WO2007043313A1 - 顕微鏡装置及び観察方法 - Google Patents

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observed
illumination
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Hisao Osawa
Yumiko Ouchi
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Nikon Corporation
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    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
    • G01N21/6458—Fluorescence microscopy

Definitions

  • the present invention relates to a microscope apparatus and an observation method.
  • Patent Document 1 a super-resolution technique for observing a sample with a resolution higher than that of a microscope optical system has been proposed (eg, Patent Document 1).
  • Patent Document 1 a structured image is formed by illuminating a sample to generate a modulated image, the modulated image is detected by the imaging device a plurality of times while changing the phase of the structured illumination, and the modulated images are demodulated by calculation.
  • a structured illumination approach to obtain a super-resolution image.
  • a concave portion called a "Missing cone" near the spatial frequency zero, so the pattern with a low spatial frequency contained in the sample is resolved and observed in the optical axis direction. I could not.
  • the transfer function is substantially expanded according to the structured illumination method (the transfer function corresponds to the transfer function of the microscope optical system shifted by the spatial frequency of the structure light and superimposed). If the spatial frequency of the structure and illumination is properly set, it is possible to eliminate the misting cone and to observe with high resolution in the optical axis direction.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 11 242189
  • a microscope optical system that requires super-resolution uses an objective lens with a high numerical aperture, but as the numerical aperture becomes higher, the depth of focus becomes shallower. At this time, since much light from other than the observation surface of the sample is incident on the imaging device, the contrast of the structured illumination is effectively lowered.
  • an object of the present invention is to provide a microscope apparatus and an observation method capable of acquiring information of a super-resolution image of an object to be observed at a high SN ratio.
  • the microscope apparatus of the present invention comprises: an illumination optical system for illuminating a surface to be observed of a sample with linear illumination light; modulation means for spatially modulating the illumination light in a linear direction; and the spatially modulated illumination light And an imaging optical system for imaging light from the surface to be observed, and a detector for detecting light from the surface to be observed.
  • the microscope apparatus according to the present invention further comprises a mechanism for rotating the illumination light relative to the surface to be observed.
  • any of the microscope apparatuses of the present invention it is desirable to further include a mechanism for scanning the surface to be observed with the illumination light.
  • any of the microscope apparatuses of the present invention it is desirable to further include a mechanism for changing the phase of the spatial modulation.
  • control means for acquiring data of the brightness distribution a plurality of times while driving the mechanism.
  • a procedure for illuminating a linear illumination light onto a surface to be observed of a sample, a procedure for spatially modulating the illumination light in a linear direction, and the illumination light spatially modulated is characterized by having a procedure for imaging light from the illuminated observation target surface and a procedure for detecting light from the observation target surface.
  • a microscope apparatus and an observation method capable of acquiring information of a super-resolution image of an object to be observed at a high SN ratio are realized.
  • FIG. 1 is a view showing a configuration of an optical system portion of a microscope apparatus of an embodiment.
  • FIG. 2 A diagram showing an optical system after A of FIG.
  • FIG. 3 is an operation flowchart relating to control of the data processing device 17.
  • FIG. 4 is a diagram showing image data of the acquired 3N modulated images.
  • FIG. 5 is an operation flowchart relating to the operation of the data processing device 17.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the process of step S22.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the process of step S23.
  • the present embodiment is an embodiment of a microscope apparatus.
  • FIGS. 1 (A) and 1 (B) are diagrams showing the configuration of the optical system portion of the present microscope apparatus.
  • Figures 1 (A) and 1 (B) show the light path of the microscope device viewed from a 90 ° different angle.
  • FIG. 2 shows the optical path after the part shown by the symbol A in FIGS. 1 (A) and 1 (B).
  • the present microscope apparatus includes a light source 1 such as a laser light source, a beam shaping lens 2, a diffraction grating 4, an actuator 19, a collimator lens 5, a dichroic mirror 6, and a scanning unit 7. , Reflector 8, condenser lens 15, one-dimensional light detector (line sensor) 16, combination data processing device 17 such as a circuit, scanner lens 9, image rotator 18, second objective lens 11, reflector 12 , An objective lens 13, a sample 14 labeled with a fluorescent substance, an image display device (not shown), and the like.
  • the reflectors 8 and 12 are not necessary because they are necessary for the optical path arrangement.
  • an excitation filter, a barrier filter or the like may be disposed in the input light path or the output light path of the dichroic mirror 6.
  • the light emitted from the light source 1 is shaped by the three cylindrical lenses 21, 22 and 23 of the beam shaping lens 2 into parallel light (parallel light extended in one-dimensional direction) having a linear cross section. Ru. It is desirable that the longitudinal direction of the cross section has a length corresponding to at least the width of the field of view of the objective lens 13.
  • the collimated light is incident on a diffraction grating 4 disposed at a position optically conjugate to the sample 14 to generate diffracted components of each order.
  • the diffraction direction is the longitudinal direction of parallel light.
  • the diffraction grating 4 is, for example, a phase or amplitude one-dimensional diffraction grating (a transmission diffraction grating in the figure).
  • the phase type is preferable because almost no zero-order diffraction component is generated.
  • some zeroth-order diffraction components leak out, so that the zeroth-order diffraction component is blocked at the pupil position.
  • the optical member be disposed so that the zeroth-order diffracted component does not reach the sample 14 (the zero-order light shielding is performed).
  • zero-order blocking is also necessary when using an amplitude type diffraction grating.
  • an absorption film may be formed at the center of the scanning unit 7 disposed at the pupil position, but a relay optical system is provided between the diffraction grating 4 and the collimator lens 5, and It is desirable to dispose the light shielding member at the pupil position in the relay optical system. Further, the diffraction grating 4 can be moved by the actuator 19 in a direction orthogonal to the grid lines.
  • the ⁇ first-order diffracted components generated in the diffraction grating 4 are incident on the dichroic mirror 6 through the collimator lens 5 and are transmitted through the dichroic mirror 6.
  • the ⁇ first-order diffraction components form an aerial image (linear aerial image) of the diffraction grating 4 on the primary image plane 10 through the scanning unit 7, the reflecting mirror 8, and the scanner lens 9.
  • This aerial image is projected onto the sample 14 through the image rotator 18, the second objective lens 11, the reflecting mirror 12, and the objective lens 13. Therefore, the illumination light on the sample 14 is illuminated (structural illumination) with linear illumination light and illumination light spatially intensity-modulated sinusoidally in the longitudinal direction.
  • the focal plane of the objective lens 13 coincides with the surface to be observed in the sample 14. Focusing only on the surface to be observed, the contrast of the structured light is high, but the contrast of the structured light is low if the upper and lower layers of the surface to be observed are included.
  • the linear illumination area E on the sample 14 fluorescence is generated.
  • the generated fluorescence is collected by the objective lens 13 and reaches the dichroic mirror 6 through the reflecting mirror 12, the second objective lens 11, the image rotator 18, the scanner lens 9, the reflecting mirror 8 and the scanning unit 7.
  • the fluorescence is reflected by the dichroic mirror 6 and forms an image of the illumination area E through the condenser lens 15. Since the illumination area E is spatially modulated, the image is a modulated image including modulation components of each order.
  • the modulated image is detected by a one-dimensional photodetector 16 disposed at a position conjugate to the illumination area E.
  • the luminance distribution data of the modulated image generated by the one-dimensional light detector 16 is sent to the data processor 17.
  • the data processor 17 performs an operation on the luminance distribution data to obtain a super-resolution image of the sample 14 and displays it on an image display device (not shown).
  • the data processing device 17 also performs control for driving each part in the microscope device to acquire necessary information.
  • the data processing unit 17 drives the scanning unit 7, the illumination area E moves in the short direction, so that the illumination area E can be scanned on the sample 14.
  • actuator 19 when actuator 19 is driven, the phase (phase of spatial modulation) of the structured illumination in illumination area E changes.
  • the image rotator 18 when the image rotator 18 is driven, the direction of the illumination area E in the sample 14 can be rotated.
  • the structure direction Db and the scanning direction Da are also the same. Rotate.
  • the structuring direction Db and the scanning direction Da for the illumination area E are invariant.
  • FIG. 3 is an operation flowchart relating to control of the data processing device 17.
  • the data processing unit 17 repeatedly drives the one-dimensional photodetector 16 while scanning the sample 14 with the illumination area E to obtain a plurality of luminance data, synthesizes the luminance data, and Image data of 14 two-dimensional modulation images are acquired (Sl 1).
  • the image data described below is a combination of luminance data by scanning the illumination area E.
  • the data processing device 17 performs acquisition of the image data of the modulated image (S11) a plurality of times while changing the phase of the structured illumination (loop of S11 to S13). For example, the data processing device 17 acquires image data of N (N ⁇ 3) modulated images while changing the phase by 2 ⁇ .
  • the data processing device 17 performs acquisition of image data of N modulated images (loop of S11 to S13) by scanning the sample a plurality of times while changing the rotational position ⁇ of the illumination area E ( S11 ⁇ S15 loop). For example, the data processor 17 performs acquisition of image data of N modulated images a total of three times while changing the rotational position of the illumination area E by 120 °.
  • the structure and direction Db also differ by 120 °.
  • the body contains information for super-resolution in three directions that differ by 120 ° (note that M is the rotational position number) o
  • FIG. 5 is an operation flowchart relating to the operation of the data processor 17.
  • the suffix "k” is added to indicate the coordinate k in the wave number space.
  • the ⁇ first-order modulation components are rearranged with respect to the zero-order modulation component by shifting them in the structure direction Db by the spatial frequency K of the illumination structure.
  • the size of the circle representing corresponds to the resolution limit in the case of the structure and illumination.
  • k-axis and k-axis correspond to X-axis and Y-axis in real space shown in FIG.
  • equation represented by equation (1) can be applied to the calculation of this step.
  • O (k + LK) P (k) corresponds to I
  • m denotes the diffraction intensity of the L-order modulation component I kL kL
  • O (k) is the wave number space representation of the actual pattern possessed by the sample 14
  • P (k) is the transfer function of the microscope optical system from the specimen 14 to the one-dimensional photodetector 16 k
  • the least squares method represented by equation (2) can be applied to the calculation of this step. According to the least squares method, the influence of noise superimposed on a plurality of data can be suppressed.
  • Image data of three demodulated images I (M k0 kM) with reference to the zero-order modulation component I.
  • Combining 1, 2, 3) can increase the combining accuracy.
  • the data processor 17 performs inverse Fourier transform on the image data I of the demodulated image to represent in real space k
  • Image data I of the demodulated image is obtained.
  • the image data I of this demodulated image represents a super-resolution image of the sample 14 in three directions different by 120 °.
  • the super-resolution image is displayed on the image display device (not shown) (step S24).
  • the present microscope apparatus has a configuration that provides structured illumination of the sample 14 in a predetermined direction (Db) and provides a confocal effect with respect to the unstructured direction (Da). There is.
  • the super resolution image of the sample 14 can be obtained with high accuracy by that amount.
  • the illumination light is shaped into a linear shape in order to obtain a confocal effect. Therefore, although information obtainable at one time is only one-dimensional information of the specimen 14, Since the mechanism for scanning in the illumination area E (scan unit 7) and the control means (data processor 17) for appropriately controlling the mechanism and the one-dimensional light detector 16 are provided, the second order of the specimen 14 is obtained. Image data of the original modulation image can be reliably acquired.
  • a mechanism for changing the phase of the structure illumination (optical actuator 19), and a control means for appropriately controlling the mechanism and the one-dimensional light detector 16 (data processing Since the processor 17) is provided, it is possible to acquire information (image data of a plurality of modulated images having different phases) for reliably acquiring image data of a demodulated image.
  • a rotation stage in order to change the rotation position of the illumination area E, a rotation stage may be used which rotates the arrangement direction of the force sample 14 using the image rotator 18 which rotates the light direction.
  • using the image rotator 18 is preferable because it can improve the reproducibility of the rotational position.
  • the directions of super resolution are set to three directions which are different by 120 °, but the number and type of the directions may be changed.
  • the direction is only one, the image rotator 18 can be omitted.
  • the demodulation operation for obtaining a modulated image power demodulation image is performed in the wave number space (see FIG. 5), but the demodulation operation is performed in real space as described in, for example, JP-A-11-242189. You may go above.
  • image data of three modulated images different in phase are applied to a linear equation.
  • the arithmetic expression corresponds to the expression of the above-mentioned expression (1) in real space.
  • all the procedures for acquiring necessary data are automated (see FIG. 3), but part of the procedures may be performed manually.
  • all the procedures for processing the acquired data are automated (see FIG. 5), but part or all of the procedures may be performed manually.

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Abstract

　本発明は、被観察物の超解像画像の情報を高いＳＮ比で取得することのできる顕微鏡装置及び観察方法を提供することを目的とする。そのために、本発明の顕微鏡装置は、標本（１４）の被観察面を線状の照明光（Ｅ）で照明する照明光学系（１，２，５，６，７～１３）と、前記照明光（Ｅ）を線方向に空間変調する変調手段（４）と、前記空間変調された照明光で照明された前記被観察面からの光を結像する結像光学系（１３～６，１５）と、前記被観察面からの光を検出する検出器（１６）とを有することを特徴とする。したがって、照明領域（Ｅ）の非構造化方向（Ｄａ）に関しては共焦点効果が得られる。この共焦点効果により、照明領域（Ｅ）の構造化照明の実質的なコントラストは高まるので、照明領域（Ｅ）の変調像は高いＳＮ比で検出される。

Description

明 細 書
顕微鏡装置及び観察方法
技術分野
[0001] 本発明は、顕微鏡装置及び観察方法に関する。
背景技術
[0002] 近年、顕微鏡光学系の分解能よりも高!、分解能で標本を観察する超解像技術が提 案された (特許文献 1など)。特許文献 1には、標本を構造化照明して変調像を生成 し、その構造ィ匕照明の位相を変化させながら変調像を撮像素子で複数回検出し、そ れら変調像を演算で復調して超解像画像を得る構造化照明手法が開示されている。 因みに、通常の顕微鏡光学系の伝達関数には、空間周波数ゼロの近傍にミツシン グコーンと呼ばれる凹部が存在するので、標本に含まれる空間周波数の低いパター ンについては光軸方向に分解して観察することはできなかった。しかし、構造化照明 手法によれば伝達関数が実質的に拡大されるので (伝達関数は、顕微鏡光学系の 伝達関数を構造ィ匕照明の空間周波数だけずらして重ね合わせたものに相当する。） 、構造ィ匕照明の空間周波数さえ適切に設定すれば、ミツシングコーンを無くし、光軸 方向に高い分解能で観察することが可能になると考えられる。
特許文献 1 :特開平 11 242189号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0003] し力しながら、この構造ィ匕照明手法には、次に述べる問題があった。
一般に、超解像を必要とするような顕微鏡光学系は高開口数の対物レンズを利用 しているが、開口数が高くなるほど焦点深度は浅くなる。このとき、標本の被観察面以 外からの光が撮像素子へ多く入射するので、構造ィ匕照明のコントラストは、事実上低 くなる。
一方、構造ィ匕照明手法では、構造ィ匕照明のコントラストが低いほど超解像画像を得 ることが難しくなる。なぜなら、構造ィ匕照明のコントラストが低いと、変調画像に含まれ る ± 1次変調成分の強度が 0次変調成分の強度に比べて低くなるのに対し、変調画 像に重畳されるノイズ強度は強度の高 、0次変調成分に支配されるので、超解像に 重要な ± 1次変調成分がノイズに埋もれてしまうからである。
[0004] そこで本発明は、被観察物の超解像画像の情報を高 、SN比で取得することので きる顕微鏡装置及び観察方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0005] 本発明の顕微鏡装置は、標本の被観察面を線状の照明光で照明する照明光学系 と、前記照明光を線方向に空間変調する変調手段と、前記空間変調された照明光で 照明された前記被観察面からの光を結像する結像光学系と、前記被観察面からの 光を検出する検出器とを有することを特徴とする。
なお、本発明の顕微鏡装置においては、前記照明光を前記被観察面に対して相 対的に回転させる機構を更に備えることが望ましい。
[0006] また、本発明の何れかの顕微鏡装置においては、前記被観察面上を前記照明光 で走査する機構を更に備えることが望ましい。
また、本発明の何れかの顕微鏡装置においては、前記空間変調の位相を変化させ る機構を更に備えることが望ましい。
また、本発明の何れかの顕微鏡装置においては、前記機構を駆動しながら前記輝 度分布のデータを複数回取得する制御手段を更に備えることが望ましい。
[0007] また、本発明の観察方法は、標本の被観察面へ線状の照明光を照明する手順と、 前記照明光を線方向に空間変調する手順と、前記空間変調された照明光で照明さ れた前記被観察面からの光を結像する手順と、前記被観察面からの光を検出する手 順とを有することを特徴とする。
発明の効果
[0008] 本発明によれば、被観察物の超解像画像の情報を高 、SN比で取得することので きる顕微鏡装置及び観察方法が実現する。
図面の簡単な説明
[0009] [図 1]実施形態の顕微鏡装置の光学系部分の構成を示す図である。
[図 2]図 1の A以降の光学系を示す図である。
[図 3]データ処理装置 17の制御に関する動作フローチャートである。 [図 4]取得した 3N個の変調像の画像データを示す図である。
[図 5]データ処理装置 17の演算に関する動作フローチャートである。
[図 6]ステップ S22の処理を説明する図である。
[図 7]ステップ S23の処理を説明する図である。
発明を実施するための最良の形態
[0010] 以下、本発明の実施形態を説明する。本実施形態は、顕微鏡装置の実施形態で ある。
先ず、本顕微鏡装置の構成を説明する。
図 1、図 2は、本顕微鏡装置の光学系部分の構成を示す図である。図 1 (A) , (B) は、顕微鏡装置の光路を 90° 異なる角度から見た図である。図 2は、図 1 (A) , (B) 中の符号 Aで示す箇所以降の光路を示す。
[0011] 図 1、図 2に示すように、本顕微鏡装置には、レーザ光源などの光源 1、ビーム整形 レンズ 2、回折格子 4、ァクチユエータ 19、コリメータレンズ 5、ダイクロイツクミラー 6、 走査ユニット 7、反射鏡 8、集光レンズ 15、 1次元光検出器 (ラインセンサ） 16、コンビ ユータゃ回路など力 なるデータ処理装置 17、スキャナレンズ 9、イメージローテータ 18、第 2対物レンズ 11、反射鏡 12、対物レンズ 13、蛍光物質で標識された標本 14、 不図示の画像表示装置などが配置される。なお、反射鏡 8, 12などは光路配置上必 要となったものであり、必須ではない。また、必要に応じて、ダイクロイツクミラー 6の入 射光路や射出光路に励起フィルタやバリアフィルタなどを配置してもよい。
[0012] 光源 1から射出した光は、ビーム整形レンズ 2の 3枚のシリンドリカルレンズ 21, 22, 23により、線状の断面を持った平行光（1次元方向に伸びた平行光）に整形される。 断面の長手方向は、少なくとも対物レンズ 13の視野の幅に相当する長さを持ってい ることが望ましい。
この平行光は、標本 14と光学的に共役な位置に配置された回折格子 4へ入射し、 各次数の回折成分を発生させる。その回折方向は、平行光の長手方向である。
[0013] 回折格子 4は、例えば、位相型や振幅型の 1次元回折格子（図では透過型の回折 格子)である。特に、位相型は 0次回折成分が殆ど発生しないので好ましい。但し、現 実には多少の 0次回折成分が漏れ出てしまうため、瞳位置に 0次回折成分をする遮 光部材を配置し、 0次回折成分が標本 14に到達しないようにしておく（0次遮光をす る）ことが望ましい。因みに、 0次遮光は、振幅型の回折格子を利用した場合にも必 要となる。 0次遮光のためには、瞳位置に配置される走査ユニット 7の中央に吸収膜 を形成してもよいが、回折格子 4とコリメータレンズ 5との間にリレー光学系を設けると 共に、そのリレー光学系中の瞳位置に遮光部材を配置する方が望ましい。また、回 折格子 4は、ァクチユエータ 19によって格子線に直交する方向へ移動可能である。
[0014] この回折格子 4において発生した ± 1次回折成分は、コリメータレンズ 5を介してダ ィクロイツクミラー 6へ入射し、そのダイクロイツクミラー 6を透過する。それら ± 1次回折 成分は、走査ユニット 7、反射鏡 8、及びスキャナレンズ 9を介して 1次像面 10上に回 折格子 4の空間像 (線状の空間像)を形成する。この空間像は、イメージローテータ 1 8、第 2対物レンズ 11、反射鏡 12、及び対物レンズ 13を介して標本 14上に投影され る。したがって、標本 14上は、線状の照明光、し力もその長手方向にかけて正弦波 状に空間的に強度変調された照明光で照明 (構造ィ匕照明）される。なお、対物レンズ 13の焦点面は、標本 14中の被観察面に一致している。この被観察面のみに着目す ると、構造ィ匕照明のコントラストは高いが、被観察面の上下層まで含めてみると、構造 化照明のコントラストは低くなつている。
[0015] 標本 14上の線状の照明領域 Eでは、蛍光が発生する。発生した蛍光は対物レンズ 13により集められ、反射鏡 12、第 2対物レンズ 11、イメージローテータ 18、スキャナ レンズ 9、反射鏡 8、走査ユニット 7を介してダイクロイツクミラー 6へ到達する。その蛍 光は、ダイクロイツクミラー 6で反射され、集光レンズ 15を介して照明領域 Eの像を形 成する。照明領域 Eは空間変調されているため、その像は、各次数の変調成分を含 んだ変調像となっている。この変調像は、照明領域 Eと共役な位置に配置された 1次 元光検出器 16によって検出される。この位置に配置された 1次元光検出器 16によれ ば、標本 14の被観察面以外力もの余分な光の多くがカットされるので、照明領域 Eの 短手方向に関し共焦点効果を得ることができる。この共焦点効果によると、構造化照 明の実際のコントラストが低力つたとしても、 1次元光検出器 16が生成した変調像の 輝度分布データを扱う際には、構造ィ匕照明のコントラストを実質的に高くすることがで きる。 [0016] 1次元光検出器 16が生成した変調像の輝度分布データは、データ処理装置 17へ 送られる。データ処理装置 17は、輝度分布データに対し演算を施して標本 14の超 解像画像を取得し、それを不図示の画像表示装置上に表示する。
なお、データ処理装置 17は、この演算の他に、顕微鏡装置内の各部を駆動して必 要な情報を取得するための制御も行う。データ処理装置 17が走査ユニット 7を駆動 すると、照明領域 Eがその短手方向に移動するので、標本 14上を照明領域 Eで走査 することができる。また、ァクチユエータ 19を駆動すると、照明領域 Eの構造化照明の 位相（空間変調の位相）が変化する。また、イメージローテータ 18を駆動すると、標本 14における照明領域 Eの方向を回転させることができる。
[0017] なお、イメージローテータ 18は、回折格子 4や走査ユニット 7よりも標本 14側に配置 されるので、照明領域 Eの方向を回転させると、構造ィ匕方向 Db及び走査方向 Daも 一緒に回転する。よって、照明領域 Eに対する構造化方向 Db及び走査方向 Daは不 変である。
次に、データ処理装置 17の制御に関する手順を詳細に説明する。
[0018] 図 3は、データ処理装置 17の制御に関する動作フローチャートである。図 3に示す とおり、データ処理装置 17は、標本 14上を照明領域 Eで走査しながら 1次元光検出 器 16を繰り返し駆動して複数の輝度データを取得し、それら輝度データを合成して 標本 14の 2次元の変調像の画像データを取得する（Sl l)。以下で説明する画像デ ータは、照明領域 Eを走査して輝度データを合成したものを ヽぅ。
[0019] さらに、データ処理装置 17は、変調像の画像データの取得 (S 11)を、構造化照明 の位相を変化させながら複数回行う（S11〜S13のループ)。例えば、データ処理装 置 17は、位相を 2 π ΖΝずつ変化させながら N (N≥ 3)個の変調像の画像データを 取得する。
取得した N個の変調像の画像データを I (jは位相番号であり、 j = l, 2, · ··, N)と
1]
おき、図 4 (A)に示した。これら変調像の画像データ I (j = l, 2, · ··, N)の全体には
1]
、その構造ィ匕方向 Db (図 4では X方向）へ超解像ィ匕するための情報が含まれる。
[0020] さらに、データ処理装置 17は、 N個の変調像の画像データの取得（S11〜S13の ループ)を、照明領域 Eの回転位置 Θを変化させ標本上を走査し、複数回行う (S11 〜S15のループ）。例えば、データ処理装置 17は、照明領域 Eの回転位置を 120° ずつ変化させながら、 N個の変調像の画像データの取得を合計 3回行う。
図 4 (A)に示す N個の画像データ I (j = l, 2, · ··, N)の取得時の回転位置 0を 0
1]
=0° とし、回転位置 0 = 120° の下で取得された N個の変調像の画像データを I (
2j j = l, 2, · ··, N)とおき、図 4 (B)に示した。また、回転位置 0 = 240° の下で取得さ れた N個の変調像の画像データを I (j = l, 2, · ··, N)とおき、図 4 (C)に示した。
3j
[0021] 変調像の画像データ I (j = l, 2, · ··, N)と、変調像の画像データ I (j = l, 2, · ··, lj 2j
N)と、変調像の画像データ I (j = l, 2, · ··, N)とでは、回転位置 0力 S120° ずつ異
3j
なるので、構造ィ匕方向 Dbも 120° ずつ異なる。
よって、これら 3N個の変調像の画像データ I (M= l, 2, 3, j = l, 2, · ··, N)の全 j
体には、 120° ずつ異なる 3方向へ超解像ィ匕するための情報が含まれる（なお、 Mは 回転位置番号である。 ) o
[0022] 次に、データ処理装置 17の演算に関する手順を詳細に説明する。
図 5は、データ処理装置 17の演算に関する動作フローチャートである。
(ステップ S21)
データ処理装置 17は、 3N個の変調像の画像データ I (M= l, 2, 3, j = l, 2,…
Mj
, Ν)の各々をフーリエ変換し、波数空間で表現された 3Ν個の変調像の画像データ I (M= l, 2, 3, j = l, 2, · ··, N)を得る。なお、波数空間で表現されたデータには、 k j
波数空間上の座標 kを示す添え字「k」を付す。
[0023] (ステップ S22)
データ処理装置 17は、回転位置 0 =0° の下で取得した M= lの変調像の画像 データ I (j = l, 2, 3,—N)に対し所定の演算を施し、それら変調像の画像データ klj
に共通して含まれる各次数の変調成分 I (Lは次数であり、 L= + l, 0, — 1)を抽出 kし
し、図 6 (A)に示すように ± 1次変調成分を 0次変調成分に対して構造ィ匕照明の空間 周波数 Kだけ構造ィ匕方向 Dbへずらして並べなおし、標本 14の復調像の画像データ I を取得する。なお、図 6において、各変調成分 I (L= + l, 0, 1)のデータ範囲 kl kL
を示す円のサイズは、構造ィ匕照明をしなカゝつた場合の解像限界に対応している。ま た、 k軸， k軸は、図 4中に示した実空間上の X軸， Y軸に対応している。 [0024] また、データ処理装置 17は、回転位置 Θ = 120° の下で取得した M = 2の変調像 の画像データ I .(j , 2, 3, · ··, N)に対し所定の演算を施し、それら変調像の画 像データに共通して含まれる各次数の変調成分 I (L= + l, 0, 1)を抽出し、そ k
れらを図 6 (B)に示すように構造ィ匕照明の空間周波数 Kだけ構造ィ匕方向 Dbへずらし て並べなおし、標本 14の復調像の画像データ I を取得する。
k2
[0025] また、データ処理装置 17は、回転位置 Θ = 240° の下で取得した M = 3の変調像 の画像データ I (j , 2, 7 23, · ··, N)に対し所定の演算を施し、それら変調像の画 像データに共通して含まれる各次数の変調成分 I (L= + l, 0, 1)を抽出し、そ k
れらを図 6 (C)に示すように構造化照明の空間周波数 Kだけ構造化方向 Dbへずらし て並べなおし、標本 14の復調像の画像データ I を取得する。
k3
[0026] なお、本ステップの演算には、式（1)で表される方程式を適用することができる。
■ 6
[数 み
[0027] 1]
.(A) = Υ mL exp(2OT 7 N)Ok (k LK)Pk (k) 1 )
[0028] 但し、 O (k+LK) P (k)が I に相当し、 mは、 L次変調成分 I の回折強度を表す kL kL
。因みに、 O (k)は、標本 14が有する実際のパターンを波数空間で表現したもので k
あり、 P (k)は、標本 14から 1次元光検出器 16までの顕微鏡光学系の伝達関数であ k
る。
特に、 N> 3のとき、本ステップの演算には、式（2)で表される最小自乗法を適用す ることができる。最小自乗法によれば、複数のデータに重畳されているノイズの影響 を抑えることができる。
[0029] [数 2]
∑ - (り Ok {k ~ K)Pk (k) ∑ 。 W ok (k)Pk (k) ( 2 )
ΣΑΑ ( Ok{k + K)Pk{k)
+1 但し、 b =m exp(2 π ij/N)である。
Lj L
(ステップ S23) データ処理装置 17は、図 6に示した 3つの復調像の画像データ I (M= l, 2, 3) k
を図 7に示すように合成して 1つの復調像の画像データ Iを得る。 3つの復調像の画 k
像データ I (M= l, 2, 3)の各々に含まれる 0次変調成分 I は互いに共通の量を表 kM k0
しているので、その 0次変調成分 I を基準として 3つの復調像の画像データ I (M = k0 kM
1, 2, 3)を合成すれば、その合成精度を高めることができる。
[0031] (ステップ S 24)
データ処理装置 17は、復調像の画像データ Iを逆フーリエ変換して実空間で表現 k
された復調像の画像データ Iを得る。この復調像の画像データ Iは、 120° ずつ異な る 3方向に亘る標本 14の超解像画像を表現する。この超解像画像が、不図示の画像 表示装置へ表示される（以上、ステップ S 24)。
[0032] 以上まとめると、本顕微鏡装置は、標本 14を所定方向（Db)へ亘り構造化照明する と共に、その非構造化方向（Da)に関しては共焦点効果が得られるような構成となつ ている。この共焦点効果により、構造ィ匕照明の実質的なコントラストは高まる。したが つて、変調像の画像データ I (M= l, 2, 3, j = l, 2, · ··, N)の各々の SN比は高ま j
り、その分だけ標本 14の超解像画像は高精度に求まる。
[0033] また、本顕微鏡装置では、共焦点効果を得るために照明光を線状に整形するので 、 1度に取得できる情報が標本 14の 1次元の情報のみとなるが、標本 14上を照明領 域 Eで走査するための機構 (走査ユニット 7)と、その機構及び 1次元光検出器 16を 適切に制御する制御手段 (データ処理装置 17)とが備えられるので、標本 14の 2次 元の変調像の画像データを確実に取得することができる。
[0034] また、本顕微鏡装置には、構造ィ匕照明の位相を変化させるための機構 (ァクチユエ ータ 19)と、その機構及び 1次元光検出器 16を適切に制御する制御手段 (データ処 理装置 17)とが備えられるので、復調像の画像データを確実に取得するための情報 (位相の異なる複数の変調像の画像データ）を取得することができる。
また、本顕微鏡装置には、構造ィ匕方向 Dbを変化させるための機構 (イメージローテ ータ 18)と、イメージローテータ 18及び 1次元光検出器 16を適切に制御する制御手 段 (データ処理装置 17)とが備えられるので、超解像化の方向を確実に複数化する ことができる。 [0035] (その他）
なお、本実施形態では、照明領域 Eの回転位置を変化させるために、光の方向を 回転させるイメージローテータ 18を使用した力 標本 14の配置方向を回転させる回 転ステージを使用してもよい。但し、イメージローテータ 18を使用した方が回転位置 の再現性を高めることができるので好まし 、。
[0036] また、本実施形態では、超解像ィ匕の方向を 120° ずつ異なる 3方向に設定したが、 その方向の数や種類は変更されてもよい。なお、方向が 1方向のみである場合には、 イメージローテータ 18を省略することが可能である。
また、本実施形態では、変調像力 復調像を得るための復調演算を波数空間で行 つた（図 5を参照）が、例えば、特開平 11— 242189号公報のように、復調演算を実 空間上で行ってもよい。因みに、特開平 11— 242189号公報の復調演算は、位相 の異なる 3個の変調像の画像データを線形の演算式に当てはめるものである。その 演算式は、上述した式（1)を実空間で表現したものに相当する。
[0037] また、本実施形態では、必要なデータを取得する手順の全てが自動化されたが（図 3参照）、その手順の一部を手動で行うこととしてもよい。
また、本実施形態では、取得したデータを処理する手順の全てが自動化されたが（ 図 5参照）、その手順の一部又は全部を手計算で行うこととしてもよい。

Claims

請求の範囲
[1] 標本の被観察面を線状の照明光で照明する照明光学系と、
前記照明光を線方向に空間変調する変調手段と、
前記空間変調された照明光で照明された前記被観察面からの光を結像する結像 光学系と、
前記被観察面からの光を検出する検出器と
を有することを特徴とする顕微鏡装置。
[2] 請求項 1に記載の顕微鏡装置において、
前記照明光を前記被観察面に対して相対的に回転させる機構を更に備えた ことを特徴とする顕微鏡装置。
[3] 請求項 1又は請求項 2に記載の顕微鏡装置において、
前記被観察面上を前記照明光で走査する機構を更に備えた
ことを特徴とする顕微鏡装置。
[4] 請求項 1〜請求項 3の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、
前記空間変調の位相を変化させる機構を更に備えた
ことを特徴とする顕微鏡装置。
[5] 請求項 2〜請求項 4の何れか一項に記載の顕微鏡装置にお 、て、
前記機構を駆動しながら前記輝度分布のデータを複数回取得する制御手段を更 に備えた
ことを特徴とする顕微鏡装置。
[6] 標本の被観察面へ線状の照明光を照明する手順と、
前記照明光を線方向に空間変調する手順と、
前記空間変調された照明光で照明された前記被観察面力 の光を結像する手順と 前記被観察面からの光を検出する手順と
を有することを特徴とする観察方法。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009031418A1 (ja) * 2007-09-05 2009-03-12 Nikon Corporation 顕微鏡装置
WO2009043546A1 (de) * 2007-09-28 2009-04-09 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren und anordnung zur optischen erfassung einer beleuchteten probe
JP2010532878A (ja) * 2007-07-06 2010-10-14 ナショナル ユニヴァーシティー オブ シンガポール 蛍光焦点変調顕微鏡システムおよびその方法
JP2010540998A (ja) * 2007-09-28 2010-12-24 カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー 照明された試料を光学的に捕捉するための方法および装置
WO2012153495A1 (ja) * 2011-05-06 2012-11-15 株式会社ニコン 構造化照明顕微鏡及び構造化照明観察方法
JP2013011728A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Yokogawa Electric Corp 顕微鏡装置
WO2013011680A1 (ja) * 2011-07-15 2013-01-24 株式会社ニコン 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡、構造化照明方法
JP2016099615A (ja) * 2014-11-26 2016-05-30 レーザーテック株式会社 照明装置及びレーザ顕微鏡
US9995919B2 (en) 2007-11-26 2018-06-12 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Method and configuration for the optical detection of an illuminated specimen

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
HU229592B1 (en) * 2007-09-03 2014-02-28 Univ Szegedi Tomographic optical microscope system and method for reconstructing the image of an object
WO2010088418A1 (en) 2009-01-29 2010-08-05 The Regents Of The University Of California High resolution structured illumination microscopy
JP2013031634A (ja) * 2011-06-30 2013-02-14 Canon Inc 撮像装置
DE102012206319A1 (de) * 2012-04-17 2013-10-17 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop und Mikroskopierverfahren
CN102735617B (zh) * 2012-06-29 2014-06-04 浙江大学 一种超分辨显微方法和装置
JP7063337B2 (ja) 2017-09-12 2022-05-09 株式会社ニコン 顕微鏡および観察方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11242189A (ja) 1997-12-25 1999-09-07 Olympus Optical Co Ltd 像形成法、像形成装置
EP1248132A2 (de) 2001-04-07 2002-10-09 CARL ZEISS JENA GmbH Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe
EP1431795A1 (en) 2002-12-16 2004-06-23 Olympus America Inc. Confocal microscope
JP2004199603A (ja) * 2002-12-20 2004-07-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 情報通知機能付き乗車券システム

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3226314B2 (ja) * 1992-03-02 2001-11-05 オリンパス光学工業株式会社 走査型プローブ顕微鏡データ処理装置
JP3993253B2 (ja) * 1994-05-23 2007-10-17 オートモーティブ・テクノロジーズ・インターナショナル，インク． 予測センサを有する側部衝撃用エアバッグシステム
DE19654208C2 (de) * 1996-12-24 2001-05-10 Leica Microsystems Mikroskop
EP1158563A1 (en) * 2000-05-22 2001-11-28 Advantest Corporation Particle beam system
US7274446B2 (en) * 2001-04-07 2007-09-25 Carl Zeiss Jena Gmbh Method and arrangement for the deep resolved optical recording of a sample
DE102004034963A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur bildlichen Erfassung von Objekten mittels eines Lichtrastermikroskopes
DE102004034990A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Zoomoptik für ein Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung
US20080158668A1 (en) * 2005-10-07 2008-07-03 Nikon Corporation Microscope and Image Generation Method
US8081378B2 (en) * 2005-10-13 2011-12-20 Nikon Corporation Microscope

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11242189A (ja) 1997-12-25 1999-09-07 Olympus Optical Co Ltd 像形成法、像形成装置
EP1248132A2 (de) 2001-04-07 2002-10-09 CARL ZEISS JENA GmbH Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe
JP2002323660A (ja) * 2001-04-07 2002-11-08 Carl Zeiss Jena Gmbh 試料の光学的深部分解による光学的把握のための方法および装置
EP1431795A1 (en) 2002-12-16 2004-06-23 Olympus America Inc. Confocal microscope
JP2004199603A (ja) * 2002-12-20 2004-07-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 情報通知機能付き乗車券システム

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1936423A4

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010532878A (ja) * 2007-07-06 2010-10-14 ナショナル ユニヴァーシティー オブ シンガポール 蛍光焦点変調顕微鏡システムおよびその方法
WO2009031418A1 (ja) * 2007-09-05 2009-03-12 Nikon Corporation 顕微鏡装置
JP5206681B2 (ja) * 2007-09-05 2013-06-12 株式会社ニコン 構造化照明顕微鏡装置
US7848017B2 (en) 2007-09-05 2010-12-07 Nikon Corporation Microscope device
JP2010540998A (ja) * 2007-09-28 2010-12-24 カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー 照明された試料を光学的に捕捉するための方法および装置
WO2009043546A1 (de) * 2007-09-28 2009-04-09 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren und anordnung zur optischen erfassung einer beleuchteten probe
JP2015018284A (ja) * 2007-09-28 2015-01-29 カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーＣａｒｌ Ｚｅｉｓｓ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ Ｇｍｂｈ 照明された試料を光学的に捕捉するための方法および装置
US9995919B2 (en) 2007-11-26 2018-06-12 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Method and configuration for the optical detection of an illuminated specimen
WO2012153495A1 (ja) * 2011-05-06 2012-11-15 株式会社ニコン 構造化照明顕微鏡及び構造化照明観察方法
JP5594429B2 (ja) * 2011-05-06 2014-09-24 株式会社ニコン 構造化照明顕微鏡及び構造化照明観察方法
US9535241B2 (en) 2011-05-06 2017-01-03 Nikon Corporation Structured illuminating microscopy and structured illuminating observation method
US10228552B2 (en) 2011-05-06 2019-03-12 Nikon Corporation Structured illuminating microscopy and structured illuminating observation method
JP2013011728A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Yokogawa Electric Corp 顕微鏡装置
WO2013011680A1 (ja) * 2011-07-15 2013-01-24 株式会社ニコン 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡、構造化照明方法
JP5641142B2 (ja) * 2011-07-15 2014-12-17 株式会社ニコン 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡、構造化照明方法
JP2016099615A (ja) * 2014-11-26 2016-05-30 レーザーテック株式会社 照明装置及びレーザ顕微鏡

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