WO2005002832A1

WO2005002832A1 - チューブ接合装置

Info

Publication number: WO2005002832A1
Application number: PCT/JP2004/009338
Authority: WO
Inventors: Hiroaki Sano; Masaru Nagashimada; Shinji Ishida; Hideya Fujihara; Satoshi Yamanushi
Original assignee: Terumo Kabushiki Kaisha
Priority date: 2003-07-04
Filing date: 2004-07-01
Publication date: 2005-01-13
Also published as: ATE512785T1; EP1652653A1; CA2531408C; JP4046655B2; CA2531408A1; KR20060026450A; US7779880B2; EP1652653A4; KR101065934B1; CN1816438A; US20060144525A1; CN100434260C; HK1090607A1; JP2005022341A; EP1652653B1

Abstract

　チューブの接合動作中に電源供給が遮断された場合でも、装置を破損することなく自己復帰でき、安全性に配慮したチューブ接合装置を提供する。チューブ接合装置は、チューブの接合処理状態に関する情報を記憶したＥＥＰＲＯＭを備えており、電源が投入されたときに、ＥＥＰＲＯＭに記憶されたチューブの接合処理状態に関する情報と、ウエハ位置検出センサ４２１のウエハ４１の検出結果とにより、チューブ接合中に電源供給が遮断されたと判断したときに、復帰処理を実行する。復帰処理では、ウエハを再加熱してウエハに固着したチューブを溶融し（Ｓ６１４、６１６）、動作を再開して接合動作を終了させるが（Ｓ６２０～６３２）、接合強度等を保証するため、ＬＣＤ表示部にエラー表示をする（Ｓ６３４）。ウエハ加熱停止後、冷却時間ロック状態を解除しないことで（Ｓ６２８～６３２）安全性を確保する。

Description

明細書

チューブ接合装置

技術分野

[0001] 本発明は、可撓性を有するチューブを切断して接合するチューブ接合装置であつて、特に、チューブ接合動作中に電源供給が遮断されて装置が動作停止した場合の自動復帰機能を備えたチューブ接合装置に関する。

背景技術

[0002] 従来、輸血システムにおける採血バッグ及び血液成分バッグのチューブ接合や持続的腹膜透析 (CAPD)における透析液バッグと廃液バッグとの交換等を行う場合には、チューブの接合を無菌的に行うことが必要となる。例えば、日本国特公昭 61— 30 582号公報には、接続すべき 2本のチューブを平行に保持し得る一対のホルダ (プロック）と、両ホルダ間に配置されチューブを横切るように移動し得る切断板 (板状の加熱素子、ウェハ）とを備えたチューブ接合装置が開示されている。このチューブ接合装置では、両ホルダに形成された溝内に 2本のチューブを平行にかつ反対方向に保持した状態で切断板を加熱、移動させてチューブを溶断し、次いで、一方のホルダをチューブの径方向（並べた方向）に移動させ、接合するチューブの切り口同士を一致させると共に、切断板を退避位置へ移動させて抜き取り、両チューブを融着する。

[0003] また、例えば、日本国特開平 6— 91010号公報には、上記チューブ接合装置と同様のチューブ接合方法を用いて、チューブ接合の確実性を高めるために、 2本のチユーブを平行状態で保持する第 1クランプ及び第 2クランプを有し、第 1クランプを第 2 クランプに対して平行に移動させるチューブ接合装置が開示されて、る。このチューブ接合装置では、後退'前進の前後の動きのみを行う第 1クランプ移動機構と、第 2クランプを第 1クランプに対して近接 ·離間する方向にのみ移動させる第 2クランプ移動機構とを備えている。

[0004] 更に、例えば、日本国特開平 4-308731号公報には、切断板を用いてチューブ同士を加熱、溶融し、無菌的に接合する基本的原理は同様であるが、チューブの切断前にその内部に液体が残っている場合に、チューブ内液を密封したまま漏れることなくチューブを接合するチューブ接合装置が開示されている。このチューブ接合装置では、一対の相対的に回転し得るチューブホルダにより 2本のチューブ (第 1チューブ、第 2チューブ)を同一旋回軌跡上に各々保持し、加熱された切断板により両チューブをホルダ間にて切断後、第 1チューブの一方側の切断端面を第 2チューブの他方側の切断端面に整列させるベくチューブホルダを回転させ、切断板を退避させて両チューブを融着する。また、例えば、日本国特開平 9— 154920号公報には、チュ一ブ内液を密封したまま漏れることなくチューブを接合できるといった目的の他に、チユーブを接続する際のチューブの移動量が少なぐ装置及び装置の構成部材の小型化を図ることができるチューブ接合装置が開示されている。このチューブ接合装置では、 U字状の溝を有する 2つのチューブ保持具 (第 1、第 2チューブ保持具)に接続すべき 2本のチューブ同士を接触した (重ねた)状態で収容保持し、加熱された切断板により両チューブを切断した後、第 1チューブ保持具に対し第 2チューブ保持具を相対的に 180° 回転させて、両チューブの切断端面同士が互いに交換'整列するように作動させ、切断板を退避させて両チューブを融着する。

[0005] これらヽずれの従来装置にお!ヽても、加熱状態でチューブを切断する切断部材は、通常、 1回のチューブの接合毎に使い捨てされるようにその都度交換して用いられているが、この交換作業は手動式によるものと自動式によるものとがある。一般に、手動式に比べて自動式の方がオペレータ (操作者)への作業負担を軽減し作業効率を高めるものであるが、自動式のものとして、例えば、日本国特開 2000— 308670号公報 (第 8— 9頁、第 1及び第 2図）には、カセット内に収蔵された切断部材を 1枚ずつその送り通路上に押し出して所定の位置に供給する切断部材自動送り機構を備えたチユーブ接合装置が開示されている。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0006] し力しながら、上記従来のチューブ接合装置では、電源供給の遮断などによって装置の動作が停止した場合に、その後の装置の作動復帰については特別な配慮が為されておらず、操作者が接合動作中に停止した装置カゝら切断部材に固着したチューブを無理に取り出そうとして装置の破損し修理が必要となる場合や、チューブ内の血液が飛散して装置内部に侵入することによる装置故障や飛散した血液による操作者への感染の危険性があった。このため、電源供給の遮断などによって装置の動作が停止した場合でも、操作者が安全に且つ装置を破損させることなく装置の復帰処理を行えることが望ましい。

[0007] 本発明は上記事案に鑑み、装置の動作が停止した場合でも、装置を破損することなく自己復帰でき、かつ、操作者の安全性に配慮したチューブ接合装置を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

[0008] 上記課題を解決するために、本発明の第 1の態様は、少なくとも 2本の可撓性チューブを保持して扁平状に押圧する保持部と、前記保持部により保持された扁平状の前記チューブを切断する切断部と、前記切断部に加熱用電力を給電するための電極部と、前記切断部をチューブ切断位置とチューブ非切断位置との間で移動させる切断部移動ユニットと、前記切断部移動ユニットにより移動する前記切断部を検出する切断部検出センサと、切断された前記チューブの位置を相対的に変化させて、接合される端部同士が密着するように前記保持部を移動させる保持部移動ユニットと、前記電極部への給電、並びに、前記切断部移動ユニット及び前記保持部移動ュニットの動作を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、停止した後に再稼動したときに、前記切断部検出センサによる前記切断部の検出情報に応じて、復帰動作の必要性を判断する。

[0009] 第 1の態様では、保持部により少なくとも 2本の可撓性チューブが保持されて扁平状に押圧される。電極部を介して、保持部で保持された扁平状のチューブを切断する切断部に加熱用電力が供給され、切断部移動ユニットにより切断部はチューブ非切断位置カゝらチューブ切断位置に移動し、保持部で保持された扁平状のチューブが切断される。保持部移動ユニットにより切断部で切断された少なくとも 2本のチューブの位置を相対的に変化させて、接合される端部同士が密着するように保持部が移動され、チューブ同士の接合がなされる。電極部への給電、並びに、切断部移動ュニット及び保持部移動ユニットの動作は制御部により制御される。制御部は、装置が停止した後に再稼動したときに、切断部検出センサによる、切断部移動ユニットによつて移動する切断部の検出情報に応じて、復帰動作の必要性を判断する。第 1の態様によれば、装置が停止した後に再稼動したときに、制御部が切断部検出センサの検出情報に応じて復帰動作の必要性を判断するので、復帰動作が必要な場合に、電極部への給電、並びに、切断部移動ユニット及び保持部移動ユニットの動作を制御してチューブ接合装置を破損することなく自己復帰が可能となる。

[0010] 本態様において、制御部が実行する復帰動作の制御には種々の態様が考えられる。例えば、制御部は、チューブの接合処理状態を表す接合処理情報を記憶する不揮発性メモリを有し、不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が接合動作中を表す情報であり、且つ、切断部検出センサがチューブ切断位置に移動した切断部を検出したときに、復帰動作が必要であると判断し、復帰動作を行うように制御してもよい。また、保持部の少なくとも一部に係止して、保持部によるチューブの押圧状態からの開放動作を禁止する係止部と、係止部による保持部に対する係止状態を検出する保持部ロックセンサとを更に備え、制御部は、不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が接合動作中を表す情報であり、且つ、切断部検出センサがチューブ切断位置に移動した切断部を検出し、保持部ロックセンサが係止部に係止された保持部を検出したときに、復帰動作が必要であると判断し、復帰動作を行うように制御してもよい。保持部の少なくとも一部に係止して、保持部によるチューブの押圧状態力の開放動作を禁止する係止部と、情報を表示するための表示部を更に備え、制御部は、復帰動作が必要であると判断した場合には、電極部への復帰給電、並びに、切断部移動ユニット、保持部移動ユニット及び係止部の復帰動作を制御する共に、表示部にエラー表示を行うように制御するようにしてもよ、。

[0011] このような態様では、制御部は、電極部による切断部に対する加熱開始力所定時間経過したときに、不揮発性メモリに接合処理情報として接合動作中を表す情報を記憶させるようにしてもよい。また、保持部移動ユニットにより移動した保持部が切断されたチューブの端部同士を密着するための接合完了位置に到達したことを検出する位置検出センサを更に備え、制御部は、位置検出センサが保持部の接合完了位置への到達を検出したときに、不揮発性メモリに接合処理情報として非接合動作中を表す情報を記憶させるようにしてもよい。更に、切断部はチューブを切断する切断板を有すると共に、不揮発性メモリは切断板の交換情報を記憶可能であり、切断板を交換可能に切断部に搬送する切断板搬送部を備え、制御部は、不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が非接合動作中を表す情報であり、且つ、不揮発性メモリに記憶された切断板の交換情報が未交換を表す情報のときに、切断板を切断部に搬送させるように切断板搬送部を制御するようにしてもよい。このとき、切断板搬送部を検出する切断板搬送部検出センサを更に備え、切断板搬送部は、切断板を切断部に搬送するように移動可能であり、制御部は、切断板搬送部検出センサが移動した切断板搬送部を検出したときに、切断板の交換情報として交換済みを表す情報を不揮発性メモリに記憶させるようにしてもよい。また、保持部の少なくとも一部に係止して、保持部によるチューブの押圧状態力の開放動作を禁止する係止部と、係止部による保持部に対する係止状態を検出する保持部ロックセンサとを更に備え、切断部は、チューブを切断する切断板を有すると共に、不揮発性メモリは、切断板の交換情報を記憶可能であり、制御部は、不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が非接合動作中を表す情報であり、且つ、保持部ロックセンサが係止部に係止された保持部を検出したときに、切断板の交換情報として未交換を表す情報を不揮発性メモリに記'隐させるようにしてちょい。

[0012] 第 1の態様において、係止部に、永久磁石及びプランジャが内装された自己保持型ソレノイドを用いれば、チューブの接合動作中に電源供給が遮断されても、係止部は自己保持され保持部によるチューブの押圧状態力の開放動作の禁止状態が継続され、操作者が切断部に触れることが防止されるので、安全性を確保することができる。

[0013] また、上記課題を解決するために、本発明の第 2の態様は、少なくとも 2本の可撓性チューブを保持して扁平状に押圧する保持部と、前記保持部により保持された扁平状の前記チューブを切断する切断部と、前記切断部に加熱用電力を給電するための電極部と、前記切断部をチューブ切断位置とチューブ非切断位置との間で移動させる切断部移動ユニットと、切断された前記チューブの位置を相対的に変化させて、接合される端部同士が密着するように前記保持部を移動させる保持部移動ユニットと、前記電極部への給電、並びに、前記切断部移動ユニット及び前記保持部移動ュニットの動作を制御する制御部と、情報を表示するための表示部と、を備え、前記制御部は、前記チューブの接合処理状態を表す接合処理情報を記憶する不揮発性メモリを有し、停止した後に再稼動したときに、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報に応じて、復帰動作の必要性を判断すると共に、前記復帰動作が必要であると判断したときに、前記表示部にエラー表示を行うように制御する。第 2の態様によれば、制御部は、停止した後に再稼動したときに、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報に応じて、復帰動作の必要性を判断するので、復帰動作が必要な場合に、電極部への給電、並びに、切断部移動ユニット及び保持部移動ユニットの動作を制御してチューブ接合装置を破損することなく自己復帰が可能となると共に、表示部にエラー表示を行うように制御するので、接合対象のチューブについて操作者に注意を促すことができる。第 2の態様において、保持部の少なくとも一部に係止して、保持部によるチューブの押圧状態力もの開放動作を禁止する係止部を更に備え、制御部は、不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が接合動作中を表す情報であるときに、復帰動作が必要であると判断し、電極部への復帰給電、並びに、切断部移動ユニット、保持部移動ユニット及び係止部の復帰動作を制御するようにしてもよ、。発明の効果

[0014] 本発明によれば、制御部が、停止した後に再稼働したときに、切断部検出センサによる切断部の検出情報、又は、不揮発性メモリに記憶された接合処理情報に応じて、復帰動作の必要性を判断するので、チューブ接合装置を破損することなく自己復帰が可能となる、という効果を得ることができる。

図面の簡単な説明

[0015] [図 1]本発明が適用可能な実施形態のチューブ接合装置の外観斜視図である。

[図 2]チューブ接合装置のクランプを示す斜視図である。

[図 3]チューブ接合装置の一部破断平面図である。

[図 4]ウェハホルダの拡大側面図である。

[図 5]駆動伝達機構の拡大平面図である。

[図 6]駆動軸に固着された回転盤及び透過型センサを示す側面図である。

[図 7]第 2クランプを開放した状態を示す右側面図である。 [図 8]第 2クランプが閉じられた状態で、且つ、ウェハが非切断位置に位置付けられた状態を示す右側面図である。

[図 9]第 2クランプが閉じられた状態で、且つ、ウェハが切断位置に位置付けられた状態を示す右側面図である。

[図 10]第 1クランプを開放した状態を示す左側面図である。

[図 11]第 1クランプが閉じられた状態で、且つ、ウェハが非切断位置に位置付けられた状態を示す左側面図である。

[図 12]第 1クランプが閉じられた状態で、且つ、ウェハが切断位置に位置付けられた状態を示す左側面図である。

[図 13]制御部及び制御系各部の概略ブロック図である。

[図 14]制御部の CPUが実行するチューブ接合ルーチンのフローチャートである。

[図 15]チューブ接合ルーチンのステップ 600の詳細を示す電源投入サブルーチンのフローチャートである。

[図 16]電源投入サブルーチンのステップ 610の詳細を示す復帰処理サブルーチンのフローチャートである。

[図 17]電源投入サブルーチンのステップ 650の詳細を示す初期設定処理サブルーチンのフローチャートである。

[図 18]チューブ接合ルーチンのステップ 700の詳細を示すウェハ交換処理サブルーチンのフローチャートである。

[図 19]チューブ接合ルーチンのステップ 800の詳細を示すチューブ接合処理サブル一チンのフローチャートである。

[図 20]チューブ接合装置の主要部の動作その 1を示す説明図であり、第 1クランプ及び第 2クランプの蓋体を閉じ始めた状態を模式的に示す正面図である。

[図 21]チューブ接合装置の主要部の動作を模式的に示す正面図であり、図 21 (A) は動作その 2、図 21 (B)は動作その 3を示す。

[図 22]チューブ接合装置の主要部の動作を模式的に示す正面図であり、図 22 (A) は動作その 4、図 22 (B)は動作その 5、図 22 (C)は動作その 6を示す。

[図 23]チューブ押し込み部材の退避動作を示す側面図であり、図 23 (A)はチューブ押し込み部材の先端部分がチューブを扁平状態に押圧する直前の状態を示し、図 2 3 (B)はチューブ押し込み部材の先端部分がチューブを扁平状態に押圧した状態を示し、図 23 (C)はウェハが扁平状態に保持されたチューブを切断する状態を示す。

[図 24]ウェハを保持した保持部材を下降させてウェハを切断位置カゝら退避させる状態を示す側面図である。

[図 25]第 2クランプの移動を規制するカムの近傍の拡大平面図であり、図 25 (A)は初期状態、図 25 (B)は接合動作完了状態、図 25 (C)は切欠部がベアリングに対向した状態、図 25 (D)は第 2クランプを退避位置へ移動させた状態を示す。

[図 26]第 1クランプの移動を規制するカム及びウェハホルダの移動を規制するカムの側面図であり、図 26 (A)は初期状態、図 26 (B)は切断動作状態、図 26 (C)は切断終了乃至接合開始状態を示す。

[図 27]チューブ接合処理工程でのチューブ接合装置の主要部の動作を示す斜視図である。

[0016] 本発明は、以下の発明の実施の形態を参照することにより、更に明ら力となる。

発明を実施するための最良の形態

[0017] 以下、図面を参照して、本発明を血液が封入された 2本のチューブを切断、接合するチューブ接合装置に適用した実施の形態について説明する。

[0018] (構成）

図 1及び図 2に示すように、本実施形態のチューブ接合装置 1は、 2本の可撓性チユーブ 8、 9を略平行に保持する保持部としての第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7と、第 1クランプ 6と第 2クランプ 7との間に第 1クランプ 6に隣接して配置されチューブ 8、 9 を扁平状に押圧するチューブ押し込み部材 10と、を備えている。チューブ接合装置 1は、図 1に示す突起状部材が隠れるようにケーシング内に収容されて、る（図 3参照

) o

[0019] 第 1クランプ 6は、上顎となりチューブ 8、 9を扁平状に押圧する第 1上顎部 50と、下顎となり第 1上顎部 50により扁平状に押圧されるチューブ 8、 9を支持する第 1下顎部 70とを有している。一方、第 2クランプ 7は、上顎となりチューブ 8、 9を扁平状に押圧する第 2上顎部 60と、下顎となり第 2上顎部 60により扁平状に押圧されるチューブ 8 、 9を支持する第 2下顎部 80とを有している。

[0020] チューブ 8、 9は、例えば、軟質ポリ塩化ビュル等の軟質熱可塑性榭脂を材質とし可撓性 (柔軟性)を有し、チューブ内には血液が封入されている。これらのチューブ 8 、 9は、血液封入前の状態で内径、外径及び長さについて略同一形状を有している。第 1クランプ 6は、チューブ 8、 9を保持するホルダ 21と、ヒンジ 25〖こよりホルダ 21の後端部に回動自在に取り付けられ開閉可能な蓋体 24とを有している。

[0021] ホルダ 21には、 2本のチューブ 8、 9がそれぞれ装填される互いに平行で横断面形状が U字状の一対の溝 22、 23が形成されている。溝 22、 23の幅は、チューブ 8、 9 の自然状態での外径と同等又はそれ以下とするのが好ましぐオペレータ (操作者）がチューブ 8、 9をチューブ 8、 9を溝 22、 23の奥側（図 2に示す下部方向）へ押し込むことで溝 22、 23内に装填する。蓋体 24は、閉じられた状態のときに、溝 22、 23を覆い、溝 22、 23内に装填されたチューブ 8、 9が離脱しないように固定する機能を有している。

[0022] また、第 1クランプ 6は、蓋体 24が閉じた状態を保持するための係止機構 26を有している。係止機構 26は、蓋体 24の先端にヒンジ 27を介して蓋体 24に対し回動可能に着設された板片 28と、板片 28の内面に突出形成された爪部材 29と、ホルダ 21の先端に回転自在に配された係止ローラ 20とで構成されており、蓋体 24を閉じた状態で、板片 28を図 2の矢印 F方向に回動させて爪部材 29を係止ローラ 20に係止させることが可能である。また、板片 28には、端面力も第 2クランプ 7側に突出するシャフト 1 9が固設されている。

[0023] 第 1クランプ 6の第 2クランプ 7側には、チューブ押し込み部材 10が連設されている。第 1クランプ 6は、ホルダ 21の側面に固定された鋸刃状の圧閉部材 61と、蓋体 24 の側面に固定され圧閉部材 61と嚙み合う鋸刃状の圧閉部材 62とを有している。圧閉部材 61は溝 22、 23にそれぞれ対応する位置に傾斜面 63、 64を有し、圧閉部材 62には、傾斜面 63、 64に対しそれぞれ平行に、かつ、所定距離離間する位置に、傾斜面 65、 66が形成されている（図 24参照）。このため、溝 22、 23にチューブ 8、 9 を装填した状態で蓋体 24を閉じると、圧閉部材 61、 62が嚙み合い、傾斜面 63、 65 によりチューブ 8が圧閉され、傾斜面 64、 66によりチューブ 9が圧閉される。このような第 1クランプ 6の構成により、後述するチューブ 8、 9の切り口同士を接合する際に、位置ずれや歪みが抑制され、容易かつ適正な接続が確保される。

[0024] 一方、第 2クランプ 7は、第 1クランプ 6の側方に、チューブ押し込み部材 10を介して隣接して配置されている。第 2クランプ 7も第 1クランプ 6と同様に、一対の溝 32、 33 が形成されチューブ 8、 9を保持するホルダ 31と、ホルダ 31に対し回動して開閉する蓋体 34とを有しており、更に係止機構 36を有している。これらの構成は第 1クランプ 6 に準ずるものであり、係止機構 36はヒンジ 37、板片 38、先端部 39Aを持つ爪部材 3 9を有しており、ホルダ 31はヒンジ 35、係止ローラ 30を有している。なお、板片 38の第 1クランプ 6側端面にはシャフト 19が挿入可能な長穴 40が形成されており、この長穴 40は、後述するチューブ接合動作における第 1クランプ 6の移動に伴うシャフト 19 の移動を許容する機能を有して、る。

[0025] 第 2クランプ 7は、ホルダ 31のホルダ 21側の側面に固定された鋸刃状の圧閉部材 7 1 (不図示）と、蓋体 34の蓋体 24側の側面に固定され圧閉部材 71と嚙み合う鋸刃状の圧閉部材 72とで構成されている。圧閉部材 71は溝 32、 33にそれぞれ対応する位置に傾斜面 73、 74を有し（図 24参照）、圧閉部材 72には、傾斜面 73、 74に対しそれぞれ平行に、かつ、所定距離離間する位置に、傾斜面 75、 76が形成されている。

[0026] これらの第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7は、通常は溝 22、 32同士及び溝 23、 33 同士が一致する（一直線上に並ぶ)ように配置されて、る。

[0027] チューブ押し込み部材 10は、第 1クランプ 6に一体的かつ移動可能に設けられている。チューブ押し込み部材 10は、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7と同様に鋸歯状で傾斜面 15、 16が形成された先端部分 12 (圧閉部材 62、 72に相当）を有するが、チユーブ 8、 9を挟んで対畤して嚙み合う圧閉部材 61、 71を持たない点で第 1クランプ 6 及び第 2クランプ 7とは相違している。また、チューブ押し込み部材 10の先端部分 12 は、第 1クランプ 6の圧閉部材 62及び第 2クランプ 7の圧閉部材 72に対応して同形状の鋸歯状とされている力第 1クランプ 6の圧閉部材 62より若干突出した位置に位置決めされている。

[0028] チューブ押し込み部材 10には、断面 L字状の支持部材 11がねじ止め固定されている。支持部材 11は、下方側に突出する支持部材突出部 14を有している。また、支持部材 11には図示しないコ字状のスライダが付設されており、このスライダが図示を省略したレールに沿って摺動可能に構成されて、る。図示を省略したレールはレール支持部材 (不図示）に固着されており、レール支持部材は蓋体 24にねじ止めされている。このため、チューブ押し込み部材 10は、第 1クランプ 6と一体ィ匕されると共に、第 1クランプ 6に対して相対移動が可能である。なお、チューブ押し込み部材 10の先端部分 12は、第 1クランプ 6の圧閉部材 62より突出しているので、蓋体 24が閉じられたときに第 1クランプ 6に先立ってチューブ 8、 9を押し込むこととなる。

[0029] また、チューブ接合装置 1は、図 3に示すように、切断板としてのウェハを繰り出すゥェハ繰出機構 100 (切断板搬送部)を備えて、る。

[0030] チューブ接合装置 1のケーシングには固定部材 94が立設されており、固定部材 94 には正逆転可能なパルスモータ力もなるウェハ送りモータ 110がねじ止めされて!、る。ウェハ送りモータ 110の出力軸 111にはギヤ 112が固着されており、ギヤ 114との間にタイミングベルト 113が張架されている。ギヤ 114は、チューブ 8、 9を切断可能なウェハ 41を 1枚ずつ繰り出すシャトルと称されるウェハ繰り出し部材 115をその軸上に配したボールねじ 116の軸上に配置されて!、る。ウェハ繰り出し部材 115の内部にはボールねじ 116に係合する図示を省略したナットが設けられており、ウェハ送りモータ 110を駆動源とするギヤ 114の回転に伴って、ボールねじ 116の回転によりウェハ繰り出し部材 115はボールねじ 116に沿って移動する。ウェハ繰り出し部材 1 15の一側はロッド状のシャフト 117に支持されており、ウェハ繰り出し部材 115のゥェハの繰り出し時の姿勢 (動作)を安定させて、る。ウェハ繰り出し部材 115の端部には、ウェハ 41を複数枚 (本例においては 70枚)収蔵するウェハカセット 120から、ゥェハ繰り出し部材 115の移動に伴ってウェハカセット 120内のウェハ 41を一枚ずつ繰り出す押し出し片 118が付設されている。ウェハカセット 120の一側には、ウェハ力セット 120が装着されていることを検出するためのウェハカセット検出センサ 121が固設されている。

[0031] ウェハカセット 120の内部には図示しない圧縮パネがウェハ 41を付勢するように配設されており、ウェハ繰り出し部材 115の押し出し片 118によりウェハ 41が繰り出されると、隣接するウェハがウェハ繰り出し部材 115側に順次対向することで、押し出し片 118によるウェハ 41の連続的な繰り出し動作が許容されている。なお、ウェハ繰り出し部材 115は、ウェハ送りモータ 110の逆転により、ウェハ 41の繰り出し方向とは反対方向に移動可能である。

[0032] ウェハ 41は、自己発熱型の加熱切断板であり、例えば銅板等の金属板を 2つ折りにし、その内面に絶縁層を介して所望パターンの発熱用の抵抗体が形成されており、該抵抗体の両端の端子 44、 45 (図 2参照）がそれぞれ金属板の一端部に形成された開口力露出した構造を有して、る。

[0033] また、ウェハ送りモータ 110の出力軸 111の端部には、ギヤ 112に隣接して複数のスリットを有しウェハ送りモータ 110の回転に伴って回転する回転盤 130が固設されている。回転盤 130は、ウェハ繰り出し部材 115の移動量を検出するためのものである。回転盤 130の近傍には、ギヤ 114の反対側に回転盤 130を跨ぐように、回転盤 1 30の回転量を検出する透過型センサ 131が固定部材 94にねじ止めされて、る。

[0034] ボールねじ 116を介してウェハカセット 120の反対側には、ウェハ 41の繰出開始位置に位置付けられたウェハ繰り出し部材 115を検出する切断板搬送部検出センサとしての透過型センサ 132と、ウェハ 41の繰出終了位置に位置付けられたウェハ繰り出し部材 115を検出する切断板搬送部検出センサとしての透過型センサ 133とが所定距離離間して配設されており、ウェハ繰り出し部材 115には、押し出し片 118の反対側に略 L字状の被検片 119が付設されている。なお、上述した回転盤 130と透過型センサ 131とによるウェハ繰り出し部材 115の移動量の検出は、透過型センサ 13 2、 133の両者位置間で行われるものである。

[0035] ウェハ繰り出し部材 115によって繰り出されたウエノ、 41は、ウェハカセット 120からそのウェハ搬送経路の下流側に位置し、ウェハ 41を保持するウェハホルダ 140内に位置付けられる。図 4に示すように、本例では、ウェハホルダ 140内に 2枚のウェハ 4 1の端面同士が当接するように保持される構成が採られており、ウェハカセット 120から先に繰り出されたウェハ 41aが新たに繰り出されたウェハ 41bにウェハホルダ 140 内の搬送路 105上で押動されることでウェハ 41の供給が行われる。換言すれば、ゥェハ 41bがウェハ 41aを前方に押進させ、ウェハ 41aがウェハホルダ 140内でチューブ 8、 9の切断動作を行う位置に位置付けられる。 [0036] ウェハホルダ 140の先方側に位置付けられたウェハ 41aの端子 44、 45には、図示を省略したノヽーネスを介して突起状の電極部 145、 146により図示しない電源部からウエノ、 41aの加熱用電力の給電がなされる。電極部 145、 146は、ウェハホルダ 140 に一体に取り付けられており、ウェハホルダ 140の一側（図 4紙面奥側）の壁面端部に対してウェハ 41を介して対向するように配設されている。なお、後述するように、ゥェハホルダ 140はチューブ 8、 9を切断する際に上下動するため、ウェハホルダ 140 に一体に取り付けられた電極部 145、 146もウェハ 41に対して加熱のための給電可能な構造とされている。

[0037] 電極部 145、 146による給電によりウェハ 41の内部の抵抗体が発熱して、ウェハ 4 1はチューブ 8、 9を溶融、切断可能な温度 (例えば、 260— 320° C程度）に加熱される。また、ウェハ 41は、 1回のチューブの接合 (接続)毎に使い捨てされるもの（シンダルユース）であるのが好ましぐウェハ繰出機構 100は、ウェハホルダ 140に装填されるウェハ 41を、チューブ 8、 9を接合する毎に交換可能な構成を有している。

[0038] ウェハホルダ 140は、後述する回転支持板 184に取り付けられたヒータ 144により加熱される（図 3参照)。ヒータ 144へは、図示しない電源部力も電力が供給されるが、チューブ接合装置 1に電源が投入されている間、ウェハホルダ 140は常時加熱状態を維持している。ウェハホルダ 140には、ウェハホルダ 140の温度を検出するサーミスタ等のホルダ温度センサ 508 (図 13参照）が固着されており、ウェハホルダ 140 は所定温度 (本例にぉ、ては 70° C)を保つように制御される。

[0039] 本例の温度制御について更に付言すれば、ウェハ 41は上述したように表面が銅板で覆われているため、その材料 (銅)特性力もウェハホルダ 140内に挿入された時点でウェハホルダ 140が保有する温度の影響を受け、挿入直後に所定の温度に達する。後述する制御部 190は、ウェハホルダ 140内にウェハ 41が揷入された時を基点として、電極部 145、 146により通電されるウェハ 41自体の温度が所定時間後に所定温度 (例えば、上述した 260— 320° C程度）に到達したと予測してウェハ 41によるチューブの切断動作 (ウェハホルダ 140の上昇動作）に移行する。

[0040] 図 3及び図 5に示すように、チューブ接合装置 1は、第 1クランプ 6、第 2クランプ 7を移動させる保持部移動ユニットとして機能する共に、ウェハホルダ 140を移動（上下動）させ切断部移動ユニットとして機能する駆動伝達機構 200を備えてヽる。

[0041] ウェハホルダ 140の側方かつウェハ繰り出し部材 115の下流側には、チューブ接合装置 1のケーシングに固定された不図示のモータ固定部材に駆動伝達機構 200 の駆動源となる正逆転可能なパルスモータ力もなるカムモータ 150がねじ止めされている。カムモータ 150の出力軸 151にはギヤ 152が固着されており、ギア 152にはギャ 153が嚙合している。ギヤ 153の同軸上にはギヤ 154が固着されており、このギヤ 154にギヤ 155が歯合している。ギヤ 155の回転中心には、ギヤ 155に伝達された駆動力によりギヤ 155と共に回転する駆動軸 156が配設されている。この駆動軸 156 の軸上には、第 1クランプ 6の移動を規制するカム 157、第 2クランプの移動を規制するカム 158及びウェハホルダ 140の移動を規制するカム 159がそれぞれ固設されている。従って、カムモータ 150からの駆動力は駆動軸 156に伝達され、カム 157、 15 8、 159がそれぞれ回転駆動する。

[0042] カム 157の内部には溝 161が形成されており、この溝 161の縁面に係合するベアリング 162が取付部材 163を介して第 1クランプ 6を固定状態で支持する支持台 164 ( 図 1も参照）に接続されている。このため、カム 157の回転によりベアリング 162がカム 157内部の溝 161の縁面に沿って摺動し、第 1クランプ 6が所定の方向（図 3の矢印 A方向）に移動することが可能となる。なお、支持台 164の下方には、支持台 164 (第 1クランプ 6)が安定に移動するように案内するリニアガイド 165が支持台 164の底部に接触状態で配置されている。更に、支持台 164の一端には、この支持台 164を所定の方向に付勢するように圧縮パネ 166が掛架されて、る。

[0043] 一方、カム 158の表面には、この面に係合するベアリング 172が取付部材 173を介して第 2クランプ 7を固定状態で支持する支持台 174に接続されている。このため、力ム 158の回転によりベアリング 172がカム 158の表面に沿って摺動し、第 2クランプ 7 が所定の方向（図 3の矢印 B方向）に移動することが可能となる。なお、本例において、ベアリング 172はカム 158の側面に係合すると共に、ウェハホルダ 140の移動を規制するカム 159と一体的に形成された鍔部 177の表面にも係合可能な構成となっている。つまり、ベアリング 172はカム 158の側面と鍔部 177との間に位置付けられて両者に係合可能、延いては摺動可能な構成を備えているものであり、顎部 177は第 2クランプの移動を規制するカム 158の機能の一部に含まれるものである。カム 158の一部には、後述するように、切欠部 178 (図 25 (C)、（D)参照）が形成されている。なお、支持台 174の下方には、支持台 174 (第 2クランプ 7)が安定して移動するように案内するリニアガイド 175が支持台 174の底部に接触状態で配置されている。更に、支持台 174の一端には、この支持台 174を所定の方向に付勢するように圧縮パネ 176 が掛架されている。

[0044] また、ウェハホルダ 140の底部には、ベアリング 182 (図 4も参照）が取付部材 183 を介して取り付けられており、このベアリング 182がカム 159の回転に伴ってカム 159 の表面形状に沿って摺動することでウェハホルダ 140が所定方向（上下方向）に移動可能に構成されている。すなわち、ウェハホルダ 140に取り付けられた回動支持板 184の突起部 185に形成された穴部 186に貫通するシャフト軸 187を中心として、シャフト軸 187と一体に回動することで、ウェハホルダ 140は上下方向に揺動可能に構成されている。ウェハホルダ 140は上部側には、先端に金属製のコロ 147を有し斜設された突起部 148がー体に形成されており（図 4参照）、コロ 147は支持部材突出部 14 (図 2参照）に当接している。従って、カム 159の表面形状の変化により、ウェハホルダ 140が所定のタイミングで上昇 (揺動）するときに、チューブ押し込み部材 10 (図 2参照）は押し上げられることとなり、突起部 148はチューブ押し込み部材 10を退避位置に案内する。

[0045] 更に、駆動軸 156には、カム 157とギヤ 155との間に切欠き 198が形成された回転盤 197が固設されている（図 6も参照)。回転盤 197の近傍には回転盤 197を跨ぐように位置検出センサとしての透過型センサ 195、 196が配設されている。回転盤 197 に形成された切欠き 198を利用して、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7の位置検出が透過型センサ 195及び 196で行われる。すなわち、回転盤 197は駆動軸 156の回転に伴って所定方向に回転する力透過型センサ 195からの光線が切欠き 198により透過された状態（図 6 (A)参照）のときに第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7の初期位置とされている。つまり、透過型センサ 195は、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7の初期位置検出センサとして使用される。また、透過型センサ 196は、チューブ 8、 9の接合動作が終了したことを検出するセンサとして使用され、接合動作が終了したときに、切欠き 198が透過型センサ 196に対向する位置に位置付けられる（図 6 (B)参照)。

[0046] 図 3に示すように、ウェハホルダ 140の下流側には、使用済みウェハ 41を案内する

(搬送経路を構成する）ガイド 141及び使用済みウェハ 41を収容する廃棄ボックス 1 42が配設されている。チューブ切断動作可能位置に位置付けられたウェハ 41は、チューブ 8、 9の切断及び接合動作後に廃棄ボックス 142に廃棄 (収容)されるが、この廃棄動作も上述したようにウェハ 41の端面同士の押動により行われ、使用済みゥェハ 41はガイド 141に沿って案内され廃棄ボックス 142へと落下収容される。廃棄ボックス 142の側方には、受光素子と発光素子とが離間配置され、廃棄収容された使用済みウェハ 41の満杯状態を検出する透過型のウェハ満杯センサ 143が廃棄ボッタス 142の底部から所定高さの位置に配設されている。

[0047] 図 7—図 9に示すように、チューブ接合装置 1に向力つて右側の第 2クランプ 7の第 2 下顎部 80に対向する側であって係止ローラ 30の下側には、第 2クランプ 7の爪部材 39の先端部 39Aが係止ローラ 30に係止して蓋体 34が開かないようにロックする（チユーブ 8、 9の押圧状態からの開放動作を禁止する)係止部としてのクランプロックソレノイド 400が配置されている。このため、チューブ接合中に蓋体 34が不用意に開き、チューブ 8、 9の固定や第 2クランプ 7による押圧が解除されて、切断や接合が困難となることが防止される。なお、本例では、第 2クランプ 7の長穴 40には第 1クランプ 6のシャフト 19が挿入され、第 1クランプ 6と第 2クランプ 7とが連接されて一体的に動くように構成されているため、クランプロックソレノイド 400のロック機能は、第 2クランプ 7のみならず、第 1クランプ 6にも作用する。

[0048] クランプロックソレノイド 400には、一般的な自己保持型ソレノイドが用いられて!/、る。すなわち、クランプロックソレノイド 400は、固設されたフレーム 401内に図示を省略したコイルを有した電磁石 402、及び永久磁石 403を有しており、それらの内部に、爪部材 39をロック状態に係止するようにフレーム 401から突出する方向（図 8、図 9に示す上方向への突出状態)、及び爪部材 39をロック状態力も開放して蓋体 34が開くことを許容するようにフレーム 401側へ戻る方向（図 7に示す下方向への引っ込み状態）に移動可能なプランジャ 404が挿通されている。プランジャ 404の先端側（図 7— 図 9に示す上側）には一回り大きく拡径された拡径部 405が形成されており、電磁石 402の図示を省略したコイルへの通電（ソレノイドへの励磁）時に、フレーム 401から突出した拡径部 405が爪部材 39の開放動作を禁止するように係止する（図 8、 9参照

) o

[0049] また、プランジャ 404がフレーム 401から突出（上昇）した状態で、図示を省略したコィルへの通電を停止（ソレノイドの消磁）しても、永久磁石 403がプランジャ 404を保持することで、拡径部 405は突出した位置に継続して位置付けられる。なお、後述するように、チューブ 8、 9の接合動作中にチューブ接合装置 1への電源供給が遮断された際にも、永久磁石 403の作用によりプランジャ 404の位置が保持されるので、拡径部 405はその突出した状態を維持する。

[0050] 更に、電磁石 402には、上述した図示を省略したコイルとは別のコイル（不図示）が実装されており、この別のコイルへ通電 (ソレノイドへの励磁)することにより、プランジャ 404はフレーム 401へ戻る方向に移動する。移動直後には別のコイルへの通電は停止されるが（フレーム 401からの突出方向への移動時も同じ。）、プランジャ 404の他端側（図 7—図 9に示す下側）を覆うカバー 406に卷装された圧縮パネ 407の付勢力により、プランジャ 404の拡径部 405がフレーム 401に近接した引っ込み状態を維持する。

[0051] カバー 406にはレバー部材 408が固着されており、プランジャ 404と一体的に移動する。レバー部材 408の端部 409は、固設された透過型のクランプロック検出センサ 410 (保持部ロックセンサ）の光路を遮光する遮光板としての機能を有して、る。すなわち、図 7に示すように、爪部材 39をロック状態から開放して開くことを許容するようにプランジャ 404の拡径部 405がフレーム 401に近接して引っ込んだ状態では、クランプロック検出センサ 410は、レバー部材 408の端部 409により光路が遮光されるので、クランプロックが解除された状態 (爪部材 39が係止ローラ 30からのロック状態から開放可能な状態)であることを検出する。一方、図 8及び図 9に示すように、爪部材 39をロック状態に係止するようにプランジャ 404の拡径部 405がフレーム 401から突出した状態では、クランプロック検出センサ 410は、レバー部材 408の端部 409が光路を遮光せずセンサ光が透過するので、ロック状態 (爪部材 39が係止ローラ 30との係止状態でロックされ開放が禁止されている状態)であることを検出する。 [0052] また、第 2下顎部 80の下側、かつ、クランプロックソレノイド 400の側方には、第 2クランプ 7 (及び第 1クランプ 6)の開閉状態、すなわち、第 2クランプ 7がロック状態にある力、又は、ロック状態力も外れて開いた状態にある力、を検出するクランプ開閉検出部 300が配されている。なお、爪部材 39が係止ローラ 30に嵌合して第 2クランプ 7がロック状態にあるときは、爪部材 39の先端部 39A力クランプ開閉検出部 300のレバ一部材 301の一端側 302を押し込む（図 8及び図 9に示す状態)。

[0053] レノ一部材 301には、その回動中心 303にねじりコイルパネ 304が設けられており、このパネ 304の作用により、レバー部材 301の一端側 302が爪部材 39の先端部 3 9Aの押し込み方向とは反対の方向に移動するように付勢される。レバー部材 301の他端側 305は、固設された透過型のクランプ開閉センサ 306の光路を遮光する遮光板としての機能を有している。図 7に示すクランプ開放時には、レバー部材 301の他端側 305がクランプ開閉センサ 306の光路を遮光することで、クランプ開閉センサ 30 6はクランプが開放された状態 (爪部材 39が係止ローラ 30からのロック状態から開放された状態)であることを検出する。また、図 8及び図 9に示すクランプ閉鎖 (ロック状態）時には、レバー部材 301の他端側 305がクランプ開閉センサ 306の光路を遮光せずにセンサ光が透過されることで、クランプ開閉センサ 306はクランプが閉鎖された状態 (ロック状態)であることを検出する。

[0054] また、図 10—図 12に示すように、チューブ接合装置 1に向かって左側の第 1クランプ 6の下方には、ウェハ 41を検出する透過型の切断部検出センサとしてのウェハ位置検出センサ 421が配置されており、ウェハホルダ 140の第 1クランプ 6側の側方（第 1クランプ 6の下方）には、ウェハホルダ 140と一体的に設けられた遮光板 420が配設されている。駆動伝達機構 200によりウェハホルダ 140が回動（上昇）して、ウェハ 41がチューブ 8、 9を切断可能な位置 (切断位置）に移動したとき、遮光板 420がゥェハ位置検出センサ 421の光路を遮光することで、ウェハ位置検出センサ 421は、ゥェハ 41 (ウェハホルダ 140)が切断位置にあることを検出する（図 12に示す状態)。

[0055] 一方、図 10及び図 11に示すように、駆動伝達機構 200によりウェハホルダ 140が回動（上昇)するように駆動されていないときには、ウェハ 41はチューブ 8、 9を切断できない初期位置 (非切断位置）〖こ位置付けられている。この状態では、遮光板 420 力 Sウェハ位置検出センサ 421の光路を遮光せずセンサ光は透過するので、ウェハ位置検出センサ 421はウェハ 41 (ウェハホルダ 140)を検出することはできず、後述する制御部 190によりウェハ 41はチューブ 8、 9を切断できな!/、初期位置に位置付けられていると判断される。換言すれば、ウェハ位置検出センサ 421は、ウェハ 41 (ゥェハホルダ 140)が下方の初期位置にあることを検出する。

[0056] 更に、チューブ接合装置 1は、装置全体の動作制御を行う制御部 190、オペレータに装置状態を表示する表示部としての LCD表示部 192、商業交流電源力もパルスモータ等のァクチユエータ及び制御部 190を駆動 Z作動可能な直流電源に変換する定電圧電源部等を備えてヽる。

[0057] 図 13に示すように、制御部 190は、中央演算装置として高速クロックで作動する CP U191 (図 3も参照）、チューブ接合装置 1の制御プログラム及び制御データが記憶された ROM、 CPU191のワークエリアとして働く RAM及びこれらを接続する内部バスで構成されている。

[0058] 制御部 190には、外部バスが接続されている。外部バスには、チューブの接合処理状態を記憶するための情報記憶部、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7の開閉状態やロック状態を検出すると共にこれらのクランプをロックするクランプ部、オペレータが切断、接合動作をチューブ接合装置 1に指示するための接合スィッチ 193 (図 3も参照）を含むスィッチ入力部、ウェハホルダ 140を一定温度に保持するためのホルダ温調制御部、図示しな!、排煙ファンモータ及び冷却ファンモータを制御するファンモータ制御部、ウェハカセット 120内のウェア 41の有無や廃棄ボックス 142内の使用済みウェアの満杯状態を検出するセンサ等を有するウェハカセット Z廃棄制御部、チューブ接合装置 1が配置される環境温度 (室温)を監視する動作環境監視部、電極部 14 5、 146間に流れる電流を制御するウェア電流制御部を含むウェア定電力制御部、ウェハ 41の送り動作の制御を行うウェハ送り制御部、ウェハ位置検出センサ 421や駆動軸 156を回転させるカムモータを回転駆動させるモータドライバを有するカム接合動作制御部、及び、 LCD表示部 192の操作や表示を制御する LCDドライバ 507 等を有するメッセージ出力部が接続されている。なお、図 13では、外部バスの記載を省略し制御部 190とこれら各部とが直接接続された状態を示している。 [0059] メッセージ出力部は、 LCD表示部 192、 LCD表示部 192のバックライト及び図示しな、入力操作部を制御する LCDドライバ 507、チューブ接合装置 1のメンテナンス時期を報知する赤色の警告 LED503を点灯させるための LED制御部 502、及び、メンテナンス日が過ぎたときに警告音を発するようにブザー 505を作動させるブザー制御部 504を有している。

[0060] 情報記憶部は、不揮発性メモリとしての EEPROM500と、 3V電源で作動するリアルタイムクロック 501とを有している。 EEPROM500には、チューブ 8、 9の接合処理状態に関する情報 (接合動作中を表す情報又は非接合動作中を表す情報)、ウェハ 41の交換情報 (ウェハ 41の交換済みを表す情報又は未交換を表す情報)、 LCDドライバ 507に接続された図示しない入力操作部を介して任意に設定したチューブ接合装置 1の定期点検や部品交換等のメンテナンスの日付、及び、予め定めたチューブ 8、 9の累積接合動作回数 (チューブ接合装置 1で接合動作を行った累積回数)等が記憶されている。

[0061] クランプ部は、上述したクランプ開閉センサ 306及びクランプロック検出センサ 410 、並びに、クランプロックソレノイド 400の駆動を制御するクランプロックソレノイド制御部 506を有して構成されている。また、スィッチ入力部は、上述した接合スィッチ 193 の他に、チューブ 8、 9の接合動作中に電源供給が遮断された後電源が再投入されたときにチューブ接合装置 1の動作をリセットするためのリセットスィッチ 194及びチューブ接合装置 1の組立時の調整を行うテストモード等への切換設定をするためのデイッブスィッチ 0— 7を有して!/、る。

[0062] (動作）

次に、本実施形態のチューブ接合装置 1の動作について、制御部 190の CPU191 を主体として説明する。なお、制御部 190に図示しないスィッチにより電源が投入されると、 CPU191は、 ROMから制御プログラム及び制御データを読み出して RAM に展開し、図 14に示すように、チューブ 8、 9を切断'接合するチューブ接合ルーチンを実行する。

[0063] このチューブ接合ルーチンでは、まず、ステップ 600〖こお!/、て電源投入処理サブル一チンを実行する。図 15に示すように、電源投入処理サブルーチンでは、ステップ 6 02において、 EEPROM500に記憶された接合処理状態に関する情報 (チューブ接合動作中及び非接合動作中を表す情報のいずれか)を読み出し、接合処理状態に関する情報が接合動作中を表す情報か否かを判断し、肯定判断のときは、次のステップ 604においてクランプロック検出センサ 410がロック状態を検出しているか否かを判断し、ステップ 604での判断が肯定のときには、ステップ 606においてウェハ位置検出センサ 421が切断位置にあるウェハ 41を検出している力否かを判断する。

[0064] CPU191は、電源が投入されたときに、ステップ 602—ステップ 606での判断結果に従って、前回 (電源投入前)のチューブ 8、 9の接合動作中にチューブ接合装置 1 への電源供給が遮断された力否かを正確に判断している。 CPU191は、後述するように、最新のチューブ接合動作の処理状態にっ、て EEPROM500に記憶させてヽる（図 19、ステップ 814、 826参照）。ステップ 602で、 EEPROM500から読み出した最新の接合処理状態に関する情報がチューブ接合動作中であれば、前回のチューブ接合動作中に電源供給が遮断され接合処理が完了して、な、可能性がある (接合処理が完了していれば、 EEPROM500から読み出した接合処理状態に関する情報は非接合動作中を表す情報のはずである。 ) oまた、ステップ 604で、クランプロック検出センサ 410がロック状態を検出しているときは、上述したように自己保持型ソレノイドのクランプロックソレノイド 400の拡径部 405が爪部材 39の開放動作を禁止した状態にあり、前回のチューブ接合動作中に電源供給が遮断された可能性がある (接合処理が完了していれば、クランプロック検出センサ 410はロック状態を検出しないはずである。 ) o更に、ステップ 606で、ウェハ位置検出センサ 421が切断位置にあるウェハ 41を検出しているときは、上述したようにウェハ 41がチューブ 8、 9を切断可能な位置に移動したときであり、前回のチューブ接合動作中に電源供給が遮断された可能性がある（切断動作が完了していれば、ウェハ 41は非切断位置に位置づけられ、ウェハ位置検出センサ 421はウェハ 41を検出しないはずである。 ) o従って、ステツプ 602—ステップ 606は、前回のチューブ接合動作中に電源供給が遮断されたか、を複数の判断から正確な判断を行うものである。

[0065] ステップ 606で肯定判断されたときは、前回のチューブ接合動作中に電源供給が遮断された状態にあるので、ステップ 610において、チューブ接合装置 1によるチューブ接合動作が可能なように通常状態に復帰させる復帰処理サブルーチンを実行する。

[0066] 図 16に示すように、復帰処理サブルーチンでは、まず、ステップ 612でオペレータによりリセットスィッチ 194が押下される (オン状態となる）まで待機する。リセットスイツチ 194が押下されると、次のステップ 614でウェア電流制御部に電極部 145、 146を介してウェハ 41に給電させることでウェハ 41の加熱を開始させ、ステップ 616において所定の加熱時間が経過するまで待機し、所定時間が経過すると、ステップ 618〖こおいて、 EEPROM500に接合処理状態に関する情報としてチューブ接合動作中を表す情報 (例えば、「1」）を記憶させる。

[0067] 次にステップ 620でカムモータ 150を駆動させ、ステップ 622において透過型センサ 196が切欠き 198を検出したか否かを判断し、否定判断のときはカムモータ 150の駆動を続行させ、肯定判断のときはステップ 624でカムモータ 150の駆動を停止させる。次、でステップ 626で EEPROM500に接合処理状態に関する情報をチューブ非接合動作中を表す情報力もチューブ非接合動作中を表す情報 (例えば、「0」）に更新して記憶させ、続いてステップ 628でウェア電流制御部にウェハ 41への給電を停止させることでウェハ 41の加熱を停止させる。

[0068] 次のステップ 630ではウェハ 41が冷却までの所定時間（冷却時間）が経過するまで待機し、冷却時間が経過すると、ステップ 632でクランプロックソレノイド 400のロック状態を解除させる（プランジャ 404を引っ込み状態とする。 ) ₀以上のように、上述したステップ 614— 612では、ウェハ 41を再カ卩熱しウェハ 41に固着したチューブ 8、 9を溶融してチューブ 8、 9の接合を完了させる力チューブ 8、 9の接合強度及び無菌接合を保証できないため、次のステップ 634で、 LCDドライバ 507を介して LCD表示部 192にエラー表示をさせると共に、ブザー制御部 504を作動させブザー 505を発音させることで、オペレータに注意を促す。次にステップ 636において種々の他の初期設定を行って、復帰処理サブルーチン及び電源投入処理サブルーチンを終了し図 1 4のステップ 700へ進む。

[0069] 一方、図 15のステップ 602、 604、 606で否定判断されたときは、ステップ 650において、通常時における初期設定を行うための初期設定処理サブルーチンを実行する。図 17に示すように、初期設定処理サブルーチンでは、ステップ 652で EEPROM5 00から予め設定されたメンテナンスが必要な接合回数を読み出し、ステップ 654で E EPROM500に前回記憶された (ステップ 834参照）累積接合回数を読み出して、次のステップ 656において、メンテナンスが必要な接合回数と累積接合回数とを比較して累積接合回数力 ^sメンテナンスまでの接合回数を越えてヽるカゝ否かを判断する。否定判断のときはステップ 668へ進み、肯定判断のときは次のステップ 658でメンテナンスまでの残りの接合回数を LCD表示部 192に表示させる。

[0070] 次に、ステップ 660で EEPROM500に予め記憶されたメンテナンス日を読み出し、ステップ 662でリアルタイムクロック 501から現在の日付を読み出し、ステップ 664において現在の日付力メンテナンス日を過ぎている力否かを判断する。肯定判断のときはステップ 668へ進み、否定判断のときは次のステップ 666においてメンテナンス日を LCD表示部 192に表示させ、ステップ 670へ進む。

[0071] ステップ 668では、累積接合回数力 Sメンテナンスが必要な接合回数を越えているか、メンテナンス日が過ぎているので、メンテナンスが必要な旨の警告を LCD表示部 1 92に表示させると共に、 LCD制御部 502に対し赤色の警告 LED503を点灯乃至点滅させるように制御する。

[0072] ステップ 670ではチューブ接合装置 1の作動を開始できるまでの参考時間等他のメッセージを表示し、次のステップ 672においてクランプロック検出センサ 410がクランプロックソレノイド 400のロック状態を検出しているか否かを判断する。否定判断のときはステップ 676へ進み、肯定判断のときはステップ 674でクランプロックソレノイド 40 0のロック状態を解除する。ステップ 676では種々の他の初期設定を行って、初期設定処理サブルーチン及び電源投入処理サブルーチンを終了し図 14のステップ 700 へ進む。

[0073] ステップ 700では、ウェハ 41の交換を行うウェハ交換処理サブルーチンが実行される。図 18に示すように、ウェハ交換処理サブルーチンでは、ウェハカセット検出センサ 121がウェハカセット 120を検出している力否かを判断し、否定判断のときは、ゥェハカセット 120が装着されるまで待機し、肯定判断のときは、次のステップ 704において、受光側のウェハ満杯センサ 143の透過が遮断された状態 (廃棄ボックス 142に廃棄 (収容)されたウェハ 41が満杯状態)を検出しているか否かを判断し、肯定判断のときは、ステップ 702へ戻り、否定判断のときは、次のステップ 706において、リセットスイッチ 194が押下されるまで待機する。なお、本例では、図 18には不図示である力ステップ 702— 706で待機する前に、ウェハカセット 120が装着されていないこと、廃棄ボックス 142が満杯であること、リセットスィッチ 194を押下すべきこと、をそれぞれ LCD表示部 192に表示させて待機する。

[0074] ステップ 706でリセットスィッチ 194が押下されたと判断すると、次のステップ 708において、透過型センサ 195が切欠き 198を検出している力、すなわち、カム 157等が初期位置にある力否かを判断し、肯定判断のときはステップ 716へ進み、否定判断のときはステップ 710でカムモータ 150に回転を開始させ、ステップ 712において透過型センサ 195が切欠き 198を検出するまでカムモータ 150の回転を続行させ、切欠き 198を検出すると、ステップ 714においてカムモータ 150の回転を停止させる。

[0075] 次にステップ 716では、 EEPROM500のウェハ 41の交換情報を読み出し、ウェハ 41の交換情報が交換済みを表す情報 (例えば、「1」）か否かを判断し、肯定判断のときはウェハ交換処理サブルーチンを終了し図 14のステップ 800へ進み、否定判断のときは、ステップ 718でウェハ送りモータ 110を駆動させウェハ 41の交換を実行する。

[0076] ステップ 718でのウェハ交換につ!、て詳述すれば、上述したように、ウェハ送りモータ 110の回転駆動により移動するウェハ繰り出し部材 115は、ウェハ繰出開始位置とウェハ繰出終了位置との間をウェハ送りモータ 110の正逆転駆動により往復動する。このとき、 CPU191は、ウェハ送りモータ 110の正転駆動時におけるウェハ繰り出し部材 115のウェハ繰出開始位置力もウェハ繰出終了位置までの間を、ウェハ送りモータ 110の回転駆動に直結して、る回転盤 130の回転量力も透過型センサ 1 31により 1パルス毎ごと検出している。つまり、 CPU191は、ウェハ繰出開始位置に位置付けられたウェハ繰り出し部材 115の被検片 119を透過型センサ 132により検出して、それを基点としてウェハ繰り出し部材 115の移動量を回転盤 130の回転量力も透過型センサ 131により検出することで、ウェハ繰り出し部材 115がどの位置にあるかを把握している。 [0077] CPU191は、ウェハ繰り出し部材 115がウェハ繰出開始位置力もウェハ繰出終了位置方向へ所定量 (本例では 30mm、図 25の二点鎖線で示すウェハ繰り出し部材 1 5参照）以上移動している力否かを判断し、否定判断のときは、ウェハ繰り出し部材 1 15の位置把握を続行する。なお、本例では、ウェハ 41の繰り出しのためのウェハ繰り出し部材 115の移動量は約 55mmに設定されて!、る。

[0078] 肯定判断のときは、予め設定されたパルス数と実際に検出されたパルス数とに所定パルス (例えば、 20パルス）以上の差異が生じた力否力、すなわち、予め設定されたパルス数に比して実際に検出されたパルス数が 20パルス以上少なく検出された否かを判断し、肯定判断ときはウェハ 41の繰出不良と判定してリセットスィッチ 194が押下されるまで待機し、否定判断のときは繰出正常と判定する。

[0079] ウェハ 41の繰出不良と判定すると、ウェハ送りモータ 110の駆動を停止して、 LCD 表示部 192にウェハ繰出不良とウェハの除去を促す表示を行うと共に、カムモータ 1 50を、一連のチューブ接合動作を行うときの正転駆動とは反対に所定量逆転駆動させ、カム 158を所定の位置に位置付けることで、カム 158に形成された切欠部 178をベアリング 172に対向させる（図 25 (C)参照)。これにより、ベアリング 172は切欠部 1 78に進入可能な状態、すなわち、第 2クランプ 7を図 3の矢印 Bの右方向（チューブ接合時の第 2クランプ 7の移動方向とは反対方向への移動が許容される方向）の退避位置への移動が許容される（本例では、約 4mmの移動が許容されている）。このとき、回転盤 197は透過型センサ 195、 196の両者が遮光された状態となる（図 6 (C) 参照)。

[0080] オペレータは、第 2クランプ 7を退避位置へ移動させることで、第 1クランプ 6との間に生じる空間部にアクセスして、ウェハ 41の重送などによる繰出不良を起こしたゥェハを取り除くことができる（図 25 (D)参照)。なお、エラー解除動作を終了した後、リセットスィッチ 194を押下することにより、 CPU191はその信号を取り込み、モータ 110 、 150を駆動して、各種の機構部を初期状態に復帰させる。

[0081] 次のステップ 720では、 EEPROM500のウェハ 41の交換情報を、交換済みを表す情報から未交換を表す情報 (例えば、「0」）に更新して、ウェハ交換処理サブルーチンを終了し図 14のステップ 800へ進む。 [0082] ステップ 800では、チューブ 8、 9を切断、接合するチューブ接合処理サブルーチンを実行する。図 19に示すように、このチューブ接合処理サブルーチンでは、まず、ステツプ 802において、クランプ開閉センサ 306が第 2クランプ 7 (及び長穴 40とシャフト 19とにより連接された第 1クランプ 6)が閉じられた状態にあることを検出している力否力すなわち、爪部材 39が係止ローラ 30に係止している力否かを判断し、否定判断のときは、 LCD表示部 192に溝 22、 23にチューブ 8、 9を装填し第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7を閉じるように促す表示をさせて（図 19では不図示)待機状態を続行する。

[0083] オペレータは、溝 22、 23にチューブ 8、 9を装填し、第 1クランプ 6の蓋体 24及び第 2クランプ 7の蓋体 34を閉じる操作を行う（図 20参照)。第 1クランプ 6の蓋体 24又は第 2クランプ 7の蓋体 34のいずれか一方を閉じると、シャフト 19は長穴 40に挿入されているため、第 1クランプ 6の蓋体 24又は第 2クランプ 7の蓋体 34も連動して略同時に閉じられる。なおも蓋体 24及び蓋体 34の閉じ操作を継続すると、チューブ押し込み部材 10の先端部分 12が最初にチューブ 8、 9に当接して、当接位置の第 1の位置 P1で平行 (並列)状態に載置されたチューブ 8、 9を扁平状態に変形させる（図 21 (A )参照)。この時点で、チューブ 8、 9のチューブ押し込み部材 10により押し込まれた部分に内在して!/、る血液は、図 21 (A)の矢印 c乃至矢印 d方向に排除されるように押し出される。

[0084] 引き続き、蓋体 24及び蓋体 34の閉じ動作を継続して、第 1クランプ 6の係止機構 2 6の爪部材 29の先端部 29Aを係止ローラ 20に係止させると、第 1クランプ 6が、第 1 の位置 P1に隣接する第 2の位置 P2において、チューブ 8、 9を所定の押圧力で扁平状態に押圧保持する。このとき、第 1クランプ 6に接して配置されているチューブ押し込み部材 10も第 1クランプ 6と同様にチューブ 8、 9を殆ど潰し込んだ状態 (殆どチューブ内部に血液がな、状態)で押圧して!/、る（図 21 (B)参照)。

[0085] 図 23 (A)は、溝 22、 23に装填されたチューブ 8、 9に対して第 1クランプ 6の蓋体 2 4が閉じられ、チューブ押し込み部材 10の先端部分 12がチューブ 8、 9を扁平状態に押圧する直前の状態を示している。図 23 (B)に示すように、オペレータにより蓋体 24の閉じ動作が継続されると、チューブ押し込み部材 10の先端部分 12はチューブ 8、 9を扁平状態に押圧する。このとき、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7によるチューブ 8、 9の押圧動作も連動、継続して行われる。

[0086] また、第 2クランプ 7は、第 1クランプ 6の動きに連動するため、第 1クランプ 6の蓋体 2 4を閉じる動作と略同時に第 2クランプ 7の蓋体 34も閉じる動作が行われ、第 2クランプ 7の係止機構 36により爪部材 39の先端部 39Aが係止ローラ 30に係止されると、第 1クランプ 6と同様にチューブ押し込み部材 10に接して配置されている第 2クランプ 7 力第 1の位置 P1に隣接する位置であって、第 1の位置 P1を挟んで第 2の位置 P2に対向する第 3の位置 P3において、チューブ 8、 9を所定の押圧力でチューブ 8、 9を殆ど潰し込んだ状態 (殆どチューブ内部に血液がな!、状態)で扁平状態に押圧保持する。これにより、第 1の位置 P1を挟んで第 2の位置 P2から第 3の位置 P3に至るチューブ 8、 9内、換言すると、チューブ押し込み部材 10を挟んで、第 1クランプ 6により押圧された箇所力第 2クランプ 7により押圧された箇所に相当するチューブ 8、 9内、の血液は殆ど排除された状態となる（図 21 (B)参照)。

[0087] ステップ 802で肯定判断されたときは、次のステップ 804において、接合スィッチ 19 3がオン状態となったカゝ否かを判断し、否定判断のときは、 LCD表示部 192に接合スイッチ 193を押下するように促す表示をさせて（図 19では不図示)待機状態を続行する。ステップ 804で肯定判断されたときは、ステップ 804でクランプロックソレノイド制御部 506にクランプロックソレノイド 400を励磁させる。これにより、プランジャ 404は上方向に突出し拡径部 405は爪部材 39の開放動作を禁止するように係止し、第 2クランプ 7は開放動作が禁止されたロック状態となる。なお、上述したように第 1クランプ 6は第 2クランプに連動するため、第 1クランプも開放動作が禁止されたロック状態となる。図 8、図 11は、それぞれ、この状態での第 2クランプ 7、第 1クランプ 6の状態を示しており、図 25 (A)、図 26 (A)は、カム 158及びカム 157、 159の状態を示している

[0088] 次にステップ 808では、 EEPROM500ウェハ 41の交換情報に関する情報を、交換済みを表す情報から未交換を表す情報に更新する。次のステップ 810では、電極部 145、 146を介してウェハ 41に給電させることでウェハ 41の加熱を開始させ、ステップ 812において、所定の加熱時間が経過するまで待機し、所定時間が経過すると、ステップ 814において、 EEPROM500の接合処理状態に関する情報を、非接合動作中を表す情報力接合動作中を表す情報に更新する。

[0089] 続いて、ステップ 816でカムモータ 150を駆動させ、ステップ 818でウェハ検出センサ 421がウェハ 41 (ウェハホルダ 140)を検出するまで待機し、検出すると、次のステップ 820でウェハ 41が下降しウェハ検出センサ 421がウェハ 41を検出しなくなるまで待機した後、ステップ 822において透過型センサ 196が切欠き 198を検出したか否かを判断し、否定判断のときはカムモータ 150の駆動を続行させ、肯定判断のときは、次のステップ 824でカムモータ 150の駆動を停止させる。

[0090] これらステップ 816—ステップ 824では、チューブ接合装置 1によりチューブ 8、 9の切断、接合が実行されるが、その詳細は次の通りである。カムモータ 150を駆動させることにより、カム 158及びカム 157、 159が所定方向に回転し始める力カム 158は図 25 (A)に示した状態を所定時間維持している。この間、ウェハホルダ 140はカム 1 59の回転により揺動して第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7の間で所定距離上昇する（図 26 (B)参照)。この上昇動作によりコロ 147も上昇し、コロ 147に当接する支持部材突出部 14も上昇する。

[0091] 図 22 (A)に示すように、ウェハホルダ 140の一部を形成し先端に金属製のコロ 147 を有する突起部 148が第 1の位置 P1でチューブ 8、 9を押圧していたチューブ押し込み部材 10の一部を押し上げると共に、ウェハ 41が第 1の位置 P1と第 2の位置 P2との間（第 1クランプ 6と第 2クランプ 7との間）に進出して、ウェハホルダ 140に保持され加熱されたウェハ 41が 2本のチューブ 8、 9を溶断する。このとき、チューブ押し込み部材 10はウェハ 41に対して退避位置に位置付けられた状態となる（図 23 (C)も参照）。図 9及び図 12は、ウェハホルダ 140が上昇（揺動）して、ウェハ 41が所定位置にセットされたチューブ 8、 9を切断する際の状態を示している。一方、カム 157は図 26 (A )に示した状態力も回転するが（図 26 (B)参照）、第 1クランプ 6 (支持台 164)は図 25 (A)に示した第 2クランプ 7 (支持台 174)同様に不動である。

[0092] CPU191は、なおもカムモータ 150の駆動を続行する力ウェハホルダ 140は、図 26 (B)に示す状態を維持しながらも、第 1クランプ 6 (支持台 164)はカム 157の回転により図 26 (C)の左側の図の矢印 a方向（図 3の矢印 Aの上側に向力方向、図 27の矢印 X方向）に所定距離 (8mm)移動する。この時点で切断されたチューブの相対位置が変化して、接合される端部同士が対向することになる。このとき、図 27に示すように、チューブ 8、 9を切断したウェハ 41は、その切断位置に保持されて不動の状態をなしている。この際に、第 1クランプ 6のシャフト 19は、第 2クランプ 7の長穴 40に挿入された状態で、長穴 40内を移動する。

[0093] 続いて、カム 159の回転に伴ってウェハホルダ 140は揺動して下降する力 (図 26 ( C)参照）、チューブ押し込み部材 10は、退避位置に保持された状態を維持する (ステツプ 820)。一方、カム 158に隣接するベアリング 172が顎部 177の形状に沿って摺動することで、第 2クランプ 7 (支持台 174)は図 25 (B)の矢印 b方向（図 3の矢印 B の左側に向力方向、図 22 (C)の矢印 Y方向）に所定距離 (0. 6mm)移動する。これにより、チューブ 8、 9は接合される。このとき、 CPU191は、図 6 (B)に示すように、切欠き 198が透過型センサ 196に対向する位置に位置付けられ、所期の状態 (第 1 クランプ 6と第 2クランプ 7とがずれた状態に位置付けられた状態）を確認して、カムモータ 150の駆動を停止させる（ステップ 822、 824)。

[0094] 次のステップ 826では、チューブ 8、 9の接合動作が終了したので、 EEPROM500 の接合処理状態に関する情報を、接合動作中を表す情報から最新の非接合動作中を表す情報に更新し、次のステップ 828で、ウェア電流制御部にウェハ 41への給電を停止させることでウェハ 41の加熱を停止させ、次のステップ 830でウェハ 41の冷却時間が経過するまで待機し、冷却時間が経過すると、ステップ 832でクランプロックソレノイド制御部 506にクランプロックソレノイド 400を消磁させロック状態を解除させる。そして、ステップ 834では、 EEPROM500に記憶されている累積接合動作回数を読み出して 1インクリメントして、 EEPROM500にインクリメントした後の累積接合動作回数を最新の累積接合動作回数として記憶 (更新)させ、チューブ接合処理サブルーチンを終了して図 4のステップ 700に戻る。これにより、 1回分のチューブ接合ル一チンの実行が完了する。

[0095] オペレータは、接合処理が完了したチューブを装置本体力取り出すために蓋体 2 4の先端側に位置する板片 28を持ち上げて、係止機構 36 (又は 26)による爪部材 3 9の係止ローラ 30に対する係止を解除すると、図 2、図 7及び図 10に示すように、蓋体 34 (又は 24)は開放状態となる。このとき、蓋体 24及び蓋体 34は、相対位置が変化した状態である力シャフト 19が長穴 40に挿入されているため、蓋体 34 (又は 24) を持ち上げると、蓋体 24 (又は 34)も連動して略同時に持ち上げられる。蓋体 24の開放動作に連動して、チューブ押し込み部材 10の係止状態も解除される。

[0096] (作用等）

次に、本実施形態のチューブ接合装置 1の作用等について説明する。

[0097] 本実施形態のチューブ接合装置 1は、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7間に先端部分 12が第 1クランプ 6の圧閉部材 62より若干突出したチューブ押し込み部材 10を配設して、第 1クランプ 6乃至第 2クランプ 7による押圧に先立って、チューブ 8、 9を押圧して押圧箇所でのチューブ内の残存血液を押し出して排除するようにしたので、切断、接合の際にチューブ内に封入された血液の影響を受けずに、チューブ同士を接合することができる。チューブ接合装置 1は、血液が封入されたチューブ 8、 9を溝 22、 2 3、 32、 33内に装填し、蓋体 24、 34を閉じ係止機構 26、 36で係止させるだけで、自動的にチューブ同士の無菌的なウエットウエット (Wet-to-Wet)接合が簡易、一様かつ迅速に行うことができる。このようなチューブ接合装置は、社会的に、とりわけ医療分野においてその実現が求められており、工業的価値は極めて高いものと思われる。

[0098] また、本実施形態のチューブ接合装置 1は、最新のチューブ 8、 9の接合処理状態に関する情報を更新して接合 EEPROM500に記憶しており（ステップ 618、 626、 8 14、 826)、電源投入処理サブルーチンで電源が投入されたときに、 EEPROM500 に記憶した前回の接合処理状態に関する情報、クランプロック検出センサ 410の検出結果、ウェハ位置検出センサ 421のウェハ 41の検出結果、の複数の情報から前回 (電源投入前)のチューブ接合動作中に電源供給が遮断されたカゝ否かを判断し（ステップ 602—ステップ 606)、チューブ接合動作中に電源供給が遮断されたと判断したときに、復帰処理を実行する (ステップ 610)。チューブ接合装置 1は、複数の情報から電源供給の遮断を判断して!/、るので、医療分野で要求される正確性の要請を満たすと共に、自動的に自己復帰を実行するので、医療分野で要求される緊急性の要請も満たすことができる。 [0099] すなわち、本実施形態のチューブ接合装置 1では、 EEPROM500から読み出した接合処理状態に関する情報が非接合動作中 (接合終了）を表す情報であったり、ゥェハ位置検出センサ 421がウェハ 41を検出しなければ (ステップ 602、 606の否定判断時）、仮にクランプロックソレノイド 400の自己保持機能によりロック状態が維持されていても、ロック状態を開放する (ステップ 674)。これにより、オペレータはチューブ 8、 9を取り出すことができる。一方、 EEPROM500から読み出した接合処理状態に関する情報が接合動作中を表す情報であり、且つ、ウエノ、位置検出センサ 421がウェハ 41を検出しているときは（ステップ 602、 606の肯定判断時）、ウェハ 41を再カロ熱してウェハ 41に固着したチューブ 8、 9を溶融し、動作を再開して接合動作を完了させる（ステップ 612— 632)。これにより、オペレータはチューブ 8、 9を取り出すことができる力接合エラーを表示して (ステップ 632)オペレータに注意を促すことで接合強度乃至無菌接合を確保している。従って、本実施形態のチューブ接合装置 1では、従来のチューブ接合装置のように、装置を工場等に戻し初期状態への復帰作業が不要となると共に、オペレータが接合動作中のチューブを無理に取り出そうとして装置の破損を招くことを防止することができる。

[0100] また、本実施形態のチューブ接合装置 1では、クランプロックソレノイド 400に自己保持型のものを用いたので、チューブ接合動作中に電源供給が遮断された場合でも、クランプロックソレノイド 400の拡径部 405は爪部材 39に係合しロック状態から開放されない。更に、クランプロックソレノイド 400によるロック状態を解除するのはウェハ 4 1の冷却時間が経過した後である（ステップ 630、 830)。従って、オペレータはウェハ 41の熱が下がるまで、蓋体 24、 34を開けられないので、オペレータが加熱されたゥェハ 41に触れることもな!/、。

[0101] 更に、本実施形態のチューブ接合装置 1では、ウェハ繰出機構 100により一回毎にウェハ 41を取り換えるので (ステップ 718)、チューブ 8、 9の接合強度乃至無菌接合を確保することができる。一方、 EEPROM500には最新のウェハ 41の交換情報を記憶しており、チューブ接合動作中に電源供給が遮断された場合であっても、カロ熱してヽな、ときにはそのウェハ 41を用いてもチューブ 8、 9の接合強度乃至無菌接合を確保できるので、そのウェハ 41を用いる（ステップ 720でウェハ 41の交換情報がウェハ交換済みに更新されたままとなつており、ステップ 602— 606での判断外となつている。）ことで、復帰動作時のランニングコストの低減を図っている。

[0102] また、本実施形態のチューブ接合装置 1では、 EEPROM500に累積接合動作回数やメンテナンス日等を記憶し、累積接合回数やメンテナンス日の判断を行って LC D表示部 192に表示しているので (ステップ 656、 664)、チューブ 8、 9の接合強度などチューブ接合装置 1に求められる確実性を予め担保することが可能となる。

[0103] また、本実施形態のチューブ接合装置 1では、ウェハ繰出開始位置に位置付けられたウェハ繰り出し部材 115の被検片 119を透過型センサ 132により検出して、その基点からウェハ繰り出し部材 115の移動量を回転盤 130と透過型センサ 131で検出しているので、精度よくウェハ 41の送り量を検出することができる。また、予め設定されたパルス数に対して実際に検出されたパルス数が所定パルス以上のときに繰出不良と判定するので、ウェハ 41の搬送不良の検出精度を高めることができる。

[0104] 更に、本実施形態のチューブ接合装置 1では、ウェハ 41の搬送 (繰出）不良が生じた際に、ベアリング 172が切欠部 178に進入可能な構造を採用したので、オペレータは第 2クランプ 7を退避位置に移動させてウェハ 41の搬送不良を解除することが可能である。従来、この種のエラーが生じた際にも、装置不良として装置を工場へ戻して分解作業を行って繰出不良を起こしたウェハを取り除いていたが、チューブ接合装置 1によれば、オペレータがウェハの繰出不良に基づくエラー解除を容易に行うことができるので、装置の操作性、信頼性を向上させることができる。

[0105] また、本実施形態のチューブ接合装置 1では、透過型センサ 143で廃棄ボックス 14 2の満杯状態を把握してウェハ繰出機構 100を停止させるので、ウェハの自動押進構造を採用しても、ウェハが後続のウェハにより搬送経路上で詰まることが防止可能である。更に、チューブ接合装置 1では、透過型センサ 195により、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7がチューブ 8、 9を互いに平行に保持可能かを判断し、平行でない（初期位置でない)場合に、装置をそのままの状態で動作させず、リセットスィッチ 194 の押下で第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7を適正な初期位置に戻された後動作するので、常に正常な切断及び接合動作を確保することができる。

[0106] また、本実施形態のチューブ接合装置 1では、第 1クランプ 6のシャフト 19を第 2クランプ 7の長穴 40に挿入されているので、第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7が初期位置にある状態 (チューブ装填時)のみならず、これらの相対位置が変化した状態 (チューブ接合処理終了時）においても、第 1クランプ 6の蓋体 24又は第 2クランプ 7の蓋体 3 4のいずれか一方を開閉すると、他方の第 1クランプ 6の蓋体 24又は第 2クランプ 7の蓋体 34も連動して略同時に開閉するので、作業効率を向上させることができる。更に、チューブ接合装置 1では、従来の第 1クランプ 6及び第 2クランプ 7を直接 X、 Y方向に移動する X、 Yテーブル等の移動機構に代えて、カム構造を採用したので、装置自体のサイズを小さくすることができる。

[0107] なお、本実施形態では、クランプロックソレノイド 400を第 2クランプ 7側に配置し、また、ウェハ位置検出センサ 421を第 1クランプ 6側に配置した例を示したが、本発明はこのような配設に限定されるものではなぐクランプロックソレノイド 400を第 1クランプ 7側に配置し、ウェハ位置検出センサ 421を第 2クランプ 6側に配置するようにしてちょい。

[0108] また、本実施形態では、クランプロックソレノイド 400に 2種類のコイルを実装してプランジャ 404を異なる方向へ移動させる際に別々のコイルへ切り替えて通電する構成を例示したが、コイルを共有ィ匕して、コイルの接続をプラス、マイナス逆にして電流方向を変えるようにした構成のクランプロックソレノイドを用いてもょ、。

[0109] 更に、本実施形態では、不揮発性メモリの一例として EEPROM500を例示したが、本発明はこれに制限されず、 EPROM、フラッシュ 'メモリやコアメモリ等の磁気メモリ等を用いるようにしてもよい。また、本実施形態では、 EEPROM500を、外部バスを介して制御部 190の内部バスと接続する例を示したが、本発明はこれに限らず、不揮発性メモリを内部ノスで接続可能に CPU、 ROM, RAMと一体に設けるようにしてちょい。

[0110] 更に、本実施形態では、ウェハ位置検出センサ 421及びウェハホルダ 140に固設された（一体的に設けられた)遮光板 420を用いて、ウェハ 41がチューブ 8、 9を切断する切断位置に位置付けられるようにウェハホルダ 140が回動して上昇した際に、遮光板 420がウェハ位置検出センサ 421の光路を遮光してウェハホルダ 140を検出する例を示した力これとは逆に、ウェハホルダ 140 (ウェハ 41)が下方の初期位置（非切断位置）にあり、遮光板 420によりウェハ位置検出センサ 421の光路を遮光してゥェハホルダ 140を検出する（ウェハホルダ 140が上昇してウェハ 41がチューブ 8、 9 を切断する切断位置に位置付けられたとき、遮光板 420がウエノ、位置検出センサ 42 1の光路を遮光せずに透過することでウェハホルダ 140を検出しない）ように構成して、適宜、関連する判断乃至動作制御を変更するようにしてもよい。

[0111] また更に、本実施形態では、血液が封入されたチューブ同士の接合を例示したが、本発明はこれに限定されず、従来技術で行われている血液が封入されたチューブと空チューブとを接合する場合や血液が封入されてヽな、空チューブ同士を接合する場合など、いずれの用途に用いるようにしてもよい。また、本実施形態では、第 2クランプ 7に長穴 40を形成した例を示したが、これに限らず、第 2クランプの板片 38の下側に凹状部を形成するようにしてもよぐ更に、第 1クランプ 6、第 2クランプ 7に設けたシャフト 19、長穴 40をそれぞれ逆に設けるようにしてもよい。

[0112] また、本実施形態では、血液が封入された 2本のチューブを接合するチューブ接合装置を例示したが、本発明はこれに限らず、 3本以上のチューブを接合するチューブ接合装置や血液以外の液体が封入されたチューブでもチューブ同士を好適に接合するチューブ接合装置への適用が可能である。

[0113] 更に、本実施形態では、ウェハホルダ 140に 2枚のウェハを保持可能な構造を例示したが、本発明がこれに制限されず、 1枚のウェハや 3枚以上のウェハを保持するようにしてもよい。

[0114] また、本実施形態では、圧閉部材 61、 62、 71、 72及びチューブ押し込み部材 10 を鋸刃状としたものを例示した力チューブ 8、 9内の血液を押し出して排除できればよいので、例えば、水平面でチューブ 8、 9を圧閉するものであってもよい。更に、ゥェノ、 41は、自己発熱型のものに限らず、例えば、電熱ヒータのような熱源により切断板を加熱するような構成であってもよ、。

[0115] また更に、本実施形態では、電源投入処理サブルーチン（図 15参照)で、電源が投入されたときに、 EEPROM500に記憶した接合処理状態に関する情報、クランプロック検出センサ 410の検出結果、ウェハ位置検出センサ 421のウェハ 41の検出結果カゝら前回のチューブ接合動作中に電源供給が遮断されたカゝ否かを判断する (ステップ 602—ステップ 606)例を示した力本発明はこれに限定されず、ステップ 602、 604の一方若しくは双方、又は、ステップ 604、 606の一方若しくは双方を欠いたサブルーチンとしてもよい。例えば、ステップ 602を欠く場合には、 EEPROM500は不要となり、ウェハ位置検出センサ 421の検出情報のみで電源供給が遮断されたかを判断することも可能である。また、本実施形態では、電源供給が遮断された典型的な例について説明したが、本発明はこれに限定されず、電源供給が遮断されなくても、チューブ接合装置 1が停止する場合や再稼働できる構成にも適用可能である。

[0116] そして、本実施形態では、チューブ接合装置 1のコストダウンを図るために、チューブ 8、 9の接合処理状態に関する情報やウェハ 41の交換情報を 1ビットとし最新の接合処理状態に関する情報、交換情報を更新することで EEPROM500の記憶容量が小さくてすむものを例示した力本発明はこれに制限されるものではない。例えば、接合処理状態に関する情報や交換情報の記憶領域を定めておき、前の接合処理状態に関する情報や交換情報を削除せず、最新の接合処理状態に関する情報や交換情報に識別可能な情報を付加して順次記憶して、き、識別可能な情報により最新の接合処理状態に関する情報や交換情報を読み出すようにしてもよい。この場合には接合処理状態に関する情報や交換情報の記憶領域が定められているので、古い順にオーバーフローすることになる。

符号の説明

[0117] 1 チューブ接合装置

6 第 1クランプ (保持部）

7 第 2クランプ (保持部）

8、 9 チューブ

41 ウェハ (切断板）

100 ウェハ繰出機構 (切断板搬送部）

132、 133 透過センサ (切断板搬送部検出センサ）

140 ウェハホルダ（切断部）

145 電極部

150 カムモータ (保持部移動ユニットの一部、切断部移動ユニットの一部） 156 駆動軸 (保持部移動ユニットの一部、切断部移動ユニットの一部）

159 カム (切断板移動ユニットの一部）

190 制御部 (制御部の一部）

192 LCD表示部（表示部）

195、 196 透過型センサ (位置検出センサ）

200 駆動伝達機構 (移動手段の一部、切断手段の一部、切断板移動手段の一部）

400 クランプロックソレノイド (係止部）

410 クランプロック検出センサ (保持部ロックセンサ）

421 ウェハ位置検出センサ (切断部検出センサ）

Claims

請求の範囲

[1] 少なくとも 2本の可撓性チューブを保持して扁平状に押圧する保持部と、

前記保持部により保持された扁平状の前記チューブを切断する切断部と、前記切断部に加熱用電力を給電するための電極部と、

前記切断部をチューブ切断位置とチューブ非切断位置との間で移動させる切断部移動ユニットと、

前記切断部移動ユニットにより移動する前記切断部を検出する切断部検出センサと、

切断された前記チューブの位置を相対的に変化させて、接合される端部同士が密着するように前記保持部を移動させる保持部移動ユニットと、

前記電極部への給電、並びに、前記切断部移動ユニット及び前記保持部移動ュニットの動作を制御する制御部と、

を備え、

前記制御部は、停止した後に再稼動したときに、前記切断部検出センサによる前記切断部の検出情報に応じて、復帰動作の必要性を判断することを特徴とするチューブ接合装置。

[2] 前記制御部は、前記チューブの接合処理状態を表す接合処理情報を記憶する不揮発性メモリを有し、

前記制御部は、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が接合動作中を表す情報であり、且つ、前記切断部検出センサが前記チューブ切断位置に移動した前記切断部を検出したときに、前記復帰動作が必要であると判断し、復帰動作を行うように制御する請求項 1に記載のチューブ接合装置。

[3] 前記保持部の少なくとも一部に係止して、前記保持部による前記チューブの押圧状態からの開放動作を禁止する係止部と、

前記係止部による前記保持部に対する係止状態を検出する保持部ロックセンサとを更に備え、

前記制御部は、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が接合動作中を表す情報であり、且つ、前記切断部検出センサが前記チューブ切断位置に移動した前記切断部を検出し、前記保持部ロックセンサが前記係止部に係止された前記保持部を検出したときに、前記復帰動作が必要であると判断し、復帰動作を行うように制御する請求項 2に記載のチューブ接合装置。

[4] 前記保持部の少なくとも一部に係止して、前記保持部による前記チューブの押圧状態からの開放動作を禁止する係止部と、

情報を表示するための表示部とを更に備え、

前記制御部は、前記復帰動作が必要であると判断した場合には、前記電極部への復帰給電、並びに、前記切断部移動ユニット、前記保持部移動ユニット及び前記係止部の復帰動作を制御する共に、前記表示部にエラー表示を行うように制御することを特徴とする請求項 1に記載のチューブ接合装置。

[5] 前記制御部は、前記電極部による前記切断部に対する加熱開始から所定時間経過したときに、前記不揮発性メモリに前記接合処理情報として接合動作中を表す情報を記憶させることを特徴とする請求項 2に記載のチューブ接合装置。

[6] 前記保持部移動ユニットにより移動した前記保持部が前記切断されたチューブの端部同士を密着するための接合完了位置に到達したことを検出する位置検出センサを更に備え、

前記制御部は、前記位置検出センサが前記保持部の接合完了位置への到達を検出したときに、前記不揮発性メモリに前記接合処理情報として非接合動作中を表す情報を記憶させることを特徴とする請求項 2に記載のチューブ接合装置。

[7] 前記切断部は、前記チューブを切断する切断板を有すると共に、前記不揮発性メモリは、前記切断板の交換情報を記憶可能であり、

前記切断板を交換可能に前記切断部に搬送する切断板搬送部を更に備え、前記制御部は、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が非接合動作中を表す情報であり、且つ、前記不揮発性メモリに記憶された前記切断板の交換情報が未交換を表す情報のときに、前記切断板を前記切断部に搬送させるように前記切断板搬送部を制御することを特徴とする請求項 2に記載のチューブ接合装置。

[8] 前記切断板搬送部を検出する切断板搬送部検出センサを更に備え、

前記切断板搬送部は、前記切断板を前記切断部に搬送するように移動可能であり前記制御部は、前記切断板搬送部検出センサが移動した前記切断板搬送部を検出したときに、前記切断板の交換情報として交換済みを表す情報を前記不揮発性メモリに記憶させることを特徴とする請求項 7に記載チューブ接合装置。

[9] 前記保持部の少なくとも一部に係止して、前記保持部による前記チューブの押圧状態からの開放動作を禁止する係止部と、

前記切断部は、前記チューブを切断する切断板を有すると共に、前記不揮発性メモリは、前記切断板の交換情報を記憶可能であり、

前記制御部は、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が非接合動作中を表す情報であり、且つ、前記保持部ロックセンサが前記係止部に係止された前記保持部を検出したときに、前記切断板の交換情報として未交換を表す情報を前記不揮発性メモリに記憶させることを特徴とする請求項 2に記載のチューブ接合装置。

[10] 前記係止部は、永久磁石及びプランジャが内装された自己保持型ソレノイドであることを特徴とする請求項 3に記載のチューブ接合装置。

[11] 少なくとも 2本の可撓性チューブを保持して扁平状に押圧する保持部と、

情報を表示するための表示部と、

を備え、

前記制御部は、前記チューブの接合処理状態を表す接合処理情報を記憶する不揮発性メモリを有し、停止した後に再稼動したときに、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報に応じて、復帰動作の必要性を判断すると共に、前記復帰動作が必要であると判断したときに、前記表示部にエラー表示を行うように制御することを特徴とするチューブ接合装置。

[12] 前記保持部の少なくとも一部に係止して、前記保持部による前記チューブの押圧状態力の開放動作を禁止する係止部を更に備え、

前記制御部は、前記不揮発性メモリに記憶された接合処理情報が接合動作中を表す情報であるときに、前記復帰動作が必要であると判断し、前記電極部への復帰給電、並びに、前記切断部移動ユニット、前記保持部移動ユニット及び前記係止部の復帰動作を制御することを特徴とする請求項 11に記載のチューブ接合装置。