WO2005081611A1 - 支持ピン把持装置および基板支持装置 - Google Patents

Abstract

　安価で迅速に支持ピンを把持，開放する支持ピン把持装置を提供する。把持装置本体３６０が昇降可能に保持する進退部材３６４に把持爪群３６２を開閉可能に保持させる。把持装置本体３６０の下降時に支持ピン２５０が嵌合穴３８６に嵌入して進退部材３６４に係合し、非作用位置から作用位置近傍へ押す。把持装置本体３６０との相対移動により運動変換機構４３０が把持爪群３６２を閉じて支持ピン２５０を把持させ、係止装置４３２では係合部４８２，４８４が係止位置へ移動する。把持装置本体３６０の上昇時に係合部４８２，４８４が係止面に係合して進退部材３６４を作用位置に保持し、次の把持装置本体３６０の下降時に支持ピン２５０が進退部材３６４の下降を止め、作用位置近傍へ押す。それにより係合部４８２，４８４の係合が解除され、把持装置本体３６０の上昇時に進退部材３６４が非作用位置へ移動し、把持爪群３６２が開く。                                                                                 

Description

明 細 書

支持ピン把持装置および基板支持装置

技術分野

[0001 ] 本発明は、 プリント基板等の板状部材を支持する支持ピンをピン支持部材 に取り付け、 取り外す支持ピン把持装置に関するものであり、 特に、 支持ピ ンを把持， 開放する複数の支持ピン把持部材を開閉させる開閉装置の改良に 関するものである。

背景技術

[0002] 複数の支持ピン把持部材を備え、 それら支持ピン把持部材の開閉により支 持ピンを把持， 開放する支持ピン把持装置は、 例えば、 特許文献 1に記載さ れているように既に知られている。 この支持ピン把持装置は、 一対の支持ピ ン把持部材を備え、 それら支持ピン把持部材がバキュームシリンダを駆動源 とする開閉装置によって開閉させられることにより支持ピンを把持， 開放す るようにされている。

特許文献 1 ：特開 2 0 0 1 - 1 1 1 2 9 6号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] しかしながら、 この支持ピン把持装置においては、 支持ピン把持部材の開 閉のための専用のァクチユエータたるバキュームシリンダおよびそのバキュ 一ムシリンダへの負圧の供給， 遮断を制御する制御装置が必要であり、 コス 卜が高くなる。 また、 支持ピンの把持， 開放が制御装置からの指令信号に基 づいて電気的に制御されるため、 信号の授受， 開閉装置の作動確認等が行わ れる分、 支持ピン把持部材による支持ピンの把持， 開放に要する時間が長く なる。

本発明は、 以上の事情を背景として為されたものであり、 安価でかつ支持 ピンの把持， 開放を迅速に行うことができる支持ピン把持装置の提供を課題 とする。 課題を解決するための手段

[0004] 上記の課題を解決するために、 本発明は、 ピン支持部材に取り付けるべき 支持ピンを把持する支持ピン把持装置を、 （a)把持装置本体と、 （b)その把持 装置本体により、 相対移動可能に、 直接または間接に保持された複数の支持 ピン把持部材から成る開閉可能な把持部材群と、 （c)前記把持装置本体によ リ作動可能に保持され、 前記把持装置本体と前記ピン支持部材との相対移動 に伴ってその把持装置本体と相対移動する係合部材との係合により、 非作用 位置から作用位置に向かって作動させられる作動部材と、 （d)その作動部材 と機械的に連動し、 その作動部材が 1回作動させられる毎に、 前記把持部材 群を開状態から閉状態へと閉状態から開状態へとに交互に切リ換える切換装 置とを含むものとしたことを特徴とする。

発明の効果

[0005] 支持ピン把持部材は、 把持装置本体により直接保持されてもよく、 例えば 作動部材に保持されて、 把持装置本体により間接に保持されてもよい。 また 、 作動部材は、 回動軸線まわりに回動する回動部材でもよく、 軸方向に進退 する進退部材でもよい。 さらに、 把持部材群を開閉させるために把持装置本 体を移動させてもよく、 ピン支持部材を移動させてもよく、 両方を移動させ てもよい。

把持装置本体とピン支持部材との相対移動に伴つて作動部材と係合部材と が係合し、 作動部材が非作用位置から作用位置に向かって作動させられ、 そ の作動と機械的に連動して、 把持部材群が開閉させられ、 支持ピンを把持， 開放する。 支持ピン把持装置が支持ピンをピン支持部材に取り付け、 取り外 すためには、 支持ピン把持装置とピン支持部材との相対移動が不可欠であり 、 その不可欠の相対移動の利用により支持ピンを把持， 開放することができ 、 支持ピン把持部材の開閉のために専用のァクチユエータを設けなくてもよ いのであり、 支持ピン把持装置を安価に構成することができる。 また、 支持 ピン把持部材の開閉のために、 制御装置による電気的な制御が不要であり、 支持ピンを迅速に把持， 開放することができる。 発明の態様

[0006] 以下に、 本願において特許請求が可能と認識されている発明 （以下、 「請 求可能発明」 という場合がある。 請求可能発明は、 少なくとも、 請求の範囲 に記載された発明である 「本発明」 ないし 「本願発明」 を含むが、 本願発明 の下位概念発明や、 本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むことも ある。 ） の態様をいくつか例示し、 それらについて説明する。 各態様は請求 項と同様に、 項に区分し、 各項に番号を付し、 必要に応じて他の項の番号を 引用する形式で記載する。 これは、 あくまでも請求可能発明の理解を容易に するためであり、 請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、 以下の 各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。 つまり、 請求可能発明は、 各項に付随する記載， 実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、 そ の解釈に従う限りにおいて、 各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態 様も、 また、 各項の態様から構成要素を削除した態様も、 請求可能発明の一 態様となり得るのである。

[0007] なお、 以下の各項において、 （1)項が請求項 1に相当し、 （2)項が請求項 2 に、 （3)項が請求項 3に、 （4)項が請求項 4に、 （5)項が請求項 5に、 （6)項が 請求項 6に、 （7)項が請求項 7に、 （8)項が請求項 8に、 （9)項が請求項 9に、 (10)項が請求項 1 0に、 (11)項が請求項 1 1に、 (12)項が請求項 1 2に、 (13)項が請求項 1 3に、 (14)項が請求項 1 4に、 (15)項が請求項 1 5に、 (16)項が請求項 1 6に、 （17)項が請求項 1 7に、 （50)項の一部が請求項 1 8 に、 （50)項の残りの部分が請求項 1 9に、 （50)項と（40)項とを合わせたもの が請求項 2 0にそれぞれ相当する。

[0008] ( 1 ) ピン支持部材に取り付けるべき支持ピンを把持する支持ピン把持装置 であって、

把持装置本体と、

その把持装置本体により、 相対移動可能に、 直接または間接に保持された 複数の支持ピン把持部材から成る開閉可能な把持部材群と、

前記把持装置本体によリ作動可能に保持され、 前記把持装置本体と前記ピ ン支持部材との相対移動に伴ってその把持装置本体と相対移動する係合部材 との係合により、 非作用位置から作用位置に向かって作動させられる作動部 材と、

その作動部材と機械的に連動し、 その作動部材が 1回作動させられる毎に 、 前記把持部材群を開状態から閉状態へと閉状態から開状態へとに交互に切 リ換える切換装置と

を含む支持ピン把持装置。

( 2 ) 前記把持部材群と前記支持ピンとが、 把持部材群による支持ピンの把 持が可能な位置へ相対移動するのに伴い、 支持ピンと係合し、 支持ピンによ リ前記非作用位置から前記作用位置に向かって移動させられる位置に前記作 動部材が設けられており、 支持ピンが前記係合部材として機能する（1)項に記 載の支持ピン把持装置。

支持ピンは、 例えば、 その先端部において作動部材に係合するようにして もよく、 先端部以外の部分において係合するようにしてもよい。

本項に記載の支持ピン把持装置によれば、 作動部材が把持対象部材である 支持ピンそのものによって作動させられるため、 係合部材を支持ピンとは別 部材により構成する場合に比較して支持ピン把持装置を簡易化でき、 コス卜 低減を図り得る。

( 3 ) 前記作動部材が前記把持部材群の中央部奥に設けられ、 前記把持部材 群内に進入した支持ピンの先端部により作動させられる位置に設けられた (2) 項に記載の支持ピン把持装置。

「中央部奥」 は、 中央奥および中央近傍部奥を含む。 作動部材は、 被作動 部を含む全体を把持部材群と同軸に設けてもよく、 被作動部を支持ピンの先 端部と係合可能な位置に設け、 その他の部分は把持部材群の開閉軸線と交差 する方向に外して設けてもよい。 前者の場合、 作動部材は把持部材群の中央 奥に設けられ、 後者の場合、 中央近傍部奥に設けられることとなる。

本項に記載の支持ピン把持装置によれば、 作動部材を把持部材群の中央部 奥に設ければよく、 支持ピンの先端部以外の部分と係合する場合のように、 先端部以外の部分と係合する部分を設けなくてよい。

( 4 ) 前記切換装置が、

前記作動部材の運動を前記把持部材群の開閉運動に変換する運動変換機構 前記作動部材が前記係合部材との係合により 1回作用位置の近傍へ押され た際はその作動部材を前記作用位置に保持し、 次にもう 1回押された際はそ の保持を解除して作動部材が非作用位置へ復帰することを許容する作動部材 制御装置と

を備えた（1)項ないし (3)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。

把持部材群が開状態に切り換えられた状態において作動部材が非作用位置 から作用位置の近傍へ押されれば、 把持部材群が閉状態に切り換えられて支 持ピンを把持するとともに、 作動部材が作用位置に保持されてその閉状態を 維持する。 そして、 次に作動部材が押されて非作用位置へ復帰すれば、 把持 部材群が開状態に切り換えられて支持ピンを開放する。 把持部材群の開状態 から閉状態への切換えも、 閉状態から開状態への切換えも、 作動部材を作用 位置の近傍へ押すことによリ行うことができ、 把持装置本体とピン支持部材 との同じ相対移動動作によって支持ピンの把持と開放とを行うことができる

( 5 ) 前記作動部材制御装置が、 前記装置本体と前記作動部材との一方に設 けられた係止部材と他方に設けられた被係止部材とを含む係止装置であり、 被係止部材が、 係止部材によつて係止されることにより前記作動部材を前記 作用位置に保持する被係止部と、 係止部材を案内し、 前記作動部材の 1回の 作動に起因する係止部材と被係止部材との相対移動に伴つて係止部材を前記 被係止部を係止する係止位置へ導き、 次の 1回の相対移動に伴って係止部材 による被係止部の係止を解除して係止部材を原位置へ導く案内部とを備えた

(4)項に記載の支持ピン把持装置。

係止装置を用いれば、 被係止部材の形状の選定によリ容易に係止部材の所 望の動作を実現することができ、 把持装置本体とピン支持部材との相対移動 を作動部材の運動に容易に変換することができる。

( 6 ) 前記係止部材が、 回動軸部とその回動軸部からほぼ直角方向に延び出 た一対のアーム部と、 それらアーム部の自由端部に設けられた一対の係合部 とを備え、 回動軸部において前記把持装置本体と前記作動部材との一方に回 動可能に保持された回動係止部材であり、 前記被係止部材が、 互いに共同し て前記一対の係合部を案内する一対の案内部を備えた (5)項に記載の支持ピン 把持装置。

回動軸部， 一対のアーム部および一対の係合部は一体的に設けられる。 本 項の支持ピン把持装置によれば、 係止部材を構造の簡単なものとすることが できる。

一対の係合部にそれぞれ、 ローラを回転可能に設けて回転係合部とし、 係 合部と案内部との摩擦を軽減させてもよい。

( 7 ) 前記一対の案内部が、 前記作動部材の 2回の作動に伴って前記一対の 係合部に前記被係止部を含んで予め設定された周回運動を行わせる形状を有 する（6)項に記載の支持ピン把持装置。

本項の支持ピン把持装置によれば、 係止部材に、 被係止部に対する係止と 、 係止解除との異なる 2種類の動作を、 作動部材の 2回の作動に伴って容易 に行わせることができる。

( 8 ) 前記把持部材群が対称軸に対して軸対称に開閉するものである（1)項な いし（7)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。

本項の支持ピン把持装置によれば、 例えば、 軸線が位置決めされた支持ピ ンを、 その位置決めを妨げることなく、 把持部材群が把持することができる 。 また、 複数の支持ピン把持部材のうちの一つを閉方向に移動させることに より、 残リが閉方向に移動させられるようにすることができる。

把持部材群を軸対称に開閉するものとすることは不可欠ではなく、 例えば 、 支持ピンの被把持部の横断面形状が支持ピンの軸線に対して非対称であリ 、 例えば、 支持対象部材を支持する支持面に対して偏心した形状を有してい る場合、 把持部材群は開閉軸に対して非対称に開閉するものとされる。 ( 9 ) 前記作動部材が軸方向に進退する進退部材である（1)項ないし (8)項の いずれかに記載の支持ピン把持装置。

本項の支持ピン把持装置によれば、 例えば、 作動部材を回動部材とする場 合に比較して、 支持ピン把持装置を、 把持装置本体の軸線と交差する方向に おいてコンパク卜に構成することができる。

( 1 0 ) 前記作動部材が、 前記対称軸上に配設され、 その対称軸に沿って進 退する進退部材である（8)項に記載の支持ピン把持装置。

本項の支持ピン把持装置の作動部材は、 被作動部を含む全体が把持部材群 の中央奥に位置し、 支持ピン把持装置をよリコンパク卜に構成することがで きる。

( 1 1 ) 前記作動部材を把持装置本体に対して前記作用位置から前記非作用 位置に向かう向きに付勢する付勢手段を含む (1)項ないし（10)項のいずれかに 記載の支持ピン把持装置。

付勢手段は、 スプリング等の弾性部材の他、 重力を含む。

作動部材は、 付勢手段の付勢力に杭して非作用位置から作用位置に向かつ て作動させられ、 付勢手段の付勢によリ非作用位置へ戻される。

( 1 2 ) 前記付勢手段が、 前記作動部材と前記把持装置本体との間に配設さ れた弾性部材を含む (11 )項に記載の支持ピン把持装置。

本項の支持ピン把持装置によれば、 弾性部材の弾性力によリ作動部材を確 実にかつ迅速に非作用位置に復帰させることができる。

( 1 3 ) 前記運動変換機構が、 前記複数の支持ピン把持部材のそれぞれに一 端部が相対回動可能に連結されるとともに、 他端部同士が互いに相対回動可 能に連結された複数の連結リンクと、 それら連結リンクの前記他端部を前記 進退部材の進退方向には移動可能であるがその進退方向と交差する方向には 移動不能に案内する案内手段とを含む (9)項ないし（12)項のいずれかに記載の 支持ピン把持装置。

本項の支持ピン把持装置によれば、 複数の支持ピン把持部材を一斉に移動 させることができる。 また、 複数の支持ピン把持部材の一つに開閉動作を行 わせれば、 連結リンクを介して他の支持ピン把持部材にも開閉動作を行わせ ることができる。 複数の支持ピン把持部材および複数の連結リンクを軸対称 に構成すれば、 複数の支持ピン把持部材を軸対称に移動させ、 把持部材群を 軸対称に開閉させることができる。

( 1 4 ) 支持ピンが前記係合部材として機能し、 前記進退部材が前記支持ピ ンと嵌合して実質的に支持ピンの傾きを防止する嵌合穴を備え、 前記複数の 支持ピン把持部材が、 それぞれの自由端部において前記支持ピンにその支持 ピンの相対的な傾きを許容する状態で係合する（9)項ないし（13)項のいずれか に記載の支持ピン把持装置。

嵌合穴との嵌合により支持ピンの心出しが為されるとともに、 支持ピン把 持部材が支持ピンを、 心出しが為された状態で把持することができる。 心出 しが為されることにより、 支持ピンをピン支持部材等の予め設定された位置 に正確に配置することができる。

進退部材が支持ピンと嵌合して実質的に支持ピンの傾きを防止する嵌合穴 を備えたものである場合には、 上記のように支持ピンの位置決めは嵌合穴と の嵌合によつて行われるため、 支持ピン把持部材は支持ピンの嵌合穴からの 離脱を防止すればよく、 1つとすることも可能である。 この場合には、 支持 ピン把持部材は 「把持」 はしないため、 離脱防止部材と称すべきものとなる

( 1 5 ) 前記作動部材が、 前記把持装置本体に軸方向に進退可能に嵌合され た進退部材であり、 前記複数の支持ピン把持部材がその進退部材に相対移動 可能に保持される一方、 前記把持装置本体に、 進退部材の後退に伴って前記 複数の支持ピン把持部材の少なくとも 1つに係合することによりその少なく とも 1っを閉方向に移動させる作用部が設けられ、 その作用部が前記運動変 換機構の少なくとも一部を構成する (4)項に記載の支持ピン把持装置。

本項の特徴は、 前記 (5)項ないし（14)項のいずれかに記載の特徴と組み合わ せて採用することができる。

( 1 6 ) 前記作用部が、 前記把持装置本体により前記進退部材の進退方向と 交差する方向に移動可能に設けられ、 かつ付勢手段により前記少なくとも 1 つの支持ピン把持部材に接近する向きに付勢された可動作用部材により構成 された（15)項に記載の支持ピン把持装置。

本項の支持ピン把持装置によれば、 例えば、 支持ピン把持部材が確実に支 持ピンを把持することができる。 作用部は把持装置本体に固定して設けても よい。 しかし、 その場合、 複数の支持ピン把持部材が軸対称に移動させられ る場合には、 支持ピン把持部材が最も閉じられたときの角度が作用部の配置 に応じて決まり、 支持ピン把持装置の構成部材の製造誤差や組付け誤差等に より、 支持ピン把持部材の閉角度にばらつきが生じ、 不足すれば、 支持ピン を把持できない事態が生じることがある。 それに対し、 作用部が可動作用部 材により構成され、 付勢手段により付勢されるものとすれば、 可動作用部材 を、 支持ピン把持部材を支持ピンを把持することが予定される位置より更に 閉方向に移動させることができるように設けることにより、 構成部材製造誤 差等があっても閉角度が不足することはなく、 支持ピン把持部材に支持ピン を確実に把持させることができる。 支持ピン把持部材が支持ピンを把持した 後は、 可動作用部材が付勢手段の付勢力に杭して移動することにより、 支持 ピン把持部材が余分に閉方向に移動させられることがなく、 支持ピン把持部 材ゃ支持ピンが損傷することはない。

可動作用部材は、 進退部材の進退方向と交差する回動軸線まわりに回動さ せられる回動型作用部材としてもよく、 進退部材の進退方向と交差する方向 に直線移動させられる直線移動型作用部材としてもよい。

( 1 7 ) 前記複数の支持ピン把持部材がそれぞれ一軸線まわりに回動可能な 回動型把持部材である（1)項ないし（16)項のいずれかに記載の支持ピン把持装 置。

支持ピン把持部材は、 支持ピンの軸線と交差する方向に直線移動させられ て支持ピンを把持， 開放する直線移動型把持部材としてもよいが、 回動型把 持部材とすれば、 支持ピン把持装置を簡易にかつコンパク卜に構成すること ができる。 ( 2 0 ) 内側に内側空間を有する基台と、

その基台に、 基端部が前記内側空間内に位置するとともに軸方向に相対移 動可能に保持され、 基台から突出した突出部の先端でプリント基板を支持す るピン部材と、

前記基台の前記内側空間内に少なくとも傾動可能に配設され、 基台が磁性 材料製のピン支持部材上に載置された状態で、 そのピン支持部材に磁気的に 吸引され、 その磁気吸引力に基づいて基台にその基台をピン支持部材に押し 付ける力を加える永久磁石部と、

前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分と前記永久磁石部との少な くとも一方に設けられ、 ピン部材に引張力が加えられた場合に、 その引張力 を前記永久磁石部に、 その永久磁石部を前記ピン支持部材に対して相対的に 傾動させつつピン支持部材から離間させる力として伝達する力伝達装置と を含む支持ピン。

プリント基板は、 プリント配線が形成された板であるプリント配線板、 電 子回路部品が所定の位置に搭載されるとともにはんだ付け接合されて実装が 完了した製品たるプリン卜回路板、 およびそれらの間の過程にある半製品を 含むものとする。

永久磁石部は、 永久磁石のみにより構成されてもよく、 永久磁石と永久磁 石を固定的に保持する部材とにより構成されてもよい。

永久磁石部は基台の内側空間内に少なくとも傾動可能に配設されておリ、 ピン部材に引張力が加えられたとき、 まず、 永久磁石部が傾動させられ、 そ れによって磁気吸引力が減少させられた状態で基台がピン支持部材から離間 させられ、 支持ピンがピン支持部材から取り外される。

永久磁石部をピン支持部材から離間させれば、 支持ピンをピン支持部材か ら取り外すことができるのであるが、 永久磁石部全体を同時にピン支持部材 から離間させようとすれば、 永久磁石部全体に作用する磁気吸引力に打ち勝 つ引張力を作用させることが必要であり、 大きい引張力が必要である。 それ に対し、 永久磁石部を傾動させる場合には、 永久磁石部全部を同時に離間さ せる場合より小さい引張力で済み、 より小さい引張力で永久磁石をピン支持 部材から離間させることができる。 また、 永久磁石部が傾動させられるとき 、 基台およびピン部材が傾くことはなく、 支持ピンをピン支持部材により支 持された状態と同じ姿勢で取リ外すことができる。

永久磁石を有し、 磁気吸引力によってピン支持部材に固定される支持ピン は、 例えば、 特開 2 0 0 3 - 2 8 3 1 9 7号公報に記載されている。 この公報 に記載の支持ピンにおいては、 支持ピンに回動可能に設けられたレバーに永 久磁石が固定されている。 一対の把持部を有する支持ピン把持装置が支持ピ ンを把持する際の把持動作の利用によりレバーが回動させられ、 永久磁石が ピン支持部材から遠ざけられてから支持ピンがピン支持部材から取り外され る。 しかし、 この支持ピンにおいては、 レバーを回動させる必要上、 支持ピ ン把持装置の把持動作を大きくすることが必要であるため、 支持ピン把持装 置が大形化するとともに、 支持ピンの把持， 解放に時間がかかる問題がある 。 また、 プリント基板の既に電子回路部品が装着されている裏面を支持する 場合、 レバーが既装着回路部品と干渉する恐れがあり、 支持位置が限定され 問 siもある。

本項の支持ピンによれば、 そのような問題を生じることなく、 磁気吸引力 を減少させて支持ピンをピン支持部材から容易に離間させることができる。 しかも、 支持ピンのピン支持部材からの取外し時に為されるのが普通であ る支持ピンの単純な引張動作によって永久磁石部を傾動させることができ、 支持ピンの取外しに要する作業時間を長くすることなく磁気吸引力を減少さ せて、 支持ピンを容易に取り外すことができる。 （20)項ないし (31)項に記載 の支持ピンの把持には、 （1 )項ないし（17)項に記載の支持ピン把持装置が使 用可能であるが、 これに限らず、 支持ピンを把持して引張力を加えることが できる支持ピン把持装置であれば、 使用可能である。 作業者が取付け， 取外 ししてもよい。

( 2 1 ) 前記永久磁石部が前記内側空間内に前記基台に対して相対移動自在 に配設された (20)項に記載の支持ピン。 永久磁石部は、 内側空間内に傾動のみ可能に設けてもよいが、 相対移動自 在に配設すれば、 永久磁石部の拘束が少なくて済み、 傾動可能な状態で配設 することが容易である。

( 2 2 ) 前記基台が、 前記内側空間として底部が開放された凹部を備えたも のである（20)項または (21)項に記載の支持ピン。

基台の内側空間内に配設された永久磁石部とピン支持部材との間に磁気吸 引力が作用し易く、 基台が確実にピン支持部材に押し付けられる。

( 2 3 ) 前記永久磁石部と前記基台とがそれぞれ、 永久磁石部が前記ピン支 持部材に最も接近した状態において互いに係合し、 前記磁気吸引力を基台に 伝達して基台をピン支持部材に押し付ける力伝達部を備えた (20)項ないし (22)項のいずれかに記載の支持ピン。

永久磁石部は、 磁気吸引力が作用すればよく、 ピン支持部材に接触させて もよく、 接触させなくてもよい。 前者の場合、 直接接触させてもよく、 間接 的に接触させてもよい。

( 2 4 ) 前記基台が、 前記内側空間として底部が開放された凹部を備えたも のであり、 その凹部の少なくとも一部が底板により覆われており、 その底板 の上面と前記永久磁石部の底面とが前記力伝達部として機能する（23)項に記 載の支持ピン。

本項の支持ピンによれば、 磁気吸引力に基づく押付力が、 ピン支持部材の 近くにおいて永久磁石部から基台に伝達され、 支持ピンが安定してピン支持 部材に取り付けられる。

凹部に底板を設けることは不可欠ではなく、 開放されたままでもよい。 こ の場合、 例えば、 基台に内側空間内に位置する係合部を設けるとともに、 永 久磁石部にその係合部に、 ピン支持部材とは反対側から係合する係合部を設 け、 押付力を加えさせる。 これら係合部が力伝達部を構成する。

( 2 5 ) 前記底板が非磁性材料から成る （24)項に記載の支持ピン。

永久磁石部が基台に押付力を伝達するとき、 底板が磁化されず、 永久磁石 部と底板とは互いに磁気的に吸引されず、 永久磁石部を傾動させる際の引張 力が大きくなることが回避される。

( 2 6 ) 前記基台の底面がゴム層により覆われた (20)項ないし (25)項のいず れかに記載の支持ピン。

ゴムは摩擦係数が高い高摩擦材料の一種である。 基台の底面が高摩擦材料 層によって覆われることにより、 支持ピンとピン支持部材との間に大きい摩 擦力が得られる。 そのため、 支持ピンに、 その軸線と交差する方向の力が作 用しても位置がずれ難く、 プリント基板を安定して支持することができる。 また、 高摩擦材料層はクッションとしても機能し、 支持ピンがピン支持部材 や支持ピン収納装置等のピン支持面上に載置されたとき、 それらを損傷する ことが防止される。

( 2 7 ) 前記力伝達装置が、 前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分 と共に移動する第一係合部と、 前記永久磁石部と共に移動する第二係合部と を備え、 それら第一係合部と第二係合部とが、 前記永久磁石部と前記ピン支 持部材との間に作用する磁気吸引力の合力の作用線から外れた位置において 互いに係合することにより、 永久磁石部に回転モーメントを生じさせる（20) 項ないし (26)項のいずれかに記載の支持ピン。

回転モーメントを生じさせるための引張力は、 永久磁石部全体をピン支持 部材から一挙に離間させるための引張力より小さくて済む。

( 2 8 ) 前記力伝達装置が、 前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分 に固定的に設けられた一対の第一係合部と、 前記永久磁石部に固定的に設け られた一対の第二係合部とを備え、 前記一対の第一係合部の一方と他方と前 記一対の第二係合部の一方と他方とが、 前記永久磁石部が前記ピン支持部材 に最も接近して前記基台に前記磁気吸引力に基づく力を加える状態において 、 前記ピン部材の軸方向において互いに異なる距離を隔ててそれぞれ対向す る（20)項ないし (27)項のいずれかに記載の支持ピン。

ピン部材に引張力が加えられるとき、 一対ずつの第一， 第二係合部のうち 、 まず、 互いに近いものが係合し、 永久磁石部を、 第一， 第二係合部が互い に遠い第二係合部側の部分を支点にして傾動させ、 磁気吸引力を減少させる 。 ピン部材が更に引っ張られれば、 一対ずつの第一， 第二係合部の他方 （互 いに遠いもの） が係合し、 永久磁石部の上記支点となった部分をピン支持部 材から離間させて、 磁気吸引力を消滅させる。 永久磁石部全体を内側空間内 においてピン支持部材から離間させ、 磁気吸引力を効果的に消滅させること ができる。 永久磁石部をそれの一端を支点にして傾動させるために必要なピ ン部材の引張力も、 支点となった一端をピン支持部材から離間させるために 必要な引張力も、 永久磁石部全体を一挙にピン支持部材から離間させるため に必要な引張力より小さくて済み、 結局比較的小さい引張力で支持ピンをピ ン支持部材から取り外すことができる。

( 2 9 ) 前記一対の第一係合部が、 前記ピン部材の前記内側空間内に位置す る部分に固定的に設けられ、 横断面形状が概して C字形を成し、 その C字の 開放部が下方を向いた C形部材の両端部によリ形成され、 前記一対の第二係 合部が、 前記永久磁石に一体的に設けられ、 側方へ突出した一対の突部によ リ形成され、 それら一対の突部と前記 C形部材の前記両端部との少なくとも 一方が、 前記ピン部材の軸方向における位置を互いに異にする（28)項に記載 の支持ピン。

( 3 0 ) 前記基台が下方に開放された溝を有して溝形を成し、 前記 C形部材 が前記溝内に、 前記両端部がその溝に平行に延びる姿勢で収容され、 ぞれら 基台と C字形部材とにより四方をほぼ囲まれた空間内に前記永久磁石部が相 対移動は自在であるが空間からの離脱は防止された状態で配設された (29)項 に記載の支持ピン。

基台および C形部材が永久磁石の離脱防止手段を構成し、 それらとは別に 離脱防止手段を設ける場合に比較して支持ピンを簡易にかつ安価に構成する ことができる。

( 3 1 ) 前記基台に前記ピン部材の基台側への移動限度を規定する移動限度 規定部が設けられた (20)項ないし (30)項のいずれかに記載の支持ピン。 永久磁石部の傾動により磁気吸引力が減少させられた状態から更にピン部 材に引張力が加えられるとき、 移動限度の規定によりピン部材が基台に係合 して基台をピン支持部材から離間させる。 本項の支持ピンは、 支持ピン把持 装置により自動でピン支持部材に取付け， 取外しされる支持ピンとして好適 である。

( 4 0 ) 一対のサイドフレームとそれらサイドフレームに支持された一対の コンペャベルトとを含み、 前記一対のサイドフレームの一方が固定フレーム 、 他方がその固定フレームに接近， 離間することによって搬送幅を変更する 可動フレームである基板コンペャにより搬送されるプリント基板を、 下方か ら支持する支持ピンを収納する支持ピン収納装置であって、

前記可動フレームに、 その可動フレームと共に移動可能に取り付けられた 支持ピン収納装置。

搬送幅は、 例えば、 プリント基板の種類が変わり、 幅が変わる場合に変更 される。 支持ピンのプリント基板支持位置は、 プリント基板の種類によって 異なるのが普通であり、 プリン卜基板の種類に応じて支持ピンが配置される 。 この際、 支持ピンが支持ピン収納装置に収納されたり、 支持ピン収納装置 から支持ピンが取り出され、 プリント基板の支持に用いられたりするのであ るが、 支持ピン収納装置が可動フレームと共に移動可能に取リ付けられてい れば、 支持ピン収納装置を、 プリント基板の種類を問わず、 常にプリント基 板近傍であって、 支持ピン配置領域近傍に位置させることができ、 支持ピン の収納， 取出しを迅速に行うことができる。

また、 本支持ピン収納装置が電子回路部品をプリン卜基板に取り付ける電 子回路部品装着システムに設けられる場合、 部品装着能率の低下を回避する ことができる。 例えば、 固定フレーム側に部品供給装置が設けられている場 合、 支持ピン収納装置を固定フレームに取り付ければ、 その分、 プリント基 板と部品供給装置の部品供給部との距離が長くなリ、 部品装着へッドの移動 に時間を要するのであるが、 可動フレームと共に移動可能に取り付けられれ ば、 部品装着ヘッドの移動距離が長くなることがなく、 装着能率の低下が回 避される。

( 4 1 ) 前記支持ピンを収納する収納部が複数、 前記可動フレームの長手方 向に平行に並べて配列された収納部列を少なくとも 1列備えた (40)項に記載 の支持ピン収納装置。

可動フレームの長手方向に平行な方向においては、 少なくとも可動フレー ムが設けられている領域内において収納部を設けることができ、 可動フレー ムの移動方向と平行な方向においてはコンパク卜でありながら、 収納数の多 い支持ピン収納装置を得ることができる。

( 4 2 ) 当該支持ピン収納装置に収納された支持ピンの、 前記可動フレーム の移動に伴って変化する前記基板コンペャの幅方向の位置を検出する支持ピ ン位置検出装置を含む (40)項または (41)項に記載の支持ピン収納装置。

支持ピンの位置検出は、 例えば、 支持ピン収納装置の可動フレームへの取 付け時に行ってもよく、 取付け後、 予め設定された条件の成立時に行なって もよい。 例えば、 設定時間の経過時、 設定枚数のプリント基板への電子回路 部品の装着終了時等に位置を検出し直すのである。

可動フレームが移動させられれば、 それに伴って支持ピン収納装置の基板 コンペャの幅方向の位置が変わるが、 支持ピン位置検出装置によって支持ピ ンの位置を検出することにより、 例えば、 支持ピンの支持ピン収納装置への 収納， 取出しを自動で行う場合、 支持ピン取付取外装置をピン収納装置に収 納された支持ピンゃ空のピン収納部へ精度良く移動させ、 支持ピンの損傷等 を生ずることなく、 収納， 取出しを行うことができる。

( 4 3 ) 前記支持ピン位置検出装置が、

当該支持ピン収納装置に収納された支持ピンまたはそれと共に移動する部 材の予め定められた部分である被撮像部を、 その被撮像部と対向する位置か ら撮像する撮像装置と、

その撮像装置を、 少なくとも前記基板コンペャの幅方向に移動させる撮像 装置移動装置と、

その撮像装置移動装置によって移動させられた前記撮像装置の位置と、 そ の位置において撮像された画像内における前記被撮像部の位置とに基づいて 、 前記支持ピンの位置を演算する位置演算装置と を含む (42)項に記載の支持ピン収納装置。

支持ピンと共に移動する部材には、 例えば、 支持ピン収納装置そのものや 、 可動フレームがある。 被撮像部は、 例えば、 支持ピンの先端面や支持ピン に設けられたマークや凹凸でもよく、 支持ピン収納装置や可動フレームに設 けられたマークや凹凸等、 撮像により他の部分と区別して認識可能な部分で もよい。 支持ピン収納装置の予め定められた部分を被撮像部とすれば、 支持 ピン収納装置に支持ピンが収納されていない状態においても被撮像部を撮像 し、 収納が予定されている支持ピンの位置を検出することができる。

( 4 4 ) 前記支持ピン位置検出装置が、

前記可動フレームを移動させるフレーム移動装置に設けられ、 可動フレー ムの位置に対応する信号を出力するエンコーダと、

そのエンコーダに接続され、 エンコーダの出力に基づいて、 その収納部に 収納された支持ピンの位置を演算する位置演算装置と

を含む (42)項または (43)項に記載の支持ピン収納装置。

可動フレームの位置は、 その移動に伴って自動的に得られ、 支持ピンの位 置が迅速に検出される。

( 4 5 ) 前記位置演算部が、 前記エンコーダの出力と、 予め設定されている 可動フレームと前記収納部との相対位置の情報とに基づいて前記支持ピンの 位置を演算するものである (44)項に記載の支持ピン収納装置。

( 4 6 ) 当該支持ピン収納装置が、 前記可動フレームの前記固定フレーム側 とは反対側の位置において可動フレームに取り付けられた（40)項ないし（45) 項のいずれかに記載の支持ピン収納装置。

本項の支持ピン収納装置においては、 支持ピン収納装置が基板搬送領域外 に設けられることとなり、 基板コンペャにより搬送されるプリント基板との 干渉回避を考慮することなく、 設けることができる。 支持ピン収納装置を可 動フレームの固定フレーム側の位置に取り付けてもよい。 しかし、 その場合 、 支持ピン収納装置は、 基板コンペャの基板搬送領域内に位置することとな リ、 例えば、 支持ピン収納装置を昇降可能に設け、 プリント基板や、 その裏 面に既に装着されている電子回路部品との干渉を回避させたり、 あるいは、 支持ピン収納装置を、 基板コンペャの基板搬送面と直角な方向においてそれ らプリン卜基板等と干渉しない位置に固定して設けるとともに、 支持ピン取 付取外装置を、 その支持ピン収納装置の収納部について収納， 取出しを行う ことができる作動ストロークを有するものとすることが必要となるのである が、 本項の支持ピン収納装置においてはそれらが不要である。

( 4 7 ) 前記収納部が、 前記支持ピンと嵌合して支持ピンを位置決めする位 置決め部を備えた (40)項ないし (46)項のいずれかに記載の支持ピン収納装置 例えば、 支持ピンがずれることがなく、 検出された支持ピンの位置を用い て支持ピンの収納， 取出しを正確に行うことができる。 また、 収納部と支持 ピンとの相対位置が一義的に決まり、 収納部の位置を検出することによリ支 持ピンの位置を検出することができる。

( 5 0 ) (1 )項ないし（17)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置と、

(20)項ないし (31 )項のいずれかに記載の支持ピンと、

その支持ピンを支持するピン支持部材と、

前記支持ピンを収納する支持ピン収納装置と、

前記支持ピン把持装置と前記ピン支持部材および支持ピン収納装置とを、 一平面内の任意の相対位置へ相対移動させるとともに、 前記一平面と直交す る一軸方向に相対移動させる相対移動装置と、

その相対移動装置を制御して、 前記支持ピンを前記支持ピン収納装置から 取り出して前記ピン支持部材上に取リ付け、 そのピン支持部材上から取り外 して支持ピン収納装置に収納する制御装置と

を含む自動段取替え可能な基板支持装置。

(1)項ないし（17)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置および (20)項ない し（31)項のいずれかに記載の支持ピンについて得られる効果を享受しつつ、 支持ピンを自動で段取り替えすることができる。

( 5 1 ) 前記相対移動装置が、 当該基板支持装置により支持されたプリント 基板の任意の個所に作業を行う作業へッドをプリン卜基板に対して相対移動 させる相対移動装置を兼ねる（50)項に記載の基板支持装置。

作業ヘッドには、 例えば、 プリント基板に電子回路部品を装着する部品装 着ヘッドや、 接着剤， クリーム状はんだ等の高粘性流体を塗布する高粘性流 体塗布へッドゃ、 プリント基板における電子回路部品の装着状態を検査する 装着状態検査へッドがある。

相対移動装置は、 作業へッドをプリント基板に対して相対移動させる相対 移動装置の全部を兼ねてもよく、 一部を兼ねてもよい。

本項によれば、 基板支持装置を簡易にかつ安価に構成することができる。

( 5 2 ) 前記作業へッドと前記支持ピン把持装置とが別個の保持装置に保持 される（51)項に記載の基板支持装置。

作業ヘッドと支持ピン把持装置とをそれぞれ保持装置に保持させて一緒に 相対移動装置に装着することができる。 それにより、 例えば、 作業終了後、 直ちに段取り替えを行うことができ、 あるいは段取替え終了後、 直ちに作業 を開始することができる。

( 5 3 ) 前記別個の保持装置を備え、 前記相対移動装置により相対移動させ られる保持部が複数準備され、 それら複数の保持部が前記相対移動装置に対 して択一的に装着される （52)項に記載の基板支持装置。

相対移動装置に装着される作業へッドが変われば、 作業へッドと共に支持 ピン把持装置も変えられ、 常に支持ピン把持装置が作業へッドと共に相対移 動装置に装着される。

なお、 支持ピン把持装置は相対移動装置に装着されたままとされ、 相対移 動装置に対して択一的に装着される複数の作業へッドに共通とされてもよい

( 5 4 ) 前記作業ヘッドと前記支持ピン把持装置とが、 共通の保持装置に択 一的に保持される（51)項に記載の基板支持装置。

支持ピンの段取り替え時には、 作業へッドが保持装置から取り外されると ともに相対移動装置から外され、 支持ピン把持装置が保持装置に保持される とともに相対移動装置に装着され、 作業ヘッドの作業時には、 支持ピン把持 装置に替えて作業へッドが相対移動装置に装着される。

相対移動装置は作業へッドと支持ピン把持装置とのいずれか一方のみを移 動させればよく、 移動部が軽く、 例えば、 移動時の加， 減速度を大きくする ことができる。

( 5 5 ) 前記共通の保持装置を備え、 前記相対移動装置により相対移動させ られる保持部が複数準備され、 それら複数の保持部が前記相対移動装置に対 して択一的に装着される （54)項に記載の基板支持装置。

( 5 6 ) 前記支持ピン収納装置が、 前記 (40)項ないし (47)項のいずれかに記 載の支持ピン収納装置である（50)項ないし (55)項のいずれかに記載の基板支 持装置。

前記 (40)項ないし (47)項のいずれかに記載の支持ピン収納装置の効果を享 受しつつ、 支持ピンを自動で段取替えすることができる。

図面の簡単な説明

[図 1 ]請求可能発明の実施例である支持ピン把持装置等を備えた装着モジユー ルが複数並べられた電子回路部品装着システムを示す斜視図である。

[図 2]上記複数の装着モジュールの一部を示す斜視図である。

[図 3]上記装着モジュールのノズル保持へッドおよびノズル保持へッド移動装 置を示す斜視図である。

[図 4]上記ノズル保持へッド移動装置を示す分解斜視図である。

[図 5]上記ノズル保持へッドをへッドカバーを取り除いて示す斜視図である。

[図 6]ノズルホルダ数を異にする 3種類のノズル保持へッドを示す斜視図であ る。

[図 7]上記装着モジュールの一つを概略的に示す平面図である。

[図 8]上記装着モジュールの基板搬送装置の可動レールおよびその周辺部を支 持ピンおよびピン支持台等と共に示す正面図である。

[図 9]上記可動レールおよび支持ピン収納装置を示す側面断面図である。

[図 10]上記可動レールおよび支持ピン収納装置を示す平面図である。 [図 1 1 ]上記支持ピンを示す正面図 （一部断面） である。

[図 12]上記支持ピンを示す側面図である。

[図 13]上記支持ピンを示す平面図である。

[図 14]上記支持ピン把持装置および支持ピン把持装置昇降装置を示す側面図 である。

[図 15]上記支持ピン把持装置および支持ピン把持装置昇降装置を示す正面図 である。

[図 16]上記支持ピン把持装置を示す正面断面図であって、 進退部材が非作用 位置に位置する状態を示す図である。

[図 17]上記支持ピン把持装置を示す正面断面図であって、 進退部材が後退端 位置に位置する状態を示す図である。

[図 18]上記支持ピン把持装置を示す正面断面図であって、 進退部材が作用位 置に位置する状態を示す図である。

[図 19]上記支持ピン把持装置を示す左側面断面図であって、 進退部材が非作 用位置に位置する状態を示す図である。

[図 20]上記支持ピンを示す右側面図であって、 進退部材が作用位置に位置す る状態を示す図である。

[図 21 ]上記支持ピン把持装置による支持ピンのピン支持台からの取外しを説 明する図である。

[図 22]上記進退部材に設けられた一対の案内部を示す図であり、 それら案内 部による一対の係合部の原位置から係止位置への案内を説明する図である。

[図 23]上記一対の案内部による一対の係合部の係止位置から原位置への案内 を説明する図である。

[図 24]上記装着モジュールを制御する制御装置を概略的に示すブロック図で のる。

[図 25]請求可能発明の別の実施例である支持ピン収納装置の支持ピン位置検 出装置を概略的に示す図である。

[図 26]請求可能発明の更に別の実施例である支持ピン把持装置を示す左側面 断面図である。

[図 27]請求可能発明の更に別の実施例である支持ピン把持装置を示す左側面 断面図である。

[図 28]請求可能発明の更に別の実施例である支持ピンの磁石保持部およびそ の周辺を示す正面断面図である。

符号の説明

[0013] 28 ：基板支持装置 40 ： ノズル保持へッド 42 ： ノズル保持へ ッド移動装置 50 : プリント基板 1 20 :ヘッド本体 250 : 支持ピン 252 :支持ピン把持装置 254 : ピン支持台 256 ：支持ピン収納装置 360 :把持装置本体 362 :把持爪群 3 64 ：進退部材 366 :切換装置 374 :圧縮コイルスプリング

386 :嵌合穴 394， 396 :把持爪 430 :運動変換機構

432 :係止装置 434， 436 :連結リンク 438 :案内装置 440 ：作用レバー 470 :被係止部材 472 :回動係止部材 476 :回動軸部 478， 480 :アーム部 482， 484 : 係合部 486， 488 :溝 490， 492 :案内部 650 ：制 御装置 720 :支持ピン把持装置 722 :進退部材 724 :突 部 728 :保持体 732 :係合部材 740 :支持ピン把持装置

742 :進退部材 744 :係合アーム 770 :支持ピン 発明を実施するための最良の形態

[0014] 以下、 請求可能発明のいくつかの実施例を図を参照しつつ詳しく説明する 。 なお、 請求可能発明は、 下記実施例の他、 上記 〔発明の態様〕 の項に記載 された態様を始めとして、 当業者の知識に基づいて種々の変更、 改良を施し た種々の態様で実施することができる。

[0015] 図 1に、 請求可能発明の一実施例としての配線板支持装置等を備え、 電子 回路部品装着作業を行う電子回路部品装着システム （以後、 装着システムと 略称する） を示す。 この装着システムは、 1つのシステムベース 1 0の上に 、 装着モジュール 1 2が複数台互いに近接して同じ向きに並べられることに よりモジュール列が構成されている。 これら複数台の装着モジュールの各々 においてプリント基板への電子回路部品 （以後、 回路部品と略称する） の装 着が分担して行われる。 装着モジュール 1 2の各々が電子回路部品装着機な のである。 以下、 装着モジュール 1 2の並ぶ方向を X軸方向と称し、 水平面 内において X軸方向に直角な方向を Y軸方向と称することとする。

[0016] 図 2に、 上記複数台の装着モジュール 1 2のうちの 1台の外装部品の一部 を取り除いた斜視図を示す。 装着モジュール 1 2の各々は、 モジュール本体 1 8， モジュール本体 1 8に設けられた部品供給装置 2 2， 基板搬送装置 2 4， 部品装着装置 2 6， 基板支持装置 2 8 (図 8参照） 等を有している。 部 品供給装置 2 2は、 モジュール本体 1 8の前方の部分に設けられ、 例えば、 フィーダ型部品供給装置により電子回路部品を供給し、 あるいはトレィ型部 品供給装置により電子回路部品を供給するようにされている。

[0017] 部品装着装置 2 6は、 図 3に示すように、 ノズル保持ヘッド 4 0およびノ ズル保持ヘッド移動装置 （以後、 ヘッド移動装置と略称する） 4 2を備えて いる。 ノズル保持ヘッド 4 0は部品保持具としての吸着ノズル 4 4 (図 5参 照） を保持し、 ヘッド移動装置 4 2により部品供給装置 2 2と基板搬送装置 2 4とにわたつて移動させられ、 部品供給装置 2 2から回路部品を取り出し 、 基板搬送装置 2 4により搬送されるとともに、 基板支持装置 2 8により支 持されたプリント基板 （以後、 基板と略称する） 5 0にその回路部品を装着 する。 ノズル保持へッド 4 0は部品装着へッドであり、 作業へッドの一種で める。

[0018] へッド移動装置 4 2は、 本実施例では、 X Yロボッ卜型の移動装置とされ ており、 モジュール本体 1 8に設けられ、 図 3および図 4に示すように、 ノ ズル保持ヘッド 4 0を、 互いに直交する 2方向 （X， Y軸方向） に移動させ る 2つの直線移動装置たる Yスラィド装置 6 0および Xスライド装置 6 2を 含んでいる。

[0019] Yスライド装置 6 0は、 駆動源としての Y軸モータ 6 6によって、 ねじ軸 の一種である Yポールねじ 6 8が回転させられることにより Yナット 7 0が 移動させられ、 移動部材としての Y軸スライド 7 2が Y軸方向に移動させら れる構成とされている。 Y軸モータ 6 6は、 本実施例においては、 例えば、 エンコーダ付サーポモータにより構成されている。 サーポモータは回転角度 の精度の良い制御が可能な電動モータである。 サーポモータに代えてステッ プモータを用いてもよい。

[0020] Xスライド装置 6 2は、 本実施例においては、 複段式移動装置すなわち 2 段式移動装置とされており、 第一 Xスライド装置 8 0と、 第二 Xスライド装 置 8 2との 2つのスライド装置を含んで構成されている。 これら第一， 第二 Xスライド装置 8 0， 8 2はそれぞれ、 Yスライド装置 6 0と同様に、 駆動 源としての X軸モータ 8 4， 8 6 , ねじ軸の一種である Xポールねじ 8 8， 9 0， ナット 9 2， 9 4および移動部材としての X軸スライド 9 6， 9 8を 含んで構成されている。 X軸モータ 8 4， 8 6は、 本実施例ではエンコーダ 付サーポモータにより構成されている。 第二 Xスライド装置 8 2の X軸スラ ィドである第二 X軸スライド 9 8にノズル保持へッド 4 0が保持され、 Y軸 モータ 6 6， X軸モータ 8 4， 8 6の回転を制御することにより、 ノズル保 持へッド 4 0は、 水平な一平面内の任意の位置へ移動させられる。

[0021 ] 本実施例においてノズル保持へッド 4 0は、 へッド移動装置 4 2に対して 着脱可能とされ、 互いに構成の異なる複数のものの中から選択して保持可能 とされる。 部品装着装置 2 6は、 ノズル保持ヘッド 4 0を種類の違うものに 交換することが可能とされているのである。 図 6に、 ヘッド移動装置 4 2が 保持可能なノズル保持へッド 4 0の例として、 3つのノズル保持へッド 4 0 a , 4 0 b , 4 0 cを示す。 ノズル保持ヘッド 4 0は、 図 5にノズル保持へ ッド 4 0 aを代表的に示すように、 へッド本体 1 2 0と、 へッド本体 1 2 0 の各所に配設された種々の構成部品， 構成装置と、 それら構成部品等を覆う ヘッドカバー 1 2 2 (図 3参照） とを含んで構成されている。 図 5は、 この へッドカバー 1 2 2を除いたものである。 へッド本体 1 2 0には、 ノズル保 持へッド 4 0 aを保持してへッド移動装置 4 2に取り付けられる保持体 1 2 6がー体に設けられ、 保持装置を構成している。 ノズル保持ヘッド 4 0 aは 、 保持体 1 2 6において第二 X軸スライド 9 8に対してヘッド位置決め装置

1 2 3により位置決めされ、 ヘッド取付装置 1 2 4 (図 3参照） により迅速 に取付け， 取外しし、 着脱することができる。

[0022] ノズル保持へッド 4 0 a， 4 0 b , 4 0 cはそれぞれ、 ノズルホルダ 1 3 0の数を異にし、 保持する吸着ノズル 4 4の数が互いに異ならされており、 基板 5 0の種類や装着される回路部品の種類等に応じて択一的にへッド移動 装置 4 2に保持される。 上記へッド位置決め装置 1 2 3， へッド取付装置 1

2 4およびノズル保持ヘッド 4 0 a， 4 0 b , 4 0 cは、 未だ公開されてい ないが、 本出願人による特願 2 0 0 2 - 3 3 7 7 3 9号の明細書に記載されて おり、 詳細な説明は省略する。

[0023] 前記第二 X軸スライド 9 8には、 その下部に、 基板 5 0の表面 （上面） に 付された基準マーク等を撮像するための装置であって、 撮像デバイスとして の C C Dカメラ 1 6 0および照明装置 1 6 2を含む認識装置の一種であるマ 一ク撮像装置 1 6 4が設けられている （図 3， 図 2 4参照） 。 マーク撮像装 置 1 6 4は、 ノズル保持へッド 4 0と共に、 へッド移動装置 4 2により水平 な一平面内の任意の位置へ移動させられる。

[0024] また、 各々の装着モジュール 1 2には、 図 2に示すようにモジュール本体

1 8に、 部品供給装置 2 2と基板搬送装置 2 4との間に撮像デバイスとして の C C Dカメラおよび照明装置を有する認識装置の一種である部品撮像装置

1 7 0が配備されており、 部品撮像装置 1 1 0は、 ノズル保持へッド 4 0に より保持された回路部品の姿勢等を撮像する。 このように各々の装着モジュ ール 1 2は、 部品供給装置 2 2， 部品搬送装置 2 4， 部品装着装置 2 6をそ れぞれ備えてモジュール化されたモジュール化装置であり、 システムベース

1 0から容易に分離可能な構造とされ、 各々を入れ替えて配置することも可 能となっている。

[0025] 基板搬送装置 2 4を説明する。 本システムにおいては、 基板 5 0は基板搬 送装置 2 4により、 装着モジュール 1 2が並ぶ方向である X軸方向に搬送さ れる。 X軸方向が基板搬送方向である。 基板搬送装置 2 4は、 本実施例では コンペャ装置であり、 図 7に概略的に示すように、 フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2の 2つのコンペャ部を有し、 ガイドレール 2

1 0およびガイドレール 2 1 2がフロントコンペャ部 2 0 0の本体を構成し 、 ガイドレール 2 1 4およびガイドレール 2 1 6がリヤコンべャ部 2 0 2の 本体を構成している。 ガイドレール 2 1 0， 2 1 2， 2 1 4， 2 1 6はサイ ドフレームの一例であるが、 基板 5 0および後述するコンペャベルトを案内 するガイド部を備えているため、 ガイドレールと称することとし、 以下、 単 にレールと略称する。

[0026] レール 2 1 0は、 システムベース 1 0の前方 （Y軸方向における部品供給 装置 2 2側） に固定して設けられた固定レールであり、 レール 2 1 2， 2 1 4， 2 1 6は、 システムベース 1 0に配設されたガイド 2 1 8 (図 8参照） に沿って Y軸方向に移動可能に設けられた可動レールである。 これらレール 2 1 2， 2 1 4， 2 1 6はそれぞれ、 図 8にレール 2 1 2を代表的に示すよ うに、 駆動源たるレール位置変更モータ 2 2 0 (図 2 4参照） ， ポールねじ 2 2 2およびナツ卜 2 2 4を含むレール移動装置 2 2 6により独立して移動 させられ、 フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2の搬送幅 がそれぞれ任意に変更可能とされている。 レール 2 1 4は可動レールである が、 リヤコンべャ部 2 0 2においてはレール 2 1 6がレール 2 1 4に対して 接近， 離間させられて搬送幅が調節される。 その意味では、 レール 2 1 4は 固定レールと考えることもできる。

[0027] レール 2 1 0 - 2 1 6にはそれぞれ、 レール 2 1 2について図 8に代表的 に示すように、 プーリ 2 3 0を始めとする複数のプーリが回転可能に設けら れるとともに、 環状のコンペャベルト 2 3 2が巻き掛けられており、 基板搬 送モータ 2 3 4 (図 2 4参照） を駆動源とするベルト駆動装置によってブー リ 2 3 0等が回転させられることによリコンべャベルト 2 3 2が周回させら れ、 その上面上に載置された基板 5 0がガイド部材 2 3 6によって案内され つつ、 X軸方向に搬送される。 コンペャベルト 2 3 2の上面を含む面が基板 搬送面 2 3 8である。 基板搬送モータ 2 3 4および前記レール位置変更モー タ 2 2 0は、 本実施例では、 電動モータであるエンコーダ付サーポモータに より構成されている。 レール 2 1 0 - 2 1 6のそれぞれにはまた、 図 8およ び図 9に示すように、 基板 5 0をコンペャベルト 2 3 2上から押し上げ、 押 さえ部 2 4 0に押し付けてクランプするクランプ部材ないし押上部材 2 4 2 が昇降可能に設けられ、 それら押さえ部 2 4 0および押上部材 2 4 2等が基 板クランプ装置を構成している。

[0028] 基板支持装置 2 8を説明する。 基板支持装置 2 8は、 図 8， 図 1 0および 図 1 4に示すように、 支持ピン 2 5 0， 支持ピン把持装置 2 5 2， ピン支持 部材としてのピン支持台 2 5 4， 支持ピン収納装置 2 5 6， 相対移動装置と しての支持ピン把持装置移動装置およびその移動装置を制御する制御装置を 備えている。 支持ピン 2 5 0， ピン支持台 2 5 4および支持ピン収納装置 2 5 6は、 フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2の各々につ いて設けられ、 それら以外は共用とされている。

[0029] 支持ピン 2 5 0およびピン支持台 2 5 4を説明する。 支持ピン 2 5 0は、 図 1 1ないし図 1 3に示すように、 永久磁石 2 7 0の磁力に基づいて基台 2 7 2がピン支持台 2 5 4に押し付けられ、 着脱可能に固定されるとともに、 基台 2 7 2により支持されたピン部材 2 7 4により基板 5 0を支持するもの とされている。 ピン支持台 2 5 4は、 図 8に概略的に示すように、 横断面形 状が矩形の板状を成し、 その上面により構成されるピン支持面 2 7 6上に支 持ピン 2 5 0が載置される。 そのため、 ピン支持台 2 5 4は、 少なくともピ ン支持面 2 7 6が鋼等、 磁性材料製とされている。

[0030] ピン支持台 2 5 4は、 ピン支持部材移動装置としての支持台昇降装置 2 8 0により、 図 8に二点鎖線で示すように、 支持ピン 2 5 0が基板 5 0を支持 する基板支持位置と、 図 8に実線で示すように、 支持ピン 2 5 0が基板搬送 面 2 3 8の下方へ退避させられた退避位置とに移動させられる。 支持台昇降 装置 2 8 0は、 本実施例においては流体圧ァクチユエータの一種であるエア シリンダを駆動源とする。 ピン支持台 2 5 4は、 前記フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2により搬送される複数種類の基板 5 0の支 持に用いられ、 搬送幅調節時には可動レール 2 1 2 , 2 1 6はピン支持台 2 5 4に対して Y軸方向に移動させられる。

[0031 ] 支持ピン 2 5 0の基台 2 7 2は、 本実施例においては、 アルミニウム合金 等の非磁性材料製とされ、 図 1 1および図 1 3に示すように、 横断面形状が 円形を成し、 下方に開放されるとともに、 支持ピン 2 5 0の軸線と直交する 方向に貫通する溝 2 8 8を有して溝形を成し、 内側に内側空間 2 9 0を有す る。 内側空間 2 9 0は、 底部が開放された凹部でもある。 基台 2 7 2の底面 である下面には、 その全面に底板 2 9 2が接着等、 適宜の固定手段によって 固定され、 内側空間 2 9 0の全部を覆っている。 底板 2 9 2は、 本実施例で は、 ステンレススチール等の非磁性材料製とされ、 その基台 2 7 2側の面で ある上面 2 9 3とは反対側の外面である下面にゴム板 2 9 4が接着等、 適宜 の固定手段により固定され、 基台 2 7 2の底面がゴム層により覆われている 。 ゴム板 2 9 4の底板 2 9 2とは反対側の面が、 支持ピン 2 5 0のピン支持 台 2 5 4により支持される被支持面を構成している。

[0032] ピン部材 2 7 4は、 図 1 1および図 1 2に示すように、 いずれも軸状を成 す第一部材 3 0 0および第二部材 3 0 2を含む。 第二部材 3 0 2は、 基台 2 7 2の溝 2 8 8の底を構成する天壁 3 1 4を軸方向に相対移動可能に嵌合さ れ、 基台 2 7 2により保持されており、 その下端部が内側空間 2 9 0内に位 置させられて基端部を構成するとともに、 C形部材 3 0 4が固定されている 。 C形部材 3 0 4は、 横断面形状が矩形を成す本体部 3 0 8と、 本体部 3 0 8の長手方向の両端部においてそれぞれ、 その幅方向の中央部から、 本体部 3 0 8の板面に直角に延び出させられるとともに、 延出端部が互いに接近す る向きに曲げられて本体部 3 0 8に平行とされた一対の板状の係合部 3 1 0 ， 3 1 2とを含み、 横断面形状が概して C字形を成す。 係合部 3 1 0， 3 1 2は、 ピン部材 2 7 4の軸方向において同じ位置に位置する。 C形部材 3 0 4は溝 2 8 8内に、 係合部 3 1 0 , 3 1 2が溝 2 8 8に平行に延びる姿勢で 収容され、 C字の開放部が下方を向いた状態でポルト等、 適宜の固定手段 3 1 6により着脱可能に第二部材 3 0 2に固定されており、 係合部 3 1 0， 3 1 2は本体部 3 0 8の両端部から下方へ突出させられている。 ピン部材 2 7 4の基台 2 7 2側への移動限度は、 天壁 3 1 4が C形部材 3 0 4に係合する ことにより規定され、 天壁 3 1 4が移動限度規定部を構成している。 第一， 第二部材 3 0 0， 3 0 2， C形部材 3 0 4は、 本実施例では、 アルミニウム 合金等の非磁性材料製とされている。

[0033] 第二部材 3 0 2の基台 2 7 2から外へ、 すなわち内側空間 2 9 0とは反対 側突出した突出部に前記第一部材 3 0 0が螺合等、 適宜の固定手段により着 脱可能かつ軸方向の位置調節可能に固定されている。 その突出部の先端は、 支持ピン 2 5 0の軸線と直交する一平面状を成し、 支持面 3 2 4を構成し、 基板 5 0を支持する。 第一部材 3 0 0の螺合量の調節により、 支持面 3 2 4 の軸方向ないし高さ方向の位置が調節可能である。 また、 第一部材 3 0 0の 軸方向の中間部には環状の溝 3 2 6が設けられ、 横断面形状が円形を成す被 把持部 3 2 8および環状の係合部 3 2 9が設けられている。

[0034] 前記永久磁石 2 7 0は、 本実施例においては、 図 1 3に示すように、 横断 面形状が円形を成し、 磁石保持部材 3 3 0により保持されている。 磁石保持 部材 3 3 0は、 その底面に開口する凹部 3 3 2を備えて容器状を成し、 凹部 3 3 2内に永久磁石 2 7 0が接着等、 適宜の固定手段により固定され、 永久 磁石 2 7 0と一体とされており、 永久磁石 2 7 0および磁石保持部材 3 3 0 が永久磁石部 3 3 4を構成している。 磁石保持部材 3 3 0は、 鋼等、 磁性材 料により作られている。 永久磁石 2 7 0は、 磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5から僅かに凹部 3 3 2内に引っ込んだ状態で固定されており、 それにより 、 永久磁石 2 7 0の保護および磁性材料製のピン支持台 2 5 4に生じさせら れる磁気吸引力の強化が図られている。

[0035] 磁石保持部材 3 3 0には、 図 1 1および図 1 3に示すように、 その側方へ 互いに逆向きに突出した一対の突部 3 3 6， 3 3 8が設けられている。 磁石 保持部材 3 3 0は、 図 1 1および図 1 2に示すように、 凹部 3 3 2の開口を 下向きにして、 突部 3 3 6， 3 3 8が係合部 3 1 0， 3 1 2内に位置させら れ、 C形部材 3 0 4の係合部 3 1 0 , 3 1 2の並び方向に平行な方向および 本体部 3 0 8に直角な方向においてそれぞれ、 C形部材 3 0 4との間に隙間 を有し、 係合部 3 1 0 , 3 1 2の並び方向と本体部 3 0 8との両方に直角な 方向において基台 2 7 2との間に僅かに隙間を有し、 前記基台 2 7 2と C形 部材 3 0 4とにより四方をほぼ囲まれた空間内に、 相対移動は自在であるが 、 その空間内からの離脱は防止された状態で配設されている。 突部 3 3 6， 3 3 8は、 図 1 1に示すように、 厚さが異ならされ、 それぞれ、 ピン部材 2 7 4の軸方向における位置を互いに異にする係合面 3 4 0， 3 4 2を有する 。 磁石保持部材 3 3 0全体が底板 2 9 2に当接した状態において、 突部 3 3 6のピン部材 2 7 4の軸線に直角な一平面であって、 下向きの面により構成 される係合面 3 4 0は、 突部 3 3 8の係合面 3 4 2より下方に位置し、 ピン 部材 2 7 4の軸方向における位置を異にするのである。 本実施例では、 係合 部 3 1 0， 3 1 2がー対の第一係合部を構成し、 突部 3 3 6， 3 3 8がー対 の第二係合部を構成し、 これらが力伝達装置を構成している。

[0036] 図 1 1に示すように、 支持ピン 2 5 0がピン支持台 2 5 4上に載置され、 ピン支持面 2 7 6により支持されて基板 5 0を支持する状態では、 基台 2 7 2がピン支持面 2 7 6上に載置されるとともに、 磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5全体が底板 2 9 2の上面 2 9 3に当接し、 永久磁石部 3 3 4がピン支 持台 2 5 4に最も接近した状態となる。 この状態では、 永久磁石部 3 3 4お よびピン支持台 2 5 4間に磁界が生じ、 永久磁石部 3 3 4がピン支持台 2 5 4に磁気的に吸引され、 その磁気吸引力に基づいて磁石保持部材 3 3 0が底 板 2 9 2を介して基台 2 7 2に、 その基台 2 7 2をピン支持台 2 5 4に押し 付ける力を加え、 支持ピン 2 5 0がピン支持台 2 5 4上に固定され、 支持さ れる。 本実施例では、 磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5と底板 2 9 2の上面 2 9 3とが力伝達部を構成している。 ピン部材 2 7 4は、 ピン支持台 2 5 4 に固定された基台 2 7 2により支持されるとともに、 C形部材 3 0 4および 磁石保持部材 3 3 0を介してピン支持台 2 5 4により下方から支持され、 基 板 5 0を支持する。

[0037] 支持ピン把持装置 2 5 2を説明する。 支持ピン把持装置 2 5 2は、 図 1 4 および図 1 5に示すように、 前記保持体 1 2 6により保持され、 ノズル保持 へッド 4 0と共に前記へッド移動装置 4 2の第二 X軸スライド 9 8に装着さ れ、 ヘッド移動装置 4 2により水平面内の任意の位置へ移動させられる。 保 持体 1 2 6の支持ピン把持装置 2 5 2を保持する部分が、 支持ピン把持装置 2 5 2を保持する保持装置を構成し、 本実施例においては、 ノズル保持へッ ド 4 0と支持ピン把持装置 2 5 2とが別個の保持装置により保持されるとと もに、 それら保持装置が一体に設けられ、 ノズル保持ヘッド 4 0， 支持ピン 把持装置 2 5 2および保持体 1 2 6が保持部を構成している。 支持ピン把持 装置 2 5 2は前記複数種類のノズル保持へッド 4 0の各々について設けられ 、 複数の保持部がへッド移動装置 4 2に択一的に装着される。

[0038] 支持ピン把持装置 2 5 2は、 図 1 6に示すように把持装置本体 3 6 0， 把 持爪群 3 6 2， 作動部材としての進退部材 3 6 4および切換装置 3 6 6を含 む。 把持装置本体 3 6 0は、 横断面形状が概して円形であって、 底部ないし 下方に開口させられた有底の中空筒状を成す。 進退部材 3 6 4は把持爪群保 持部 3 7 0と被係止部材部 3 7 2とを含む。 把持爪群保持部 3 7 0は横断面 形状が小判形を成し、 図 1 6および図 1 9に示すように、 把持装置本体 3 6 0内に同軸に、 かつその軸に沿って軸方向に進退可能であって昇降可能に嵌 合されている。

[0039] 被係止部材部 3 7 2は、 横断面形状が円形を成し、 把持爪群保持部 3 7 0 から同心にかつ上方へ延び出させられ、 把持装置本体 3 6 0と同軸であり、 進退部材 3 6 4は把持装置本体 3 6 0との間に設けられた付勢手段の一種で ある弾性部材としての圧縮コイルスプリング 3 7 4により把持装置本体 3 6 0から突出する向きに付勢されている。 スプリング 3 7 4の付勢による進退 部材 3 6 4の移動限度は、 図 1 9に示すように、 進退部材 3 6 4に設けられ 、 軸方向に延びる凹部 3 7 6の端面に、 把持装置本体 3 6 0に設けられた突 部 3 7 8が係合することにより規定され、 図 1 6に示すように、 把持爪群保 持部 3 7 0の大部分が把持装置本体 3 6 0から外方であって下方へ突出させ られた状態となる。 この位置が進退部材 3 6 4の非作用位置であり、 それぞ れ係合部を構成する凹部 3 7 6および突部 3 7 8が非作用位置規定装置， 非 作用位置係止装置ないし非作用位置維持装置を構成している。 進退部材 3 6 4は、 この非作用位置から作用位置に向かって進められる。 作用位置は、 図 1 8に示すように、 把持装置本体 3 6 0に対して相対的に、 非作用位置より 把持装置本体 3 6 0の内側であって上側に位置し、 把持爪群 3 6 2を閉状態 に保ち、 支持ピン 2 5 0を把持する状態に保つ位置であり、 スプリング 3 7 4は進退部材 3 6 4を作用位置から非作用位置に向かう向きに付勢している 。 進退部材 3 6 4の把持装置本体 3 6 0に対する進退は、 把持装置本体 3 6 0の内周面および把持装置本体 3 6 0に設けられた案内面 3 8 2を含む案内 装置により案内される。

[0040] 把持爪群保持部 3 7 0には、 その軸線上に、 下面に開口し、 軸方向に延び 、 底面 3 8 4を有する有底の嵌合穴 3 8 6が設けられている。 この嵌合穴 3 8 6は、 把持装置本体 3 6 0の軸線上に位置しており、 前記支持ピン 2 5 0 の先端部、 本実施例では第一部材 3 0 0の係合部 3 2 8より支持面 3 2 4側 の部分が嵌合され、 実質的に支持ピン 2 5 0の傾きを防止し、 把持装置本体 3 6 0と同軸に位置決めするように形成されている。

[0041 ] 把持爪群保持部 3 7 0にはまた、 図 1 6に示すように、 その被係止部材部

3 7 2から半径方向外向きに突出した 2箇所であって、 把持装置本体 3 6 0 および進退部材 3 6 4の軸線に対して軸対称となる部分にそれぞれ、 その外 面に開口する凹部 3 9 0， 3 9 2が軸方向に貫通して設けられ、 把持爪群 3 6 2の複数、 本実施例では 2つの支持ピン把持部材としてのピン把持爪 （以 後、 把持爪と略称する） 3 9 4， 3 9 6が回動可能に嵌合されている。 把持 爪 3 9 4， 3 9 6は長手形状を成し、 その長手方向の一端部である上端部に おいて把持爪群保持部 3 7 0に軸 3 9 8， 4 0 0により、 進退部材 3 6 4の 軸線と直角に立体交差する軸線であって、 互いに平行な軸線まわりに回動可 能に取り付けられ、 開閉可能であり、 把持装置本体 3 6 0の軸線に対して軸 対称に設けられている。

[0042] 把持爪 3 9 4， 3 9 6の他端部である下端部ないし自由端部はそれぞれ、 図 1 6および図 1 8に示すように、 互いに接近する向きに屈曲させられ、 把 持部たる爪部 4 1 0， 4 1 2が設けられている。 爪部 4 1 0， 4 1 2の互い に対向する面は、 部分円筒面状の把持面 4 1 3 , 4 1 4とされている。 把持 爪 3 9 4， 3 9 6の自由端部にはまた、 爪部 4 1 0， 4 1 2とは逆向きに突 出する突部 4 1 5， 4 1 6が設けられ、 遮蔽部として機能するようにされて いる。 突部 4 1 5， 4 1 6の用途は後に説明する。 また、 把持爪 3 9 4， 3 9 6の下端面は、 例えば、 黒染め処理が施され、 光を反射しないようにされ ている。 さらに、 把持爪 3 9 4， 3 9 6は、 その長手方向の中間部において 付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイルスプリング 4 1 8， 4 2 0により、 爪部 4 1 0， 4 1 2が把持部材保持部 3 7 0の軸線から離間し、 互いに離間する向きであって開方向に付勢されている。 スプリング 4 1 8， 4 2 0の付勢による把持爪 3 9 4， 3 9 6の回動限度は、 把持爪 3 9 4， 3 9 6が凹部 3 9 0， 3 9 2の底面に当接することにより規定される。

[0043] また、 把持爪 3 9 4， 3 9 6の互いに反対向きの面であって外面は、 把持 爪 3 9 4， 3 9 6の長手方向に延びる被作用面 4 2 2， 4 2 4とされている 。 これら被作用面 4 2 2， 4 2 4の回動軸線側の部分は、 回動軸線から離れ るほど （下方ほど） 外方 （把持装置本体 3 6 0の外周面側） へ向かう向きに 傾斜させられた傾斜面 4 2 6， 4 2 8とされている。

[0044] 前記切換装置 3 6 6は、 図 1 6に示すように、 運動変換機構 4 3 0および 係止装置 4 3 2を含む。 運動変換機構 4 3 0は、 一対の連結リンク （以後、 リンクと略称する） 4 3 4， 4 3 6 , 案内装置 4 3 8および可動作用部材と しての作用レバー 4 4 0を含む。 リンク 4 3 4， 4 3 6の各一端部はそれぞ れ、 把持爪 3 9 4， 3 9 6に軸 4 4 4， 4 4 6により、 把持爪 3 9 4， 3 9 6の回動軸線と平行な軸線まわリに相対回動可能に連結されるとともに、 他 端部同士が軸 4 4 8により、 一端部の回動軸線と平行な軸線まわリに互いに 相対回動可能に連結されている。

[0045] 図 1 9に示すように、 軸 4 4 8は把持爪群保持部 3 7 0から外へ突出させ られ、 把持装置本体 3 6 0に設けられた切欠 4 5 2に、 把持装置本体 3 6 0 の軸線に平行な方向であって、 進退部材 3 6 4の進退方向には移動可能であ るが、 その進退方向と直角な方向であって、 把持爪 3 9 4， 3 9 6の開閉方 向に平行な方向には移動不能に嵌合されている。 切欠 4 5 2は、 把持装置本 体 3 6 0の軸線を含む一平面内に設けられており、 軸 4 4 8はその平面内を 移動し、 リンク 4 3 6， 4 3 8は把持装置本体 3 6 0の軸線に対して軸対称 に構成されている。 したがって、 一対の把持爪 3 9 4， 3 9 6は一斉に、 か つ把持装置本体 3 6 0の軸線を対称軸として軸対称に回動させられ、 把持爪 群 3 6 2が軸対称に開閉させられるとともに、 一方の把持爪が回動させられ れば他方も連動して回動させられる。 本実施例では、 軸 4 4 8および切欠 4 5 2が案内装置 4 3 8を構成している。 また、 本実施例では、 把持装置本体

3 6 0に同軸上に嵌合され、 把持爪群 3 6 2を同軸に保持する進退部材 3 6 4は、 把持爪群 3 6 2の対称軸上に配設されるとともに、 その中央奥に設け られ、 把持爪群 3 6 2の対称軸に沿って進退する。 進退部材 3 6 4に設けら れた前記嵌合穴 3 8 4は把持爪群 3 6 2の対称軸上に位置し、 その底面 3 8 4は把持爪群 3 6 2の中央奥に位置する。

[0046] 前記作用レバー 4 4 0は長手形状を成し、 図 1 6に示すように、 把持装置 本体 3 6 0の一対の把持爪 3 9 4， 3 9 6のうちの一方、 例えば、 把持爪 3 9 4に対応する位置に、 軸 4 5 6により把持爪 3 9 4の回動軸線と平行な軸 線まわりに回動可能に設けられ、 把持爪 3 9 4の進退方向と交差する方向に 移動可能に設けられている。 作用レバー 4 4 0はその一端部である上端部に おいて回動可能に取リ付けられるとともに、 把持装置本体 3 6 0の外側に巻 き付けられた付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング

4 5 8により把持爪 3 9 6に接近する向きに付勢されている。 作用レバー 4 4 0の他端部である下端部にはローラ 4 6 0が回転可能に取り付けられ、 回 転係合部を構成している。

[0047] 上記スプリング 4 5 8の付勢による作用レバー 4 4 0の回動限度は、 把持 装置本体 3 6 0に設けられた規定面 4 6 2 (図 1 6参照） に作用レバー 4 4 0が当接することにより規定される。 この状態において作用レバー 4 4 0は 、 図 1 6に示すように、 作用開始位置に位置する。 作用開始位置は、 ローラ

4 6 0の一部が把持爪 3 9 4が嵌合された凹部 3 9 0内に嵌入させられると ともに、 図 1 7に示すように、 把持爪 3 9 4が支持ピン 2 5 0を把持した状 態における被作用面 4 2 2の位置より把持装置本体 3 6 0の軸線側 （把持爪 群 3 6 2の開閉軸線側） に位置する位置である。

[0048] 前記係止装置 4 3 2は、 図 1 6に示すように、 進退部材 3 6 4の被係止部 材部 3 7 2に設けられた被係止部材 4 7 0および把持装置本体 3 6 0に設け られた係止部材としての回動係止部材 4 7 2を含む。 本実施例においては、 被係止部材 4 7 0が進退部材 3 6 4と一体に設けられ、 進退部材 3 6 4に設 けられているのである。 被係止部材は作動部材とは別体に設け、 作動部材に 固定して一体的に作動するようにしてもよい。 回動係止部材 4 7 2は、 本実 施例では、 鋼線が曲げられることにより設けられ、 一体の回動軸部 4 7 6と 、 回動軸部 4 7 6からほぼ直角方向に延び出た一対のアーム部 4 7 8， 4 8 0と、 アーム部 4 7 8， 4 8 0の自由端部に互いに接近する向きに設けられ た一対の係合部 4 8 2， 4 8 4とを有し、 回動軸部 4 7 6において把持装置 本体 3 6 0により、 その軸線と直交する軸線まわリに回動可能に保持されて いる。 回動係止部材 4 7 2は弾性変形可能である。

[0049] 被係止部材部 3 7 2には、 回動軸部 4 7 6の回動軸線に平行な方向に隔た つた 2箇所にそれぞれ溝 4 8 6， 4 8 8が設けられており、 それにより、 図 2 2 (a)に示すように、 一対ずつの案内部 4 9 0， 4 9 2および被係止部 4 9 4， 4 9 6が設けられ、 溝 4 8 6， 4 8 8に嵌入させられた係合部 4 8 2， 4 8 4を案内し、 係止される。 溝 4 8 6は、 一対の溝側面の一方が案内面と して機能する部分と、 両方が案内面ないし拘束面として機能して係合部 4 8 2を自由状態にならないように拘束し、 移動経路を決めて案内する案内溝部 とを含み、 案内部 4 9 0は、 図 2 2 (a)に示すように、 一方の溝側面により構 成される第一， 第二， 第三， 第四， 第五案内面 5 0 0， 5 0 2， 5 0 4， 5 0 6 , 5 0 8， 第一案内溝部 5 1 2および第二案内面 5 0 2と第三案内面 5 0 4との間に設けられた被係止面 5 1 0を含む。 [0050] 溝 4 8 8も同様であり、 案内部 4 9 2は、 一方の溝側面により構成される 第六， 第七案内面 5 1 6， 5 1 8， 第二， 第三， 第四， 第五案内溝部 5 2 4 ， 5 2 6 , 5 2 7 , 5 2 8の各両溝側面および被係止面 5 3 0を含む。 被係 止面 5 1 0， 5 3 0はそれぞれ、 下向きに凹であって、 係合部 4 8 2， 4 8 4が係合可能な面とされており、 被係止部材 4 7 0の被係止面 5 1 0， 5 3 0が設けられた部分が被係止部 4 9 4， 4 9 6を構成し、 回動係止部材 4 7 2の係合部 4 8 2， 4 8 4が被係止面 5 1 0， 5 3 0に係合する位置が係止 位置である。

[0051 ] 支持ピン把持装置 2 5 2は、 図 1 4および図 1 5に示すように、 前記保持 体 1 2 6に設けられた支持ピン把持装置昇降装置 （以後、 昇降装置と略称す る） 5 4 0により昇降させられ、 ピン支持台 2 5 4に接近， 離間させられる 。 昇降装置 5 4 0は、 本実施例においてはエアシリンダ 5 4 2を駆動源とし て構成されており、 支持ピン把持装置 2 5 2はガイドロッド 5 4 4を含む案 内装置 5 4 6により案内されつつ、 予め設定された上昇端位置と下降端位置 とに移動させられる。 昇降装置 5 4 0は接近■離間装置であり、 前記ヘッド 移動装置 4 2と共に相対移動装置を構成しており、 相対移動装置は、 その一 部がノズル保持へッド 4 0を基板 5 0に対して相対移動させる相対移動装置 の一部を兼ねている。

[0052] 支持ピン収納装置 2 5 6を説明する。 支持ピン収納装置 2 5 6は、 本実施 例においては、 図 7に示すように、 可動レール 2 1 2， 2 1 6の外側、 すな わち固定レール 2 1 0側および可動レール 2 1 4側とは反対側の位置におい て、 可動レール 2 1 2 , 2 1 6に、 それと共に移動可能に取り付けられてい る。 可動レール 2 1 6についても、 固定レール 2 1 0側とは反対側に支持ピ ン収納装置 2 5 6が取り付けられていると考えてもよい。

[0053] 可動レール 2 1 2に取り付けられた支持ピン収納装置 2 5 6を代表的に説 明する。 支持ピン収納装置 2 5 6の収納体 6 0 0は、 図 1 0に示すように、 長手形状を成し、 可動レール 2 1 2に、 基板搬送方向 （図 1 0においては左 右方向） に平行な姿勢で着脱可能に固定されている。 収納体 6 0 0には、 図 1 0に示すように、 横断面形状が円形を成し、 上方に開口するピン収納穴 6

0 2が複数、 収納体 6 0 0ないし可動レール 1 2 2の長手方向に沿って距離 を隔てて、 例えば、 等間隔で 1列、 設けられている。 複数のピン収納穴 6 0 2はそれぞれ、 支持ピン 2 5 0の基台 2 7 2が嵌合されて半径方向において 位置決めする大きさを備え、 それぞれ支持ピン 2 5 0と嵌合して支持ピン 2 5 0を同心に位置決めする位置決め部を備えた収納部を構成している。 ピン 収納穴 6 0 2の開口端部には、 開口縁側ほど直径が増大するテーパ面が形成 され、 支持ピン 2 5 0の嵌合を案内する案内面 6 0 6が設けられ、 ピン案内 部を構成している。 収納体 6 0 0は、 本実施例では、 ピン収納穴 6 0 2の底 面 6 0 8を構成する部分が磁性材料によリ作られ、 それ以外の部分は非磁性 材料製とされている。 また、 収納体 6 0 0の上面の長手方向に隔たった両端 部にそれぞれ、 基準マーク 6 1 0 , 6 1 2が設けられている。

[0054] なお、 支持ピン収納装置 2 5 6は、 その下面が、 上昇端位置に位置する状 態でのピン支持台 2 5 4のピン支持面 2 7 6よりやや上に位置するように設 けられている。 そのため、 支持ピン収納装置 2 5 6は可動レール 2 1 2と共 に移動するが、 上昇端位置へ移動させられたピン支持台 2 5 4と干渉するこ とがない。 支持ピン 2 5 0は支持ピン収納装置 2 5 6に収納された状態では 、 図 9に示すように支持面 3 2 4が可動レール 2 1 2の上面とほぼ同じ高さ に位置させられ、 支持ピン収納装置 2 5 6とピン支持台 2 5 4との干渉を回 避しつつ、 支持ピン 2 5 0が可動レール上面から大きく突出して邪魔になる ことがないようにされている。 また、 ピン支持台 2 5 4に対する支持ピン 2 5 0の取付け， 取外し時と、 支持ピン収納装置 2 5 6に対する支持ピン 2 5 0の収納， 取出し時とにおいて、 昇降装置 5 4 0は同じ設定の昇降ストロー クで支持ピン把持装置 2 5 2を昇降させることができる。

[0055] 本システムにおいては複数の装着モジュール 1 2の各々に制御装置 6 5 0

(図 2 4参照） が設けられ、 基板 5 0の回路部品の装着作業等を制御する。 制御装置 6 5 0は C P U 6 5 2， R O M 6 5 4 , R A M 6 5 6およびそれら を接続するバス 6 5 8を含むコンピュータ 6 6 0を主体とする。 バス 6 5 8 には入出力インタフェース 6 6 2が接続されるとともに、 駆動回路 6 6 4を 介して基板搬送装置 2 4等の各種装置， 駆動源や、 部品撮像装置 1 7 0等に よつて得られた画像データを処理する画像処理ュニッ卜 6 7 0， 複数の作業 モジュール 1 2の全部を統括して制御するシステム制御装置 6 8 0， 他の作 業モジュール 1 2の制御装置 6 5 0等が接続されている。 R O M 6 5 4およ び R A M 6 5 6には、 部品装着プログラム， 支持ピン自動段取替えプロダラ ム等の種々のプログラムおよびデータ等が記憶されており、 制御装置 6 5 0 はそれらプログラムを実行し、 相対移動装置の制御による支持ピン 2 5 0の 自動段取替え等を行わせる。 制御装置 6 5 0のへッド移動装置 4 2等を制御 してピン支持台 2 5 4と支持ピン収納装置 2 5 6との間における支持ピン 2 5 0の取付け， 取外しおよび収納を行わせる部分が基板支持装置 2 8の制御 装置を構成している。

[0056] 次に作動を説明する。

基板 5 0への回路部品の装着時には、 基板 5 0は基板搬送装置 2 4により 搬送され、 予め設定された装着位置において停止させられる。 そして、 ピン 支持台 2 5 4が上昇させられ、 ピン支持台 2 5 4上に固定された支持ピン 2 5 0が基板 5 0の裏面に接触し、 下方から支持する。 この際、 ピン支持台 2 5 4は押上部材 2 4 2を押し上げて基板 5 0を保持させる。 支持ピン 2 5 0 は、 基板 5 0の裏面の予め設定された部分を支持するようにピン支持台 2 5 4上に配置されている。 例えば、 基板 5 0の一方の面に既に回路部品が装着 されている場合、 それらを避けて支持することが必要であり、 ピン支持台 2 5 4上の、 基板 5 0の種類に応じて予め設定された位置に支持ピン 2 5 0が 載置されているのである。 このように基板 5 0が保持されるとともに、 支持 ピン 2 5 0により支持された状態でノズル保持へッド 4 0がへッド移動装置

4 2により移動させられ、 部品供給装置 2 2から回路部品を受け取って基板

5 0に装着する。 部品装着作業はよく知られており、 説明を省略する。

[0057] 回路部品が装着される基板 5 0の種類が変わり、 段取替えが行われるとき

、 支持ピン 2 5 0のピン支持台 2 5 4に対する配置が自動で変更される。 以 下、 支持ピン 2 5 0の自動段取替えを説明する。

段取替えは、 例えば、 現にピン支持台 2 5 4に固定されている支持ピン 2 5 0の位置を、 次に回路部品が装着される基板 5 0の支持位置に合わせて変 更したり、 不要な支持ピン 2 5 0を支持ピン収納装置 2 5 6に戻したり、 支 持ピン収納装置 2 5 6から支持ピン 2 5 0を取り出してピン支持台 2 5 4に 取り付けたりすることによリ行われる。 基板 5 0の種類に応じてピン配置デ 一タが作成されてコンピュータに記憶されており、 相前後して回路部品が装 着される 2種類の基板 5 0の各々について作成されたピン配置データに基づ いて段取替えが行われる。 ここでは、 支持ピン 2 5 0のピン支持台 2 5 4か らの取外しおよび支持ピン収納装置 2 5 6への収納を説明する。

[0058] 支持ピン 2 5 0のピン支持台 2 5 4からの取外し時には、 支持ピン把持装 置 2 5 2がへッド移動装置 4 2によりピン配置データに従って移動させられ 、 ピン支持台 2 5 4上に固定された支持ピン 2 5 0の上方へ移動させられる 。 支持ピン把持装置 2 5 2においては、 図 1 6および図 1 9に示すように、 進退部材 3 6 4が非作用位置にあり、 回動係止部材 4 7 2は原位置に位置し 、 把持爪群 3 6 2が開状態にあり、 把持爪 3 9 4， 3 9 6は開き、 作用レバ 一 4 4 0は作用開始位置に位置する。 また、 ピン支持台 2 5 4は上昇端位置 へ上昇させられている。 支持ピン把持装置 2 5 2は、 把持装置本体 3 6 0の 軸線が支持ピン 2 5 0の軸線と一致する位置へ移動させられるとともに、 昇 降装置 5 4 0により上昇端位置から下降端位置へ下降させられる。 なお、 図 1 6 図 1 9， 図 2 1においては、 支持ピン 2 5 0の永久磁石部 3 3 4の状 態を示すために、 支持ピン 2 5 0を、 その軸線に直角な方向において同じ方 向から見た状態が図示されている。

[0059] 支持ピン把持装置 2 5 2の下降に伴って、 支持ピン 2 5 0のピン部材 2 7 4の先端部が嵌合穴 3 8 6に嵌合され、 把持爪群 3 6 2の中央奥に進入し、 図 1 6に示すように、 支持面 3 2 4が嵌合穴 3 8 6の底面 3 8 4に当接する 。 その状態から更に支持ピン把持装置 2 5 2が下降させられるのであるが、 進退部材 3 6 4は支持ピン 2 5 0に当接し、 下降を阻止されるため、 把持装 置本体 3 6 0のみがスプリング 3 7 4を圧縮しつつ下降させられる。 進退部 材 3 6 4が支持ピン 2 5 0の先端部により押され、 把持装置本体 3 6 0に対 して相対的に上昇させられるのに等しく、 非作用位置から作用位置に向かつ て進められる。 本実施例では、 底面 3 8 4が被作動面ないし被係合面を構成 し、 進退部材 3 6 4の底面 3 8 4が設けられた部分が被作動部ないし被係合 部を構成している。 進退部材 3 6 4と共に把持爪群 3 6 2が把持装置本体 3 6 0に対して上昇し、 作用レバー 4 4 0のローラ 4 6 0が把持爪 3 9 4の被 作用面 4 2 2に係合し、 把持爪 3 9 4をスプリング 4 1 8の付勢力に抗して 閉方向に回動させる。 それによリ把持爪 3 9 6も対称に閉方向に回動させら れ、 爪部 4 1 5 , 4 1 6が支持ピン 2 5 0の溝 3 2 6に嵌入する。

作用レバー 4 4 0は、 作用開始位置において、 ローラ 4 6 0の一部が把持 爪 3 9 4が嵌合された凹部 3 9 0内に嵌入させられるとともに、 図 1 7に示 すように、 把持爪 3 9 4が支持ピン 2 5 0を把持した状態における被作用面

4 2 2の位置より、 把持爪 3 9 4の開閉軸線側に位置するが、 把持爪 3 9 4 と作用レバー 4 4 0とは傾斜面 4 2 6 , ローラ 4 6 0により案内されてスム 一ズに係合し、 作用レバー 4 4 0は把持爪 3 9 4を確実に閉方向に回動させ るとともに、 支持ピン 2 5 0を確実に把持させる。 支持ピン把持装置 2 5 2 の下降の途中において把持爪 3 9 4， 3 9 6は把持面 4 1 3， 4 1 4が被把 持部 3 2 8に係合し、 支持ピン 2 5 0を把持する。 支持ピン把持装置 2 5 2 は把持爪 3 9 4 , 3 9 6が支持ピン 2 5 0を把持した状態から更に下降させ られ、 下降端位置に到達するが、 この間、 作用レバー 4 4 0はスプリング 4

5 8の付勢力に抗して把持爪 3 9 4， 3 9 6の対称軸から離れる方向に回動 し、 把持爪 3 9 4 , 3 9 6が被把持部 3 2 8に接触した状態から更に閉方向 に回動させられて支持ピン 2 5 0， 把持爪 3 9 4， 3 9 6 , 作用レバー 4 4 0， ローラ 4 6 0等を破損することを回避しつつ、 把持爪 3 9 4， 3 9 6に 支持ピン 2 5 0を確実に把持させる。 支持ピン把持装置 2 5 2が下降端位置 まで下降させられた状態では、 把持爪 3 9 4， 3 9 6は閉状態に切り換えら れ （図 1 7参照） 、 把持面 4 1 3， 4 1 4が被把持部 3 2 8に係合し、 支持 ピン 2 5 0を把持する。 また、 進退部材 3 6 4は、 把持装置本体 3 6 0に対 して作用位置より上方の後退端位置である作用位置近傍位置に位置する。

[0061 ] このように把持装置本体 3 6 0が下降させられ、 進退部材 3 6 4が非作用 位置から作用位置へ移動するのに並行して、 係止装置 4 3 2の回動係止部材 4 7 2が原位置から係止位置に向かって移動させられる。 把持装置本体 3 6 0が上昇端位置に位置する状態では、 回動係止部材 4 7 2は、 図 2 2 (a)に示 すように、 係合部 4 8 2， 4 8 4が溝 4 8 6， 4 8 8の上端部内に位置し、 係合部 4 8 4が第二案内溝部 5 2 4の上端部に嵌入している。 この位置が回 動係止部材 4 7 2の原位置であり、 進退部材 3 6 4の作用位置への移動に伴 つて、 図 2 2 (b)に示すように、 係合部 4 8 4が第二案内溝部 5 2 4により案 内されて、 回動係止部材 4 7 2が進退部材 3 6 4に対して、 その軸線に平行 な方向に相対移動する。 そして、 まず、 係合部 4 8 2が第一案内面 5 0 0に 当接し、 それに案内されて、 回動係止部材 4 7 2は、 進退部材 3 6 4の進退 方向においては被係止面 5 1 0へ導かれつつ、 その進退方向と直角な方向に おいては被係止面 5 1 0から離れる方向に回動させられる。 回動係止部材 4 7 2の回動軌跡を二点鎖線で示す。

[0062] それにより他方の係合部 4 8 4は第六案内面 5 1 6に係合し、 それに沿つ て移動する。 第六案内面 5 1 6の、 回動係止部材 4 7 2の回動軸線からの距 離は、 第一案内面 5 0 0のその回動軸線からの距離とほぼ同じであるが、 第 一案内面 5 0 0とは逆の側から係合部 4 8 4に接触するため、 係合部 4 8 4 の方が係合部 4 8 2より回動角度が小さく、 回動係止部材 4 7 2が弾性変形 させられ、 アーム部 4 7 8がアーム部 4 8 0に対して図 2 2 (b)において時計 方向に相対回動する向きにねじられる。 便宜上、 このねじり方向を正方向と する。 ねじりがない場合の係合部 4 8 4の位置を図 2 2 (C)に二点鎖線の円の みで示す。 そして、 係合部 4 8 4は、 図 2 2 (C)に示すように、 係合部 4 8 2 が第一案内面 5 0 0に案内されている状態において第三案内溝部 5 2 6に嵌 入し、 第三案内溝部 5 2 6に案内され、 回動を規制されつつ被係止部材 4 7 0に対して相対移動させられる。 そのため、 係合部 4 8 2は第一案内面 5 0 0の端まで移動したとき、 回動係止部材 4 7 2の弾性復元力により逆方向に 回動させられて第四案内面 5 0 6に係合し、 第二案内面 5 0 2の真下に位置 させられる。 支持ピン把持装置 2 5 2が下降端位置へ下降させられた状態で は、 図 2 2 (C)に示すように、 係合部 4 8 2は第四案内面 5 0 6に係合し、 係 合部 4 8 4は第三案内溝部 5 2 6の下部に嵌入した状態となる。 なお、 案内 部 4 9 0， 4 9 2は互いに背中合わせに設けられているが、 図 2 2， 図 2 3 では、 それらが並んだ状態で図示されており、 回動係止部材 4 7 2の回動方 向は逆向きに図示される。

支持ピン把持装置 2 5 2は、 把持装置本体 3 6 0が下降端位置へ下降させ られた後、 上昇端位置に向かって上昇させられる。 この際、 進退部材 3 6 4 はスプリング 3 7 4の付勢によリ支持ピン 2 5 0の先端部と係合する状態に 保たれ、 スプリング 3 7 4が伸長しつつ、 把持装置本体 3 6 0が進退部材 3 6 4に対して上昇し、 図 2 2 (d)に示すように、 回動係止部材 4 7 2が上昇さ せられ、 一対の係合部 4 8 2， 4 8 4がそれぞれ、 第四案内面 5 0 6および 第三案内溝部 5 2 6により案内されて被係止面 5 1 0， 5 3 0側へ移動させ られる。 そして、 係合部 4 8 2が第二案内面 5 0 2に係合し、 案内され、 や がて図 2 2 (e)に示すように、 被係止面 5 1 0に係合する。 この際、 係合部 4 8 2は、 係合部 4 8 4が第三案内溝部 5 2 6内に嵌入している状態において 第二案内面 5 0 2に係合する。 そのため、 係合後は回動係止部材 4 7 2が弾 性変形させられて逆方向にねじられ、 係合部 4 8 4が第三案内溝部 5 2 6か ら抜け出したとき、 回動係止部材 4 7 2の弾性復元力によって被係止面 5 3 0側へ移動させられて被係止面 5 3 0のほぼ真下に位置する。 この時期には 、 係合部 4 8 2も被係止面 5 1 0のほぼ真下に位置している。 したがって、 その状態から支持ピン把持装置 2 5 2がさらに上昇させられ、 進退部材 3 6 4が相対的に下降させられれば、 係合部 4 8 2， 4 8 4それぞれ被係止面 5 1 0， 5 3 0に係合する。 すなわち、 進退部材 3 6 4が回動係止部材 4 7 2 を介して把持装置本体 3 6 0に係止され、 図 1 8に示すように作用位置に保 持され、 把持爪群 3 6 2は作用レバー 4 4 0が把持爪 3 9 4に係合し、 閉状 態に保たれて支持ピン 2 5 0を把持し続ける。

支持ピン把持装置 2 5 2は、 この状態から更に上昇させられるが、 進退部 材 3 6 4が把持装置本体 3 6 0と共に上昇させられ、 把持爪群 3 6 2および 支持ピン 2 5 0が上昇させられる。 把持爪 3 9 4 , 3 9 6は、 爪部 4 1 0， 4 1 2が環状の係合部 3 2 9に係合してピン部材 2 7 4に引張力を加え、 基 台 2 7 2に対して上昇させる。 その上昇途中に、 まず、 C形部材 3 0 4の係 合部 3 1 0が突部 3 3 6に係合する。 そのため、 図 2 1 (a)に示すように、 磁 石保持部材 3 3 0が、 底面 3 3 5の突部 3 3 8側の部分と底板 2 9 2との当 接部を中心とし、 磁気吸引力に杭して傾けられ、 ピン支持台 2 5 4に対して 斜めに離間させられて磁気吸引力が減少させられる。 ピン部材 2 7 4に加え られる引張力が永久磁石部 3 3 4に、 永久磁石部 3 3 4を傾動させる力とし て伝達されるのである。 この際、 永久磁石部 3 3 4の中央に集中的に作用す ると考えることができる磁気吸引力の合力に、 係合部 3 1 0が突部 3 3 6に 加える力と、 底板 2 9 2が磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5の突部 3 3 8側 の部分に加える力とで対抗すればよいのであり、 しかも、 磁気吸引力の合力 から、 係合部 3 1 0と突部 3 3 8との接触点までの水平距離 （底板 2 9 2に 平行な方向の距離） が、 底面 3 3 5の突部 3 3 8側の部分と底板 2 9 2との 接触点までの水平距離の 2倍弱であるため、 係合部 3 1 0が突部 3 3 6に加 えるべき力は、 磁気吸引力の 1 Z 3強でよいこととなる。 磁石保持部材 3 3 0の傾動に要する力は、 磁石保持部材 3 3 0全体をピン支持台 2 5 4に対し て直角に離間させる場合に要する力 （磁気吸引力の合力に等しい） に比較し て小さくて済むのであり、 ピン部材 2 7 4が更に上昇させられることにより 係合部 3 1 2が突部 3 3 8に係合し、 永久磁石部 3 3 4全体がピン支持台 2 5 4から離間させられれば、 磁気吸引力が消滅させられる。 永久磁石部 3 3 4がピン支持台 2 5 4に最も接近して基台 2 7 2に磁気吸引力を加える状態 において、 係合面 3 4 0は係合面 3 4 2より下側に位置し、 係合面 3 4 0の 方が係合面 3 4 2より係合部 3 1 0に近く、 初めに係合し、 次に係合面 3 4 2が係合部 3 1 2に係合し、 係合部 3 1 0， 3 1 2と突部 3 3 6， 3 3 8と が、 ピン部材 2 7 4の軸方向において互いに異なる 2つの位置において、 時 期をずらして係合し、 永久磁石部 3 3 4を傾動させる。 ピン部材 2 7 4が更 に上昇させられれば、 図 2 1 (b)に示すように C形部材 3 0 4が基台 2 7 2の 天壁 3 1 4に係合し、 基台 2 7 2がピン支持台 2 5 4から持ち上げられ、 支 持ピン 2 5 0全体がピン支持台 2 5 4から簡単に持ち上げられる。

[0065] 互いに対称に開閉する把持爪 3 9 4， 3 9 6は、 嵌合穴 3 8 2に嵌合され た支持ピン 2 5 0に接触して把持するが、 それらは軸対称に開閉させられる とともに、 把持面 4 1 3 , 4 1 4の長さ、 すなわち支持ピン 2 5 0を把持し た際にその軸線に沿った状態となる方向の長さが短く、 支持ピン 2 5 0の相 対的な傾きを許容する状態で係合し、 嵌合穴 3 8 6による支持ピン 2 5 0の 心出しを妨げることはなく、 支持ピン 2 5 0はその軸線が鉛直となる姿勢で 搬送される。

[0066] 支持ピン把持装置 2 5 2は、 上昇端位置へ移動させられるとともに、 へッ ド移動装置 4 2により可動レール 2 1 2あるいは 2 1 6を越えて支持ピン収 納装置 2 5 6へ移動させられ、 支持ピン 2 5 0を図 2 1 (b)に示す状態で搬送 する。 支持ピン把持装置 2 5 2は支持ピン収納装置 2 5 6の複数のピン収納 穴 6 0 2のうち、 空いているピン収納穴 6 0 2の上方へ移動させられた後、 下降させられて支持ピン 2 5 0を収納する。 なお、 支持ピン収納装置 2 5 6 に対する支持ピン 2 5 0の収納， 取出しに先立って基準マーク 6 1 0， 6 1 2がマーク撮像装置 1 6 4により撮像され、 ピン収納穴 6 0 2に収納された 支持ピン 2 5 0の基板搬送装置 2 4の幅方向の位置が検出されている。

[0067] 支持ピン収納装置 2 5 6は可動レール 2 1 2， 2 1 6と共に移動し、 可動 レール 2 1 2， 2 1 6の移動に伴って、 基板搬送装置 2 4の幅方向における 位置が変化し、 収納された支持ピン 2 5 0の位置が変化する。 そのため、 支 持ピン 2 5 0の位置は、 可動レール 2 1 2， 2 1 6が移動させられて搬送幅 が変更され、 支持ピン収納装置 2 5 6の位置が変わったとき検出される。 可 動レール 2 1 2， 2 1 6の Y軸方向の位置は、 基板 5 0の種類に応じて予め 設定されており、 マーク撮像時には、 可動レール 2 1 2 , 2 1 6の位置に基 づいて、 基準マーク 61 0， 61 2が位置することが予定されている位置へ マーク撮像装置 1 64が移動させられて基準マーク 61 0, 61 2を真上か ら、 すなわち基準マーク 61 0, 61 2と対向する位置から撮像する。 マー ク撮像装置 1 64は第二 X軸スライド 98に搭載されており、 ヘッド移動装 置 42により移動させられる。

[0068] そして、 マーク撮像装置 1 64の位置と、 その位置において撮像された画 像内における基準マーク 61 0， 61 2の位置とに基づいて、 基準マーク 6 1 0, 61 2の実際の位置が取得され、 それら位置と、 支持ピン収納装置 2

56の複数のピン収納穴 602と基準マーク 61 0， 61 2との相対位置情 報とに基づいて、 ピン収納穴 602の各中心位置が演算され、 支持ピン 25 0の各位置が取得される。 本実施例では、 支持ピン 250はピン収納穴 60 2に嵌合されて同心に位置決めされるようにされており、 ピン収納穴 602 の位置の検出により支持ピン 250の位置が検出される。 これら位置は、 複 数のピン収納穴 602の各々を特定するデータと対応付けてコンピュータ 6

60の RAM656に記憶される。 本実施例では、 マーク撮像装置 1 64が 支持ピン収納装置 256の被撮像部たる基準マーク 61 0, 61 2を撮像装 置を兼ね、 へッド移動装置 42が撮像装置移動装置を兼ね、 制御装置 650 の支持ピンの位置を検出する部分により構成される位置演算装置と共に支持 ピン位置検出装置を構成している。 支持ピン 250をピン収納穴 602に戻 す際には、 そのピン収納穴 602に対応付けて記憶された位置が読み出され 、 支持ピン把持装置 252が正確にピン収納穴 602上へ移動させられ、 支 持ピン 250を正確にピン収納穴 602に収納する。

[0069] 支持ピン把持装置 252の下降により、 基台 272が案内面 606により 案内されつつピン収納穴 602に嵌合されて位置決めされるとともに、 底面 608に到達して着座させられる。 支持ピン把持装置 252の更なる下降に より、 ピン部材 274が基台 272に対して下降し、 磁石保持部材 330の 底面 335全体が底板 292に当接させられるとともに、 ピン収納穴 602 の磁性材料製の底面 608により磁気的に吸引され、 その磁気吸引力に基づ いて基台 2 7 2を底面 6 0 8に押し付け、 固定する。 底面 6 0 8および永久 磁石部 3 3 4が支持ピン固定装置を構成し、 支持ピン 2 5 0はピン収納穴 6 0 2に位置決めされた状態で固定される。 支持ピン把持装置 2 5 2は、 この 状態から更に下降させられるが、 進退部材 3 6 4は、 ピン収納穴 6 0 2に固 定された支持ピン 2 5 0により下降を阻止され、 把持装置本体 3 6 0がスプ リング 3 7 4を圧縮しつつ進退部材 3 6 4に対して下降する。 進退部材 3 6 4が支持ピン 2 5 0の先端部により押され、 把持装置本体 3 6 0に対して相 対的に上昇させられて非作用位置から作用位置に向かう向きに移動させられ 、 後退端位置へ移動させられるのである。

それにより、 係止装置 4 3 2においては、 図 2 3 (a)に示す状態から、 図 2 3 (b)に示すように、 回動係止部材 4 7 2の係合部 4 8 2， 4 8 4が被係止面 5 1 0， 5 3 0から離間させられ、 係止が解除される。 この際、 回動係止部 材 4 7 2は鉛直の姿勢を保って案内部 4 9 0， 4 9 2に対して相対的に下降 する。 やがて、 図 2 3 (b)に示すように、 係合部 4 8 4が第七案内面 5 1 8に 係合し、 それ以後は図において左方へ移動させられるのに対し、 係合部 4 8 2の右方への移動は第三案内面 5 0 4により阻止されるため、 回動係止部材 4 7 2が逆方向にねじられる。 係合部 4 8 4は、 第七案内面 5 1 8の案内に より、 図 2 3 (b)に二点鎖線の円のみで示す位置より左方に位置させられるの である。 係合部 4 8 4が第四案内溝部 5 2 7に嵌入した後、 図 2 3 (C)に示す ように、 係合部 4 8 2全体が第三案内面 5 0 4から外れ、 回動係止部材 4 7 2の弾性復元力により図において右方へ移動させられ、 第一案内溝部 5 1 2 の真下へ移動する。 したがって、 支持ピン把持装置 2 5 2が下降端位置へ下 降させられた後、 上昇を開始すれば、 係合部 4 8 2が第一案内溝部 5 1 2に 嵌入する。 支持ピン把持装置 2 5 2が上昇させられるときには、 係合部 4 8 2， 4 8 4と被係止面 5 1 0， 5 3 0との係止が解除されるとともに、 進退 部材 3 6 4はスプリング 3 7 4の付勢により支持ピン 2 5 0に押し付けられ ており、 把持装置本体 3 6 0のみが上昇させられる。 換言すれば、 回動係止 部材 4 7 2が被係止部材 4 7 0に対して相対的に上昇するのであり、 第一， 第五案内溝部 5 1 2 , 5 2 8および第五案内面 5 0 8に案内される図 2 3 (d) に示す状態を経て、 図 2 3 (e)に示す原位置へ復帰する。

[0071 ] 係合部 4 8 2が第一案内溝部 5 1 2および第五案内面 5 0 8により案内さ れ、 係合部 4 8 4が第五案内溝部 5 2 8により案内されるとき、 アーム部 4 7 8， 4 8 0は互いに逆向きにねじられる。 ねじりがない場合の係合部 4 8 2， 4 8 4の位置を図 2 3 (d)に二点鎖線の円で示すように、 第一， 第五案内 溝部 5 1 2， 5 2 8および第五案内面 5 0 8により案内されない場合より、 係合部 4 8 2は回動角度が大きく、 係合部 4 8 4は回動角度が小さく、 ァー ム部 4 7 8， 4 8 0が互いに逆向きにねじられるのである。 そして、 係合部 4 8 2は第五案内面 5 0 8から外れれば、 回動係止部材 4 7 2の弾性復元力 により、 回動係止部材 4 7 2の回動軸線側へ回動させられ、 係合部 4 8 4も 第二案内溝部 5 2 4に進入する位置へ回動させられ、 回動係止部材 4 7 2が 原位置へ復帰する。

[0072] 回動係止部材 4 7 2の原位置への移動と並行して進退部材 3 6 4が把持装 置本体 3 6 0に対して相対的に下降して非作用位置へ移動し、 図 1 6に示す ように把持爪群保持部 3 7 0が把持装置本体 3 6 0から離脱させられ、 把持 爪 3 9 4， 3 9 6がスプリング 4 1 8， 4 2 0の付勢により開方向へ回動さ せられ、 支持ピン 2 5 0を開放する。 そのため支持ピン把持装置 2 5 2は、 回動係止部材 4 7 2が原位置に到達し、 進退部材 3 6 4が非作用位置へ復帰 した後、 更に上昇させられるが、 その際、 突部 3 7 8と凹部 3 7 6の端面と の係合により進退部材 3 6 4が把持装置本体 3 6 0と共に上昇させられ、 支 持ピン 2 5 0が嵌合穴 3 8 6から抜け出させられ、 支持ピン収納装置 2 5 6 に収納された状態に保たれる。

[0073] このように被係止部材 4 7 0は一対の案内部 4 9 0， 4 9 2を有している が、 これら案内部 4 9 0， 4 9 2は、 進退部材 3 6 4と把持装置本体 3 7 0 との軸方向の相対移動に伴って、 原則として係合部 4 8 2， 4 8 4の少なく とも一方を拘束し、 回動係止部材 4 7 2が自由に回動する状態になることが ないように設けられている。 一方の係合部が自由な状態になる場合、 それに 先立って他方の係合部が案内溝部によリ拘束されて、 一方の係合部の移動方 向が決まるようにされ、 両方の係合部が共に案内溝部内に位置するようにさ れ、 係合部 4 8 2， 4 8 4が、 回動係止部材 4 7 2の回動方向において互い に逆の方向から案内面に係合して、 移動方向が決まるようにされているので ある。 このように一対の案内部 4 9 0， 4 9 2が互いに共同することにより 、 進退部材 3 6 4の 2回の進退に伴って、 係合部 4 8 2， 4 8 4が被係止部 を含んで予め設定された周回運動を行わされるのであり、 逆の作動である被 係止面 5 1 0， 5 3 0との係合と、 その係合の解除とが容易に行われ、 進退 部材 3 6 4が 2回、 非作用位置から作用位置に向かって押されることにより 、 支持ピン 2 5 0の把持， 把持状態の維持および開放が容易に行われる。

[0074] また、 支持ピン把持装置 2 5 2が把持した支持ピン 2 5 0をピン支持台 2 5 4や支持ピン収納装置 2 5 6に置いたり、 収納するためには、 それらに対 する接近， 離間動作が必要である。 支持ピン把持装置 2 5 2においては、 こ の動作を利用して進退部材 3 6 4を進退させて把持爪群 3 6 2を開閉させる ため、 把持爪群開閉のために新たにァクチユエータを追加することなく、 支 持ピン 2 5 0を把持， 開放することができる。

[0075] なお、 支持ピン 2 5 0を開放した把持爪群 3 6 2は常には開状態に切リ換 えられており、 把持爪 3 9 4の突部 4 1 5は作用レバー 4 4 0のローラ 4 6 0の下方に位置し、 ローラ 4 6 0を覆っている。 そのため、 ノズル保持へッ ド 4 0が部品供給装置 2 2から回路部品を取り出した後、 部品撮像装置 1 1 0により下方から撮像されるとき、 ローラ 4 6 0が光つて回路部品の画像形 成に悪影響を及ぼすことが回避される。

[0076] 以上、 支持ピン 2 5 0をピン支持台 2 5 4から取り外して支持ピン収納装 置 2 5 6に収納する場合を説明したが、 支持ピン収納装置 2 5 6から支持ピ ン 2 5 0を取り出してピン支持台 2 5 4に取リ付ける場合、 ピン支持台 2 5 4上において支持ピン 2 5 0の位置を変える場合にも同様に、 進退部材 3 6 4が 2回、 作動させられて支持ピン 2 5 0の把持， 搬送および載置後の開放 が行われる。 [0077] 支持ピン位置検出装置の別の実施例を図 2 5に基づいて説明する。 本実施 例の支持ピン位置検出装置は、 可動レールを移動させるレール移動装置 7 0 0のエンコーダ 7 0 2と位置演算装置 7 0 4とを含む。 レール移動装置 7 0 0は、 例えば、 前記レール移動装置 2 2 6と同様に構成され、 レール位置変 更モータ 7 0 6について設けられたエンコーダ 7 0 2の出力は、 可動レール の位置に対応する信号を出力し、 制御装置 7 0 8に入力される。 制御装置 7 0 8は前記制御装置 6 5 0と同様にコンピュータを主体として構成され、 そ の位置演算装置 7 0 4を構成する部分においては、 エンコーダ 7 0 2の出力 と、 予め設定されている可動レールとピン収納穴との相対位置の情報とに基 づいて支持ピンの位置を演算する。 この情報は、 例えば可動レール上に設定 された基準位置ないしレール位置取得位置箇所と複数のピン収納穴の各中心 位置との X軸， Y軸方向における相対位置情報を含む。

[0078] 作動部材が係合する係合部材は、 支持ピン以外の部材により構成してもよ い。 例えば、 図 2 6に示す支持ピン把持装置 7 2 0においては、 進退部材 7 2 2から突部 7 2 4が、 その進退方向と交差する方向、 本実施例においては 直角に延び出させられ、 係合部を構成するとともに、 保持体 7 2 8に、 突部 7 2 4と対向する上向きの係合面 7 3 0を備えた係合部材 7 3 2が設けられ ている。 係合面 7 3 0は、 支持ピン把持装置 7 2 0が昇降装置により下降さ せられ、 把持爪群 3 6 2がちょうど支持ピン 2 5 0を把持する位置に至った ときに突部 7 2 4が係合する位置に設けられている。 なお、 支持ピン 2 5 0 が嵌合される嵌合穴 7 3 6は、 底面 7 3 8が支持ピン 2 5 0が当たらない深 さを有するものとされている。 支持ピン把持装置 7 2 0が下降させられ、 支 持ピン 2 5 0の先端部が嵌合穴 7 3 6に嵌合されて、 把持爪群 3 6 2が閉状 態への切換えにより被把持部 3 2 8を把持する位置に至ったとき、 突部 7 2 4と係合面 7 3 0との係合により進退部材 7 2 2の下降が止められ、 その後 の把持装置本体 3 6 0の下降時に進退部材 7 2 2が係合部材 7 3 2により押 され、 非作用位置から作用位置に向かう方向へ移動させられる。 それにより 把持爪群 3 6 2が閉じられて支持ピン 2 5 0を把持する。 係合部材 7 3 2が 進退部材 7 2 2に係合して、 非作用位置から作用位置へ向かう向きに押すこ と以外、 支持ピン 2 5 0が進退部材に係合して作動させる場合と同様に支持 ピン 2 5 0の把持， 開放が行われる。

[0079] ピン支持部材および支持ピン収納装置を係合部材として利用してもよい。

例えば、 図 2 7に示す支持ピン把持装置 7 4 0のように、 進退部材 7 4 2か ら下方へ、 ピン支持台 2 5 4に向かって係合アーム 7 4 4を延び出させて係 合部を設ける。 係合アーム 7 4 4は、 把持爪群 3 6 2がちょうど支持ピン 2 5 0を把持する位置に至ったときにピン支持面 2 7 6に当接するように設け られており、 係合アーム 7 4 4とピン支持面 2 7 6との係合によリ進退部材

7 4 2の下降が止められ、 把持装置本体 3 6 0に対して押し上げられること となる。 また、 図示は省略するが、 支持ピンの支持ピン収納装置への収納時 には、 係合アーム 7 4 4が支持ピン収納装置の構成要素、 例えば、 収納体に 係合して進退部材 7 4 2の下降が止められるようにされる。

[0080] 支持ピンの力伝達装置は、 永久磁石に回転モーメントを生じさせる装置と してもよい。 例えば、 図 2 8に示す支持ピン 7 7 0の永久磁石部 7 7 2は、 永久磁石 7 7 4および磁石保持部材 7 7 6を含み、 基台 7 7 8の内側空間 7

8 0内に配設されるとともに、 磁石保持部材 7 7 6が、 内側空間 7 8 0を構 成する溝 7 8 2の長手方向に平行な方向において、 永久磁石 7 7 4から外れ た部分において軸 7 8 4により基台 7 7 8に回動可能に取り付けられている 。 磁石保持部材 7 7 6の自由端部には突部 7 9 0が突設されて第二係合部を 構成している。 ピン部材 7 9 4の基端部は内側空間 7 8 0内に位置させられ るとともに、 突部 7 9 0に下方から係合可能な係合部 7 9 6が設けられ、 第 一係合部を構成している。

[0081 ] ピン部材 7 9 4に引張力が加えられれば、 係合部 7 9 6が突部 7 9 0に係 合し、 磁石保持部材 7 7 6を回動させ、 永久磁石部 7 7 2を傾斜させつつピ ン支持台 2 5 4から離間させる。 突部 7 9 0は永久磁石 7 7 4から外れた位 置に設けられており、 永久磁石部 7 7 2とピン支持台 2 5 4との間に作用す る磁気吸引力の合力の作用線から外れた位置において突部 7 9 0と係合部 7 9 6とが互いに係合し、 永久磁石部 7 7 2に回転モーメントを生じさせ、 回 動させるのである。 この場合、 係合部 7 9 6が突部 7 9 0に加える力と、 軸 7 8 4が磁石保持部材 7 7 6に加える力とが、 磁気吸引力の合力に対抗し、 永久磁石部 7 7 2は小さい引張力で傾動させられ、 磁気吸引力が減少させら れる。

[0082] なお、 支持ピンの C形部材は軟鉄等の磁性材料製としてもよい。 C形部材 を非磁性材料製とすれば、 C形部材に磁気吸引力が作用せず、 磁石保持部材 をピン支持台に対して傾け易い。 しかし、 C形部材を磁性材料製としても、 ピン支持台の磁気吸引力が及ばないのであれば、 磁石保持部材に係合して傾 動させることができる。 磁石保持部材は、 基台の底板から離間させられた状 態では、 C形部材により磁力により本体部に吸引され、 真っ直ぐな状態で保 持され得る。

[0083] また、 基準マークを撮像し、 支持ピン収納装置に収納された支持ピンの位 置を検出する場合、 基準マークは 1つ撮像するのみでもよい。 基準マークの 位置が得られれば、 複数の支持ピン （収納部） と基準マークとの相対位置情 報から、 各支持ピンの位置を検出することができる。

[0084] さらに、 支持ピンの C形部材の一対の第一係合部をピン部材の軸方向にお いて異なる位置に設けてもよく、 それと共に永久磁石部の一対の第二係合部 を、 ピン部材の軸方向において異なる位置に設けてもよい。

[0085] また、 ピン支持部材昇降装置や支持ピン把持装置昇降装置は、 電動モータ 、 例えば、 サーポモータを駆動源とし、 ねじ軸およびナツ卜を有する運動変 換装置を含む装置としてもよい。

[0086] さらに、 請求可能発明は、 モジュール型の部品装着システム以外の部品装 着システム， ノズル保持ヘッドがヘッド移動装置によって X軸， Y軸方向に 移動させられる部品装着機以外の部品装着機、 例えば、 複数のノズル保持へ ッドがー軸線まわりに旋回させられるインデックス型の部品装着機， 部品装 着システム以外の作業システム、 例えば、 スクリーン印刷機， 接着剤塗布装 置等の支持ピン， 支持ピン把持装置， 支持ピン収納装置， 基板支持装置に適 用することができる。

Claims

請求の範囲

[1 ] ピン支持部材に取り付けるべき支持ピンを把持する支持ピン把持装置であつ て、

把持装置本体と、

その把持装置本体により、 相対移動可能に、 直接または間接に保持された 複数の支持ピン把持部材から成る開閉可能な把持部材群と、

前記把持装置本体によリ作動可能に保持され、 前記把持装置本体と前記ピ ン支持部材との相対移動に伴ってその把持装置本体と相対移動する係合部材 との係合により、 非作用位置から作用位置に向かって作動させられる作動部 材と、

その作動部材と機械的に連動し、 その作動部材が 1回作動させられる毎に

、 前記把持部材群を開状態から閉状態へと閉状態から開状態へとに交互に切 リ換える切換装置と

を含む支持ピン把持装置。

[2] 前記把持部材群と前記支持ピンとが、 把持部材群による支持ピンの把持が可 能な位置へ相対移動するのに伴い、 支持ピンと係合し、 支持ピンにより前記 非作用位置から前記作用位置に向かって移動させられる位置に前記作動部材 が設けられており、 支持ピンが前記係合部材として機能する請求の範囲第 1 項に記載の支持ピン把持装置。

[3] 前記作動部材が前記把持部材群の中央部奥に設けられ、 前記把持部材群内に 進入した支持ピンの先端部により作動させられる位置に設けられた請求の範 囲第 2項に記載の支持ピン把持装置。

[4] 前記切換装置が、

前記作動部材の運動を前記把持部材群の開閉運動に変換する運動変換機構 前記作動部材が前記係合部材との係合により 1回作用位置の近傍へ押され た際はその作動部材を前記作用位置に保持し、 次にもう 1回押された際はそ の保持を解除して作動部材が非作用位置へ復帰することを許容する作動部材 制御装置と

を備えた請求の範囲第 1 3項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。

[5] 前記作動部材制御装置が、 前記装置本体と前記作動部材との一方に設けられ た係止部材と他方に設けられた被係止部材とを含む係止装置であり、 被係止 部材が、 係止部材によつて係止されることにより前記作動部材を前記作用位 置に保持する被係止部と、 係止部材を案内し、 前記作動部材の 1回の作動に 起因する係止部材と被係止部材との相対移動に伴つて係止部材を前記被係止 部を係止する係止位置へ導き、 次の 1回の相対移動に伴って係止部材による 被係止部の係止を解除して係止部材を原位置へ導く案内部とを備えた請求の 範囲第 4項に記載の支持ピン把持装置。

[6] 前記係止部材が、 回動軸部とその回動軸部からほぼ直角方向に延び出た一対 のアーム部と、 それらアーム部の自由端部に設けられた一対の係合部とを備 え、 回動軸部において前記把持装置本体と前記作動部材との一方に回動可能 に保持された回動係止部材であり、 前記被係止部材が、 互いに共同して前記 一対の係合部を案内する一対の案内部を備えた請求の範囲第 5項に記載の支 持ピン把持装置。

[7] 前記一対の案内部が、 前記作動部材の 2回の作動に伴って前記一対の係合部 に前記被係止部を含んで予め設定された周回運動を行わせる形状を有する請 求の範囲第 6項に記載の支持ピン把持装置。

[8] 前記把持部材群が対称軸に対して軸対称に開閉するものである請求の範囲第

1 7項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。

[9] 前記作動部材が軸方向に進退する進退部材である請求の範囲第 1 8項のい ずれかに記載の支持ピン把持装置。

[10] 前記作動部材が、 前記対称軸上に配設され、 その対称軸に沿って進退する進 退部材である請求の範囲第 8項に記載の支持ピン把持装置。

[11] 前記作動部材を把持装置本体に対して前記作用位置から前記非作用位置に向 かう向きに付勢する付勢手段を含む請求の範囲第 1 1 0項のいずれかに記 載の支持ピン把持装置。

[12] 前記付勢手段が、 前記作動部材と前記把持装置本体との間に配設された弾性 部材を含む請求の範囲第 1 1項に記載の支持ピン把持装置。

[13] 前記運動変換機構が、 前記複数の支持ピン把持部材のそれぞれに一端部が相 対回動可能に連結されるとともに、 他端部同士が互いに相対回動可能に連結 された複数の連結リンクと、 それら連結リンクの前記他端部を前記進退部材 の進退方向には移動可能であるがその進退方向と交差する方向には移動不能 に案内する案内手段とを含む請求の範囲第 9 1 2項のいずれかに記載の支 持ピン把持装置。

[14] 支持ピンが前記係合部材として機能し、 前記進退部材が前記支持ピンと嵌合 して実質的に支持ピンの傾きを防止する嵌合穴を備え、 前記複数の支持ピン 把持部材が、 それぞれの自由端部において前記支持ピンにその支持ピンの相 対的な傾きを許容する状態で係合する請求の範囲第 9 1 3項のいずれかに 記載の支持ピン把持装置。

[15] 前記作動部材が、 前記把持装置本体に軸方向に進退可能に嵌合された進退部 材であり、 前記複数の支持ピン把持部材がその進退部材に相対移動可能に保 持される一方、 前記把持装置本体に、 進退部材の後退に伴って前記複数の支 持ピン把持部材の少なくとも 1つに係合することによりその少なくとも 1つ を閉方向に移動させる作用部が設けられ、 その作用部が前記運動変換機構の 少なくとも一部を構成する請求の範囲第 4項に記載の支持ピン把持装置。

[16] 前記作用部が、 前記把持装置本体により前記進退部材の進退方向と交差する 方向に移動可能に設けられ、 かつ付勢手段により前記少なくとも 1つの支持 ピン把持部材に接近する向きに付勢された可動作用部材により構成された請 求の範囲第 1 5項に記載の支持ピン把持装置。

[17] 前記複数の支持ピン把持部材がそれぞれ一軸線まわりに回動可能な回動型把 持部材である請求の範囲第 1 1 6項のいずれかに記載の支持ピン把持装置

[18] 請求の範囲第 1 1 7項のいずれかに記載の支持ピン把持装置と、

(a)内側に内側空間を有する基台と、 （b)その基台に、 基端部が前記内側空 間内に位置するとともに軸方向に相対移動可能に保持され、 基台から突出し た突出部の先端でプリン卜基板を支持するピン部材と、 （C)前記基台の前記内 側空間内に少なくとも傾動可能に配設され、 基台が磁性材料製のピン支持部 材上に載置された状態で、 そのピン支持部材に磁気的に吸引され、 その磁気 吸引力に基づいて基台にその基台をピン支持部材に押し付ける力を加える永 久磁石部と、 （d)前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分と前記永久磁 石部との少なくとも一方に設けられ、 ピン部材に引張力が加えられた場合に 、 その引張力を前記永久磁石部に、 その永久磁石部を前記ピン支持部材に対 して相対的に傾動させつつピン支持部材から離間させる力として伝達する力 伝達装置とを含む支持ピンと、

その支持ピンを支持するピン支持部材と

を含む基板支持装置。

[19] 前記支持ピンを収納する支持ピン収納装置と、

前記支持ピン把持装置と前記ピン支持部材および支持ピン収納装置とを、 一平面内の任意の相対位置へ相対移動させるとともに、 前記一平面と直交す る一軸方向に相対移動させる相対移動装置と、

その相対移動装置を制御して、 前記支持ピンを前記支持ピン収納装置から 取り出して前記ピン支持部材上に取リ付け、 そのピン支持部材上から取り外 して支持ピン収納装置に収納する制御装置と

を含み、 自動段取替えが可能である請求の範囲第 1 8項に記載の基板支持 装置。

[20] 前記支持ピン収納装置が、 一対のサイドフレームとそれらサイドフレームに 支持された一対のコンペャベルトとを含み、 前記一対のサイドフレームの一 方が固定フレーム、 他方がその固定フレームに接近， 離間することによって 搬送幅を変更する可動フレームである基板コンべャによリ搬送されるプリン 卜基板を、 下方から支持する支持ピンを収納する支持ピン収納装置であって 、 前記可動フレームに、 その可動フレームと共に移動可能に取り付けられた 請求の範囲第 1 9項に記載の基板支持装置。