JP2012513019A - 壁の表面の層を除去する方法及び除去装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図5
Description
・光学的なデフレクタ5:レーザー源4の下流側に配置されている。レーザー光線7を受け入れて、それらが払い除き動作を行うように偏向させる。デフレクタ5は、その出力部に偏向ヘッド5aを有し、偏向ヘッド5aは、除去する層2の表面にレーザー光線7の焦点を合わせるフォーカスレンズ6を有している。
・制限ユニット8:デフレクタ5及び好ましくは偏向ヘッド5aと、除去する層2の表面との間の空間に用いられる。除去残留物を吸引、濾過する手段9を有している。
図8a〜図8dに、誘導装置におけるこれらの可能な異なった手段を示す。手段は固定された大きさの制約に基づいて選択されることに留意すべきである。
・各ペンタプリズム22と中央の偏向プリズム20との間の第2の光学軸BB’
・中央の偏向プリズム20とデフレクタ5の光取入口5bとの間の第3の光学軸AA’
Claims (8)
- 壁(P)の表面の層(2)を払い除くことにより、層(2)を除去する方法であって、
光学的なデフレクタ(5)によって複数のパルスレーザー光線(7)を直接的に制御するステップ(Ecom)と、
複数のレーザー光線(7)によって生成される複数の衝突領域(ILC)で、層(2)を除去するステップ(Eab)と、
を含み、
各衝突領域(ILC)は、中心(C)と、特性寸法(d1、d2、d3)とによって規定されており、
衝突領域(ILC)が互いに離れていて、各々の衝突領域(ILC)の中心(C)間の距離(DI)が、衝突領域(ILC)の最も大きな特性寸法(d1、d2、d3)の少なくとも10倍に設定されていることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、
層(2)上の複数の衝突領域(ILC)が、1cm2の位の表面(MLC)の範囲内に限定されている方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の方法において、
制御ステップ(Ec)に先だって、
複数のレーザー源(4)によって複数のレーザー光線を生成するステップ(Egen)と、
生成した光線を光線誘導装置(DG)によってデフレクタ(5)の光取入口(5b)に誘導するステップ(Egui)と、
を含む方法。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1つに記載の方法において、
各々の衝突領域(ILC)の中心(C)間の前記距離(DI)が、衝突領域(ILC)の最も大きな特性寸法(d1、d2、d3)の50倍〜100倍の間に設定されている方法。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1つに記載の方法を実行するための除去装置(1)であって、
パルスレーザー光線(7)を生成する複数のレーザー源(4)と、
レーザー源(4)の下流側に配置され、壁(P)の表面の層(2)に光線(7)を偏向する光学的なデフレクタ(5)と、
生成された光線(7)をデフレクタ(5)の光取入口(5b)に誘導する誘導装置(DG)と、
を備え、
光取入口(5b)は、各レーザー光線(7)の大きさに対応しており、
衝突領域(ILC)が互いに離れていて、各々の衝突領域(ILC)の中心(C)間の距離(DI)が、衝突領域(ILC)の最も大きな特性寸法(d1、d2、d3)の少なくとも10倍に設定されるように構成されている除去装置。 - 請求項5に記載の除去装置において、
誘導装置(DG)は、バヨネットの構成で配置された2つの反射ミラー(M1、M2)を備え、
第1のミラー(M1)によって、レーザー源(4)から出力される全ての光線が、デフレクタ(5)の光取入口(5b)へ光線を反射する第2のミラー(M2)へ反射されるように、レーザー源(4)が配置されている除去装置。 - 請求項5に記載の除去装置において、
複数のレーザー源(4)が、これらレーザー源(4)の個数と同数の面を有する、中央の偏向プリズム(20)の周囲に星形状に配置されており、
各レーザー源(4)と、中央の偏向プリズム(20)との間の第1の光学軸(BB’)と、
中央の偏向プリズム(20)と、デフレクタ(5)の光取入口(5b)との間の第2の光学軸(AA’)と、
を有し、
各第1の光学軸(BB’)と、第2の光学軸(AA’)とが互いに直交している除去装置。 - 請求項5に記載の除去装置において、
複数のレーザー源(4)が、これらレーザー源(4)の個数と同数の面を有する、中央の偏向プリズム(20)の周囲に星形状に配置されており、
誘導装置(DG)は、各レーザー源4に付随したペンタプリズム(22)を有し、
各ペンタプリズム(20)は、付随する各レーザー源(4)から出力される光線を中央の偏向プリズム(20)へ反射し、
各レーザー源(4)と各ペンタプリズム(22)との間の第1の光学軸(CC’)と、
各ペンタプリズム(22)と中央の偏向プリズム(20)との間の第2の光学軸(BB’)と、
中央の偏向プリズム(20)とデフレクタ(5)の光取入口(5b)との間の第3の光学軸(AA’)と、
を有し、
各第1の光学軸(CC’)が、各第2の光学軸(BB’)と互いに直交し、かつ、第3の光学軸(AA’)と互いに平行している除去装置。
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