KR102493122B1 - 능동형 제진장치 및 그 센서의 설치방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 기초측 가속도센서(25)가 검출한 진동상태에 의거하여, 아이솔레이터(isolator)(2)에 의해 지지된 피(被)지지체(H)에 대해, 바닥(F)으로부터 전달되는 진동과 역위상(逆位相)의 제어진동이 부가되도록 제어하는 능동형 제진장치에 있어서, 바닥(F)의 진동상태가 다른 환경하에서의 제진성능을 향상시키는 것이다.
바닥(F)의 복수의 임의 위치에서의 진동상태를 측정하고, 측정한 진동상태를 비교하여 서로 다른 진동상태를 가지는 상기 바닥(F)의 위치를 검출하고, 검출한 위치에 각각 기초측 가속도센서(25, 25)를 설치한다.

Description

능동형 제진장치 및 그 센서의 설치방법 {ACTIVE VIBRATION ISOLATION DEVICE AND METHOD FOR INSTALLING SENSOR THEREOF}
본 발명은, 능동형 제진장치 및 그 센서의 설치방법에 관한 것이다.
종래, 기초(바닥)에 피(被)지지체가 탄성체에 의해 지지된 구조에 있어서, 기초의 진동을 1개의 진동센서에 의해 검출하고, 이 진동센서가 검출한 진동상태에 의거하여 기초로부터 전달되는 진동과 역위상(逆位相)의 제어진동이 피지지체에 대해 부가되도록 액추에이터(actuator)를 제어하는 능동형 제진장치가 알려져 있으며, 예를 들어 특허문헌 1에 그 상세한 설명이 개시되어 있다.
그런데, 최근, 능동형 제진장치의 대형화가 진행되고, 1개의 진동센서로는 제진성능을 유효하게 발휘할 수 없는 경우가 있다. 그래서, 특허문헌 2에 개시되어 있는 복수의 센서를 이용한 제진장치의 기술이 제안되어 있다.
특허문헌 1 : 일본 공개특허공보 특개2015－75909호 특허문헌 2 : 일본 특허공보 제3282302호
그러나, 종래의 복수의 센서를 이용한 제진장치에서는, 센서의 위치가 미리 정해진 위치에 고정되므로, 기초로부터의 진동상태가 다른 환경에서는 복수의 센서를 배치하고 있음에도 불구하고, 그 이점을 살리지 못하는 경우가 있다.
또, 제진장치의 배치장소를 변경하는 경우에 기초의 진동상태가 다르게 되어도, 제진장치의 성능을 담보할 필요가 있다.
또한, 제진장치는 항상 안정된 기초 위에 설치된다고는 할 수 없으며, 매우 불안정한 장소에 설치하지 않을 수 없는 경우가 있다. 예를 들어, 4 모퉁이 중 3 모퉁이를 안정되게 설치하더라도, 남은 1 모퉁이를 기초 위에 설치할 수 없는 사례를 생각할 수 있다. 이와 같은 경우에도 제진장치의 성능을 담보할 필요가 있다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는, 제진장치에 있어서 기초로부터의 진동상태에 관계없이 높은 제진성능을 발휘할 수 있도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는, 기초의 임의 위치에서의 진동상태를 측정하고 나서, 서로 다른 진동상태를 가지는 상기 기초의 위치에 복수의 진동센서를 설치함으로써, 제진장치가 기초의 진동상태에 관계없이 높은 제진성능을 발휘할 수 있도록 하였다.
구체적으로는 제 1 발명은, 기초에 대해 피지지체를 탄성적으로 지지하는 탄성체와, 상기 기초의 진동상태를 검출하는 복수의 진동센서와, 상기 피지지체에 대해 진동을 부가하는 액추에이터와, 상기 진동센서가 검출한 기초의 진동상태에 의거하여, 상기 피지지체에 대해 상기 기초로부터 전달되는 진동과 역위상의 제어진동이 부가되도록 액추에이터를 제어하는 피드포워드 제어수단을 구비한 능동형 제진장치에 있어서, 상기 복수의 진동센서는, 상기 기초의 진동상태가 서로 다른 위치에 설치되는 것을 특징으로 한다.
제 2 발명은, 진동센서가 검출한 기초의 진동상태에 의거하여, 기초에 탄성체에 의해 탄성적으로 지지된 피지지체에 대해 기초로부터 전달되는 진동과 역위상의 제어진동이 부가되도록 액추에이터를 제어하는 능동형 제진장치의 상기 진동센서를 복수 설치하는 설치방법에 있어서, 상기 기초의 복수의 임의 위치에서의 진동상태를 측정하고, 상기 측정한 진동상태를 비교하여 서로 다른 진동상태를 가지는 상기 기초의 위치를 판별하며, 상기 판별한 서로 다른 진동상태를 가지는 위치에 각각 상기 진동센서를 설치하는 것을 특징으로 한다.
이들 발명의 상기 구성으로 함으로써, 피지지체에 전달되는 기초로부터의 진동을 보다 정확하게 측정할 수 있고, 보다 고성능의 제진을 실현할 수 있는 제진장치를 얻을 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 기초로부터 피지지체로의 진동을 보다 정확하게 측정하는 것이 가능하게 되어, 제진의 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시예에 관한 제진장치의 전체 구성을 나타낸 모식도.
도 2는, 실시예에 관한 제진장치의 사시도.
도 3은, 실시예에 관한 제어의 블록도.
도 4는, 실시예에 관한 기초측 가속도센서의 배치를 나타내는 평면 모식도.
도 5는, 실험예 1에서의 진동 전달률의 측정결과 그래프.
도 6은, 실험예 2에서의 진동 전달률의 측정결과 그래프.
이하, 본 발명의 실시예를 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 여기서, 이하의 실시예의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물 또는 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다.
도 1, 2는, 본 발명의 실시예에 관한 능동형 제진장치를 구현화한 능동형 제진장치(A)의 전체적인 구성을 나타낸다. 이 능동형 제진장치(A)는, 예를 들어 반도체 관련 제조 장치나 전자현미경 등과 같이 진동의 영향을 받기 쉬운 정밀기기(D)를 탑재대(1) 위에 탑재하고, 이들을 바닥 진동으로부터 가능한 한 절연된 상태로 하기 위해, 복수의 아이솔레이터(isolator)(2, 2, …)에 의해 탄성적으로 지지한 것이다. 즉, 이 능동형 제진장치(A)에 있어서는 탑재대(1) 및 기기(D)가 피지지체(H)를 구성한다.
일례로 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에서는 4개의 아이솔레이터(2, 2, …)를 각각 탑재대(1)의 4 모퉁이에 배치하나, 이는 3개 이상이라면 몇 개라도 된다. 각각의 아이솔레이터(2)는, 도 1에 모식적으로 나타내는 바와 같이, 바닥(F)(기초) 위에 배치된 이너(inner)케이스(20)의 상부(上部)에, 상하방향의 하중을 지지하는 공기스프링(20a)을 구비한다. 이는, 이너케이스(20)의 상단(上端) 개구에 다이어프램(diaphragm) 등을 개재하여 피스톤을 기밀 상태로 내측에 삽입하여, 이 이너케이스(20) 내에 공기실을 구획하여 형성한다.
또, 도 1의 예에서는 이너케이스(20)의 상반부(上半部)를 상방으로부터 피복하도록 하여, 하방에 개구하는 아우터(outer)케이스(21)가 배치되고, 그 천판(天板)은 공기스프링(20a)의 피스톤 위에 올려 놓여진다. 한편, 아우터케이스(21)의 측판(側板)과 이너케이스(20)의 측판과의 사이에는, 소정의 틈새가 있다. 이 틈새에는, 상기 공기스프링(20a)과 대체로 마찬가지 구성의 한 쌍의 공기스프링(20b, 20b)이 이너케이스(20)를 사이에 두고 서로 대향하도록 배치된다. 이들 공기스프링(20b, 20b)은, 수평방향의 힘을 발생시키도록 구성된다.
즉, 아이솔레이터(2)는, 상하방향의 공기스프링(20a)에 의해 피지지체(H)의 분담 하중을 지지함과 동시에, 이 상하방향의 공기스프링(20a)이나 수평방향의 공기스프링(20b, 20b)의 내압을 증감하도록 제어함으로써, 피지지체(H)에 대해 그 진동을 감쇄하는 제어력을 부가할 수 있다. 이에 따라, 아이솔레이터(2)는, 바닥(F)에 대해 피지지체(H)를 지지하는 탄성체와, 공기스프링(20a, 20b)의 내압 제어에 의해 피지지체(H)에 대해 진동을 부가하는 액추에이터를 구성한다.
보다 상세하게는, 피지지체(H)인 탑재대(1) 및 그 위의 기기(D)를 일체의 강체로 간주하고, 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 강체의 중심(重心) G를 지나는 직교 3축 x, y, z를 설정하면, 이 직교좌표계에서의 운동의 자유도는, x축, y축 및 z축의 병진 3방향과 이들 각 축 둘레의 회전 3방향 φ, θ, ψ로 된다. 따라서, 이들 합계 6자유도의 각 방향으로 각각 제어력을 부가하도록, 4개의 아이솔레이터(2, 2, …)의 상하 및 수평의 공기스프링(20a, 20b, …)을 배치한다.
도 2에 나타내는 예에서는, 우측 앞쪽 및 좌측 안쪽(도시않음)의 2개의 아이솔레이터(2, 2)가 각각, 수평의 한 쌍의 공기스프링(20b, 20b)의 내압을 서로 역위상으로 증감시킴으로써, x방향(이하, 단지 좌우방향이라고도 함)의 제어력 Fx를 발생시키도록, 또, 좌측 앞쪽 및 우측 안쪽의 2개의 아이솔레이터(2, 2)는 각각 y방향(이하, 단지 전후방향이라고도 함)의 제어력 Fy를 발생시키도록 배치된다. 이들 4개의 아이솔레이터(2, 2, …)에 의해 z축 둘레 즉 ψ방향의 제어력을 피지지체(H)에 부가할 수 있다.
또, 상하방향인 z방향의 제어력 Fz에 대해서는, 4개의 아이솔레이터(2, 2, …) 각각의 상하의 공기스프링(20a)이 분담하여 발생시키는 것이고, 그 각각이 발생시키는 힘 Fz의 배분을 중심 G로부터의 거리에 따라 적당히 설정하면, 피지지체(H)에 대해 상하방향의 제어력만을 부가할 수 있다. 한편, 4개의 아이솔레이터(2, 2, …) 각각의 상하의 공기스프링(20a)이 발생시키는 힘 Fz의 배분에 의해, 피지지체(H)에 대해 x축 및 y축의 둘레의 회전방향 즉 φ, θ 방향의 제어력을 부가할 수 있다. 이와 같이, 4개의 아이솔레이터(2, 2, …)가 각각 구비하는 공기스프링(20a, 20b)은, 피지지체(H)에 대해 6자유도의 각 자유도 방향으로 제어력을 부가 가능하게 배치된다.
이와 같이 하여 필요로 하는 제어력을 발생시키기 위해, 본 실시예에서는, 도 1에 모식적으로 나타내는 바와 같이, 각 아이솔레이터(2)의 상하 및 수평의 공기스프링(20a, 20b, 20b)에는, 각각 도면 외의 공기압원으로부터 압축공기를 공급하기 위한 배관이 접속된다. 그리고, 이들 배관 사이에 설치된 서보밸브(22a, 22b)에 의해 공기스프링(20a, 20b, 20b)으로의 공기의 급배기량이 조정되도록 된다(여기서, 도 1에는 우측의 아이솔레이터(2)에 대해서만, 그 공기압의 제어계통을 나타낸다). 본 실시예에서는, 이들 공기스프링(20a, 20b)이 피지지체(H)에 대해 힘을 작용시켜 진동을 부가하는 액추에이터를 구성한다.
또, 각 아이솔레이터(2)에는, 그 지지위치 근방의 피지지체(H)의 상하 및 수평(즉 수평의 공기스프링(20b)이 배치된다)방향의 가속도를 검출하는 가속도센서(23a, 23b)가 설치된다. 이들 가속도센서(23a, 23b)로부터의 신호는, 컨트롤러(3)(피드포워드 제어수단)에 입력된다. 그리고, 가속도센서(23a, 23b)로 검출된 피지지체(H)의 가속도는, 컨트롤러(3)에 의해 피지지체(H)의 중심 G의 6자유도의 진동 x", y", z", φ", θ", ψ"로 변환된다.
또한, 상기 가속도센서(23a, 23b)와 마찬가지로, 각 아이솔레이터(2)에 그 지지위치 근방의 피지지체(H)의 상하 및 수평방향의 변위를 각각 검출하는 변위센서(24a, 24b)가 설치된다. 또, 이너케이스(20) 하부(下部)의 가속도, 즉 바닥 진동을 검출하기 위한 기초측 가속도센서(25)(진동센서)도 설치된다. 이 기초측 가속도센서(25)는, 4개의 아이솔레이터(2, 2, …) 중 3개에 설치되고, 그 중 2개는 수평방향(즉, x방향 및 y방향)의 바닥 진동을 검출하고, 남은 2개는 상하방향의 바닥 진동을 검출한다. 이들 변위센서(24a, 24b) 및 기초측 가속도센서(25)로부터의 신호도, 컨트롤러(3)에 입력된다. 그리고, 변위센서(24a, 24b)로 검출된 피지지체(H)의 변위는, 컨트롤러(3)에 의해 피지지체(H)의 중심 G의 6자유도의 변위 x－x0, y－y0, z－z0, φ－φ0, θ－θ0, ψ－ψ0으로 변환된다. 여기서, x0, y0, z0, φ0, θ0, ψ0은, 각 자유도 방향의 바닥(F)의 변위이다.
컨트롤러(3)에 의한 서보밸브(22a, 22b)의 제어 내용은, 대체로 도 3의 블록도에 나타내는 바와 같이 되고, 크게 구별하면, 피지지체(H)에 대한 바닥(F)으로부터의 전달 진동을 없애기 위한 제진(除振)제어와, 기기(D) 등이 발생시키는 진동을 없애기 위한 제진(制振)제어로 이루어진다. 즉, 서보밸브(22a, 22b)로의 제어 입력에 대해, 도 3의 우측에 나타내는 바와 같이, 가속도센서(23a, 23b)로부터의 신호에 의거하여 피드백 진동제어부(3a)에 의해 피드백 제어가 행해짐과 동시에, 바닥 진동을 검출하는 기초측 가속도센서(25)로부터의 신호에 의거하여 피드포워드 진동제어부(3b)에 의해 피드포워드 제어가 행해진다.
또, 상기 피드백 제어 및 피드포워드 제어와 더불어, 도 3의 좌하측에 나타내는 바와 같이, 변위센서(24a, 24b)로부터의 출력에 의거하여 피드백 변위제어부(3c)에 의해 피드백 제어가 행해진다. 여기서, 본 실시예의 능동형 제진장치(A)에서는, 피지지체(H)는 항상 정지(靜止)하고 있는 것이 이상적으로 간주되어, 목표값이 변경되는 일 없이 일정하므로, 여기서는 영(0)으로 한다. 이와 같은 피드백 진동제어 및 피드포워드 진동제어는, 컨트롤러(3)의 CPU에 의해 소정의 프로그램이 실행됨에 따라 실현되는 것으로, 소프트웨어의 형태로 구비된다.
그리고, 이와 같은 여러 가지 보정의 결과로서, 6자유도 각 방향의 조작량이 결정되어, 각 공기스프링(20a, 20b)의 위치에 따라 조작량이 서보밸브(22a, 22b)에 분배되어 컨트롤러(3)로부터 서보밸브(22a, 22b)로의 제어 출력이 이루어지고, 이 출력 신호를 받은 서보밸브(22a, 22b)의 작동에 의해 공기스프링(20a, 20b)의 공기압이 조정됨에 따라, 이 공기스프링(20a, 20b)이 액추에이터로서 작동하여, 피지지체(H)에 제어진동을 부가하게 된다.
이하에서, 기초측 가속도센서(25)의 설치에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 연직(鉛直)방향용 기초측 가속도센서(25)를 예로 하여 설명하나, 수평방향용 기초측 가속도센서(25)의 설치에 대해서도 마찬가지이다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 피지지체의 탑재대(1)를 지지하는 4개의 아이솔레이터(2, 2, …) 중 2개의 아이솔레이터(2, 2) 하방의 바닥(F) 위에 각각 연직방향용 기초측 가속도센서(25, 25)가 설치된다. 본 실시예에서는, 2개(복수)의 연직방향용 기초측 가속도센서(25, 25)는, 평면에서 보아 직사각형 형상의 바닥(F)의 서로 대각으로 위치하는 아이솔레이터(2, 2) 하방에 설치되고, 각각의 설치장소의 바닥(F)의 진동상태는 서로 다른 것으로 된다. 그리고, 제어에 있어서는, 2개의 연직방향용 기초측 가속도센서(25, 25)로부터의 신호를 평균한 신호에 의해 피드포워드 제어를 행하도록 한다. 이에 따라, 2개의 연직방향용 기초측 가속도센서(25, 25)의 평균 신호에 의해 피드포워드 제어를 행하기 때문에, 서로 공통되는 움직임의 진동을 검지한 경우에는 증폭된 신호를 이용하며, 또 서로 다른 움직임을 하는 진동을 검지한 경우에는 상쇄된 신호를 이용하여 피드포워드 제어를 행하게 되어, 연직방향용 기초측 가속도센서(25)가 1개인 경우와 비교하여 제진성능을 높일 수 있다.
이하에서, 기초측 가속도센서(25)의 설치방법에 대해 설명한다. 피지지체(H) 주변의 바닥(F)에 대해, 복수의 임의 위치에서의 진동상태를 측정한다. 그 때, 가능한 한 아이솔레이터(2)에 진동을 미치게 할 가능성이 높은 위치를 예측하여 측정하는 것이 바람직하다. 즉, 예를 들어 아이솔레이터(2)의 설치장소 주변에 대해 측정하는 것이 바람직하다. 다음에, 측정한 복수 위치의 진동상태를 비교하여 서로 다른 진동상태를 가지는 2개(복수)의 위치를 판별한다. 그 후, 판별한 위치에 각각 연직방향용 기초측 가속도센서(25, 25)를 설치하면 된다. 이 때, 임의의 복수 위치 중에서 진동상태의 차이가 최대로 되는 위치에 연직방향용 기초측 가속도센서(25, 25)를 설치하는 것이 가장 바람직하다. 이에 따라 다른 진동상태의 기초에 설치한 복수의 연직방향용 기초측 가속도센서(25, 25)로부터의 신호를 합성하여, 보다 정확한 피드포워드 제어를 행할 수 있게 된다. 그리고, 설치에는, 양면 테이프로 붙이기 또는 케이스에 넣어 마운트에 나사 체결하기 등, 간단하고 용이하게 분리 가능한 형태로 설치할 수 있다.
이상에 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는, 다른 진동상태의 바닥(F)에 설치한 복수의 기초측 가속도센서(25, 25)로부터의 신호를 평균하여 피드포워드 제어를 행할 수 있게 되므로, 능동형 제진장치(A)의 성능을 높일 수 있다. 또, 제진장치(A)의 설치장소를 변경할 시 등에도, 변경 후의 설치장소의 바닥(F)의 진동상태를 측정하여 비교함으로써, 복수의 기초측 가속도센서(25, 25)의 설치장소를 결정할 수 있어, 제진장치(A)의 성능을 유지할 수 있다.
(그 밖의 실시예)
상기 실시예에서는, 기초측 가속도센서(25)를 2개로 하고 있으나, 3개 이상에 대해서도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 이 경우, 3개 이상의 기초측 가속도센서(25, 25, …)에 대해 각각이 서로 다른 진동상태로 되는 바닥(F) 위의 위치에 설치하는 것이 바람직하다.
또, 상기 실시예에서는 직사각형 형상의 피지지체에 대해 복수의 기초측 가속도센서(25, 25, …)를 설치하고 있으나, 직사각형 이외의 형상(예를 들어 타원 형상)의 피지지체에 대해서도 복수의 기초측 가속도센서(25, 25, …)를 설치하여도 되며, 본 발명은 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 아이솔레이터(2)에 의해 탄성체와 액추에이터를 겸하고 있으나, 본 발명은, 기초에 대해 피지지체를 탄성적으로 지지하는 탄성체와, 피지지체에 대해 진동을 부가하는 액추에이터가 다른 능동형 제진장치에 대해서도 적용할 수 있는 것은 물론이다.
[실험예]
이하에서, 구체적인 본 발명의 실험예에 대해 설명한다.
(실험예 1)
능동형 제진장치(A)를 이용하여, 그 탑재대(1)에 5톤의 추를 올려 가만히 앉힌 상태에서 진동 전달률을 측정하였다. 먼저, 센서(25)를 1개만 설치한 경우에 대해 측정하고, 그 후 2번째 센서(25)를 본 발명의 설치방법을 이용하여 추가하여 측정하였다. 그 결과를 도 5에 나타낸다. 여기서 세로축은 진동 전달률을 나타내고, 단위는 ㏈＝20×log10(a／a0)이며, a는 탑재대(1)의 가속도, a0은 바닥의 가속도를 나타낸다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 탑재대를 가만히 앉힌 시에 주파수가 10㎐~20㎐의 저주파역(도 5의 파선으로 둘러싼 영역)에서, 센서(25)를 2개 설치한 경우의 진동 전달률이 센서(25)를 1개 설치한 경우에 비해 낮아지는 결과가 되었다.
(실험예 2)
탑재대에 진동을 부가하여, 실험예 1과 마찬가지의 측정을 행하였다. 그 결과를 도 6에 나타낸다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 탑재대에 진동을 부가한 시에도 주파수가 1㎐~10㎐의 저주파역(도 6의 파선으로 둘러싼 영역)에서, 센서(25)를 2개 설치한 경우의 진동 전달률이 센서(25)를 1개 설치한 경우에 비해 낮아지는 결과가 되었다.
이들에 의해, 본 발명을 이용하여 센서를 추가함으로써, 보다 고성능의 제진을 실현할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 능동형 제진장치에 매우 유용하다.
1 : 탑재대
2 : 아이솔레이터(탄성체, 액추에이터)
3 : 컨트롤러(피드포워드 제어수단)
20a, 20b : 공기스프링
23a, 23b : 가속도센서
24a, 24b : 변위센서
25 : 기초측 가속도센서(진동센서)
A : 능동형 제진장치
D : 기기
F : 바닥(기초)
H : 피지지체

Claims (2)

  1. 기초에 대해 피(被)지지체를 탄성적으로 지지하는 탄성체와,
    상기 기초의 진동상태를 검출하는 복수의 진동센서와,
    상기 피지지체에 대해 진동을 부가하는 액추에이터와,
    상기 진동센서가 검출한 기초의 진동상태에 의거하여, 상기 피지지체에 대해 상기 기초로부터 전달되는 진동과 역위상(逆位相)의 제어진동이 부가되도록 액추에이터를 제어하는 피드포워드 제어수단을 구비한 능동형 제진장치에 있어서,
    상기 복수의 진동센서는, 상기 기초의 임의의 복수의 위치 중에서 진동상태의 차이가 최대로 되는 위치에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치.
  2. 진동센서가 검출한 기초의 진동상태에 의거하여, 기초에 탄성체에 의해 탄성적으로 지지된 피지지체에 대해 기초로부터 전달되는 진동과 역위상의 제어진동이 부가되도록 액추에이터를 제어하는 능동형 제진장치의 상기 진동센서를 복수 설치하는 설치방법에 있어서,
    상기 기초의 복수의 임의 위치에서의 진동상태를 측정하고,
    상기 측정한 진동상태를 비교하여 서로 다른 진동상태를 가지는 상기 기초의 위치를 판별하며,
    상기 기초의 임의의 복수의 위치 중에서 진동상태의 차이가 최대로 되는 위치에 각각 상기 진동센서를 설치하는 것을 특징으로 하는 복수의 진동센서 설치방법.
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