WO2006022297A1 - 蓄冷器及びクライオポンプ - Google Patents

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WO2006022297A1
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regenerator
alloy
coolness
helium gas
cryopump
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Yoshinobu Murayama
Shinji Furuya
Hidetoshi Morimoto
Junpei Yuyama
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Ulvac Cryogenics Incorporated
Ulvac, Inc.
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    • F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
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    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/003—Gas cycle refrigeration machines characterised by construction or composition of the regenerator

Definitions

  • the present invention relates to a regenerator containing a regenerator material that exchanges heat with a refrigerant gas, for example, helium gas, and temporarily stores heat, and a cryopump provided with the regenerator.
  • a refrigerant gas for example, helium gas
  • a cryopump is a pump in which a low temperature surface is provided in a vacuum vessel, and gas molecules in the vessel are condensed or adsorbed and captured and exhausted.
  • a closed cycle small helium refrigerator is generally used to form the cold surface.
  • the helium refrigerator is a storage type refrigerator using helium gas as a refrigerant gas (working fluid), and high pressure helium gas is fed into an expansion space in a low temperature section, and adiabatic expansion of the helium gas there causes a low temperature.
  • a feature of the regenerative refrigerator is that it has a heat exchanger called a regenerator.
  • the role of the regenerator is to compress compressed high-pressure high-temperature helium gas flowing in one direction, store heat and pre-cool the helium gas fed into the expansion space, and expand low-pressure low-temperature helium gas flowing in the opposite direction. The stored heat is given and cooled to room temperature, so as to let the helium gas escape.
  • a regenerator contains a regenerator material that exchanges heat with helium gas, and as the regenerator material, its thermal conductivity is high and its specific heat is higher than other metals at a low temperature (30 K or less). Lead, which is much cheaper, is used.
  • high-specification refrigerators have higher specific heat than lead at cryogenic temperatures (15 K or less).
  • Magnetic materials such as Ni may be used. See, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-300251.
  • Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-143341
  • lead is a low-cost material that has a high specific heat at low temperatures compared to other metals, it has refrigeration properties. In order to improve performance, it is necessary to use a large amount and high purity, which requires recovery and appropriate treatment after use, which has a large impact on the environment, and is not easy to handle.
  • Magnetic materials are very expensive.
  • its specific heat is characterized by having a large peak near the phase transition temperature
  • several types of substances having specific heat peaks at different temperatures are selected according to the temperature distribution in the regenerator. This also increases costs, as constructing a regenerator is more effective than using it alone.
  • the magnetic material is an intermetallic compound, is hard and brittle, and has poor workability.
  • an object of the present invention is to provide a cold storage device and a cryopump using such a cold storage material.
  • the regenerator of the present invention is a regenerator storing a regenerator material that exchanges heat with the refrigerant gas in an internal passage through which the refrigerant gas passes, wherein the regenerator material is Sn, Bi— It is characterized in that it is made of either an Sn alloy or an Ag-Sn alloy.
  • the cryopump of the present invention is characterized by further comprising a regenerator in which a regenerator material made of any of Sn, Bi-Sn alloy and Ag-Sn alloy is contained in an internal passage through which a refrigerant gas passes. ing.
  • regenerator material made of any of Sn, Bi-Sn alloy and Ag-Sn alloy does not contain lead, it is easy to handle with less adverse effects on human bodies and the environment. It is also cheaper than magnetic materials. Furthermore, since the processability is also excellent, for example, processing into a minute spherical shape can be easily performed in order to enhance the heat exchange efficiency with the refrigerant gas.
  • any one of Sn, Bi—Sn alloy, and Ag—Sn alloy is used as a regenerator material for performing heat exchange with the refrigerant gas, and therefore, it is equivalent to the conventional one. While maintaining the performance, it is possible to provide one that is inexpensive and excellent in handleability.
  • FIG. 1 is a schematic view of a cryopump according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an operation explanatory view of a refrigerator in the cryopump of FIG. 1;
  • FIG. 3 A graph showing the specific heat characteristics of various regenerator materials.
  • FIG. 1 shows a schematic view of a cryopump 1 according to an embodiment of the present invention.
  • the cryopump 1 is provided with a refrigerator unit 2, and the refrigerator unit 2 is provided with a compressor 3 and cylinders 5 and 6 of large and small stages.
  • the helium gas compressed to a high pressure by the compressor 3 circulates in both the cylinders 5 and 6 to cool the expansion space formed in the cylinders 5 and 6 to a cryogenic temperature, and accompanying therewith the cylinders 5 and 6
  • the shield 7, baffles 8 and cryopanels 9 connected to the are also cooled to extremely low temperatures to condense gas molecules.
  • two displacers 11, 12 are accommodated inside the cylinders 5, 6.
  • the displacers 11 and 12 are connected to the drive shaft of the motor 4 shown in FIG. 1 via the cam 17, and the two displacers 11 and 12 are integrated together in the cylinders 5 and 6 by the drive rotation of the motor drive shaft. Reciprocated.
  • a single-stage regenerator 13 is accommodated in the single-stage displacer 11.
  • a two-stage regenerator 14 is accommodated in the two-stage displacer 12.
  • the inside of the first-stage regenerator 13 is a passage through which helium gas, which is a refrigerant gas, passes, and a plurality of copper wire nets as a regenerator material 15 are stacked in the passage.
  • the inside of the two-stage regenerator 14 is also a passage through which helium gas passes, and the passage is filled with a plurality of microspheres as a regenerator material 16.
  • the regenerator material 16 of the two-stage regenerator 14 is made of any of Sn, Bi-Sn alloy, and Ag-Sn alloy.
  • a first stage heat load flange 31 is provided on an outer wall of a first stage expansion space 21 formed between an end wall of the first stage cylinder 5 and an end wall of the first stage displacer 11 inside the first stage cylinder 5. It is The shield 7 and the baffle 8 shown in FIG. 1 are connected to the first-stage heat load flange 31, and the shield 7 and the baffle 8 are cooled when the first-stage expansion space 21 becomes cold.
  • a two-stage heat load flange 32 is provided inside the two-stage cylinder 6, inside the two-stage cylinder 6, inside the two-stage cylinder 6, a two-stage heat load flange 32 is provided on the outer wall of a two-stage expansion space 22 formed between the end wall of the two-stage cylinder 6 and the end wall of the two-stage displacer 12. It is The cryopanel 9 shown in FIG. 1 is connected to the two-stage heat load flange 32, and when the two-stage expansion space 22 becomes low temperature, the cryopanel 9 is cooled.
  • step (a) shown in FIG. 2 the discharge valve 19 is closed and the suction valve 18 is opened.
  • the high temperature helium gas discharged from the compressor 3 is filled in the room temperature space 25 of the first stage cylinder 5.
  • step (c) the suction valve 18 is closed and the discharge valve 19 is opened to release the high pressure helium gas in the expansion space 21, 22, thereby reducing the pressure in the expansion space 21, 22.
  • the helium gas in the expansion spaces 21 and 22 is adiabatically expanded to a low temperature low pressure gas and the temperature of the expansion spaces 21 and 22 decreases, and the heat load flanges 31 and 32 pass through the shield 7, the baffle 8, and the The panel 9 is cooled.
  • step (d) the displacers 11, 12 are moved to the expansion space 21, 22 side with the discharge notch 19 open.
  • the low temperature helium gas remaining in the expansion spaces 21 and 22 moves through the regenerators 13 and 14 to the room temperature space 25 and the helium gas exchanges heat with the respective regenerators 15 and 16 and is discharged.
  • the discharge valve 19 is closed, the suction valve 18 is opened, and the operation of the first process (a) is performed to complete one cycle.
  • any of Sn, a Bi—Sn alloy, and an Ag—Sn alloy, which is a material not containing Pb, is used as the cold storage material 16 of the two-stage cold storage 14 disposed on the lower temperature side.
  • Sn has a smaller specific heat than Pb in a low temperature range (30 K or less) using a cryopump.
  • the regenerator material is It is possible to increase the heat capacity of the system and achieve the same refrigeration capacity as when using conventional Pb.
  • Sn has a specific heat equivalent to that of some magnetic materials (HoCu).
  • the heat storage material 16 may be configured to have a plurality of spherical particle forces in order to facilitate the flow of helium gas and to increase the surface area and heat exchange rate.
  • Materials such as Sn, Bi-Sn alloy, and Ag-Sn alloy can be easily processed into hard and brittle balls like magnetic materials. If the diameter of each spherical particle is, for example, 1 mm or less, sufficient heat exchange with helium gas is possible. The diameter of each spherical particle should be set to a size that allows smooth helium gas flow, since if the spherical particles become too fine to become powdery they will impede the flow of the helium gas.
  • Sn, Bi—Sn alloy, and Ag—Sn alloy have less influence on human body and environment than lead, are easy to handle, and are cheaper than magnetic materials (value of about 1Z18) Case). Furthermore, Sn, Bi-Sn alloy, and Ag-Sn alloy satisfy other conditions (thermal conductivity, chemical stability, strength, hardness) as a regenerator material.
  • the drive method of the displacers 11 and 12 is not limited to the motor drive method, and may be a gas pressure drive method using a pressure difference of helium gas which is a refrigerant gas, or a combination method of motor and gas pressure drive. .
  • regenerator for the Gifde 'McMahon refrigerator
  • a reverse Stirling refrigerator a Nors tube refrigerator
  • a solver refrigerator It can be used.
  • a refrigerator is not limited to being used for a cryopump, but can be used for cooling a superconducting magnet, a cryogenic sensor, and the like.

Abstract

  環境への影響が大きい鉛以外で、蓄冷材としての諸条件（比熱、熱伝導率、加工性、強度、硬度、化学的安定性、低コスト）を満足する蓄冷材を用いた蓄冷器及びクライオポンプを提供すること。 　冷媒ガスであるヘリウムガスが通過する内部通路に、ヘリウムガスとの間で熱交換を行う蓄冷材１６を収容した蓄冷器１４であって、蓄冷材１６は、Ｓｎ、Ｂｉ－Ｓｎ合金、Ａｇ－Ｓｎ合金の何れかからなり、球状に形成され、複数のそれら球状の蓄冷材１６が蓄冷器１４の内部通路に充填されている。

Description

明 細 書
蓄冷器及びクライオポンプ
技術分野
[0001] 本発明は、冷媒ガスである例えばヘリウムガスと熱交換を行い一時的に熱を蓄えて おく役割を担う蓄冷材を収容した蓄冷器及びその蓄冷器を備えたクライオポンプに 関する。
背景技術
[0002] クライオポンプは真空容器内に低温面を設置し、これに容器内の気体分子を凝縮 または吸着させて捕捉し排気するポンプである。低温面を形成する方法には閉サイ クルの小型ヘリウム冷凍機が一般に用いられて 、る。
[0003] そのヘリウム冷凍機は、ヘリウムガスを冷媒ガス (作動流体)とした蓄冷式冷凍機で あり、高圧のヘリウムガスを低温部にある膨張空間に送り込み、そこでのヘリウムガス の断熱膨張によって低温を得る。蓄冷式冷凍機の特徴は蓄冷器と呼ばれる熱交換 器を備えていることである。蓄冷器の役割は、一方向に流れる圧縮された高圧高温 のヘリウムガス力 熱を奪ってその熱を蓄えると共に膨張空間に送り込むヘリウムガ スを予冷し、また反対方向に流れる膨張した低圧低温のヘリウムガスに、蓄えた熱を 与えて室温空間に冷た 、ヘリウムガスを逃がさな 、ようにする。
[0004] 蓄冷器にはヘリウムガスとの間で熱交換を行う蓄冷材が収容され、その蓄冷材とし ては、熱伝導率が高ぐまた低温（30K以下)で他の金属より比熱が高ぐさらに安価 でもある鉛が使用されて 、る。
[0005] あるいは、ハイスペックの冷凍機には、極低温（15K以下）で鉛より比熱が高い Er
3
Niなどの磁性材料を使用する場合がある。例えば、特許文献 1、特許文献 2参照。
[0006] 特許文献 1 :特開平 10— 300251号公報
特許文献 2 :特開 2004— 143341号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0007] 鉛は他の金属に比べて低温下で比熱が高ぐまた安価な材料ではあるが、冷凍性 能を向上させるためには大量かつ純度の高いものを使用することになり、環境に対す る影響が大きぐ使用後に回収及び適切な処理が必要であり、取り扱い性が悪い。
[0008] 磁性材料は非常に高価である。またその比熱は相転移温度の近傍に大きなピーク を持つ特徴があるため、蓄冷器を構成する場合、蓄冷器内の温度分布に合わせて 異なる温度で比熱ピークを持つ数種類の物質を選び層状構造の蓄冷器を構成した 方が単独で使うより有効なため、このこともコスト上昇につながる。さらに、磁性材料は 金属間化合物で固くて脆く加工性が悪い。
[0009] したがって、こうした背景のなかで、環境への影響が大きい鉛以外で、蓄冷材として の諸条件 (比熱、熱伝導率、加工性、強度、硬度、化学的安定性、低コスト)を満足 する蓄冷材が望まれており、本発明はそのような蓄冷材を用いた蓄冷器及びクライオ ポンプを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0010] 本発明の蓄冷器は、冷媒ガスが通過する内部通路に、冷媒ガスとの間で熱交換を 行う蓄冷材を収容した蓄冷器であって、ここで蓄冷材は、 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— S n合金の何れかからなることを特徴として 、る。
[0011] また、本発明のクライオポンプは、 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— Sn合金の何れ力からな る蓄冷材を冷媒ガスが通過する内部通路に収容した蓄冷器を備えることを特徴とし ている。
[0012] 上記 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— Sn合金の何れかからなる蓄冷材は鉛を含まないため 、人体や環境への悪影響が小さぐ取り扱いが容易である。また、磁性材料に比べて 安価である。さらに、加工性にも優れるので、例えば冷媒ガスとの熱交換効率を高め るために微小な球状への加工も容易に行える。
発明の効果
[0013] 本発明の蓄冷器によれば、冷媒ガスとの間で熱交換を行う蓄冷材として、 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— Sn合金の何れかを用いているので、従来と同等の性能を維持しつつ 、安価で且つ取り扱い性に優れたものを提供できる。
[0014] 本発明のクライオポンプによれば、気体分子を凝縮させる低温面を形成するための 蓄冷式の冷凍機に、上記蓄冷材を備えた蓄冷器を使うことで、面倒な取り扱いや、形 状や機械的構造の変更、さらにはコストアップを要することな 従来と同等の性能の ものを提供できる。
図面の簡単な説明
[図 1]本発明の実施形態に係るクライオポンプの概略図である。
[図 2]図 1のクライオポンプにおける冷凍機の動作説明図である。
[図 3]各種蓄冷材の比熱特性を示すグラフである。
符号の説明
1 クライオポンプ
2 冷凍機ユニット
3 圧縮機
5 1段シリンダ
6 2段シリンダ
7 シールド
8 ノ ッフノレ
9 クライオパネル
11 1段ディスプレ -サ
12 2段ディスプレー -サ
13 1段蓄冷器
14 2段蓄冷器
15 蓄冷材
16 蓄冷材
18 吸入バルブ
19 排出バルブ
21 1段膨張空間
22 2段膨張空間
25 室温空間
31 1段熱負荷フランジ
32 2段熱負荷フランジ 発明を実施するための最良の形態
[0017] 以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
[0018] 図 1は本発明の実施形態に係るクライオポンプ 1の概略図を示す。クライオポンプ 1 は冷凍機ユニット 2を備えており、その冷凍機ユニット 2は、圧縮機 3と、大小 2段のシ リンダ 5、 6を備える。圧縮機 3で高圧に圧縮されたヘリウムガスが両シリンダ 5、 6内を 循環して、それらシリンダ 5、 6内に形成された膨張空間を極低温に冷却し、これに伴 ぃシリンダ 5、 6に接続して設けられたシールド 7、バッフル 8、クライオパネル 9も極低 温に冷却されて気体分子を凝縮する。
[0019] 図 2に示すように、シリンダ 5、 6の内部には、 2つのディスプレーサ 11、 12が収容さ れている。ディスプレーサ 11、 12は、カム 17を介して図 1に示すモータ 4の駆動軸に 連結され、そのモータ駆動軸の駆動回転により、 2つのディスプレーサ 11、 12は一体 となってシリンダ 5、 6内を往復動される。
[0020] 1段ディスプレーサ 11内には 1段蓄冷器 13が収容されている。 2段ディスプレーサ 12内には 2段蓄冷器 14が収容されている。 1段蓄冷器 13の内部は冷媒ガスである ヘリウムガスが通過する通路となっており、その通路には蓄冷材 15として複数の銅金 網が積層されている。 2段蓄冷器 14の内部もヘリウムガスが通過する通路となってお り、その通路には蓄冷材 16として複数の微小球が充填されている。 2段蓄冷器 14の 蓄冷材 16は、 Sn、 Bi—Sn合金、 Ag— Sn合金の何れ力からなる。
[0021] 1段シリンダ 5の内部において、 1段シリンダ 5の端壁と 1段ディスプレーサ 11の端壁 との間に形成される 1段膨張空間 21の外壁には 1段熱負荷フランジ 31が設けられて いる。 1段熱負荷フランジ 31には、図 1に示すシールド 7及びバッフル 8が接続され、 1段膨張空間 21が低温になるとシールド 7及びバッフル 8が冷却される。
[0022] 2段シリンダ 6の内部において、 2段シリンダ 6の端壁と 2段ディスプレーサ 12の端壁 との間に形成される 2段膨張空間 22の外壁には 2段熱負荷フランジ 32が設けられて いる。 2段熱負荷フランジ 32には、図 1に示すクライオパネル 9が接続され、 2段膨張 空間 22が低温になるとクライオパネル 9が冷却される。
[0023] 圧縮機 3からヘリウムガスを膨張空間 21、 22内に供給するための吸入バルブ 18と 、膨張空間 21、 22からヘリウムガスを圧縮機 3に戻すための排出バルブ 19の開閉は ディスプレーサ 11、 12駆動用のモータ 4で行われる。
[0024] 冷凍機ユニット 2の電源が投入されると、モータ 4の駆動に伴い、吸入バルブ 18、排 出バルブ 19の開閉と、ディスプレーサ 11、 12の往復動が繰り返される。
[0025] 先ず、図 2に示す過程（a)において、排出バルブ 19を閉じ吸入バルブ 18を開いて
、圧縮機 3から吐出された高圧のヘリウムガスを 1段シリンダ 5の室温空間 25に充填 する。
[0026] 次いで、吸入バルブ 18を開いたままでディスプレーサ 11、 12を図 2 (b)のように室 温空間 25側に移動させる。これにより、室温空間 25内のヘリウムガスは、蓄冷器 13、 14を通って蓄冷材 15、 16との熱交換により冷却されながら膨張空間 21、 22に移動 する。この操作は、ヘリウムガスが蓄冷器 13、 14を通過するときにその体積が収縮す るため等圧条件を満足するように吸入バルブ 18を開けたままで行う。
[0027] 次いで、過程 (c)で、吸入バルブ 18を閉じ排出バルブ 19を開いて膨張空間 21、 2 2内の高圧ヘリウムガスを放出させ、膨張空間 21、 22内の圧力を下げる。この過程で 膨張空間 21、 22内のヘリウムガスは断熱膨張して低温の低圧ガスとなり膨張空間 21 、 22の温度が低下し、熱負荷フランジ 31、 32を介して、シールド 7、バッフル 8、クライ ォパネル 9が冷却される。
[0028] 次いで、過程 (d)で、排出ノ レブ 19を開いたままでディスプレーサ 11、 12を膨張 空間 21、 22側に移動させる。これにより、膨張空間 21、 22に残っている低温のヘリ ゥムガスが蓄冷器 13、 14を通って室温空間 25に移動し、ヘリウムガスは各蓄冷材 1 5、 16と熱交換を行った後に排出バルブ 19から排出される。すなわち、膨張空間 21 、 22内の低温ヘリウムガスは、次のサイクルで吸入されるヘリウムガスを冷却するため に蓄冷材 15、 16を冷やしながら温度上昇して室温に戻った後に排出バルブ 19を介 して圧縮機 3へと戻される。そして、排出バルブ 19は閉じ、吸入バルブ 18が開いて最 初の過程 (a)の動作となって 1サイクルが終了する。
[0029] 本実施形態では、より低温側に配置された 2段蓄冷器 14の蓄冷材 16として、 Pbを 含まない材料である Sn、 Bi—Sn合金、 Ag— Sn合金の何れかを使用している。図 3 のグラフに示されるように、 Snは、クライオポンプを使用する低温領域（30K以下)で Pbより比熱が小さい。しかし、 Pbに比べて比熱が小さくても容量の増加により蓄冷材 の熱容量を大きくでき従来の Pbを用いた場合と同等の冷凍能力を達成できる。また 、 25〜30Kの領域では、 Snは一部の磁性材料 (HoCu )と同等の比熱を有する。 Bi
2
— Sn合金、または Ag— Sn合金を用いる場合には、 Snに対する または Agの含有 比率が 50%以下であれば、 Sn単体の場合と同等の比熱を有し、同性能の蓄冷器を 構成できる。
[0030] このように、 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— Sn合金を Pbに代えて蓄冷材として用いても、 従来と同等の冷凍能力を実現できる。他の構成部分に改良や調整を施すことなぐ 単に蓄冷器に収容する蓄冷材を代えるだけでょ 、ので、既存のクライオポンプとの互 換性が高い。また、クライオポンプの外観上の形状変化や機械的構造の変化もきた さずメンテナンス性もよい。
[0031] 蓄冷材 16は、ヘリウムガスの流れを円滑にすると共に、表面積を大きくして熱交換 率を高めるために、複数の球状粒子力 構成するとよい。 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— S n合金力 なる材料は、磁性材料のように硬く且つ脆くなぐ球状への加工が容易に 行える。各球状粒子の直径は、例えば lmm以下であればヘリウムガスと十分な熱交 換が可能である。各球状粒子が粉状になるほどに細力べなってしまうとヘリウムガスの 流れの妨げになるので、各球状粒子の直径は円滑なヘリウムガスの流れを許容する 大きさに設定する必要がある。
[0032] また、 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— Sn合金は、人体や環境に対する影響が鉛に比べて 少なく取り扱いが容易であり、さらに、磁性材料に比べて安価である (約 1Z18の価 格)。さらに、 Sn、 Bi—Sn合金、 Ag— Sn合金は、蓄冷材としてのその他の諸条件（ 熱伝導率、化学的安定性、強度、硬度)を満足する。
[0033] 以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定される ことなぐ本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
[0034] ディスプレーサ 11、 12の駆動方法としてはモータ駆動方式に限らず、冷媒ガスで あるへリウムガスの圧力差を使用したガス圧駆動方式、あるいはモータとガス圧駆動 の併用方式であってもよい。
[0035] 上記実施形態では蓄冷器を、ギフオード'マクマホン式の冷凍機に用いた例を示し たが、逆スターリング式冷凍機、ノルスチューブ式冷凍機、ソルべィ式冷凍機にも適 用できる。また、そのような冷凍機はクライオポンプに用いられることに限らず、超電導 マグネットや極低温センサなどの冷却にも用いることができる。

Claims

請求の範囲
[1] 冷媒ガスが通過する内部通路に、前記冷媒ガスとの間で熱交換を行う蓄冷材を収 容した蓄冷器であって、
前記蓄冷材は、 Sn、 Bi— Sn合金、 Ag— Sn合金の何れかからなることを特徴とす る蓄冷器。
[2] 前記蓄冷材は Bi—Sn合金であり、該 Bi—Sn合金における Biの含有比率は 0%よ り大きく 50%以下であることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の蓄冷器。
[3] 前記蓄冷材は Ag— Sn合金であり、該 Ag— Sn合金における Agの含有比率は 0% より大きく 50%以下であることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の蓄冷器。
[4] 前記蓄冷材は球状に形成され、複数の前記球状の蓄冷材が前記内部通路に充填 されていることを特徴とする請求の範囲第 1項乃至請求の範囲第 3項の何れかに記 載の蓄冷器。
[5] 請求の範囲第 1項乃至請求の範囲第 4項の何れかに記載の蓄冷器を備えたクライ 才ポンプ。
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