DE2520985C3 - Piezoelektrischer Spannungs- und Stromtransformator - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen piezoelektrischen Spannungs- und Stromtransformator mit der Frequenz der Speisequelle mit einem elektromechanischen Resonator aus zwei Platten, die mit dem einen ihrer Enden akustisch miteinander verbunden sind und unter einem spitzen Winkel zueinander liegen, so daß sie eine Stimmgabel bilden, wobei der Resonator wenigstens einen piezoelektrisch aktiven Teil als Erreger mit Elektroden und von diesem ausgehenden Anschlüssen besitzt, welche den Eingang des Transformators darstellen, sowie wenigstens einen piezoelektrischen Teil als Generator mit Elektroden und von diesen ausgehenden Anschlüssen, welche den Ausgang des Transformators darstellen.

Geräte dieser Art dienen zur Strom- oder Spannungswandlung, zur Änderung von Phasenlagen, zur galvanischen Entkopplung von Stromkreisen und dergl.

Geräte des vorstehend genannten Bauprinzips sind aus der DE-AS 18 12 315 oder DE-OS 2131002 bekannt. Hier geht es allerdings nicht um Transformatoren, bei denen die Eingangsleistung unter Wandlung der Spannungs- und Stromgrößen am Ausgang wieder abgenommen wird.

In DE-AS 18 12 315 geht es um die Schaffung eines passiven Schaltelements für Verstärker, Frequenzwandler, Speicher und dergl, d. h. um ein als Filter anzusprechendes Bauelement, und in DE-OS 2! 31 002 geht es um einen mechanischen Oszillator, insbesondere als Stimmgabelzeitgeber für Armbanduhren.

Diese bekannten Ausbildungen wurden bei der

to Verwendung als Transformatoren niedrige Spannungstransformationskoeffizienten, einen niedrigen Wirkungsgrad und einen niedrigen Wert von cosg) aufweisen. Dies hängt damit zusammen, daß im Generatorteil ein ungünstiger Piezokoeffizient verwen-

H det wird und der Generatorteil auch insofern passiv ausgeführt ist, als ein Piezoelement auf eine metallische Platte geklebt wird, die selbst keinen Piezoeffekt aufweist Ein Teil der eingeleiteten Energie erregt longiiudinale Deformationen.

Aus der FR-PS 15 85 158 ist an sich ein piezoelektrischer Transformator bekannt, bei dem jedoch eine Platte mit zwei Abschnitten Verwendung findet, deren einer in Längsrichtung und deren anderer in Dickenrichtung polarisiert ist, wobei diese Abschnitte jedoch in einer Ebene liegen. Diese Ausbildung hat große Abmessungen und ist bestimmt zur Verwendung bei hohen Frequenzen, z. B. in Fernsehempfängern bei 15 625Hz.

Aufgabt der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung

3() eines piezoelektrischen Spannungs- und Stromtransformators, der bei gutem Wirkungsgrad und kleinen Abmessungen insbesondere auch niedrige Frequenzen bei hohen Spannungstransformationskoeffizienten transformiert.

Ausgehend von der eingangs beschriebenen Ausbildung wird zur Lösung dieser Aufgabe erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß der Erreger und der Generator in Gestalt von zwei ein bimorphes Piezoelektrikum bildenden Schichten ausgeführt sind, wobei eines der bimorphen Piezoelektrika polarisiert ist in entgegengesetzten Richtungen längs der Platte, in der es sich befindet, und das andere in Richtung seiner Dicke.

Zur Beeinflussung der Arbeitsfrequenz kann es zweckmäßig sein, an den freien Enden der Platten Massen anzuordnen.

Die Trennung der Platten des elektromechanischen Resonators an der Stelle ihrer akustischen Winkelverbindung kann vorteilhafterweise mittels einer Schicht aus einem Hartstoff erfolgen.

Es kann schließlich zweckmäßig sein, wenn ein Teil mindestens einer der Platten des elektromechanischen Resonators oder mindestens eine ganze Platte des elektromechanischen Resonators aus Metall ausgeführt ist.

Die Erfindung wird nachfolgend durch die Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen weiter erläutert. Es zeigt

Fig. 1 die Ansicht eines piezoelektrischen Transformators;

F i g. 2 den Transformator gemäß F i g. 1 in perspektivischer Darstellung;

F i g. 3 die Lage der Platten des Resonators zueinander;

F i g. 4a eine Masse am Ende einer Platte;

Fig. 4b und 4c jeweils eine Masse am Ende einer Platte mit veränderlichem Trägheitsmoment;

F i g. 5a, b, c, d und e verschiedene Winkelverbindungen der Platten;

F i g. 6 eine akustische Kopplung einer piezoelektrischen Platte mit einer Metallplatte;

F i g. 7a und b zwei mögliche Varianten einer akustischen Kopplung der Platte des Erregers und des Generators mit Hilfe dielektrischer Laschen; s

F i g- 8a und b Beispiele von aus einem bimorphen Piezoelektrikum ausgeführten Platten;

F i g. 9a, b, c und

F i g. 10a, b, c verschiedene Polarisationsarten von aus einem bimorphen Piezoelektrikum ausgeführten Platten mit der Anordnung der Elektroden;

Fig. lla und b verschiedene Varianten der Polarisation und der elektrischen Schaltung der Elektroden von aus einem bimorphen Piezoelektrikum ausgeführten und unter einem Winkel zueinander verbundenen ΐϊ Platten;

Fig. 12 ein piezoelektrischer Transformator im Falle der Erregung von Biegeschwingungen in perspektivischer Darstellung;

Fig. 13a, b und c Beispiele für die Befestigung des Hochspannungsanschlusses an der Stirnseite des Generators.

Der vorgeschlagene piezoelektrische Transformator ist im wesentlichen ein eiektromechanischer Resonator 1, der aus zwei akustisch miteinander unter einem Winkel verbundenen Platten 2 und 3 besteht. Der elektromechanische Resonator 1 befindet sich in einem Gehäuse 4 und ist in diesem mittels Befestigungselementen 5 gehalten. Auf die Oberflächen der Platten 2,3 sind Elektroden 6 aufgebracht, z. B. galvanisch aufgetragen. Die Elektroden 6 sind mit Hilfe von Anschlüsser 7 an Ausgangsklemmen 8 am Gehäuse 4 des Wandlers geschaltet, an die eine fremde Speisequelle bzw. eine Belastung (nicht gezeigt) angeschlossen werden.

Die eine Platte 3 des elektromechanischen Resonators trägt an die Speisequelle angeschlossene Eingangselektroden 6' und stellt einen Schwingungserreger 9 dar, und die andere Platte 2 trägt an die Belastung angeschlossene Ausgangselektroden 6" und stellt einen die mechanischen Schwingungen in elektrische Impulse zurückverwandelnden Generator 10 dar.

Der Erreger 9 und der Generator 10 bilden den piezoelektrisch aktiven Teil des elektromechanischen Resonators 1. Sie können in einer oder zwei verschiedenen Platten und in einer oder verschiedenen Ebenen liegen. Darüber hinaus kann der elektromechanische Resonator 1 einen piezoelektrisch passiven Teil enthalten, in dem keine elektromechanische Energieumwandlung geschieht.

Wenn die zwei Platten 2 und 3 miteinander unter einem Winkel, wie schematisch in F i g. 3 gezeigt, verbunden sind, kommt es bei Erregung des elektromechanischen Resonators 1 zu transversalen Biegeschwingungen. Hierbei sind die ersten Eigenfrequenzen von Längs- und Biegeschwingungen 2- bzw. 6mal kleiner als die erste Eigenfrequenz einer Platte.

Für die Längsschwingungen werden die Eigenfrequenzen durch die Länge der Platte und für die Biegeschwingungen durch das Trägheitsmoment bezüglich der Verbindungsstelle 11 der Platten bestimmt.

Das Trägheitsmoment der Platten bezüglich ihrer Verbindungsstelle 11 kann dadurch erhöht werden, daß, wie in F i g. 4a gezeigt, an eine der Platten, beispielsweise an die Platte 2, eine beispielsweise aus Messing oder Wolfram bestehende Masse 20 angeschlossen wird. Eine leichte und einfache Änderung des Trägheitsmomentes wird möglich bei einem Anschluß der Masse 20 mitteils eines flexiblen Stabes 21 gemäß F i g. 4b. Indem der Stab 21 in die gestrichelt angedeutete Lage abgebogen wird, wird das Trägheitsmoment größer und die Eigenfrequenz niedriger. Zur Scharfabstimmung der Resonanz auf die Nennfrequenz kann gemäß Fig.4c eine Masse 20' verwendet werden, deren Trägheitsmoment durch eine gegenseitige Verschiebung ihrer Teile, beispielsweise durch die Verschiebung einer Schraube 22 geändert wird. Danach wird die Lage der Schraube 22 fixiert.

Die akustische Winkelverbindung der Platten ist auf verschiedenerlei Weise möglich. Vor allem können die Platten 2 und 3 gemäß F i g. 5a und b in Form eines einheitlichen Körpers, beispielsweise durch Ausschneiden aus dem vollen Material, ausgeführt werden. Jedoch kann es herstellungstechnisch vorteilhafter sein, jede Platte 2, 3 getrennt auszuführen und sie dann beispielsweise durch eine Klebeschicht 23 (Fig. 5c) miteinander zusammenzukleben. Dabei wird es auch möglich, den Erreger und den Generator aus verschiedenen Materialien entsprechend den Anforderungen auszuführen, die an sie gestellt werden, und dadurch die Parameter des piezoelektrischen Transformators wesentlich zu verbesrern.

Falls die Stelle 11 der akustischen Kopplung der Platten zur Befestigung des elektromechanischen Resonators 1 dient, wird an dieser Stelle zwischen den Enden der Platten 2 und 3 ein Isolierkörper 24. z. B. aus Hochfrequenzporzelkn, angeordnet. Zur Erhöhung der mechanischen FestigKeit der Verbindung kann ein solcher Isolierkörper 24' (F 1 g. 5e) das Ende jeder Platte 2 und 3 allseitig umschließen. Eine im Isolierkörper 24' ausgeführte öffnung 25 dient zu dessen Befestigung an der Gehäusewand des piezoelektrischen Transformators.

Eine der Platter des piezoelektrisch passiven Teiles des elektromechanischen Resonators 1 kann teilweise aus Metall hergestellt werden. Zur Vereinfachung der Herstellung kann der metallische Teil 26 gemäß F i g. b aus zwei miteinander zusammengeklebten Schichten ausgeführt sein.

Die piezoelektrisch aktiven Teile des elektromechanischen Resonators 1, nämlich Erreger 9 und Generator 10 werden aus einem Piezoelektrikum mit hohem Koeffizienten der elektromechanischen Kopplung, beispielsweise aus Piezokeramik der Zusammensetzung Titanat, Bleizirkonat, hergestellt. Die elektrische Kopplung zwischen dem Erreger 9 und dem Generator 10 wird beseitigt, wenn diese gemäß Fig. 7a oder b um einigen Abstand voneinander entfernt werden. Die akustische Kopplung geschieht mittels dielektrischer Laschen 30 oder eines dielektrischen Einsatzes 31, ausgeführt aus einem Stoff mit niedriger Dielektrizitätskonstante, beispielsweise aus Quarz oder Glas.

Bei der Herstellung des Erregers 9 und des Generators 10 aus polykristallinen Piezoelektrika muß dieses polarisiert sein. Die Polarisationsrichtung entspricht der Richtung des bei der Polarisation wirkenden elektrischen Feldes und ist in F i g. 9 bis 11 durch Pfeile eingezeichnet. Dabei ist auch die Anordnung der Elektroden des Erregers 9 und des Generators 10 gezeigt. Durch Doppelpfeile sind zwei mögliche Polarisationsrichtungen des Materials angedeutet.

Zur Erzielung niedriger Arbeitsfrequenzen muß wenigstens der Generator 10 aus einem bimorphen Piezoelektrikum ausgeführt sein. Ein bimorphes Piezoelektrikum ist eine Platte, die sich aus zwei Schichten 32, 33 (F i g. 8a, b) zusammensetzt, die polarisiert und elektrisch derart geschaltet sind, daß zu jedem

Zeitpunkt die Polarisationsrichtung der einen Schicht 32 mit der Richtung des angelegten elektrischen Feldes zusammenfällt und die der anderen Schicht 33 dem angelegten elektrischen Feld entgegengesetzt ist. Zur Befriedigung dieser Anforderungen wird der Erreger 9 aus zwei in einer Richtung polarisierten und elektrisch parallelgeschalteten Schichten 32, 33 (Fig.9a) ausgeführt. Zur Vergrößerung des Eingangswiderstandes des piezoelektrischen Transformators wird der Erreger 9 aus zwei Schichten 32 und 33 (F i g. 9b) ausgeführt, die entgegengesetzt polarisiert und in Reihe geschaltet sind. Eine noch größere Erhöhung des Eingangswiderstandes des piezoelektrischen Transformators wird durch die Herstellung des Erregers 9 aus zwei längs der Platten entgegengesetzt polarisierten, elektrisch parallelgeschalteten Schichten 32.33 (F i g. 9c) erreicht.

Sind sowohl der Erreger 9 als auch der Generator 10 als bimorphes Piezoelektrikum ausgeführt, so können die Schichten 32, 33 bei Anfachung von Biegeschwingungen im Erreger 9 (Fig. 10a, b) sowohl parallel als auch in Reihe geschaltet werden. Beim Generator IO (Fig. 10a, b und c) werden die zwei in Längsrichtung polarisierten Schichten 32, 33 mittels Elektrodenbrükken 34 auf der Oberfläche der Platte parallelgeschaltet.

Bei piezoelektrischen Transformatoren mit Arbeitsfrequenzen unterhalb von 1 kHz, bei denen gemäß F i g. 11 in jeder der Platten 2 und 3 ein Erreger 9 und ein Generator 10 angeordnet ist, werden die innen- und Außenschichten 32 bzw. 33 der Generatoren 10 längs der Platten 2, 3 und einander entgegengesetzt polarisiert und elektrisch parallel geschaltet. Die Innen- und Außenschichten 32, 33 der Erreger 9 werden elektrisch parallel geschaltet und in einer Richtung polarisiert. Zwischen den Erregern 9 der Platten 2 und 3 ist die Polarisation (Fig. 11a) entgegengesetzt. Bei der Serienschaltung der Erreger 9 werden die Platten 2 und 3 und die Innenschichten 32, beispielsweise entgegen dem Uhrzeigersinn, und die Au3enschichten 33 im Uhrzeigersinn (Fig. lib) polarisiert. Bei einem piezoelektrischen Transformator mit einem hohen Eingangswiderstand werden die Außenschichten 33 (Fig. lic) längs der Platten 2 und 3 in Richtung zu deren Verbindungsstelle 11 und die Innenschichten 32 in Richtung von der Verbindungsstelle 11 weg polarisiert. Es ist auch eine in F i g. 11 nicht gezeigte umgekehrte Polarisation der Schichten 32 und 33 möglich.

Da der elektromechanische Resonator ein Resonanzsystem darstellt, ist es notwendig, diesen vom Gehäuse des Wandlers akustisch zu isolieren. Die Befestigung des elektromechanischen Resonators ist daher nur an den Stellen möglich, wo der Einfluß der Befestigung am geringsten ist.

Bei der Anfachung von Längsschwingungen der ersten Mode im unbefestigten Resonator kommt hierfür die Verbindungsstelle 11 der Platten 2 und 3 (Fig. 3) in Frage. Bei der Anfachung der zweiten Mode der Längsschwingungen erfolgt die Befestigung an der Verbindungsstelle von Erreger und Generator unter der Voraussetzung, daß die Länge von Erreger und Generator einem Viertel der Wellenlänge entspricht.

Für die elektromechanischen Resonatoren, in denen Biegeschwingungen angefacht werden, dient als Befestigungsstelle auch die Verbindungsstelle 11 der Platten 2, 3 (F ι g. 3). Die Befestigung an dieser Stelle kann gemäß Fig. 11 beispielsweise mittels einer Klemmplatte 35 und einer Schraube 36 geschehen

Zur Gewahrleistt^tne (^J mechanischen Stoßiestigkeil bei niederfrequenten pi /(»elektrischen Transformato ren ist die Schwingungsamplitude der Platten des elektromechanischen Resonators 1 durch äußere Anschläge 37 und einen inneren Anschlag 38 begrenzt. Gleichzeitig können die Anschläge 37, 38 zur Span-

^r> nungsstabilisierung am Ausgang des piezoelektrischen Transformators dienen, da die Amplitudenbegrenzung der mechanischen Schwingungen auch eine Begrenzung der Ausgangsspannung zur Folge hat. Durch Verstellung des Anschlags 37, beispielsweise mit Hilfe einer

ίο Schraube 39, kann somit der Wert der stabilisierten Spannung am Ausgang des piezoelektrischen Transformators eingestellt werden.

Zur endgültigen Einstellung der Arbeitsfrequenz des Transformators auch dessen Zusammenbau gibt es im

i^r> oberen Gehäuseteil öffnungen 40 für den Zugang zu den Einstellschrauben 22 der Massen 20.

Bei der Anordnung des elektromechanischen Resonators 1 in einem Metallgehäuse 4 ist es erforderlich, daß der Abstand des Gehäuses 4 vom Generator 10 die Durchschlagsspannung übertrifft. Die Ausgangsklemmen 8 werden mit Hilfe von Isolatoren 41, beispielsweise aus Glas, befestigt.

Eines der Probleme bei der Entwicklung eines piezoelektrischen Hochspannungstransformators ist die

•>^r> Verwirklichung eines elektrischen Anschlusses 7 (Fig. 13a) an der meist an der Stelle der maximalen Schwingungsgeschwindigkeiten gelegenen Hochspannungsausgangselektrode 6" des Generators 10. Zur Verhinderung einer Unterbrechung des meistenteils in

in Form eines ein- oder mehradrigen Leiters ausgeführten Hochspannungsanschlusses 7 sowie zur Beseitigung von Energieverlusten durch Ionisation wird dieser Anschluß mit einer Schicht 42 eines akustisch zähen Dielektrikums, beispielsweise aus Polyäthylen, überzogen. Der

i") Hochspannungsanschluß 7 wird an die Ausgangselektrode 6" des Generators 10 beispielsweise angelötet sowie mit Hilfe eines Metallbügels 43 am Generator 10 befestigt.

Zur Vermeidung von stirnseitigen lonisationsverlu-

■iii sten werden die F.cken des Endes des Generators 10 an der Stelle der Anordnung der Ausgangselektrode 6" abgerundet. Bei Ausgangsspannungen über 1OkV wird die Hochspannungsstirnseite des Generators 10 samt dem Anschluß 7 von einer Dielektrikumschicht 44

·» > (F i g. 13b, c) abgedeckt.

Der Betrieb der beschriebenen piezoelektrischen Transformatoren verläuft wie folgt:

Bei der Zuführung der elektrischen Wechselspannung zu den Klemmen 8 und über die Anschlüsse 7 zu den

'■■ι Elektroden 6 des Erregers 9 ändert dieser seine Abmessungen periodisch aufgrund des umgekehrten Piezoeffektes mit der Frequenz der Speisespannung, infolgedessen werden elastische Längsschwingungen angefacht, die sich längs der Platten 2, 3 fortpflanzen.

^r>i wodurch reflektierte Längswellen erzeugt werden.

Dank der akustischen Kopplung der Platten 2, 3 werden die Schwingungen der Platte 2 praktisch verlustlos auf die Platte 3 übertragen. Indem sie von den freien Enden mehrmals reflektiert werden, bilden sie

^wl eine Reihe von direkten und reflektierten Wellen, die sich überlagern und mechanische stehende Wellen bilden. Die Amplitude der stehenden Welle ist maximal, wenn die Länge der Platten 2, 3 des elektromechanischen Resonators 1 λ/4 oder ein Mehrfaches hiervon ^h · betragt, wobei λ die Wellenlänge ist.

Die stehende Welle bewirkt mechanische Spannungen sowohl im F.rreger 9 als auch im Generator 10 wobei im Generator 10 diese mechanischen Spannun

gen aufgrund des direkten Piezoeffektes in eine elektrische Spannung an den Ausgangselektroden 6" des Generators 10 umgewandelt werden, welche über die Anschlüsse 7 und die Ausgangsklemmen 8 abgenommen werden und einer nicht gezeigten Belastung zugeführt werden können.

Bei der Anfachung von Längsschwingungen hängt die Arbeitsweise von der Lage und Konfiguration der Elektroden 6 nicht ab. Die Anordnung der Elektroden 6 beeinflußt dagegen die Parameter des piezoelektrischen Transformators und in erster Linie den Ein- und Ausgangswiderstand.

Die Anordnung der Platten 2, 3 unter einem Winkel gestattet es, bei denselben Abmessungen die Länge des Generators 10 und folglich auch die Ausgangsspannung um das Zweifache zu erhöhen. So gestattet es ein 110 mm langer Generator, am Ausgang eine Wechselspannung von 12 kV bei einer Leistung an der Belastung von 20 bis 30 W zu erhalten. Wenn der Erreger 9 und der Generator 10 in Form von bimorphen Piezoelektrika (F i g. 9a, b, c; 1 Oa, b und c) ausgeführt sind, ist der Ein- und der Ausgangswiderstand des piezoelektrischen Transformators mit Anfachung von Biegeschwingungen (Fig. 11, 12) mehr als zehnmal höher als bei den piezoelektrischen Wandlern mit der Anfachung von Längswellen (Fig. 1), was auf die niedrige Arbeitsfrequenz zurückzuführen ist.

Die Arbeitsweise des piezoelektrischen Transformators mit Anfachung von Biegeschwingungen (Fig. 12) unterscheidet sich von der Arbeitsweise des piezoelektrischen Transformators mit Anfachung von Längsschwingungen (Fig. 1) dadurch, daß der Erreger 9 die Biegeschwingungen im elektromechanischen Resonator anfacht, was sich durch eine Vereinigung der Anordnung der Elektroden 6, der Polarisation und der elektrischen Schaltung der Elektroden 6 erreichen läßt.

Die Arbeitsfrequenz des piezoelektrischen Transformators mit Anfachung von Biegeschwingungen wird mit Hilfe der Masse 20 geändert. Indem die Lage der Einstellschraube 22 und dadurch das Trägheitsmoment der Platten 2, 3 geändert wird, erfolgt die Abstimmung auf die vorgegebene Frequenz der Speisequelle.

Die Ausführung des elektromechanischen Resonators 1 mit Anfachung von Biegeschwingungen und mit einer Masse 20 gestattet es, den Wandler für die Frequenz von 50 Hz mit einer Länge von lediglich 50 mm auszuführen. Die Spannung am Ausgang dieses Wandlers erreicht 5000 V. Hierbei liegt die aufgenommene Leistung unterhalb von 0,1 W.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentanspruchs:

1. Piezoelektrischer Spannungs- und Stromtransformator mit der Frequenz der Speisequelle mit einem elektromechanischen Resonator aus zwei Platten, die mit dem einen ihrer Enden akustisch miteinander verbunden sind und unter einem spitzen Winkel zueinander liegen, so daß sie eine Stimmgabel bilden, wobei der Resonator wenigstens einen piezoelektrisch aktiven Teil als Erreger mit Elektroden und von diesem ausgehenden Anschlüssen besitzt, welche den Eingang des Transformators darstellen, sowie wenigstens einen piezoelektrischen Teil als Generator mit Elektroden und von diesen ausgehenden Anschlüssen, welche den Ausgang des Transformators darstellen, dadurch gekennzeichnet, daß der Erreger (9) und der Gererator (10) in Gestalt von zwei ein bimorphes Piezoelektrikum bildenden Schichten (32, 33) ausgeführt sind, wobei eines der bimorphen Piezoelektrika polarisiert ist in entgegengesetzten Richtungen längs der Platte, in der es sich befindet, und das andere in Richtung seiner Dicke.

2. Piezoelektrischer Spannungs- und Stromtransformator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an den freien Enden der Platten (2,3) Massen (20 oder 20') angeordnet sind.

3. Piezoelektrischer Spannungs- und Stromtransformator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten (2, 3) des elektromechanischen Resonators an der Stelle ihrer akustischen Winkelverbindung durch eine Schicht (23) aus einem Hartstoff getrennt sind.

4. Piezoelektrischer Spannungs- und Stromtransformator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil (26) mindestens einer der Platten (2, 3) des elektromechanischen Resonators aus Metall ausgeführt ist.

5. Piezoelektrischer Spannungs- und Stromtransformator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Platten (2, 3) des elektromechanischen Resonators aus Metall ausgeführt ist.