WO2006049183A1

WO2006049183A1 - 放射線画像撮像装置

Info

Publication number: WO2006049183A1
Application number: PCT/JP2005/020135
Authority: WO
Inventors: Akihito Takahashi; Goubun Akatsuka
Original assignee: Mach Technology Co., Ltd.
Priority date: 2004-11-01
Filing date: 2005-11-01
Publication date: 2006-05-11
Also published as: JPWO2006049183A1

Abstract

　この発明は、プリント基板等に放射線を照射することで、それの欠陥を非接触的に検査するための放射線画像撮像装置に関し、そこで使用されるＣＣＤの放射線暴露による装置自体の信頼性、保全性の劣化に対処する。被写体３を透過した放射線２より照射されたシンチレータ４からの可視光線５が光学プリズム系６ａにより、偏向されて垂直下方に向かう。シンチレータ４、光学プリズム系６ａが放射線防護壁９に囲まれて、「放射線に暴露される領域」１０が形成される。垂直下方に向かった可視光線５は、放射線防護壁９の可視光線通過開口６ｂ経由で放射線防護壁９外部に進行し、そこに着脱可能に組み付けられた鏡筒７ａ内の「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に収納されたＣＣＤ８に到達して画像信号に変換される。ＣＣＤ８の収納された鏡筒７ａ部分は、高額部材が収納される「放射線に暴露される領域」１０から分離して保守交換できる。

Description

明細書

放射線画像撮像装置

技術分野

[0001] この発明は、例えば、電子部品を実装するプリント基板や半導体装置内の配線バタンなどの欠陥を X線などの放射線の利用により、非可視的に画像ィ匕しながら、シンチレータ、イメージングプレート、蛍光板などの放射線'可視光線変換素子により、可視的な画像に変換し、これを、例えば、電荷結合素子（Charge Coupled Device) (以下 CCDと略記する）などの光電変換撮像素子利用の電子カメラないし通常的な光学力メラなどの撮像装置により撮像することで、非接触的に欠陥検査を行うようにした放射線画像撮像装置に関連し、とくに、光電変換撮像素子利用の電子カメラ部分を交換容易にすることで、この部分の信頼性の低下や信頼性上の寿命の短縮化傾向、さらには、技術的寿命の短縮化傾向に対処するための改良に関するものである。

背景技術

[0002] 従前のこの種の放射線画像撮像装置にあっては、 X線により、被検査体としての基板等の被写体を照射し、被写体の背後に放射線'可視光線変換素子と光電変換撮像素子としての CCDが、被写体から見て、記載の順に配設されている。これらの放射線 ·可視光線変換素子と CCDは、一体的に CCDカメラのケーシング内に収納され、ケーシング内部の CCD力ケーシングを貫通してケーシング外部に導出された画像信号線経由で慣用的な画像信号がコンピュータを含む画像信号処理装置 12に入力される。画像信処理装置での常法的な画像信号処理により、被写体の可視光線画像がディスプレイ上に表示されて、欠陥の目視検査等に供されると共に、被写体を表す画像信号が記憶媒体に検索読出し可能に保存される。

[0003] こうした従前装置では、ケーシング内の光電変換撮像素子としての CCDが放射線' 可視光線変換素子と一体的に近接して配置されていることから、放射線 ·可視光線変換素子を通過した一部の X線に対し、 CCDが暴露される。放射線に暴露された C CDは、放射線環境係数依存の故障率（λ )の増加により、信頼性 (MTBF)が低下し、加えて、信頼性上の寿命も短縮ィ匕することから、市場での商品的成功が望めなかつた o

[0004] とりわけ、製造ラインでの欠陥検査装置として同形の被検査体を大量に繰り返して検査する場合には、同形画像の繰り返し撮像により、 X線暴露が集中化することで、 CCDの焼き付き損傷を招くことが、深刻な問題であった。

[0005] こうした放射線暴露に起因する CCDなどの光電変換撮像素子の信頼性 (MTBF) ないし信頼性上の寿命 (ワイブル分布上の IFR領域の磨耗故障期間の開始点）の短縮化、さらには焼き付き損傷に対処するための改良構成として、 CCDカメラのケーシング内に収納される CCDの配置箇所に関し、該ケーシング内で、放射線及び外光に暴露されな、領域に選定するようにしたものが特開平 11― 231056号公報に開示されている。

[0006] 力かる開示に係る構成は、図 1の側面断面図に示されるように、 X線源 1の X線 2照射方向の下流側には、プリント基板などの被検査体としての被写体 3が配置され、該被写体 3の X線 2照射方向のさらになる下流側には、 X線，可視光線 (波長）変換素子のシンチレータ 4が、 CCDカメラのケーシング 9の該被写体に対面する対被写体開口部 9aを遮るように配置されている。対被写体開口部 9aがシンチレータ 4で遮られたケーシング 9の内部には、該シンチレータ 4の略全面に 1辺が対面する姿勢で光学プリズム系 6aが配置され、該プリズム 6aの他の 1辺が CCDカメラのケーシング 9の底面に対面している。上記他の 1辺と上記底面との間には、光学レンズ系 7と CCD8が、該プリズムから見て記載の順で、垂直 2段に配置されている。 CCD8からは、図示省略の画像信号線がケーシング 9を貫通して、該ケーシング外部の画像信号処理装置 12に延びている。

[0007] 欠陥検査のための画像撮像時には、 X線源 1から放射状に進行する X線 2が被検查体の被写体 3を照射し、該被写体 3を透過した X線 2により、欠陥があれば、それを含む被写体 3の X線画像がシンチレータ 4の面上に形成される。上記シンチレータ 4 面上の X線画像は、該シンチレータによる波長変換作用により、可視光線画像に変換されて、該可視光線画像からの可視光線 5が対被写体開口部 9a経由で放射線防護壁としても働くケーシング 9内に進入する。このとき、変換された可視光線画像からの可視光線 5ば力りではなぐシンチレータ 4で可視光線に変換し切れなかった残余の X線 2aも一緒にケーシング 9内に進入する。可視光線 5の方は、光学プリズム系 6a の背面傾斜面 6aaでの反射作用により、略直角に屈折することで、上記光学プリズム系 6aの他の 1辺を透過して光学レンズ系 7に向力い、ここで収斂、結像作用を受けな力 Sらケーシング 9の底面カも該光学レンズ系に臨む CCD8に到達する。ここに到達した可視光線 5により結像された可視光線画像を表す画像信号が画像信号線経由で画像信号処理装置 12に入力されて、常法的な画像信号処理に供される。一方、上記残余の X線 2aの方は、ケーシング 9の対被写体開口部 9aからシンチレータ 4を透過して X線 2の放射状の進路の延長線沿いにケーシング 9内に進入するが、可視光線 5とは違い、光学プリズム系 6aによる反射作用を受けることがないので、そのまま、放射状の進路の延長線沿いの領域に進行することで、ケーシング 9内部において、「放射線に暴露される領域」 10を形成する。その半面で、上記残余の X線 2aの放射状の進路の延長線沿いの領域から外れた領域には、ケーシング 9内部において、「放射線及び外光に暴露されない領域」 11が形成されるので、ケーシング 9内部のこうした領域 11〖こ、 CCDを配置することができる。これ〖こより、 CCDの X線暴露による既述のさまざまな弊害が解消できると主張されるものである。

[0008] し力しながら、こうした特開平 11— 231056号公開公報が発明として主張する構成にお、て、同号公開公報の開示事項により説明（支持)されて、る「放射線及び外光に暴露されない領域」 11に関しては、 CCDカメラの放射線防護壁としても働くケーシング 9内部の空間として、 CCDカメラ自体に対し、一体的に形成されているものである。

[0009] 従って、ケーシング 9の外部に配置される画像信号処理装置 12は、漏洩 X線の暴露カゝら十分に保護されるものの、放射線防護壁として働くケーシング 9の内部に形成される「放射線及び外光に暴露されない領域」 11に関しては、光学プリズム系 6aないしケーシング 9内面力の不測の外乱的反射等による放射線暴露から、十分な暴露防護作用が確保されないので、 CCDの X線暴露による既述のさまざまな弊害の解消が不徹底であるばかりか、 CCDへの雑音原因ともなり、画像品質の劣化が当業者において知見されるところでもある。

[0010] こうした CCDの X線暴露による信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷などの弊害が残存する中では、放射線対策技術の開拓が進んできている光学プリズム系 6aとの相対関係において、 CCDなど半導体製の光電変換撮像素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化に対し、該光電変換素子周りでの MTTR ベースの保全性 (Maintainability)を織り込むことで、装置全体の稼働性 (Availability) が支配されることになるが、ケーシング 9内に一体的に収納されている CCD8を部分的に修理するのは、保守作業が非効率的で、 MTTRが長大化するので、 CCDカメラの装置全体の稼働性の悪化に繋がる。一方で、装置全体の保全性を維持すベぐ CCDカメラの装置全体を交換するのは、 CCD8のそれに対し、相対的に高価な光学プリズム系 6aの使用可能期間を奪うことになるので、極めて不経済である。

[0011] それに加えて、ケーシング 9内に一体的に収納されている光学レンズ系 7に関しては、光学カメラの用途の多様ィ匕に対処して、しばしば、設計的に変更される傾向があり、また、同じぐ一体的に収納されている CCD8に関しては、半導体製造技術の日進月歩の向上力の恩恵を受けて、解像度などの撮像性能の点での改良がしばしば施される傾向にあり、両者共、総じて、技術的寿命の点でも、同様に一体的に収納されている光学プリズム系 6aのそれとの相対では、相当に短命であるので、上記した CCDカメラの装置全体の交換力光学レンズ系 7ないし CCD8の相当に短命な技術的寿命により動機付けられるときは、上記の不経済は、より一層深刻なものとなる。

[0012] 要すれば、特開平 11— 231056号公報開示の発明にも見られるような従前装置にあっては、放射線暴露に対する防護不徹底由来の半導体製光電変換素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷の問題ないし半導体製光電変換撮像素子等の破損時の保全性確保の観点力の不可避的なカメラ装置の全体的交換による不経済の問題、さらにはカメラ装置の設計的多様ィ匕由来や半導体製光電変換撮像素子等の性能向上由来の技術的寿命対応のためのカメラ装置の全体的交換による一層深刻な不経済の問題を抱えて、た。

特許文献 1：特開平 11 231056号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0013] この発明の課題は、上記従前技術に基づぐ半導体製光電変換撮像素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷の問題ないし保全性確保のためのカメラ装置の全体的交換による不経済の問題、さらには技術的寿命対応のためのカメラ装置の全体的交換による不経済の問題を解決する優れた放射線画像撮像装置を提供することである。

課題を解決するための手段

[0014] この発明は、上記従前技術による半導体製光電変換撮像素子の信頼性を巡る問題点とカメラ装置の全体的交換を巡る不経済の問題点に鑑み、放射線'可視光線変換手段 4と可視光線偏向手段 6a, 6bが放射線防護壁 9で取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」 10とは別に、放射線防護壁 9の可視光線通過開口 9bに整合する鏡筒開口 7bを介して放射線防護壁 9に対し着脱可能に組み付けられる鏡筒 7a内に光電変換撮像手段 8が取り囲まれるように画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」 11を設けることにより、上記の問題点を解決し、半導体製光電変換撮像手段 8の信頼性と寿命に富み、かつ、カメラ装置の全体的交換の不経済を回避できる優れた放射線画像撮像装置を提供するものである。

[0015] カゝかる発明の構成は、典型的には、図 2に示されるように、被写体 3が放射線源 1から放射される放射線 2により照射されており、放射線 ·可視光線変換手段 4が上記被写体 3の放射線 2照射方向の下流側に配置されていて、該照射方向の上流側から上記被写体 3を透過して入射される放射線 2を波長変換し、可視光線として放射し、可視光線偏向手段 6a, 6bが上記放射線 ·可視光線変換手段 4で変換されて、そこから放射された可視光線 5を偏向し、放射線防護壁 9が少なくても、上記放射線 ·可視光線変換手段 4と上記可視光線偏向手段 6a, 6bを取り囲んで「放射線に暴露される領域」 10を画成し、その放射防護壁 9には、可視光線 5の通過可能な可視光通過開口 9bが設けられており、鏡筒 7aが上記可視光線通過開口 9bに対し着脱可能に組み付けられて、内部に「放射線及び外光に暴露されない領域」 11を画成し、その「放射線及び外光に暴露されなヽ領域」 11に配置された光電変換撮像素子 8が可視光線通過開口 9b通過の可視光線 5を画像信号に変換するように働くものである。

[0016] なお、上記構成における上記放射線 ·可視光線変換手段 4に関しては、シンチレ一タ、イメージングプレート、蛍光板などが随意の選択により採用可能に上巿されている力これらに限られる所以はなぐ放射線を波長変換して可視光線に変換できるすべての素子は、ここにいう放射線 ·可視光線変換手段 4に含まれる。また、上記構成での可視光線偏向手段 6a, 6bに関しては、光学プリズム系ないし光学ミラー系が択一的選択可能に上巿されているが、これらに限られる所以はなぐ可視光線の進路を偏向できるすべての要素は、ここにいう可視光線偏向手段 6a, 6bに含まれる。近時は、宇宙航空工学の成果利用の観点から、放射性耐性を配慮した製品が開拓されつつある事情が知られている。

[0017] さらに、上記構成での光電変換撮像手段 8に関しては、 CCDないしイメージセンサが随意の選択可能に上巿されているが、これに限られる所以はなぐ可視光線画像を画像信号に変換できるすべての素子は、ここにいう光電変換撮像手段 8に含まれる。かかる素子のうち、半導体製のものは、放射線に対して、脆弱な傾向にあり、放射線耐性の改善努力の事情も知られていないので、ここでは、上記可視光線偏向手段 6a, 6bないし上記放射線 ·可視光線変換手段 4のそれとの相対関係において、放射線耐性の劣る光電変換撮像素子が想定されて!ヽる。

発明の効果

[0018] この発明によれば、放射線'可視光線変換手段 4と可視光線偏向手段 6a、 6bが放射線防護壁 9で取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」 10とは別に、放射線防護壁 9の可視光線通過開口 9bに対し着脱可能に組み付けられる鏡筒 7a内に画成された「放射線及び外光に暴露されな!ヽ領域」 11に光電変換手段 8を配置する構成としたことにより、上記可視光線偏向手段 6a, 6bないし上記放射線'可視光線変換手段 4のそれとの相対関係において、放射線耐性の劣る光電変換撮像手段 8が放射線防護壁 9外部の「放射線及び外光に暴露されな!、領域」 11内で放射線暴露から徹底的に防護されるので、光電変換撮像手段 8の信頼性ない信頼性上の寿命を格段に向上 (長大化)させることができ、しかも、光電変換撮像手段 8の破損時には、鏡筒 7a部分の交換で済ませることで、カメラ装置の全体的な交換を避けることができるので、信頼性の顕著な向上と経済性の格段の改善が同時的に図れるという優れた効果が奏される。

[0019] また、この発明によれば、内部に光電変換撮像手段 8が取り囲まれるように画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」 11を有する鏡筒 7a部分に関し、可視光線偏向手段 6a6bと放射線 ·可視光線変換手段 4が放射線防護壁 9内部に取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」 10を有する装置部分から着脱可能に分離できる構成としたことにより、光電変換撮像手段 8の破損時以外の経常時にも、鏡筒 7a部分の交換が容易であるので、光電変換撮像手段 8を含む鏡筒 7a部分の技術的寿命に柔軟に対処することで、経済性の大幅向上が図れるという優れた効果ち奏される。

[0020] そのうえ、この発明によれば、放射線防護壁 6で取り囲まれた「放射線に暴露される領域」 10に収納される可視光線偏向手段 6a6bと放射線 ·可視光線変換手段 4以外の結像用の光学レンズ系をも、該放射線防護壁 9に対して着脱可能な鏡筒 7a内の「放射線及び外光に暴露されな!ヽ領域」 11に光電変換撮像手段 8と一緒に自然に収納できるように構成したことにより、鏡筒 7aに代えて、市販の CCDカメラをそのまま放射線防護壁 9の可視光線通過開口 9bに取り付けることができるので、利便性と経済性がさらに好転するという付随的効果も奏される。

図面の簡単な説明

[0021] [図 1]図 1は、従来例の放射線画像撮像装置の構成を示す断面図である。

[図 2]図 2は、この発明の第 1の実施例の放射線画像撮像装置の構成を示す断面図である。

[図 3]図 3は、は、この発明の第 2の実施例の放射線画像撮像装置の構成を示す断面図である。

[図 4]図 4は、この発明の第 2の実施例の放射線画像撮像装置の構成の変形態様を示す断面図である。

[図 5]図 5は、この発明の第 2の実施例の放射線画像撮像装置の構成の他の変形態様を示す断面図である。

[図 6]図 6は、この発明の第 2の実施例の放射線画像撮像装置の構成の他の変形態様を示す透過斜視である。

符号の説明

[0022] 1 放射線源 2 放射線

3 被写体

4 放射線 ·可視光線変換手段

5 可視光線

6a, 6b 可視光線偏向手段

6a 光学プリズム系

6b 光学ミラー系

7 光学レンズ系

7a 鏡筒

7b 鏡筒開口

8 光電変換撮像手段

9 放射線防護壁

9a 対被写体開口部

9b 可視光線通過開口

10 放射線に暴露される領域

11 放射線及び外光に暴露されない領域

発明を実施するための最良の形態

[0023] [第 1の実施例]

図 2の断面図を参照しながら、この発明の第 1の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図 1に現れた符号と同一の符号により図 2中で指し示した構成要素は、図 1 のものと同一である。

[0024] 図 2において、 X線源 1からの X線 2照射方向の下流側には、プリント基板などの被検査体としての被写体 3が配置され、該被写体 3の X線 2照射方向のさらなる下流側には、放射線 ·可視光線 (波長）変換素子のシンチレータ 4が配置されている。上記シンチレータ 4の放射線方向のさらなる下流には、該シンチレータ 4の略全面に 1辺が対面する姿勢で可視光線偏向手段の光学プリズム系 6aが配置され、該プリズム 6aの他の 1辺が放射線防護壁としても働くケーシング 9の底面に対面している。これらの放射線源 1とシンチレータ 4と光学プリズム系 6aは、装置本体の放射線防護壁のケーシング 9内に一体的に収納されており、該ケーシング 9は、該放射線源 1と該シンチレ一タ 4と該光学プリズム系 6aを囲ヽ込むようにして「放射線に暴露される領域」 10を画成している。上記光学プリズム系 6aの他の 1辺が対面するケーシング 9の底面には、可視光線通過開口 9bが設けられている。上記可視光線通過開口 9bに臨んで、着脱可能に鏡筒 7aが組み付けられている。上記鏡筒 7bの図示の上方は鏡筒開口 7bとして開放されており、組み付け時には、該鏡筒開口 7bが、上記可視光線通過開口 9b に対して、着脱可能に整合する。上記鏡筒 7aの上記鏡筒開口 7bの周縁部分は、外方に張る出たフランジ 7cに形成されており、組み付け時には、該フランジ 7cが、ビスなどの適宜の螺着具 7dにより、上記可視光線通過開口 9b周縁部位のケーシング 9 に対し、位置決めされて着脱可能に螺着される。上記鏡筒 7a内部には、光学レンズ系 7と光電変換撮像手段の CCD8が、上記鏡筒開口 7bから見て記載の順で垂直 2 段に配置されている。ここで、鏡筒 7aは、上記光学レンズ系 7と上記 CCD8を囲い込むようにして、放射線防護壁として働くケーシング 9の外部に「放射線及び外光に暴露されない領域」 11を画成している。上記 CCD8からは、図示省略の画像信号線がケーシング 9を貫通して、該ケーシング外部の画像信号処理装置 12に延びて、る。

[0025] 欠陥検査のための画像撮像時に、上記シンチレータ 4上の可視光線画像からの可視光線 5が光学プリズム系 6aの 45° 背面傾斜面 6aaでの反射作用により、略直角に屈折することで、上記光学プリズム系 6aの他の 1辺を透過して光学レンズ系 7に向かうまでの動作は、図 1の構成の場合と同じである。上記光学レンズ系 7に向力つた可視光線 5は、可視光線通過開口 9bと鏡筒開口 7bを通過して、さらに、鏡筒 7a内の光学レンズ系 7で収斂、結像作用を受けながら進行し、放射線防護壁として働くケーシング 9外部に画成された「放射線及び外光に暴露されな!ヽ領域」 11内に該鏡筒 7aの端面力該鏡筒開口 7bに臨む姿勢で配置されている CCD8に到達する。以降の動作は、図 1の構成の場合と同じである。一方、放射線源 1から被写体 3外に漏洩放射される余分の X線やシンチレータ 4で可視光線に変換し切れな力つた残余の X線 2a は、放射線防護壁として働くケーシング 9内に限定的に画成された「放射線に暴露される領域」 10内に封じ込められるものである。

[0026] [第 2の実施例] 図 3の断面図を参照しながら、この発明の第 2の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図 2に現れた符号と同一の符号により図 3中で指し示した構成要素は、図 2 のものと同一である。

[0027] 第 2の実施例の構成にあっては、可視光線偏向手段 6a、 6bに関し、図 2に示される第 1の実施例において採用されている光学プリズム系 6aに代えて、光学ミラー系 6b が採用されている。その他の構成は、図 2に示される第 1の実施例の構成と同じである。

[0028] 欠陥検査のための画像撮像時には、上記シンチレータ 4上の可視光線画像からの可視光線 5が光学ミラー系 6bの 45° 傾斜面 6bbでの反射作用により、略直角に屈折することで、鏡筒 7a内の光学レンズ系 7に向かう。その他の動作は図 2に示される第 1の実施例の構成の場合と同じである。

[0029] 図 4は、上記第 2の実施例の構成に修正用光学レンズ系 13を付加する点の変形態様の構成を示す断面図であり、ケーシング 9内部の「放射線に暴露される領域」 10内に配置されているシンチレータ 4と光学ミラー系 6bとの間に、修正用光学レンズ系 13 が付カ卩的に挿入配置されている。図 3に現れた符号と同一の符号により図 4中で指し示した構成要素は、図 3のものと同一である。

[0030] 欠陥検査のための画像撮像時に、上記シンチレータ 4から上記光学ミラー系 6bに向力う可視光線 5に関し、予め、波長ごとの偏向修正を施すことで、該光学ミラー系 6 bの 45° 傾斜面 6bbでの波長ことの反射角度のずれを修正する動作が付加される。ここで追加挿入される修正用光学レンズ系 13も、鏡筒 7a部分との相対で、コストの嵩む傾向にあるので、該鏡筒 7a部分の交換で済ませることの経済的実益力この実施態様により増強される。

[0031] その他の構成と動作は、図 3の第 2の実施例の構成の場合と同じでる。

[0032] なお、例えば、図 3の構成におけるケーシング 9は、放射線源 1や被写体 3をも囲み込んで封じ込めるようなものである必要はなぐ図 5に示されるように、ケーシング 9の被写体開口部 9aaから、被写体 3を部分的に外部に露出させることで、被写体 3の交換作業時における該被写体 3へのアクセスの利便性を改善するのは随意である。こうした改善の実施態様にあっても、放射線防護壁として働くケーシング 9の外部に装着された鏡筒 7a内には、「放射線及び外光に暴露されない領域」 11が画成されて、その領域内で CCD8が信頼的、かつ、保全容易に稼働する。

[0033] 図 6は、第 3図に示された上記第 2の実施例の構成の 4個を一体的に連結した構成の実施態様である。図 3に現れた符号と同一の符号により図 6ないし図 5中で指し示した構成要素は、図 3のものと同一である。ケーシング 9内には、 1個の放射線源 1に対し、 X線 2下流で対面する大型の被写体 3とさらなる下流で該被写体 3に対面する大型のシンチレータ 4が配置されて!、る。上記大型のシンチレータ 4からの可視光線 5下流には、 4個の光学ミラー系 6bが、上記シンチレータ 4の X線照射面を上下、左右に 2等分する 4個の可視光線画像区分対応で、上下 2段左右 2列に配置されている。上記 4個の可視光線画像区分の上段の 2個には、互いに左右反対向きに傾斜する 2個の 45° 傾斜面 6bbUL、 6bbURが対面しており、下段の 2個には、同じく互いに左右反対向きに傾斜する 2個の 45° 傾斜面 6bbDL、 6bbDRが対面している。放射線防護壁としても働くケーシング 9内には、こうした放射線源 1、シンチレータ 4、光学ミラー系 6bを一体的に格納するような大型の「放射線に暴露される領域」 10が画成されている。上記光学ミラー系 6bの 4個の 45° 傾斜面 6bbUL、 6bbUR、 6bbDL 、 6bbDRの各々に対応するケーシング 9の部位には、各別に 4個の可視光線通過開口 9bが設けられており、該 4個の可視光線通過開口 9bには、各別に 4個の鏡筒開口 7bが整合するような姿勢で、鏡筒 7aが着脱可能に組み付けられている。

[0034] 欠陥検査のための画像撮像時には、シンチレータ 4上の 4個の可視光線画像区分力の可視光線 5が図 3の構成の 4個分の並列的動作により、 4個の鏡筒 7a内の 4個の「放射線及び外光に暴露されない領域」 11に各別に配置された 4個の CCD8からの 4個の画像信号が画像信号処理装置 12に入力されて、ここで、 1個の画像に合成される。こうした実施態様では、ケーシング 9内に収納されるシンチレータ 4が大型のものとなり、 4個の 45。傾斜面 6bbUL、 6bbUR、 6bbDL、 6bbDRを備えた光学ミラ一系 6bも、複雑高度のものとなる。従って、両者共に、鏡筒 7a部分との相対では、コストの非常に嵩むものになるので、該鏡筒 7a部分の交換で済ませることの経済的実益が殊更に増強される。 4個の CCD8を含めて 4個の鏡筒部分 7b自体の大型化が回避できるので、鏡筒 7b部分の個別の信頼性と保全性に対し、大型化の代償しての大幅な犠牲を課すことがな、と、う実益もある。

産業上の利用可能性

この発明は、信頼性高く、保全性に優れた放射線画像撮像装置を提供するので、産業上の利用可能性は絶大である。

Claims

請求の範囲

[1] 放射線源 1からの放射線 2によって照射される被写体 3の下流側に配置され、被写体 3を透過した放射線を可視光線に変換する放射線，可視光線変換手段 4と；上記変換された可視光線 5を偏向する可視光線偏向手段 6a、 6bと；

上記放射線 ·可視光線変換手段 4 及び上記可視光線偏向手段 6a、 6bを取囲んで放射線に暴露される領域 10を画成し且つ可視光線 5が通過可能な可視光線通過開口 9bを有する放射線防護壁 9と；

上記可視光線通過開口 9bに着脱可能に組み付けられ、且つ放射線及び外光に暴露されな!ヽ領域 11を画成する鏡筒 7aと;及び

上記鏡筒 7a内の放射線及び外光に暴露されな、領域 11に配置され、上記可視光線通過開口 9b通過の可視光線を画像信号に変換する光電変換撮像手段 8とを備えたことを特徴とする放射線画像撮像装置。

[2] 上記可視光線偏向手段が光学プリズム系 6aであることを特徴とする請求項 1記載の放射線画像撮像装置。

[3] 上記可視光線偏向手段が光学ミラー系 6bであることを特徴とする請求項 1記載の放射線画像撮像装置。

[4] 上記光電変換撮像手段 8の上流の鏡筒 7a内に光学レンズ系 7を配置したことを特徴とする請求項 1、 2又は 3記載の放射線画像撮像装置。

[5] 上記放射線 ·可視光線変換手段 4と上記可視光線偏向手段 6a、 6bとの間に変換された可視光線の波長ごとの偏向修正を施すための修正用光学レンズ系 13を配置したことを特徴とする請求項 4記載の放射線画像撮像装置。