WO2007122877A1 - 光変調素子 - Google Patents

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light
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optical waveguide
adhesive layer
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Toru Sugamata
Satoshi Oikawa
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Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
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    • G02F2202/00—Materials and properties
    • G02F2202/28—Adhesive materials or arrangements

Definitions

  • the present invention relates to a light modulation element, and more particularly to a light modulation element that uses a thin plate formed of a material having an electro-optic effect.
  • LiNbO LiNbO
  • the thickness of the substrate is made thinner so that the speed matching condition between the microwave and the speed of the light wave is satisfied and the driving voltage is simultaneously reduced.
  • an optical waveguide and a modulation electrode are incorporated in a thin substrate (hereinafter referred to as “first substrate”) having a thickness of 30 ⁇ m or less, and the dielectric is more dielectric than the first substrate. Bonding another substrate with a low index (hereinafter referred to as “second substrate”), lowering the effective refractive index for microwaves, speed matching between microwaves and light waves, and maintaining the mechanical strength of the substrate. And has been done.
  • Patent Document 1 JP-A-64-18121
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-215519
  • Patent Document 1 or 2 LiNbO is mainly used for the first substrate, and stone is used for the second substrate.
  • stray light density The spatial distribution density of light (hereinafter referred to as “stray light density”) has decreased, and as a result, the influence of stray light has become less of a problem.
  • the thickness of the substrate is set to be the same as the distance in the depth direction of the waveguide, the density of stray light that propagates in the direction parallel to the substrate surface in the substrate increases, so stray light propagates in the substrate, Phenomenon such as re-entering the waveguide or incident on the outgoing optical fiber connected to the light modulator occurred, resulting in the deterioration of the SZN ratio of the output light.
  • Patent Document 3 Japanese Patent Application No. 2005-96447 (Filing date: March 29, 2005)
  • the problem to be solved by the present invention is to solve the above-described problem, to prevent stray light propagating through the adhesive layer from re-entering the thin plate, and to increase the adhesive strength between the thin plate and the reinforcing plate. It is to provide a light modulation element. Means for solving the problem
  • the present invention is characterized by having a reinforcing plate joined to the thin plate through an adhesive layer, and the joining surface of the reinforcing plate is formed to be rougher than the joining surface of the thin plate.
  • the invention according to claim 2 is the light modulation element according to claim 1, wherein the roughness of the rough surface is one tenth or more of the wavelength of stray light propagating in the adhesive layer.
  • the invention according to claim 3 is a thin plate having a thickness of 20 ⁇ m or less formed of a material having an electro-optic effect, an optical waveguide formed on the front surface or the back surface of the thin plate, and a surface of the thin plate.
  • a light modulation element formed and including a modulation electrode for modulating light passing through the optical waveguide has a reinforcement plate bonded to the thin plate via an adhesive layer.
  • the bonding surface is characterized in that a concavo-convex structure is formed.
  • the invention according to claim 4 is the light modulation device according to claim 3, wherein the height of the convex portion of the concave-convex structure is one tenth or more of the wavelength of stray light propagating in the adhesive layer. It is characterized by this.
  • the invention according to claim 5 is a thin plate having a thickness of 20 ⁇ m or less formed of a material having an electro-optic effect, an optical waveguide formed on a front surface or a back surface of the thin plate, and a surface of the thin plate.
  • a light modulation element formed and including a modulation electrode for modulating light passing through the optical waveguide has a reinforcement plate bonded to the thin plate via an adhesive layer.
  • the joining surface is an inclined surface inclined with respect to the joining surface of the thin plate.
  • the invention according to claim 6 is the light modulation device according to any one of claims 1 to 5, wherein the optical waveguide is set so that propagation constants of light waves propagating through the optical waveguide are partially different. It is characterized by being determined!
  • An optical modulation element including a modulation electrode for modulating light passing through the optical waveguide, the optical modulation element having a reinforcing plate bonded to the thin plate via an adhesive layer, and a bonding surface of the reinforcing plate is The stray light incident on the adhesive layer from the thin plate can be scattered by the rough surface of the joint surface of the reinforcing plate, and the stray light from the adhesive layer to the thin plate can be scattered. Can be suppressed. Also, the bonding force of the reinforcing plate is formed into a rough surface, so that the contact area with the adhesive layer is increased and the adhesive strength between the thin plate and the reinforcing plate is increased.
  • the roughness of the rough surface is one-tenth or more of the wavelength of stray light propagating in the adhesive layer, stray light can be efficiently scattered on the joint surface of the reinforcing plate. Is possible.
  • An optical modulation element including a modulation electrode for modulating light passing through the optical waveguide, the optical modulation element having a reinforcing plate bonded to the thin plate via an adhesive layer, and a bonding surface of the reinforcing plate is Since the uneven structure is formed, stray light incident on the adhesive layer can be scattered by the uneven structure on the joint surface of the reinforcing plate, and the adhesive layer force suppresses the re-entry of stray light to the thin plate. Is possible.
  • the joint surface of the reinforcing plate is formed in a concavo-convex structure, the contact area with the adhesive layer is increased, and the adhesive strength between the thin plate and the reinforcing plate can be increased.
  • the height of the convex portion of the concavo-convex structure is one-tenth or more of the wavelength of stray light propagating in the adhesive layer, stray light is efficiently scattered at the joint surface of the reinforcing plate. It is possible to make it.
  • An optical modulation element including a modulation electrode for modulating light passing through the optical waveguide, the optical modulation element having a reinforcing plate bonded to the thin plate via an adhesive layer, and a bonding surface of the reinforcing plate is Since the inclined surface is inclined with respect to the bonding surface of the thin plate, stray light incident on the adhesive layer from the thin plate is directed to the direction other than the thin plate or the optical waveguide by the inclined surface of the bonding surface of the reinforcing plate.
  • the stray light from the adhesive layer to the thin plate or the optical waveguide can be prevented from re-incident. Moreover, since the joint surface of the reinforcing plate is an inclined surface, the contact area with the adhesive layer is increased, and the adhesive strength between the thin plate and the reinforcing plate can be increased.
  • the optical waveguide is set so that the propagation constant of the light wave propagating through the optical waveguide is partially different, the effect of preventing recombination of stray light by adjusting the propagation constant In combination with the stray light removal effect of the reinforcing plate, it is possible to more effectively suppress stray light from recombining with the optical waveguide.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing Example 1 according to the light modulation element of the present invention.
  • FIG. 2 is a sectional view showing Example 2 according to the light modulation element of the present invention.
  • FIG. 3 is a sectional view showing Example 3 according to the light modulation element of the present invention.
  • FIG. 1 shows Example 1 according to the light modulation element of the present invention.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a light modulation element.
  • a thin plate 1 having a thickness of 20 m or less formed of a material having an electro-optic effect, an optical waveguide 2 formed on the surface of the thin plate, and the thin plate
  • the light modulation element includes a modulation electrode 3 formed on the surface and configured to modulate light passing through the optical waveguide.
  • the optical waveguide 2 may be formed on the back surface of the thin plate 1.
  • the optical waveguide 2 can be formed by diffusing Ti or the like on the substrate surface by a thermal diffusion method, a proton exchange method, or the like. Further, as in Patent Document 4, it is possible to form an optical waveguide by forming a ridge on the surface of the thin plate 1 in accordance with the shape of the optical waveguide.
  • the modulation electrode 3 such as a signal electrode or a ground electrode can be formed by forming an electrode pattern of Ti′Au and a gold plating method. Furthermore, if necessary, a buffer layer (not shown) such as dielectric SiO is provided on the substrate surface after the optical waveguide is formed, and modulation is performed on the buffer layer.
  • Patent Document 4 JP-A-6-289341
  • lithium niobate lithium tantalate, PLZT (lead lanthanum zirconate titanate), and quartz materials and combinations thereof can be used.
  • lithium niobate (LN) crystals having a high electro-optic effect are preferably used.
  • a method of manufacturing the thin plate 1 including the light modulation element is as follows.
  • the above-described optical waveguide is formed on a substrate having a thickness of several hundred ⁇ m, the back surface of the substrate is polished, and the thin plate has a thickness of 20 m or less.
  • a modulation electrode is formed on the surface of the thin plate. It is also possible to polish the back surface of the substrate after making the optical waveguide, the modulation electrode, and the like.
  • the reinforcing plate 5 Various materials can be used as the reinforcing plate 5.
  • the dielectric constant is lower than that of the thin plate such as quartz, glass, and alumina. It is also possible to use a material having a crystal orientation different from that of the thin plate as in Patent Document 4 described above. However, it is preferable to select a material having a linear expansion coefficient equivalent to that of the thin plate in order to stabilize the modulation characteristics of the light modulation element with respect to a temperature change. If it is difficult to select the same material, as in Patent Document 2, a material having a linear expansion coefficient equivalent to that of the thin plate is selected as an adhesive for joining the thin plate and the reinforcing plate.
  • an epoxy adhesive thermosetting adhesive
  • various adhesive materials such as an adhesive, an ultraviolet curable adhesive, solder glass, a thermosetting, photocurable or photothickening resin adhesive sheet.
  • the present invention focuses on preventing light waves incident on the adhesive layer from the thin plate 1 from entering the thin plate again and recombining with the optical waveguide or the like.
  • the joining surface to be joined to 1 is formed on the rough surface 10 as compared to the joining surface of the thin plate 1 (the lower surface of the thin plate 1 in FIG. 1).
  • stray light in the adhesive layer is scattered by the rough surface and is prevented from re-entering the thin plate 1.
  • the joint surface of the reinforcing plate is formed to be rough, the contact area with the adhesive layer is increased, and the adhesive strength between the thin plate and the reinforcing plate can be increased.
  • the rough surface also extends in a direction perpendicular to the cross-sectional view only in the lateral direction of FIG.
  • the roughness dl of the rough surface is ⁇ ( ⁇ ⁇ 10 minutes) with respect to the wavelength of the stray light propagating in the adhesive layer. It is preferable to have the above values.
  • Example 2 according to the light modulation element of the present invention will be described.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining Example 2 of the light modulation element.
  • the feature of the second embodiment is that the joining surface to be joined to the thin plate 1 of the reinforcing plate 5 is formed in the concavo-convex structure 11.
  • the joining surface to be joined to the thin plate 1 of the reinforcing plate 5 is formed in the concavo-convex structure 11.
  • concavo-convex structure extends in a direction perpendicular to the cross-sectional view only in the lateral direction of FIG.
  • the concavo-convex structure 11 needs to function as a scattering surface for stray light, and therefore the height d2 of the convex portion of the concavo-convex structure is stray light propagating in the adhesive layer. It is preferable to have a value of 1/10 ( ⁇ , 10) or more for the wavelength of
  • Example 3 according to the light modulation element of the present invention will be described.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a third embodiment of the light modulation element, and the same reference numerals are used for portions having the same configuration as in FIG. 1 or FIG.
  • Example 3 The feature of Example 3 is that the joining surface to be joined to the thin plate 1 of the reinforcing plate 5 has an inclined surface 12 that is inclined with respect to the thin plate 1, particularly the joining surface of the thin plate 1 (the lower surface of the thin plate 1 in FIG. 3). is doing.
  • the shape of the inclined surface 12 shows a force inclined at an inclination angle ⁇ with respect to the thin plate 1 in a plane perpendicular to the light wave propagation direction of the optical waveguide 2.
  • the invention is not limited to this, and the optical waveguide may be configured to be inclined with respect to the thin plate 1 in a plane parallel to the light wave propagation direction.
  • the inclined surface 12 is only necessary to make the inclined surface 12 inclined only in a certain direction with respect to the joining surface of the thin plate 1.
  • the central force in FIG. It can also be an inclined surface.
  • the magnitude of the inclination angle ⁇ of the inclined surface 12 is greater than the amount of stray light reflected by the joint surface of the reinforcing plate. Any value can be set as long as the force does not re-enter the thin plate 1 or the optical waveguide 2.
  • the shape of the joining surface of the reinforcing plate 5 is the same as that of the thin plate 1 joined through the same adhesive layer. It is very different from the shape of the joint surface. For this reason, when the reinforcing plate 5 is deformed due to thermal expansion, the thermal stress from the reinforcing plate 5 may not be uniformly applied to the joint surface of the thin plate 1 and may concentrate locally. Such concentration of thermal stress causes the optical characteristics of the light modulation element to deteriorate.
  • the thickness of the adhesive layer is preferably 10 m or more.
  • the propagation constant of the light wave propagating through the optical waveguide as shown in Patent Document 5 is By redesigning and adjusting the optical waveguide so as to be partially different, recombination between stray light and the optical waveguide can be suppressed.
  • the effect of preventing the recombination of stray light by adjusting the propagation constant and the effect of removing the stray light of the reinforcing plate according to Examples 1 to 3 are combined to more effectively suppress the recombination of stray light into the optical waveguide. It becomes possible.
  • the propagation constant can be adjusted by adjusting the width of the optical waveguide, or by diffusing or changing a substance that changes the propagation constant such as MgO, SiO, TiO, or ZnO in the optical waveguide or its vicinity.
  • Patent Document 5 Japanese Patent Application No. 2005-104307 (Application date: March 31, 2005)
  • a light modulation element that suppresses stray light propagating through the adhesive layer from re-entering the thin plate and increases the adhesive strength between the thin plate and the reinforcing plate. It becomes possible to do.

Abstract

　接着層を伝搬する迷光が薄板内に再入射することを抑制すると共に、薄板と補強板との接着強度を高めた光変調素子を提供することを目的とする。 　電気光学効果を有する材料で形成された厚さ２０μｍ以下の薄板１と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路２と、該薄板の表面に形成され、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極３とを含む光変調素子において、該薄板と接着層４を介して接合される補強板５を有し、該補強板の該薄板に対向する面は、粗面１０に形成されていることを特徴とする。 　好ましくは、該粗面の粗さが、該接着層内を伝搬する迷光の波長の１０分の１以上であることを特徴とする。

Description

明 細 書
光変調素子
技術分野
[0001] 本発明は、光変調素子に関し、特に、電気光学効果を有する材料で形成された薄 板を使用する光変調素子に関する。
背景技術
[0002] 従来、光通信分野や光測定分野において、電気光学効果を有する基板上に光導 波路や変調電極を形成した導波路型光変調素子が多用されている。
特に、マルチメディアの発展に伴い情報伝達量も増加傾向にあり、光変調周波数 の広帯域ィ匕が求められている。これを実現する手段として、 LiNbO (以下、「LN」と
3
いう。）を用いた LN変調器等による外部変調方式が提供されている。しかし、 LN変 調器の広帯域の実現には、変調信号であるマイクロ波と光波との速度整合、及び駆 動電圧の低減を図る必要がある。
[0003] 前記課題の解決手段として、従来より基板の厚みを薄くすることにより、マイクロ波と 光波の速度との速度整合条件を満足させ、且つ駆動電圧の低減を同時に図ることが 知られている。
以下の特許文献 1又は 2にお 、ては、 30 μ m以下の厚みを有する薄 、基板 (以下 、「第 1基板」という。）に、光導波路並びに変調電極を組み込み、第 1基板より誘電率 の低い他の基板 (以下、「第 2基板」という。）を接合し、マイクロ波に対する実効屈折 率を下げ、マイクロ波と光波との速度整合を図り且つ基板の機械的強度を維持するこ とが行われている。
特許文献 1 :特開昭 64— 18121号公報
特許文献 2：特開 2003— 215519号公報
[0004] 特許文献 1又は 2では、主に、第 1基板には LiNbOが利用され、第 2基板には、石
3
英、ガラス、アルミナなど LNより低誘電率の材料が使用されている。これらの材料の 組合せでは、線膨張係数の違いにより、温度変化に伴う温度ドリフトや DCドリフトが 発生することとなる。特許文献 2においては、このような不具合を除去するため、第 1 基板と第 2基板との接合を、第 1基板に近い線膨張係数を有する接着剤を利用して 行うことも開示されている。
[0005] しかし、従来力 製造されていた LN基板を用いた変調器と LN基板の厚さを薄くし た変調器とを比較した場合、基板の厚みが薄くなるに従い、光導波路から放射又は 漏出した光や入射用光ファイバから光導波路以外に入射した光など (以下、「迷光」 という。）が基板内に閉じ込められる傾向が強くなる。これは従来の LN基板は、基板 の厚さ（例えば 500〜： LOOO /z m)が厚いため、導波路 (例えば深さ数/ z m)に影響を 及ぼさない領域が十分に有り、迷光となっている光の空間分布密度 (以下、「迷光密 度」という。）が低くなり、その結果迷光の影響があまり問題とならな力つた。しかし基 板の厚さを導波路の深さ方向の距離と同じくらいにした場合、基板内における基板 表面に平行な方向を伝搬する迷光密度が高くなるため、迷光が基板内を伝搬し、光 導波路に再入射したり、光変調素子に接続された出射用光ファイバに入射するなど の現象が生じ、結果として出力光の SZN比が劣化する原因となっていた。
[0006] し力も、光変調素子に薄板を使用する場合には、薄板のみでは機械的強度は不足 する関係から、上述したように第 1基板の薄板と第 2基板の補強板とを接着剤などで 接合する必要がある。この際、接着剤の屈折率が薄板のものより低い場合には、上記 迷光の閉じ込めがより顕著となる。このため、本出願人は特許文献 3において、薄板 の光導波路およびその近傍を除く領域に、光吸収部や高屈折率部、あるいは光ガイ ド部ゃ凹部を形成し、薄板内の迷光を除去することを提案した。
特許文献 3 :特願 2005— 96447号（出願日：平成 17年 3月 29日）
[0007] し力しながら、特許文献 2のように、補強板の接着層に該薄板に対向する面を平坦 化する場合には、薄板外に放出された迷光が、補強板の表面で反射し、薄板内に再 入射する現象が観測され、この迷光が光導波路と再結合する問題も生じている。 発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] 本発明が解決しょうとする課題は、上述した問題を解決し、接着層を伝搬する迷光 が薄板内に再入射することを抑制すると共に、薄板と補強板との接着強度を高めた 光変調素子を提供することである。 課題を解決するための手段
[0009] 上記課題を解決するため、請求項 1に係る発明では、電気光学効果を有する材料 で形成された厚さ 20 m以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導 波路と、該薄板の表面に形成され、該光導波路内を通過する光を変調するための変 調電極とを含む光変調素子にお！ヽて、該薄板と接着層を介して接合される補強板を 有し、該補強板の接合面は、該薄板の接合面に比べ粗面に形成されていることを特 徴とする。
[0010] 請求項 2に係る発明は、請求項 1に記載の光変調素子において、該粗面の粗さが、 該接着層内を伝搬する迷光の波長の 10分の 1以上であることを特徴とする。
[0011] 請求項 3に係る発明は、電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 μ m以下 の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に形成さ れ、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調素子に おいて、該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、該補強板の接合面は、 凹凸構造が形成されていることを特徴とする。
[0012] 請求項 4に係る発明は、請求項 3に記載の光変調素子において、該凹凸構造の凸 部高さが、該接着層内を伝搬する迷光の波長の 10分の 1以上であることを特徴とす る。
[0013] 請求項 5に係る発明は、電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 μ m以下 の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に形成さ れ、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調素子に おいて、該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、該補強板の接合面は、 該薄板の接合面に対し傾斜した傾斜面であることを特徴とする。
[0014] 請求項 6に係る発明は、請求項 1乃至 5のいずれかに記載の光変調素子において 、該光導波路は、該光導波路を伝搬する光波の伝搬定数が部分的に異なるように設 定されて!/ヽることを特徴とする。
発明の効果
[0015] 請求項 1に係る発明により、電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 μ m 以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に 形成され、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調 素子において、該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、該補強板の接合 面は、該薄板の接合面に比べ粗面に形成されているため、薄板から接着層に入射し た迷光を補強板の接合面の粗面で散乱させることが可能となり、接着層から薄板へ の迷光の再入射を抑制することが可能となる。し力も、補強板の接合面が粗面に形 成されることにより、接着層との接触面積が増加し、薄板と補強板との接着強度を高 めることち可會となる。
[0016] 請求項 2に係る発明により、粗面の粗さが、接着層内を伝搬する迷光の波長の 10 分の 1以上であるため、迷光を補強板の接合面で効率良く散乱させることが可能とな る。
[0017] 請求項 3に係る発明により、電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 μ m 以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に 形成され、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調 素子において、該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、該補強板の接合 面は、凹凸構造が形成されているため、薄板力も接着層に入射した迷光を補強板の 接合面の凹凸構造で散乱させることが可能となり、接着層力 薄板への迷光の再入 射を抑制することが可能となる。し力も、補強板の接合面が凹凸構造に形成されるこ とにより、接着層との接触面積が増加し、薄板と補強板との接着強度を高めることも可 能となる。
[0018] 請求項 4に係る発明により、凹凸構造の凸部高さが、接着層内を伝搬する迷光の 波長の 10分の 1以上であるため、迷光を補強板の接合面で効率良く散乱させること が可能となる。
[0019] 請求項 5に係る発明により、電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 μ m 以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に 形成され、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調 素子において、該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、該補強板の接合 面は、該薄板の接合面に対し傾斜した傾斜面であるため、薄板から接着層に入射し た迷光を、補強板の接合面の傾斜面により、薄板以外あるいは光導波路以外の方向 に反射させることが可能となり、接着層から薄板や光導波路への迷光の再入射を抑 制することが可能となる。しかも、補強板の接合面が傾斜面であるため、接着層との 接触面積が増加し、薄板と補強板との接着強度を高めることも可能となる。
[0020] 請求項 6に係る発明により、光導波路は、該光導波路を伝搬する光波の伝搬定数 が部分的に異なるように設定されて 、るため、伝搬定数の調整による迷光の再結合 防止効果と補強板の迷光除去効果とが相まって、迷光が光導波路に再結合すること をより効果的に抑制することが可能となる。
図面の簡単な説明
[0021] [図 1]本発明の光変調素子に係る実施例 1を示す断面図である。
[図 2]本発明の光変調素子に係る実施例 2を示す断面図である。
[図 3]本発明の光変調素子に係る実施例 3を示す断面図である。
符号の説明
[0022] 1 薄板
2 光導波路
3 変調電極
4 接着層
5 補強板
10 粗面
11 凹凸構造
12 傾斜面
発明を実施するための最良の形態
[0023] 以下、本発明について好適例を用いて詳細に説明する。
図 1は、本発明の光変調素子に係る実施例 1を示す。図 1は、光変調素子の断面図 であり、電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 m以下の薄板 1と、該薄 板の表面に形成された光導波路 2と、該薄板の表面に形成され、該光導波路内を通 過する光を変調するための変調電極 3とを含む光変調素子である。なお、光導波路 2 は、薄板 1の裏面に形成しても良い。
また、薄板 1には、補強板 5が接着剤 4を介して接合されている。 [0024] 光導波路 2の形成方法としては、 Tiなどを熱拡散法やプロトン交換法などで基板表 面に拡散させることにより形成することができる。また、特許文献 4のように薄板 1の表 面に光導波路の形状に合わせてリッジを形成し、光導波路を構成することも可能であ る。
信号電極や接地電極などの変調電極 3は、 Ti'Auの電極パターンの形成及び金メ ツキ方法などにより形成することが可能である。さらに、必要に応じて光導波路形成 後の基板表面に誘電体 SiO等のバッファ層（不図示）を設け、バッファ層の上に変調
2
電極を形成することも可能である。
特許文献 4:特開平 6— 289341号公報
[0025] 電気光学効果を有する材料としては、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウ ム、 PLZT (ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）、及び石英系の材料及びこれらの組み合 わせが利用可能である。特に、電気光学効果の高いニオブ酸リチウム (LN)結晶が 好適に利用される。
[0026] 光変調素子を含む薄板 1の製造方法は、数百 μ mの厚さを有する基板に上述した 光導波路を形成し、基板の裏面を研磨して、 20 m以下の厚みを有する薄板を作 成する。その後薄板の表面に変調電極を作り込む。また、光導波路や変調電極など の作り込みを行った後に、基板の裏面を研磨することも可能である。なお、光導波路 形成時の熱的衝撃や各種処理時の薄膜の取り扱いによる機械的衝撃などが加わる と、薄板が破損する危険性もあるため、これらの熱的又は機械的衝撃が加わり易い 工程は、基板を研磨して薄板ィ匕する前に行うことが好ましい。
[0027] 補強板 5に使用される材料としては、種々のものが利用可能であり、例えば、薄板と 同様の材料を使用する他に、石英、ガラス、アルミナなどのように薄板より低誘電率の 材料を使用したり、上記特許文献 4のように薄板と異なる結晶方位を有する材料を使 用することも可能である。ただし、線膨張係数が薄板と同等である材料を選定すること 力 温度変化に対する光変調素子の変調特性を安定させる上で好ましい。仮に、同 等の材料の選定が困難である場合には、特許文献 2のように薄板と補強板とを接合 する接着剤に、薄板と同等な線膨張係数を有する材料を選定する。
[0028] 薄板 1と補強板 5との接合には、接着層 4として、エポキシ系接着剤、熱硬化型接着 剤、紫外線硬化性接着剤、半田ガラス、熱硬化性、光硬化性あるいは光増粘性の榭 脂接着剤シートなど、種々の接着材料を使用することが可能である。
[0029] 図 1のような光変調素子においては、薄板に形成された光導波路の光分岐部や合 波部、また、不図示の入射用光ファイバと光変調素子との接合部などから、光導波路 以外の薄板内に迷光が発生する。し力も、薄板の厚みが薄ぐ特に厚みが 20 /z m以 下に設定されている場合には、該迷光が薄板内を伝搬し光導波路や出射用光フアイ バに入射するという不具合を生じ易い。特に、本発明では、薄板 1から接着層に入射 した光波が、再度薄板に入射し、光導波路などと再結合するのを防止することを、主 眼としている。
[0030] このような接着層 4を伝搬している光波力 薄板 1内に再入射することを抑制するた め、本発明の光変調素子では、図 1に示すように、補強板 5の薄板 1に接合する接合 面を、該薄板 1の接合面（図 1の薄板 1の下側の面）に比べ粗面 10に形成している。 このような粗面 10を形成することにより、接着層内の迷光は該粗面で散乱され、薄 板 1に再入射することが抑制される。しカゝも、補強板の接合面が粗面に形成されること により、接着層との接触面積が増加し、薄板と補強板との接着強度を高めることも可 能となる。
なお、粗面は、図 1の横方向のみだけでなぐ断面図に垂直な方向にも延在してい る。
[0031] 粗面 10は迷光に対する散乱面として機能する必要があるため、当該粗面の粗さ dl は、接着層内を伝搬している迷光の波長えに対し、 10分の ι ( λ Ζΐο)以上の値を 有することが好ましい。
仮に、粗面の粗さが λ Ζΐοより小さい場合には、迷光を効果的に散乱することがで きなくなる。
[0032] 次に、本発明の光変調素子に係る実施例 2について説明する。
図 2は、光変調素子の実施例 2を説明する図であり、図 1と同様の構成の箇所には
、同じ符号を用いている。
実施例 2の特徴は、補強板 5の薄板 1に接合する接合面を、凹凸構造 11に形成し ている。 このような凹凸構造 11を形成することにより、接着層内の迷光は該凹凸構造で散乱 され、薄板 1に再入射することが抑制される。し力も、補強板の接合面が凹凸構造に 形成されることにより、接着層との接触面積が増加し、薄板と補強板との接着強度を 高めることち可會となる。
なお、凹凸構造は、図 2の横方向のみだけでなぐ断面図に垂直な方向にも延在し ている。
[0033] 凹凸構造 11も図 1の粗面 10と同様に、迷光に対する散乱面として機能する必要が あるため、当該凹凸構造の凸部の高さ d2は、接着層内を伝搬している迷光の波長え に対し、 10分の 1 ( λ ,10)以上の値を有することが好まし 、。
仮に、凸部の高さが λ Ζΐοより小さい場合には、迷光を効果的に散乱することがで きなくなる。
[0034] 次に、本発明の光変調素子に係る実施例 3について説明する。
図 3は、光変調素子の実施例 3を説明する図であり、図 1又は図 2と同様の構成の 箇所には、同じ符号を用いている。
実施例 3の特徴は、補強板 5の薄板 1に接合する接合面を、薄板 1、特に薄板 1の 接合面（図 3の薄板 1の下側の面）に対し傾斜した傾斜面 12を有している。
このような傾斜面 12を形成することにより、接着層内の迷光は該傾斜面 12で反射さ れ、薄板 1以外に向かう方向に迷光となり、薄板 1に再入射することが抑制される。し 力も、補強板の接合面が傾斜面であるため、接着層との接触面積が増加し、薄板と 補強板との接着強度を高めることも可能となる。
[0035] 図 3においては、傾斜面 12の形状として、光導波路 2の光波の伝搬方向に対して 垂直な面内で、薄板 1に対して傾斜角 δで傾斜したものを示している力 本発明はこ れに限定されるものでは無ぐ光導波路の光波の伝搬方向に対して平行な面内で、 薄板 1に対して傾斜するよう構成することも可能である。
また、図 3に示すように、薄板 1の接合面に対して一定方向のみに傾斜する傾斜面 12とするだけでなぐ例えば、図 3の中央力も左右に進むにしたがい低くなるような山 形の傾斜面とすることも可能である。
[0036] 傾斜面 12の傾斜角 δの大きさとしては、補強板の接合面で反射した迷光のより多く 力 薄板 1あるいは光導波路 2に再入射しない範囲であれば任意の値に設定するこ とが可能である。
[0037] 本発明の光変調素子に係る実施例 1乃至 3に示したように、本発明においては補 強板 5の接合面の形状が、同じ接着層を介して接合している薄板 1の接合面の形状 と、大きく異なっている。このため、補強板 5が熱膨張により変形した場合には、補強 板 5からの熱応力が、薄板 1の接合面に均一に付加されず、局所的に集中する可能 性が危惧される。このような熱応力の集中は、光変調素子の光学特性を劣化させる 原因となる。
したがって、補強板 5の熱応力を緩和するため、接着層の厚みを 10 m以上とする ことが好ましい。
[0038] さらに、本発明の光変調素子において、仮に、接着層から薄板内に迷光が再入射 した場合であっても、特許文献 5に示すような、光導波路を伝搬する光波の伝搬定数 が部分的に異なるように、光導波路を設計'調整することにより、迷光と光導波路との 再結合を抑制することができる。これにより、伝搬定数の調整による迷光の再結合防 止効果と、実施例 1乃至 3による補強板の迷光除去効果とが相まって、迷光が光導波 路に再結合することをより効果的に抑制することが可能となる。
伝搬定数の調整方法としては、光導波路の幅を調整する方法や、光導波路又はそ の近傍に MgO、 SiO , TiO又は ZnOなどの伝搬定数を変化させる物質を拡散又
2 2
は装荷する方法などがあり、これらにより、光導波路の屈折率が変化させられている。 特許文献 5：特願 2005— 104307号（出願日：平成 17年 3月 31日）
産業上の利用可能性
[0039] 以上説明したように、本発明によれば、接着層を伝搬する迷光が薄板内に再入射 することを抑制すると共に、薄板と補強板との接着強度を高めた光変調素子を提供 することが可能となる。

Claims

請求の範囲
[1] 電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 IX m以下の薄板と、該薄板の表 面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に形成され、該光導波路内を 通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調素子において、
該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、
該補強板の接合面は、該薄板の接合面に比べ粗面に形成されて!、ることを特徴と する光変調素子。
[2] 請求項 1に記載の光変調素子にぉ 、て、該粗面の粗さ力 該接着層内を伝搬する 迷光の波長の 10分の 1以上であることを特徴とする光変調素子。
[3] 電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 IX m以下の薄板と、該薄板の表 面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に形成され、該光導波路内を 通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調素子において、
該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、
該補強板の接合面は、凹凸構造が形成されていることを特徴とする光変調素子。
[4] 請求項 3に記載の光変調素子において、該凹凸構造の凸部高さが、該接着層内を 伝搬する迷光の波長の 10分の 1以上であることを特徴とする光変調素子。
[5] 電気光学効果を有する材料で形成された厚さ 20 IX m以下の薄板と、該薄板の表 面又は裏面に形成された光導波路と、該薄板の表面に形成され、該光導波路内を 通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調素子において、
該薄板と接着層を介して接合される補強板を有し、
該補強板の接合面は、該薄板の接合面に対し傾斜した傾斜面であることを特徴と する光変調素子。
[6] 請求項 1乃至 5のいずれかに記載の光変調素子において、該光導波路は、該光導 波路を伝搬する光波の伝搬定数が部分的に異なるように設定されていることを特徴と する光変調素子。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009122852A1 (ja) * 2008-03-31 2009-10-08 住友大阪セメント株式会社 マッハツェンダー導波路型光変調器

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4847177B2 (ja) * 2006-03-30 2011-12-28 住友大阪セメント株式会社 光変調素子
JP4110182B2 (ja) * 2006-09-30 2008-07-02 住友大阪セメント株式会社 光制御素子
JP4954958B2 (ja) * 2008-09-30 2012-06-20 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子
JP5333314B2 (ja) * 2010-03-29 2013-11-06 住友大阪セメント株式会社 光変調器
JP2012073328A (ja) * 2010-09-28 2012-04-12 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光変調器
JP2012078473A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光導波路素子
JP2013003224A (ja) * 2011-06-14 2013-01-07 Shinko Electric Ind Co Ltd 光導波路及びその製造方法と光導波路装置
JP2013076753A (ja) * 2011-09-29 2013-04-25 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光導波路素子及びその製造方法
JP7031437B2 (ja) * 2018-03-29 2022-03-08 住友大阪セメント株式会社 光変調器
JP6646187B1 (ja) * 2018-11-08 2020-02-14 日本碍子株式会社 電気光学素子のための複合基板とその製造方法
WO2020095421A1 (ja) * 2018-11-08 2020-05-14 日本碍子株式会社 電気光学素子のための複合基板とその製造方法
CN111965854B (zh) * 2020-08-28 2023-07-21 济南晶正电子科技有限公司 电光晶体薄膜及其制备方法，及电光调制器
JP2022148650A (ja) 2021-03-24 2022-10-06 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子、光変調器、光変調モジュール、及び光送信装置
JP2022182320A (ja) 2021-05-28 2022-12-08 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子、光変調器、光変調モジュール、及び光送信装置
JP2022182321A (ja) 2021-05-28 2022-12-08 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子、光変調素子の作製方法、光変調器、光変調モジュール、及び光送信装置

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6413121A (en) 1987-07-07 1989-01-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid crystal display panel
JPH04152306A (ja) * 1990-10-17 1992-05-26 Hitachi Ltd 光伝送モジュール
JPH04190321A (ja) * 1990-11-26 1992-07-08 Oki Electric Ind Co Ltd 導波型光スイッチ
JPH04204524A (ja) * 1990-11-30 1992-07-24 Hiroshi Nishihara 光変調器
JPH06289341A (ja) 1992-05-26 1994-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光導波路素子とその製造方法
JPH11248954A (ja) * 1998-03-06 1999-09-17 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ハイブリッドモジュール
JP2003215519A (ja) 2001-11-16 2003-07-30 Ngk Insulators Ltd 光導波路デバイスおよび進行波形光変調器
JP2004093905A (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光変調器
JP2005096447A (ja) 2003-09-03 2005-04-14 Fuji Photo Film Co Ltd インクジェット記録装置及び吐出不良検出方法
JP2005104307A (ja) 2003-09-30 2005-04-21 Nippon Plast Co Ltd エアバッグカバー
JP2006309124A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光変調器

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6418121A (en) 1987-07-13 1989-01-20 Nippon Telegraph & Telephone Production of high-speed optical circuit parts
US6480639B2 (en) * 1997-09-26 2002-11-12 Nippon Telegraph And Telephone Corp. Optical module
US6270604B1 (en) * 1998-07-23 2001-08-07 Molecular Optoelectronics Corporation Method for fabricating an optical waveguide
US6904186B2 (en) * 2001-11-16 2005-06-07 Ngk Insulators, Ltd. Optical modulators and a method for modulating light
JP4174377B2 (ja) * 2002-05-31 2008-10-29 松下電器産業株式会社 光学素子
US7295742B2 (en) * 2002-05-31 2007-11-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element and method for producing the same
US7561774B2 (en) * 2003-03-12 2009-07-14 Sanyo Electric Co., Ltd. Optical waveguide
JP4658658B2 (ja) * 2005-03-29 2011-03-23 住友大阪セメント株式会社 光変調器
JP2007114222A (ja) * 2005-03-31 2007-05-10 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光制御素子
JP4847177B2 (ja) * 2006-03-30 2011-12-28 住友大阪セメント株式会社 光変調素子
JP4682111B2 (ja) * 2006-09-14 2011-05-11 富士通株式会社 導波路型光デバイス及びその製造方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6413121A (en) 1987-07-07 1989-01-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid crystal display panel
JPH04152306A (ja) * 1990-10-17 1992-05-26 Hitachi Ltd 光伝送モジュール
JPH04190321A (ja) * 1990-11-26 1992-07-08 Oki Electric Ind Co Ltd 導波型光スイッチ
JPH04204524A (ja) * 1990-11-30 1992-07-24 Hiroshi Nishihara 光変調器
JPH06289341A (ja) 1992-05-26 1994-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光導波路素子とその製造方法
JPH11248954A (ja) * 1998-03-06 1999-09-17 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ハイブリッドモジュール
JP2003215519A (ja) 2001-11-16 2003-07-30 Ngk Insulators Ltd 光導波路デバイスおよび進行波形光変調器
JP2004093905A (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光変調器
JP2005096447A (ja) 2003-09-03 2005-04-14 Fuji Photo Film Co Ltd インクジェット記録装置及び吐出不良検出方法
JP2005104307A (ja) 2003-09-30 2005-04-21 Nippon Plast Co Ltd エアバッグカバー
JP2006309124A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光変調器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009122852A1 (ja) * 2008-03-31 2009-10-08 住友大阪セメント株式会社 マッハツェンダー導波路型光変調器
US8406578B2 (en) 2008-03-31 2013-03-26 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Mach-zehnder waveguide type optical modulator

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JP2007264548A (ja) 2007-10-11
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