WO2007043394A1 - 水平補償機能を有する除振装置 - Google Patents

水平補償機能を有する除振装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2007043394A1
WO2007043394A1 PCT/JP2006/319775 JP2006319775W WO2007043394A1 WO 2007043394 A1 WO2007043394 A1 WO 2007043394A1 JP 2006319775 W JP2006319775 W JP 2006319775W WO 2007043394 A1 WO2007043394 A1 WO 2007043394A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
vibration isolation
horizontal
vibration
floor surface
compensation function
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/319775
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Tomomasa Fujita
Michiya Sato
Mitsuaki Nakanishi
Original Assignee
Fujikura Rubber Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikura Rubber Ltd. filed Critical Fujikura Rubber Ltd.
Publication of WO2007043394A1 publication Critical patent/WO2007043394A1/ja

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems

Definitions

  • the present invention relates to an air spring-type vibration isolation device, and more particularly to a vibration isolation device having a horizontal compensation function.
  • An air spring-type vibration isolation device has a scalable airtight pressure chamber located between a vibration isolation target and a floor surface.
  • the pressure of the airtight pressure chamber is raised and lowered dynamically according to the vibration of the floor surface, so that active control can be performed to prevent the vibration of the floor surface from being transmitted to the vibration isolation target.
  • active control can be performed to prevent the vibration of the floor surface from being transmitted to the vibration isolation target.
  • one vibration isolation target (unit) may be associated with one vibration isolation target.
  • a plurality of (generally three or more) vibration isolation table units positioned at different plane positions with respect to one vibration isolation target are required. Disclosure of the invention
  • the conventional control system does not consider floor displacement (subsidence with time). For this reason, even if the distance between the floor surface and the vibration isolation target does not change in each vibration isolation table unit, if the floor surface itself is vertically displaced, the horizontality of the vibration isolation target is impaired.
  • the present invention is based on the discovery of the above problems, and even if slight vertical displacement occurs on the floor surface over time, the horizontality of the vibration isolation target object supported by a plurality of vibration isolation table units is obtained.
  • An object of the present invention is to obtain a vibration isolation device having a horizontal compensation function that can be maintained.
  • the present invention detects the displacement of the floor surface from the reference horizontal plane at different plane positions of the vibration isolation target, and feeds back the detection results to the respective vibration isolation table units to obtain the water of the vibration isolation target. It is made on the basis of the fact that flatness can be maintained.
  • the anti-vibration apparatus having a horizontal compensation function of the present invention is located at different plane positions between a single anti-vibration object and the floor surface, and has an expandable and contractible air pressure chamber, respectively!
  • a plurality of vibration isolation units that change the distance between the floor surface and the vibration isolation target according to the magnitude of air pressure supplied to the pressure chamber; reference horizontal force sinking amount at different plane positions of the vibration isolation target It has a depression amount detector for detecting; and a supply pressure control mechanism for changing the supply pressure to the airtight pressure chambers of the plurality of vibration isolation units according to the amount of depression detected by the depression amount detector.
  • the sinking amount detector consists of three or more liquid level measuring devices installed on the floor, and each liquid level measuring device has a horizontal detection cup installed on the floor, and A communication passage for communicating a plurality of horizontal detection cups, a free liquid contained in the horizontal detection cup and the communication passage, and a height detection for detecting a distance between a free liquid level and a floor surface in each horizontal detection cup It can be composed of According to the height detector that detects the free liquid level in the three or more mutually connected horizontal detection cups and the distance between the free liquid level and the floor surface, it detects the deviation of the floor surface from the reference horizontal surface. be able to.
  • the vibration isolation target is a rigid body
  • the plane can be determined by the three horizontal detection cups, so even if the horizontal detection cup and the vibration isolation table unit are not in one-to-one correspondence, It is possible to detect the amount of sinking of the reference horizontal force at different plane positions of the vibration isolation target.
  • the vibration isolation target is actually considered to be a large load elastic body, and four or more horizontal detection cups are used when considering the amount of minute sinking from the reference horizontal surface at different plane positions. Is preferred.
  • the horizontal detection cups should be provided corresponding to each vibration isolation unit. Then, the supply pressure control mechanism controls the pressure of the airtight pressure chamber of the corresponding vibration isolation table unit according to the free liquid level height in each horizontal detection cup.
  • the free liquid may, of course, also be water! /, But it is desirable to use a low viscosity, non-volatile, inexpensively available sewing oil, spindle oil, ethylene glycol, or an ionic liquid.
  • each vibration isolation table A Z direction displacement meter is provided to measure the distance between the object to be isolated and the floor surface corresponding to the knit, and the feed pressure control mechanism responds to the vibration isolation according to the detection height of this Z direction displacement meter.
  • the pressure in the airtight pressure chamber of the unit can be controlled.
  • FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an anti-vibration apparatus having a horizontal compensation function according to the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of FIG.
  • FIG. 3 It is the top view which took out and drew the free liquid level detection apparatus group from the anti-vibration apparatus of FIG.
  • FIG. 4 is a front view of one vibration isolation table and free fluid level detection device included in the vibration isolation device of FIG. 1;
  • FIG. 5 A front view of one free level detection device.
  • FIG. 6 A plan view of FIG.
  • Fig. 7 is a right side view of Fig. 5;
  • FIG. 8 is a view showing a control system of the anti-vibration apparatus having a horizontal compensation function according to the present invention.
  • FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an anti-vibration apparatus having a horizontal compensation function according to the present invention.
  • a single vibration isolation target for example, a liquid crystal panel manufacturing apparatus, a large precision processing machine, a semiconductor manufacturing apparatus, etc.
  • All the vibration isolation table units 10 have the same structure (the same specification), and as shown in FIGS. 1, 2 and 4, the fixed plate 11 fixed to the floor surface F and the lower surface of the vibration isolation object O
  • a movable plate 12 (which supports the lower surface of the vibration isolation target O) is fixed, and a vertical bellows 13 is disposed between the fixed plate 11 and the movable plate 12.
  • the vertical bore 13 forms a vertical airtight pressure chamber, and the height of the movable plate 12 with respect to the fixed plate 11 (floor surface F) according to the magnitude of the supply air pressure supplied into the vertical bellows 13.
  • the position changes.
  • a liquid level measuring device 20 is attached to each vibration isolation table unit 10.
  • Each of the liquid level measuring devices 20 detects the deviation from the reference horizontal plane of the floor surface F in the vicinity of the corresponding vibration isolation table unit 10, and in this embodiment, the four rectangular outer sides of the vibration isolation object O forming a plane rectangle.
  • the same specifications are provided at the four power stations (each vibration isolation table unit 10 is provided at the inner position of each liquid level measuring instrument 20).
  • FIG. 3 depicts only the four liquid level measuring instruments 20, and the symbols R (right), L (left), F (front), and B (rear) are attached according to the position.
  • Each liquid level measuring device 20 has a reference plate 21 fixed on the floor F, a horizontal detection cup 22 fixed on the reference plate 21 and a height, as shown in detail in FIGS. And a measuring instrument support rod 23.
  • the four level detection cups 22 communicate with each other by a communication pipe (communication path) 24 (see also FIG. 1 and FIG. 3), and the free liquid 25 is contained in the communication path and the cup.
  • the amount of free liquid 25 is determined so that the free liquid level comes to an appropriate height position in each horizontal detection cup 22, as shown in FIG.
  • the free liquid 25 it is preferable to use, for example, sewing oil, spindle oil, ethylene glycol, or ionic liquid, which has low viscosity and is non-volatile and inexpensive.
  • the height measuring instrument support rod 23 supports a length measuring tool 27 having a laser length measuring device (height detector) 26.
  • the laser length measuring device 26 emits laser light to the free liquid surface of the free liquid 25 in the horizontal detection cup 22, and the reflected light power distance between the floor surface F and the free liquid surface height (free liquid level height Distance between the laser and the reference height of the laser length measuring device 26).
  • Such laser length measuring devices are known.
  • Floor surface F is as horizontal as possible when installing the present vibration isolation system. Assuming that this horizontal surface is a reference horizontal surface, and the detection distance of the laser length measuring instrument 26 at this time is a reference, unless the floor surface F deviates from the reference horizontal surface (unless the floor surface F sinks or floats up), each horizontal surface The distance between the free liquid level of the free liquid 25 in the detection cup 22 and the floor F does not change. On the other hand, when the floor surface F is shifted up and down from the reference horizontal surface (positive and negative sinking occurs), each water The distance between the free liquid surface of the free liquid 25 in the flat detection cup 22 and the floor surface F (laser length measuring device 26) changes. For example, when the floor surface F sinks, the free liquid level of the free liquid 25 (corresponding to the reference horizontal surface) does not change, but the distance between the free liquid level and the laser length measuring instrument 26 becomes smaller. Deviation from the reference horizontal plane is detected.
  • FIG. 8 shows a control system of the present vibration isolation system.
  • the vertical bellows actuator 17 for the vibration isolation table 10 corresponding to the liquid level measuring device 20 operates.
  • the pressure supplied to the vertical plate 13 of the vibration isolation table unit 10 is increased to raise the position of the movable plate 12 with respect to the fixed plate 11. Since the four fluid level measuring devices 20 and the corresponding vibration isolation table units 10 are independent, by independently controlling the supply pressure to these four vibration isolation table units 10, the vibration isolation target object is obtained. O's horizontality can be compensated. That is, horizontality can be compensated even in the case where the vibration isolation target O undergoes a slight elastic deformation due to local sinking of the floor surface F.
  • the Z direction displacement meter 18 measures the distance between the vibration isolation target 0 (movable plate 12) and the floor surface F, and is installed on the side of each vibration isolation unit 10 (see FIG. 1). reference).
  • the vertical bellows actuator 17 also controls the supply pressure to the vertical bellows 13 in accordance with the detection distance of the Z direction displacement meter 18.
  • the control of the supply pressure to the vertical bellows 13 by the Z-direction displacement meter 18 is mainly an active control that prevents vibrations from being transmitted to the vibration isolation object O.
  • the supply pressure control to the vertical bellows 13 by the liquid level measuring device 20 is a static control which compensates the level of the object O for vibration isolation even when the floor surface F is displaced from the reference horizontal force.
  • the present embodiment is characterized by this static control.
  • the static control amount is, for example, on the order of 1Z 1000 mm.
  • the liquid level measuring device 20 is installed corresponding to each vibration isolation table unit 10, and it is possible to cope with the minute vertical displacement of the floor surface.
  • the vibration isolation object O is assumed to be a rigid body and three or more points are required. From the measurement results of the liquid level measuring device 20, it is possible to estimate the amount of sinking in the portion where the liquid level measuring device 20 does not exist. Also, if it can be assumed that the lower surface of the vibration isolation object O is a plane (maintaining a plane)
  • the level measuring device 20 may be installed at at least three points in different plane positions.
  • each vibration isolation table unit 10 four horizontal bellows 15 are present in each vibration isolation table unit 10, and the horizontal direction of movable plate 12 is controlled by controlling the supply air pressure to these horizontal bellows 15. The position of is controllable.
  • the present invention does not make the problem whether the vibration isolation table unit 10 has the horizontal bellows 15 or its control mode.
  • height detectors other than the laser length measuring device 26 may be used. ,.
  • the deviation of the floor surface from the reference horizontal plane at different plane positions of the vibration isolation target is detected, and feedback is made to a plurality of vibration isolation table units that support the vibration isolation target.
  • the vibration isolation function can be obtained after compensating for the level of the vibration target.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

【課題】床面に経年的に僅かな局所的な上下が生じても、複数の除振台ユニットに支持されている除振対象物の水平性を維持できる水平補償機能を有する除振装置を得る。 【解決手段】単一の除振対象物と床面との間の異なる平面位置に位置する複数の除振台ユニット；除振対象物の異なる平面位置における基準水平面からの沈み込み量を検知する沈み込み量検知器；及びこの沈み込み量検知器が検知した沈み込み量に応じて複数の除振台ユニットの気密圧力室に対する供給圧力を変化させる供給圧力制御機構；を有する水平補償機能を有する除振装置。

Description

明 細 書
水平補償機能を有する除振装置
技術分野
[0001] 本発明は、空気ばね式の除振装置に関し、特に水平補償機能を有する除振装置に 関する。
背景技術
[0002] 空気ばね式の除振装置は、除振対象物と床面との間に位置する拡縮可能な気密圧 力室を有している。この除振装置では、床面の振動に応じて動的に気密圧力室の圧 力を上下させることで床面の振動が除振対象物に伝達されないようにするアクティブ 制御が可能であり、また気密圧力室への基礎圧力を上下させることで、床面と除振対 象物との距離を変化させるスタティック制御を行うこともできる。
[0003] 除振対象物が小型であれば、一つの除振対象物に一台の除振台（ユニット）を対応 させればよい。しかし、除振対象物が大型になると、一つの除振対象物に対して異な る平面位置に位置させた複数 (一般的に 3台以上)の除振台ユニットを必要とする。 発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] このように複数の除振台ユニットを用いて単一の除振対象物の除振を行うと、床面の 水平度が問題となる。しかし、従来の制御系では、床面の変位 (経時的な沈み込み） を考慮していない。このため、床面と除振対象物との距離が各除振台ユニット部分に おいて変化しなくても、床面自体が上下に変位してしまえば、除振対象物の水平性 が損なわれてしまう。
[0005] 本発明は、以上の問題点の発見に基づき、床面に経年的に僅かな上下変位が生じ ても、複数の除振台ユニットに支持されている除振対象物の水平性を維持できる水 平補償機能を有する除振装置を得ることを目的とする。
課題を解決するための手段
[0006] 本発明は、除振対象物の異なる平面位置における床面の基準水平面からの変位を 検知し、その検知結果を各除振台ユニットにフィードバックすれば、除振対象物の水 平性を維持することができるという着眼に基づいてなされたものである。 本発明の水平補償機能を有する除振装置は、単一の除振対象物と床面との間の 異なる平面位置に位置し、それぞれ拡縮可能な気密圧力室を有して!ヽて該気密圧 力室への供給空気圧力の大小により床面と上記除振対象物との距離を変化させる 複数の除振台ユニット；除振対象物の異なる平面位置における基準水平面力 の沈 み込み量を検知する沈み込み量検知器；及びこの沈み込み量検知器が検知した沈 み込み量に応じて上記複数の除振台ユニットの気密圧力室に対する供給圧力を変 化させる供給圧力制御機構；を有することを特徴として 、る。
[0007] 沈み込み量検知器は、具体的には、床面に設置した 3個以上の液面測定器力 構 成し、各液面測定器は、床面に設置した水平検知カップと、複数の水平検知カップ を連通させる連通路と、これらの水平検知カップ及び連通路内に入れた自由液体と 、各水平検知カップ内の自由液面高さと床面との距離を検知する高さ検知器とから 構成することができる。 3個以上の相互に連通する水平検知カップ内の自由液面と、 この自由液面と床面との距離を検知する高さ検知器によれば、基準水平面からの床 面のずれを検知することができる。
[0008] 除振対象物が剛体であると仮定できる場合には、 3個の水平検知カップによって平 面を確定できるから、水平検知カップと除振台ユニットとを一対一で対応させなくとも 、除振対象物の異なる平面位置における基準水平面力 の沈み込み量を検知する ことが可能である。しかし、除振対象物は実際には大荷重弾性体であると考えられ、 異なる平面位置における基準水平面からの微小な沈み込み量を問題にする場合に は、 4個以上の水平検知カップを用いることが好ましい。特に水平検知カップは、各 除振台ユニットに対応させて設けるのがよい。そして、供給圧力制御機構は、各水平 検知カップ内の自由液面高さに応じて対応する除振台ユニットの気密圧力室の圧力 を制御する。
[0009] 自由液体は、勿論水でもよ!/、が、粘度が低く非揮発性で安価に入手可能なミシンォ ィル、スピンドルオイル、エチレングリコール、またはイオン性液体を用いることが望ま しい。
[0010] また、床面の水平が補償されている状態での除振機能を発揮するため、各除振台ュ ニットに対応させて、除振対象物と床面との距離を測定する Z方向変位計を設け、供 給圧力制御機構により、この Z方向変位計の検出高さに応じて、対応する除振台ュ ニットの気密圧力室の圧力を制御することができる。
図面の簡単な説明
[0011] [図 1]本発明による水平補償機能を有する除振装置の一実施形態を示す平面図で ある。
[図 2]図 1の正面図である。
[図 3]図 1の除振装置から自由液面検知装置群を取り出して描いた平面図である。
[図 4]図 1の除振装置に含まれる一つの除振台及び自由液面検知装置の正面図で ある。
[図 5]—つの自由液面検知装置の正面図である。
[図 6]図 5の平面図である。
[図 7]図 5の右側面図である。
[図 8]本発明による水平補償機能を有する除振装置の制御系を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
[0012] 図 1は、本発明による水平補償機能を有する除振装置の一実施形態を示す平面図 である。この実施形態では、単一の除振対象物 (例えば液晶パネル製造装置、大型 の精密加工機等、半導体製造装置) Oの下面に均等に分散させて 4個の除振台ュニ ット 10が配置されている。全ての除振台ユニット 10は同一構造（同一仕様)であり、図 1、図 2及び図 4に示すように、床面 Fに固定される固定プレート 11と、除振対象物 O の下面に固定される（除振対象物 Oの下面を支える）可動プレート 12とを有し、固定 プレート 11と可動プレート 12の間に、鉛直べローズ 13が配置されている。鉛直べ口 ーズ 13は鉛直方向の気密圧力室を構成し、この鉛直べローズ 13内への供給する供 給空気圧力の大小により、固定プレート 11 (床面 F)に対する可動プレート 12の高さ 位置が変化する。床面 F上にはまた、各除振台ユニット 10毎に、平面矩形をなす可 動プレート 12の各辺に対応する 4つの固定縦壁 14が立設固定されており、各固定 縦壁 14と可動プレート 12の各辺垂直面との間に、水平方向の気密圧力室を構成す る水平べローズ 15が配置されている。すなわち、水平べローズ 15は、各除振台ュ- ット 10にっき直交二方向に各 2個ずつ合計 4個存在し、これらの水平べローズ 15に 対する供給空気圧力の制御により、可動プレート 12の水平方向の位置が制御される 。このような除振台ユニット 10の具体的構造は各種が知られている。
[0013] 各除振台ユニット 10には、液面測定器 20が付設されている。各液面測定器 20は、 対応する除振台ユニット 10近傍の床面 Fの基準水平面からのずれを検知するもので 、この実施形態では、平面矩形をなす除振対象物 Oの四隅外側の 4力所に同一仕様 で設けられている（各除振台ユニット 10は、各液面測定器 20の内側位置に設けられ ている）。図 3は、 4個の液面測定器 20のみを描いたもので、その位置に応じ、 R (右） 、 L (左)、 F (前)、及び B (後)の符号を付した。
[0014] 各液面測定器 20は、図 5ないし図 7に詳細を示すように、床面 F上に固定される基準 プレート 21と、この基準プレート 21上に固定した水平検知カップ 22と高さ測定器支 持ロッド 23とを備えている。 4個の水平検知カップ 22は、連通パイプ (連通路） 24 (図 1、図 3も参照）によって相互に連通しており、その連通した通路及びカップ内に自由 液体 25が入れられている。
[0015] 自由液体 25の量は、図 5に示すように、各水平検知カップ 22内の適当な高さ位置に 自由液面が来るように定められる。自由液体 25としては、例えば粘度が低く非揮発 性で安価な、ミシンオイル、スピンドルオイル、エチレングリコール、またはイオン性液 体を用いることが好ましい。
[0016] 高さ測定器支持ロッド 23には、レーザ測長器 (高さ検知器） 26を有する測長器ュ-ッ ト 27が支持されている。レーザ測長器 26は、水平検知カップ 22内の自由液体 25の 自由液面に対してレーザ光を発射し、その反射光力 床面 Fと自由液面高さとの距 離（自由液面高さとレーザ測長器 26の基準高さとの間の距離)を測定するものである 。このようなレーザ測長器は知られている。
[0017] 床面 Fは、本除振装置を設置するときに可及的に水平面とするものである。この水平 面を基準水平面とし、このときのレーザ測長器 26の検知距離を基準とすると、床面 F が基準水平面からずれない限り（床面 Fが沈み込んだり浮き上がったりしない限り）、 各水平検知カップ 22内の自由液体 25の自由液面と床面 Fとの距離は変化しない。 一方、床面 Fが基準水平面から上下にずれる（正負の沈み込みが発生する）と、各水 平検知カップ 22内の自由液体 25の自由液面と床面 F (レーザ測長器 26)との距離 が変化する。例えば、床面 Fが沈み込むと、自由液体 25の自由液面高さ（基準水平 面に対応）は変化しないのに対し、自由液面とレーザ測長器 26との距離は小さくなる ため、基準水平面からのずれが検知される。
[0018] 図 8は、本除振装置の制御系を示している。 4個の液面測定器 20のうちのいずれか が床面 Fの正負の沈み込みを検知すると、その液面測定器 20に対応する除振台ュ ニット 10用の鉛直べローズ用ァクチユエータ 17がその除振台ユニット 10の鉛直べ口 ーズ 13への供給圧力を増加させて可動プレート 12の固定プレート 11に対する位置 を上昇させる。 4個の液面測定器 20と対応する除振台ユニット 10は、独立しているか ら、これら 4個の除振台ユニット 10に対する供給圧力の制御を独立して行うことにより 、除振対象物 Oの水平性を補償することができる。すなわち、床面 Fの局所的な沈み 込みによって除振対象物 Oが微小に弾性変形する場合にも水平性を補償することが できる。
[0019] Z方向変位計 18は、除振対象物 0 (可動プレート 12)と床面 Fとの距離を測定するも ので、各除振台ユニット 10の側部に設置されている（図 1参照)。鉛直べローズ用ァク チユエータ 17はまた、この Z方向変位計 18の検出距離に応じて、鉛直べローズ 13に 対する供給圧力を制御する。 Z方向変位計 18による鉛直べローズ 13への供給圧力 制御は、主に振動が除振対象物 Oに伝達されないようにするアクティブな制御である 。これに対し、液面測定器 20による鉛直べローズ 13への供給圧力制御は、床面 Fが 基準水平面力 ずれたときにも除振対象物 Oの水平を補償するスタティックな制御で ある。本実施形態は、このスタティックな制御を特徴としている。スタティックな制御量 は、例えば 1Z 1000mmオーダーである。
[0020] 以上の実施形態では、液面測定器 20を各除振台ユニット 10に対応させて設置して おり、微小な床面の上下位置変位に対応することができる。しかし、例えば、除振装 置の設置環境によって、特定の除振台ユニット 10に液面測定器 20を付設できないよ うな場合には、除振対象物 Oを剛体と仮定し、 3点以上の液面測定器 20の測定結果 から、液面測定器 20が存在しない部分の沈み込み量を推定することができる。また、 除振対象物 Oの下面は平面である（平面を維持する）と仮定することができる場合に は、液面測定器 20は異なる平面位置に最低 3点に設置すればよい。すなわち、除振 対象物 Oの下面にできるだけ正三角形の頂点位置に位置させて 3個の液面測定器 2 0を設置すれば、除振対象物 Oの異なる平面位置における基準水平面からのずれ（ 全体の基準水平面力 のずれ)を検知する沈み込み量検知器を構成することができ る。そして、この沈み込み量検知器が検知した沈み込み量 (各除振台ユニット 10が存 在する部分における床面 Fの基準水平面力 のずれ量）に応じて各除振台ユニット 1 0の鉛直べローズ 13への供給圧力を制御することで、除振対象物 Oの水平を補償す ることができる。勿論、除振対象物 Oが実際には大荷重弾性体であることを考慮すれ ば、除振台ユニット 10 (液面測定器 20)は 4個以上を用いることが好ましぐ設置数を 増加するに従って、より精度の高い制御が可能になることは言うまでもない。
[0021] 以上の実施形態では、各除振台ユニット 10にっき 4個の水平べローズ 15が存在して おり、これらの水平べローズ 15に対する供給空気圧力の制御により、可動プレート 1 2の水平方向の位置が制御可能である。しかし、本発明は、除振台ユニット 10が水平 ベローズ 15を有するか否力、及びその制御態様を問題としない。また、液面測定器 2 0の水平検知カップ 22内の自由液面高さと床面との距離を検知する高さ検知器は、 レーザ測長器 26以外の高さ検知器を用いてもょ 、。
産業上の利用可能性
[0022] 本発明によれば、除振対象物の異なる平面位置における床面の基準水平面からの ずれを検知し、除振対象物を支持する複数の除振台ユニットにフィードバックするの で、除振対象物の水平を補償した上で除振作用を得ることができる。

Claims

請求の範囲
[1] 単一の除振対象物と床面との間の異なる平面位置に位置し、それぞれ拡縮可能な 気密圧力室を有していて該気密圧力室への供給空気圧力の大小により床面と上記 除振対象物との距離を変化させる複数の除振台ユニット； 上記除振対象物の異な る平面位置における基準水平面力 の沈み込み量を検知する沈み込み量検知器； 及び この沈み込み量検知器が検知した沈み込み量に応じて上記複数の除振台ュ ニットの気密圧力室に対する供給圧力を変化させる供給圧力制御機構;を有すること を特徴とする水平補償機能を有する除振装置。
[2] 請求項 1記載の水平補償機能を有する除振装置において、上記沈み込み量検知器 は、床面上に設置した 3個以上の液面測定器力 なっていて、各液面測定器は、床 面に設置した水平検知カップと、複数の水平検知カップを連通させる連通路と、これ らの水平検知カップ及び連通路内に入れた自由液体と、各水平検知カップ内の自 由液面高さと床面との距離を検知する高さ検知器と備えている水平補償機能を有す る除振装置。
[3] 請求項 2記載の水平補償機能を有する除振装置において、上記水平検知カップは、 各除振台ユニットに対応させて設けられており、上記供給圧力制御機構は、各水平 検知カップ内の自由液面高さに応じて対応する除振台ユニットの気密圧力室の圧力 を制御する水平補償機能を有する除振装置。
[4] 請求項 1ないし 3のいずれ力 1項記載の水平補償機能を有する除振装置において、 上記自由液体は、ミシンオイル、スピンドルオイル、エチレングリコール及びイオン性 液体の ヽずれかである水平補償機能を有する除振装置。
[5] 請求項 1ないし 4のいずれ力 1項記載の水平補償機能を有する除振装置において、 各除振台ユニットに対応させて、上記除振対象物と床面との距離を測定する Z方向 変位計がさらに備えられており、上記供給圧力制御機構は、この Z方向変位計の検 出高さに応じて対応する除振台ユニットの気密圧力室の圧力を制御する水平補償機 能を有する除振装置。
PCT/JP2006/319775 2005-10-06 2006-10-03 水平補償機能を有する除振装置 WO2007043394A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-294067 2005-10-06
JP2005294067A JP2007100910A (ja) 2005-10-06 2005-10-06 水平補償機能を有する除振装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007043394A1 true WO2007043394A1 (ja) 2007-04-19

Family

ID=37942638

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/319775 WO2007043394A1 (ja) 2005-10-06 2006-10-03 水平補償機能を有する除振装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2007100910A (ja)
TW (1) TW200722650A (ja)
WO (1) WO2007043394A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102062171A (zh) * 2010-11-15 2011-05-18 中国舰船研究设计中心 多隔振器布置方法以及隔振装置
US20200170866A1 (en) * 2013-03-15 2020-06-04 Peter D. Sabota Infant Care Transport Device with Shock and Vibration System

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6088862B2 (ja) * 2013-03-13 2017-03-01 株式会社大林組 開水路式変位計

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02144711U (ja) * 1989-05-08 1990-12-07
JPH084830A (ja) * 1994-06-23 1996-01-12 Showa Electric Wire & Cable Co Ltd 除振台位置制御方法
JPH09190957A (ja) * 1996-01-11 1997-07-22 Canon Inc 能動除振装置および能動除振方法
JP3063046U (ja) * 1998-12-16 1999-10-19 富山検査株式会社 レ―ザ―コントロ―ラ―による水管式精密水平変位測定方式
JP2005069303A (ja) * 2003-08-21 2005-03-17 Tokkyokiki Corp 空圧制御型除振装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02144711U (ja) * 1989-05-08 1990-12-07
JPH084830A (ja) * 1994-06-23 1996-01-12 Showa Electric Wire & Cable Co Ltd 除振台位置制御方法
JPH09190957A (ja) * 1996-01-11 1997-07-22 Canon Inc 能動除振装置および能動除振方法
JP3063046U (ja) * 1998-12-16 1999-10-19 富山検査株式会社 レ―ザ―コントロ―ラ―による水管式精密水平変位測定方式
JP2005069303A (ja) * 2003-08-21 2005-03-17 Tokkyokiki Corp 空圧制御型除振装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102062171A (zh) * 2010-11-15 2011-05-18 中国舰船研究设计中心 多隔振器布置方法以及隔振装置
US20200170866A1 (en) * 2013-03-15 2020-06-04 Peter D. Sabota Infant Care Transport Device with Shock and Vibration System

Also Published As

Publication number Publication date
TW200722650A (en) 2007-06-16
JP2007100910A (ja) 2007-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI442067B (zh) 改良探測系統之定位方法及探測系統
US20150219179A1 (en) Vibration isolator with zero stiffness whose angle degree of freedom is decoupled with spherical air bearing
US9423000B2 (en) Magnetically suspended vibration isolator with zero stiffness whose angle degree of freedom is decoupled with a joint ball bearing
KR102493122B1 (ko) 능동형 제진장치 및 그 센서의 설치방법
CN112635386A (zh) 气浮卡盘
JP5559253B2 (ja) 荷重負荷試験装置
WO2007043394A1 (ja) 水平補償機能を有する除振装置
CN214279938U (zh) 气浮卡盘
TWI666690B (zh) 水平設置裝置及被設置物之水平設置方法
TW201724333A (zh) 定位設備
KR100933672B1 (ko) 제진장치
US20130335750A1 (en) Position-Measuring Device
US20070246871A1 (en) Vibration Isolation Table Device
CN103047512A (zh) 基于弹簧零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台
JPH10115341A (ja) 振動絶縁装置
JP4491364B2 (ja) 非接触支持装置
KR100796896B1 (ko) 테이블의 수평유지 시스템
JP2007033188A (ja) 秤量装置
JP2006292147A (ja) 気体ばね式除振装置
US20200278076A1 (en) Method and apparatus for isolating a vibration of a positioning device
JP5319152B2 (ja) ステージ装置及びその制御方法
JP4446855B2 (ja) アクティブ姿勢制御装置
TW382037B (en) Damper
KR102537339B1 (ko) 노광기
JP2004104023A (ja) 微動装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DPE1 Request for preliminary examination filed after expiration of 19th month from priority date (pct application filed from 20040101)
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 06811123

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1