JPH04204524A - 光変調器 - Google Patents

光変調器

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JPH04204524A
JPH04204524A JP33043690A JP33043690A JPH04204524A JP H04204524 A JPH04204524 A JP H04204524A JP 33043690 A JP33043690 A JP 33043690A JP 33043690 A JP33043690 A JP 33043690A JP H04204524 A JPH04204524 A JP H04204524A
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JP
Japan
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optical
optical waveguide
optical waveguides
phase modulation
waveguides
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Application number
JP33043690A
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English (en)
Inventor
Hironobu Kiyomoto
清本 浩伸
Hiroshi Nishihara
西原 浩
Masamitsu Haruna
正光 春名
Hiroshi Higuchi
洋 樋口
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OSAKA KAGAKU GIJUTSU CENTER
Omron Corp
Original Assignee
OSAKA KAGAKU GIJUTSU CENTER
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/31Digital deflection, i.e. optical switching
    • G02F1/313Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
    • G02F1/3132Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure of directional coupler type

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 技術分野 この発明は2人力2出力導波路型光変調器、とくにバラ
ンス・ブリッジ形の光変調器に関する。
従来技術とその問題点 従来の2人力2出力導波路型光変調器には、方向性結合
器形、バランス・ブリッジ形などがある(文献1:西原
、春名、栖原「光集積回路」オーム社、昭和60年、第
298頁〜第3N頁)。
方向性結合器形の光変調器では集積度を上げるために素
子長を短くすると動作電圧が上昇するという問題がある
これに対してバランス・ブリッジ形の光変調器は動作電
圧が比較的低いという特長をもつ。バランス・ブリッジ
形光変調器において動作電圧(駆動電圧)を低減するた
めには9位相変調部における2本の光導波路間の結合を
切った状態でそれらの間隔をできるだけ小さくすること
が要求される。
位相変調部における2本の光導波路間の結合を切る方法
として、2本の光導波路間にスロットを形成するものが
ある(文献1−の第303頁の図10・4.または文献
2 : Minakala ”ENicientLiN
bO,balanced brjdge modulx
tor/ switchwith an 1on−et
ched 5lot”Appl、Phys、 Left
35(1) 、  ] July 1979.  p、
40 )。しかしながらこの方法はイオン・エツチング
によるスロットの形成工程が必要である。
位相変調部における2本の光導波路の幅を異ならせて非
対称とすることも考えられている(文献3 : ]、L
、Iackel el al ”Non+ymmet+
ic Mach−2ehnde+ 1nle+fe+o
mele+s Used as Low−D+ive−
Vollage Modulators”、jou「n
al of LighjwaveTechnology
、 Vol、6. No、8. August 198
8. p、l348゜文献4・久保田ら「低電圧駆動T
i ; LiNbO3変調器」電子情報通信学会春季全
国大会講演論文集2文冊4.C−229)。
しかしながら2文献3のFig、4に示された光変調器
では位相変調部における2本の光導波路が近接している
ために光波の結合が起りやすくかっ光導波路幅が異なる
ので伝搬損失に差が生じるこ吉により、消光比が悪いと
いう問題がある。
また1文献4に記載のものはマツハツエンダ形の光変調
器であって1−人力1出力型のものであるために、光路
の切替えに応用することができないという問題がある。
2人力2出力型の光変調器は光路切替スイッチとして応
用可能であり、このタイプの光変調器を複数個マトリク
ス状に設けることにより4人力4出力、8人力8出力等
の光切材デイバイスへの応用の展開が可能である。
発明の概要 発明の目的 この発明は、低い動作電圧で駆動可能であり。
しかも高い消光比をもつ2人力2出力型の光変調器を提
供することを目的とする。
発明の構成9作用および効果 この発明による光変調器は、電気光学効果を有する基板
に形成された2本の入力用光導波路、2本の出力用光導
波路、第1および第2の方向性結合部および位相変調部
から構成されている。2本の入力用光導波路が第1の方
向性結合部を介して位相変調部の一端に結合し2位相変
調部の他端が第2の方向性結合部を介して2本の出力用
光導波路に結合している。位相変調部は2本の光導波路
と、これらの光導波路を伝搬する2つの光に位相差を与
えるための電圧が印加される電極とから構成されいる。
位相変調部の2本の光導波路間の間隔は、第1および第
2の方向性結合部をそれぞれ構成する2本の光導波路間
の間隔よりも広く2位相変調部の光導波路とこれに対応
する第1および第2の方向性結合部の光導波路とは2間
隔と幅が連続的に変化する光導波路部分によりつながっ
ている。そして2位相変調部における2本の光導波路は
、第1の伝搬定数をもつ第1の光導波路部分とこれとは
異なる第2の伝搬定数をもつ第2の光導波路部分とから
それぞれ構成され、一方の光導波路の第1の光導波路部
分と他方の光導波路の第2の光導波路部分とが対向しか
つ一方の光導波路の第2の光導波路部分と他方の光導波
路の第1の光導波路部分とが対向するように配置され、
さらに第1の光導波路部分と第2の光導波路部分との伝
搬定数差および2本の光導波路間の間隔がこれらの2本
の光導波路を伝搬する光に実質的に結合を生じさせない
程度に設定されている。
位相変調部における光導波路の伝搬定数は最も簡単には
その幅を異ならせることにより異ならせることができる
好ましくは、電極は位相変調部の2本の光導波路上にバ
ッファ層を介して設けられる。
入力用光導波路の一方に導入された光は第1の方向性結
合部で2つの光に分岐し9位相変調部の2つの光導波路
にそれぞれ導かれる。位相変調部の電極に印加された電
圧の大きさに応じてこれらの2つの導波光に位相差が生
じる。位相差をもつ2つの光は第2の方向性結合部で合
波、干渉し。
位相差に応じた強度をもつ光が出力用光導波路の一方か
らまたは両方から出力される。このようにして、電気光
学効果を利用して印加電圧に応じた光の強度変調を行な
うことができ、また光スィッチとしても利用できる。
この発明によると2位相変調部の2つの光導波路間の間
隔が方向性結合部における光導波路間隔よりも広いから
9位相変調部における光の結合をできるだけ小さくする
ことができる。そして9位相変調部の各光導波路を伝搬
定数の異なる2種類の光導波路部分で構成し、かつ2つ
の光導波路における光導波路部分を伝搬定数の異なるも
の同志を対向させるように配置しているので、動作電圧
を低くするために位相変調部の2つの先導波路間隔をで
きるだけ小さくしてかつ光の結合の発生を回避すること
ができるようになる。このようにして消光比が大きくか
つ動作電圧の低い2人力2出力光変調器が実現する。し
かも1位相変調部の2つの光導波路は伝搬定数の異なる
2つの光導波路部分をそれぞれもっているので9両光導
波路における伝搬損失の差をなくすことができる。
実施例の説明 第1図において、光変調器は電気光学効果を有する基板
と、この基板の上に形成された入力側の3dBカプラ(
方向性結合器)299位相変調1および出力側3dBカ
プラ3とを含んでいる。入力側atlBカブラ2は接近
して設けられた2つの平行な光導波路2Aおよび2Bか
ら構成されている。同じように出力側atlBカブラ3
も2つの平行な光導波路3Aおよび3Bから構成されて
いる。位相変調部1は2つの平行な光導波路1Aおよび
IB。
ならびにこれらの光導波路1人およびIB上に装荷され
た電極4Aおよび4Bから構成されている。位相変調部
1における2つの光導波路IAと1Bとの間の間隔gm
は、3dBカプラ2または3における2つの光導波路2
Aと2Bとのまたは3Aと3Bとの間の間隔gCよりも
大きく設定されている。好ましくは電極4Aおよび4B
はバッファ層を介して装荷される。
電気光学効果を有する基板上にはさらに2つの入力用光
導波路5Aおよび5B、ならびに2つの出力用光導波路
6Aおよび6Bが形成されている。入力用光導波路5A
と・5Bはそれらの間の間隔がしだいに狭くなりながら
入力側3dBカプラ2を構成する2つの先導波路2人と
2Bの一端にそれぞれ結合している。出力用光導波路6
Aおよび6Bは出力側3dBカプラ3を構成する2つの
光導波路3Aと3Bの一端からそれぞれ延び、それらの
間の間隔がしだいに大きくなっている。光導波路5A、
5Bと6A、6Bのどちらを入力用、出力用とするかは
任意であり、入力、出力は相対的なものである。光導波
路5A、5Bを出力用とした場合には3dBカブラ2も
出力側のものとなるのはいうまでもない。
位相変調部1における2つの光導波路IAおよびIBは
それらの一端において、光導波路部分13Aおよび13
Bをそれぞれ介して3dBカブラ2の光導波路2Aおよ
び2Bの他端にそれぞれ結合している。光導波路部分1
3Aと13Bは3dBカプラ2から位相変調部1に向っ
てそれらの間の間隔がしだいに増大している。同じよう
に位相変調部1における2つの先導波路IAおよび1B
の他端は光導波路部分14Aおよび14Bをそれぞれ介
して3dBカプラ3の2つの先導波路3Aおよび3Bの
他端にそれぞれ結合している。光導波路部分14Aと1
4Bは位相変調部1から3dBカプラ3に向ってそれら
の間の間隔がしだいに狭くなっている。また、これらの
光導波路部分13A、 13B、 14A。
14Bの幅も連続的に変化している。
位相変調部1における一方の光導波路IAは互いに導波
路幅が異なる2つの光導波路部分11Aと12Aとから
構成されている。他方の光導波路IBも同じように互い
に導波路幅が異なる2つの光導波路部分11Bと12B
とから構成されている。好ましくはこれらの光導波路部
分11A、 12A、 IIBおよび12Bの長さは等
しく、光導波路部分+2Aと11Bの幅が等しく(これ
をWlとする)、光導波路部分+1Aと12Bの幅が等
しい(これをW2とする)。さらに9幅の広い光導波路
部分11Aと幅の狭い光導波路部分11Bとが対向する
ように、光導波路部分12Aと光導波路部分12Bとが
対向するように配置されている。
このような光変調の作製においては、たとえばZカット
L i N b 03基板上にレーザ・ビーム描画法に
より上述の光導波路パターンを描き、光導波路以外の部
分を光レジストでマスクした状態でTiを熱拡散するこ
とによりすべてのシングル・モード光導波路を形成する
。そして、光レジストを除去したのちバッファ層として
Sio2層を基板上に形成し、その上に電極4A、4B
を形成する。
具体的な大きさの一例を挙げると次の通りである。
人、出力用光導波路5A、5B、6A、6Bおよび3d
Bカプラ2,3の光導波路2A。
2B、3A、3Bの幅W=4μm 位相変調部1の幅の狭い光導波路部分12A。
11Bの幅W1=3.5 μm 位相変調部1の幅の広い光導波路部分11A。
12Bの幅W2=5μm 3dBカプラ2または3における光導波路2Aと2Bと
のまたは3Aと3Bとの間の間隔gc一 3μm 位相変調部1における光導波路IAとIBとの間の間隔
gm = 6μm〜8μm 3dBカプラ2または3の長さLc = 1.24mm
位相変調部1の長さLm = 3 mm光変調器の長さ
(3tlBカプラ2から3までの長さ)  Lt = 
6.12mm 光導波路部分+3A、 13B、 14A、 14Bの
幅は3dBカプラの光導波路幅Wと位相変調部1の光導
波路幅W1またはW2の相違に応じて連続的に変化して
いる。
一方の入力用光導波路5A(または5B)から光Piを
入射させると、この入射光Piは入力側3dBカプラ2
て等しく2つの光に分れ9位相変調部1の2つの光導波
路1AとIBにそれぞれ伝搬していく。電極4Aと4B
との間に電圧を印加すると、基板のもつ電気光学効果に
よって導波光は位相変化を受ける。したがって、2つの
光導波路IAと1Bとを伝搬する光に位相差が生じる。
位相差をもつ2つの光が出力側3dBカプラ3で合波、
干渉し、これらの位相差に応じて出力用先導波路6Aお
よび6Bに導かれる出力光PAおよびPBの強度が変化
する。
第2図に示すように2つの光の位相差が0゜±π/2.
π等のときには両出力光PAとPBの強度は等しい。光
導波路IAの光の位相が光導波路IBの光の位相に対し
てπ/4,5π/4等(位相差が+π/4.+5π/4
等)進んでいるときには出力光PAの強度が最大となり
、出力光PBの強度が最小(好ましくは零)となる。反
対に9位相差が一π/4.+3π/4.−5π/4等の
場合には出力光PBの強度が最大となり、出力光PAの
強度が最小となる。
位相変調部における2つの光導波路は光学的に結合しな
いことが望ましい。2つの光導波路間の間隔を大きくす
れば結合しなくなるが、その場合には電極間に印加する
電圧(動作電圧)を高くしなければならない。2つの光
導波路間の間隔を狭くすれば動作電圧を低くすることが
できるが、伝搬定数の等しい2つの光導波路を近づける
とそこを伝搬する光波に結合が生じる。
この発明では位相変調部1の2つの光導波路1Aと1B
との間の間隔gmを3tlBカプラにおける光導波路間
隔gcよりも大きくして、これらの光導波路」Aと1.
B間で光の結合ができるだけ生じないようにしている。
また、光導波路IA、]、Bを光導波路幅の異なる光導
波路部分11A、 +2A、 IIB、 12Bによっ
て構成し、対向する部分の伝搬定数を異ならせることに
より(できるだけ伝搬定数の差を大きくして)、光の結
合が生じにくいようにし、かっ光導波路間隔gmをでき
るだけ小さくシ、動作電圧を低くするようにしている。
また、高い消光比を得るためには出力側3dBカプラで
合波、干渉する2つの光の強度が等しいことが望ましい
。この発明では9位相変調部1の2つの光導波路IA、
IBに同じように2つの幅の異なる光導波路部分を形成
することにより伝搬損失等を両光導波路IAとIBで等
しくしている。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例を示す平面図である。 第2図は印加電圧(位相差)と出力光強度との関係を示
すグラフである。 1・・・位相変調部。 IA、IB・・・位相変調部の光導波路。 2.3・・・3dBカプラ(方向性結合部)。 2、A、2B、3A、3B ・・・3dBカプラの光導波路。 4A、4B・・・電極。 5A、5B・・・入力用光導波路。 6A、6B・・・出力用光導波路。 11A、 IIB、 +2A、 12B・・・位相変調
部の幅の異なる光導波路部分。 以  上

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電気光学効果を有する基板に形成された2本の入
    力用光導波路、2本の出力用光導波路、第1および第2
    の方向性結合部ならびに位相変調部から構成され、 2本の入力用光導波路が第1の方向性結合部を介して位
    相変調部の一端に結合し、位相変調部の他端が第2の方
    向性結合部を介して2本の出力用光導波路に結合してお
    り、 位相変調部は2本の光導波路と、これらの光導波路を伝
    搬する2つの光に位相差を与えるための電圧が印加され
    る電極とから構成され、 位相変調部の2本の光導波路間の間隔は、第1および第
    2の方向性結合部をそれぞれ構成する2本の光導波路間
    の間隔よりも広く、位相変調部の光導波路とこれに対応
    する第1および第2の方向性結合部の光導波路とは、間
    隔と幅が連続的に変化する光導波路部分によりつながっ
    ており、位相変調部における2本の光導波路は、第1の
    伝搬定数をもつ第1の光導波路部分とこれとは異なる第
    2の伝搬定数をもつ第2の光導波路部分とからそれぞれ
    構成され、一方の光導波路の第1の光導波路部分と他方
    の光導波路の第2の光導波路部分とが対向しかつ一方の
    光導波路の第2の光導波路部分と他方の光導波路の第1
    の光導波路部分とが対向するように配置され、さらに第
    1の光導波路部分と第2の光導波路部分との伝搬定数差
    および2本の光導波路間の間隔がこれらの2本の光導波
    路を伝搬する光に実質的に結合を生じさせない程度に設
    定されている、 光変調器。
  2. (2)位相変調部における第1の光導波路部分の幅と第
    2の光導波路部分の幅とが異なっている、請求項(1)
    に記載の光変調器。
  3. (3)位相変調部における2本の光導波路上にバッファ
    層を介して電極が形成されている、請求項(1)に記載
    の光変調器。
JP33043690A 1990-11-30 1990-11-30 光変調器 Pending JPH04204524A (ja)

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