JPH03172098A - 配列型超音波探触子及びその製造方法 - Google Patents
配列型超音波探触子及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH03172098A JPH03172098A JP1312162A JP31216289A JPH03172098A JP H03172098 A JPH03172098 A JP H03172098A JP 1312162 A JP1312162 A JP 1312162A JP 31216289 A JP31216289 A JP 31216289A JP H03172098 A JPH03172098 A JP H03172098A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- conductive
- panel
- plate
- flexible substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 235000014510 cooky Nutrition 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業J−の利用分野)
本発明は配列型超汗波探触子(以下、配列型探触子とす
る)及びその製造方法を利用分野とし、特に、超汗波の
発生源となる圧電ノI一の−し程中における破損及びこ
れに起因した}゛?性不良を防止した配列型探触子の構
造に関する。
る)及びその製造方法を利用分野とし、特に、超汗波の
発生源となる圧電ノI一の−し程中における破損及びこ
れに起因した}゛?性不良を防止した配列型探触子の構
造に関する。
(発明の背景)
配列型探触子は複数個の圧電片をjiffべて形成され
、例えば医用関係の超音波診断装Kに超汗波の送受波部
として有用される。近年では、需要の拡大及び高信頼性
等の観点がら、生産性及びrfF的特性に優れた製造方
法が望まれている。
、例えば医用関係の超音波診断装Kに超汗波の送受波部
として有用される。近年では、需要の拡大及び高信頼性
等の観点がら、生産性及びrfF的特性に優れた製造方
法が望まれている。
配列型探触子は例えばジルコン酸チタン酸釦(P 7.
T−と逍称される)を超1′f波送受波用のノ1ミ取
材とする。そして、II:.電材を使用周波数に応した
P工みにして?f!′極L(a.b)を施L f: /
’E 電h 2 b’ I’)形成される。通常では、
圧電板2の一端側の一生而にフレキシブルプリント基板
(以下、フレキシブルJ↓板とする)3の先端側を取着
する。この場合、接合強度を高めるために接合面に図示
しない!l’,}I1を施し、フレキシブル基板3Lか
らウエルダ4を用いて加熱、加/E Lて接合していた
。但し、フレキシブル基板3の先端側には信号導出川の
Jq電路5に接続した共通電路6が露出し、一主而側の
電%’% l aと接続する。そして、圧電板2(フレ
キシブルノX根付き)をバンキング材7上に固着し,八
′.化板2上からパッキング材71−に達する切れ[1
8を各i4電路5開に入れて複数の圧電片9に分割して
いた。なお、切断前後にフレキシブルj,F板3はハ:
.1シ板2の一端側に沿って折り曲げられ、/.E電板
2上には図示し本い?″l−饗整合層が形成される。
T−と逍称される)を超1′f波送受波用のノ1ミ取
材とする。そして、II:.電材を使用周波数に応した
P工みにして?f!′極L(a.b)を施L f: /
’E 電h 2 b’ I’)形成される。通常では、
圧電板2の一端側の一生而にフレキシブルプリント基板
(以下、フレキシブルJ↓板とする)3の先端側を取着
する。この場合、接合強度を高めるために接合面に図示
しない!l’,}I1を施し、フレキシブル基板3Lか
らウエルダ4を用いて加熱、加/E Lて接合していた
。但し、フレキシブル基板3の先端側には信号導出川の
Jq電路5に接続した共通電路6が露出し、一主而側の
電%’% l aと接続する。そして、圧電板2(フレ
キシブルノX根付き)をバンキング材7上に固着し,八
′.化板2上からパッキング材71−に達する切れ[1
8を各i4電路5開に入れて複数の圧電片9に分割して
いた。なお、切断前後にフレキシブルj,F板3はハ:
.1シ板2の一端側に沿って折り曲げられ、/.E電板
2上には図示し本い?″l−饗整合層が形成される。
(従來技術の問題点)
しかし本から、」二記構遣の超音波探触子及びその製造
方広では、圧電板2とフレキシブル基板3との接合11
.’fに加熱及び加圧を要する。したがって、11二電
板2には、−.− II!?的にせよ、/E電作用を消
失させるキュリール度を越える熱が加えられ、特性劣化
を来す。また、加正により圧電板2及び電極1を破損さ
せることがある。特に、高周波数になるほどその板厚は
小さくなるので、加圧による破損が増大する。また、こ
のような破損はフレキシブル基板3の折り曲げ時にも向
様に発生し、生産性を低下させる問題があった。
方広では、圧電板2とフレキシブル基板3との接合11
.’fに加熱及び加圧を要する。したがって、11二電
板2には、−.− II!?的にせよ、/E電作用を消
失させるキュリール度を越える熱が加えられ、特性劣化
を来す。また、加正により圧電板2及び電極1を破損さ
せることがある。特に、高周波数になるほどその板厚は
小さくなるので、加圧による破損が増大する。また、こ
のような破損はフレキシブル基板3の折り曲げ時にも向
様に発生し、生産性を低下させる問題があった。
(発明の目的)
本発明は、特性を維持して生産性を向上させる配列型探
触子及びその製造方法を提供することを目的とする。
触子及びその製造方法を提供することを目的とする。
(解決手段)
本発明は、複数個が列設した圧電ノーrの一方の主面の
電極に、個々に対応する導電板を電気的に接続して固着
し、各導電板に個々に@気的に接続する導電路の形成さ
れたフレキシブルプリントノ,(板を接続したことを解
決手段とする。以下、本発明の一実施例を製造方法を示
して説明する。
電極に、個々に対応する導電板を電気的に接続して固着
し、各導電板に個々に@気的に接続する導電路の形成さ
れたフレキシブルプリントノ,(板を接続したことを解
決手段とする。以下、本発明の一実施例を製造方法を示
して説明する。
(実施例)
第1図は本発明の一実施例を説明する配列型探触子の製
造工程図である。なお、前実施例図と同一部分には同番
号を付与してその説明は簡略する。
造工程図である。なお、前実施例図と同一部分には同番
号を付与してその説明は簡略する。
配列片!探触子は前述同様にPZTとし,両主面に電極
1を有する圧電板2からなる。そして、この火施例では
,先ず、フレキシブル基板3をウェルダーにより導電板
1oの一端側主面に固着する。
1を有する圧電板2からなる。そして、この火施例では
,先ず、フレキシブル基板3をウェルダーにより導電板
1oの一端側主面に固着する。
導1i板10は例えば樹脂基板1lに銅箔12を覆一)
てあるいはクッキ処理等により形成される。次に、導l
iL板10の他面側に圧電板2の全面を図示しない導?
U性接RMにより固着する。そして、導主板10の−面
側を保持台J二に対面させて取着する。なお、フレキシ
ブル基板3は取着前後に保持j−7の側面に沿って折り
曲げられる。次に、圧電板21;からIE電板2と導電
材10とをバッキング材7Fに達する切れ[19を各導
電#r5間に入れて複数のJE Hfj片9に分割する
。なお、圧電ノ1−9の超音波送受波dIf側にJ&準
電f17.となる図示し1(い共通線路を、またりJ断
+’+rl後に斤饗整合層をK電板2(圧電片9)上に
形成した構戊とする。
てあるいはクッキ処理等により形成される。次に、導l
iL板10の他面側に圧電板2の全面を図示しない導?
U性接RMにより固着する。そして、導主板10の−面
側を保持台J二に対面させて取着する。なお、フレキシ
ブル基板3は取着前後に保持j−7の側面に沿って折り
曲げられる。次に、圧電板21;からIE電板2と導電
材10とをバッキング材7Fに達する切れ[19を各導
電#r5間に入れて複数のJE Hfj片9に分割する
。なお、圧電ノ1−9の超音波送受波dIf側にJ&準
電f17.となる図示し1(い共通線路を、またりJ断
+’+rl後に斤饗整合層をK電板2(圧電片9)上に
形成した構戊とする。
このようなものでは、圧電板2とフレキシブル基0板3
とをウエルダ−4(加熱及び加圧)により11f.接接
合する必要がない。そして、圧電板2はフレキシブル基
板3の接合した導電材10」二に導電性接着剤をもって
固着される。したがって、圧電板2にはキュリー温度を
越える熱が加わらないので、圧電板2の圧電作用を損な
うことな<.m音波探触子としての特性を維持する。ま
た、加圧力も格別に要することがないので、圧電板2及
び電極1の破損を防止する。また,この実施では、フレ
キシブル基板3は導電板10の一面側(圧電板2とは反
対側〉に接合したので,その折り曲げ特における圧電板
2及び電極の破損も防+hできる。
とをウエルダ−4(加熱及び加圧)により11f.接接
合する必要がない。そして、圧電板2はフレキシブル基
板3の接合した導電材10」二に導電性接着剤をもって
固着される。したがって、圧電板2にはキュリー温度を
越える熱が加わらないので、圧電板2の圧電作用を損な
うことな<.m音波探触子としての特性を維持する。ま
た、加圧力も格別に要することがないので、圧電板2及
び電極1の破損を防止する。また,この実施では、フレ
キシブル基板3は導電板10の一面側(圧電板2とは反
対側〉に接合したので,その折り曲げ特における圧電板
2及び電極の破損も防+hできる。
したがって一 生産性を向上できる。なお、フレキシブ
ル基板3と導電材10とは半田により接合されるので、
その接合強度は維持される。そして、フレキシブル基板
3の接合される導電材10に圧電板2を固着した構造な
ので、上記製造方法を可能とする。また、この構造であ
れば、送受波面側を被検出体(例えば生体)に当接した
際、例えばパッキング材(通常ゴム)による変形が、導
電板10の強度により伝達されず圧電2の破損を防止す
る。
ル基板3と導電材10とは半田により接合されるので、
その接合強度は維持される。そして、フレキシブル基板
3の接合される導電材10に圧電板2を固着した構造な
ので、上記製造方法を可能とする。また、この構造であ
れば、送受波面側を被検出体(例えば生体)に当接した
際、例えばパッキング材(通常ゴム)による変形が、導
電板10の強度により伝達されず圧電2の破損を防止す
る。
(他の・1t爪)
なお、上j己¥施例では、導電板10は樹脂基板11に
銅箔12を覆って形成したが、例えば銅板算の導電材で
あってもよい。また、圧電板2は導電板】Oの他面側に
取若したが,フレキシブルノS板:}の接続される一面
側としてもよい。また、メ9電板10にフレキシブル)
5板3を接続した後に/−E電板を固若したが,導電板
上に圧電板を固若した後フレキシブル基板3を接続して
も同様の効果を奏する,,また,実施例でいうフレキシ
ブル基板は例えば銅箔専をも含み実質的に導電性をもっ
て折り曲げ内在のものであればよい。また、切れ118
には充填剤を理設し、表面に例えば導電性接着剤を施し
基や電位面としてもよい。この場合、IE電板2は分極
されていれば予め電極を形成する必要は21い。また、
IE電片を一方向に4tべて配列型探触Y・としたが、
2次元的に4食べたものであっても適用することは勿論
で、本発明はこれを技術的範u目から除外するものでは
ない。
銅箔12を覆って形成したが、例えば銅板算の導電材で
あってもよい。また、圧電板2は導電板】Oの他面側に
取若したが,フレキシブルノS板:}の接続される一面
側としてもよい。また、メ9電板10にフレキシブル)
5板3を接続した後に/−E電板を固若したが,導電板
上に圧電板を固若した後フレキシブル基板3を接続して
も同様の効果を奏する,,また,実施例でいうフレキシ
ブル基板は例えば銅箔専をも含み実質的に導電性をもっ
て折り曲げ内在のものであればよい。また、切れ118
には充填剤を理設し、表面に例えば導電性接着剤を施し
基や電位面としてもよい。この場合、IE電板2は分極
されていれば予め電極を形成する必要は21い。また、
IE電片を一方向に4tべて配列型探触Y・としたが、
2次元的に4食べたものであっても適用することは勿論
で、本発明はこれを技術的範u目から除外するものでは
ない。
(発明の効果)
本発明は、複数個が列設した圧電J1−の一方の主面の
電極に、個々に対応する導電板を電気的に接続して固若
し,各導電板に個々に電気的に接続する導電路の形成さ
れたフレキシブルプリント基板を接続して構威したので
、特性を維持して生産性を向−1−させる配列型探触子
を提供できる。
電極に、個々に対応する導電板を電気的に接続して固若
し,各導電板に個々に電気的に接続する導電路の形成さ
れたフレキシブルプリント基板を接続して構威したので
、特性を維持して生産性を向−1−させる配列型探触子
を提供できる。
4.図iIlrの簡1″Lな説明
第11#I (a)(b)(c)(d)は本発明の−実
施例を説明する超音波探触子の製造王程図である。
施例を説明する超音波探触子の製造王程図である。
第2図(a)(b)(c)は従来例を説明する超7f波
探触子の製造工程因である。
探触子の製造工程因である。
M1図
7/
四
LD
Claims (3)
- (1)両主面に電極の形成されて列設した複数個の圧電
片と、各圧電片に対応して一方の主面の電極と電気的に
接続して固着した導電板と、該導電板と個々に電気的に
接続して信号導出入用の導電路の形成されたフレキシブ
ルプリント基板とからなる配列型超音波探触子。 - (2)導電板にフレキシブルプリント基板の一端を接続
した後、前記導電板上に圧電板を導電性接着剤により固
着し、前記圧電板上から該圧電板と導電板とを複数に分
割して形成したことを特徴とする配列型超音波探触子の
製造方法。 - (3)導電板上に圧電板を導電性接着剤により固着し、
前記導電板にフレキシブルプリント基板の一端を接続し
た後、前記前記圧電板上から該圧電板と導電板とを複数
に分割して形成したことを特徴とする配列型超音波探触
子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1312162A JP2935514B2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 配列型超音波探触子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1312162A JP2935514B2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 配列型超音波探触子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03172098A true JPH03172098A (ja) | 1991-07-25 |
JP2935514B2 JP2935514B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=18025986
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1312162A Expired - Fee Related JP2935514B2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 配列型超音波探触子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2935514B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0549351A2 (en) | 1991-12-26 | 1993-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing method and apparatus |
WO2005090957A1 (de) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Robert Bosch Gmbh | Anschlusskabel für messfühler |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP1312162A patent/JP2935514B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0549351A2 (en) | 1991-12-26 | 1993-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing method and apparatus |
WO2005090957A1 (de) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Robert Bosch Gmbh | Anschlusskabel für messfühler |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2935514B2 (ja) | 1999-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2502685B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
JP3940683B2 (ja) | 超音波探触子及びその製造方法 | |
JP2002084597A (ja) | 超音波変換器アレーとその製造方法 | |
KR20070066883A (ko) | 초음파 프로브 | |
JP3450430B2 (ja) | 超音波トランスジューサ | |
JPH03172098A (ja) | 配列型超音波探触子及びその製造方法 | |
US5044370A (en) | Probe with bar of piezoelectric elements for ultrasound apparatus | |
JP2000014672A (ja) | 超音波プローブおよびその製造方法 | |
JP3325368B2 (ja) | 超音波プローブ及びその製造方法 | |
JPS61103399A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
KR102256909B1 (ko) | 초음파 트랜스듀서 및 그 제조 방법 | |
JPH0614396A (ja) | 超音波探触子 | |
JP3494578B2 (ja) | 超音波探触子及びその製造方法 | |
CN209751085U (zh) | 背衬块、超声面阵探头及超声诊断成像设备 | |
JP2945978B2 (ja) | 配列型超音波探触子 | |
JPH0419858B2 (ja) | ||
JP3929722B2 (ja) | 配列型の超音波探触子 | |
JP3656016B2 (ja) | 超音波探触子 | |
JPH07274295A (ja) | 超音波探触子及びその製造方法 | |
JPH0614397A (ja) | 超音波探触子 | |
JP2001102651A (ja) | 圧電素子・圧電素子の製造方法および超音波発振器 | |
JPH04152938A (ja) | 高分子超音波振動子の製造方法 | |
JP2002232996A (ja) | 超音波プローブおよびその製造方法並びに超音波撮影装置 | |
JPH0523040Y2 (ja) | ||
JPS6178300A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090604 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |