique incidence, also below 35 ° to the normal.
  • the filter glass shows only a negligible dependence of the transmission on the angle of incidence.
  • Demgenüber shifts in the infrared filter coating 67, the cut edge at an oblique incidence of light clearly in the visible range.
  • the falling edge in the transmission of the infrared filter coating 67 is much sharper, especially at normal incidence of light.
  • the filter glass 65 Due to the low angle dependence of the transmission curve, the filter glass 65 is well suited for wide-angle optics. In addition, with the infrared filter coating 67, a sharp edge in the
  • Transmission can be achieved during the transition to the infrared range, so that short-wave infrared components are cut off.
  • Fig. 22 shows the transmission characteristics over a larger wavelength range. The transmission characteristics for oblique incidence of light are not shown here for the sake of clarity.
  • the curve 74 is the transmission for an infrared filter coating in combination with the BG50 filter glass, ie for an optical cover wafer 13, as shown in FIG.
  • the transmission profile 70 of the infrared filter coating 67 again shows an increase in the transmission in the range above 1 micron wavelength.
  • silicon camera sensors are still sensitive so that unwanted exposure effects can occur.
  • the filter glass blocks these portions very effectively, so that in the transmission curve 74 of the combined with a filter glass infrared filter coating 67 only a very small transmission in this wavelength range.
  • the drop in transmission during the transition to the infrared range is significantly steeper than with a filter glass without an infrared filter coating 67.

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Abstract

Die Erfindung betrifft die Herstellung optoelektronischer Komponenten, wobei optische Komponenten im Waferverbund aufgebracht werden. Dazu ist ein Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente, insbesondere bildsignalerfassender oder -gebender Bauelemente vorgesehen, bei welchem optische Komponenten jeweils bereitgestellt, aufgenommen und auf einen Wafer aufgesetzt werden, wobei die optischen Komponenten vorzugsweise jeweils einzeln oder in Gruppen relativ zu der Position zugeordneter optoelektronischer oder optischer Komponenten des Wafers oder eines mit diesem zu verbindenden Wafers positioniert werden.

Description

Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente und damit hergestellte Erzeugnisse
Beschreibung
Die Erfindung betrifft allgemein optoelektronische Bauelemente und deren Herstellung. Insbesondere betrifft die Erfindung dabei das Zusammenfügen optischer Komponenten mit den optoelektronischen Funktionssubstraten, wie optoelektronischen Chips oder Funktionswafern mit optoelektronischen Chips.
Auch bei optoelektronischen Bauelementen ist eine zunehmende Miniaturisierung zu beobachten. So werden immer kleinere Kameramodule entwickelt, um damit Mobiltelefone auszustatten. Mit einer zunehmenden Miniaturisierung der Kamera-Chips schrumpfen auch die zugehörigen Optiken. So haben die Chips vielfach aktive Sensorflächen in der Größenordnung eines oder weniger Quadratmillimeter. Um eine hinreichende Lichtstärke der zugehörigen Objektive zu gewährleisten, sinken dabei auch die Abstände der optischen Elemente zur Chipoberfläche entsprechend. Es besteht dabei dann generell das Problem, daß auch die Toleranzen in der Ausrichtung der optischen Elemente zur Sensorfläche immer kleiner werden müssen, wenn die Aufnahmequalität erhalten bleiben soll. So führen bei den sehr kurzen Brennweiten miniaturisierter, in festem Abstand zum Chip angeordneter Optiken oder optischer Elemente bereits kleine Abweichungen im Abstand zu massiven Einbußen in der erzielbaren Bildschärfe. Gleiches gilt auch für die laterale
Positionierung der Optik relativ zur Sensorfläche. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, qualitativ verbesserte optoelektronische Bauelemente bereitzustellen. Diese Aufgabe wird bereits in höchst überraschend einfacher Weise durch den Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
Die Erfindung sieht dazu ein Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente, insbesondere bildsignalerfassender oder bildsignalgebender Bauelemente vor, bei welchem optische Komponenten jeweils bereitgestellt, aufgenommen und auf einen Wafer aufgesetzt werden, wobei die optischen Komponenten vorzugsweise jeweils einzeln oder in Gruppen relativ zu der Position zugeordneter optoelektronischer oder optischer Komponenten des Wafers oder eines mit diesem zu verbindenden Wafers positioniert werden.
Der Wafer ist hier dementsprechend ein Funktionswafer, auf welchem die optoelektronischen Schaltungen der einzelnen Bauelemente hergestellt wurden. Insbesondere kommen hier Siliziumwafer in Betracht, auf denen die optoelektronischen Schaltungen hergestellt sind.
Gemäß einer ersten Weiterbildung ist die optische
Komponente ein planparalleles Substrat. Dieses dient zur Abdeckung der Sensorbereiche, als optisches Fenster und kann mit definierter Dicke insbesondere auch als präzises Abstandselement für weitere optische Komponenten eingesetzt werden. Die optische Komponente kann auch spektral filternde Eigenschaften aufweisen. Insbesondere ist dabei an eine UV- und/oder IR-sperrende Wirkung gedacht. Beispielsweise kann dabei das vorstehend beschriebene planparallele Substrat ein Filterglas sein, mit welchem Infrarot- und/oder Ultraviolett-Anteile herausgefiltert werden.
In Weiterbildung der Erfindung ist insbesondere vorgesehen, daß die optische Komponente strahlformende und spektral filternde Wirkung aufweist. Als strahlformende optische Elemente kommen insbesondere refraktive, diffraktive oder refraktiv-diffraktiv wirkende Linsen, asphärische Linsen oder Freiformen des Grundkörpers der optischen Komponenten in Betracht. Die optische Komponente kann zur spektral filternden Wirkung ein Filterglas umfassen oder entsprechend beschichtet sein. Neben einer solchen Filterbeschichtung, für die insbesondere eine Interferenzbeschichtung geeignet ist, kann alternativ oder zusätzlich auch eine Antireflex- und/oder Antikratz- Beschichtung vorhanden sein. Weiterhin kann auch eine leicht reinigbare hydrophobe Beschichtung aufgebracht werden. Für eine hydrophobe Wirkung können beispielsweise fluorhaltige Schichten, wie etwa Fluoralkylsilan-haltige Sol-Gel-Schichten aufgebracht werden. Eine hydrophobe, leicht zu reinigende Beschichtung ist nicht nur für den späteren Gebrauch von Vorteil, vielmehr kann eine erleichterte Reinigung auch bereits im Verlauf der Herstellung erfolgen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung werden einzelne oder Gruppen von Chips mit optoelektronischen Schaltungen aufgenommen und auf einen transparenten Wafer mit optischen Komponenten, beispielsweise auch integrierten optischen Komponenten aufgesetzt, wobei die Chips jeweils individuell oder in Gruppen relativ zu der Position zugeordneter optischer Komponenten des Wafers ausgerichtet werden und die Ausrichtung anhand zumindest eines im Verlauf der Ausrichtung gemessenen Kontrollparameters erfolgt. Kontrollparameter können dabei Registermarken, interferometrische Signale relativ zu optischen Achsen, Kameraaufzeichung und -auswertung sein. Generell können auch die in der Lithographie eingesetzten Ausrichtungstechniken angewandt werden.
Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung wird ein Funktionswafer mit einer Vielzahl von optoelektronischen Schaltungen mit Sensor- und/oder Emitterbereichen bereitgestellt und optische Komponenten für die Sensor- und/oder Emitterbereiche der optoelektronischen Schaltungen auf dem Wafer befestigt, wobei für die optoelektronischen Schaltungen jeweils zumindest eine optische Komponente aufgenommen, aufgesetzt und individuell auf die Position des jeweiligen Sensor- und/oder Emitterbereichs ausgerichtet wird, wobei die Ausrichtung anhand zumindest eines im Verlauf der Ausrichtung gemessenen Kontrollparameters erfolgt. Diese Technik ist insbesondere auch für emittierende optoelektronische Komponenten, wie Laser und Laserbarren geeignet. Die optische Komponente kann eine Einzelkomponente, wie etwa eine Einzellinse oder auch eine zugeordnete Vielzahl optischer Komponenten, wie insbesondere ein optisches Modul mit mehreren Einzelkomponenten sein.
Allgemein kann das Befestigen der Komponenten durch anodisches Bonden, Kleben oder mechanisches Befestigen erfolgen. Die optischen Komponenten müssen weiterhin nicht zwangsläufig unmittelbar auf den Funktionswafer aufgebracht werden. Beispielsweise kann der Funktionswafer auch schon mit transparenten Abdeckteilen versehen sein, auf welchen dann die optischen Kompoenten angeordnet, ausgerichtet und befestigt werden.
Allen vorstehend beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung ist gemeinsam, daß gegenüber bisher eingesetzten sogenannten „pick and place„-Techniken nicht jeweils einzelne Komponenten assembliert werden, sondern, daß eine Assemblierung von Einzelkomponenten auf einem Wafer erfolgt. Die Assemblierung kann dabei einerseits eine individuelle Ausrichtung und Befestigung optischer Komponenten auf einem Funktionswafer oder andererseits eine individuelle Ausrichtung und Befestigung von optoelektronischen Chips auf einem Wafer mit optischen Komponenten umfassen.
Die optischen Komponenten können in Weiterbildung der
Erfindung beispielsweise in Form eines Strangs oder in Form eines Netzes relativ zueinander, vorzugsweise mit dazwischen angeordneten Solltrennstellen, vorpositioniert sein. Derartige Arrays von optischen Komponenten können insbesondere durch Blankpressen aus Fasern hergestellt werden. Dieses Verfahren und damit hergestellte Anordnungen von optischen Komponenten, wie insbesondere von Linsen sind beispielsweise aus der deutschen Patentanmeldung mit der Anmeldenummer 10 2006 001790 bekannt, deren Offenbarung bezüglich der Herstellung optischer Komponenten vollumfänglich auch zum Gegenstand dieser Anmeldung gemacht wird. Dieses Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten umfasst die Schritte: -Einlegen einer Glasfaser in eine Pressform mit zumindest zwei Formhälften und einem Pressflächenbereich für zumindest ein optisches Element, und Schließen der Form, -Aufheizen der Form und der Faser bis der Mantelbereich der Faser und die Form zumindest die Presstemperatur erreicht haben, -Blankpressen der Faser, so daß ein Glasteil mit einem optischen Element erhalten wird,
-Abkühlen des Glasteils unter die Transformationstemperatur Tg, -Entnehmen des durch Blankpressen hergestellten Glasteils. Die Vorpositionierung soll die gruppenweise Assemblierung erleichtern und kann mit Glassträngen und Sollbruchstellen verbundene Komponenten umfassen, die insbesondere durch Blankpressen hergestellt werden. Weist die Pressform dabei mehrere Kavitäten für die optischen Komponenten auf, die in defininertem Abstand zueinander angeordnet sind, sind auch die optischen Komponenten auf dem Glasstrang in defininerten Abständen angeordnet und damit vorpositioniert.
Weiterhin kann eine Vorpositionierung auch mit durch lithographische Techniken erhaltenen Spacern erreicht werden, welche die optischen Komponenten vorpositioniert haltern. Auch bei einer Positionierung mehrerer optischer Komponenten in mehreren Gruppen, wie gemäß dieser Ausführungsform der Erfindung vorgesehen, kann eine hohe Ausrichtegenauigkeit erzielt werden, da Schwierigkeiten bei der Ausrichtung aller optischer Komponenten auf einem optischen Wafer zu allen Sensor- oder Emitterbereichen auf einem Funktionswafer mit dn Halbleiter-Schaltungen vermieden werden.
Noch eine Möglichkeit zur Vorpositionierung besteht darin, vorassemblierte optische Baugruppen in positionierenden Trägern einzusetzen, wobei jeweils ein positionierender Träger mit mehreren optischen Baugruppen aufgesetzt und diese gemeinsam lateral positioniert werden.
Um eine individuelle Ausrichtung der optischen Komponenten zu den Sensor- und/oder Emitterbereichen einzeln oder gruppenweise zu erreichen, können in vorteilhafter Weise die optoelektronischen Komponenten beschaltet und zur Ausrichtung elektrische Signale der optoelektronischen Komponenten als Kontrollparameter durch die Beschaltung erfasst werden. Ein Beispiel ist, einen Kamerachip zu beschälten und über die optische Komponente oder Baugruppe Licht auf den Sensor zu fokussieren. Die Ausrichtung kann dann anhand der vom Sensor gelieferten Signale erfolgen. So kann etwa eine Punktlichtquelle oder eine Anordnung von Punktlichtquellen verwendet werden, und die Ausrichtung unter Optimierung der Fokusgrösse erfolgen.
Gemäß einer anderen Weiterbildung wird die Ausrichtung mittels einer zusätzlichen optischen Sensoranordnung, beispielsweise einer mit einer Kamera versehenden interferometrischen Anordnung aufgezeichnet, kontrolliert und gesteuert. Auch kann beispielsweise das Bild des über die jeweilige optische Komponente oder optische Baugruppe fokussierte Bild des Sensor- und/oder Emitterbereichs erfasst werden und die Ausrichtung anhand dessen erfolgen.
Besonders zweckmäßig ist es bei der beschriebenen individuellen Ausrichtung, das Aufsetzen und Ausrichten mittels eines Roboters vorzunehmen.
Eine weiterer, alternative oder zusätzliche Möglichkeit, Optiken hochgenau auf optoelektronischen Schaltungen zu positionieren, ist, einen entsprechend hochgenau in seiner Dicke definierten transparenten Wafer auf einem
Funktionswafer mit den Schaltungen zu befestigen, so daß die Außenseite des transparenten Wafers in genau definierter Höhe über den Sensor- und/oder Emitterbereichen der Schaltungen angeordnet ist. Dann können optische Komponenten wie Linsen oder optische Baugruppen aufgesetzt werden, die dann entsprechend genau in Richtung der optischen Achse positioniert sind. Ebenso können die optischen Komponenten auch bereits vor dem Verbinden mit dem Funktionswafer auf dem transparenten Wafer vorassembliert werden. Diese Ausführungsform der Erfindung erlaubt unter anderem eine genaue Positionierung kurzbrennweitiger Optiken über den Sensor- und/oder Emitterbereiche in Richtung der optischen Achse, ohne daß noch eine aktive Ausrichtung in dieser Richtung zwingend ist.
Demgemäß sieht die Erfindung auch ein Verfahren zur Verpackung optoelektronischer Bauelemente vor, bei welchem optoelektronische Schaltungen mit Sensor- und/oder Emitterbereichen im Waferverbund verpackt werden, bei welchem ein transparenter Wafer, wie insbesondere ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer hergestellt und auf einen Funktionswafer mit den Schaltungen auf die Funktionsseite des Funktionswafers aufgesetzt und befestigt wird, wobei der transparente Wafer mit einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als ±10 Mikrometer, vorzugsweise kleiner als ± 6 Mikrometer hergestellt wird. Die Dicke des Wafers liegt, besonders geeignet für kurzbrennweitige Optiken, vorzugsweise zwischen 50 und 500 Mikrometern. Besonders bevorzugt wird eine Dicke im Bereich von 100 bis 400, am bevorzugtesten eine Dicke von 250 bis 350 Mikrometer.
Nicht nur die durchschnittliche Dicke ist entscheidend für eine hochgenaue Positionierung in Richtung der optischen Achse, weiterhin ist es auch von Vorteil, wenn die Dicke entlang des Wafers möglichst wenig schwankt, so daß die Abstände der optischen Komponenten jeweils zum Funktionswafer entsprechend genau festgelegt sind. Dazu ist in Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, daß transparente Wafer, wie insbesondere ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer hergestellt werden, deren Dicke entlang der Oberfläche einer Seite um höchstens ± 10 Mikrometer, vorzugsweise höchstens ± 6 Mikrometer schwankt. Zur Herstellung eines Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers mit einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als + 10 Mikrometer wird vorgeschlagen, eine Vielzahl von Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafern aus einer oder mehreren Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikscheiben herauszuarbeiten, eine Dickenmessung an den Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafern vorzunehmen und anhand der Dickenmessung eine Sortierung in zumindest zwei Gruppen durchzuführen, so daß die Wafer zumindest einer aussortierten Gruppe von Wafern eine Schichtdickentoleranz kleiner als ± 10 Mikrometer aufweisen. Im einfachsten Fall werden Wafer bestimmter geforderter oder gewünschter Dicke für die Weiterverarbeitung ausgewählt und die übrigen Wafer aussortiert. Es können aber auch mehrere Gruppen unterschiedlicher Dicke, beziehungsweise Dickenbereiche ausgewählt werden. In diesem Fall können entsprechende Gruppen optischer Elemente eingesetzt werden, die zur jeweiligen Dicke der Wafer passen. Beispielsweise können Linsen oder Linsenmodule in Gruppen verschiedener Brennweiten bereitgestellt und zusammen mit den jeweils passenden Gruppen von Wafern weiterverarbeitet werden, so daß die Brennweiten jeweils zu den Dicken der Wafer passen.
Eine weitere, alternative oder zusätzliche Möglichkeit zur Herstellung von Wafern mit einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als + 10 Mikrometer besteht darin, die Wafer zu polieren und damit deren Dicke zu reduzieren, wobei während des Polierens und/oder in Pausen zwischen mehreren Polierschritten eine Dickenkontrolle vorgenommen wird. Gemäß noch eine alternativen oder zusätzlichen Weiterbildung wird eine Dickenmessung am Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer durchgeführt und anschließend eine Beschichtung abgeschieden, deren Schichtdicke so gewählt wird, daß die Gesamtdicke des Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers mit darauf abgeschiedener Beschichtung die vorgesehene Dicke mit einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als ± 10 Mikrometer erreicht. Beispielsweise kann eine geeignete Glasschicht, vorzugsweise durch Elektronenstrahlverdampfung, aufgedampft werden. Als besonders geeignet für das Aufdampfen haben sich dabei Borosilikatgläser erwiesen. Es ist bei dieser Ausführungsform der Erfindung weiterhin günstig, wenn die Brechwerte der aufgedampften Schicht und des Wafers aufeinander angepasst sind. Ideal ist dabei, wenn das
Wafermaterial auch als Aufdampfmaterial verwendet wird.
Um optoelektronische Komponenten mit genau zu den Sensor- und/oder Emitterbereichen ausgerichteten optischen Komponenten bereitzustellen, kann gemäß noch einer
Ausführungsform der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente durchgeführt werden, bei welchem ein Funktionswafer mit einer Vielzahl optoelektronischer Schaltungen mit einem Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer verbunden wird, der eine Vielzahl von optischen Komponenten aufweist, wobei eine optische Komponente jeweils einer optoelektronischen Schaltung zugeordnet ist, wobei die optischen Komponenten im Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer durch Trockenätzen, insbesondere reaktives Ionenätzen oder Ion-Beam-Ätzen oder Ion-Milling, in einem Plasma hergestellt werden, wobei die Strukturen der optischen Komponenten auf dem Wafer durch Aufbringen einer strukturierten Zwischenschicht und Abtrag sowohl von Material der Zwischenschicht, als auch von Material des Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers durch die reaktiven Ionen während des Ätzprozesses erzeugt werden. Dieses Verfahren erlaubt sogar die Herstellung asphärischer Linsen in genau definierter lateraler Position. Um die strukturierte Zwischenschicht herzustellen, wird besonders bevorzugt photolithographische Strukturierung eingesetzt. Da auch die Herstellung der optoelektronischen Schaltungen mittels photolithographischer Masken erfolgt, kann mittels der photolithographischen Strukturierung der Zwischenschicht die gleiche Positionsgenauigkeit wie bei der Herstellung der Schaltungen erzielt werden. Aufgrund der genauen Positionierung kann die Assemblierung der optischen Komponenten mit den optoelektronischen Schaltungen vollständig im Waferverbund erfolgen.
Um das Wafermaterial abzutragen, ist insbesondere eine fluorhaltige, vorzugsweise CF4-haltige Atmosphäre für die Erzeugung eines Plasmas für das reaktive Ionenätzen in Verbindung mit einem Glas-, Glaskeramik und/oder
Optokeramikwafer mit einem Material geeignet, welches zumindest eine Komponente enthält, die mit Fluor ein flüchtiges Fluorid bildet. Insbesondere kann dazu das Wafermaterial zumindest eine der Komponenten SiO2 , GeO2, B2O3, P2O5 enthalten.
Werden optische Wafer aus Glas, Glaskeramik oder Keramik auf Halbleiter-Funktionswafer gebondet, so ergibt sich das Problem, daß unterschiedliche Temperaturausdehungskoeffizienten der Materialien zu mechanischen Spannungen führen können, welche zu erheblichen Verformungen und zum Ablösen des optischen Wafers führen kann. Will man dieses Problem umgehen, kann beispielsweise ein Glas gewählt werden, welches einen zu Silizium ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten hat. In diesem Fall ist man allerdings in der Auswahl der einsetzbaren Deckgläser für optoelektronische Bauelemente sehr eingeschränkt oder sogar festgelegt. Wünschenswert wäre es daher, bereits im Waferverbund optoelektronische Bauelemente verpacken zu können, ohne daß die oben genannten Einschränkungen bestehen. Dieses Problem wird erfindungsgemäß mit einem Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente gelöst, bei welchem auf einem Funktionswafer mit einer Vielzahl optoelektronischer Schaltungen transparente Glas- Glaskeramik- oder
Optokeramik-Abdeckungen für die optoelektronischen Schaltungen aufgebracht werden, wobei ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer mit einem Opfersubstrat verbunden, und der Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer in einzelne Abdeckungen zerteilt wird, welche über den Opferwafer miteinander verbunden sind, und wobei der Verbund mit dem Opferwafer und den Abdeckungen mit den freiliegenden Seiten der Abdeckungen auf dem Funktionswafer befestigt, die Verbindung zwischen Opferwafer und den Abdeckungen gelöst und der Opferwafer entfernt wird, so daß ein Zwischenprodukt mit dem Funktionswafer und auf den optoelektronischen Schaltungen befestigten, lateral voneinander beabstandeten Abdeckungen erhalten wird.
Da der optische Wafer auf diese Weise in einzelne Teile aufgebrochen wird, die mit dem Funktionswafer im Waferverbund verbunden werden, können sich auftretende Spannungen abbauen, so daß eine starke durchbiegung oder eine Ablösung der Decksubstrate aus dem optischen Wafer verhindert wird. So kann erfindungsgemäß dann auch ein Funktionswafer und ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer verwendet werden, deren thermische Ausdehnungskoeffizienten sich bei Raumtemperatur um zumindest 3,5^10"6K"1 unterscheiden. Dies ist auch dann möglich, wenn Abdeckteile einzeln oder gruppenweise auf einem Funktionswafer, oder umgekehrt Chips auf einem optischen, transparenten Wafer, wie insbesondere einem Glas-, Glaskeramik- oder Optokeramik-Wafer aufgesetzt werden.
Beispielsweise kann ein Glaswafer oder Glasabdeckungen mit einem spektral filternden Glas, insbesondere einem Infrarot-Filterglas eingesetzt werden. Ein Beispiel für ein solches Glas ist das Schott-Glas BG 50. Infrarot- Filtergläser haben oft Ausdehungskoeffizienten im Bereich von 8 bis 9 *10~6 K"1, währenddessen Silizium als Halbleitermaterial für den Funktionswafer oder die Chips nur einen Ausdehnungskoeffizienten von etwa 2*10~6 K'1 aufweist. Weitere Gläser, die zum Teil noch deutlich mehr in ihrem Ausdehnungskoeffizienten abweichen sind beispielsweise optische Gläser die besonders für das Blankpressen geeignet sind. Hier sind sogar Ausdehnungskoeffizienten bis zu etwa 17*10~6 K"1 bekannt. Auch solche Gläser können erfindungsgemäß verwendet werden. Demgemäß können auch Differenzen in den linearen Ausdehnungskoeffizienten von zumindest 8*10~6 K'1 oder sogar zumindest 14*10~6 K"1 auftreten.
Eine weitere, auch zusätzlich zu einem Filterglas einsetzbare Möglichkeit, spektral filternde Eigenschaften zu erhalten, ist die Verwendung eines Glaswafer oder von Glasabdeckungen mit einer spektral wirksamen Beschichtung, insbesondere einer Infrarot- und/oder UV- Filterbeschichtung. Speziell die Kombination eines
Filterglases mit einer Filterbeschichtung ist von Vorteil, um eine breitbandige definierte Filterwirkung mit festgelegten Kanten zu erhalten. Demgemäß ist in Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, daß ein Glaswafer oder Glasabdeckungen mit spektral filternden Glas, insbesondere einem Infrarot-Filterglas und einer spektral wirksamen Beschichtung, insbesondere einer Infrarot- und/oder UV-Filterbeschichtung verwendet werden.
Zusätzlich oder alternativ zur weiter oben beschriebenen Möglichkeit, optische Komponenten durch reaktives Ionenätzen einer mit einer strukturierten Zwischenschicht versehenen Oberfläche zu erzeugen, können integrierte Optiken auch durch Blankpressen erzeugt werden. Dazu ist ein Verfahren vorgesehen, bei welchem ein Glaswafer oder Glasabdeckungen, vorzugsweise mit einem Low-Tg-Glas mit einer Transformationstemperatur unterhalb von 600 0C, vorzugsweise unterhalb von 550 0C, besonders bevorzugt im Bereich von 450 bis 550 0C verwendet und optische Komponenten durch Blankpressen des Glases hergestellt werden. Besonders für kleine optische Elemente sind dabei Silizium-Pressformen geeignet. Diese können zur Herstellung der entsprechenden Kavitäten mit Lithografieschritten, wie sie in der Halbleiter-Fertigung eingesetzt werden, bearbeitet werden. Es hat sich überraschend gezeigt, daß daneben -bei Verwendung geeigneter Materialien für die Pressform, beispielsweise Silizium und einer besonderen Temperatur- und Pressdruck-Steuerung- auch Gläser mit Transformationstemperaturen oberhalb von 600 0C verwendet werden können. Eine besonders bevorzugte Temperatur- und
Druckführung sieht vor, den Anpressdruck beim Abkühlen nach dem Einpressen der optischen Komponenten abzusenken.
Das Blankpressen eignet sich neben der Herstellung von refraktiven Linsenanordnungen auf optischen Wafern auch zur Herstellung von diffraktiven Elementen, wie etwa diffraktiven Linsen.
Alternativ oder zusätzlich können auch Vertiefungen auf einem optischen Wafer oder einzelnen transparenten Abdeckungen durch Blankpressen hergestellt werden. Diese bilden dann nach dem Verbinden mit dem Funktionswafer Kavitäten, welche die Sensor- und/oder Emitterbereiche hermetisch umschließen.
Weiterhin besteht auch die Möglichkeit, mehrere optische Wafer zu stapeln, um im Waferverbund integrierte Optiken und optoelektronische Schaltungen auf einem Funktionswafer zu assemblieren. Dazu ist ein Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Komponenten vorgesehen, bei welchem ein Stapel mit zumindest zwei Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafern, von denen zumindest einer eine Vielzahl optischer Komponenten aufweist, die in ihrer Position optoelektronischen Komponenten auf einem Funktionswafer zugeordnet sind, verwendet wird.
Vorzugsweise werden weiterhin Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer mit einer Vielzahl von Linsen als optische Komponenten eingesetzt. Diese können allgemein durch Blankpressen hergestellt werden.
Eine weitere, alternative oder zusätzliche Möglichkeit zur Herstellung eines optischen Wafers mit integrierten Optiken herzustellen, ist, die optischen Komponenten vorzugsweise vorpositioniert, auf dem Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwaferwafer zu befestigen. So können mehrelementige Optiken, wie etwa Objektive auf dem transparenten Wafer vorassembliert und dieser dann mit dem Funktionswafer verbunden werden.
Den Ausführungsformen der Erfundung gemeinsam ist, daß ein Zwischenprodukt erhalten wird, bei welchem die optoelektronischen Komponenten zusammen mit optischen Komponenten im Waferverbund assembliert sind. Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das Zwischenprodukt einen Funktionswafer mit optoelektronischen Schaltungen und auf den optoelektronischen Schaltungen befestigten, lateral voneinander beabstandeten Abdeckungen. Ein solches Zwischenprodukt wird beispielsweise erhalten, wenn ein optischer Wafer wie weiter oben beschrieben auf einem Opfersubstrat befestigt, zerteilt und dann mit dem Funktionswafer verbunden wird. Gemäß noch einer Ausführungsform umfasst das Zwischenprodukt mit einer Viehzahl optischer oder optoelektronischer Bauelemente vereinzelte optische oder optoelektronische Komponenten, die jeweils auf einen Wafer aufgesetzt sind, wobei die optischen oder optoelektronischen Komponenten jeweils individuell auf die Position zugeordneter optoelektronischer oder optischer Komponenten des Wafers ausgerichtet sind. Beispielsweise können dabei vereinzelte Chips mit optoelektronischen Schaltungen auf einem transparenten Wafer mit optischen Komponenten, vorzugsweise integrierten optischen Komponenten aufgesetzt und jeweils individuell auf die Position zugeordneter optischer Komponenten des Wafers ausgerichtet sein. Dieses Zwischenprodukt wird erhalten, wenn vereinzelte optoelektronische Chips wie weiter oben beschrieben auf einen optischen, beziehungsweise transparenten Wafer, wie etwa einem Glas- Glskeramik- oder Optokeramik-Wafer aufgesetztm, ausgerichtet und gebondet werden.
Werden umgekehrt optische Komponenten auf einen Funktionswafer mit den optelektronischen Schaltungen aufgesetzt, ausgerichtet und gebondet, wird dementsprechend ein Zwischenprodukt erhalten, bei welchem auf einem
Funktionswafer mit einer Vielzahl von optoelektronischen Schaltungen mit Sensor- und/oder Emitterbereichen optische Komponenten für die Sensor- und/oder Emitterbereiche der optoelektronischen Schaltungen auf dem Wafer befestigt sind, wobei für die optoelektronischen Schaltungen jeweils zumindest eine vereinzelte optische Komponente aufgesetzt und individuell auf die Position des jeweiligen Sensor- und/oder Emitterbereichs ausgerichtet ist.
Aus den vorgenannten Zwischenprodukten können dann optoelektronische Bausteine oder Komponenten durch Abtrennen von Wafer hergestellt werden. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet sind dabei digitale Bildaufzeichnungseinrichtungen mit solchen optoelektronischen Bausteinen. Solche
Bildaufzeichnungseinrichtungen können beispielsweise digitale Standbild- sowie Videokameras und diese enthaltende Einrichtungen, wie: Überwachungskameras, bildgebende Einrichtungen für Automotive-, Avionik-, Nautik-, Robotik-, Security-Anwendungen, medizintechnische Anwendungen, wie in Endoskopen, Arthroskopen, sein.
Als Gläser für die Abdeckteile, optischen Komponenten und optischen, transparenten Glaswafer kommen Filtergläser, wie die unter dem Namen BG 50 bekannten Gläser,
Borosilikatgläser, wie etwa Borofloat-Glas, alkalifreie Borosilikatgläser wie etwa die unter den Namen AF 37 und AF 45 oder D 263 bekannten Gläser in Betracht. Die Borosailikatgläser sind unter anderem gut geeignet, mit einem Siliziumwafer als Funktionswafer verbunden zu werden, da die vorgenannten Gläser zu Silizium ähnliche Ausdehnungskoeffizienten aufweisen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beigeschlossenen Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen: Fig. 1 bis Fig. 4 Verfahrensschritte zur Herstellung eines Waferverbunds mit einem Halbleiter-Funktionswafer und einer transparenten Glasabdeckung mit geringer Dickentoleranz,
Fig. 5 bis 8 eine Weiterbildung der in den Fig. 1 bis 4 gezeigten Verfahrensschritte,
Fig. 9 eine Anordnung zur Durchführung von Verfahrensschritten zur Weiterverarbeitung, wobei der Funktionswafer mit Linsen versehen wird,
Fig. 10 eine Variante der in Fig. 9 gezeigten Anordnung,
Fig. 11 eine Variante, bei welcher Gruppen von Linsen gemeinsam positioniert werden,
Fig. 12 eine weitere Variante, bei welcher optische Module aufgesetzt und ausgerichtet werden,
Fig. 13 bis 15 Verfahrensschritte zur Herstellung eines Zwischenerzeugnisses mit einem Funktionswafer und einem mit diesem verbundenen optischen Wafer mit integrierten optischen Komponenten,
Fig. 16 und 17 Verfahrensschritte zur Herstellung eines optischen Wafers mit einer Linsenanordnung durch Blankpressen,
Fig. 18 eine photographische Aufnahme eines durch Blankpressen umgeformten Glaswafers mit Linsen,
Fig. 19 Profilmessungen an einer Kavität der Presssform und einer damit hergestellten Linse, Fig. 20 eine Variante des in Fig. 4 dargestellten Waferverbunds ,
Fig. 21 und 22 Transmissionsverläufe einer
Filterbeschichtung und eines Infrarot-Filterglases, sowie deren Kombination.
Anhand der Fig. 1 bis 4 werden Verfahrensschritte zur Herstellung eines Waferverbundes mit einer transparenten Abdeckung für optoelektronische Schaltungen auf einem Funktionswafer beschrieben. Das Verfahren basiert darauf, daß die optoelektronischen Bauelemente im Waferverbund verpackt werden, indem ein Glas-Wafer hergestellt und auf einen Funktionswafer mit den Schaltungen auf die
Funktionsseite des Funktionswafers aufgesetzt und befestigt wird. Dabei wird der Glas-Wafer vorzugsweise mit einer Dicke zwischen 50 und 500 Mikrometern und einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als ±10 Mikrometer, vorzugsweise kleiner als ± 6 Mikrometer hergestellt. Auch die Dicke des optischen Glas-Wafers schwankt dabei um höchstens ± 10 Mikrometer, vorzugsweise höchstens ± 6 Mikrometer.
Dazu wird eine Vielzahl von Glas-Wafern aus einer oder mehreren Glasscheiben herausgearbeitet, eine Dickenmessung an den Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafern vorgenommen und anhand der Dickenmessung eine Sortierung in zumindest zwei Gruppen durchgeführt, so daß die Wafer zumindest einer aussortierten Gruppe von Wafern eine Schichtdickentoleranz kleiner als ± 10 Mikrometer aufweisen. Fig. 1 zeigt dazu die Herstellung der Glasscheiben mittels einer Down-Draw-Vorrichtung 1. Die Vorrichtung 1 umfasst einen Tiegel 3, der mit Glasschmelze 5 befüllt wird. Die Glasschmelze 5 läuft als Strang 7 aus einer Schlitzdüse 4 aus und erkaltet zu einem festen Glasstrang. Dieser wird mittels einer Trennvorrichtung in einzelne Glasscheiben ii zerlegt.
Aus den Glasscheiben 11 werden dann, wie in Fig. 2 in Aufsicht auf eine Glasscheibe schematisch gezeigt,
Glaswafer 13, beispielsweise mit einem Durchmesser von 8 Zoll herausgeschnitten.
Anschließend erfolgt, wie in Fig. 3 dargestellt, eine Dickenmessung und eine Sortierung in Gruppen 20, 21, 22 verschiedener Dicke. Die Dickenmessung erfolgt bei dem gezeigten Beispiel mittels einer Triangulations- Meßvorrichtung . Dabei wird ein Laserstrahl eines Lasers 15 schräg auf einen Wafer 13 gerichtet. Das Laserlicht wird dabei an den Oberflächen beider Seiten reflektiert, so daß zwei Parallelstrahlen entstehen, die von einem Sensor 17 erfasst werden. Je dicker der Wafer ist, desto größer ist der Parallelabstand der Lichtstrahlen. Die Einordnung in die verschiedenen Gruppen 20, 21, 22 erfolgt so, daß die Wafer 13 sich innerhalb einer Gruppe in ihrer durchschnittlichen Dicke um höchstens ±10 Mikrometer, vorzugsweise kleiner als ± 6 Mikrometer unterscheiden.
Die Glaswafer 13 werden dann, wie in Fig. 4 gezeigt, auf einen Funktionswafer in Form eines Halbleiter-Wafers 25 mit einer Vielzahl optoelektronischer Schaltungen, beispielsweise von Kamerasensoren aufgebondet. Das Bonden kann beispielsweise durch eine Klebeverbindung, anodisches Bonden, Niedertemperatur-Bonden unter Ausbildung eines anorganischen Netzwerks zwischen den Wafern 13, und 25, oder auch durch lokales schnelles Aufschmelzen einer Metallbeschichtung, etwa mittels eines Lasers erfolgen.
Die optoelektronischen Schaltungen 27 sind nun hermetisch mittels des optischen Wafers 13 verpackt. Außerdem ist die Außenseite des optischen Wafers 13 aufgrund der Dickenselektion in genau definiertem Abstand zur verkapselten Oberfläche des Halbleiter-Wafers 25 mit den optoelektronischen Schaltungen 27. Dies erlaubt es nun, optische Komponenten, wie insbesondere Linsen oder Linsenmodule direkt auf den Glaswafer 13 aufzusetzen. Eine Justierung des Abstands kann dementsprechend entfallen.
Anhand der Fig. 5 bis 8 wird eine Weiterbildung des oben beschriebenen Ausführungsbeispiels erläutert. Diese Weiterbildung basiert darauf, daß der Funktionswafer 25 mit einer Vielzahl optoelektronischer Schaltungen 27 mit einzelnen Glas-Abdeckungen für die optoelektronischen Schaltungen versehen wird, wobei ein Glas-Wafer mit einem Opfersubstrat verbunden, und der Glas-Wafer in einzelne Abdeckungen zerteilt wird, welche über den Opferwafer miteinander verbunden sind, und wobei der Verbund mit dem Opferwafer und den Abdeckungen mit den freiliegenden Seiten der Abdeckungen auf dem Funktionswafer befestigt, die
Verbindung zwischen Opferwafer und den Abdeckungen gelöst und der Opferwafer entfernt wird, so daß ein Zwischenprodukt mit dem Funktionswafer und auf den optoelektronischen Schaltungen befestigten, lateral voneinander beabstandeten Abdeckungen erhalten wird.
Ein Wafer 13, wie er beispielsweise gemäß dem anhand der Fig. 1 bis 3 erläuterten Verfahren erhalten wird, wird zunächst, wie in Fig. 5 gezeigt auf einem Opferwafer 30 befestigt. Zur Befestigung kann insbesondere eine lösbare Klebeverbindung verwendet werden. Denkbar ist beispielsweise ein thermisch lösbarer Kleber oder, wenn der Opferwafer transparent für UV-Licht ist, ein UV-lösbarer Kleber. Anschließend werden Schnitte 32 in den Glas-Wafer 13 eingefügt, welche den Glaswafer 13 durchtrennen. Die Schnitte können dabei auch, wie in Fig. 6 gezeigt, in den Opferwafer 30 teilweise hineinreichen, ohne diesen zu durchtrennen. Durch die eingefügten Schnitte werden voneinander getrennte Abdeckteile 130 erhalten, die aber über den Opferwafer 30 miteinander verbunden sind.
Dieser Verbund wird dann mit den Abdeckteilen auf den Halbleiter-Wafer 25 gebondet und der Opferwafer 30 entfernt, so daß jeweils eine optoelektronische Schaltung 27 von einem Abdeckteil 130 abgedeckt und verkapselt wird.
Dies hat unter anderem den Vorteil, daß auch Gläser verwendet werden können, deren Ausdehnugskoeffizient sich deutlich vom Funktionswafer 25 unterscheidet. So können Gläser verwendet werden, deren thermischer
Ausdehnungskoeffizient bei Raumtemperatur um 3,5^10"6K"1 oder mehr vom Ausdehnungskoeffizient des Funktionswafers, unterscheidet. Wird ein Siliziumwafer als Funktionswafer verwendet, kann der lineare Temperaturausdehnungskoeffizient dementsprechend um α =3,5*10'6 K"1 oder mehr vom Wert von α =2,0*10~6 K'1 für Silizium abweichen. Damit können beispielsweise dann auch spezielle Filtergläser verwendet werden, die stark abweichende lineare Ausdehnungskoeffizienten aufweisen.
Fig. 9 zeigt ausgehend von dem in Fig. 8 gezeigten Zwischenprodukt Verfahrensschritte zur Weiterverarbeitung des mit den Glas-Abdeckteilen 130 versehenen Funktionswafers 25. Das Verfahren kann ebenso mit dem in Fig. 4 gezeigten Zwischenproduckt durchgeführt werden. Im speziellen werden nun Linsen 35 auf den Wafer 25 aufgesetzt. Das Verfahren beruht nun darauf, daß der Funktionswafer 25 mit einer Vielzahl von optoelektronischen Schaltungen 27 mit Sensor- und/oder Emitterbereichen bereitgestellt und optische Komponenten in Form von Linsen 35 für die Sensor- und/oder Emitterbereiche der optoelektronischen Schaltungen auf dem Wafer 25 befestigt werden, wobei für die optoelektronischen Schaltungen jeweils zumindest eine Linse 35 aufgenommen, aufgesetzt und individuell auf die Position des jeweiligen Sensor- und/oder Emitterbereichs ausgerichtet wird, wobei die Ausrichtung anhand zumindest eines im Verlauf der Ausrichtung gemessenen Kontrollparameters erfolgt.
Das Aufnehmen, Aufsetzen und Ausrichten wird mittels eines Roboterarms 38 durchgeführt. Der Roboterarm 38 kann zur Halterung einer Linse 35 dabei mit einem Sauger ausgestattet sein. Da der Abstand der Linsen 35 durch die genau definierte Dicke der Abdeckteile 130, beziehungsweise des optischen Wafers 13 bereits optimiert ist, erfolgt bei diesem Beispiel noch eine laterale Ausrichtung.
Die Ausrichtung der Linse relativ zu der darunterliegenden zugeordneten optoelektronischen Schaltung, beziehungsweise deren Sensor- und/oder Emitterbereich wird mittels einer zusätzlichen Sensoranordnung erfasst, wobei die genaue Ausrichtung anhand der Daten dieser Sensoranordnung erfolgt. Im Speziellen ist hier eine Kamera 40 vorgesehen, welche die Positionierung der Linse aufzeichnet. Anhand der Bilder wird der Roboterarm kontrolliert und gesteuert. Ist die laterale Position der Linse 35 optimiert, wird diese fixiert. Beispielsweise kann ein UV-härtender Kleber verwendet werden. Der Kleber zwischen Linse 35 und Abdeckteil 130 ist zunächst flüssig oder zumindest viskos, so daß die Linse lateral verschoben werden kann. Ist die richtige Position gefunden, kann der Kleber durch UV- Bestrahlung schnell gehärtet und die Linse damit dauerhaft befestigt werden.
Fig. 10 zeigt eine Variante der in Fig. 9 gezeigten Anordnung. Bei dieser Variante werden die optoelektronischen Komponenten, beziehungsweise die optioelektronischen Schaltungen beschaltet und zur
Ausrichtung elektrische Signale der optoelektronischen Komponenten als Kontrollparameter durch die Beschaltung erfasst. Die optoelektronischen Schaltungen werden bei dem in Fig. 10 gezeigten Beispiel über leitende Kanäle zur Waferrückseite kontaktiert. Die jeweilige Schaltung 27 wird nun über diese Kanäle beschaltet und mit einer Steuereinrichtung 45 verbunden. Das Bild einer Lichtquelle 41 wird von der Steuereinrichtung 45 ausgewertet und anhand dieser Auswertung der Roboterarm 38 gesteuert. Beispielsweise kann die Linse lateral bewegt werden, bis eine optimale Fokussierung auf den Sensorbereich der optoelektronischen Schaltung 27 vorliegt. Anschließend wird, wie bereits anhand von Fig. 9 beschrieben, die Linse 35 endgültig fixiert.
Fig. 11 zeigt in schematischer Ansicht eine weitere Variante. Bei dieser Variante wird jeweils ein Glasstrang 47 mit mehreren Linsen 35 auf dem Funktionswafer 25 befestigt. Die Linsen 35 auf dem Glasstrang 47 sind in definiertem Abstand angeordnet, welcher dem Abstand der optoelektronischen Schaltungen 27 auf dem Funktionswafer entspricht. Die Linsen 35 sind damit in einer Richtung bereits vorpositioniert. Der Roboterarm 38 positioniert den Strang 47 nun so, daß die Linsen 35 optimal auf die optoelektronischen Schaltungen 27 ausgerichtet sind. Die Positionierung kann dabei wie anhand von Fig. 9 oder Fig. 10 beschrieben, durchgeführt werden. Dabei ist es günstig, wenn die Ausrichtung für zumindest zwei der Linsen, beziehungsweise der zugeordneten optoelektronischen Schaltungen 27 vorgenommen wird. Beispielsweise können dazu zwei optoelektronische Schaltungen beschaltet und deren Signale zur Steuerung der Ausrichtung verwendet werden.
Fig. 12 zeigt eine weitere Variante, bei welcher optische Module aufgesetzt und ausgerichtet werden. Hier wird im
Unterschied zu den beiden Ausführungsbeispielen der Fig. 10 und 11 ein Zwischenprodukt verwendet, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. Wie bei den in Fig. 9 und 10 gezeigten Beispielen werden optische Komponenten mittels eines gesteuerten Roboterarms 38 auf den Funktionswafer 25 aufgesetzt, individuell auf die jeweiligen optoelektronischen Schaltungen 27 ausgerichtet und fixiert. Im Unterschied zu den oben erläuterten Beispielen werden jedoch vorgefertigte optische Module 50 mit mehreren Linsen 351, 352, 353 aufgesetzt und positioniert.
Gemäß einer Variante des in Fig. 12 gezeigten Verfahrens werden die optischen Module 50 auf dem optischen Wafer 13 vor dem Bonden des Wafers 13 mit dem Funktionswafer 25 aufgesetzt und fixiert. Auch in diesem Fall kann eine
Ausrichtung individuell auf die Position des jeweiligen Sensor- und/oder Emitterbereichs erfolgen, indem beispielsweise die Ausrichtung anhand von Ausrichtemarken, beispielsweise einer geeigneten Maske erfolgt.
Bei dieser Variante, bei welcher ein optischer Wafer mit vorassemblierter Optik bereitsgestellt wird, werden demgemäß optische Komponenten in Form optischer Module jeweils bereitgestellt, aufgenommen und auf einen Wafer aufgesetzt, wobei die optischen Komponenten jeweils einzeln oder in Gruppen relativ zu der Position zugeordneter optoelektronischer Komponenten eines mit diesem später zu verbindenden Funktionswafers positioniert werden.
Die Fig. 13 bis 15 zeigen Verfahrensschritte zur Herstellung eines Zwischenerzeugnisses mit einem Funktionswafer und einem mit diesem verbundenen optischen Wafer mit integrierten optischen Komponenten. Bei diesem Beispiel wird vor der Assemblierung ein optischer Wafer mit optischen Komponenten, hier im Speziellen mit Linsen versehen. Das Verfahren basiert darauf, daß ein Funktionswafer mit einer Vielzahl optoelektronischer Schaltungen mit einem Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer verbunden wird, der eine Vielzahl von optischen Komponenten aufweist, wobei eine optische
Komponente jeweils einer optoelektronischen Schaltung zugeordnet ist, wobei die optischen Komponenten im Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer durch Trockenätzen, insbesondere reaktives Ionenätzen, Ion-Beam-Ätzen, Ion- Milling, in einem Plasma hergestellt werden, wobei die
Strukturen der optischen Komponenten auf dem Wafer durch Aufbringen einer strukturierten Zwischenschicht und Abtrag sowohl von Material der Zwischenschicht, als auch von Material des Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers durch die reaktiven Ionen während des Ätzprozesses erzeugt werden.
Dazu wird zunächst, wie in Fig. 13 dargestellt, eine strukturierte Zwischenschicht 52 mit linsenförmigen Strukturen 52 auf einem Glaswafer 13 aufgebracht. Die
Verteilung der linsenförmigen Strukturen entspricht dabei der Verteilung und Anordnung von optoelektronischen Schaltungen auf einem Funktionswafer. Die Zwischenschicht kann beispielsweise photolithographisch hergestellt werden. Um linsenförmig gewölbte Strukturen aus den photolithographisch hergestellten Strukturen der Zwischenschicht zu erhalten, kann beispielsweise Grauton- Lithografie eingesetzt werden. Eine weitere Möglichkeit ist, die Zwischenschicht nach dem Strukturieren aufzuschmelzen, so daß die Oberflächenspannung des geschmolzenen Materials die Strukturen in eine Tropfenform überführt .
Anschließend wird, wie in Fig. 14 gezeigt, die Seite des Wafers 13 mit den linsenförmigen Strukturen 54 in einem
Plasma 55 durch reaktives Ionenätzen behandelt. Dazu wird eine fluorhaltige, vorzugsweise CF/j-haltige Atmosphäre für die Erzeugung eines Plasmas zum reaktiven Ionenätzen eingesetzt. Der Wafer 13 enthält dabei ein Material, welches zumindest eine Komponente enthält, die mit Fluor ein flüchtiges Fluorid bildet. Vorzugsweise wird ein Glas mit zumindest einer der Komponenten SiO2 , GeO2, B2O3, P2O5 verwendet. Die freiliegenden, nicht von den Strukturen 54 bedeckten Bereiche des Wafers werden dabei unter Bildung flüchtiger Fluoride abgetragen. Gleichzeitig werden auch die Strukturen 54 abgetragen, so daß im Verlauf des Ätzvorgangs an deren Rand weitere Bereiche der Waferoberfläche freigelegt und geätzt werden. Aufgrund dieses Ätzvorgangs bilden sich dann auch im Glas linsenförmge Strukturen. Ein derart hergestellter Wafer mit Linsen 35 kann dann, wie in Fig. 15 dargestellt, auf einen Funktionswafer 25 gebondet werden.
Die Fig. 16 und 17 zeigen eine weitere Möglichkeit, um optische Wafer 13 mit Linsenanordnungen herzustellen. Das Verfahren basiert darauf, auf einem Glaswafer optische Komponenten durch Blankpressen des Glases herzustellen.
Dazu wird eine Pressform mit Pressform-Hälften 58, 62 eingesetzt. Die Pressform-Hälfte 58 weist eine Vielzahl von Kavitäten 60 auf. Die Kavitäten sind als Negativ-Formen der herzustellenden Linsen ausgebildet. Diese Kavitäten können insbesondere auch asphärisch sein, um entsprechende asphärische Linsen herzustellen. Vorzugsweise wird ein Glaswafer 13 aus einem Low-Tg-Glas, also einem Glas mit einer Transformationstemperatur unterhalb von 600 0C verwendet. Der Glaswafer 13 wird, wie in Fig. 16 gezeigt, zwischen die vorgeheizten Pressform-Hälften 58, 62 gelegt und die Pressform-Hälften zusammengepresst . Das heiße Glas des Glaswafers beginnt dann zu fließen und füllt die
Kavitäten 60 aus, so daß, wie in Fig. 17 gezeigt, Linsen 35 asugebildet werden.
Als Material für die Pressform-Hälfte 58 wird Silizium verwendet. Die Kavitäten können auf diese Weise durch
Lithografieschritte, wie sie in der Halbleiter-Fertigung Einsatz finden, hergestellt werden.
Fig. 18 zeigt eine photographische Aufnahme eines solchen Glaswafers 13. Der Rand des Wafers 13 ist an den Ecken des Bildes sichtbar. Ein Ausschnitt 64 ist vergrößert unter der photographischen Aufnahme dargestellt. Es zeigt sich, daß die laterale Position der Linsen auf dem Wafer 13 mit einer Toleranz kleiner als 20 Mikrometer Entfernung des Linsenzentrums von der Sollposition durch Blankpressen herstellbar ist.
Die lateralen Positionen der Linsen 35 sind damit so genau definiert, daß auch bei kleinen Sensorflächen im Bereich eines oder weniger Quadratmillimeter eine genaue Ausrichtung der Linsen zu den optoelektronischen Schaltungen durch Ausrichten und Bonden des optischen Wafers auf einen Funktionswafer mit optoelektronischen Schaltungen, entsprechend dem in Fig. 15 gezeigten Beispiel durchgeführt werden kann. Fig. 19 zeigt Messungen des Profils einer Kavität 60 (dicke gestrichelte Linie) und einer damit hergestellten Linse 35 (durchgezogene Linie) . Wie anhand dieser Messung deutlich wird, liegen die beiden Profile praktisch ohne erkennbare Abweichung übereinander. Die Linsenform der Kavität wird demgemäß sehr gut auf die hergestellten Linsen abgebildet. Insbesondere kann auch die Formabweichung von der Sollform auf deutlich unter 1 Mikrometer begrenzt werden.
Fig. 20 zeigt eine Variante des in Fig. 4 dargestellten Waferverbunds . Der optische Wafer 13 dieses Ausführungsbeispiels umfasst ein Farbglas 65, beispielsweise ein von der Anmelderin unter dem Namen BG 50 vertriebenes Glas, sowie eine Infrarot-Filterbeschichtung 67. Die Infrarot-Filterbeschichtung ist eine ein- oder bevorzugt mehrlagige Interferenzbeschichtung. Bei dem gezeigten Beispiel ist die Infrarot-Filterbeschichtung 67 auf der dem Funktionswafer 25 abgewandten Seite des optischen Wafers 13 aufgebracht. Die Infrarot- Filterbeschichtung 67 kann aber auch auf der gegenüberliegenden, dem Funktionswafer 25 zugewandten Seite oder beidseitig aufgebracht sein.
Auf den ersten Blick scheinen sich durch eine Kombination eines Infrarot-Filterglases und einer zusätzlichen Filterbeschichtung aufgrund der gleichartigen Wirkung keine Vorteile zu ergeben. Allerdings zeigt sich, daß in Kombination beider Maßnahmen sehr günstige Eigenschaften erzielt werden, die sie insbesondere zur Infrarot-Filterung von Kamerasensoren geeignet machen.
Die Figuren 21 und 22 zeigen dazu Transmissionsverläufe einer Filterbeschichtung und eines Infrarot-Filterglases, sowie deren Kombination. In Fig. 21 ist der spektrale Übergangsbereich zwischen sichtbarem und infrarotem Licht dargestellt. Die Kurve 70 ist die Transmission einer Infrarot-Filterbeschichtung 67 bei senkrechtem Lichteinfall. Die Kurve 71 zeigt die Transmission dieser Infrarot-Filterbeschichtung 67 bei einem Lichteinfallswinkel von 35° gemessen zur Oberflächennormalen .
Die Kurven 72 und 73 zeigen weiterhin die Transmission eines BG5-Filterglases unter senkrechtem Einfall (Kurve 72) und schrägem Einfall, ebenfalls unter 35° zur Normalen. Wie anhand der Kurven 72 und 73 zu erkennen ist, zeigt das Filterglas nur eine vernachlässigbare Abhängigkeit der Transmission vom Einfallswinkel. Demgenüber verschiebt sich bei der Infrarot-Filterbeschichtung 67 die Abschneidekante bei schrägem Lichteinfall deutlich in den sichtbaren Bereich hinein. Andererseits ist die abfallende Flanke in der Transmission der Infrarot-Filterbeschichtung 67 deutlich schärfer, insbesondere bei senkrechtem Lichteinfall.
Aufgrund der geringen Winkelabhängigkeit des Transmissionsverlaufs eignet sich das Filterglas 65 gut für Weitwinkel-Optiken. Zusätzlich kann mit der Infrarot- Filterbeschichtung 67 eine scharfe Kante in der
Transmission beim Übergang in den Infrarot-Bereich erzielt werden, so daß kurzwellige Infrarot-Anteile abgeschnitten werden.
Die Kombination eines Infrarot-Filterglases mit einer
Interferenzbeschichtung ist noch aus einem weiteren Grund von Vorteil. Fig. 22 zeigt die Transmissionsverläufe über einen größeren Wellenlängenbereich. Die Transmissionsverläufe für schrägen Lichteinfall sind hier der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt. Die Kurve 74 ist die Transmission für eine Infrarot- Filterbeschichtung in Kombination mit dem BG50-Filterglas, also für einen optischen Deckwafer 13, wie er in Fig. 20 gezeigt ist.
Der Transmissionsverlauf 70 der Infrarot-Fiiterbeschichtung 67 zeigt im Bereich oberhalb von 1 Mikrometer Wellenlänge wieder eine Zunahme der Transmission. In diesem Wellenlängenbereich sind Silizium-Kamerasensoren jedoch immer noch sensitiv, so daß unerwünschte Belichtungseffekte auftreten können. Das Filterglas blockt jedoch diese Anteile sehr wirksam, so daß im Transmissionsverlauf 74 der mit einem Filterglas kombinierten Infrarot- Filterbeschichtung 67 nur eine sehr geringe Transmission in diesem Wellenlängenbereich auf. Zusätzlich ist auch der Abfall in der Transmission beim Übergang in den Infrarotbereich deutlich steiler als bei einem Filterglas ohne Infrarot-Filterbeschichtung 67.
Es ist dem Fachmann ersichtlich, dass die Erfindung nicht auf die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt ist. Vielmehr können die einzelnen Merkmale der Ausführungsbeispiele auch in vielfältiger Weise miteinander kombiniert werden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung optoelektronischer
Bauelemente, insbesondere bildsignalerfassender oder -gebender Bauelemente, bei welchem optische Komponenten jeweils
bereitgestellt,
aufgenommen und
auf einen Wafer aufgesetzt werden,
wobei die optischen Komponenten vorzugsweise jeweils einzeln oder in Gruppen relativ zu der Position zugeordneter optoelektronischer oder optischer Komponenten des Wafers oder eines mit diesem zu verbindenden Wafers positioniert werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem die optische Komponente ein planparalleles Substrat ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem die optische Komponente spektral filternde Eigenschaften aufweist .
4. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem die optische Komponente UV- und/oder IR-sperrende Wirkung aufweist.
5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem die optische Komponente strahlformende und spektral filternde Wirkung aufweist.
6. Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente, insbesondere bildsignalerfassender oder -gebender Bauelemente nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem einzelne oder Gruppen von Chips mit optoelektronischen Schaltungen aufgenommen und auf einen transparenten Wafer mit optischen Komponenten, vorzugsweise integrierten optischen Komponenten aufgesetzt werden, wobei die Chips jeweils individuell oder in Gruppen relativ zu der Position zugeordneter optischer Komponenten des Wafers ausgerichtet werden, wobei die Ausrichtung anhand zumindest eines im Verlauf der Ausrichtung gemessenen Kontrollparameters erfolgt.
7. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem ein Funktionswafer mit einer Vielzahl von optoelektronischen Schaltungen mit Sensor- und/oder Emitterbereichen bereitgestellt und optische Komponenten für die Sensor- und/oder Emitterbereiche der optoelektronischen Schaltungen auf dem Wafer befestigt werden, wobei für die optoelektronischen Schaltungen jeweils zumindest eine optische Komponente aufgenommen, aufgesetzt und individuell auf die Position des jeweiligen Sensor- und/oder Emitterbereichs ausgerichtet wird, wobei die Ausrichtung anhand zumindest eines im Verlauf der Ausrichtung gemessenen Kontrollparameters erfolgt.
8. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem die Vielzahl optischer Komponenten in Form eines Strangs oder in Form eines Netzes relativ zueinander, vorzugsweise mit dazwischen angeordneten Solltrennstellen, vorpositioniert sind.
9. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optoelektronischen Komponenten beschaltet und zur Ausrichtung elektrische Signale der optoelektronischen Komponenten als Kontrollparameter durch die Beschaltung erfasst werden.
10. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausrichtung mittels einer zusätzlichen optischen Sensoranordnung, vorzugsweise einer mit einer Kamera versehenden interferometrischen Anordnung aufgezeichnet, kontrolliert und gesteuert wird.
11. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufsetzen und Ausrichten mittels eines Roboters erfolgt.
12. Verfahren zur Verpackung optoelektronischer Bauelemente, insbesondere umfassend ein Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem optoelektronische Schaltungen mit Sensor- und/oder Emitterbereichen im Waferverbund verpackt werden, bei welchem ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer hergestellt und auf einen Funktionswafer mit den Schaltungen auf die Funktionsseite des Funktionswafers aufgesetzt und befestigt wird, wobei der Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer vorzugsweise mit einer Dicke zwischen 50 und 500 Mikrometern und einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als ±10 Mikrometer, vorzugsweise kleiner als ± 6 Mikrometer hergestellt wird.
13. Verfahren nach vorstehenden Anspruch, bei welchem der Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer eine Dicke von vorzugsweise 100 bis 400, am bevorzugtesten eine Dicke von 250 bis 350 Mikrometer aufweist.
14. Verfahren nach einem der zwei vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer hergestellt werden, deren Dicke entlang der Oberfläche einer Seite um höchstens ± 10 Mikrometer, vorzugsweise höchstens ± 6 Mikrometer schwankt.
15. Verfahren nach einem der beiden vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung des Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers mit einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als ± 10 Mikrometer eine Vielzahl von Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafern aus einer oder mehreren Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikscheiben herausgearbeitet, eine Dickenmessung an den Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafern vorgenommen und anhand der Dickenmessung eine Sortierung in zumindest zwei Gruppen durchgeführt wird, so daß die Wafer zumindest einer aussortierten Gruppe von Wafern eine Schichtdickentoleranz kleiner als ± 10 Mikrometer aufweisen.
16. Verfahren nach einem der drei vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung des Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers mit einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als ± 10 Mikrometer die Wafer poliert und damit deren Dicke reduziert wird, wobei während des Polierens und/oder in Pausen zwischen mehreren Polierschritten eine Dickenkontrolle vorgenommen wird .
17. Verfahren nach einem der vier vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Dickenmessung am Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer durchgeführt und anschließend eine Beschichtung abgeschieden wird, deren Schichtdicke so gewählt wird, daß die Gesamtdicke des Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers mit darauf abgeschiedener Beschichtung die vorgesehene Dicke mit einer Toleranz der durchschnittlichen Dicke kleiner als ± 10 Mikrometer erreicht.
18. Verfahren nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß eine Glasschicht, vorzugsweise durch Elektronenstrahlverdampfung, aufgedampft wird.
19. Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente, insbesondere umfassend ein Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem ein Funktionswafer mit einer Vielzahl optoelektronischer Schaltungen mit einem Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer verbunden wird, der eine Vielzahl von optischen Komponenten aufweist, wobei eine optische Komponente jeweils einer optoelektronischen Schaltung zugeordnet ist, wobei die optischen Komponenten im Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer durch Trockenätzen, insbesondere reaktives Ionenätzen, Ion-Beam-Ätzen, Ion- Milling, in einem Plasma hergestellt werden, wobei die Strukturen der optischen Komponenten auf dem Wafer durch Aufbringen einer strukturierten Zwischenschicht und
Abtrag sowohl von Material der Zwischenschicht, als auch von Material des Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafers durch die reaktiven Ionen während des Ätzprozesses erzeugt werden.
20. Verfahren gemäß dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht photolithographisch strukturiert wird.
21. Verfahren nach einem der beiden vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine fluorhaltige, vorzugsweise CF4-haltige Atmosphäre für die Erzeugung eines Plasmas für das reaktive Ionenätzen eingesetzt und ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer mit einem Material verwendet wird, welches zumindest eine Komponente enthält, die mit Fluor ein flüchtiges Fluorid bildet.
22. Verfahren nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Glas zumindest eine der Komponenten SiO2 , GeO2, B2O3, P2O5 enthält.
23. Verfahren zur Herstellung optoelektronischer
Bauelemente, insbesondere umfassend ein Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem auf einem Funktionswafer mit einer Vielzahl optoelektronischer Schaltungen Glas-Abdeckungen für die optoelektronischen Schaltungen aufgebracht werden, wobei ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer mit einem Opfersubstrat verbunden, und der Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer in einzelne Abdeckungen zerteilt wird, welche über den Opferwafer miteinander verbunden sind, und wobei der Verbund mit dem Opferwafer und den Abdeckungen mit den freiliegenden Seiten der Abdeckungen auf dem Funktionswafer befestigt, die Verbindung zwischen Opferwafer und den Abdeckungen gelöst und der Opferwafer entfernt wird, so daß ein Zwischenprodukt mit dem Funktionswafer und auf den optoelektronischen Schaltungen befestigten, lateral voneinander beabstandeten Abdeckungen erhalten wird.
24. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei ein Funktionswafer oder Chips und ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer oder Abdeckteile verwendet werden, deren thermischer Ausdehnungskoeffizient sich bei Raumtemperatur um zumindest 3,5^10"6K"1 , oder zumindest 8*10~6 K"1 oder zumindest 14*10~6 K"1 unterscheidet.
25. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Glaswafer oder Glasabdeckungen mit einem spektral filternden Glas, insbesondere einem Infrarot-Filterglas verwendet werden.
26. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Glaswafer oder Glasabdeckungen mit einer spektral wirksamen Beschichtung, insbesondere einer Infrarot-und/oder UV- Filterbeschichtung verwendet werden.
27. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Glaswafer oder Glasabdeckungen mit spektral filternden Glas, insbesondere einem Infrarot-Filterglas und einer spektral wirksamen Beschichtung, insbesondere einer Infrarot- und/oder UV-Filterbeschichtung verwendet werden.
28. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Glaswafer oder
Glasabdeckungen vorzugsweise mit einem Low-Tg-Glas mit einer Transformationstemperatur unterhalb von 600 0C verwendet und optische Komponenten und/oder Kavitäten durch Blankpressen des Glases hergestellt werden.
29. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Stapel mit zumindest zwei Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafern, von denen zumindest einer eine Vielzahl optischer Komponenten aufweist, die in ihrer Position optoelektronischen
Komponenten auf einem Funktionswafer zugeordnet sind, verwendet wird.
30. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwafer mit einer Vielzahl von Linsen verwendet wird.
31. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwaferwafer mit optischen Komponenten verwendet wird, wobei die optischen Komponenten durch Blankpressen hergestellt werden.
32. Verfahren gemäß dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Blankpressen mittels einer Silizium-Pressform erfolgt.
33. Verfahren gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Vertiefungen auf einem optischen Wafer oder einzelnen transparenten Abdeckungen durch Blankpressen hergestellt und der Wafer oder die einzelnen transparenten Abdeckungen mit einem Funktionswafer verbunden werden, so daß Kavitäten gebildet werden, welche die Sensor- und/oder
Emitterbereiche des Funktionswafers hermetisch umschließen .
34. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwaferwafer mit optischen Komponenten verwendet wird, wobei die optischen Komponenten vorzugsweise vorpositioniert, auf dem Glas-, Glaskeramik und/oder Optokeramikwaferwafer befestigt werden.
35. Zwischenprodukt herstellbar mit einem Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche.
36. Zwischenprodukt herstellbar mit einem Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, umfassend einen
Funktionswafer mit optoelektronischen Schaltungen und auf den optoelektronischen Schaltungen befestigten, lateral voneinander beabstandeten Abdeckungen.
37. Zwischenprodukt mit einer Viehzahl optischer oder optoelektronischer Bauelemente, bei welchem vereinzelte optische oder optoelektronische Komponenten jeweils auf einen Wafer aufgesetzt sind, und wobei die optischen oder optoelektronischen Komponenten jeweils individuell auf die Position zugeordneter optoelektronischer oder optischer Komponenten des Wafers ausgerichtet sind.
38. Zwischenprodukt nach vorstehendem Anspruch, bei welchem vereinzelte Chips mit optoelektronischen Schaltungen auf einem transparenten Wafer mit optischen Komponenten, vorzugsweise integrierten optischen Komponenten aufgesetzt und jeweils individuell auf die Position zugeordneter optischer Komponenten des Wafers ausgerichtet sind.
39. Zwischenprodukt nach Anspruch 36, bei welchem auf einem Funktionswafer mit einer Vielzahl von optoelektronischen Schaltungen mit Sensor- und/oder Emitterbereichen optische Komponenten für die Sensor- und/oder Emitterbereiche der optoelektronischen Schaltungen auf dem Wafer befestigt sind, wobei für die optoelektronischen Schaltungen jeweils zumindest eine vereinzelte optische Komponente aufgesetzt und individuell auf die Position des jeweiligen Sensor- und/oder Emitterbereichs ausgerichtet ist.
40. Optoelektronischer Baustein hergestellt aus einem Zwischenprodukt nach einem der vorstehenden Ansprüche.
41. Digitale Bildaufzeichnungseinrichtung mit einem optoelektronischer Baustein gemäß dem vorstehenden Anspruch.
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