WO2007119713A1

WO2007119713A1 - 駆動装置

Info

Publication number: WO2007119713A1
Application number: PCT/JP2007/057873
Authority: WO
Inventors: Ryuichi Yoshida; Hirohisa Sueyoshi; Satoshi Shinke; Shinichi Yamamoto
Original assignee: Konica Minolta Opto, Inc.
Priority date: 2006-04-11
Filing date: 2007-04-10
Publication date: 2007-10-25
Also published as: US20090160372A1; EP2006995A1; KR20080094844A; US8026688B2; EP2006995B1; EP2006995A4; KR101092819B1; CN101421912A; CN101421912B; JP4957722B2; JPWO2007119713A1

Abstract

　不使用による移動体の固着を解消できる駆動装置を提供するために、電気機械変換素子の伸縮によって軸方向に往復移動する駆動軸と、駆動軸に摩擦係合する移動体と、電気機械変換素子に駆動電圧を入力する駆動回路とを有する駆動装置において、駆動回路は、電気機械変換素子の共振周波数（ｆｒ）より小さく、且つ、移動体の移動速度が最大となる周波数（ｆｄ１）より小さい周波数（ｆｄ１’）の駆動動作パターン電圧と、駆動動作パターン電圧の周波数（ｆｄ１’）より小さく、且つ、移動体に作用する推力が最大となる周波数（ｆｄ２）の近傍の周波数の固着解消パターン電圧とを出力するものとする。

Description

明細書

駆動装置

技術分野

[0001] 本発明は、駆動装置に関する。

背景技術

[0002] 特許文献 1には、電気機械変換素子の伸縮によって駆動軸を軸方向に往復移動し、駆動軸に摩擦係合する移動体を駆動軸上で滑り移動させる駆動装置において、移動体の位置決めの他に、駆動軸のクリーニングを目的として、移動体を駆動軸の全長に渡って移動させるセルフメンテナンスを行うことが開示されている。

[0003] このような駆動装置では、駆動軸の汚れによる駆動力の低下だけでなぐ使用しない状態が続くと、移動体の駆動軸に対する摩擦力が一時的に増大して移動体を移動させにくくなつたり、移動できなくなったりする。つまり、移動体が駆動軸に固着する現象が発生する場合がある。

特許文献 1：特開 2004— 15864号公報

特許文献 2：特開 2004 - 104919号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] そこで、本発明は、不使用による移動体の固着を解消できる駆動装置を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

[0005] 前記課題を解決するために、本発明による駆動装置は、電気機械変換素子の伸縮によって軸方向に往復移動する駆動軸と、前記駆動軸に摩擦係合する移動体と、前記電気機械変換素子に駆動電圧を入力する駆動回路とを有し、前記駆動回路は、前記電気機械変換素子の共振周波数 (fr)より小さぐ且つ、前記移動体の移動速度が最大となる周波数 (fdl)より小さ、周波数 (fdl ' )の駆動動作パターン電圧と、前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' )より小さぐ且つ、前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)の近傍の周波数の固着解消パターン電圧とを出力するちのとする。

[0006] この構成によれば、移動体の移動速度が最大となる周波数 (fdl)が電気機械変換素子の共振周波数 (fr)より小さぐ移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2) が移動体の移動速度が最大となる周波数 (fdl)より小さい。よって、移動体移動速度が速、周波数 (fdl)近傍の周波数の駆動動作パターン電圧によって、電気機械変換素子への入力量に比例して効率よく移動体を移動させることができ、さらに、移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)の近傍の周波数の固着解消パターン電圧によって、移動体の駆動軸に対する固着を解消することができる。

[0007] また、本発明の駆動装置において、前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' ) は、前記電気機械変換素子の共振周波数 (fr)の 0. 75倍以上、 0. 85倍以下であつてもよい。

[0008] この構成によれば、駆動動作パターン電圧の周波数を、移動体の移動速度が最大となる周波数に近ぐ且つ、共振周波数 frに近すぎないようにすることで、十分に高い駆動速度を得ながら、個体差による駆動速度のバラツキを小さくすることができる。

[0009] また、本発明の駆動装置において、前記固着解消パターン電圧の出力継続時間は、 1000msec以下であってもよい。

[0010] 移動体が固着した場合、通常の駆動動作パターン電圧でも 1000msec連続して印加すると固着を略解消できる。よって、固着解消パターン電圧の継続時間を 1000m secを超えて印加することは無駄である。

[0011] また、本発明の駆動装置において、前記固着解消パターン電圧は、前記電気機械変換素子を緩慢に伸長して急峻に収縮させる波形と、前記電気機械変換素子を急峻に伸長して緩慢に収縮させる波形とを所定の単位時間ずつ交互に繰り返してもよい。

[0012] この構成によれば、移動体に対して両方向に推力を加えることができ、推力が集中的に作用する位置を移動させられるので移動体の固着を解消しやすい。また、移動体が機械的ストロークの端部にあるときでも、移動可能な方向にも推力が作用して固着を解消できる。

[0013] また、本発明の駆動装置において、前記単位時間は 100msec以下であってもよい [0014] 移動体に対して両方向にバランスよく推力を加えることができ、固着を短時間で解消することができる。

[0015] また、本発明の駆動装置において、前記単位時間は、前記移動体の固有振動周期の 1Z2であってもよい。

[0016] この構成によれば、移動体の固有振動数に合わせて推力を加えることで共振によつて、移動体の移動を促し、固着を容易に解消できる。

[0017] また、本発明の駆動装置において、前記固着解消パターン電圧は、前記駆動動作ノターン電圧と波形が異なってもよヽ。

[0018] この構成によれば、駆動動作パターン電圧よりも推力が高くなるような波形の固着解消パターン電圧を印加することで、効率的に移動体の固着を解消できる。

[0019] また、本発明の駆動装置において、前記前記固着解消パターン電圧は、周波数が前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)を中心として ± 3%の範囲でスイープされてもよい。

[0020] この構成によれば、温度などの使用環境によって、電気機械変換素子の周波数特性が変化しても、固着解消パターン電圧を所定の範囲で変化させるので、移動体に最大推力を作用させることができ、効率的に固着を解消できる。

[0021] また、本発明の駆動装置において、前記駆動動作パターン電圧と前記固着解消パターン電圧とは、共に矩形波であって、前記固着解消パターン電圧は、前記駆動動作パターン電圧とデューティ比が異なってもよ、。

[0022] 矩形波で駆動するタイプの駆動装置では、移動体の速度を最大にするデューティ比と、移動体の推力を最大にするデューティ比とが異なるため、駆動動作電圧パターンのデューティ比を移動体の速度が高くなるようにし、固着解消パターン電圧のデュ一ティ比を推力が高くなるようにすることで、駆動効率を最適化しながら、確実に固着を解消できる。

[0023] また、本発明の駆動装置において、前記固着解消パターン電圧のデューティ比は

、 0. 3近傍または 0. 7近傍であってもよい。

[0024] 移動体に作用する推力は、駆動方向により、デューティ比が約 0. 3約または 0. 7のときに最大となるので、固着解消パターン電圧のデューティ比をこの値の近傍に設定することで固着を解消しやすくなる。

[0025] また、本発明の駆動装置において、前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' )と

、前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)との差が、前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)の 3%以上であってもよ、。

[0026] この構成によれば、固着解消パターン電圧により移動体に作用する推力を、駆動動作パターン電圧により移動体に作用する推力より有意に大きく設定することができ

、移動体の固着を解消しやすい。

[0027] また、本発明の駆動装置において、前記固着解消パターン電圧は、前記移動体を前記駆動軸の先端方向に移動させる波形と、前記移動体を前記駆動軸の根元方向に移動させる波形とを交互に繰り返してもよ、。

[0028] この構成によれば、移動体に対して両方向に推力を加えることができ、推力が集中的に作用する位置を移動させられるので移動体の固着を解消しやすい。また、移動体が機械的ストロークの端部にあるときでも、移動可能な方向にも推力が作用して固着を解消できる。

[0029] また、本発明の駆動装置において、前記固着解消パターン電圧は、電源投入時、リセット動作時、および、一定時間前記駆動動作パターン電圧が出力されな力つたときの少なくともいずれかのときに出力されてもよい。

[0030] この構成によれば、移動体が移動しない状態が継続したときに、固着解消パターン電圧を印加するので、駆動動作パターン電圧の入力量と、移動体の移動量に差が出ることを防止できる。

発明の効果

[0031] 本発明によれば、固着解消パターン電圧を印力!]して、移動体の駆動軸に対する固着を解消するので、駆動動作パターン電圧の入力量に比例して移動体が移動するようにできる。

図面の簡単な説明

[0032] [図 1]本発明の駆動装置の概略図。

[図 2]図 1の駆動装置の駆動動作パターン電圧および電気機械変換素子の変位の波形を示すグラフ。

[図 3]図 1の駆動装置の固着解消パターン電圧の一覧表。

[図 4]図 1の駆動装置の移動体速度と移動体推力の駆動電圧の周波数に対する特性を示すグラフ。

[図 5]図 1の駆動装置の移動体速度と移動体推力の駆動電圧のデューティ比に対する特性を示すグラフ。

符号の説明

[0033] 1 駆動装置

3 電気機械変換素子

4 駆動軸

5 移動体

6 駆動回路

発明を実施するための最良の形態

[0034] これより、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

図 1は、本発明に係る駆動装置 1の構成を示す。駆動装置 1は、錘 2と、錘 2に一端が固定された電気機械変換素子 (例えば圧電素子) 3と、電気機械変換素子 3の他端に一端が固定された棒状の駆動軸 4と、駆動軸 4に摩擦係合する移動体 5と、電気機械変換素子 3に駆動電圧を印加する駆動回路 6とからなり、移動体 5は、被駆動体 7を支持している。

[0035] 駆動装置 1において、電気機械変換素子 3は、印加された電圧に応じて矢印 A, B 方向に伸縮する。駆動軸 4は、電気機械変換素子 3の伸縮によって軸方向（矢印 A, B方向）に往復移動する。移動体 5は、駆動軸 4が緩慢に移動するときは、駆動軸 4と共に移動するが、駆動軸 4が急峻に移動するときは、自身の慣性力によってその場に留まろうとして駆動軸 4に対して滑り移動する。

[0036] 駆動回路 6は、電気機械変換素子 3に対し、移動体 5を位置決めするための駆動動作パターン電圧の他に、移動体 5の駆動軸 4に対する固着を解消するための固着解消パターン電圧を出力するようになって!/、る。

[0037] 図 2に、駆動回路 6が出力する駆動動作パターン電圧の波形と、駆動動作パターン電圧に対応する電気機械変換素子 3の長さの変化、すなわち、駆動軸 4の軸方向の位置を示す。本実施形態は、電気機械変換素子 3に矩形波を入力して駆動軸 4の鋸歯状の変位を得るものであり、駆動軸 4が固定された状態における電気機械変換素子 3の駆動電圧に対する変位の伝達特性 (周波数による利得と位相の変化)を利用するものである。図 2 (A)は、移動体 5を矢印 A方向に移動させる場合を示し、図 2 (B )は、移動体 5を矢印 B方向に移動させる場合を示す。

[0038] 図 1の構成では、通常、移動体 5の移動速度が最大となる周波数 fdlと、移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2とが略一致するが、本実施形態の駆動装置 1 は、特許文献 2 (特開 2004— 104919号公報）に開示された、共振周波数の選択により、つまり、錘 2、電気機械変換素子 3および駆動軸 4のそれぞれの長さ、外径および重量の選択による共振周波数の設定によって、移動体 5の移動速度が最大となる周波数 fdlを移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2と異ならせて、る。

[0039] 具体的には、錘 2は、タングステン材料を直径 2mm、長さ lmmの円柱状に形成してなり、電気機械変換素子 3は、 PZT粒子材料を直径 1. 2mm,長さ 3. 3mmの円柱状に形成してなり、駆動軸 4は、カーボン材料を直径 lmm、長さ 9. 8mmの円柱状に形成してなる。

[0040] この構成において、電気機械変換素子 3の共振周波数 frは、 168kHzであり、移動体 5の移動速度が最大となる周波数 fdlは、 143kHzであり、移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2は、 118kHzである。

[0041] 電気機械変換素子 3の伸長速度と収縮速度との間に差をつけて移動体 5を滑り移動させるために、理想的な駆動動作パターン電圧の駆動周波数 fdlは、電気機械変換素子 3の共振周波数 frの 0. 8〜0. 9倍である。しかし、共振周波数 frに近いほど個体差によるバラツキが大きくなるため、駆動装置 1では、 {平均値— 3 σ (標準偏差） }の値が最大となるように、共振周波数 frの 0. 75〜0. 8倍の駆動動作周波数 fdl ' ( 例えば 126kHz)で駆動する。また、駆動動作パターン電圧のデューティ比 Dulは、移動体 5を A方向に滑り移動させるときは 0. 34、移動体 5を B方向に滑り移動させるときは 0. 66〖こ設定される。

[0042] 図 3に、駆動装置 1の固着解消パターン電圧の一覧を例示する。駆動装置 1において、電気機械変換素子 3に長時間駆動電圧が印加されず、移動体 5が駆動軸 4の同じ位置に係合したまま時間が経過すると、移動体 5の駆動軸 4に対する摩擦力が一時的に増大し、移動体 5が駆動軸 4に固着する場合があるが、固着解消パターン電圧は、このような移動体 5の固着を解消するために出力されるものである。

[0043] 固着解消パターン電圧は、駆動動作パターン電圧と同じ電圧 (振幅)の矩形波電圧である力図示するように、周波数およびデューティ比が異なる 14種類の電圧を続けて出力するものである。また、駆動動作パターン電圧の出力パルス数は、移動体 5 を移動すべき距離に比例した数だけ出力されるが、固着解消パターン電圧の出力パルス数は、図 3に示すように予め定められた数だけ出力される。

[0044] 駆動動作パターン電圧の各ステップの駆動電圧を出力するために要する単位時間は、全て約 30msecであり、一定である。また、この単位時間は、図 1において、矢印 Cで示すような、被移駆動体 7を含めた移動体 5の駆動軸 4上での振動の固有振動周期の 1Z2に略一致している。また、全 14ステップを出力するために要する継続時間は、 420msecである。

[0045] 固着解消パターン電圧において、各奇数ステップは、デューティ比が 0. 30であり、電気機械変換素子 3を緩慢に伸長させて力急峻に収縮させることにより移動体 5を矢印 A方向に滑り移動させる波形である。一方、各偶数ステップは、デューティ比が 0 . 70であり、電気機械変換素子 3を急峻に伸長させて力緩慢に収縮させることにより移動体 5を矢印 B方向に滑り移動させる波形である。

[0046] 固着解消パターン電圧の周波数である固着解消周波数 fd2の変化は、ステップ 7, 8の 118. OkHzを基準に、 ± 3%の範囲で 1%ずつ変化させるようにスイープするようになっている。

[0047] また、駆動装置 1において、駆動回路 6は、電源投入時、リセット動作時、および、一定時間駆動動作パターン電圧を出力しな力つたとき、自動的に固着解消パターン電圧を出力するようになっており、駆動回路 6が固着解消パターン電圧を出力したら、駆動装置 1は、続けて原点復帰動作を行うようになっている。

[0048] 続いて、固着解消パターン電圧を印加することによる作用効果を説明する。

図 4 (A)に、移動体 5の移動速度と印加する矩形波駆動電圧の周波数との関係を示し、図 4 (B)に、移動体 5に作用する推力と印加する矩形波駆動電圧の周波数との関係を示す。ただし、図は、環境温度 20°Cで測定したものである。

[0049] 移動体 5の移動速度は、駆動動作パターン電圧を連続して印力!]した際の、移動体 5 の位置の変化を、 0. 5秒間隔で、レーザ測長器によってサブミクロン単位で測定して算出した。

[0050] また、移動体 5に作用する推力は、圧縮型ロードセルを用いて測定した。

[0051] 前述のように、駆動動作周波数 fdl 'は、移動体 5の移動速度が最大になる周波数 f dlよりやや低い周波数が選択され、固着解消周波数 fd2は、駆動動作周波数 fdl ' よりもさらに低い周波数が選択されている。このため、固着解消パターン電圧による移動体 5の移動速度は、駆動動作パターン電圧による移動速度よりも遅いものとなる

[0052] 一方、移動体 5を駆動軸 4に対して滑り移動させるように作用する推力は、一般に、移動体 5の移動量を最大にする周波数 fdlおよび駆動動作周波数 fdl 'よりも低い周波数において最大となる。よって、本実施形態では、移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2 (118kHz)を固着解消周波数として、る。

[0053] このため、駆動動作パターン電圧を印加しても移動体 5が滑り移動しないような固着状態であっても、電気機械変換素子 3に固着解消パターン電圧を印加すると駆動動作パターン電圧を印加するときより大きな推力が移動体 5に作用するので移動体 5を駆動軸 4に対して滑り移動させることができる。固着状態にあった移動体 5も、一度滑り移動すると、通常の推力で滑り移動する状態に復帰する。このように、駆動動作周波数 fdl 'よりも低い固着解消周波数 fd2の固着解消パターン電圧を印加することによって移動体 5の固着状態を解消できる可能性が高い。

[0054] 本実施形態では、固着解消周波数を移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2に合致させている力固着解消周波数は、移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2の近傍の周波数であってもよ、。

[0055] また、本実施形態において、駆動動作周波数 fdl 'と移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2との差は、移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2を基準にして、約 6. 8%である。これは、固着解消周波数において移動体 5に作用する推力が、駆動動作周波数 fdl 'において移動体 5に作用する推力よりも十分に大きくなることを意味する。駆動動作周波数 fdl 'と移動体 5に作用する推力が最大となる周波数 fd2との差が 3%以上であれば、固着解消パターン電圧の作用を、駆動動作パターン電圧と比較して有意なものとすることができる。

[0056] また、図 5 (A)に、移動体 5の移動速度と印加する矩形波駆動電圧のデューティ比との関係を示し、図 5 (B)に、移動体 5に作用する推力と印加する矩形波駆動電圧のデューティ比との関係を (A方向に作用する範囲のみ)示す。移動体 5の速度と推力は、デューティ比に対しても異なるピークを有しており、駆動動作パターン電圧のデュ一ティ比 Dulは、移動体 5の移動速度をできるだけ高くできるような値 (Dul = 0. 34 )に設定され、固着解消パターン電圧のデューティ比は、移動体 5に作用する推力をできるだけ高くできるような値 (Du2 = 0. 30)に設定されている。

[0057] このデューティ比の変化によっても、駆動動作パターン電圧では容易に移動しないように固着した移動体 5を固着解消パターン電圧によって移動させやすくすることができる。

[0058] また、駆動装置 1において、固着解消パターン電圧の各ステップを A方向と B方向とに、それぞれ移動体 5の固有振動周波数の 1Z2に略一致する単位時間ずつ、交互に繰り返すようにしているため、移動体 5を共振させて、小さな推力でも移動体が滑り移動し易いようにしている。

[0059] さらに、固着解消パターン電圧は、固着解消周波数 fd2がスイープされるようになつているが、これは、図 4に示すようなグラフの移動体 5の速度および推力の周波数に対する特性が、環境温度の変化によってシフト (横軸方向に移動)するので、環境温度にかかわらず少なくとも、ずれかのステップで推力が略ピークになるようにするためである。環境温度が基準となる 20°Cから ±40°Cの範囲で変化すると、移動体 5の推力がピークとなる周波数は ± 3%程度シフトすることから、本実施形態では、固着解消周波数 fd2を士 3%の範囲でスイープして!/、る。

[0060] 以上のように、本実施形態の駆動装置 1は、移動体 5の駆動軸 4に対する固着を解消するために周波数、デューティ比、単位時間などのパラメータを最適化した固着解消パターン電圧を電気機械変換素子 3に印加するが、本発明は、必ずしも、全てのノラメータを最適化することを要求するものではな、。

[0061] 例えば、固着解消パターン電圧によって移動体 5に作用する推力が A, Bいずれか一方向だけとなるものであってもよい。ただし、移動体 5と駆動軸 4との接触面の特定の部位にだけ推力が集中して作用しないように、 A, B両方向に推力を作用させることで固着を解消し易くなる。特に、移動体 5が機械的なストロークのいずれか一端にあるときに、全く機能しないおそれがあるので、 A, B両方向に交互に作用するようにしておくことが好ましい。

[0062] また、単位時間は、移動体 5の固有振動周波数に無関係に決めてもよいが、推力をバランスよく作用させて早く固着を解消するためには、単位時間を 100msec以下にすることが好ましい。

[0063] また、駆動動作パターン電圧と同じ波形の電圧を連続して印加しても、移動体 5の固着は解消可能であり、その場合、大抵の固着は 1000msec程度で解消される。よつて、通常の条件では、固着解消パターン電圧の継続時間を 1000msecを超えて長く設定すると、起動時間が必要以上に長くなつたりエネルギー損失が増加するだけなので好ましくない。

[0064] また、本実施形態では、固着解消周波数 fd2をスイープするので、単位時間を厳密に揃えるために出力パルス数を変化させている力仮に、パルス数を変化させなくても、単位時間のバラツキは ± 3%程度であり、各ステップの単位時間はおよそ一定であると理解しなければならな、。

[0065] また、本実施形態は、矩形波電圧駆動による駆動装置 1であるが、鋸歯状電圧駆動においても、移動体速度のピークは移動体推力のピークより高くなる。よって、鋸歯状電圧駆動による駆動装置にも本発明を適用することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 電気機械変換素子の伸縮によって軸方向に往復移動する駆動軸と、前記駆動軸に摩擦係合する移動体と、前記電気機械変換素子に駆動電圧を入力する駆動回路とを有し、

前記駆動回路は、前記電気機械変換素子の共振周波数 (fr)より小さぐ且つ、前記移動体の移動速度が最大となる周波数 (fdl)より小さヽ周波数 (fdl ' )の駆動動作パターン電圧と、

前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' )より小さぐ且つ、前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)の近傍の周波数の固着解消パターン電圧とを出力することを特徴とする駆動装置。

[2] 前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' )は、前記電気機械変換素子の共振周波数 (fr)の 0. 75倍以上、 0. 85倍以下であることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[3] 前記固着解消パターン電圧の出力継続時間は、 1000msec以下であることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[4] 前記固着解消パターン電圧は、前記電気機械変換素子を緩慢に伸長して急峻に収縮させる波形と、前記電気機械変換素子を急峻に伸長して緩慢に収縮させる波形とを所定の単位時間ずつ交互に繰り返すことを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[5] 前記単位時間は、 100msec以下であることを特徴とする請求項 4に記載の駆動装置。

[6] 前記単位時間は、前記移動体の固有振動周期の 1Z2であることを特徴とする請求項 4に記載の駆動装置。

[7] 前記固着解消パターン電圧は、前記駆動動作パターン電圧と波形が異なることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[8] 前記固着解消パターン電圧は、周波数が前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)を中心として ± 3%の範囲でスイープされることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[9] 前記駆動動作パターン電圧と前記固着解消パターン電圧とは、共に矩形波であつて、

前記固着解消パターン電圧は、前記駆動動作パターン電圧とデューティ比が異なることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[10] 前記固着解消パターン電圧のデューティ比は、 0. 3近傍または 0. 7近傍であることを特徴とする請求項 9に記載の駆動装置。

[11] 前記駆動動作パターン電圧と前記固着解消パターン電圧とは、ともに矩形波であつて、前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' )は、前記電気機械変換素子の共振周波数 (fr)の 0. 75倍以上、 0. 85倍以下であることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[12] 前記固着解消ノターン電圧は、前記駆動動作パターン電圧とデューティ比が異なることを特徴とする請求項 11に記載の駆動装置。

[13] 前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' )と、前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd2)との差が、前記移動体に作用する推力が最大となる周波数 (fd

2)の 3%以上であることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[14] 前記駆動動作パターン電圧の周波数 (fdl ' )は、前記電気機械変換素子の共振周波数 (fr)の 0. 75倍以上、 0. 85倍以下であることを特徴とする請求項 13に記載の駆動装置。

[15] 前記固着解消パターン電圧は、前記移動体を前記駆動軸の先端方向に移動させる波形と、前記移動体を前記駆動軸の根元方向に移動させる波形とを交互に繰り返すことを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。

[16] 前記固着解消パターン電圧は、前記移動体を前記駆動軸の先端方向に移動させる波形と、前記移動体を前記駆動軸の根元方向に移動させる波形とを、それぞれ、前記移動体の固有振動周波数の 1Z2に略一致する単位時間ずつ交互に繰り返すことを特徴とする請求項 15に記載の駆動装置。

[17] 前記固着解消パターン電圧は、矩形波であって、デューティ比が 0. 3近傍または 0 . 7近傍であることを特徴とする請求項 15に記載の駆動装置。

[18] 前記固着解消パターン電圧は、電源投入時、リセット動作時、および、一定時間前記駆動動作パターン電圧が出力されな力たときの少なくともいずれかのときに出力されることを特徴とする請求項 1に記載の駆動装置。