WO2005001949A1 - Piezokeramisches element - Google Patents

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WO2005001949A1
WO2005001949A1 PCT/EP2004/005910 EP2004005910W WO2005001949A1 WO 2005001949 A1 WO2005001949 A1 WO 2005001949A1 EP 2004005910 W EP2004005910 W EP 2004005910W WO 2005001949 A1 WO2005001949 A1 WO 2005001949A1
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WO
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recesses
shaped
strip
dimensioned
piezoceramic
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PCT/EP2004/005910
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English (en)
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Inventor
Michael Hülskemper
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041—Beam type
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    • H—ELECTRICITY
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    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators

Definitions

  • the invention relates to a stripe-shaped multilayer element in the manner of a piezoceramic bimorph, with electrical contacts for applying a signal for deflecting the element from a zero voltage position.
  • Such elements are used, for example, in the area of flexible shaft loudspeakers, in which they are applied to a contact surface of a radiation device, which is usually present in the form of a plate.
  • a radiation device which is usually present in the form of a plate.
  • This plate is excited with the aid of bending vibrations, so that the plate emits acoustic signals.
  • the time course of a deflection of the element is determined with the aid of an electrical control system
  • Output signals deflect the piezoceramic element.
  • a deflection of the strip-shaped element is related to the setting of a desired value for a physical quantity.
  • the object of the invention is to create a strip-shaped multilayer element in the manner of a piezoceramic bimorph that is improved with regard to its properties in environments in which little space is available for accommodating the element.
  • the element has cutouts which are arranged and dimensioned in order to set a desired ratio between a bending stiffness of the element and an element volume.
  • Bending stiffness of the element is reduced in such a way that the desired properties result.
  • the strip-shaped element as an actuator, a desired arrangement and dimensioning of the cut-outs for predetermined dimensions of the strip-shaped element can be used
  • the recesses are arranged and dimensioned such that a maximum element volume results for the desired bending stiffness of the element. This has the advantage that the power transmission that is directly associated with a size of the element volume is optimized. It is essential in each case that the bending stiffness of the element decreases to a greater extent due to the recesses provided than the element volume that is decisive for power transmission.
  • the cutouts are particularly preferably slot-shaped and run essentially transversely to a longitudinal direction of the element. This is based on the fact that the slot shape for the cutouts results in a very small reduction in the element volume, since the volume occupied by the slots is very small. In contrast, the element's bending stiffness is markedly reduced.
  • the slot shape of the cutouts however, other cutout shapes are also conceivable which take into account the fact that element volume is not taken up unnecessarily, which is not very effective for reducing the bending stiffness. It should be emphasized that a meandering shape of the strip-shaped element should also have the desired properties with regard to the ratio of bending stiffness and element volume.
  • the recesses are arranged and dimensioned such that a value for an acoustic path length of the element is greater than the value for a length of the element. Since a standing wave is formed between its ends for a piezoceramic exciter, the recesses then cause an acoustic path length that is increased compared to the length of the element if they run at least partially in opposite directions along the length of the element from its longitudinal sides and overlap in the longitudinal direction.
  • a preferred exemplary embodiment provides that the cutouts along the element are arranged alternately starting from one and the other long side of the element. Experimental investigations by the inventor have shown that, in any case, overlapping cutouts ensure an extended acoustic path length. However, it is also conceivable that the acoustic path length is increased compared to the length of the element when an overlap is not provided.
  • the cutouts are arranged and dimensioned for setting a desired resonance frequency of the element.
  • the person skilled in the art can determine by simple empirical investigations which arrangements and dimensions of the cutouts lead to which resonance frequencies. It will be helpful for this to take into account the acoustic path length of the element defined by the cutouts.
  • Figure 1 a plan view of a strip-shaped multilayer element in the manner of a piezoceramic bimorph, which both as a stimulator for a radiation surface of a Bending shaft loudspeaker can also be used as an actuator.
  • Figure 2 Frequency curves of an amplitude of a force transmission of strip-shaped elements according to the invention in comparison with a strip-shaped element according to the prior art.
  • Figure 3 is a perspective view of a strip-shaped, multilayer element in the manner of a piezoceramic bimorph according to the prior art.
  • FIG. 1 illustrates a strip-shaped, multilayer element in the manner of a piezoceramic bimorph with a predetermined width B, a predetermined length L, a predetermined thickness and electrical contacts K for applying electrical signals which cause the element to deflect from its zero position shown in the figure.
  • the electrical signals can be DC signals.
  • the electrical signals are those which excite desired bending vibrations in a radiation device.
  • the element From the contacts K, the element has a number of slot-shaped recesses A, which extend from the two longitudinal sides of the element and run essentially transversely to the longitudinal extent of the element.
  • the recesses A are alternately in the longitudinal direction of the element from one and the other long side of the Element arranged outgoing. This results in
  • Recesses A take up a very small volume overall, so that the provision of the recesses results in only a small reduction in the element volume compared to a strip-shaped element without recesses.
  • the strip-shaped element shown has a reduced bending stiffness compared to the known strip-shaped element without cutouts, but only a slightly reduced element volume, so that the element mass differs as little as possible from that of a strip-shaped element without cutouts. Because of this, the strip-shaped element according to the invention has the property of enabling satisfactory power transmission.
  • the strip-shaped element is designed in a space-saving manner, it allowing a greater deflection and a lower fundamental frequency compared to the known strip-shaped element.
  • FIG. 2 relates to the application of the strip-shaped element from FIG. 1 as an exciter for a flexible wave loudspeaker which has a radiation device.
  • a force transmitted from the strip-shaped element to a force transducer is plotted as a function of a Excitation frequency of the electrical signals.
  • both ends of the strip-shaped element were articulated and the
  • curve K 1 denotes a frequency curve of the element in the event that it has no cutouts (prior art).
  • the curve K2 denotes one
  • FIG. 3 shows an example known from the prior art for a strip-shaped, multilayer element in the manner of a piezoelectric bimorph with an associated voltage source.
  • the element is composed of three layers, two outer piezoceramic layers 1, 2 and a metal layer 3 arranged between the two piezoceramic layers 1, 2.
  • the element has a length L and a width B, the two piezoceramic layers 1, 2 each have a thickness t.
  • Respective outer sides of the piezoceramic layers 1, 2 provided with the contacts K are surface-covered with an electrode material and, in the present exemplary embodiment, connected to a positive pole of the voltage source.
  • the metal layer 3 serves as a common electrode for both piezoceramic layers 1, 2 and is connected to a negative pole of the voltage source.
  • the metallic, conductive layer can consist of brass and serves as a carrier layer for the two piezoceramic layers 1, 2.
  • an electrical field acts on each of the piezoceramic layers 1, 2, which leads to a change in length of a respective piezoelectric layer 1, 2. It makes sense for the piezoceramic layers 1, 2 to be electrically connected to the
  • the element is held on one side.
  • Such an element can be used to implement the invention, for example, but the recesses described above must be provided in a suitable manner.

Landscapes

  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

Bei einem streifenförmigen, mehrschichtigen Element nach Art eines piezokeramischen Bimorphs Material, mit elektrischen Kontakten (K) zum Anlegen eines Signals zur Auslenkung des Elements aus einer spannungslosen Nulllage, wird die Aufgabe, seine Eigenschaften in Umgebungen, bei denen wenig Raum zur Aufnahme des Elementes zur Verfügung steht, zu verbessern, dadurch gelöst, dass das Element Aussparungen (A) aufweist, die zur Einstellung eines gewünschten Verhältnisses zwischen einer Biegesteifigkeit des Elements und einem Elementvolumen angeordnet und bemessen sind. Die Aussparungen sind vorzugweise schlitzförmig und verlaufen im wesentlichen quer zur Längsrichtung des Elements.

Description

Beschreibung
Piezokeramisches Element
Die Erfindung bezieht sich auf ein streifenför iges mehrschichtiges Element nach Art eines piezokeramischen Bimorphs, mit elektrischen Kontakten zum Anlegen eines Signals zur Auslenkung des Elements aus einer spannungslosen Nulllage.
Solche Elemente werden beispielsweise im Bereich der Biegewellenlautsprecher eingesetzt, bei denen sie auf eine Anlagefläche einer Abstrahleinrichtung aufgebracht sind, die üblicher Weise in Form einer Platte vorliegt. Diese Platte wird mit Hilfe des Elements zu Biegeschwingungen angeregt, so dass die Platte akustische Signale aussendet.
Der zeitliche Verlauf einer Auslenkung des Elements wird mit Hilfe einer elektrischen Steuerung bestimmt, deren
Ausgangssignale das piezokeramische Element auslenken.
Ein anderes Anwendungsgebiet des piezokeramischen Elements bezieht sich auf dasjenige als Stellglied. In diesem Zusammenhang steht eine Auslenkung des streifenformigen Elements in Zusammenhang mit der Einstellung eines gewünschten Werts für eine physikalische Größe.
Bei beiden Anwendungsfällen des streifenformigen Elements besteht Bedarf daran, seine jeweils für den Anwendungsfall wesentlichen Eigenschaften bei möglichst platzsparender
Bauweise des Elements bereit zu stellen. Dies bedeutet für den Anwendungsfall als Anreger für einen
Biegewellenlautsprecher, dass eine möglichst niedrigfrequente Fundamentalfrequenz verwirklicht werden kann, wobei die
Abmessungen des Elementes vorgegebene Werte nicht überschreiten. Im Bereich der Mobiltelephonie gibt es beispielsweise Anforderungen hinsichtlich der Tieftonwiedergabe, die in einschlägigen Standards, wie beispielsweise den 3G/GSM-Spezifikationen, niedergelegt sind.
Im Fall einer Anwendung des streifenformigen Elements als
Stellglied sollen möglichst große Auslenkungen bei möglichst geringen Abmessungen des Elementes gewährleistet werden.
Ausgehend hiervon liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein streifenförmiges mehrschichtiges Element nach Art eines piezokeramischen Bimorphs zu schaffen, dass hinsichtlich seiner Eigenschaften in Umgebungen, bei denen wenig Raum zur Aufnahme des Elementes zur Verfügung steht, verbessert ist.
Diese Aufgabe wird bei dem eingangs genannten streifenformigen Element dadurch gelöst, dass das Element Aussparungen aufweist, die zur Einstellung eines gewünschten Verhältnisses zwischen einer Biegesteifigkeit des Elements und einem Elementvolumen angeordnet und bemessen sind.
Aufgrund der vorgesehenen Aussparungen in dem streifenformigen Element wird es ermöglicht, das Element sowohl platzsparend auszuführen als auch mit den für einen jeweiligen Anwendungsfall erforderlichen Eigenschaften auszustatten. Mit Hilfe der Aussparungen wird die
Biegesteifigkeit des Elements derart herabgesetzt, dass sich die gewünschten Eigenschaften ergeben.
Im Hinblick auf den Anwendungsfall des streifenformigen Elements als Stellglied lässt sich durch geeignete Anordnung und Bemessung der Aussparungen für vorgegebene Abmessungen des streifenformigen Elements eine gewünschte
Biegesteifigkeit (Auslenkung) einstellen. Dafür erforderliche empirische Untersuchungen liegen ohne weiteres im Wissensbereich des Fachmanns. Entsprechendes gilt für den Anwendungsfall des streifenformigen Elements als Anreger für einen Biegewellenlautsprecher. Auch hier besteht eine wesentliche Eigenschaft des streifenformigen Elements darin, eine gewünschte Biegesteifigkeit und eine damit ermöglichte Fundamentalfrequenz einzustellen.
Es ist bevorzugt, dass die Aussparungen derart angeordnet und bemessen sind, dass sich für die gewünschte Biegesteifigkeit des Elements ein maximales Elementvolumen ergibt. Dies hat den Vorteil, dass die Kraftübertragung, die unmittelbar mit einer Größe des Elementvolumens einhergeht, optimiert ist. Wesentlich ist jeweils, dass eine Biegesteifigkeit des Elements aufgrund der vorgesehenen Aussparungen in einem stärkeren Maße abnimmt als das für eine Kraftübertagung maßgebliche Elementvolumen.
Besonders bevorzugt sind die Aussparungen schlitzförmig und verlaufen im wesentlichen quer zu einer Längsrichtung des Elements. Dem liegt zugrunde, dass die Schlitzform für die Aussparungen eine sehr geringe Verminderung des Elementvolumens nach sich zieht, da das eingenommene Volumen der Schlitze sehr klein ist. Demgegenüber wird eine Biegesteifigkeit des Elements merklich vermindert. Alternativ zu der Schlitzform der Aussparungen sind jedoch auch andere Aussparungsformen denkbar, die der Tatsache Rechnung tragen, nicht unnötig Elementvolumen einzunehmen, das für eine Verminderung der Biegesteifigkeit wenig wirksam ist. Es ist hervorzuheben, dass eine Mäanderform des streifenformigen Elements ebenfalls die gewünschten Eigenschaften hinsichtlich des Verhältnisses aus Biegesteifigkeit und Elementvolumen zeigen dürfte.
Insbesondere für den Anwendungsfall des streifenformigen Elements als Anreger für eine Abstrahleinrichtung ist es bevorzugt, dass die Aussparungen derart angeordnet und bemessen sind, dass sich für eine akustische Weglänge des Elements ein größerer Wert als der Wert für eine Länge des Elements ergibt. Da sich für einen piezokeramischen Anreger eine stehende Welle zwischen seinen Enden ausbildet, bewirken die Aussparungen dann eine gegenüber der Länge des Elements vergrößerte akustische Weglänge, wenn sie wenigstens teilweise entlang der Länge des Elements von seinen Längsseiten aus einander entgegengesetzt verlaufen und in Längsrichtung überlappen. Insofern sieht ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel vor, dass die Aussparungen längs des Elements abwechselnd von der einen und der anderen Längsseite des Elements ausgehend angeordnet sind. Experimentelle Untersuchungen des Erfinders haben gezeigt, dass jedenfalls überlappende Aussparungen für eine verlängerte akustische Weglänge sorgen. Es ist jedoch auch denkbar, dass die akustische Weglänge bereits dann gegenüber der Länge des Elements vergrößert wird, wenn ein Überlappen nicht vorgesehen ist.
Ebenfalls besonders für den Anwendungsfall als Biegewellenlautsprecher ist vorzugsweise vorgesehen, dass die Aussparungen zur Einstellung einer gewünschten Resonanzfrequenz des Elementes angeordnet und bemessen sind. Durch einfache empirische Untersuchungen kann der Fachmann feststellen, welche Anordnungen und Bemessungen der Aussparungen zu welchen Resonanzfrequenzen führen. Hilfreich wird hierfür sein, die von den Aussparungen festgelegte akustische Weglänge des Elements zu berücksichtigen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung noch näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1: eine Aufsicht eines streifenformigen mehrschichtigen Elements nach Art eines piezokeramischen Bimorphs, das sowohl als Anreger für eine Abstrahlfläche eines Biegewellenlautsprechers als auch als Stellglied einsetzbar ist.
Figur 2: Frequenzverläufe einer Amplitude einer Kraftübertragung streifenförmiger Elemente nach der Erfindung im Vergleich mit einem streifenformigen Element nach dem Stand der Technik.
Figur 3: eine perspektivische Darstellung eines streifenformigen, mehrschichtigen Elementes nach Art eines piezokeramischen Bimorphs nach dem Stand der Technik.
Figur 1 veranschaulicht ein streifenförmiges, mehrschichtiges Element nach Art eines piezokeramischen Bimorphs mit einer vorgegebenen Breite B, einer vorgegebenen Länge L, einer vorgegebenen Dicke und elektrischen Kontakten K zum Anlegen elektrischer Signale, die eine Auslenkung des Elements aus seiner in der Figur dargestellten Nulllage bewirken. Im Anwendungsfall des Elements für ein Stellglied können die elektrischen Signale Gleichspannungssignale sein. Bei dem Anwendungsfall des Elements als Anreger für einen Biegewellenlautsprecher handelt es sich bei den elektrischen Signalen um solche, die gewünschte Biegeschwingungen in einer Abstrahleinrichtung anregen.
Von den Kontakten K aus weist das Element eine Anzahl schlitzförmiger Aussparungen A auf, die von den beiden Längsseiten des Elements ausgehen und im wesentlichen quer zur Längsausdehnung des Elements verlaufen.
Die Aussparungen A sind in Längsrichtung des Elementes abwechselnd von der einen und der anderen Längsseite des Elementes ausgehend angeordnet. Dabei ergibt sich in
Längsrichtung des Elementes gesehen ein Überlapp der von den beiden Längsseiten ausgehenden Schlitze. Auf diese Weise wird gewährleistet, dass eine von den Kontakten K ausgehende stehende Welle eine akustische Weglänge erfährt, die größer ist als die Länge L des streifenformigen Elements. Die
Aussparungen A nehmen insgesamt ein sehr geringes Volumen ein, so dass sich durch das Vorsehen der Aussparungen nur eine kleine Verminderung des Elementvolumens im Vergleich zu einem streifenformigen Element ohne Aussparungen ergibt.
Das dargestellte streifenförmige Element besitzt gegenüber dem bekannten streifenformigen Element ohne Aussparungen eine verminderte Biegesteifigkeit, jedoch nur ein geringfügig vermindertes Elementvolumen, so dass auch die Elementmasse sich möglichst wenig von derjenigen eines streifenformigen Elementes ohne Aussparungen unterscheidet. Aufgrund dessen hat das streifenförmige Element nach der Erfindung die Eigenschaft, eine zufriedenstellende Kraftübertragung zu ermöglichen.
Das streifenförmige Element ist in platzsparender Weise ausgeführt, wobei es gegenüber dem bekannten streifenformigen Element eine stärkere Auslenkung und eine niedrigere Fundamentalfrequenz ermöglicht.
Die Figur 2 betrifft den Anwendungsfall des streifenformigen Elements von Figur 1 als Anreger für einen Biegewellenlautsprecher, der eine Abstrahleinrichtung aufweist.
Aufgetragen ist eine von dem streifenformigen Element auf einen Kraftaufnehmer übertragene Kraft als Funktion einer Anregungsfrequenz der elektrischen Signale. Bei dem zugrundeliegenden Versuchsaufbau waren beide Enden des streifenformigen Elementes gelenkig gelagert und der
Kraftaufnehmer in Bezug auf das Element mittig angeordnet.
In der Figur 2 bezeichnet die Kurve Kl einen Frequenzverlauf des Elementes für den Fall, dass es keine Aussparungen aufweist (Stand der Technik) . Die Kurve K2 bezeichnet einen
Frequenzverlauf für einen streifenförmiges Element mit drei abwechselnd von den Längsseiten ausgehenden, überlappenden, schlitzförmigen Aussparungen A, während die Kurve K3 einen Frequenzverlauf für ein streifenförmiges Element mit fünf schlitzförmigen Aussparungen veranschaulicht, wie es in der Figur 1 dargestellt ist. Eine Amplitude AM der Kraftübertragung ist jeweils normiert.
Ein Vergleich der Kurven Kl, K2 und K3 miteinander führt zu dem Ergebnis, dass beispielsweise in dem Frequenzbereich unterhalb von 1 kHz ein Maximalwert für die Kraftübertragung zu niedrigen Frequenzen hin verschoben wird. Messungen haben ergeben, dass durch die Einbringung von fünf schlitzförmigen Aussparungen in das streifenförmige Element dessen Fundamentalfrequenz von etwa 1,2 kHz auf ca. 500 Hz gesenkt werden kann. Der Einsatz dieses streifenformigen Elements zur Anregung einer Abstrahlmembran eines Biegewellenlautsprechers gestattet es, eine niedrigste Wiedergabefrequenz gegenüber dem streifenformigen Element nach dem Stand der Technik um eine Oktave zu tieferen Frequenzen hin zu verschieben. Dies ist eine erhebliche Verbesserung der akustischen Eigenschaften. Das streifenförmige Element ermöglicht eine kostengünstige und einfache Verwirklichung dieser Eigenschaften, da die Ausbildung der schlitzförmigen Aussparungen auf mechanischem Wege (Sägen) leicht vonstatten gehen kann.
Außerdem wird angenommen, dass durch die Einbringung der schlitzförmigen Aussparungen die Kraftübertragung im Vergleich zu einem schlitzförmigen Element ohne Aussparungen nicht wesentlich vermindert wird. Es wird vermutet, dass hierfür die geringe Volumenverminderung aufgrund der Schlitzform der Aussparungen verantwortlich ist.
Figur 3 zeigt ein aus dem Stand der Technik bekanntes Beispiel für ein streifenförmiges, mehrschichtiges Element nach Art eines piezoelektrischen Bimorphs mit zugehöriger Spannungsquelle. Das Element ist aus drei Schichten aufgebaut, zwei äußeren piezokeramischen Schichten 1, 2 und einer zwischen den beiden piezokeramischen Schichten 1, 2 angeordneten Metallschicht 3. Das Element weist eine Länge L und eine Breite B auf, die beiden piezokeramischen Schichten 1, 2 haben jeweils eine Dicke t.
Jeweilige mit den Kontakten K versehene Außenseiten der piezokeramischen Schichten 1, 2 sind flächig mit einem Elektrodenmaterial bedeckt und im vorliegendem Ausführungsbeispiel mit einem Pluspol der Spannungsquelle verbunden. Die Metallschicht 3 dient als gemeinsame Elektrode für beide piezokeramischen Schichten 1, 2 und ist mit einem Minuspol der Spannungsquelle verbunden.
Die metallische, leitende Schicht kann aus Messing bestehen und dient als Trägerschicht für die beiden piezokeramischen Schichten 1, 2. Bei Anlegen einer Spannung wirkt auf jede der piezokeramischen Schichten 1, 2 ein elektrisches Feld, welches zu einer Längenänderung einer jeweiligen piezoelektrischen Schicht 1, 2 führt. Sinnvollerweise sind die piezokeramischen Schichten 1, 2 derart elektrisch mit der
Spannungsquelle verbunden, dass ein angelegte Spannung für die eine der beiden piezokeramischen Schichten 1 eine
Verkürzung seiner Länge und für die andere der piezokeramischen Schichten 2 eine Längung bewirkt. Auf diese Weise wird das Element insgesamt durch die angelegte Spannung ausgelenkt (ΔL) .
Das Element ist einseitig gehalten.
Ein solches Element kann zur Ausführung der Erfindung beispielsweise verwendet werden, wobei jedoch die oben beschriebenen Aussparungen in geeigneter Weise vorzusehen sind.

Claims

Patentansprüche
1. Streifenförmiges, mehrschischichtiges Element nach Art eines piezokeramischen Bimorphs, mit elektrischen Kontakten (K) zum Anlegen eines Signals zur Auslenkung des Elements aus einer spannungslosen Nulllage, dadurch gekennzeichnet, dass das Element Aussparungen (A) aufweist, die zur Einstellung eines gewünschten Verhältnisses zwischen einer Biegesteifigkeit des Elements und einem Elementvolumen angeordnet und bemessen sind.
2 . Element nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s die Aussparungen (A) derart angeordnet und bemessen sind, dass sich für die gewünschte Biegesteifigkeit des Elements ein maximales Elementvolumen ergibt.
3. Element nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparungen (A) schlitzförmig sind und im wesentlichen quer zu einer Längsrichtung des Elements verlaufen.
4. Element nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparungen (A) derart angeordnet und bemessen sind, dass sich für eine akustische Weglänge des Elements ein größerer Wert als der Wert für eine Länge des Elements ergibt.
5. Element nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparungen (A) längs des Elements abwechselnd von der einen und der anderen Längsseite des Elements ausgehend angeordnet sind.
6. Element nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeich et, dass die Aussparungen (A) zur Einstellung einer gewünschten Resonanzfrequenz des Elements angeordnet und bemessen sind.
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