WO2006115042A1 - 屈折率測定用具、屈折率測定装置及び屈折率測定方法 - Google Patents

Abstract

　屈折率測定用具は、試料を収容する収容部（Ｓ０）と、外部から光）Ｌ）が入射する外側入射面（Ｓ１）と、外側入射面（Ｓ１）から入射した光（Ｌ）を収容部（Ｓ０）に出射する内側出射面（Ｓ２）と、内側出射面（Ｓ２）から出射して収容部（Ｓ０）を通過した光（Ｌ）が入射する内側入射面（Ｓ３）と、内側入射面（Ｓ３）から入射した光（Ｌ）を外部に出射する外側出射面（Ｓ４）とを有する。外側入射面（Ｓ１）と内側出射面（Ｓ２）とが互いに非平行の関係と、内側入射面（Ｓ３）と外側出射面（Ｓ４）とが互いに非平行の関係との少なくとも一方を満足する。

Description

細 書

折率 、

、屈折率 定装置及び 折率 定方法

術分野

０００1 、 体や の 料の 折率を測定するための 折率 、並 びにこれを用 た 折率 定装置及び 折率 定方法に関する。

、 2００5 4 8日に出願 れた 2００5 2０ 77号に基 き 先権 を主張し、その 容をここに援用する。

０００2 在、半導体 置では、解像 の 上を図るために、 術の 発が 進められて る。この 、ウ ンズ の間の空間を液 体 満たし、解像 を向上 よ とするものである。

０００3 ここで、 ズの 口数 (N me ca Ape e)は、 ンズの 質の 折率を し、 ンズ 辺を通 た光線が光軸とのなす角を した きに、 ・sn で れ 。

表 る。この 合、 ０ 9０ を超えることはな ので、 ズの 口数 の 大 値 である。また、光線の 長を とする 、 ンズのスポッ 径は、 に比例 する。したが て、露光 (ステッ など) 学系の 、露光波長 同じであるならば、 ンズの 口数 が大き ほど 上する。

０００4 常の 置では、 ズの の 質が空気 の ( )であり、一般に ンズの 口数 よりもⅡ 。これに対して、 置では、 ズの に空気よりも屈折率の き 体を配置し、 ンズの 口数 を よりも大き す るこ で、よ 高 理を行 こ ができる。

０００5 ころで、このよ 置に使用される 、光学系の 部 して機能 するので、その 折率を予 定してお 必要がある。 来、このよ な 体の 折 率の 定方法 して、例えば ～7 び非 に記載された方法が ある。

０００6 体的に、 体の 折率を最小 角法で測定する場合には、例えば 9に示す よ なプ ズム ００を用 て る。このプ ズム ００は、透明な平行平面 体を収容する収容 ０ が形成 れた三角柱状の 器体である。 角 法でほ、このプ ズム ００の 角 、空のプ ズム ００に 折した光線 の 角 、 体が収容 れたプ ズム ００に 折した光線の 角とをそれぞれ 定した後に、これら 果に基 体の 折率を算出する ０００7 置でほ、できるだけ 折率の 体を使用することが望まれるものの 、屈折率の 般的に吸収 数が大き 、その 部を通過した光の透 が低下しやす 。このため、従来のプ ズム を用 て、吸収 数の きな 体の 折率を測定しょ する 、測定 の 量が不足する 題があ た。 ０００8 数の きな 質の 折率を測定する方法 しては、表面に光線を斜め入 さ て、その 射光線の 光解析 ら 折率を測定する方法もある。この 、最 小 角法 比較して 度が 、高 度が要求される 体の 折率の 定に は不向きである。

63 6644

2: ０239

3: 7 286957

4: 7 557００

5: 7 557０

6: 8 433０

7: 29522０

:H osh Yosh a Ana oma c Spec o e ac ome e So ds and q ds om henea UV o henea R (J Ph E: c ns m21(1998)571 578 P n ed n heUK)

明の

明が解決しよ する課題

０００9 、吸収 数の き 料の 折率を高 度に 定するこ ができる 折 率 、並びに、その 折率 具を用 た 折率 定装置及び 折率 定方法を提供することを目的とする。 題を解決するための

明の 様に従えば、試料を収容する収容 、外部 ら光が入 する 外側 、外側 面 ら した光を収容 に出 する内側出 、内側 出 面 ら して収容 を通過した光が入 する内側 、内側 面 ら した光を外部に出 する外側出 を有し、外側 内側出 が互 に 行の 係 、内側 外側出 が互 に 行の 係 の な も一方 足するこ を特徴 する 折率 具が提供 れる。

の にお て、内側出 内側 のなす ひ 、外側 外 側出 のなす が、 の関 足するよ にできる。

また、 の にお て、内側出 内側 のなす 、外側 と外側出 とのなす が、 の関 足するよ にできる。

また、 の にお て、内側出 内側 とのなす 、外側 と外側出 とのなす が、収容 を通過する光の経路に対して同じ側にある よ にできる。

また、 の にお て、内側出 内側 とのなす 、外側 と外側出 とのなす が、収容 を通過する光の経路に対して反対 にある よ にできる。

また、 の にお て、内側出 内側 とのなす の 等分 、 外側 と外側出 とのなす の 等分 とが互 に一致して るよ にで きる。

また、 の にお て、内側出 内側 のなす 。

6０ 下で あるよ にできる。

また、 の にお て、外側 面及び 側出 を構成する プ ズム 、内側 面及び 側出 を構成する 2のプ ズム を有し、 のプ ズ ム 第2のプ ズム が互 の を突き合わ て 合されるこ によ て、内 側出 内側 のなす 頂角 する が内側出 内側

の間に形成されるよ にできる。

また、 の にお て、内側出 面及び 共に収容 の 側面を 成する側壁 、収容 の 面を構成する を有し、側壁が第 プ ズム体及 び 2のプ ズム 互 の を突き合わ て 合 れ、 が第 プ ズム 、第2のプ ズム体及び 壁 互 の を突き合わ て 合 れることによ て、上面を収容 に臨 口部 するプ ズム が 成 れるよ にできる。

また、 の 様にお て、収容 の 側面を構成する一対の 壁を有し、一対の 壁が第 プ ズム体及び 2のプ ズム と互 の を突き合わ て 合 れるこ によ て、上面を収容 に臨 口部 するプ ズム が 成 れるよ に できる。

また、 の にお て、外側 外側出 の な も一方の 、プ ズム体が配置されて るよ にできる。

明の 2の 様に従えば、試料を収容する収容 、外部 ら光が入 する 外側 、外側 面 ら人射した光を収容 に出 する内側出 、内側 出 面 ら して収容 を通過した光が人射する内側 、内側 面 ら した光を外部に出 する外側出 を有するプ ズム 、外側 外 側出 の な も一方の に配置されたプ ズム を備える 折率 具が提供される。

明の 3の 様に従えば、試料が収容される収容 、外部 ら光が入 す る外側 、外側 面 ら した光を収容 に出 する内側出 、内 側出 面 ら して収容 を通過した光が入 する内側 、内側 面 ら した光を外部に出 する外側出 、内側出 内側 との な とも一方の にお て光の波長による偏角の 散を大き する手段とを備える 折率 具が提供 れる。

明の 4の 様に従えば、光を出 する 、上記の 折率 具を設 置する設置 、 源 ら れて前記 折率 具を通過した光を検出する 検出 とを備える 折率 定装置が提供 れる。

明の 5の 様に従えば、上記の 折率 具に試料を収容するステップ 、前記 折率 具に光を照射するステップ 、前記 折率 具を通過し た光を検出するステップ 、検出 果に基 て 料の 折率を算出するステップ 定方法が提供 れる。

明の

００11 明では、外側 内側出 が互 に 行の 係 、内側

外側出 が互 に 行の 係 の な も一方 足するこ で、外側 内側出 が互 に平行、 、内側 外側出 が互 に平行の 足する場合に比 て、光の波長による偏角の 散を大き するこ ができる また、 明では、内側出 内側 の な も一方の にお て光 の波長による偏角の 散を大き するこ で、プ ズム を通過した光をスペク 解するこ ができる。

また、 明でほ、内側出 内側 のなす することによ て 、内側出 と内側 との間の距離を短 し、収容 に収容 れた試料を通過 する光の透 を高めことができる。

したが て、 明によれば、測定に必要な光量を確保し、吸収 数が大き 料 の 折率を高 度に 定することができる。

面の 単な説明

００12 、 明による 折率の 理を説明するための である。

[ 2 2は、プ ズムの 布を示す である。

[ 3 3は、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。

[ 4 4は、 明のプ ズム を用 た 折率 定を説明するための で ある。

[ 5 5は、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。

[ 6 6は、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。

[ 7 7 、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。

[ 8 8 、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。

[ 9 9 、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。

[ 1０ ０ 、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。

[ 、 明のプ ズム の 例を示す 面図である。 [ 12 2 、 明を適用した 折率 具の 構成 を示す である

[ A は、 のプ ズム体及び 2のプ ズム体の接合を説明するために 要部を拡大して 面図である。

[ 13B 3 、 のプ ズム体及び 2のプ ズム体の接合を説明するために 要部を拡大して 面図である。

[ 13C 3Cは、 のプ ズム体及び 2のプ ズム体の接合を説明するために 要部を拡大して 面図である。

[ 13D 3 は、 のプ ズム体及び 2のプ ズム体の接合を説明するために 要部を拡大して 面図である。

[ 13E 3 は、 のプ ズム体及び 2のプ ズム体の接合を説明するために 要部を拡大して 面図である。

[ 14 4は、 明を適用した 折率 定装置の 構成 を示す 面図である [ 15 5は、最小 角法による 折率 定を説明するための 面図である。

[ 16 6は、 明を適用した 折率 具の別の構 を示す であ る。

[ 17 7 、 明を適用した 折率 定装置の別の構 を示す 面図であ る。

[ 18 8 、 ブ ック法による 折率 定を説明するための 面図である。

[ 19 9 、従来のプ ズム の 成を示す である。

号の

… 折率 、 2…プ ズム 、 2a・‥ 、 3… プ ズム 、4‥ 2のプ ズム 、 5… 壁、6… 、 7… 、 3０… 折率 定装置、 3 … 32…チョッ 、 33 メ タ 、 34…ステ ジ、 35… 遠鏡、 36… 、 5 0… 折率 、 5 …プ ズム 、 52… 、 53… プ ズム 、 54 2のプ ズム 、 55a 55b… 対の 壁、 7０… 折率 定装置、 7 … 、 72 … メ タ 、 73… ナ クタ 、 74…ステ ジ、 75… 遠鏡、 76… 明を実施するための 良の

００14 下、本 明を適用した 折率 、これを用 た液体の 折率 定装置及 び 折率 定方法に て、図面を参照して詳細に説明する。

明による

、 明を適用した 折率 具による 理に て説明する。 般に、プ ズム 、プ ズム に収容された試料の 、 の さが場 所によ 異なるため、 点 ら離れるほど低 なる。ここで、 に模式的に示すプ ズ ムの 角を し、 の 点 ら 光線までの 離を し、プ ズムの

た の 。 した き、最小 角で人射する光線の 、反射を 無視すれば、下記 ( )で表 れる。

[

。

００15 また、プ ズムの 辺の を とし、 分の スク又は面取り幅を とした き ら までの 、下記 (2)で表 れる。

[ 2 " 2

㌔ ㈹

L L s ００16 方、 分に スク等が無 場合( 0 ０)は、下記 (3)で表 れる。

[ 3

2」

㌔ ㈹

s ００17 また、 のプ ズムの 量に対して、割合Pの 量が透過する Wは、下 記 (4)で表される。

[ 4 ㈹

2 s " ００18 ここで、内部 0・０ ( c たり 。 。

)、 ０ 、 6０ のプ ズムに対して 、上記 ( )により 布を算出した 果を図2に示す。また、 の 角 内部 に て、上記 (4) ら 出した全面 を表 2に示す。な お、 2に示すプ ズム の 3０ であり、その 射損失は無視して る。

００19 [

００2０ [ 2

００21 また、上記 (4) ら 出したP ０・ 9の wを 3に示す。 ００22 [ ０ C

０ 30 60

０ 53０ 93 ０0

8 ? 97

82 9

、０ 3 8 。 2

㈹ 229 9 ０

０００ 96 9 9 3・2

㈱００ 9 6 8 ・

㈱ 6 3 ・2 3

００23 これらの 果 ら、 を小 すれば、。 ０・０ でも、ある程度の 光束の幅を確保できることがわ る。

００24 方、上述した 9に示す 来のプ ズム ００では、その 小 すれば、収容 ０ に収容 れた試料の 高 なるものの、光線の 長に よる偏角の 小 なる。 が単一 長の 問題な が、真空 で の 定では、例えば としてホ カソ ドランプを使用する場合、近接 長 のラインが分離しな 能性がある。また、光線を単色光にするために フィ を使用することもできるが、波長城によ ては フィ の 困難な場合もあ る。

００25 すなわち、従来のプ ズム ００では、一対の 行平面 で構成される の 小さ する 、セ の 、さ なる。このため、光の波長に よる偏角の 小さ な 、光の透 を高めるこ ができた しても、セ を通過 した光のスペク 解が非常に困難なもの なる。

００26 上のこ ら、試料を収容する収容 、外部 ら光が人射する外側 、 外側 面 ら人射した光を前記 に出 する内側出 、内側出 面 ら して前記 を通過した光が人射する内側 、内側 面 ら した光を外部に出 する外側出 を有するプ ズム にお て、外側

内側出 を に平行( 行平面 )、 、内側 外側出 を に平行( 行平面 )とした構成では、内側出 と内側 とのなす ( )を小 した場合に、光の波長による偏角の 散を大き するこ はできな 。 ００27 そこで、 、上記 題を解決す 討を行 た結果、内側出

と内側 との な とも一方の にお て光の波長による偏角の 散を大き するための 段として、従来のプ ズム を構成する一対の 行平面 に代わ て、プ ズム をプ ム体で構成するこ を見出した。

すなわち、 明を適用した 折率 、 3に示すよ に、試料を収容す る収容 0と、外部 ら光が入 する外側 と、外側 ら し た光を収容 0に する内側出 S2 、内側出 S2 ら して収容 S 0を通過した光が人射する内側 S3 、内側 S3 ら人射した光を外部 に出 する外側出 S4 を有し、外側 内側出 S2 が互 に 行の 係 、内側 S3 外側出 S4 が互 に 行の 係 の な も 一方 足するこ を特徴 する。

なお、 3には、 角の し 2 のプ ズム体によ て構成されたプ ズム を 例示して る。すなわち、このプ ズム は、外側 内側出 S2 が 互 に 行の 係 、内側 S3 外側出 S4 が互 に 行の 係 む 足して る。

００28 なお、上記 には、セ を構成する平行平面 の 士が非 行 な る のよ 記載(Fg・2 )がある。し しながら、これは平行平面 の 差を 強調して したものであ て、セ をプ ズム体で構成することを目的としたもので ほな 、 明とほ 異なる 術を説明したものである。また、上記 に 記載 れる構成は、内側 角の 点まで で構成 れて な ために、透過 を 稼ぐのに非常に不利である。

００29 明を適用した 折率 でほ、外側 内側出 S2 を に (プ ズム )、 又は、内側 3 外側出 4とを に (プ ズム )とすることで、内側出 2 内側 3 のなす ( ) を小さ した場合でも、セ を通過した光の波長による偏角の 散を大き する こ ができる。

これによ 、 明を適用した 折率 では、プ ズム に収容された 料を通過する光の透 を高めこ ができる 共に、このプ ズム を通過した光 を適切にスペク 解することができる。

したが て、 明を適用した 折率 では、吸収 数が大き 料の 折率を測定する場合であ ても、測定に必要な光量を得ることができ、このよ 試料 の 折率を高 度に 定することができる。

００3０ ここで、 明のプ ズム を用 て 折率の 定を行 た際に、このプ ズム を通過する光線の 態を図4に模式的に示す。

4に示すプ ズム にお て、 プ ズム体の屈折率を c、 角を し、内 側 角を2 2 し、収容 0に収容された試料の 折率を s し、最小 角を し、外側 の 線に対する光線 の 度を し、内側出 S2の 線に対 する光線 の 2 した きに、これらは、下記 (5)～(8)の 係を満足する。

[ 5 2 ㈲ [ 6

s n6s (

[ 7

㈹

[ 8

s s n ㈹

００31 また、試料の 折率 5は、下記 (9)で表 れる。

[ 9 os ts n n

2

００32 また、プ ズム の 折率 cは、下記 ( ０)で表される。

[ 1０

00 また、 、上記 題を解決す 討を行 た結果、内側出 S2 内側 S3 の な も一方の にお て光の波長による偏角の 散を大 き するための 段 して、プ ズム の 外側出 S4との な とも一方の プ ズム体を配置するこ を見出した。

すなわち、 明を適用した 折率 、 5に示すよ に、試料を収容す る収容 0と、外部 ら光が入 する外側 と、外側 ら し た光を収容 0に する内側出 S2と、内側出 S2 ら して収容 S 0を通過した光が入 する内側 S3 、内側 S3 ら した光を外部 に出 する外側出 S4 を有するプ ズム 、外側 外側出 S 4 の な も一方の に配置されたプ ズム を備えるこ を特徴 する。なお 、 5は、 3に示すプ ズム の 側にプ ズム体を配置した構成を例示して る ００34 明を適用した 折率 では、外側 外側出 S4 の な も一方の プ ズム体を配置するこ で、内側出 S2 内側 S3 のなす ( ) を 、さ した場合でも、セ を通過した光の波長による偏角 の 散を大き するこ ができる。

これによ 、 明を適用した 折率 では、プ ズム に収容された試 料を通過する光の透 を高めこ ができる 共に、このプ ズム を通過した光 を適切にスペク 解することができる。

したが て、 明を適用した 折率 では、吸収 数が大き 料の 折率を測定する場合であ ても、測定に必要な光量を得ることができ、このよ 試料 の 折率を高 度に 定することができる。

００35 また、 明を適用した 折率 では、例えば 6に示すよ に、プ ズム を一対の 行平面 で構成した場合でも、外側 外側出 S4 の な とも一方の プ ズム体を配置することで、セ を通過した光の波長による偏 角の 散を大き することができる。

００36 また、 明を適用した 折率 では、上述した 5 6に示すプ ズ ム の に、プ ズム体が外側 外側出 S4に接合 れた状態で 配置された構成に限らず、例えば 7 8に示すよ に、プ ズム体が外側 面 外側出 S4に近接した状態で配置 れた構成 することもできる。また、 明を適用した 折率 でほ、外側 外側出 S4 の 方 の にのみプ ズム体が配置 れた構成とすることもできる。

００37 また、 明を適用した 折率 では、例えば 9に示すよ に、プ ズムセ

2の 外側出 S4 が互 に平行となる構成とするこ もできる。 ００38 また、 明を適用した 折率 では、例えば ０に示すよ に、プ ズム を構成する一対の 行平面 、一方のみをプ ズム体で構成することもで きる。すなわち、外側 内側出 S2 が互 に 行の 係 、内側 S3 外側出 S4 が互 に 行の 係 の れ 一方のみを満足する 構成 するこ ができる。

００39 さらに、 明を適用した 折率 では、 ０に示すよ に、内側出 5 2 内側 S3 のなす ひの 等分 、外側 外側出 S4 の なす の 等分 が一致しな 構成 するこ もできる。

００4０ ころで、 明を適用した 折率 では、例えば 3 5 6 7に示すよ に、内側出 S2 内側 S3 のなす ひ 、外側 外側出 S 4 のなす が、 の関 足するこ によ て、光の波長による偏角を 分散さ るこ ができる。

００41 なお、上記 、プ ズム の 外側出 S4 のなす は 別に、プ ズム の 側にプ ズム体を配置した構成( えば 5～8に示す ) の 合にほ、このプ ズム体を含む外部 ら光が入 する 、外 部に光を出 する 側出 S4とのなす角を表すものとする。

００42 方、本 明を適用した 折率 でほ、内側出 2 内側 3 のなす 、外側 外側出 S4 のなす が、 の関係を 満足する構成 することもできる。し しながら、この 合には、試料を通過する光が 分散 れる方向に対して光が逆向きに分散 れる構成 なるため、分散が相殺 れて しま ものの、光を逆向きに分散さ る効果を大き すれば の差を大き す れば)、このプ ズム を通過した光を十分にスペク 解することができる。 ００43 また、上記 折率 では、内側 53を反射 し、外部 ら外側 に した光が内側出 S2 ら 、この 側出 S2 ら して 収容 0を通過した光が反射 S3で反射 れる構成 することもできる。この 合、 内側出 S2側にお 光の波長による偏角の 散を大き する、すなわちプ ズ ム の 側出 S2側をプ ズム体で構成する、 外側 側にプ ズム体を配置した構成とするこ で、このプ ズム の S3で反射 れた光を スペク 解することができる。

００44 また、上記 折率 で 、例えば 3， 5～ ０に示すよ に、内側出

2 内側 S3 のなす ひ 、外側 外側出 S4 のなす が、収容 0を通過する の 路に対して同じ側にある構成に限定されるもので はな 、例えば に示すよ に、内側出 内側 のなす ひ 、外側 外側出 のなす が、収容 を通過する光の経路に対して反対 に ある構成 するこ もできる。

００45 ころで、上記 折率 具を用 料の 折率を測定する場合には、試料 の が低下するに従 て、透過 量が減少し、測定が困難 なる。 えば してホ カソ ドランプを使用した場合には、波長 近の 折率を 測定するのにセ 体の 7 上確保する必要がある。

００46 ここで、プ ズム の 側出 52 内側 53 のなす ( ) 。

6０ 下とするこ が望ま 。

。

2に示すよ に、この 6０ 下 した場合には、内部 たり 料の 定でセ 体の 7 上確 。

保することができる。より好まし は、内側 3０ 下である。この 合、内部 たり0・０ 料の 定でセ 体の 7 。

上確保することができる。 らに好まし ほ、内側 2０ 下である。この 合、内部 たり0・０ 料の 定でセ 体の

。 上確保することができる。 らに好まし は、内側 2 下である。この 合、内部 たり0・０ 料の 定でセ 体の 上確保するこ ができる。

００47 ( 折率 ) 次に、 2に示す 明を適用した 折率 に て説明する。

折率 、 体を収容する収容 2aが設けられたプ ズムセ 2を備え て る。このプ ズムセ 2は、上面を収容 2aに 口部2bとする 器体を構 成する。 2aは、三角柱状の 間を構成して る。

００48 体的に、このプ ズムセ 2は、 のプ ズム 3、 2のプ ズム 4、側壁5、

6を有して る。 のプ ズム 3、 2のプ ズム 4、 5はそれ ぞれ、三角柱状の 2aを構成する面の 、 の 側面を構成する。 6は 、収容 2aの 面を構成する。

００49 プ ズムセ 2にお て、外部 ら光が入 する外側 、外側 面 ら した光を収容 2aに する内側出 S2 が プ ズム 3によ て構 成される。また、内側出 S2 ら して収容 2aを通過した光が入 する内側 S3 、内側 S3 ら人射した光を外部に出 する外側出 S4 が 2のプ ズム 4によ て構成される。 のプ ズム 3 2のプ ズム 4は、例 えば、蛍石( ッ ウムの ) ッ ウムの 晶、 ッ素を した石 英ガラス等の硝材 らなる。

００5０ プ ズム 3 2のプ ズム 4 は、内側出 52 53が 収容 2aの 側面を構成するよ に、互 の を突き合わ て によ 接 合 れて る。 体的に、 のプ ズム 3の を内側出 S2 連続した とし、この 続した面に対して 2のプ ズム 4の を接合する。

００51 プ ズムセ 2の 側出 2 内側 3との間にほ、接合 に臨む 側 出 2 内側 3とのなす 頂角( 下、内側 。 ) する 7が形成 れて る。このプ ズムセ 2の 7を形成する 分にお ては、 測定 長の光を遮 スクがな 、 、プ ズム 3，4 を突き合わ ることで内 側 点まで測定 長の光を透 るよ に で構成 れて るこ が、 透過 を向上 るためには好ま 。

００52 また、プ ズムセ 2は、外側 外側出 S4とのなす を頂角( 下 、外側 。 )として る。 内側 対して、 の関 足して る。さらに、プ ズムセ 2は、内側 等分 外側 7

等分 が 一致するこ によ て、 等分 を挟んでほぼ な形 状を有して 。すなわち、 のプ ズム 3の 内側出 S2との なす 、 2のプ ズム 4の 3 外側出 4 のなす ００53 5 、内側出 S2 S3 共に収容 2aの 側面を構成する 面を有する平行平面 である。この 5は、例えば、蛍石(フッ カ ウムの ) フッ ウムの 晶、フッ素を した石英ガラス等の硝材 らなる。この 5は、 のプ ズム 3 2のプ ズム 4 互 の を突き合わ て によ 接合されて る。 2aの 側面を構成する側壁5の の 、 のプ ズム 3 2のプ ズム 4の 7の 向に沿 た 対 して、突き合わ た 合されて る。

００54 6は、収容 2aの 面を構成する面を有する平行平面 である。この 6は 、例えば、蛍石( ッ ウムの ) ッ ウムの 晶、 ッ素を し た石英ガラス等の硝材 らなる。この 6は、 のプ ズム 3、 2のプ ズム 4 5 互 の を突き合わ て 合されて る。 2aの 面を構 成する 6の の 、 のプ ズム 3、 2のプ ズム 4 5の ( 7の 向に沿 た一面)に対して、突き合わ た 合されて る。 言する 、この 6上に、 のプ ズム 3、 2のプ ズム 4 5が 起立した状態で 合 れることによ て、収容 2aを有するプ ズムセ 2が 成 れて る。

００55 なお、側壁5 6は、屈折率 を用 て、後述する 体の 折率を 測定する際に、測定のための 線が通過するこ がな ため、上述した 外に も 性を有する材料を用 て 成することもできる。 5 6が、 のプ ズム 3 2のプ ズム 4 同じ であるこ により、 の 膨張 に 基 影響が回避 れる。

００56 上のよ 構造を有する 折率 で 、光が外側 ら し て外側出 4 ら するまでの間に当 が溝 7の 向と直 する面 内にこでは水平面内)で屈折する。この 折率 は、 4を用 て説明した に、プ ズムセ 2に収容 れた試料を通過する光の透 が高 、吸収 数の き 体の 折率を最小 角法で測定するのに好適である。

００57 なお、上記 折率 にお て、 のプ ズム 3 2のプ ズム 4とは 、 3 に示すよ 内側 等分 に沿 た を接合する構成よりも 、 3 に示すよ 一方の を内側出 S2 S3 連続した とし、この 続した面に対しても 方の を接合する構成とするこ が望まし すなわち、 のプ ズム 3 2のプ ズム 4 の 等分 に沿 た 士を接合する場合には、前記 7を 形成するために、これら に臨 側出 S2 内側 S3 の 士を高 度に位置 めする必要が生 じてしま 。

これに対して、 のプ ズム 3 2のプ ズム 4 の れ 一方の を内 側出 S2又は内側 S3 連続した する場合には、接合 士がずれた しても、内側出 S2 内側 S3 の間に 7を 形成するこ が できる。

００58 また、内側出 52 内側 53 の間に 7を 形成するため、例 えば 3Cに示すよ に、内側出 S2 内側 S3 の 士を突き合わ た プ ズム 3 2のプ ズム 4 側壁8に接合した構成とするこ もできる 。 らに、 3 に示すよ に、この 8を プ ズム 3 2のプ ズム 4 の れ 一方と一体に形成した構成 することもできる。

００59 また、内側 小 した場合にほ、例えば 3 に示すよ に、内側出 4との間に接着 9を塗布して を接合するこ もできる。

００6０ ( 折率 定装置)

次に、 4に示す 明を適用した 折率 定装置3０に て説明する。 折率 定装置3０ 、上記 折率 を用 て、 体の 折率を最小 角法で測定するのに好適な 光計である。

００61 体的に、この 折率 定装置3０は、所定の 長の光を発する 3 、この 3 ら 射 れた光を選択的に通過 るチョッ 32 、このチョッ 32を通 過した光を平行 に変換する メ タ 33と、上記 折率 が設置 れる ステ ジ( )34と、このステ ジ34に設置 れた上記 折率 を通過 した光を集光 る 遠鏡35と、この 遠鏡35で集光 れた光を検出する検出 3 6とを有する。

００62 3 、ホ カソ ドランプを有し、ホ カソ ドラ プが発する光の波長城 の 、特定の 長城にこでは )の光を先端 3 aより する。なお、この 折率 定装置3０では、ホ カソ ドランプ3 が発する 長城の ち 4０ 上の光を屈折率の 定に利用するこ ができる。 の 3 しては、ホ カソ ドランプ 外にも、他のスペク ランプを用 るこ ができる。 定の 長 城の光を利用するために、グ ティン などの 光器を設けてもよ 。

００63 チョッ 32は、 3 の 3 a ら 射された光が人射する 32a b を有し、人射 32a ら人射した光を円 32bで 断しながら周期的に通過 さ る。

００64 メ タ 33は、脚部33aに支持された ウジング33b 、この ウジング33bの 側の に着脱 能に設けられた人射 33c び出 33d を有して る。こ の メ タ 33は、チョッ 32を通過して人射 33c ら した光を、 ウジン グ33b内の ラ ( ず。 )で反射 ながら、平行 に変換して 33d ら する。

００65 ステ ジ34は、回転軸34aを中心に回 能に支持 れて る。これにより、ステ ジ34上に載 れた上記 折率 に対する光の入 角を適 する こ が可能とな て る。

００66 遠鏡35 、望遠鏡台35a上の脚部35bに支持 れた ウジ グ35cと、この ウ ジ グ35cの 方の に着脱 能に設けられた 35dとを有して る。この 遠鏡35 、ステ ジ34上の上 折率 を通過した光を、 35d ら 、 ウジ グ35c内の ラ ( ず。 )で反射 ながら、 ウジング35cの 面部に設けられた検出 36に集光さ る。 2０

また、望遠鏡台35aは、ステ ジ34の 転軸34a 同一直線上にあ て、なお 、この 転軸34aに対して独立した望遠鏡 ( ず。 )を中心に回 能に支持 れて る。したが て、望遠鏡35は、この 遠鏡 中心にステ ジ34の りを回 転することが可能 な て る。すなわち、この 遠鏡35は、ステ ジ34に対する角 度( )を することが可能 な て る。

００67 36 、望遠鏡35によ て集光された光を受 して検出する。このよ

段としてほ、例えば、フォ チプライヤ 、PbS、フォ ダイオ ド等の光 度 を検出する センサ、 はCC (Chage CoupedDevce)や、PS (Pos on ens ve gh De ec o )、イメ ジセンサ等の光 度 位置を検出できる

センサ等の公 センサを用 るこ ができる。

００68 上のよ な構造を有する 折率 定装置3０では、先ず、収容 2aに 料 を収容した上記 折率 をステ ジ34に設置する。次に、 3 ら されてチョッ 32を通過した光を メ タ 33で平行 に変換しながら上記 折 率 に照射する。次に、上記 折率 を通過した光を望遠鏡35で 集光さ ながら検出 36で検出する。この 折率 定装置3０では、検出 36が検 出した検出 果に基 て、例えば 近での 折率を求めるこ が可 能である。

００69 ころで、波長 近の紫 域では、空気中の 素の 響によ て光の強 度が 間に 7０ 度 極端に弱 なるので、測定 全体を 素をほ んど まな よ 雰囲気にする必要がある。

００7０ そこで、この 折率 定装置3０には、 3 チョッ 32を カ

4０と、 メ タ 33を 2のカ 4 、ステ ジ34を 3のカ 42と 、望遠鏡35 ( )36を 4のカ 43とが設けられて る。 ００71 カ 4０は、 3 の 3 a らチョッ 32 体、 らに メ タ

33の 33cまでを 。チョッ 32の 32a には、排気チ ブ 44が差し込まれて る。 3 の 3 a、 メ タ 33の 33c、排気 チ ブ44に対応する部分に ては? ( ず。 )が設けられて る。 のカ 4０は、これら各部を孔に通した状態で各部 の間に が生じな よ に 等で固定されて る。

００72 2のカ 4 は、 メ タ 33の ウジング33b 体を覆 。 33bの 部には、検出用チ ブ45が差し込まれて る。 出用チ ブ45は、酸素濃度 計46に接続 れて る。 メ タ 33の 33c び出 33dに対応する部 分に てほ ( ず。 )が設けられて る。 メ タ 33の 33c び 出 33dを ウジング33bに取り付ける際に、 2のカ 4 、これら孔の周囲 を ウジング33b の間で みこむよ に固定 れて る。 メ タ 33の 33a 出用チ ブ45に対応した部分に ても ( ず。 )が設けられて る。 2のカ 4 は、これら各部を に通した 各部 の間に が生 じな よ にテ プで固定されて る。

００73 3のカ 42は、ステ ジ34 体を覆 。 メ タ 33の 33d 遠 鏡35の 35dに対応する部分に ては ( ず。 )が設けられて る。

3のカ 42は、 メ タ 33の 33d 遠鏡35の 35dを ウ ジング33b 35cに取 付ける際に、これら孔の周囲を ウジング33b 35c の間で みこむよ に固定されて る。また、ステ ジ34 体を覆 3のカ 42の 部 にも ( ず。 )が設けられて る。このステ ジ34の 転軸34aを望遠鏡台35 a上に回転 能に取 付ける際に、 3のカ 42は、この 転軸34aを望遠鏡台3 5aに固定する 34b の間で孔の周囲が挟まれるよ に固定 れて る。 ００74 4のカ 43は、望遠鏡35の ウジング35c 体を覆 。 35cの 部 には、ガス チ ブ47が差し込まれて る。ガス チ ブ47 、窒素( ) ボ ( ず。)に接続されて る。 遠鏡35の 35b び入 35dに対 応する部分に ては ( ず。 )が設けられて る。 遠鏡35の 35d を ウジング35cに取り付ける際に、 4のカ 43 、これら の 囲が ウジ グ35cとの間で み込まれるよ に固定 れて る。 遠鏡35の 35b ガス チ ブ47に対応した部分に ても ( ず。 )が設けられて る。 4のカ 43 、これら各部を に通した状態で各部 の間に が生じな よ にテ プで固定 れて る。

００75 述した カ 4０、 2のカ 4 、 3のカ 42 4のカ 43 は、 れも同じ 質のもの、例えば ア性を有するポ ビ デ フィ の 面に インフイ ムを張 た フィ らなる。この フィ をヒ により所望の 状に加工して ら 状のカ として て る。 フイ ムは、ボ ビ デ フィ に フィ を積層することで、強度及 び が付与 れ、フ キ に形を変え得る柔軟な なる。このよ フイ ム しては、例えば、ク 、ク S( れも 化学工業 式会社製)を用 るこ ができる。

００76 上のよ な構造を有する 折率 定装置3０では、屈折率の 定を行 際に、ガ ス チ ブ47 ら望遠鏡35の ウジング35c内に窒素ガス し入れる。する 、 ウジング35c たした ガスは、望遠鏡35の 35 ら 3のカ 42内に流れ出て、 3のカ 42内を満たした後に、 メ タ 33の 33 d ら メ タ 33の ウジング33b内に流れ込む。 ウジング33b内に流れ込ん だ ガスは、 メ タ 33の 33c ら カ 4０ たす。 メ タ 33の ウジング33b 遠鏡35の ウジング35c たした ガスは 、 ウジング33b 35c ら漏れ出て、 2のカ 4 4のカ 43内も満た す。

００77 この 折率 定装置3０では、望遠鏡35側 ら流入した ガスが、 4 のカ 4０ 4 42 43 たすこ によ て、内部の 気が最終的に排気チ ブ44 ら外部 排気 れる。 出用チ ブ45 ら 部の 体が排出 れる き、その の 素濃度が 素濃度計46によ て検出 れる。 体的に、 度 の ガスをガス チ ブ47 ら流し入れると、最終的に酸素濃度計46の 2０p 後の とな た。これは、上述した 近で屈折率の 定を 行 のに十分な値である。

００78 上のよ に、この 折率 定装置3０では、酸素 ア性を有する柔軟なフィ らなるカ 4０ 4 42 43で各部を覆 、カ 4０ 4 42 43 部を ガス( ほ ガス)で満たすこ によ て、 わゆる (

)での 折率 定を 行 ことができる。

００79 なお、上記 折率 定装置3０では、各部を4 のカ 4０ 4 42 43で 構成とな て るが、このよ 構成に必ずしも限定 れるものではな 、場合によ ては各部を ～3個のカ でま めて 成とするこ もできる。 らに、上記 折率 定装置3０ 、真空 での 折率 定を行 のに好適なものであるが、 屈折率の 長を 外の 長を用 て 定を行 こともできる。

００8０ ( 角法による 折率 )

次に、上記 折率 定装置3０を用 て、上記 折率 に収容 れた液 体 料の 折率を最小 角法で測定する方法に て説明する。

角法では、 5に示すよ に、上記 折率 定装置3０を用 て、このプ ズムセ 2の 、空のプ ズムセ 2によ て 折した光線 の

、収容 2aに 体が収容されたプ ズムセ 2によ て 折した光線 の

をそれぞれ 定した後に、これら 果に基 て 体の 折率を算出する ００81 折率 では、プ ズムセ 2の 、すなわち 側出 5 2 内側 S3 のなす 小さ するこ によ て、この 側出 S2 内側 S3 の間の距離を 来よ も短 し、収容 2aに収容された液体を通過する 光の透 を高めこ ができる。

また、上記 折率 では、プ ズムセ 2の 側出 S2 内側 S 3とのなす 小 した場合でも、外側 外側出 S4 のなす が の関 足することによ て、光の波長による偏角の 散を大き するこ とができるため、プ ズムセ 2を通過した光をスペク 解することができる。 したが て、上記 折率 を用 た 折率の 定方法でほ、測定に必要 な光量を確保し、吸収 数が大き 体の 折率を最小 角法により 度に 定することができる。

００82 (別の屈折率 )

次に、 6に示す 明を適用した別の屈折率 5０に て説明する。 折率 5０ 、 体を収容する収容 5 aが設けられたプ ズムセ 5 を 備えて る。このプ ズムセ 5 、 わゆる ブ ックプ ズムであり、上面を収容 5 aに 口部5 b する 器体を構成する。 5 aは、断面 の 52を構成して る。

００83 体的に、プ ズムセ 5 、 のプ ズム 53、 2のプ ズム 54、

55a 55bを有する。 のプ ズム 53 2のプ ズム 54は、収容 5 a を構成する面の 、断面 の 52を構成する。 55a 55b それぞれ、 内側面を構成する。

００84 プ ズムセ 5 にお て、外部 ら光が入 する外側 と、外側 面 ら した光を収容 5 aに する内側出 S2とが プ ズム 53によ て構成される。また、内側出 面 ら して収容 5 aを通過した光が入 する内 側 S3 、内側 S3 ら人射した光を外部に出 する外側出 S4 が 2のプ ズム 54によ て構成される。 のプ ズム 53 2のプ ズム 5 4は、例えば、蛍石 ウムの ) ウムの 晶、 ッ素を した石英ガラス等の硝材 らなる。

００85 プ ズム 53 2のプ ズム 54 は、内側出 52 53 が 52を構成するよ に、互 の を突き合わ て によ 接合されて る。 体的に、 のプ ズム 53の を内側出 52 連続した し、こ の 続した面に対して 2のプ ズム 54の を接合する。

００86 プ ズムセ 5 の 側出 52 内側 53 の間には、これら に臨 む 側出 S2 内側 S3とのなす 頂角( )とする上記 52が形成 れる。プ ズムセ 5 の 外側出 S4とほ、互 に 平行である。

００87 対の 55a 55b それぞれ、収容 5 aの 側面を構成する面を有する平 行平面 である。 55a 55bは、例えば、蛍石(フッ カ ウムの ) フッ ウムの 晶、フッ素を した石英ガラス等の硝材 らなる。 55a 側壁 55b の間に第 プ ズム 53 2のプ ズム 54とが挟まれて る。 55a 55b、 のプ ズム 53 2のプ ズム 54の が互 に突き合わ て により接合 れて る。 55a 55bの 一面が、 のプ ズム 53 2のプ ズム 54の ( 52の 向に沿 た両側の )に対して に対向した 合されて る。 ００88 上のよ 構造を有する 折率 5０で 、光が外側 ら して外側出 S4 ら するまでの間に当 が溝 5 の 向と直 する 面内にこでは鉛直面内)で屈折する。この 折率 5０は、プ ズムセ 5 に 収容 れた試料を通過する光の透 が高 、 ブ ック法による 折率の 定に好 適である。

００89 (別の屈折率 定装置)

次に、 7に示す 明を適用した別の屈折率 定装置7０に て説明する。 折率 定装置7０は、上記 折率 5０を用 て、 体の 折率を ブ ッ で測定するのに好適な精密 である。

００9０ 体的に、この 折率 定装置7０は、所定の 長の光を発する 7 、この

7 ら された光を平行 に変換する メ タ 72 、この メ タ 72を 通過した光の光 を折 返す ナ クタ 73 、上記 折率 5０が 設置されるステ ジ( )74 、このステ ジ74に設置された上記 折率

5０を通過した光を集光さ る 遠鏡75 、この 遠鏡75で集光された光を検出 する検出 76 を有する。

００91 7 は、ホ カソ ドランプを有し、ホ カソ ドランプが発する光の波長城 の 、特定の 長城にこでは )の光を出 する。なお、この 折率 定装 置7０では、 7 が発する 長城の 上の光を屈折率の 定に 利用することができる。また、紫外 の 7 しては、ホ カソ ドランプ 外に も、他のスペク ランプを用 るこ ができる。 定の 長城の光を利用するために 、グ テイ グなどの 光器を設けてもよ 。この 7 メ タ 72との間に ほ、 7 ら れた光を メ タ 72に導 ための ズ

の 学系77が配置 れて る。

００92 メ タ 72 、 ウジング72a 、この 72aの 側の に着脱 能 に設けられた 72b び出 72cとを有して る。この メ タ 72 、 72b ら した光を、 72a内の ラ ( ず。 )で反射 なが ら、平行 に変換して 72c ら する。

００93 ナ クタ 73は、 メ タ 72を通過した が入 される 、この 。

した 8０ の 度で逆向きに り返して する。

００94 ステ ジ74は、 ナ フ クタ 73によ て り返 れた が通過する間 に上記 折率 5０が設置 れるよ に配置 れて る。

００95 遠鏡75 、 ウジング75a 、この ウジ グ75aの 方の に着脱 能に設 けられた 75b び出 75cとを有して る。この 遠鏡75は、ステ ジ74 上の上 折率 5０を通過した光を、 75b ら 、 ウジング75 a内の ラ ( ず。 )で反射 ながら集光 て、 75c ら する。 ００96 76は、望遠鏡75によ て集光された光を受 して検出する。このよ

段 しては、例えば、 ォ チプライヤ 、PbS、 ォ ダイオ ド等の光 度 を検出する センサ、 はCC (Chage CoupedDevce)や、PS (Pos on ens ve gh De ec o )、イメ ジセンサ等の光 度 位置を検出できる

センサ等の公 センサを用 るこ ができる。また、検出 76 望遠鏡75 の間 には、振動ス ッ 78が設けられて る。

００97 上のよ な構造を有する 折率 定装置7０では、先ず、収容 5 aに 料 を収容した上記 折率 5０をステ ジ74に設置する。次に、 7 ら された光を メ タ 72で平行 に変換しながら ナ クタ 73で折 返して上記 折率 5０に照射する。次に、上記 折率 5０を通過し た光を望遠鏡75で集光 ながら検出 76で検出する。この 折率 定装置7０で 、検出 76が検出した検出 果に基 て、例えば 近での 折 率を求めるこ が可能である。

００98 また、この 折率 定装置7０でも、上記 折率 定装置3０ 同様に、各部を ア性を有する柔軟なフィ らなるカ ( ず。 )で 、このカ 部を ガス ガスで満たすこ によ て、 わゆる ( 57 )での 折率 定を 行 ことができる。

００99 ( ブ ッ 法による 折率 )

次に、上記 折率 定装置7０を用 て、上記 折率 5０に収容 れた液 体 料の 折率を ブ ッ 法で測定する方法に て説明する。

ブ ック法では、 8に示すよ に、上記 折率 定装置7０を用 て、プ ズム セ 5 の 折率と、収容 5 aに 体が収容 れたプ ズムセ 5 によ て 折し た光線 の をそれぞれ 定した後に、これら 果に基 て 体の 折率を算出する。

０1００ 折率 5０で 、上記 折率 同様に、プ ズムセ 5 の 、すなわち 側出 S2 内側 S3とのなす 小 するこ によ て、この 側出 S2 内側 S3 の間の距離を 来よりも短 し、収容 5 aに収容 れた液体を通過する光の透 を高めことができる。

したが て、上記 折率 5０を用 た 折率の 定方法では、測定に必 要な光量を確保し、吸収 数が大き 体の 折率を ブ ック法によ 度に 定するこ ができる。

０1０1 下、実施 により 明の 果をより明ら なもの する。

実施 でほ、 明のプ ズムセ 来のプ ズム を実際に作製し、こ れらプ ズム を用 て 折率の 定を行 た。

。 。 。 体的には、 3０ のプ ズム体を内側 ０ 7０ と なるよ に、 キ 系 を用 て 合し、接合 れたプ ズム体に キ 系 を用 て側壁及び を接合するこ によ て、 明のプ ズム を作 製した。このプ ズム の 角を形成する 25 であり、 35 である。また、プ ズム体には、蛍石を用 、側壁及び に ても、熱膨張によ る影響を避けるため、プ ズム 同じ 石を用 た。

０1０2 方、本 明のプ ズム の ため、上述した 9に示す 来のプ 。 ズム ００ 同様に、一対の 行平面 を内側 角及び 共に6０ なるよ に、 キ 系 を用 て 合したプ ズム を作製した。

０1０3 これら 明のプ ズム 、従来のプ ズム を用 て、可視 域での の 折率を測定した。その 果を表4に示す。

０1０4 [ ライン

よる 32 ０ 3979

セル ０００００6 ㈹

との 0００００1０ ００００7

０1０5 なお、 定では、上述した 4に示すよ に、計算を行 やす するため、プ ズ ム の 角を、 2 2とし、プ ズム の 角を、 2( 2) して計 算を行 た。また、内側 2 2に てほ、直接 定することができな ので、接 着 プ ズム の 角を測定して ら、計算により めた。すなわち、

。

明のプ ズム にお て、 は3０ であり 。

、 2 2は ０ である。また、プ ズム の 折率 cは、空のプ ズム の 角を測定し、上記 ( ０) ら計算によ り めた o

。なお、温度は C、気圧 ０ 3 3 Paに 算して計算を行 た。

０1０6 4に示す 果 ら、 明のプ ズム による 定値は、従来のプ ズム による 定値 BS( S :Na ona ns e Of anda ds andTechno og )の もよ 一致してお 、屈折率の 定に十分 え得るこ がわ た。 ０1０7 次に、 明のプ ズム を用 て、真空 域を含 域での

料の 折率 定を行 た。

体的に、 料には、 ッ オイ を用 た。また、この 折率 定には、メ ラ デ 製の 光計1型を使用し、窒素 囲気 で測定を行 た。

、Pホ カソ ドランプの 49 47 ～3０6 56 の27 長に て 定を行 た。また、 料の 略の を測定するために、空の状態

料が人 た でスペク 線の強度測定を行 た。

０1０8 上の測定 らは、 c た 0・０ 下の 近でも、測定 能な 光量が得られ、スペク 線も分解 能であるこ が明ら な た。

上の 用 ， ０1０9 なお、 、 置で使用 れる 体の 折率を測定する場合に必ず しも限定 れるものではな 、試料 して、 、グ ス 、ゲ 状を含む 体の 折率を測定する場合に広 用するこ ができる。特に、 、吸収 数の き 体の 折率を測定する場合に好適である。さらに、 、試料 して、固体 の 折率を測定する場合にも適用するこ ができる。 また、 明でほ、紫外 以外にも広 波長城 ら任意の 長の光を選択して 料の 折率 定を行 こ ができ、 長による 料の 折率 定に限らず、スペク 線の測定を行 こともできる。

また、 明でほ、測定 れた試料の 折率 ら試料の 重を測定することもでき 、 らに、特定 長の 近における 折率の ( 境の 度変化に対する 折率 化の 合 を表す 、 折率 の 定も行 ことが できる。

また、 、上記 折率 具を試料の 折率 外の 途に用 るこ を妨げるものではな 、他の光学部品 して利用するこ もできる。

Claims

3０

求の

料を収容する収容 、

外部 ら光が入 する外側 、

前記 面 ら人射した光を前記 に出 する内側出 面 ら人射した光を外部に出 する外側出 を有し、 前記 前記 側出 が互 に 行の 係 、前記

前記 側出 が互 に 行の 係 の な も一方を満足するこ を特徴 する 折率 。

2 側出 前記 のなす ひ 、前記 前記 側 出 とのなす が、 の関係を満足することを特徴 する に記載 の 折率 。

3 側出 と前記 とのなす 、前記 前記 側 出 とのなす が、 の関係を満足することを特徴 する に記載 の 折率 。

4 側出 と前記 とのなす 、前記 前記 側 出 とのなす が、前記 を通過する光の経路に対して同じ側にあること を特徴 する ～3の れ に記載の 折率 。

5 側出 と前記 とのなす 、前記 前記 側 出 とのなす が、前記 を通過する光の経路に対して反対 にあるこ を特徴 する ～3の れ に記載の 折率 。

6 側出 前記 のなす ひの 等分 、前記

前記 側出 のなす の 等分 が互 に一致して るこ を特徴 する ～3の れ に記載の 折率 。

7 。

側出 前記 のなす 6０ 下であるこ を特徴 す る ～3の れ に記載の 折率 。

8 面及び 側出 を構成する プ ズム 、前記

面及び 側出 を構成する 2のプ ズム を有し、 3

れることによ て、前記 側出 と前記 とのなす 頂角 する が前記 側出 前記 の間に形成 れるこ を特徴 する ～3の れ に記載の 折率 。

9 側出 面及び と共に前記 の 側面を構成する側壁 と、前記 の 面を構成する とを有し わ て 合され、前記 が前記 のプ ズム 、前記 2のプ ズム体及び 壁 互 の を突き合わ て 合されるこ によ て、上面を前記 に臨む 口部 するプ ズム が 成されるこ を特徴 する 8に記載の 折率 。

の 側面を構成する一対の 壁を有し、

前記 対の 壁が前記 のプ ズム体及び 2のプ ズム 互 の を突き合わ て 合されるこ によ て、上面を前記 に臨 口部 するプ ズム が 成されるこ を特徴 する 8に記載の 折率 。

前記 側出 の な も一方の 、プ ズム体が配置 されて るこ を特徴 する ～3の れ に記載の 折率 。

料を収容する収容 、外部 ら光が入 する外側 、前記 面 ら した光を前記 に出 する内側出 、前記 側出 面 ら し て前記 を通過した光が入 する内側 、前記 面 ら した 光を外部に出 する外側出 を有するプ ズム 、

前記 と前記 側出 との な とも一方の に配置 れたプ ズム とを備える 折率 。

3 料が収容 れる収容 、

外部 ら光が入 する外側 、

前記 面 ら した光を前記 に出 する内側出 、 面 ら した光を外部に出 する外側出 側出 と前記 との な とも一方の にお て光の波長 よる偏角の 散を大き する手段 を備える 折率 。

4 光を出 する 、

請求 ～3の れ に記載の 折率 具が設置 れた設置 える 折率 定装置。

5 光を出 する 、

請求 2に記載の 折率 具が設置された設置 、

前記 源 ら されて前記 折率 具を通過した

える 折率 定装置。

6 光を出 する 、

請求 3に記載の 折率 具が設置された設置 える 折率 定装置。

7 ～3の れ に記載の 折率 具に試料を収容するステップ 折率 具に光を照射するステップ 、

前記 折率 具を通過した光を検出するステップ 、

前記 果に基 て前記 料の 折率を算出するステップとを含む 定方法。

8 2に記載の 折率 具に試料を収容するステップ 、

前記 折率 具に光を照射するステップ 、

前記 折率 具を通過した光を検出するステップ 、

前記 果に基 て前記 料の 折率を算出するステップとを含む 定方法。

9 3に記載の 折率 具に試料を収容するステップ 、

前記 折率 具に光を照射するステップ 、

前記 折率 具を通過した光を検出するステップ 、 果に基 て前記 料の 折率を算出するステップとを含む 定方法。