JP3063046U

JP3063046U - レ―ザ―コントロ―ラ―による水管式精密水平変位測定方式

Info

Publication number: JP3063046U
Application number: JP1998010757U
Authority: JP
Inventors: 幸長中野
Original assignee: 富山検査株式会社
Priority date: 1998-12-16
Filing date: 1998-12-16
Publication date: 1999-10-19
Anticipated expiration: 2004-12-16

Abstract

(57)【要約】【課題】狭い室内及び測定位置間に遮蔽物がある場所
における測定と、μｍ単位の測定と精度の向上を得、更
に測定方式の簡易化を奏する。【解決手段】普通の光学測量に替わり、レーザーコン
トローラー精密計測機を応用して、水管式としたので測
定方式全体がスリムでコンパクト化し精度の向上を図
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考は精密機械の複数の基盤の沈下又は、隆起等による上下変位をμｍ単位で測定することができる、レベルの精密測定方法である。

【０００２】

【従来の技術】

従来基盤沈下又は、隆起等による上下変位に関する測定方法は、水準器、光学機又は、光波鏡による測量機で測量したが、ｍｍ以下の精度を得ることが困難であった。なんとなれば、水準器は気泡の位置を読取るのでその精度はいたってあいまいであり、光学機及び光波鏡測量では測定範囲が広い場合に主にその効果を発揮しているものの、被測量点の間に遮蔽物があったりした場合は回り道測量で複雑化を余儀なくされていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来の技術０００２、で述べた水準器では、電子顕微鏡、発電装置、化学プラント等精度の高い設備の測量での精度を上げることは困難であった。又、狭い室内の精密器機の水平据えつけ精度の確認には、光学機又は光波鏡測量では遮蔽物による問題が多かった。

【０００４】

【課題を解決するするための手段】

上記課題を達成するために、本考案におけるレーザーコントローラーによる水管式精密水平変位測定方式は先ず、狭い場所及び遮蔽物のある場所での測定を可能にするために、２点の水平変位を直接水位差による精密測定方式を考案したものである。

【０００５】準備する２個のカップは水面の表面張力に影響されない太さとして、レーザー変位センサーを取付加工しやすいように又、底部側面に両カップを圧力水管（以下チューブと呼ぶ）で接続するために水口を加工しやすいように金属製とした。

【０００６】両カップを接続するチューブは測定時屈曲しても管の内体積に変化を起しにくい、つぶれない耐圧チューブを使用し更にカップの移動時の振れによる水位の動向を防止するためにカップの水口にコックを取付け、移動開始から水位の停止するまで、このコックを閉め両カップの水の流動による揺れを防止し静止時間の短縮に供するものとする。

【０００７】レーザーコントローラーによる測定で、レーザーは水を透過し反射しないのでレーザー変位センサーで計測できるように、あらかじめ器具の取付けたカップの表面には反射浮板を浮かしておくこと。

【０００８】

【考案の実施の形態】

考案の実施の形態について図面を参照して説明する。図１．〜図３．において、数か所の被測定点のベースアンカー１２．の高さのレベルを測定するために、まず、図１．図２．の０点となるべき基準基礎（ベンチマーク）１０．を設定する。この基準レベルと、被検査機械基礎１１．の複数のベースアンカー１２．との高さをレーザーコントローラーによって基準カップの水位の変化を精密に測定する測定方式の概念図２．及び細部について図３．に示してある。

【０００９】精密機械等のコンクリート基礎の、被検査機械基礎と同じレベルの基準基礎（ベンチマーク）１０．をあらかじめ設定しておく、これは機械等の振動に影響のない位置に沈下のないように強固に造成する。図１．の基準基礎（ベンチマーク）１０．の上面に水位比較を行う測定用カップ１．及び移動用測定カップ２．を並べ測定用カップにはレーザー変位センサー７．を取付けてリード線８．でレーザーコントローラー９．と接続しておく。両カップの下部にの水口にチューブ４．をコック３．を介して、基準基礎から被測点ベースアンカー１２．の最大遠隔距離にとどく長さに設定しておく。測定用カップには水を注ぐ前にレーザー反射浮板６．を入れておき、チューブ４．に気泡が入らないように適当な位置まで測定水５．を注ぎ、水位の安定した時に、レーザーコントローラー９．でレーザー変位センサー７．とレーザー反射浮板６．との間隔を測定しておきこれを０点とする。

【００１０】次に、測定点のベースアンカー１２．まで移動用測定カップ２．を移動するが、移動時のチューブ４．内の水の動揺を安定させておくために事前にチューブ両端のコック３．を閉めておく。移動測定用カップを被測定点に移動させてから両コック３．を開け、レーザー反射浮板の安定するのをまって測定用カップの水位（ＷＬ）をレーザー変位センサーで感知し、レーザーコントローラーで測定する。かくして、各測定を要するベースアンカー１２．の水平値の数字は個々に測定カップで測定した水位の１／２が基準基礎（ベンチマーク）との変位数になる。レーザーコントローラー９．での精度はμｍ単位で計測可能である。

【００１１】

【考案の効果】

本考案は、上述のとうり構成されているので次に記載する効果を奏する。

【００１２】請求項１．における、測定方式の構成はレーザーコントローラーを除いて市販で有触れた器具の簡単な組合せで、しかもμｍ単位の精度を得ることができ、測定技術もレーザーコントローラーの操作をマスターすれば精密変位測定の結果が得られるのと、測定器具は携帯式にコンパクトで使用上及び運搬に便利である。

【００１３】また、測定場所については、狭い場所でも、広い場所でもチューブの長さを変えることと、外部材料は普通の小量の水で足りるので簡単にスタンバイできる。

【００１４】基準基礎（ベンチマーク）と被検査機械基礎との間に遮蔽物があっても移動測定用カップの移動できる空間があれば、このレーザーコントローラーによる精密水管式水平変位測定方式は実施可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】水平変位の測定を要する、被検査機械基礎と基
準基礎（ベンチマーク）との関係平面図を示す。

【図２】図１．の側面と、測定方式の模式図である。

【図３】基準基礎における水位０点の測定する側面と測
定方式の器具の関係図である。

【符号の説明】

１．測定用カップ２．移動測定用カップ３．コック４．チューブ５．測定水６．レーザー反射浮板６′．レーザー光７．レーザー変位センサー８．リード線９．レーザーコントローラー１０．基準基礎（ベンチマーク）１１．被検査機械基礎１２．ベースアンカー

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年５月１２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】実用新案登録請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【実用新案登録請求の範囲】

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】精密機械等の据付け基盤の水平度に関し、
複数の測定箇所と同高の基準位置に各１個の金属製のカ
ップを置き、基準位置のカップの上部にレザー変位セン
サーを下に向けて固定し、両カップの底部側面に装置し
た水口にコックを取りつけたチューブで連結する。而し
て、この両者のカップに水を注ぎ、基準位置のカップの
レザー変位センサーの発光面から水面までを８Ｃｍ（±
５ｍｍ）にセットすると両カップの水位差は０である。
而して、測定しようとする位置にセンサーのないカップ
を移動して、基準位置の水位の変化をレーザー変位セン
サーで感知しレーザーコントローラーによる測定装置で
計測する一連の組み合わせを特長とするレーザーコント
ローラーによる水管式精密水平変位測定方式。