WO2006136669A1 - Procede et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi, telle qu'un revetement de peinture dans une installation nucleaire. - Google Patents

Procede et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi, telle qu'un revetement de peinture dans une installation nucleaire. Download PDF

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ablation
laser
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ablated
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PCT/FR2006/001119
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François Champonnois
Philippe Cormont
Marie Geleoc
Christophe Hubert
Christian Lascoutouna
Pierre-Yves Thro
Pascal Wodling
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Definitions

  • the present invention relates to a method for laser ablation of a surface layer of a wall, such as a wall coating paint in a nuclear installation, and a device for implementing this method.
  • laser ablation which consists in removing a layer of reduced thickness of the contaminating material to be removed, via the interaction of a coherent and focused light emanating from a laser pulsed with this material. The rapid heating of the surface of this layer causes the vaporization and then the ejection of the first layers of the material.
  • This laser ablation technique is also applicable to other non-nuclear fields.
  • the laser ablation devices used typically comprise a laser head (ie laser source) intended to generate a pulsed laser beam and means for transporting this beam to a firing head or "head of stripping "located downstream of the laser head, and which is provided with an optical system for focusing the shots on the layer to be ablated.
  • this firing head is in the immediate vicinity of the layer to be ablated, which requires the aforementioned optical systems to be protected from the products of the ablation. Furthermore, as stated in EP-A-642 846, it is necessary to ensure that the firing head is moved very fast to ensure a satisfactory ablation rate and an acceptable overall operating cost. which poses problems of implementation on an industrial scale.
  • the laser head is offset from the cleaning area and light is transmitted to this area through an optical fiber. A mechanical device then makes it possible to move a nozzle constituted by the tip of this fiber associated with the focusing optical system, practically in contact with the surface to be decontaminated.
  • Patent FR-A-2 700 882 to project a thin layer of non-absorbent liquid in the ultraviolet range, for example water, on the surface to be ablated and to direct ultraviolet radiation on this surface, which absorbs it and is ablated with increased efficiency by the rapid boiling of the liquid droplets covering it.
  • a disadvantage of this solution lies in the additional quantities of waste that it generates during the ablation.
  • the current trend of the skilled person is to increase not only the number of laser pulses applied successively at the same point, but also the powers of the laser shots used in these pulsed laser ablation processes, in order to improve the the effectiveness of the ablation, these powers being typically of the order of a few hundred watts.
  • Another consequence lies in the diameter of the focused beam having been delivered by such lasers which is of the order of a few millimeters, which leads to surface powers on the layer to be ablated which are lower than those required.
  • these overlapping shots have the disadvantage of favoring "re-deposits" of ablated material, forcing the operator to make several passes during the scanning of the surface to ablate to reduce the importance. The performance of the ablation operation is all penalized.
  • An object of the present invention is to propose a method of ablation of a surface layer of a wall, such as a coating of paint in a nuclear installation, said method comprising at least one scan pass of shots on said layer at least one pulsed laser beam with an M 2 beam quality of less than 20, which makes it possible to overcome the aforementioned drawbacks.
  • the ablation method according to the invention comprises a directional control of said shots by optical deflection, such that the single or composite impact zones of said shots on said layer are disjoint or substantially contiguous with a minimized overlap.
  • the center of the impact zone of this beam on the layer to be ablated has moved a distance at least substantially equal to the dimension of the impact zone along the axis of this displacement (ie its diameter, in the case of a circular contour impact zone).
  • the result of a shot is called a "simple" impact zone.
  • the layer to be ablated synchronously temporally and juxtaposed spatially, for example by means of a prism, so as to form a geometric pattern of repetition, which can be deflected by the same optical deflection means as for a single laser beam (these optical deflection means comprising for example one or more galvanometric mirrors).
  • the pattern thus obtained has the shape of a square or a rectangle, possibly rounded at the corners, and the impact zones of the various beams are substantially contiguous with a minimized overlap, in order to constitute a "composite" impact zone. (linked to composite impulses) comparable to a single and larger impact zone.
  • this composite impact zone is also chosen so that the juxtaposition of several juxtaposed composite impacts constitutes a uniformly ablated surface.
  • the invention is thus characterized in that between two successive shots of at least one laser beam, the center of the single or composite impact zone on the layer to be ablated has been displaced by a distance at least substantially equal to the dimension of the single or composite impact zone along the axis of displacement by means of optical deflection means.
  • said ablation method comprises the following two steps: a) a preliminary experimental estimation of the fluence f 0 of said or each beam on said layer which is required at each pulse for said or each pass (ie for superficial ablation of said layer without altering the support with a view to its subsequent use), taking into account parameters comprising the material constituting said layer ablater and the surface state of the latter, then b) a setting of the energy of said or each beam at each pulse and / or the largest transverse dimension of said or each pulsed beam, for obtaining said fluence fo in a single pulse.
  • each beam is adapted to the nature and the material of the layer to be ablated, so that the ablation of the impact zone is carried out in the most general case in a single laser pulse. .
  • said ablation process may comprise, prior to said estimation of the fluence, an estimate of the number of passes required taking into account account of the material constituting said layer, the thickness of the latter and the rate of said firing scan, these required passes being separated by a time interval much greater than the time of displacement between two consecutive points. This time usually corresponds to the sweep time complete part of the part to be ablated by the deflection means for a given position of the ablation device vis-à-vis the wall to ablater.
  • the aforementioned fluence is then adapted to the removal of an ablation pass.
  • the fluence required for the ablation of a layer, or for an ablation pass of a layer is obtained by choosing one or more beams of good quality, that is to say whose coefficient M 2 is less than 20, and focusing this or these beams on a small area. It is thus possible to achieve the fluence required for most applications with a laser significantly less powerful and smaller than in the prior art. It is particularly advantageous to choose a smaller coefficient M 2 , less than 10.
  • the coefficient or quality factor M 2 is defined by the ratio of the product diameter x divergence, for the laser beam considered, by the product diameter x divergence, for a transverse monomode laser beam of the same wavelength.
  • a lens of low spherical aberration is placed between the laser source and a measurement system, such as a camera.
  • the beam diameter (at 1 / e 2 for example) is determined around the Rayleigh area by taking enough measuring points.
  • the set of these measurement points is approximated with a beam propagation type hyperbola, and the coefficient M 2 is the coefficient of the hyperbola which makes it possible to adjust the measurement points.
  • this quality coefficient M 2 is advantageously measured according to ISO / TC 172 / SC 9 / WG 1 N 56, ISO / CD 11 146, Optics and optical instruments - lasers and laser related instruments - Test methods for beam laser parameters: beam width, divergence angle and beam propagation factor, November 26, 1993.
  • the distinct impact zones obtained by the process of the invention may advantageously be contiguous, provided that the means each of the beams is fast and accurate enough, and binds the scan rates to the rate of recurrence of the laser shots.
  • the invention uses for this scanning a deflection head comprising at least one galvanometric mirror capable of deflecting the laser beam or beams, and preferably at least two galvanometric mirrors, oriented in orthogonal directions so as to scan on a determined part of the wall to ablate almost the entire surface of the layer to be ablated.
  • this scanning is advantageously implemented by controlling the movement of the galvanometric mirror (s) in said deflection head, to deflect the beam (s) in a multitude of locations of said layer, so as to reach regions of the latter not yet ablated.
  • this deflection head advantageously deflects or focuses the beam (s) without having to move the head (i.e. the latter remaining stationary during the ablation).
  • This deflection head is preferably located at a distance greater than 200 mm from the layer to be ablated and up to 1 m.
  • a value between 400 and 600 mm appears optimal, insofar as it makes it possible to minimize the pollution of the galvanometric mirror or mirrors during ablation.
  • the galvanometric heads allow without difficulty to obtain a quick scan of the part to be ablated, up to several meters per second. The surface to be ablated and swept is then of the order of 100 cm 2 to 3000 cm 2 .
  • the successive impact zones are substantially contiguous, and the shape of the impact zones is optimized so that a juxtaposition of impacts covers the surface as completely as possible. of the layer to be ablated, while minimizing overlaps (these represent advantageously less than 10% of the area of each impact zone).
  • the shape of the overall impact surface is advantageously that of a square or a rectangle with rounded corners.
  • each impact zone can be between 10 ⁇ m and 500 ⁇ m.
  • said deflection head comprises at least two galvanometric mirrors which are controlled in such a way that said impact zones successively describe a plurality of parallel and substantially contiguous lines on said layer, each line consisting of a sequence of said impact areas.
  • the impact zone corresponding to each of said shots is constituted by a plurality of laser beams synchronized temporally and juxtaposed, for example by means of a prism, so as to form a pattern geometric repetition whose contour is polygonal.
  • the use of four lasers juxtaposed square with a four-facet prism makes it possible to double the scanning speed of a line and to double the pitch between two consecutive lines of said first group. which gives an overall speed of ablation equal to four times the speed obtained with a single laser beam.
  • the scanning of a two-dimensional surface can be advantageously improved by successively describing a first group of lines so as to separate them two by two from each other by a predetermined pitch corresponding substantially to the dimension each point of impact orthogonally to the direction of the lines, then a second group of said lines which are each inserted substantially contiguously between two consecutive lines of said first group.
  • a screen scan cathodic in English "CRT"
  • the amount of material to be ablated requires several successive passes, it is advantageous to make the following pass by orienting the scan lines orthogonally to the direction they had during the previous scan so as to perform a cross scan to improve the quality of the ablation. And so on for successive passes, if there are more than two.
  • a technique for visualizing the state of the layer to be ablated, such as a camera control, by contrast enhancement obtained for example by fluorescence, said technique being coupled to an image processing to distinguish the regions ablated from those which are not and control accordingly the movement of said galvanometer mirror or mirrors of the deflection head.
  • Other techniques such as acoustic listening or plasma spectroscopic analysis are possible to assist the control of the deflection head.
  • ultraviolet radiation coupled to said visualization technique can be used to improve the contrast between said ablated and non-ablated regions.
  • a focusing optical system is immediately placed in downstream of this deflection head. This focusing system usually has a focal length chosen to converge the laser beam on the surface of the layer to be ablated. Nevertheless, the distance that the beam must travel before impacting this layer varies, depending on whether its direction is along the axis of the lens or at its maximum inclination.
  • the focusing device makes it possible to focus on the same plane the beams coming from all the inclinations produced by the deflection head, as for example is the case with a lens of type "F". -theta ".
  • each pulsed laser beam presents each pulse an energy of between 0.1 mJ and 10 mJ, but it would not depart from the scope of the invention using a more powerful laser implemented as described above.
  • a lower energy per pulse is applied. This is particularly the case when the wall is that of a precious object and fragile as an art object, the energy of each pulse can be reduced to about 1 ⁇ J, not to harm the subsequent life of the work of art.
  • Each laser is preferably a fiber laser, i.e., a solid-state laser whose active medium is located in the optical fiber which constitutes both the laser cavity and the beam transport vector up to at the workstation.
  • the optical fiber typically consists of a double sheath.
  • the active silica core doped with rare earth ions is excited at its base by a diode laser, which is injected directly into the fiber.
  • Two Bragg gratings inscribed in the fiber act like the mirrors of a traditional laser cavity.
  • the ytterbium doping ions (Yb) make it possible to obtain an infrared emission spectrum at a wavelength of 1.06 ⁇ m.
  • the rate of recurrence of the pulses is generally greater than 500 Hz not to lengthen excessively the treatment time of the wall to be ablated, but it would not be beyond the scope of the invention using a lower rate, since satisfies both steps a) and b) above.
  • recurrence rates of greater than 10 kHz, which can equal or exceed 20 kHz, are usually used. Combined with a scanning speed of the order of 2 m / s, these rates lead to a satisfactory ablation rate, even in the case of large areas, as for example in the case of nuclear decontamination.
  • each laser beam generated is pulsed with pulses of duration each comprised between 20 ns and 500 ⁇ s and, even more preferably, between 50 ns and 200 ns.
  • the extremely small value of greater transverse dimension of the beams which is preferably between 10 ⁇ m and 500 ⁇ m and, more preferably in the case of a layer of paint to be ablated, between 80 ⁇ m and 120 ⁇ m, makes it possible to confer on each beam a fluence on said layer ranging from 1 J / cm 2 to 50 J / cm 2 and, advantageously, ranging from 8 J / cm 2 to 20 J / cm 2 , the target fluence value being in particular a function of the material to be ablated and the surface state of said layer.
  • a more energetic beam may be necessary in special cases, such as the removal of a roughness, a bump or a thickening of paint (as happens in the nuclear industry to fix a point contamination), which may require a more energetic beam. But it is generally preferred to keep the same beam, the same fluence, and to perform on the surface to be considered one or more other successive passes.
  • the wavelength of the laser beam (s) used for the implementation of the invention may be chosen in the infrared, ultraviolet or visible domains, depending on the modes of implementation of the invention. process and the nature and surface state of the layer to be ablated.
  • each of the laser beams used for the implementation of the invention is pulsed with a wavelength located in the infrared range.
  • said or each laser beam is emitted by a laser head constituting the downstream end of a fiber laser as evoked above.
  • said ablation method comprises, during said scanning, a confinement of the space which is between, on the one hand, the deflection head provided for deflecting the laser beam (s) and possibly the focusing optical device located at its output and, secondly, the layer to be ablated, said confinement including aspiration and filtering ablation residues.
  • This confinement makes it possible to control the recovery of all the gases and aerosols generated by the ablation.
  • Such confinement is of the "dynamic" type (ie the confined air is independent of the ambient air), it can be achieved by using a hood of the type of draining of substantially frustoconical shape diverging between the deflection head and the layer ablater, this drain being associated with suction and filtering means.
  • This confinement makes it possible to avoid the dispersion in the ambient air of the products ablation generated, but also possible "re-deposits" on said layer, which allows not to pollute the ablation device - only the drain can be considered polluted.
  • this drain allows to protect any operators involved in the cleaning area. It should be noted that this confinement is much easier to implement in the context of the present invention than in the context of previous embodiments, due to the large distance that may exist between the deflection head and the layer to be ablated.
  • said layer to be ablated is located in a cleaning zone such as a contaminated zone and said or each beam is emitted by at least one laser head associated with pumping means providing electromagnetic radiation at said head, said one or each laser head is associated with said pumping means by means of an optical fiber transmitting said radiation, such that said pumping means are kept outside said cleaning zone .
  • a cleaning zone such as a contaminated zone
  • said or each beam is emitted by at least one laser head associated with pumping means providing electromagnetic radiation at said head
  • said one or each laser head is associated with said pumping means by means of an optical fiber transmitting said radiation, such that said pumping means are kept outside said cleaning zone.
  • each laser beam has a beam quality M 2 of less than 10 and even more advantageously less than 2.
  • This beam quality can advantageously be obtained by correcting the spherical aberration generated by the beams. thermal effects in said laser head, which then contains at least one laser bar optically pumped in a transverse manner.
  • it uses in this laser head a negative spherical aberration optical device of near amplitude but of opposite sign to the aberration due to said thermal effects, so as to compensate for this aberration vis-à-vis said laser beam.
  • French patent application FR05 50116 of 13/01/2005 in the name of the Applicant for a detailed description of this method of spherical aberration correction.
  • said device is such that said or each laser head is adapted to be able to generate said or each beam with an energy of between 0.1 mJ and 10 mJ, and in that said deflection head is adapted to deflect said or each beam by conferring a larger transverse dimension on said layer which may be between 10 .mu.m and ⁇ 00 .mu.m.
  • this device is such that: said energy is between 0.1 mJ and 10 mJ,
  • the frequency of recurrence is between 10 kHz and 100 kHz
  • the duration of each pulse is between 10 ns and 1 ⁇ s
  • the fluence is between 1 J / cm 2 and 50 J / cm 2 .
  • the deflection head comprises at its output a lens focusing optical system which is adapted to focus the laser beam on the surface of the layer to be ablated.
  • this focusing device is produced by a lens of the "F-theta" type which makes it possible to maintain the focus at any point on the scanned surface, by making the most inclined rays converge all the more far away as their length is longer. big.
  • the device comprises a unit for confining the space between the deflection head and the layer to be ablated, said unit comprising means for suctioning and filtering the ablation residues and being equipped with a positioning system of said device on said layer according to a predetermined application force.
  • said confinement unit comprises said avalotr of substantially frustoconical shape which is adapted to be mounted around said deflection head via an upstream opening of said throat (corresponding to the small base of the truncated cone formed by the throat) and which is provided with an air inlet in the immediate vicinity of this upstream opening, so as to optimize the flow of gases and ablation aerosols for their suction.
  • said confinement unit is provided, near the downstream opening of the drain (corresponding to the large base of the aforementioned conical frustum), with a means for visualizing the state.
  • the layer to be ablated which is coupled to an image processing system to distinguish the ablated regions from those which are not, and to control accordingly the galvanometric mirror (s).
  • the suction flow rate is designed to ensure a minimum flow rate of 0.5 m / s at all points.
  • these air inlets must be arranged in such a way as to avoid turbulence and to make laminar flows: subject to compliance with the latter condition, the flow can reach several hundred m 3 / h.
  • said ablation device comprises an optical fiber connecting said pumping means to said laser head and transmitting said radiation.
  • the dimensions of the ablation device according to the invention may vary according to the area of the layer to be ablated. Depending on these dimensions, this ablation device may be either a portable machine implemented by an operator or a machine carried by a robot. In this case, we will choose a deflection head closer to the layer to be ablated, for example between 200 mm and 400 mm.
  • the ablation device according to the invention is also equipped with a robotic positioning system (not illustrated) according to the state of the art, which is adapted to position this ablation device against the layer to be ablated to locations determined to the nearest centimeter.
  • this positioning system makes it possible to apply the confinement unit on this layer with a force of a few tens of newtons, for example about 100 N.
  • Position sensors such as electrical switches actuated by the contact with the wall, is intended to inform the operator or teleoperator of the correct positioning of the ablation device on the layer to be ablated.
  • said or each laser head of the ablation device according to the invention is of the fiber laser type. It will be noted, however, that the or each laser head may consist generally of any laser source (eg of the amplifying bar type instead of the optical fiber of said fiber laser) which is compatible with the requirements of the method ablation device and said positioning system used for the ablation device.
  • the or each laser head may consist generally of any laser source (eg of the amplifying bar type instead of the optical fiber of said fiber laser) which is compatible with the requirements of the method ablation device and said positioning system used for the ablation device.
  • this negative spherical aberration optical device comprises a converging lens or a combination of several lenses of which at least one is convergent, such as an afocal doublet of two convergent lenses.
  • FIGS. 1 is a schematic and exploded top view of a laser device for superficial ablation of a layer of a wall according to the invention
  • FIG. 2 is a plan view illustrating an example. preferred embodiment according to the invention of geometric distribution of the laser impact zones on the surface of the layer to be ablated
  • the ablation device 1 illustrated in FIG. 1 is more particularly intended to ablate a layer 2 of wall paint to be decontaminated in a nuclear installation, this coating 2 corresponding to a so-called "category 1" surface in this area (Le. a hint of aerosol type contamination fixed by the paint).
  • the ablation device 1 comprises a frame 3 on which are essentially mounted:
  • At least one laser head 4 (only one is represented in the example of FIG. 1) which is connected to pumping means (not shown),
  • this head advantageously comprising at its output a focusing optical system 5a consisting of a lens focusing the laser shots on the surface of the layer 2 to be ablated, and
  • the laser head 4 illustrated is the manufacturer's supplied head, i.e. the downstream (or distal) end of a fiber laser. It comprises a collimation lens provided for a 9 mm beam diameter, and is connected by an optical fiber 4a to the upstream (or proximal) end of the fiber laser, not shown in FIG. 1, which is provided with pumping means.
  • the fiber laser used is marketed by the company IPG under the name "YLP" (i.e. "Ytterbium Fiber Lasers").
  • the fiber laser emits by its laser head 4 a laser beam 7 pulsed in the infrared range - preferably in the near infrared - which has a diameter ranging from 2 to 15 mm and for example equal to 9 mm, this diameter being considered as constant over the entire length of his ride in the air. Since the beam is Gaussian, the pitch between 2 impacts is 1 / e 2 . It is considered that this diameter is also that of the impact zone, the remainder of the beam being in overlap with the following impact. In the case of a plurality of laser beams, the various laser heads are associated at this level, possibly with a device for bringing the axes of the various beams closer together. Each of these beams 7 is generated at a high "recurrence" rate of 20 kHz, with a pulse energy of 1 mJ and an M 2 beam quality of the order of 1, 6.
  • the deflection head 5 comprises galvanometric mirrors marketed by the company ARGES under the name “RHINO”, or by the company SCANLAB under the name “hurrySCAN”. At its output is fixed (in most embodiments) a focusing system consisting of a lens forming for example a lens of
  • this lens is of the "F-theta" type focusing the laser shots on the surface of the layer 2 to be ablated. It gives the focal point a beam 6 projected on the layer 2 with a diameter of about 100 microns, a fluence of 12 J / cm 2 and a depth of field of 10 mm.
  • the containment unit 8 comprises a drain 10 of substantially frustoconical shape which is adapted to be mounted by its small base on the frame 3, around the deflection head 5 (see arrow F1 in Figure 1).
  • the drainer 10 is provided, at its end intended to be mounted around the deflection head 5, with a porthole opening 10a provided for passing the focused laser beam 6. This opening can also be achieved by carrying out the assembly the diverter 10 on the deflection head 5 by means of spacers.
  • the drainer 10 is advantageously provided with an external camera 11 near its other opening 10b which is intended to be applied on the layer 2 to be ablated, this camera 11 being intended for viewing the state of the layer 2 in order to to control and order ablation.
  • an ultraviolet light source is added to this camera 11, so as to improve the contrast of the paint layer 2 with respect to the underlying support material (for example concrete).
  • the camera 11 is coupled to an image processing system (not shown), for example by binarization of the image after thresholding, which is designed to distinguish the ablated regions of the layer 2 from those which are not. and, following a transfer of the image thus obtained to a management software equipping the deflection head 5, to control accordingly the mirrors of the optical focusing system.
  • the drier 10 is provided to ensure a dynamic confinement of the gases and aerosols while protecting the operator and, via an air inlet (not shown), increased by the above fixing struts, it allows a laminar flow of these gases and aerosols in order to recover them in filters 12 equipping the suction means 9 whose flow rate is 180 m 3 / h.
  • filters 12 are specifically designed not to be clogged by the ablation residues, thanks to prior characterization of the latter.
  • a filter 12 of the "THE" type advantageously equips these suction means 9, so as to form an ultimate barrier for these ablation residues.
  • the choice of the filters 12 depends on the nature, the mass and the size of the particles generated by the ablation.
  • the ablation device has a plurality of laser beams, each of which is associated with a deflection head of its own, and this plurality of associations of a laser source and a laser head. deflection is then integrated into one and the same gully. It goes without saying that the synchronism of the beams is of little importance: only the juxtaposition of the ablated parts they create is taken into account.
  • the ablation device 1 may be equipped with an appropriate interface making it automated and carried by a polyarticulate device (not shown), such as a special carrier, a motorized gantry or a robotic arm, to ensure its displacement to cover a given ablation area.
  • a polyarticulate device such as a special carrier, a motorized gantry or a robotic arm, to ensure its displacement to cover a given ablation area.
  • the ablation device 1 according to the invention operates in the following manner, as illustrated in connection with FIGS. 1 and 2.
  • the ablation device 1 is put in place against the paint layer 2 at a distance D of the order of 500 mm from it, via a positioning system (not shown) of the confinement unit 8, and then the laser beam shots 6 are made by controlling the movement of the mirrors of the deflection head 5 (ie without moving the latter), so as to describe the next scan of the part to be ablated.
  • this scanning is such that the impact zones 11, 12, 13,... Obtained on the layer 2 successively describe a plurality of lines L1, L2, L3,..., Ln, Ln. +1, Ln + 2, ... parallel and substantially contiguous, each line corresponding to a succession of shots whose impact zones 11, 12, 13, ... are themselves substantially contiguous to each other (see the arrows F2 and F3 illustrating this two-dimensional scanning).
  • L1, L2, L3, ..., Ln by separating them two by two from each other by a predetermined pitch d corresponding substantially to the diameter of each beam 6 on the layer 2, then, in a second step, a second group is described lines Ln + 1, Ln + 2, ... each inserted substantially contiguously between two lines L1 and L2, L2 and L3, ... consecutive of the first group.
  • the servitudes related to the ablation device 1 i.e. electricity, compressed air
  • the servitudes related to the ablation device 1 are reduced and can be easily deported out of the cleaning zone.

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Abstract

La présente invention concerne un procédé d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi, telle qu'un revêtement mural de peinture, par exemple dans une installation nucléaire à décontaminer, et un dispositif pour la mise en œuvre de ce procédé. Le procédé d'ablation selon l'invention comprend une passe de balayage de tirs sur ladite couche d'au moins un faisceau laser pulsé avec une qualité de faisceau M² inférieure à 20, et il est caractérisé en ce qu'il comprend une commande directionnelle desdits tirs par déflection optique, de telle sorte que les zones d'impact (I1, I2, I3, …) desdits tirs sur ladite couche soient disjointes ou sensiblement jointives avec un recouvrement minimisé.

Description

PROCEDE ET DISPOSITIF D'ABLATION LASER D'UNE COUCHE SUPERFICIELLE D'UNE PAROI, TELLE QU'UN REVETEMENT DE PEINTURE DANS UNE INSTALLATION NUCLEAIRE.
La présente invention concerne un procédé d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi, telle qu'un revêtement mural de peinture dans une installation nucléaire, et un dispositif pour la mise en œuvre de ce procédé.
La décontamination et l'assainissement des installations nucléaires obsolètes ou ayant atteint leur limite d'âge sont devenus une priorité pour l'industrie nucléaire. On s'efforce de nettoyer les parties contaminées de ces installations, en évitant de produire des déchets également contaminés et en tâchant de minimiser les effluents de nettoyage. Pour une grande partie des murs des locaux nucléaires, un simple enlèvement de la peinture suffit. Les techniques utilisées à ce jour sont notamment le décapage au moyen d'une meuleuse, d'une grignoteuse, par sablage ou par gels chimiques. Ces techniques ont pour intérêt principal leur simplicité de mise en œuvre technologique. Cependant, elles présentent des inconvénients tels que leur coût élevé, directement imputable à l'intervention humaine en milieu irradié, le dégagement important de poussières dans le local et la quantité de déchets générés.
Une autre solution connue pour effectuer la décontamination d'installations nucléaires consiste à utiliser l'ablation laser, qui consiste à retirer une couche d'épaisseur réduite du matériau contaminant à enlever, via l'interaction d'une lumière cohérente et focalisée issue d'un laser puisé avec ce matériau. L'échauffement rapide de la surface de cette couche provoque la vaporisation puis l'éjection des premières strates du matériau. Cette technique d'ablation laser est également applicable à d'autres domaines non nucléaires. Les dispositifs d'ablation laser utilisés comportent typiquement une tête laser (i.e. source laser) prévue pour générer un faisceau laser puisé et des moyens de transport de ce faisceau jusqu'à une tête de tir ou « tête de décapage »située en aval de la tête laser, et qui est pourvue d'un système optique pour focaliser les tirs sur la couche à ablater.
Dans la plupart des cas, cette tête de tir se trouve à proximité immédiate de la couche à ablater, ce qui impose de protéger les systèmes optiques précités des produits de l'ablation. En outre, comme indiqué dans le document de Brevet EP-A-642 846, on doit faire en sorte que Ia tête de tir soit animée d'un déplacement très rapide pour assurer une vitesse d'ablation satisfaisante et un coût opératoire global acceptable, ce qui pose des problèmes de mise en œuvre à l'échelle industrielle. En général, la tête laser est déportée par rapport à la zone de nettoyage et la lumière est transmise à cette zone grâce à une fibre optique. Un dispositif mécanique permet alors de déplacer une buse, constituée par le bout de cette fibre associé au système optique de focalisation, pratiquement au contact de la surface à décontaminer. Cette solution est connue par les documents de Brevet EP-A-520 847 et US-A-5 780 806 et s'applique communément aux lasers émettant dans les domaines proche infrarouge ou visible, car les lumières infrarouge et visible peuvent être transportées quasiment sans perte d'énergie dans des fibres optiques, à la différence des lasers émettant dans le domaine ultraviolet. 11 est également connu, par exemple par le document de
Brevet FR-A-2 700 882, de projeter une fine couche de liquide non absorbante dans le domaine ultraviolet, par exemple de l'eau, sur la surface à ablater et de diriger un rayonnement ultraviolet sur cette surface, qui l'absorbe et est ablatée avec une efficacité accrue par l'ébullition rapide des gouttelettes du liquide la recouvrant. Un inconvénient de cette solution réside dans les quantités supplémentaires de déchets qu'elle engendre lors de l'ablation.
L'énergie requise pour cette ablation étant relativement élevée, tous les dispositifs connus utilisent des lasers puisés, et accumulent en un même endroit une succession d'impulsions lumineuses. Cette succession à cadence élevée ne permet pas l'évacuation de la matière ablatée, qui reste quelques instants dans l'air au voisinage immédiat de la paroi, sous forme d'une fumée ou d'une suspension. L'arrivée d'une nouvelle impulsion applique à nouveau cette suspension contre la paroi, et crée des « re-dépôts » qui salissent ou noircissent à nouveau cette paroi.
La tendance actuelle de l'homme du métier consiste à augmenter non seulement le nombre d'impulsions laser appliquées successivement en un même point, mais aussi les puissances des tirs laser utilisés dans ces procédés d'ablation par laser puisé, afin d'améliorer l'efficacité de l'ablation, ces puissances étant typiquement de l'ordre de quelques centaines de watts. Il en résulte des servitudes (i.e. approvisionnements nécessaire en électricité et en air comprimé, notamment) et des contraintes de fonctionnement pénalisantes, ainsi qu'un volume et un coût de mise en œuvre relativement élevés. Une autre conséquence réside dans le diamètre du faisceau focalisé ayant été délivré par de tels lasers qui est de l'ordre de quelques millimètres, ce qui conduit à des puissances surfaciques sur la couche à ablater qui sont inférieures à celles requises. Cela impose donc d'effectuer des tirs superposés de lasers à hautes cadences, les seuls à pouvoir offrir des temps d'ablation satisfaisants. Or, ces tirs superposés présentent l'inconvénient de favoriser les « re-dépôts » de matériau ablaté, obligeant l'opérateur à effectuer plusieurs passages lors du balayage de la surface à ablater pour en réduire l'importance. Le rendement de l'opération d'ablation en est d'autant pénalisé.
Un but de la présente invention est de proposer un procédé d'ablation d'une couche superficielle d'une paroi, telle qu'un revêtement de peinture dans une installation nucléaire, ledit procédé comprenant au moins une passe de balayage de tirs sur ladite couche d'au moins un faisceau laser puisé avec une qualité de faisceau M2 inférieure à 20, qui permette de remédier aux inconvénients précités.
A cet effet, le procédé d'ablation selon l'invention comprend une commande directionnelle desdits tirs par déflection optique, de telle sorte que les zones d'impact simples ou composites desdits tirs sur ladite couche soient disjointes ou sensiblement jointives avec un recouvrement minimisé. Ainsi, s'il n'y a qu'un faisceau laser, entre deux tirs successifs de ce faisceau, le centre de la zone d'impact de ce faisceau sur la couche à ablater s'est déplacé d'une distance au moins sensiblement égale à la dimension de la zone d'impact selon l'axe de ce déplacement (i.e. son diamètre, dans le cas d'une zone d'impact de contour circulaire). Dans le cas d'un seul faisceau, le résultat d'un tir est appelé zone d'impact « simple ».
S'il y a plusieurs faisceaux laser, ils sont tirés sur la couche à ablater de manière synchronisée temporellement et juxtaposée spatialement, par exemple au moyen d'un prisme, de manière à former un motif géométrique de répétition, qui pourra être défléchi par les mêmes moyens de déflection optique que pour un seul faisceau laser (ces moyens de déflection optique comprenant par exemple un ou plusieurs miroirs galvanométriques). Le motif ainsi obtenu a la forme d'un carré ou d'un rectangle, éventuellement arrondis aux angles, et les zones d'impact des divers faisceaux sont sensiblement jointives avec un recouvrement minimisé, afin de constituer une zone d'impact « composite » (liée à des impulsions composites) assimilable à une seule et même zone d'impact de plus grande dimension. Enfin, cette zone d'impact composite est aussi choisie de manière à ce que la juxtaposition de plusieurs impacts composites juxtaposés constitue une surface uniformément ablatée.
L'invention est ainsi caractérisée en ce qu'entre deux tirs successifs d'au moins un faisceau laser, le centre de la zone d'impact simple ou composite sur la couche à ablater a été déplacé d'une distance au moins sensiblement égale à la dimension de la zone d'impact simple ou composite selon l'axe du déplacement grâce à des moyens de déflection optique.
Dans ce qui suit, la dimension d'un faisceau homogène est aisée à définir. Lorsque Ie faisceau est de type gaussien, on définit son
diamètre par sa largeur I à 1/e2. En effet, pour un faisceau d'énergie e '"2 , on définit la distance x pour Ia demi-largeur ω du faisceau comme la distance pour laquelle x = ω , ce qui donne bien pour cette valeur I = 1/e2. En n'effectuant jamais deux tirs consécutifs en une même zone d'impact, on évite les « re-dépôts », noircissements ou fumées générés dans l'art antérieur, ainsi que l'utilisation d'un fluide (liquide ou gaz) destiné à minimiser ces « re-dépôts ». Le procédé de l'invention limite de ce fait la quantité de déchets générés, ce qui est particulièrement avantageux lorsque la couche à ablater est un produit dangereux ou irradié.
Selon une autre caractéristique de l'invention, ledit procédé d'ablation comprend les deux étapes suivantes : a) une estimation expérimentale préalable de la fluence f0 dudit ou de chaque faisceau sur ladite couche qui est requise à chaque impulsion pour ladite ou chaque passe (i.e. pour l'ablation superficielle de ladite couche sans altérer le support en vue de son utilisation ultérieure), en tenant compte de paramètres comprenant le matériau constituant ladite couche ablater et l'état de surface de cette dernière, puis b) un réglage de l'énergie dudit ou de chaque faisceau à chaque impulsion et/ou de la plus grande dimension transversale dudit ou de chaque faisceau puisé, pour l'obtention de ladite fluence fo en une seule impulsion. On notera que la fluence de chaque faisceau est adaptée à la nature et à la matière de la couche à ablater, de manière à ce que l'ablation de la zone d'impact soit effectuée dans le cas le plus général en une seule impulsion laser. Ainsi lorsqu'il y a plusieurs faisceaux, ils peuvent opérer en parallèle dans des parties différentes de la paroi à ablater. Avantageusement, lorsque l'épaisseur ou le matériau de la couche à ablater rendent difficile l'ablation complète en une seule passe, ledit procédé d'ablation peut comprendre, antérieurement à ladite estimation de la fluence, une estimation du nombre de passes nécessaires en tenant compte du matériau constituant ladite couche, de l'épaisseur de cette dernière et de la cadence dudit balayage de tirs, ces passes requises étant séparées par un intervalle de temps très supérieur au temps de déplacement entre deux points consécutifs. Ce temps correspond généralement au temps de balayage complet de la partie à ablater par les moyens de déflection pour une position donnée du dispositif d'ablation vis-à-vis de la paroi à ablater.
Dans ce cas, la fluence précitée est alors adaptée au retrait d'une passe d'ablation. De manière avantageuse, la fluence requise pour l'ablation d'une couche, ou pour une passe d'ablation d'une couche, est obtenue en choisissant un ou des faisceaux de bonne qualité, c'est-à-dire dont le coefficient M2 est inférieur à 20, et en focalisant ce ou ces faisceaux sur une petite surface. Il est ainsi possible d'atteindre la fluence requise pour la plupart des applications avec un laser significativement moins puissant et plus petit que dans l'art antérieur. Il est particulièrement avantageux de choisir un coefficient M2 plus petit, inférieur à 10.
Dans la présente description, le coefficient ou facteur de qualité M2 est défini par le rapport du produit diamètre x divergence, pour le faisceau laser considéré, par le produit diamètre x divergence, pour un faisceau laser monomode transverse de même longueur d'onde.
Pour mesurer ce coefficient M2, on place une lentille de faible aberration sphérique entre la source laser et un système de mesure, tel qu'une caméra. Avec ce système de mesure, on détermine le diamètre de faisceau (à 1/e2 par exemple), autour de la zone de Rayleigh en prenant suffisamment de points de mesure. On approxime l'ensemble de ces points de mesure avec une hyperbole de type propagation de faisceau, et le coefficient M2 est le coefficient de l'hyperbole qui permet d'ajuster les points de mesure. Conformément à la présente invention, ce coefficient de qualité M2 est avantageusement mesuré selon la norme ISO/TC 172/SC 9/WG 1 N 56, ISO/CD 11 146, Optics and optical instruments - lasers and laser related instruments - Test methods for laser beam parameters : beam width, divergence angle and beam propagation factor, 26 novembre 1993.
Les zones d'impact distinctes obtenues par Ie procédé de l'invention peuvent avantageusement être jointives, dès lors que les moyens de déplacement de chacun des faisceaux sont suffisamment rapides et précis, et lient les vitesses de balayage à la cadence de récurrence des tirs lasers.
L'invention utilise pour ce balayage une tête de déflection comportant au moins un miroir galvanométrique apte à défléchir le ou les faisceaux laser, et préférentiellement au moins deux miroirs galvanométriques, orientés selon des directions orthogonales de manière à balayer sur une partie déterminée de la paroi à ablater quasiment toute la surface de la couche à ablater.
Selon l'invention, on met avantageusement en œuvre ce balayage en commandant le mouvement du ou des miroirs galvanométriques dans ladite tête de déflection, pour défléchir le ou les faisceaux en une multitude d'emplacements de ladite couche, de manière à atteindre des régions de cette dernière non encore ablatées.
Contrairement à l'art antérieur précité, on notera que cette tête de déflection permet avantageusement de défléchir ou focaliser le ou les faisceaux sans avoir à déplacer cette tête (i.e. cette dernière demeurant immobile lors de l'ablation).
Cette tête de déflection est préférentiellement située à une distance supérieure à 200 mm de la couche à ablater et pouvant aller jusqu'à 1 m. Une valeur comprise entre 400 et 600 mm apparaît optimale, dans la mesure où elle permet de minimiser la pollution du ou des miroirs galvanométriques lors de l'ablation. Avec de telles distances, les têtes galvanométriques permettent sans difficulté d'obtenir un balayage rapide de la partie à ablater, pouvant atteindre plusieurs mètres par seconde. La surface à ablater ainsi balayée est alors de l'ordre de 100 cm2 à 3000 cm2.
De manière avantageuse, comme précisé ci-dessus en référence aux impulsions composites, les zones d'impact successives sont sensiblement jointives, et la forme des zones d'impact est optimisée pour qu'une juxtaposition d'impacts recouvre le plus complètement possible la surface de la couche à ablater, tout en minimisant les recouvrements (ceux-ci représentent avantageusement moins de 10 % de la superficie de chaque zone d'impact). La forme de la surface globale d'impact est avantageusement celle d'un carré ou un rectangle aux angles arrondis.
La plus grande dimension de chaque zone d'impact peut être comprise entre 10 μm et 500 μm. De préférence, ladite tête de déflection comporte au moins deux miroirs galvanométriques que l'on commande de telle manière que lesdites zones d'impact décrivent successivement une pluralité de lignes parallèles et sensiblement jointives sur ladite couche, chaque ligne étant constituée d'une suite desdites zones d'impacts.
Selon un mode particulièrement avantageux de réalisation de l'invention, la zone d'impact correspondant à chacun desdits tirs est constituée par une pluralité de faisceaux laser synchronisés temporellement et juxtaposés, par exemple au moyen d'un prisme, de manière à former un motif géométrique de répétition dont le contour est polygonal.
On peut alors parler d'un « multiplexage » en parallèle de plusieurs faisceaux laser de base, qui augmente la vitesse d'ablation pour une couche de matériau donnée pratiquement dans le même rapport que le nombre de faisceaux laser utilisés. Par exemple, l'utilisation de quatre lasers juxtaposés en carré à l'aide d'un prisme à quatre facettes permet de doubler Ia vitesse de balayage d'une ligne et de multiplier par deux le pas entre deux lignes consécutives dudit premier groupe, ce qui donne une vitesse globale d'ablation égale à quatre fois la vitesse obtenue avec un seul faisceau laser.
Le balayage d'une surface bidimensionnelle (i.e. à l'aide de deux miroirs galvanométriques) peut être avantageusement amélioré en décrivant successivement un premier groupe de lignes de manière à les séparer deux à deux entre elles d'un pas prédéterminé correspondant sensiblement à la dimension de chaque point d'impact orthogonalement à la direction des lignes, puis un second groupe desdites lignes qui sont chacune insérées de manière sensiblement jointive entre deux lignes consécutives dudit premier groupe. En d'autres termes, comme pour un balayage d'écran cathodique (en anglais « CRT »), on balaye la surface à ablater en deux demi- trames : la première comportant les lignes impaires, et la seconde comportant les lignes paires.
Il est toutefois avantageux d'éviter en fin de ligne, les temps morts de retour au début de la ligne suivante. Pour cela, lorsque la zone d'impact simple ou composite est arrivée à l'extrémité d'une ligne, le ou les faisceaux sont défléchis orthogonalement à la ligne de manière à ce que l'impact suivant soit juxtaposé au dernier point de la ligne selon cette direction orthogonale aux lignes. Puis pour l'impact d'après, le ou les faisceaux sont à nouveau défléchis selon la direction des lignes, mais en sens inverse du sens de la ligne précédente. Et ainsi de suite à la fin de cette nouvelle ligne.
Si la quantité de matériau à ablater nécessite plusieurs passes successives, il est avantageux de réaliser la passe suivante en orientant les lignes du balayage orthogonalement à la direction qu'elles avaient lors du balayage précédent de manière à réaliser un balayage croisé pour améliorer la qualité de l'ablation. Et ainsi de suite pour les passes successives, s'il y en a plus de deux.
Avantageusement, on utilise une technique de visualisation de l'état de la couche à ablater, telle qu'un contrôle par caméra, par augmentation de contraste obtenu par exemple par fluorescence, ladite technique étant couplée à un traitement d'images pour distinguer les régions ablatées de celles qui ne le sont pas et commander en conséquence le mouvement dudit ou desdits miroirs galvanométriques de la tête de déflection. D'autres techniques comme l'écoute acoustique ou l'analyse spectroscopique du plasma sont possibles pour assister la commande de la tête de déflection.
Encore plus avantageusement, on peut utiliser un rayonnement ultraviolet couplé à ladite technique de visualisation, pour améliorer le contraste entre lesdites régions ablatées et celles qui ne le sont pas. Dans tous les cas où la fluence f0 requise par la couche à ablater est supérieure à la fluence de la source laser arrivant sur la tête de déflection, un système optique de focalisation est placé immédiatement en aval de cette tête de déflection. Ce système de focalisation a habituellement une distance focale choisie pour faire converger le faisceau laser sur la surface de la couche à ablater. Néanmoins, la distance que doit parcourir le faisceau avant d'impacter cette couche varie, suivant que sa direction est selon l'axe de la lentille ou selon son inclinaison maximale.
Si la focalisation est effectuée par une simple lentille, sa distance focale sera avantageusement choisie de manière à assurer la focalisation pour la moyenne des distances entre la plus courte et la plus longue distance que peut parcourir le faisceau selon son angle de déflection. Toutefois, selon un mode de réalisation optimal, le dispositif de focalisation permet de focaliser sur un même plan les faisceaux issus de toutes les inclinaisons produites par la tête de déflection, comme par c'est par exemple le cas avec une lentille de type « F-théta ».
Lorsque la paroi à ablater requiert une fluence inférieure à la plus petite fluence produite par le ou les têtes laser, il est avantageux de décaler légèrement le point de focalisation en avant ou en arrière de la surface à ablater (« défocalisation ») afin de réduire cette fluence.
Dans le cas où le procédé selon l'invention est utilisé pour l'ablation d'une couche de peinture (e.g. dans une installation nucléaire) ou d'un autre revêtement superficiel (i.e. d'épaisseur réduite), chaque faisceau laser puisé présente à chaque impulsion une énergie comprise entre 0,1 mJ et 10 mJ, mais on ne sortirait pas du cadre de l'invention en utilisant un laser plus puissant mis en œuvre comme décrit ci-dessus. Dans le cas où le procédé selon l'invention est utilisé pour l'ablation d'une couche de salissure, une énergie moindre par impulsion est appliquée. C'est notamment le cas lorsque la paroi est celle d'un objet précieux et fragile comme un objet d'art, l'énergie de chaque impulsion pouvant être réduite à environ 1 μJ, pour ne pas nuire à la vie ultérieure de l'œuvre d'art. Chaque laser est de préférence un laser à fibre, c'est-à-dire un laser de type à solides dont le milieu actif est localisé dans la fibre optique qui constitue à la fois la cavité laser et le vecteur de transport du faisceau jusqu'au poste de travail. La fibre optique est constituée typiquement d'une double gaine. Le cœur actif en silice dopé avec des ions de terre rare est excité à sa base par un laser à diode, qui est injecté directement dans la fibre. Deux réseaux de Bragg inscrits dans la fibre agissent comme les miroirs d'une cavité laser traditionnelle. Les ions dopants ytterbium (Yb) permettent d'obtenir un spectre d'émission infrarouge à une longueur d'onde de 1 ,06 μm.
La cadence de récurrence des impulsions est généralement supérieure à 500 Hz pour ne pas allonger exagérément le temps de traitement de la paroi à ablater, mais on ne sortirait pas du cadre de l'invention en utilisant une cadence plus faible, dès lors qu'on satisfait aux deux étapes a) et b) ci-dessus. A titre d'exemple, on utilise habituellement des cadences de récurrence supérieures à 1O kHz, qui peuvent égaler ou dépasser 20 kHz. Conjuguées à une vitesse de balayage de l'ordre de 2 m/s, ces cadences conduisent à une vitesse d'ablation satisfaisante, même dans le cas de grandes surfaces, comme par exemple dans le cas de la décontamination nucléaire.
De préférence, chaque faisceau laser généré est puisé selon des impulsions de durée comprise chacune entre 20 ns et 500 μs et, à titre encore plus préférentiel, comprises entre 50 ns et 200 ns.
Selon une autre caractéristique de l'invention, la valeur extrêmement réduite de plus grande dimension transversale des faisceaux, qui est de préférence comprise entre 10 μm et 500 μm et, à titre plus préférentiel dans le cas d'une couche de peinture à ablater, entre 80 μm et 120 μm, permet de conférer à chaque faisceau une fluence sur ladite couche allant de 1 J/cm2 à 50 J/cm2 et, avantageusement, allant de 8 J/cm2 à 20 J/cm2, la valeur de fluence visée étant notamment fonction du matériau à ablater et de l'état de surface de ladite couche. Un faisceau plus énergétique peut être nécessaire dans des cas particuliers comme par exemple l'ablation d'une rugosité, d'une bosse ou d'une surépaisseur de peinture (comme cela se produit dans l'industrie nucléaire pour fixer une contamination ponctuelle), qui peuvent requérir un faisceau plus énergétique. Mais on préfère généralement garder le même faisceau, la même fluence, et effectuer sur la surface à ablater considérée une ou plusieurs autres passes successives.
D'une manière générale, on notera que la longueur d'onde du ou des faisceaux laser utilisés pour la mise en œuvre de l'invention peut être choisie dans les domaines infrarouge, ultraviolet ou visible, en fonction des modalités de mise en œuvre du procédé et de la nature et de l'état de surface de la couche à ablater.
Avantageusement, chacun des faisceaux laser utilisés pour la mise en œuvre de l'invention est puisé avec une longueur d'onde située dans le domaine infrarouge.
Avantageusement, ledit ou chaque faisceau laser est émis par une tête laser constituant l'extrémité aval d'un laser à fibre tel qu'évoqué ci- dessus. Selon une autre caractéristique de l'invention, ledit procédé d'ablation comprend, lors dudit balayage, un confinement de l'espace qui est compris entre, d'une part, la tête de déflection prévue pour défléchir le ou les faisceaux laser et éventuellement le dispositif optique de focalisation situé à sa sortie et, d'autre part, la couche à ablater, ledit confinement incluant une aspiration et un filtrage des résidus d'ablation.
Ce confinement permet de contrôler la récupération de l'ensemble des gaz et aérosols générés par l'ablation. Un tel confinement est de type « dynamique » (i.e. l'air confiné est indépendant de l'air ambiant), il peut être réalisé par utilisation d'une hotte de type avaloir de forme sensiblement tronconique divergente entre la tête de déflection et la couche à ablater, cet avaloir étant associé à des moyens d'aspiration et de filtrage. Ce confinement permet d'éviter la dispersion dans l'air ambiant des produits d'ablation générés, mais aussi d'éventuels « re-dépôts » sur ladite couche, ce qui permet de ne pas polluer le dispositif d'ablation - seul l'avaloir pouvant être considéré comme pollué. De plus, cet avaloir permet de protéger les éventuels opérateurs intervenant dans la zone de nettoyage. On notera que ce confinement est beaucoup plus aisé à mettre en œuvre dans le cadre de la présente l'invention que dans le cadre des réalisations antérieures, grâce à la distance importante pouvant exister entre la tête de déflection et la couche à ablater.
Selon un mode avantageux de réalisation de l'invention, dans lequel ladite couche à ablater est située dans une zone de nettoyage telle qu'une zone contaminée et ledit ou chaque faisceau est émis par au moins une tête laser associée à des moyens de pompage fournissant un rayonnement électromagnétique à ladite tête, on associe ladite ou chaque tête laser auxdits moyens de pompage par l'intermédiaire d'une fibre optique transmettant ledit rayonnement, de telle sorte que lesdits moyens de pompage soient maintenus à l'extérieur de ladite zone de nettoyage. On se référera à la Demande de Brevet internationale PCT/FR2004/050738 du 20/12/2004 au nom de la Demanderesse pour une description détaillée de cet agencement.
Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, chaque faisceau laser présente une qualité de faisceau M2 inférieure à 10 et, encore plus avantageusement, inférieure à 2. Cette qualité de faisceau peut avantageusement être obtenue en corrigeant l'aberration sphérique générée par les effets thermiques dans ladite tête laser, laquelle contient alors au moins un barreau laser pompé optiquement d'une manière transversale. A cet effet, on utilise dans cette tête laser un dispositif optique d'aberration sphérique négative d'amplitude proche mais de signe opposé à l'aberration due auxdits effets thermiques, de façon à compenser cette aberration vis-à-vis dudit faisceau laser. On se référera à la Demande de Brevet française FR05 50116 du 13/01/2005 au nom de la Demanderesse pour une description détaillée de cette méthode de correction d'aberration sphérique.
Un dispositif d'ablation selon l'invention pour la mise en œuvre du procédé tel que défini ci-dessus comporte au moins une tête laser prévue pour générer un faisceau laser puisé et une tête de déflection montée fixe en aval de ladite ou chaque tête laser pour défléchir des tirs d'au moins un faisceau sur une couche superficielle d'une paroi, en réalisant un balayage sur ladite couche selon des durées d'impulsions pouvant être chacune comprises entre 20 ns et 500 μs.
Selon l'invention, ledit dispositif est tel que ladite ou chaque tête laser est adaptée pour pouvoir générer ledit ou chaque faisceau avec une énergie comprise entre 0,1 mJ et 10 mJ, et en ce que ladite tête de déflection est adaptée pour défléchir ledit ou chaque faisceau en lui conférant une plus grande dimension transversale sur ladite couche pouvant être comprise entre 10 μm et δOO μm.
Selon un mode de réalisation avantageux de l'invention, ce dispositif est tel que : - ladite énergie est comprise entre 0,1 mJ et 10 mJ,
- la fréquence de récurrence est comprise entre 10 kHz et 10O kHz, la durée de chaque impulsion est comprise entre 10 ns et 1 μs, et - la fluence est comprise entre 1 J/cm2 et 50 J/cm2.
Ce dispositif est préférentiellement utilisé pour l'ablation de peintures contaminées sur les parois d'un bâtiment nucléaire, avant réhabilitation ou destruction. Mais avec ces mêmes caractéristiques, il peut tout aussi bien couvrir une très vaste plage d'applications où il faut ablater une couche sur une paroi. Selon une autre caractéristique de ce dispositif selon l'invention, Ia tête de déflection comporte à sa sortie un système optique de focalisation à lentille qui est adapté pour focaliser le faisceau laser sur la surface de la couche à ablater. Avantageusement, ce dispositif de focalisation est réalisé par une lentille de type « F-théta » qui permet de conserver la focalisation en tout point de la surface balayée, en faisant converger les rayons les plus inclinés d'autant plus loin que leur longueur est plus grande.
Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif comporte une unité de confinement de l'espace compris entre la tête de déflection et la couche à ablater, ladite unité comprenant des moyens d'aspiration et de filtrage des résidus d'ablation et étant équipée d'un système de positionnement dudit dispositif sur ladite couche selon une force d'application prédéterminée.
Avantageusement, ladite unité de confinement comporte ledit avalotr de forme sensiblement tronconique qui est adapté pour être monté autour de ladite tête de déflection via une ouverture amont dudit avaloir (correspondant à la petite base du tronc de cône formé par l'avaloir) et qui est pourvu d'une entrée d'air à proximité immédiate de cette ouverture amont, de sorte à optimiser l'écoulement des gaz et aérosols d'ablation pour leur aspiration.
Selon une autre caractéristique de l'invention, ladite unité de confinement est pourvue, à proximité de l'ouverture aval de l'avaloir (correspondant à la grande base du tronc de cône précité), d'un moyen de visualisation de l'état de la couche à ablater qui est couplé à un système de traitement d'images pour distinguer les régions ablatées de celles qui ne le sont pas, et commander en conséquence le ou les miroirs galvanométriques.
Pour assurer un confinement dynamique, le débit d'aspiration est prévu pour assurer en tous point des entrées d'air un débit minimal de 0,5 m/s. En outre, ces entrées d'air doivent être agencées de manière à éviter les turbulences et rendre les écoulements laminaires : sous réserve du respect de cette dernière condition, le débit peut atteindre plusieurs centaines de m3/h. Conformément au mode de réalisation précité du procédé d'ablation selon l'invention se référant à la Demande de Brevet PCT/FR2004/050738 au nom de la Demanderesse, dans lequel ladite couche à ablater est située dans une zone de nettoyage telle qu'une zone contaminée, et ladite ou chaque tête laser est associée à des moyens de pompage fournissant un rayonnement électromagnétique à ladite tête, ledit dispositif d'ablation comporte une fibre optique reliant lesdits moyens de pompage à ladite tête laser et transmettant ledit rayonnement.
D'une manière générale, on notera que les dimensions du dispositif d'ablation selon l'invention peuvent varier en fonction de la superficie de la couche à ablater. En fonction de ces dimensions, ce dispositif d'ablation peut-être soit une machine portable mise en œuvre par un opérateur, soit une machine portée par un robot. Dans ce cas, on choisira une tête de déflection plus proche de la couche à ablater, par exemple située entre 200 mm et 400 mm.
Le dispositif d'ablation selon l'invention est par ailleurs équipé d'un système robotisé de positionnement (non illustré) conforme à l'état de l'art, qui est adapté pour positionner ce dispositif d'ablation contre la couche à ablater à des emplacements déterminés au centimètre près. De préférence, ce système de positionnement permet d'appliquer l'unité de confinement sur cette couche selon une force de quelques dizaines de newtons, par exemple d'environ 100 N. Des capteurs de position, comme des commutateurs électriques actionnés par le contact avec la paroi, est prévu pour informer l'opérateur ou le téléopérateur du bon positionnement du dispositif d'ablation sur la couche à ablater.
Préférentiellement, ladite ou chaque tête laser du dispositif d'ablation selon l'invention est de type laser à fibre. On notera toutefois que la ou chaque tête laser peut être constituée d'une manière générale de toute source laser (e.g. de type à barreau amplificateur en lieu et place de la fibre optique dudit laser à fibre) qui soit compatible avec les exigences du procédé d'ablation et dudit système de positionnement utilisé pour le dispositif d'ablation.
Conformément à la méthode de correction d'aberration sphérique précitée du procédé selon l'invention se référant à la Demande de Brevet FR05 50116, dans laquelle ladite ou chaque tête laser contient au moins un barreau laser pompé optiquement d'une manière transversale, on corrige l'aberration sphérique générée par les effets thermiques dans ladite tête laser en utilisant dans cette dernière un dispositif optique d'aberration sphérique négative d'amplitude proche mais de signe opposé à l'aberration due auxdits effets thermiques, de façon à compenser cette aberration vis-à-vis dudit faisceau laser.
Avantageusement, ce dispositif optique d'aberration sphérique négative comporte une lentille convergente ou une association de plusieurs lentilles dont l'une au moins est convergente, tel qu'un doublet afocal de deux lentilles convergentes.
Les caractéristiques précitées de la présente invention, ainsi que d'autres, seront mieux comprises à la lecture de la description suivante de plusieurs exemples de réalisation de l'invention, donnés à titre illustratif et non limitatif, ladite description étant réalisée en relation avec les dessins joints, parmi lesquels : la figure 1 est une vue de dessus schématique et éclatée d'un dispositif laser d'ablation superficielle d'une couche d'une paroi selon l'invention, la figure 2 est une vue en plan illustrant un exemple préférentiel selon l'invention de distribution géométrique des zones d'impact laser sur la surface de la couche à ablater, et la figure 3 est une vue en plan illustrant un exemple de combinaison de 2n = 4 faisceaux laser formant chacun la zone d'impact d'un tir sur cette surface. Le dispositif d'ablation 1 illustré à la figure 1 est plus particulièrement destiné à ablater une couche 2 de peinture murale à décontaminer dans une installation nucléaire, ce revêtement 2 correspondant à une surface dite de « catégorie 1 » dans ce domaine (Le. avec un soupçon de contamination de type par aérosols fixés par la peinture).
Le dispositif d'ablation 1 comporte un bâti 3 sur lequel sont essentiellement montés :
- au moins une tête laser 4 (une seule est représentée dans l'exemple de la figure 1) qui est reliée à des moyens de pompage (non illustrés),
- une tête de déflection 5 qui est prévue en aval de la ou des tête(s) laser 4 pour recevoir le ou les faisceau(x) laser incident(s) 7 d'orientation fixe par rapport au bâti 3, et les défléchir en faisceau(x) 6 animés d'un mouvement de balayage, cette tête comportant avantageusement à sa sortie un système optique de focalisation 5a constitué d'une lentille focalisant les tirs laser sur la surface de la couche 2 à ablater, et
- une unité de confinement 8 de l'espace compris entre la tête de déflection 5 et éventuellement son système de focalisation 5a, et la surface de la couche à ablater 2, qui comprend notamment des moyens d'aspiration et de filtrage 9 des résidus drablation.
La tête laser 4 illustrée est la tête fournie par le fabricant, c'est-à-dire l'extrémité aval (ou distale) d'un laser à fibre. Elle comporte une lentille de collimation prévue pour un diamètre de faisceau de 9 mm, et se trouve reliée par une fibre optique 4a à l'extrémité amont (ou proximale) du laser à fibre, non représenté sur la figure 1 , lequel est pourvu des moyens de pompage. Le laser à fibre utilisé est commercialisé par la société IPG sous la dénomination « YLP » (i.e. « Ytterbium Fiber Lasers »).
Le laser à fibre émet par sa tête laser 4 un faisceau laser 7 puisé dans le domaine infrarouge - avantageusement dans l'infrarouge proche - qui présente un diamètre allant de 2 à 15 mm et par exemple égal à 9 mm, ce diamètre étant considéré comme constant sur toute la longueur de son trajet dans l'air. Le faisceau étant gaussien, le pas entre 2 impacts vaut 1/e2. On considère que ce diamètre est aussi celui de la zone d'impact, le reste du faisceau étant en recouvrement avec l'impact suivant. Dans le cas d'une pluralité de faisceaux laser, les diverses têtes laser sont associées à ce niveau, éventuellement avec un dispositif permettant de rapprocher les axes des divers faisceaux. Chacun de ces faisceaux 7 est généré à une cadence de « récurrence » élevée de 20 kHz, avec une énergie par impulsion de 1 mJ et une qualité de faisceau M2 de l'ordre de 1 ,6.
La tête de déflection 5 comporte des miroirs galvanométriques commercialisés par la société ARGES sous la dénomination « RHINO », ou bien par la société SCANLAB sous la dénomination « hurrySCAN ». A sa sortie est fixé (dans la plupart des modes de réalisation) un système de focalisation constitué d'une lentille formant par exemple un objectif de
420 mm. De façon préférentielle, cette lentille est de type « F-théta » focalisant les tirs laser sur la surface de la couche 2 à ablater. Elle donne au point focal un faisceau 6 projeté sur la couche 2 avec un diamètre d'environ 100 μm, une fluence de 12 J/cm2 et une profondeur de champ de 10 mm.
L'unité de confinement 8 comporte un avaloir 10 de forme sensiblement tronconique qui est adapté pour être monté par sa petite base sur le bâti 3, autour de la tête de déflection 5 (voir flèche F1 à la figure 1). L'avaloir 10 est pourvu, en son extrémité destinée à être montée autour de la tête de déflection 5, d'une ouverture 10a de type hublot prévue pour laisser passer le faisceau laser focalisé 6. Cette ouverture peut aussi être réalisée en effectuant le montage de l'avaloir 10 sur la tête de déflection 5 par l'intermédiaire d'entretoises.
L'avaloir 10 est avantageusement pourvu d'une caméra externe 11 à proximité de son autre ouverture 10b qui est destinée à être appliquée sur la couche 2 à ablater, cette caméra 11 étant destinée à la visualisation de l'état de la couche 2 afin de contrôler et de commander l'ablation. Avantageusement, on adjoint une source de lumière ultraviolette à cette caméra 11 , de sorte à améliorer le contraste de la couche de peinture 2 par rapport au matériau de support sous-jacent (par exemple du béton). La caméra 11 est couplée à un système de traitement d'images (non illustré), par exemple par binarisation de l'image après seuillage, qui est conçu pour permettre de distinguer les régions ablatées de la couche 2 de celles qui ne le sont pas et, suite à un transfert de l'image ainsi obtenue à un logiciel de gestion équipant la tête de déflection 5, pour commander en conséquence les miroirs du système optique de focalisation.
L'avaloir 10 est prévu pour assurer un confinement dynamique des gaz et aérosols tout en protégeant l'opérateur et, via une entrée d'air (non représentée), augmentée par les entretoises de fixation ci- dessus, il autorise un écoulement laminaire de ces gaz et aérosols afin de les récupérer dans des filtres 12 équipant les moyens d'aspiration 9 dont le débit est de 180 m3/h.
Ces filtres 12 sont spécifiquement conçus pour ne pas être colmatés par les résidus d'ablation, grâce à une caractérisation préalable de ces derniers. Un filtre 12 de type « THE » (i.e. très haute efficacité) équipe avantageusement ces moyens d'aspiration 9, de sorte à former une barrière ultime pour ces résidus d'ablation. Le choix des filtres 12 dépend de la nature, de la masse et de la taille des particules générées par l'ablation.
Selon une variante, le dispositif d'ablation selon l'invention possède une pluralité de faisceaux laser, chacun étant associé à une tête de déflection qui lui est propre, et cette pluralité d'associations d'une source laser et d'une tête de déflection est alors intégrée à un seul et même avaloir. Il va de soi qu'alors le synchronisme des faisceaux importe peu : seule compte la juxtaposition des parties ablatées qu'ils créent.
Le dispositif d'ablation 1 peut être équipé d'une interface appropriée le rendant automatisé et porté par un dispositif polyarticulé (non illustré), tel qu'un porteur spécial, un portique motorisé ou un bras robotisé, pour assurer son déplacement visant à couvrir une superficie d'ablation donnée. Le dispositif d'ablation 1 selon l'invention fonctionne de la manière suivante, comme illustré en relation avec les figures 1 et 2.
On met en place le dispositif d'ablation 1 contre la couche 2 de peinture à une distance D de l'ordre de 500 mm de celle-ci, via un système de positionnement (non illustré) de l'unité de confinement 8, puis on réalise les tirs de faisceaux laser 6 en commandant le mouvement des miroirs du de la tête de déflection 5 (i.e. sans déplacer cette dernière), de manière à décrire le balayage suivant de la partie à ablater.
Comme illustré à la figure 2, ce balayage est tel que les zones d'impact 11 , 12, 13, ... obtenues sur la couche 2 décrivent successivement une pluralité de lignes L1 , L2, L3, ..., Ln, Ln+1 , Ln+2, ... parallèles et sensiblement jointives, chaque ligne correspondant à une succession de tirs dont les zones d'impact 11 , 12, 13, ... sont elles-mêmes sensiblement jointives entre elles (voir les flèches F2 et F3 illustrant ce balayage bidimensionnel). Dans un premier temps, on décrit un premier groupe de lignes
L1 , L2, L3, ..., Ln en les séparant deux à deux entre elles d'un pas d prédéterminé correspondant sensiblement au diamètre de chaque faisceau 6 sur la couche 2, puis, dans un second temps, on décrit un second groupe de lignes Ln+1 , Ln+2, ... chacune insérées de manière sensiblement jointive entre deux lignes L1 et L2, L2 et L3, ... consécutives du premier groupe.
On a réalisé des essais d'ablation à une vitesse de déplacement de 2m/s pour les faisceaux focalisés 6, ce qui permet d'assurer des zones d'impact jointives 11 , 12, 13, ..., en relation avec la fréquence des tirs laser utilisée qui est de 20 kHz (voir les contours circulaires de ces zones d'impacts qui sont tangents entre eux).
On notera que ce balayage linéaire et sensiblement jointif permet de minimiser les recouvrements entre zones d'impact 11 , 12, 13, ... et d'ablater uniquement les régions de la couche 2 qui n'ont pas encore été parfaitement traitées, permettant ainsi un gain de temps pour l'ablation complète de la couche 2. On a ainsi obtenu une ablation satisfaisante, rapide et propre d'une superficie de 625 cm2 de la couche 2 de peinture sans avoir à déplacer le dispositif d'ablation 1 , avec une épaisseur de couche 2 de peinture ablatée de l'ordre de 36 μm au m2 en 2 heures et sans « re-dépôt », fumées ni dispersion de résidus dans la salle d'ablation, grâce à l'aspiration et au filtrage procurés par l'unité de confinement 8.
On notera également que les servitudes liées au dispositif d'ablation 1 (i.e. électricité, air comprimé) sont réduites et peuvent être aisément déportées hors de la zone de nettoyage.
Comme illustré à la figure 3, on peut utiliser avantageusement quatre faisceaux lasers 6a, 6b, 6c et 6d synchronisés temporellement qui sont respectivement obtenus par quatre têtes laser et qui sont avantageusement juxtaposés en carré à l'aide d'un prisme à quatre facettes, en vue de doubler la vitesse de balayage d'une ligne L1 , L2, L3, ..., Ln, Ln+1 , Ln+2, ...et le pas entre deux lignes consécutives du premier groupe précité, pour l'obtention d'une vitesse globale d'ablation multipliée par quatre. De cette manière, on obtient une ablation tout aussi satisfaisante, propre et encore plus rapide de la couche 2 de peinture, avec une épaisseur de peinture 2 ablatée de l'ordre de 36 μm au m2 en seulement une demi-heure.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé d'ablation d'une couche superficielle (2) d'une paroi, ledit procédé comprenant au moins une passe de balayage de tirs sur ladite couche d'au moins un faisceau laser (6 ou 6a, 6b, 6c, 6d) puisé avec une qualité de faisceau M2 inférieure à 20, caractérisé en ce qu'il comprend une commande directionnelle desdits tirs par déflection optique, de telle sorte que les zones d'impact simples ou composites desdits tirs sur ladite couche soient disjointes ou sensiblement jointives avec un recouvrement minimisé.
2. Procédé d'ablation selon la revendication 1 , caractérisé en ce qu'il comprend : a) une estimation préalable de la fluence fo dudit ou de chaque faisceau sur ladite couche qui est requise à chaque impulsion pour ladite ou chaque passe, en tenant compte de paramètres comprenant le matériau constituant ladite couche ablater et l'état de surface de cette dernière, puis b) un réglage de l'énergie dudit ou de chaque faisceau à chaque impulsion et/ou de la plus grande dimension transversale dudit ou de chaque faisceau puisé, pour l'obtention de ladite fluence fo.
3. Procédé d'ablation selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend, antérieurement à ladite estimation de la fluence, une estimation du nombre desdites passes requises, en tenant compte du matériau constituant ladite couche, de l'épaisseur de cette dernière et de la cadence dudit balayage de tirs.
4. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la zone d'impact (11 , 12, 13, ...) correspondant à chacun desdits tirs est constituée par un nombre pair de faisceaux lasers (6a, 6b, 6c et 6d) synchronisés temporellement et juxtaposés, par exemple au moyen d'un prisme, de manière à former un motif géométrique de répétition dont le contour est polygonal.
5. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'on réalise ledit balayage de tirs au moyen d'une tête de déflection immobile qui est située à une distance (D) de ladite couche (2) à ablater comprise entre 200 mm et 1 m.
6. Procédé d'ablation selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'on met en œuvre ledit balayage en commandant le mouvement d'au moins un miroir galvanométrique qui est logé dans ladite tête de déflection (5) pour défléchir le ou lesdïts faisceaux (6 ou 6a, 6b, 6c, 6d) en une multitude d'emplacements de ladite couche (2), de manière à atteindre des régions de cette dernière non encore ablatées.
7. Procédé d'ablation selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que ladite tête de déflection (5) comporte au moins deux miroirs galvanométriques que l'on commande de telle manière que lesdites zones d'impact (H , 12, 13, ...) décrivent successivement une pluralité de lignes (L1 , L2, L3, ..., Ln, Ln+1 , Ln+2, ...) parallèles et sensiblement jointives sur ladite couche (2), chaque ligne étant constituée d'une suite desdites zones d'impacts.
8. Procédé d'ablation selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'on met en œuvre ledit balayage de manière à décrire successivement :
- un premier groupe desdites lignes (L1 , L2, L3,..., Ln) en les séparant deux à deux entre elles d'un pas prédéterminé correspondant sensiblement à ladite plus grande dimension (d) de chaque zone d'impact (11 , 12, 13, ...) sur ladite couche (2), puis
- un second groupe desdites lignes (Ln+1 , Ln+2, ...) qui sont chacune insérées de manière sensiblement jointive entre deux lignes consécutives (L1 et L2, L2 et L3) dudit premier groupe.
9. Procédé d'ablation selon une des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que l'on utilise une technique de visualisation de l'état de ladite couche (2), telle qu'un contrôle par caméra (11 ), par augmentation de contraste obtenu par exemple par fluorescence, ladite technique étant couplée à un traitement d'images pour distinguer les régions ablatées de celles qui ne le sont pas et commander en conséquence le mouvement dudit ou desdits miroirs galvanométriques de ladite tête de déflection.
10. Procédé d'ablation selon une des revendications 5 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend, lors dudit balayage, un confinement de l'espace compris entre ladite tête de déflection (5) et ladite couche (2) à ablater, ledit confinement incluant une aspiration et un filtrage des résidus d'ablation.
11. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit ou chaque faisceau laser (6 ou 6a, 6b, 6c, 6d) est puisé selon des durées d'impulsions qui sont chacune supérieures comprises entre 20 ns et 500 μs.
12. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite fluence f0 est comprise entre 1 J/cm2 et 50 J/cm2.
13. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdites zones d'impact présentent chacune une plus grande dimension qui est comprise entre 10 μm et 500 μm.
14. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, ladite couche à ablater étant constituée d'un revêtement de peinture dans une installation nucléaire, caractérisé en ce que chaque faisceau laser présente à chaque impulsion une énergie comprise entre 0,1 mJ et iO mJ.
15. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'on effectue ledit balayage de tirs selon une cadence supérieure à 500 Hz.
16. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, ledit ou chaque faisceau (7) étant émis par au moins une tête laser contenant au moins un barreau laser pompé optiquement d'une manière transversale, caractérisé en ce que l'on corrige l'aberration sphérique générée par les effets thermiques dans ladite tête laser en utilisant dans cette dernière un dispositif optique d'aberration sphérique négative d'amplitude proche mais de signe opposé à l'aberration due auxdits effets thermiques, de façon à compenser cette aberration vis-à-vis dudit faisceau laser.
17. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, ladite couche (2) à ablater étant située dans une zone de nettoyage telle qu'une zone contaminée, et ledit ou chaque faisceau (7) étant émis par au moins une tête laser associée à des moyens de pompage, caractérisé en ce que l'on associe ladite ou chaque tête laser auxdits moyens de pompage par l'intermédiaire d'une fibre optique transmettant ledit rayonnement, de telle sorte que lesdits moyens de pompage soient maintenus à l'extérieur de ladite zone de nettoyage.
18. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit ou chaque faisceau laser (6 ou 6a,
6b, 6c, 6d) est puisé dans le domaine infrarouge.
19. Procédé d'ablation selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit ou chaque faisceau (7) est émis par une tête laser (4) constituant l'extrémité aval d'un laser à fibre.
20. Dispositif d'ablation (1 ) pour la mise en oeuvre du procédé selon une des revendications précédentes, ledit dispositif comportant au moins une tête laser (4) prévue pour générer un faisceau laser puisé (7) et une tête de déflection (5) montée fixe en aval de ladite ou chaque tête laser pour défléchir des tirs d'au moins un faisceau (6 ou 6a, 6b, 6c, 6d) sur une couche superficielle (2) d'une paroi, en réalisant un balayage sur ladite couche selon des durées d'impulsions pouvant être chacune comprises entre 20 ns et 500 μs, caractérisé en ce que ladite ou chaque tête laser est adaptée pour pouvoir générer ledit ou chaque faisceau (7) avec une énergie comprise entre 0,1 mJ et 10 mJ, et en ce que ladite tête de déflection est adaptée pour défléchir ledit ou chaque faisceau (6 ou 6a, 6b, 6c, 6d) en lui conférant une plus grande dimension transversales sur ladite couche pouvant être comprise entre 10 μm et 500 μm.
21. Dispositif d'ablation (1 ) selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite tête de déflection (5) comporte au moins un miroir galvanométrique qui est mobile sous la commande de moyens de commande.
22. Dispositif d'ablation (1 ) selon la revendication 20 ou 21 , caractérisé en ce qu'il comporte une unité de confinement (8) de l'espace compris entre ladite couche (2) à ablater et ladite tête de déflection (5), ladite unité de confinement comprenant des moyens d'aspiration (9) et de filtrage (12) des résidus d'ablation et étant équipée d'un système de positionnement dudit dispositif sur ladite couche selon une force d'application prédéterminée.
23. Dispositif d'ablation (1) selon les revendications 20 à 22, caractérisé en ce que ladite unité de confinement (8) est pourvue d'un moyen de visualisation de l'état de ladite couche (2), tel qu'une caméra (11 ), qui est couplé à un système de traitement d'images pour distinguer les régions ablatées de celles qui ne le sont pas, et commander en conséquence ledit ou lesdits miroirs galvanométriques.
24. Dispositif d'ablation (1) selon une des revendications 20 à 23, caractérisé en ce que ladite ou chaque tête laser (4) est de type laser à fibre.
25. Dispositif d'ablation (1) selon une des revendications 20 à 23, ladite ou chaque tête laser contenant au moins un barreau laser pompé optiquement d'une manière transversale, caractérisé en ce que l'on corrige l'aberration sphérique générée par les effets thermiques dans ladite tête laser en utilisant dans cette dernière un dispositif optique d'aberration sphérique négative d'amplitude proche mais de signe opposé à l'aberration due auxdits effets thermiques, de façon à compenser cette aberration vis-à-vis dudit faisceau laser.
26. Dispositif d'ablation (1 ) selon la revendication 25, caractérisé en ce que ledit dispositif optique d'aberration sphérique négative comporte une lentille convergente ou une association de plusieurs lentilles dont l'une au moins est convergente, tel qu'un doublet afocal de deux lentilles convergentes.
PCT/FR2006/001119 2005-06-20 2006-05-18 Procede et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi, telle qu'un revetement de peinture dans une installation nucleaire. WO2006136669A1 (fr)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100000977A1 (en) * 2008-07-07 2010-01-07 Ashok Sudhakar Method for removal of content-based stripe and the like on a substrate and equipment thereof
JP2012513019A (ja) * 2008-12-19 2012-06-07 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ 壁の表面の層を除去する方法及び除去装置
US11440062B2 (en) 2019-11-07 2022-09-13 General Electric Company System and method for cleaning a tube

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007101112A1 (fr) * 2006-02-24 2007-09-07 Uvtech Systems, Inc. Procédé et appareil pour administration de rayonnement laser pulsé
JP2008055456A (ja) * 2006-08-30 2008-03-13 Sumitomo Electric Ind Ltd 半田付け方法および半田付け用レーザ装置
US7843633B2 (en) * 2007-01-15 2010-11-30 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Laser processing apparatus
DE102007006330A1 (de) 2007-02-08 2008-08-14 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Laserschweißen
JP5176853B2 (ja) * 2007-10-09 2013-04-03 住友電気工業株式会社 光学モジュール及びそれを含む光源装置
FR2940154B1 (fr) 2008-12-23 2011-02-25 Commissariat Energie Atomique Avaloir d'aspiration de particules fines et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi comprenant un tel avaloir
FR2940153B1 (fr) 2008-12-23 2011-02-25 Commissariat Energie Atomique Embouchure d'avaloir d'aspiration de particules fines et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi comprenant un tel avaloir
JP5500620B2 (ja) * 2009-04-28 2014-05-21 独立行政法人日本原子力研究開発機構 除染装置及び除染方法
FR2954199B1 (fr) * 2009-12-22 2013-07-26 Commissariat Energie Atomique Procede d'ablation d'une surface en trois dimensions grace a un dispositif d'ablation laser, et dispositif de mise en oeuvre du procede
BR112018075413A2 (pt) 2016-09-26 2019-04-09 Saint-Gobain Glass France dispositivo e método para produzir e método para produzir um revestimento funcional estampado para uma camada de vidro
EP4017665A4 (fr) * 2019-08-21 2023-09-27 Jie Qiao Procédé et système pour l'élimination, le façonnage et le polissage d'un matériau à base de laser ultrarapide
JP7479213B2 (ja) 2020-06-18 2024-05-08 日鉄テックスエンジ株式会社 下地処理方法および下地処理装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0091646A1 (fr) * 1982-04-14 1983-10-19 Westinghouse Electric Corporation Méthode de décontamination par laser
FR2700882A1 (fr) * 1993-01-26 1994-07-29 Commissariat Energie Atomique Procédé et installation de décontamination d'une surface radioactive au moyen d'un faisceau de lumière cohérente.
EP0642846A1 (fr) * 1993-08-12 1995-03-15 ONET Société Anonyme Procédé et dispositif de décontamination autocontrôlé de surfaces par laser
FR2863916A1 (fr) * 2003-12-19 2005-06-24 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif de nettoyage d'une surface au moyen d'un faisceau laser

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
LU71852A1 (fr) * 1975-02-14 1977-01-05
DE2943107C2 (de) * 1979-10-25 1984-07-26 Robert 6600 Saarbrücken Langen Verfahren zum Entrosten
US4455045A (en) 1981-10-26 1984-06-19 Wheeler Gary O Means for maintaining attached flow of a flowing medium
US4756765A (en) * 1982-01-26 1988-07-12 Avco Research Laboratory, Inc. Laser removal of poor thermally-conductive materials
US4949358A (en) * 1988-04-25 1990-08-14 Coherent, Inc. Ring laser with improved beam quality
FR2641718B1 (fr) * 1989-01-17 1992-03-20 Ardt Procede de nettoyage de la surface de matieres solides et dispositif de mise en oeuvre de ce procede, utilisant un laser impulsionnel de puissance, a impulsions courtes, dont on focalise le faisceau sur la surface a nettoyer
JPH06292986A (ja) * 1993-04-09 1994-10-21 Nippon Steel Corp レーザ加工装置の制御方法
JP2811270B2 (ja) * 1993-04-30 1998-10-15 新日本製鐵株式会社 鋼板へのレーザマーキング方法
GB9412238D0 (en) * 1994-06-17 1994-08-10 British Nuclear Fuels Plc Removing contamination
US5662762A (en) * 1995-07-07 1997-09-02 Clover Industries, Inc. Laser-based system and method for stripping coatings from substrates
US5780806A (en) * 1995-07-25 1998-07-14 Lockheed Idaho Technologies Company Laser ablation system, and method of decontaminating surfaces
US5736709A (en) * 1996-08-12 1998-04-07 Armco Inc. Descaling metal with a laser having a very short pulse width and high average power
JPH1128900A (ja) * 1997-05-12 1999-02-02 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置
JPH10305376A (ja) * 1997-05-12 1998-11-17 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ処理装置と塗装除去方法
TW482705B (en) * 1999-05-28 2002-04-11 Electro Scient Ind Inc Beam shaping and projection imaging with solid state UV Gaussian beam to form blind vias
JP4098937B2 (ja) * 1999-11-24 2008-06-11 ミヤチテクノス株式会社 二次元バーコードのレーザマーキング方法及び装置
US7157038B2 (en) * 2000-09-20 2007-01-02 Electro Scientific Industries, Inc. Ultraviolet laser ablative patterning of microstructures in semiconductors
JP4340945B2 (ja) * 2000-10-31 2009-10-07 澁谷工業株式会社 レーザ加工機
US6693255B2 (en) * 2001-03-22 2004-02-17 R. F. Envirotech, Inc. Laser ablation cleaning
JP4510757B2 (ja) * 2003-03-19 2010-07-28 新日本製鐵株式会社 磁気特性の優れた方向性電磁鋼板とその製造方法
JP4247383B2 (ja) * 2003-08-28 2009-04-02 独立行政法人産業技術総合研究所 透明材料の微細アブレーション加工方法
JP2005082414A (ja) * 2003-09-04 2005-03-31 Tokyo Metropolis セラミック材の切削方法及び切削装置
JP4182034B2 (ja) * 2004-08-05 2008-11-19 ファナック株式会社 切断加工用レーザ装置
FR2880736B1 (fr) 2005-01-13 2007-03-02 Commissariat Energie Atomique Procede de correction d'aberrations provoques par les effets thermiques dans une cavite laser

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0091646A1 (fr) * 1982-04-14 1983-10-19 Westinghouse Electric Corporation Méthode de décontamination par laser
FR2700882A1 (fr) * 1993-01-26 1994-07-29 Commissariat Energie Atomique Procédé et installation de décontamination d'une surface radioactive au moyen d'un faisceau de lumière cohérente.
EP0642846A1 (fr) * 1993-08-12 1995-03-15 ONET Société Anonyme Procédé et dispositif de décontamination autocontrôlé de surfaces par laser
FR2863916A1 (fr) * 2003-12-19 2005-06-24 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif de nettoyage d'une surface au moyen d'un faisceau laser

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100000977A1 (en) * 2008-07-07 2010-01-07 Ashok Sudhakar Method for removal of content-based stripe and the like on a substrate and equipment thereof
JP2012513019A (ja) * 2008-12-19 2012-06-07 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ 壁の表面の層を除去する方法及び除去装置
US11440062B2 (en) 2019-11-07 2022-09-13 General Electric Company System and method for cleaning a tube

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