WO2005090957A1 - Anschlusskabel für messfühler - Google Patents

Anschlusskabel für messfühler Download PDF

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WO2005090957A1
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Juergen Wilde
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Robert Bosch Gmbh
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    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403—Cells and electrode assemblies
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
    • H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits

Definitions

  • the invention is based on a measuring sensor for determining a physical property of a measuring gas, in particular for determining pressure, temperature or the concentration of a gas component in the exhaust gas of internal combustion engines, according to the preamble of claim 1.
  • the connecting cable for the sensor element has a plurality of wires or conductors which are electrically insulated from one another and are guided in a jacket tube. The ends of the conductors are guided onto the individual contact points on the connection-side end of the sensor element and there are non-positively pressed onto the contact points by means of a connecting element (clamping contact).
  • the connecting cable has several electrical conductors, which are provided with an insulating sheath and are guided in a jacket tube.
  • Contact parts made of nickel or a nickel alloy are used to connect the electrical conductors to the contact points on the connection-side end of the sensor element.
  • the contact parts each have a connection-side section and a contact-side section and an arc-shaped intermediate piece arranged between them.
  • An electrical conductor of the connection cable is welded to the connection-side section.
  • a material connection between the contact part and one of the contact points is made, for example, at the contact-side section Diffusion welding or diffusion soldering.
  • the arcuate intermediate piece is used to compensate for thermal and / or mechanical expansions and movements.
  • the sensor according to the invention with the features of claim 1 has the advantage of a connection cable for the sensor element which is inexpensive in terms of production and assembly technology and which ensures reliable electrical signal and current conduction and reliable insulation between the electrical conductors in the high temperature range between 400-800 ° C.
  • the connection cable can be routed and bent as desired, which considerably simplifies assembly, and automatically compensates for thermal and / or mechanical expansions and movements.
  • the connection cable enables a flat design of the contact area of the sensor element, so that a sensor housing accommodating the sensor element can be designed to be small.
  • FIG. 1 shows a side view of a sensor used as a lambda probe with a sensor element and connection box for the sensor element, partly in section
  • FIG. 2 shows a detail of a perspective view of the connection cable contacted to the sensor element
  • FIG. 3 shows a detail of a top view of the connecting cable in FIG. 2, 4 shows a detail of a perspective view of the connecting cable contacted to the sensor element according to a further exemplary embodiment
  • FIG. 5 shows a perspective view of the connecting cable in FIG. 4.
  • the sensor shown partially in longitudinal section in FIG. 1, for determining a physical property of a measuring gas is designed as a so-called lambda probe, with which the oxygen concentration in the exhaust gas from brake engines is measured.
  • the sensor has a sensor housing 11 which is formed by two sleeve-shaped housing parts 12, 13. The two housing parts 12, 13 are firmly connected to one another by a weld seam 14.
  • the housing part 12 serves to accommodate a so-called.
  • Planar sensor element 15 which is rod-shaped with a rectangular cross section.
  • the sensor element 15 has a section 151 on the measurement gas side and a section 152 on the connection side.
  • the measurement gas side section 151 protrudes from the housing part 12 and is exposed to the measurement or exhaust gas.
  • the measuring gas-side section 151 is usually surrounded by a protective tube.
  • the connection-side section 152 of the iSensor element 15 carries a plurality of contact points 16, of which only two contact points 16 can be seen in FIG. 1, which are arranged on large surfaces 153 of the sensor element 15 facing away from one another and via connecting paths (not shown here) with the measurement gas-side section 151 are connected.
  • a metal sleeve 17 is inserted into the front of the housing part 13, which is firmly connected to the housing part 13 by a weld seam 18.
  • a connecting cable 20 is guided in the metal sleeve 17, via which the sensor element 15 can be connected to a control unit.
  • the connecting cable 20 has at least one high-temperature-resistant, flexible film 21, on which conductor tracks 22 (FIG. 2 ⁇ 3) are arranged.
  • the temperature resistance of the film 21 is designed so that the film material does not change at the usual operating temperatures to which the sensor is exposed, in particular does not lose its insulating or electrically conductive properties and its flexibility. For sensors that are used in the exhaust gas of internal combustion engines, this temperature range is 400 - 800 ° C.
  • the connecting cable 20 comprises two identically designed flexible foils 21, one of which is shown in detail in FIGS. 2 and 3.
  • a third foil which does not carry a conductor track, can be arranged as insulation between the two flexible foils.
  • the conductor tracks 22 run on the film 21 at a distance from one another in the longitudinal direction of the film 21 and are preferably aligned parallel to one another.
  • the conductor tracks 22 are at such a distance from one another at least within the sensor-side end section of the film 21 that one conductor track 22 is able to contact a contact point 16 of the sensor element 20.
  • Sensor element 15 has three contact points 16 on each large area 153. Accordingly, each of the two flexible foils 21 of the connecting cable 20 is provided with three conductor tracks 22, each of which is contacted on one of the contact points 16. In FIG. 2, only the film 21 contacted to the contact points 16 on the upper large surface 153 of the sensor element 15 is shown. On the illustration of the second flexible film 21 for connecting the one on the lower one
  • this second film 21 is identical to the film 21 shown in FIG. 2
  • the film 21 consists of an electrically insulating material, in a first embodiment the insulating material is a ceramic textile fabric, which is, for example, 96% aluminum oxide (Al2O 3 ) and 4% silicon oxide (SiO 2 ) or 62% aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and 24 % Contains silicon oxide (SiO 2 ) and 14% boron oxide (B 2 O 3 ).
  • the conductive tracks 22 consist of a solder which is applied to the flexible film 21 in track width and track length. So-called active solders, for example AgCuTI3 or AgTI4, or high-temperature solders, for example AuPdTI2 or PdN ⁇ TI3, are used. The solder is firmly connected to the ceramic textile fabric either by oven soldering in a vacuum or by inductive heating in a protective gas atmosphere.
  • the conductor tracks 22 are not applied as solders but rather as metal strips which are joined or woven into the ceramic textile fabric.
  • An example of a metal strip used here is the metal strip with the material number 2.4060, which contains 99.6% nickel
  • the flexible film 21 consists of aluminum (Al) with an insulating layer made of aluminum oxide (Al 2 O 3 ).
  • the conductor tracks 22 are produced by coating, vapor deposition or printing on the aluminum foil with a metal.
  • the film 21 also consists of aluminum (Al), and the interconnects 22 which are insulated from one another are obtained by oxidation of strips of the aluminum foil, the remaining, non-oxidized strips of the aluminum foil producing the interconnects 22.
  • the oxidized strips form insulating strips in the film, so that the remaining Alvur ⁇ mum conductor tracks are electrically insulated from one another.
  • amorphous metal as the insulating material for producing the film and to produce the conductor tracks 22 by remelting strips. As a result of the remelting, these strips become electrically conductive and form the conductor tracks 22, while the remaining areas of the film 21 remain electrically non-conductive.
  • the remelting can take place, for example, by laser remelting.
  • the contacting of the conductor tracks 22 in the region of the sensor-side end section 211 of the film 21 with the contact points 16 of the sensor element 20 is carried out by resistance gap welding, thermocompression welding, soldering or resistance gap soldering.
  • the invention is not restricted to the described exemplary embodiment of a measuring sensor as a lambda probe.
  • the connecting cable 20 according to the invention can also be used in sensors with which the concentration of a
  • Pollutant component e.g. Nitrogen oxides
  • the exhaust gas from Breimkraftmaschinen or the pressure or the temperature in the exhaust gas from Breririkraftmaschinen or another high-temperature measuring gas are measured.

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Abstract

Es wird ein Messfühler zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung von Druck, Temperatur oder der Konzentration einer Gaskomponente im Abgas von Brennkraftmaschinen angegeben, der ein Sensorelement (15), das auf einem anschlussseitigen Abschnitt (152) elektrische Kontaktstellen (16) trägt, und ein gegeneinander elektrisch isolierte Leiter aufweisendes Anschlusskabel (20) aufweist, dessen Leiter mit den Kontaktstellen (16) verbunden sind. Zur Gewinnung eines fertigungs- und montagetechnisch kostengünstigen Anschlusskabels (20) für das Sensorelement (15), das im Hochtemperaturbereich eine zuverlässige elektrische Signal- und Stromleitung und eine zuverlässige Isolation zwischen den elektrischen Leitern gewährleistet, weist das Anschlusskabel (20) mindestens eine hochtemperaturfeste, flexible Folie (21) auf und sind die Leiter von auf der mindestens einen Folie (21) verlaufenden Leiterbahnen (22) gebildet.

Description

ANSCHLUSSKABEL FÜR MESSFÜHLER
Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem Messfiihler zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung von Druck, Temperatur oder der Konzentration einer Gaskomponente im Abgas von Brennkraftmaschinen, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei einem bekannten Gassensor oder Messfiihler, insbesondere Lambda-Sonde, (DE 19740 363 AI) weist das Anschlusskabel fiir das Sensorelement mehrere, gegeneinander elektrisch isolierte Adern oder Leiter auf, die in einem Mantelrohr geführt sind. Die Enden der Leiter sindrauf die einzelnen Kontaktstellen auf dem anschlussseitigen Ende des Sensorelements geführt und dort mittels eines Verbindungselements auf die Kontaktstellen kraftschlüssig aufgedrückt (Klemmkontaktierung).
Bei einem ebenfidls bekannten Messfiihler (DE 196 38 208 C2) weist das Anschlusskabel mehrere elektrische Leiter auf, die mit einer Isolierumhüllung versehen und in einem Mantelrohr gefiihrt sind. Zum Verbinden der elektrischen Leiter mit den auf dem anschlussseitigen Ende des Sensorelements vorhandenen Kontaktstellen dienen Kontaktteile aus Nickel oder einer Nickellegierung. Die Kontaktteile haben jeweils einen anschlussseitigen Abschnitt und einen kontaktseitigen Abschnitt sowie ein dazwischen angeordnetes, bogenförmiges Zwischenstück. Am anschlussseitigen Abschnitt ist ein elektrischer Leiter des Anschlusskabels angeschweißt Am kontaktstelleseitigen Abschnitt ist eine stoffschlüssige Verbindung zwischen dem Kontaktteil und einer der Kontaktstellen z.B. durch Difϊusionsschweißen oder Diffusionslöten hergestellt. Das bogenförmige Zwischenstück dient zum Ausgleich von thermischen und/oder mechanischen Ausdehnungen und Bewegungen.
Vorteile der Erfindung
Der erfindungsgemäße Messfiihler mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil eines fertigungs- und montagetechnisch kostengünstigen Anschlusskabels für das Sensorelement, das im Hochtemperaturbereich zwischen 400 - 800°C eine zuverlässige elektrische Signal- und Stromleitung und eine zuverlässige Isolation zwischen den elektrischen Leitern gewährleistet. Das Anschlusskabel kann beliebig geführt und gebogen werden, was die Montage wesentlich erleichtert, und gleicht selbsttätig thermische und/oder mechanische Ausdehnungen und Bewegungen aus. Darüber hinaus ermöglicht das Anschlusskabel eine flache Ausbildung des Kontaktierbereichs des Sensorelements, so dass ein das Sensorelement aufnehmendes Fühlergehäuse bauklein ausgeführt werden kann.
Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Messfühlers möglich.
Zeichnung
Die Erfindung ist anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen in schematisierter Darstellung:
Fig. 1 eine Seitenansicht eines als Lambda-Sonde eingesetzten Messfühlers mit Sensorelement und Anschlusskäbel für das Sensorelement, teilweise geschnitten, Fig. 2 ausschnittweise eine perspektivische Darstellung des auf das Sensorelement kontaktierten Anschlusskabels,
Fig. 3 ausschnittweise eine Draufsicht des Anschlusskabels in Fig. 2, Fig.4 ausschnittweise eine perspektivische Darstellung des auf das Sensorelement kontaktierten Anschlusskabels gemäß einem weiteren Ausfiihrungsbeispiel,
Fig. 5 eine perspektivische Darstellung des Anschlusskabels in Fig.4.
Beschreibung der Ausfiihrungsbeispiele
Der in Fig. 1 teilweise im Längsschnitt dargestellte Messfiihler zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases ist als sog. Lambda-Sonde konzipiert, mit der die Sauerstoff konzentration im Abgas von Bremikraftmaschinen gemessen wird. Der Messfiihler weist ein Fühlergehäuse 11 auf, das von zwei hülsenförmigen Gehäuseteilen 12, 13 gebildet ist. Die beiden Gehäuseteile 12, 13 sind durch eine Schweißnaht 14 fest miteinander verbunden. Der Gehäuseteil 12 dient zur Aufnahme einer sog. planaren Sensorelements 15, das stabförmig mit rechteckigem Querschnitt ausgebildet ist. Das Sensorelement 15 weist einen messgasseitigen Abschnitt 151 und einen anschlussseitigen Abschnitt 152 auf. Der messgasseitige Abschnitt 151 steht aus dem Gehäuseteil 12 hervor und ist dem Mess- oder Abgas ausgesetzt. Üblicherweise ist zum Schütze des Sensorelements 15 der messgasseitige Abschnitt 151 von einem Schutzrohr umgeben. Der anschlussseitige Abschnitt 152 des iSensorelements 15 trägt eine Mehrzahl von Kontaktstellen 16, von.denen in Fig. 1 nur zwei Kontaktstellen 16, zu sehen sind, die auf voneinander abgekehrten Großflächen 153 des Sensorelements 15 angeordnet und über hier nicht dargestellte Anschlussbahnen mit dem messgasseitigen Abschnitt 151 verbunden sind.
In den Gehäuseteil 13 ist stirnseitig eine Metallhülse 17 eingesetzt, die mit dem Gehäuseteil 13 durch eine Schweißnaht 18 fest veibunden ist In der Metallhülse 17 ist ein Anschlusskabel 20 geführt, über das das Sensorelement 15 an ein Steuergerät anschließbar ist. Das Anschlusskabel 20 weist mindestens eine hochtemperaturfeste, flexible Folie 21 auf, auf der Leiterbahnen 22 (Fig. 2 xmd 3) angeordnet sind. Die Temperaturfestigkeit der Folie 21 ist so ausgelegt, dass der Folienwerkstoffsich bei den üblichen Betriebstemperaturen, denen der Messfiihler ausgesetzt ist, nicht verändert, insbesondere nicht seine isolierende bzw. elektrisch leitende Eigenschaften sowie seine Flexibilität verliert. Bei Messfiihlern, die im Abgas von Brennkraftmaschinen eingesetzt werden, beträgt dieser Temperaturbereich 400 - 800°C. Im Ausfiihrungsbeispiel der Fig. 1 umfasst das Anschlusskabel 20 zwei identisch ausgebildete flexible Folien 21, von denen eine in Fig. 2 und 3 ausschnittweise dargestellt ist Zusätzlich kann eine dritte Folie, die keine Leiterbahn trägt, als Isolierung zwischen den beiden flexiblen Folien angeordnet sein. Die Leiterbahnen 22 verlaufen auf der Folie 21 voneinander beabstandet in Längsrichtung der Folie 21 und sind vorzugsweise parallel zueinander ausgerichtet. Die Leiterbahnen 22 weisen zumindest innerhalb des sensorseitigen Endabschnitts der Folie 21 solche Abstände voneinander auf, dass jeweils eine Leiterbahn 22 eine Kontaktstelle 16 des Sensorelements 20 zu kontaktieren vermag.
Im Ausfiihrungsbeispiel der Fig. 1 bis 3 trägt der anschlussseitige Endabschnitt 152 des
Sensorelements 15 auf jeder Großfläche 153 drei Kontaktstellen 16. Entsprechend ist jede der beiden flexiblen Folien 21 des Anschlusskabels 20 mit drei Leiterbahnen 22 versehen, die auf je einer der Kontaktstellen 16 kontaktiert sind. In Fig. 2 ist nur die auf die Kontaktstellen 16 auf der oberen Großfläche 153 des Sensorelements 15 kontaktierte Folie 21 dargestellt. Auf die Darstellung der zweiten flexiblen Folie 21 zum Anschließen der auf der unteren
Großfläche 153 des Sensorelements 15 liegenden Kontaktstellen 16 ist der Übersichtlichkeit halber verzichtet worden. Diese zweite Folie 21 ist aber identisch wie die in Fig. 2 dargestellte Folie 21 ausgebildet
Die Folie 21 besteht aus elektrisch isolierendem Material, wobei in einer ersten Ausführungsform das Isoliermaterial ein keramisches Textilgewebe ist, das beispielsweise 96% Aluminiumoxid (AI2O3) und 4% Siliziumoxid (SiO2) oder 62% Aluminiumoxid (Al2O3) und 24% Siliziumoxid (SiO2) sowie 14% Boroxid (B2O3) enthält. Die Leiteibahnen 22 bestehen aus einem Lot das in Bahnbreite und Bahnlänge auf die flexible Folie 21 aufgebracht ist Als Lot werden sog. Aktivlote, z.B. AgCuTI3 oder AgTI4, oder Hochtemperaturlote, z.B. AuPdTI2 oder PdNΪTI3, verwendet. Die feste Verbindung des Lots mit dem keramische Textilgewebe erfolgt entweder durch Ofenlötung im Vakuum oder durch induktive Erwärmung in Schutzgasatmosphäre.
In einer weiteren Ausfiihrungsform sind die Leiterbahnen 22 nicht als Lote aufgetragen, sondern als Metallbänder ausgebildet, die in das keramische Textilgewebe gefügt oder eingewoben sind. Als Beispiel für ein hier verwendetes Metallband ist das Metallband mit der Werkstoflhummer 2.4060, das einen Anteil von 99,6% Nickel enthält In einer weiteren Ausfuhrungsform besteht die flexible Folie 21 aus Aluminium (AI) mit einer Isolierschicht aus Aluminiumoxid (Al2O3). Die Leiterbahnen 22 sind durch Beschichten, Bedampfen oder Bedrucken der Alumimurnfolie mit einem Metall hergestellt.
In einer alternativen Ausfiihrungsform besteht die Folie 21 ebenfalls aus Aluminium (AI), und die voneinander isolierten Leiterbahnen 22 werden durch Oxidation von Streifen der Alumiriiumfolie gewonnen, wobei die verbleibenden, nichtoxidierten Streifen der Aluimmu folie die Leiterbahnen 22 ergeben. Die oxidierten Streifen bilden in der Folie Isolierstreifen, so dass die verbleibenden Alvurήmum-Leiterbahnen gegeneinander elektrisch isoliert sind.
Denkbar ist es auch, als Isoliermaterial zur Herstellung der Folie amorphes Metall zu verwenden und die Leiterbahnen 22 durch Wiederaufschmelzen von Streifen herzustellen. Durch das Wiederaufschmelzen werden diese Streifen elektrisch leitfähig und bilden die Leiterbahnen 22, während die übrigen Bereich der Folie 21 elektrisch nicht leitend bleiben. Das Wiederaufschmelzen kann beispielsweise durch Laserumschmelzen erfolgen.
Die Kontaktierung der Leiterbahnen 22 im Bereich des sensorseitigen Endabschnitts 211 der Folie 21 mit den Kontaktstellen 16 des Sensorelements 20 wird durch Widerstandspaltschweißen, Thermokompressionsschweißen, Löten oder Widerstandsspaltlöten vorgenommen.
Die Erfindung ist nicht auf das beschriebene Ausfiihrungsbeispiel eines Messfiihlers als Lambda-Sonde beschränkt. In gleicher Weise kann das erfindungsgemäße Anschlusskabel 20 auch in Messfühlern verwendet werden, mit denen die Konzentration einer
Schadstofϊkomponente, z.B. Stickoxide, im Abgas von Breimkraftmaschinen oder der Druck oder die Temperatur im Abgas von Breririkraftmaschinen oder einem sonstigen hochtemperierten Messgas gemessen werden.

Claims

Ansprüche
1. Messfühler zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung von Druck, Temperatur oder der Konzentration einer Gaskomponente im Abgas von Brennkraftrnaschinen, mit einem Sensorelement (15), das auf einem anschlussseitigen Abschnitt (152) elektrische Kontaktstellen (16) trägt, und mit einem gegeneinander elektrisch isolierte Leiter aufweisenden Anschlusskabel (20), dessen Leiter mit den Kontaktstellen (16) verbunden sind, dadurch gekennzeichnet dass das Anschlusskabel (20) mindestens eine flexible Folie (21) aufweist und die elektrischen Leiter von auf der mindestens einen Folie (21) verlaufenden Leiterbahnen (22) gebildet sind.
2. Messfiihler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet dass die Leiterbahnen (22) beabstandet voneinander in Längsrichtung der Folie (21) verlaufen und vorzugsweise parallel zueinander ausgerichtet sind.
3. Messfiihler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet dass zumindest inneriialb eines Endabschnitts (211) der Folie (21) die Abstände der Leiterbahnen (22) so gewählt sind, dass jeweils eine Leiterbahn (22) eine Kontaktstelle (16) am Sensorelement (15) kontaktiert.
4. Messfiihler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet dass das Sensorelement (15) stabformig mit zwei voneinander abgekehrten Großflächen (153) ausgebildet ist, auf denen die Kontaktstellen (16) angeordnet sind, und dass das Anschlusskabel (20) eine einzige Folie (21) aufweist die mit einem Endabschnitt (211) so um den anschlussseitigen Abschnitt (152) des Sensorelements (15) herumgelegt ist, dass jeweils eine Leiterbahn (22) über eine der Kontaktstellen (16) auf den beiden Großflächen (153) des Sensorelements (15) hinweg verläuft.
5. Messfiihler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (15) stabformig mit zwei voneinander abgekehrten Großflächen (153) ausgebildet ist auf denen die Kontaktstellen (16) angeordnet sind, und dass das Anschlusskabel (20) zwei Folien (21) aufweist, von denen jeweils eine Folie (21) mit einem Endabschnitt (211) auf einer Großfläche (153) des Sensorelements (15) so aufliegt das jeweils eine Leiterbahn (22) über eine Kontaktstelle (16) des Sensorelements (15) hinweg verläuft.
6. Messfiihler nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Folie (21 ) aus elektrisch isolierendem Material besteht.
7. Messfühler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet dass das Isoliermaterial ein keramische Textilgewebe ist und die Leiterbahnen (22) aus einem Lot bestehen.
8. Messfiihler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet dass das in Bahnbreite und - länge auf das Textilgewebe aufgetragene Lot infolge Ofenlötung im Vakuum mit dem Textilgewebe verbunden ist.
9. Messfühler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet dass das in Bahnbreite und- länge auf das Textilgewebe aufgetragene Lot infolge induktiver Erwärmung in Schutzgasatmosphäre mit dem Textilgewebe fest verbunden ist
10. Messfühler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Isoliermaterial der Foüe (21) ein keramisches Textilgewebe ist und die Leiterbahnen (22) als Metall- bänder in das Textilgewebe gefügt oder eingewoben sind.
11. Messfiihler nach einem der Ansprüche 7 - 10, dadurch gekennzeichnet dass das keramische Textilgewebe 96% Aluminiumoxid (AI2O3) und 4% Siliziumdioxid (SiO2) enthält
12. Messfiihler nach einem der Ansprüche 7 - 10, dadurch gekennzeichnet dass das keramische Textilgewebe 62% Aluminiumoxid (Al2O3) und 24% Siliziumdioxid (SiO2) und 14% Boroxid (B2O3) enthält.
13. Messfiihler nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Folie (21) aus Aluminium (AI) mit einer Aluminiumoxid(Al2θ3)-Isolierschicht besteht und dass die Leiterbahnen (22) durch Beschichten, Bedampfen oder Bedrucken der Folie (21) mit Metall hergestellt sind. i
14. Messfiihler nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Folie (21) aus Aluminium (AI) besteht und die voneinander isolierten Leiterbahnen (22) durch Oxidation von Streifen zwischen den gewünschten Leiterbahnen (22) hergestellt sind.
15. Messfühler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Isoliermaterial amorphes Metall ist und die Leiterbahnen (22) durch Wiederaufschmelzen von Streifen, z.B. durch Lasemmschmelzen, hergestellt sind.
16. Messfiihlern nach einem der Ansprüche 1 - 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierung der Leiterbahnen (22) mit den Kontaktstellen (16) am Sensorelement (15) durch Widerstandsspaltschweißen, Thermokompressionsschweißen, Löten oder Widerstandspaltlöten vorgenommen ist.
17. Messfühler nach einem der Ansprüche 1 - 16, dadurch gekennzeichnet dass die Folie (21) aus einemfiiochtemperaturfestem Werkstoff besteht, der vorzugsweise in einem) Temperaturbereich von 400° - 800°C beständig ist.
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