JPWO2006049183A1 - 放射線画像撮像装置 - Google Patents
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Abstract
この発明は、プリント基板等に放射線を照射することで、それの欠陥を非接触的に検査するための放射線画像撮像装置に関し、そこで使用されるCCDの放射線暴露による装置自体の信頼性、保全性の劣化に対処する。被写体3を透過した放射線2より照射されたシンチレータ4からの可視光線5が光学プリズム系6aにより、偏向されて垂直下方に向かう。シンチレータ4、光学プリズム系6aが放射線防護壁9に囲まれて、「放射線に暴露される領域」10が形成される。垂直下方に向かった可視光線5は、放射線防護壁9の可視光線通過開口6b経由で放射線防護壁9外部に進行し、そこに着脱可能に組み付けられた鏡筒7a内の「放射線及び外光に暴露されない領域」11に収納されたCCD8に到達して画像信号に変換される。CCD8の収納された鏡筒7a部分は、高額部材が収納される「放射線に暴露される領域」10から分離して保守交換できる。
Description
この発明は、例えば、電子部品を実装するプリント基板や半導体装置内の配線パタンなどの欠陥をX線などの放射線の利用により、非可視的に画像化しながら、シンチレータ、イメージングプレート、蛍光板などの放射線・可視光線変換素子により、可視的な画像に変換し、これを、例えば、電荷結合素子(Charge Coupled Device)(以下CCDと略記する)などの光電変換撮像素子利用の電子カメラないし通常的な光学カメラなどの撮像装置により撮像することで、非接触的に欠陥検査を行うようにした放射線画像撮像装置に関連し、とくに、光電変換撮像素子利用の電子カメラ部分を交換容易にすることで、この部分の信頼性の低下や信頼性上の寿命の短縮化傾向、さらには、技術的寿命の短縮化傾向に対処するための改良に関するものである。
従前のこの種の放射線画像撮像装置にあっては、X線により、被検査体としての基板等の被写体を照射し、被写体の背後に放射線・可視光線変換素子と光電変換撮像素子としてのCCDが、被写体から見て、記載の順に配設されている。これらの放射線・可視光線変換素子とCCDは、一体的にCCDカメラのケーシング内に収納され、ケーシング内部のCCDからケーシングを貫通してケーシング外部に導出された画像信号線経由で慣用的な画像信号がコンピュータを含む画像信号処理装置12に入力される。画像信処理装置での常法的な画像信号処理により、被写体の可視光線画像がディスプレイ上に表示されて、欠陥の目視検査等に供されると共に、被写体を表す画像信号が記憶媒体に検索読出し可能に保存される。
こうした従前装置では、ケーシング内の光電変換撮像素子としてのCCDが放射線・可視光線変換素子と一体的に近接して配置されていることから、放射線・可視光線変換素子を通過した一部のX線に対し、CCDが暴露される。放射線に暴露されたCCDは、放射線環境係数依存の故障率(λ)の増加により、信頼性(MTBF)が低下し、加えて、信頼性上の寿命も短縮化することから、市場での商品的成功が望めなかった。
とりわけ、製造ラインでの欠陥検査装置として同形の被検査体を大量に繰り返して検査する場合には、同形画像の繰り返し撮像により、X線暴露が集中化することで、CCDの焼き付き損傷を招くことが、深刻な問題であった。
こうした放射線暴露に起因するCCDなどの光電変換撮像素子の信頼性(MTBF)ないし信頼性上の寿命(ワイブル分布上のIFR領域の磨耗故障期間の開始点)の短縮化、さらには焼き付き損傷に対処するための改良構成として、CCDカメラのケーシング内に収納されるCCDの配置箇所に関し、該ケーシング内で、放射線及び外光に暴露されない領域に選定するようにしたものが特開平11−231056号公報に開示されている。
かかる開示に係る構成は、図1の側面断面図に示されるように、X線源1のX線2照射方向の下流側には、プリント基板などの被検査体としての被写体3が配置され、該被写体3のX線2照射方向のさらになる下流側には、X線・可視光線(波長)変換素子のシンチレータ4が、CCDカメラのケーシング9の該被写体に対面する対被写体開口部9aを遮るように配置されている。対被写体開口部9aがシンチレータ4で遮られたケーシング9の内部には、該シンチレータ4の略全面に1辺が対面する姿勢で光学プリズム系6aが配置され、該プリズム6aの他の1辺がCCDカメラのケーシング9の底面に対面している。上記他の1辺と上記底面との間には、光学レンズ系7とCCD8が、該プリズムから見て記載の順で、垂直2段に配置されている。CCD8からは、図示省略の画像信号線がケーシング9を貫通して、該ケーシング外部の画像信号処理装置12に延びている。
欠陥検査のための画像撮像時には、X線源1から放射状に進行するX線2が被検査体の被写体3を照射し、該被写体3を透過したX線2により、欠陥があれば、それを含む被写体3のX線画像がシンチレータ4の面上に形成される。上記シンチレータ4面上のX線画像は、該シンチレータによる波長変換作用により、可視光線画像に変換されて、該可視光線画像からの可視光線5が対被写体開口部9a経由で放射線防護壁としても働くケーシング9内に進入する。このとき、変換された可視光線画像からの可視光線5ばかりではなく、シンチレータ4で可視光線に変換し切れなかった残余のX線2aも一緒にケーシング9内に進入する。可視光線5の方は、光学プリズム系6aの背面傾斜面6aaでの反射作用により、略直角に屈折することで、上記光学プリズム系6aの他の1辺を透過して光学レンズ系7に向かい、ここで収斂、結像作用を受けながらケーシング9の底面から該光学レンズ系に臨むCCD8に到達する。ここに到達した可視光線5により結像された可視光線画像を表す画像信号が画像信号線経由で画像信号処理装置12に入力されて、常法的な画像信号処理に供される。一方、上記残余のX線2aの方は、ケーシング9の対被写体開口部9aからシンチレータ4を透過してX線2の放射状の進路の延長線沿いにケーシング9内に進入するが、可視光線5とは違い、光学プリズム系6aによる反射作用を受けることがないので、そのまま、放射状の進路の延長線沿いの領域に進行することで、ケーシング9内部において、「放射線に暴露される領域」10を形成する。その半面で、上記残余のX線2aの放射状の進路の延長線沿いの領域から外れた領域には、ケーシング9内部において、「放射線及び外光に暴露されない領域」11が形成されるので、ケーシング9内部のこうした領域11に、CCDを配置することができる。これにより、CCDのX線暴露による既述のさまざまな弊害が解消できると主張されるものである。
しかしながら、こうした特開平11−231056号公開公報が発明として主張する構成において、同号公開公報の開示事項により説明(支持)されている「放射線及び外光に暴露されない領域」11に関しては、CCDカメラの放射線防護壁としても働くケーシング9内部の空間として、CCDカメラ自体に対し、一体的に形成されているものである。
従って、ケーシング9の外部に配置される画像信号処理装置12は、漏洩X線の暴露から十分に保護されるものの、放射線防護壁として働くケーシング9の内部に形成される「放射線及び外光に暴露されない領域」11に関しては、光学プリズム系6aないしケーシング9内面からの不測の外乱的反射等による放射線暴露から、十分な暴露防護作用が確保されないので、CCDのX線暴露による既述のさまざまな弊害の解消が不徹底であるばかりか、CCDへの雑音原因ともなり、画像品質の劣化が当業者において知見されるところでもある。
こうしたCCDのX線暴露による信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷などの弊害が残存する中では、放射線対策技術の開拓が進んできている光学プリズム系6aとの相対関係において、CCDなど半導体製の光電変換撮像素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化に対し、該光電変換素子周りでのMTTRベースの保全性(Maintainability)を織り込むことで、装置全体の稼働性(Availability)が 支配されることになるが、ケーシング9内に一体的に収納されているCCD8を部分的に修理するのは、保守作業が非効率的で、MTTRが長大化するので、CCDカメラの装置全体の稼働性の悪化に繋がる。一方で、装置全体の保全性を維持すべく、CCDカメラの装置全体を交換するのは、CCD8のそれに対し、相対的に高価な光学プリズム系6aの使用可能期間を奪うことになるので、極めて不経済である。
それに加えて、ケーシング9内に一体的に収納されている光学レンズ系7に関しては、光学カメラの用途の多様化に対処して、しばしば、設計的に変更される傾向があり、また、同じく、一体的に収納されているCCD8に関しては、半導体製造技術の日進月歩の向上からの恩恵を受けて、解像度などの撮像性能の点での改良がしばしば施される傾向にあり、両者共、総じて、技術的寿命の点でも、同様に一体的に収納されている光学プリズム系6aのそれとの相対では、相当に短命であるので、上記したCCDカメラの装置全体の交換が、光学レンズ系7ないしCCD8の相当に短命な技術的寿命により動機付けられるときは、上記の不経済は、より一層深刻なものとなる。
要すれば、特開平11−231056号公報開示の発明にも見られるような従前装置にあっては、放射線暴露に対する防護不徹底由来の半導体製光電変換素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷の問題ないし半導体製光電変換撮像素子等の破損時の保全性確保の観点からの不可避的なカメラ装置の全体的交換による不経済の問題、さらにはカメラ装置の設計的多様化由来や半導体製光電変換撮像素子等の性能向上由来の技術的寿命対応のためのカメラ装置の全体的交換による一層深刻な不経済の問題を抱えていた。
特開平11−231056号公報
この発明の課題は、上記従前技術に基づく、半導体製光電変換撮像素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷の問題ないし保全性確保のためのカメラ装置の全体的交換による不経済の問題、さらには技術的寿命対応のためのカメラ装置の全体的交換による不経済の問題を解決する優れた放射線画像撮像装置を提供することである。
この発明は、上記従前技術による半導体製光電変換撮像素子の信頼性を巡る問題点とカメラ装置の全体的交換を巡る不経済の問題点に鑑み、放射線・可視光線変換手段4と可視光線偏向手段6a,6bが放射線防護壁9で取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」10とは別に、放射線防護壁9の可視光線通過開口9bに整合する鏡筒開口7bを介して放射線防護壁9に対し着脱可能に組み付けられる鏡筒7a内に光電変換撮像手段8が取り囲まれるように画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」11を設けることにより、上記の問題点を解決し、半導体製光電変換撮像手段8の信頼性と寿命に富み、かつ、カメラ装置の全体的交換の不経済を回避できる優れた放射線画像撮像装置を提供するものである。
かかる発明の構成は、典型的には、図2に示されるように、被写体3が放射線源1から放射される放射線2により照射されており、放射線・可視光線変換手段4が上記被写体3の放射線2照射方向の下流側に配置されていて、該照射方向の上流側から上記被写体3を透過して入射される放射線2を波長変換し、可視光線として放射し、可視光線偏向手段6a,6bが上記放射線・可視光線変換手段4で変換されて、そこから放射された可視光線5を偏向し、放射線防護壁9が少なくても、上記放射線・可視光線変換手段4と上記可視光線偏向手段6a,6bを取り囲んで「放射線に暴露される領域」10を画成し、その放射防護壁9には、可視光線5の通過可能な可視光通過開口9bが設けられており、鏡筒7aが上記可視光線通過開口9bに対し着脱可能に組み付けられて、内部に「放射線及び外光に暴露されない領域」11を画成し、その「放射線及び外光に暴露されない領域」11に配置された光電変換撮像素子8が可視光線通過開口9b通過の可視光線5を画像信号に変換するように働くものである。
なお、上記構成における上記放射線・可視光線変換手段4に関しては、シンチレータ、イメージングプレート、蛍光板などが随意の選択により採用可能に上市されているが、これらに限られる所以はなく、放射線を波長変換して可視光線に変換できるすべての素子は、ここにいう放射線・可視光線変換手段4に含まれる。また、上記構成での可視光線偏向手段6a,6bに関しては、光学プリズム系ないし光学ミラー系が択一的選択可能に上市されているが、これらに限られる所以はなく、可視光線の進路を偏向できるすべての要素は、ここにいう可視光線偏向手段6a,6bに含まれる。近時は、宇宙航空工学の成果利用の観点から、放射性耐性を配慮した製品が開拓されつつある事情が知られている。
さらに、上記構成での光電変換撮像手段8に関しては、CCDないしイメージセンサが随意の選択可能に上市されているが、これに限られる所以はなく、可視光線画像を画像信号に変換できるすべての素子は、ここにいう光電変換撮像手段8に含まれる。かかる素子のうち、半導体製のものは、放射線に対して、脆弱な傾向にあり、放射線耐性の改善努力の事情も知られていないので、ここでは、上記可視光線偏向手段6a,6bないし上記放射線・可視光線変換手段4のそれとの相対関係において、放射線耐性の劣る光電変換撮像素子が想定されている。
この発明によれば、放射線・可視光線変換手段4と可視光線偏向手段6a、6bが放射線防護壁9で取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」10とは別に、放射線防護壁9の可視光線通過開口9bに対し着脱可能に組み付けられる鏡筒7a内に画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」11に光電変換手段8を配置する構成としたことにより、上記可視光線偏向手段6a,6bないし上記放射線・可視光線変換手段4のそれとの相対関係において、放射線耐性の劣る光電変換撮像手段8が放射線防護壁9外部の「放射線及び外光に暴露されない領域」11内で放射線暴露から徹底的に防護されるので、光電変換撮像手段8の信頼性ない信頼性上の寿命を格段に向上(長大化)させることができ、しかも、光電変換撮像手段8の破損時には、鏡筒7a部分の交換で済ませることで、カメラ装置の全体的な交換を避けることができるので、信頼性の顕著な向上と経済性の格段の改善が同時的に図れるという優れた効果が奏される。
また、この発明によれば、内部に光電変換撮像手段8が取り囲まれるように画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」11を有する鏡筒7a部分に関し、可視光線偏向手段6a6bと放射線・可視光線変換手段4が放射線防護壁9内部に取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」10を有する装置部分から着脱可能に分離できる構成としたことにより、光電変換撮像手段8の破損時以外の経常時にも、鏡筒7a部分の交換が容易であるので、光電変換撮像手段8を含む鏡筒7a部分の技術的寿命に柔軟に対処することで、経済性の大幅向上が図れるという優れた効果も奏される。
そのうえ、この発明によれば、放射線防護壁6で取り囲まれた「放射線に暴露される領域」10に収納される可視光線偏向手段6a6bと放射線・可視光線変換手段4以外の結像用の光学レンズ系をも、該放射線防護壁9に対して着脱可能な鏡筒7a内の「放射線及び外光に暴露されない領域」11に光電変換撮像手段8と一緒に自然に収納できるように構成したことにより、鏡筒7aに代えて、市販のCCDカメラをそのまま放射線防護壁9の可視光線通過開口9bに取り付けることができるので、利便性と経済性がさらに好転するという付随的効果も奏される。
1 放射線源
2 放射線
3 被写体
4 放射線・可視光線変換手段
5 可視光線
6a、6b 可視光線偏向手段
6a 光学プリズム系
6b 光学ミラー系
7 光学レンズ系
7a 鏡筒
7b 鏡筒開口
8 光電変換撮像手段
9 放射線防護壁
9a 対被写体開口部
9b 可視光線通過開口
10 放射線に暴露される領域
11 放射線及び外光に暴露されない領域
2 放射線
3 被写体
4 放射線・可視光線変換手段
5 可視光線
6a、6b 可視光線偏向手段
6a 光学プリズム系
6b 光学ミラー系
7 光学レンズ系
7a 鏡筒
7b 鏡筒開口
8 光電変換撮像手段
9 放射線防護壁
9a 対被写体開口部
9b 可視光線通過開口
10 放射線に暴露される領域
11 放射線及び外光に暴露されない領域
[第1の実施例]
図2の断面図を参照しながら、この発明の第1の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図1に現れた符号と同一の符号により図2中で指し示した構成要素は、図1のものと同一である。
図2の断面図を参照しながら、この発明の第1の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図1に現れた符号と同一の符号により図2中で指し示した構成要素は、図1のものと同一である。
図2において、X線源1からのX線2照射方向の下流側には、プリント基板などの被検査体としての被写体3が配置され、該被写体3のX線2照射方向のさらなる下流側には、放射線・可視光線(波長)変換素子のシンチレータ4が配置されている。上記シンチレータ4の放射線方向のさらなる下流には、該シンチレータ4の略全面に1辺が対面する姿勢で可視光線偏向手段の光学プリズム系6aが配置され、該プリズム6aの他の1辺が放射線防護壁としても働くケーシング9の底面に対面している。これらの放射線源1とシンチレータ4と光学プリズム系6aは、装置本体の放射線防護壁のケーシング9内に一体的に収納されており、該ケーシング9は、該放射線源1と該シンチレータ4と該光学プリズム系6aを囲い込むようにして「放射線に暴露される領域」10を画成している。上記光学プリズム系6aの他の1辺が対面するケーシング9の底面には、可視光線通過開口9bが設けられている。上記可視光線通過開口9bに臨んで、着脱可能に鏡筒7aが組み付けられている。上記鏡筒7bの図示の上方は鏡筒開口7bとして開放されており、組み付け時には、該鏡筒開口7bが、上記可視光線通過開口9bに対して、着脱可能に整合する。上記鏡筒7aの上記鏡筒開口7bの周縁部分は、外方に張る出たフランジ7cに形成されており、組み付け時には、該フランジ7cが、ビスなどの適宜の螺着具7dにより、上記可視光線通過開口9b周縁部位のケーシング9に対し、位置決めされて着脱可能に螺着される。上記鏡筒7a内部には、光学レンズ系7と光電変換撮像手段のCCD8が、上記鏡筒開口7bから見て記載の順で垂直2段に配置されている。ここで、鏡筒7aは、上記光学レンズ系7と上記CCD8を囲い込むようにして、放射線防護壁として働くケーシング9の外部に「放射線及び外光に暴露されない領域」11を画成している。上記CCD8からは、図示省略の画像信号線がケーシング9を貫通して、該ケーシング外部の画像信号処理装置12に延びている。
欠陥検査のための画像撮像時に、上記シンチレータ4上の可視光線画像からの可視光線5が光学プリズム系6aの45°背面傾斜面6aaでの反射作用により、略直角に屈折することで、上記光学プリズム系6aの他の1辺を透過して光学レンズ系7に向かうまでの動作は、図1の構成の場合と同じである。上記光学レンズ系7に向かった可視光線5は、可視光線通過開口9bと鏡筒開口7bを通過して、さらに、鏡筒7a内の光学レンズ系7で収斂、結像作用を受けながら進行し、放射線防護壁として働くケーシング9外部に画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」11内に該鏡筒7aの端面から該鏡筒開口7bに臨む姿勢で配置されているCCD8に到達する。以降の動作は、図1の構成の場合と同じである。一方、放射線源1から被写体3外に漏洩放射される余分のX線やシンチレータ4で可視光線に変換し切れなかった残余のX線2aは、放射線防護壁として働くケーシング9内に限定的に画成された「放射線に暴露される領域」10内に封じ込められるものである。
[第2の実施例]
図3の断面図を参照しながら、この発明の第2の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図2に現れた符号と同一の符号により図3中で指し示した構成要素は、図2のものと同一である。
図3の断面図を参照しながら、この発明の第2の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図2に現れた符号と同一の符号により図3中で指し示した構成要素は、図2のものと同一である。
第2の実施例の構成にあっては、可視光線偏向手段6a、6bに関し、図2に示される第1の実施例において採用されている光学プリズム系6aに代えて、光学ミラー系6bが採用されている。その他の構成は、図2に示される第1の実施例の構成と同じである。
欠陥検査のための画像撮像時には、上記シンチレータ4上の可視光線画像からの可視光線5が光学ミラー系6bの45°傾斜面6bbでの反射作用により、略直角に屈折することで、鏡筒7a内の光学レンズ系7に向かう。その他の動作は図2に示される第1の実施例の構成の場合と同じである。
図4は、上記第2の実施例の構成に修正用光学レンズ系13を付加する点の変形態様の構成を示す断面図であり、ケーシング9内部の「放射線に暴露される領域」10内に配置されているシンチレータ4と光学ミラー系6bとの間に、修正用光学レンズ系13が付加的に挿入配置されている。図3に現れた符号と同一の符号により図4中で指し示した構成要素は、図3のものと同一である。
欠陥検査のための画像撮像時に、上記シンチレータ4から上記光学ミラー系6bに向かう可視光線5に関し、予め、波長ごとの偏向修正を施すことで、該光学ミラー系6bの45°傾斜面6bbでの波長ことの反射角度のずれを修正する動作が付加される。ここで追加挿入される修正用光学レンズ系13も、鏡筒7a部分との相対で、コストの嵩む傾向にあるので、該鏡筒7a部分の交換で済ませることの経済的実益がこの実施態様により増強される。
その他の構成と動作は、図3の第2の実施例の構成の場合と同じでる。
なお、例えば、図3の構成におけるケーシング9は、放射線源1や被写体3をも囲み込んで封じ込めるようなものである必要はなく、図5に示されるように、ケーシング9の被写体開口部9aaから、被写体3を部分的に外部に露出させることで、被写体3の交換作業時における該被写体3へのアクセスの利便性を改善するのは随意である。こうした改善の実施態様にあっても、放射線防護壁として働くケーシング9の外部に装着された鏡筒7a内には、「放射線及び外光に暴露されない領域」11が画成されて、その領域内でCCD8が信頼的、かつ、保全容易に稼働する。
図6は、第3図に示された上記第2の実施例の構成の4個を一体的に連結した構成の実施態様である。図3に現れた符号と同一の符号により図6ないし図5中で指し示した構成要素は、図3のものと同一である。ケーシング9内には、1個の放射線源1に対し、X線2下流で対面する大型の被写体3とさらなる下流で該被写体3に対面する大型のシンチレータ4が配置されている。上記大型のシンチレータ4からの可視光線5下流には、4個の光学ミラー系6bが、上記シンチレータ4のX線照射面を上下、左右に2等分する4個の可視光線画像区分対応で、上下2段左右2列に配置されている。上記4個の可視光線画像区分の上段の2個には、互いに左右反対向きに傾斜する2個の45°傾斜面6bbUL、6bbURが対面しており、下段の2個には、同じく互いに左右反対向きに傾斜する2個の45°傾斜面6bbDL、6bbDRが対面している。放射線防護壁としても働くケーシング9内には、こうした放射線源1、シンチレータ4、光学ミラー系6bを一体的に格納するような大型の「放射線に暴露される領域」10が画成されている。上記光学ミラー系6bの4個の45°傾斜面6bbUL、6bbUR、6bbDL、6bbDRの各々に対応するケーシング9の部位には、各別に4個の可視光線通過開口9bが設けられており、該4個の可視光線通過開口9bには、各別に4個の鏡筒開口7bが整合するような姿勢で、鏡筒7aが着脱可能に組み付けられている。
欠陥検査のための画像撮像時には、シンチレータ4上の4個の可視光線画像区分からの可視光線5が図3の構成の4個分の並列的動作により、4個の鏡筒7a内の4個の「放射線及び外光に暴露されない領域」11に各別に配置された4個のCCD8からの4個の画像信号が画像信号処理装置12に入力されて、ここで、1個の画像に合成される。こうした実施態様では、ケーシング9内に収納されるシンチレータ4が大型のものとなり、4個の45°傾斜面6bbUL、6bbUR、6bbDL、6bbDRを備えた光学ミラー系6bも、複雑高度のものとなる。従って、両者共に、鏡筒7a部分との相対では、コストの非常に嵩むものになるので、該鏡筒7a部分の交換で済ませることの経済的実益が殊更に増強される。4個のCCD8を含めて4個の鏡筒部分7b自体の大型化が回避できるので、鏡筒7b部分の個別の信頼性と保全性に対し、大型化の代償しての大幅な犠牲を課すことがないという実益もある。
この発明は、信頼性高く、保全性に優れた放射線画像撮像装置を提供するので、産業上の利用可能性は絶大である。
Claims (5)
- 放射線源1からの放射線2によって照射される被写体3の下流側に配置され、被写体3を透過した放射線を可視光線に変換する放射線・可視光線変換手段4と;
上記変換された可視光線5を偏向する可視光線偏向手段6a、6bと;
上記放射線・可視光線変換手段4 及び上記可視光線偏向手段6a、6bを取囲んで放射線に暴露される領域10を画成し且つ可視光線5が通過可能な可視光線通過開口9bを有する放射線防護壁9と;
上記可視光線通過開口9bに着脱可能に組み付けられ、且つ放射線及び外光に暴露されない領域11を画成する鏡筒7aと;及び
上記鏡筒7a内の放射線及び外光に暴露されない領域11に配置され、上記可視光線通過開口9b通過の可視光線を画像信号に変換する光電変換撮像手段8とを備えたことを特徴とする 放射線画像撮像装置。 - 上記可視光線偏向手段が光学プリズム系6aであることを特徴とする請求項1記載の放射線画像撮像装置。
- 上記可視光線偏向手段が光学ミラー系6bであることを特徴とする請求項1記載の放射線画像撮像装置。
- 上記光電変換撮像手段8の上流の鏡筒7a内に光学レンズ系7を配置したことを特徴とする請求項1、2又は3記載の放射線画像撮像装置。
- 上記放射線・可視光線変換手段4と上記可視光線偏向手段6a、6bとの間に変換された可視光線の波長ごとの偏向修正を施すための修正用光学レンズ系13を配置したことを特徴とする請求項4記載の放射線画像撮像装置。
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