WO2004114349A1

WO2004114349A1 - プラズマディスプレイパネルの製造方法

Info

Publication number: WO2004114349A1
Application number: PCT/JP2004/008832
Authority: WO
Inventors: Koji Akiyama; Koji Aoto; Masaaki Yamauchi; Takashi Aoki; Akihiro Matsuda
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2003-06-18
Filing date: 2004-06-17
Publication date: 2004-12-29
Also published as: US20060166585A1; CN100463095C; CN1706021A; KR20050067236A; KR100722612B1; US7288012B2

Abstract

走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも走査電極と維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージング工程において、少なくとも、立上がりタイミングが走査電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期しかつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭い第１のアドレス電極用パルス電圧、または、立上がりタイミングが維持電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期しかつパルス幅が維持電極用パルス電圧より狭い第２のアドレス電極用パルス電圧を、アドレス電極に印加することを特徴とする。

Description

明細書

技術分野法に関するものである。背景技術

プラズマディスプレイパネル（以下、「P D P」と略記する）は、大画面、薄型、かつ軽量であることを特徴とする視認性に優れた表示デバイスである。 P D Pの放電方式としては A C型と D C型とがあり、電極構造としては 3電極面放電型と対向放電型とがある。そして現在は、高精細化に適し、しかも製造の容易なことから A C型かつ面放電型である A C面放電型 P D Pが主流となっている。

A C面放電型 P D Pは、一般に、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルを形成したものである。前面板は、前面側のガラス基板上に表示電極として走査電極と維持電極とを互いに並行に複数対形成し、この表示電極を覆うように誘電体層および保護層を形成したものである。背面板は、背面側ガラスの基板上にアドレス電極を互いに並行に複数形成し、これらを覆うように誘電体層 ― を形成し、そしてこの誘電体層上にアドレス電極と並行に隔壁を複数形成し、そして誘電体層の表面と隔壁の側面とに蛍光体層を形成したものである。そして、表示電極とデ一夕電極とが直交するように前面板と背面板とを対向させて気密に接合する、いわゆる封着を行い、その後、内部の放電空間に放電ガスを封入することで P D Pを構成する。

以上のようにして組み立てた P D Pは、パネルを全面均一に点灯させるために必要な電圧（以下、「動作電圧」と略記する）が高く、放電自体も不安定である。この原因は、 M g Oで形成される保護層の表面に H ₂0、 C 0₂、炭化水素系ガスなどの不純ガスが吸着しているためである。そこで、 P D Pの製造工程ではエージングを行い、これらの吸着ガスをエージング放電によるスパッ夕によって除去することで、動作電圧を低下させると共に、放電特性を均一化かつ安定化させている。

このようなエージングの方法としては、従来より、走査電極と維持電極との間に交番電圧として逆位相の矩形波のパルス電圧を長時間にわたり印加する方法がとられてきた。しかし、エージング時間を短縮するために、例えば、表示電極間に逆位相の矩形波のパルス電圧を印加するとともに、ァドレス電極にも維持電極に印加する電圧波形と同相の波形のパルス電圧を印加して、走査電極と維持電極との間での放電と同時に、走査電極とァドレス電極との間での放電も積極的に発生させる方法（例えば、特開 2 0 0 2— 2 3 1 1 4 1号公報参照）が提案されている。

しかしながら上述のエージング方法によっても、エージングを完了させるまで、すなわち、動作電圧を下げ且つ放電を安定させるまでには 1 0.時間程度必要であつた。このような長時間のエージング工程は、消費電力が膨大となり P D P製造時のランニングコストを増加させると同時に、工場の敷地面積を増大させる、あるいは空調設備などの工場の環境を維持するための設備が増大するなどの要因にもなつている。そしてこのような問題は、今後の P D Pの大画面化、生産量増大に伴って、さらに一層大きくなることは明白である。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、エージング時間を短縮し、電力効率の良いエージングを行うことが可能な P D Pの製造方法を実現することを目的とする。発明の開示

上記課題を解決するため、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも走査電極と維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行ぅェ一ジング工程において、少なくとも、立上がりタイミングが走査電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期しかつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭い第 1のアドレス電極用パルス電圧、または、立上がりタイミングが維持電極用パルス電圧の立上がり夕イミングと同期しかつパルス幅が維持電極用パルス電圧より狭い第 2のアドレス電極用パルス電圧を、ァドレス電極に印加することを特徴とする。図面の簡単な説明

図 1は本発明の実施の形態における P D Pの製造方法を用いて製造される P D Pの構成を示す断面斜視図である。

図 2は本発明の実施の形態におけるエージング工程での P D Pとエージング装置との接続状態を示す図である。

図 3は本発明の実施の形態における P D Pの製造方法のパルス電圧の波形を示す図である。

図 4は比較例におけるパルス電圧の波形を模式的に示す図である。

図 5はエージング工程における放電開始電圧の時間変化を示す図である。

図 6は本発明の実施の形態における P D Pのエージング工程での放電セル内の壁電荷の予想図である。

図 7は比較例におけるエージング工程での放電セル内の壁電荷の予想図である。図 8は本発明の実施の形態における P D Pの製造方法の他のパルス電圧の波形を示す図である。

図 9は本発明の実施の形態における P D Pの製造方法のさらに他のパルス電圧の波形を示す図である。

図 1 0は本発明の実施の形態における P D Pの製造方法に用いるエージング装置から出力されるパルス電圧を示す図である。

図 1 1は本発明の実施の形態におけるエージング工程でのパルス電圧の電圧値の時間変化を示す図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法について、図面を参照しつつ説明する。

(実施の形態）

図 1は、本発明の実施の形態における P D Pの製造方法を用いて製造される P D Pの構成を示す断面斜視図である。

PDP 1の前面板 2は、ガラス等の基板 3上に走査電極 4と維持電極 5とからなる表示電極 6を複数形成し、表示電極 6を覆うように低融点ガラス材料による誘電体層 7を形成し、さらに誘電体層 7上に保護層 8を形成することにより構成している。保護層 8は、プラズマによる損傷から誘電体層 7を保護するために、例えば Mg〇を用いて形成される。なお、走査電極 4および維持電極 5は、それぞれ、放電電極となる透明電極 4 a、 5 a、およびこの透明電極 4 a、 5 aに電気的に接続された、例えば C r一 Cu— C rや Ag等からなるバス電極 4 b、 5 bとから構成されている。

また、背面板 9は、ガラス等の基板 10上に、アドレス電極 1 1を複数形成し、アドレス電極 1 1を覆うように誘電体層 12を形成している。そして誘電体層 1 2上の、隣り合うアドレス電極 11の間の位置には隔壁 13を設けており、誘電体層 12の表面と隔壁 13の側面にかけて、赤（R)、緑（G)、青（B) の各色の蛍光体層 14 R、 14G、 14 Bを設けられている。

そして表示電極 6とアドレス電極 1 1とが直交し、且つ放電空間 15を形成するように、前面板 1と背面板 9とが隔壁 13を挟んで対向して配置されている。そして放電空間 1 5には、放電ガスとして、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうち、少なくとも 1種類の希ガスが 66500 P a (50 OTo r r) 程度の圧力で封入されている。こうして、アドレス電極 1 1と表示電極 6との交差部がそれぞれ隔壁 13によって仕切られて、放電セル 16を形成する。そして、 PDP 1のアドレス電極 1 1および表示電極 6に駆動電圧を印加することによつて放電を発生させ、このとき生じる紫外線が蛍光体層 14 R、 14G、 14Bにより可視光に変換され、画像表示を行う。

このような PDP 1の製造直後は、動作電圧が高く放電自体も不安定である。この原因は、保護層 8である MgO表面に、 H₂〇、 C0₂、炭化水素系ガスなどの不純ガスが吸着しているためである。そこで、エージング放電（以下、「放電」と略記する）によるスパッ夕によってこれらの吸着ガスを除去し、動作電圧を低下させると共に放電特性を均一化かつ安定化させるためにエージング工程を行う。エージング工程では、表示電極 6ゃァドレス電極 1 1に所定のパルス電圧を印加して放電空間 1 5内で放電を発生させる。ここで、パルス電圧の電圧は、パネルを全面点灯させる必要があるので、少なくともその時のパネルの動作電圧以上に設定される。

以下に、本発明の実施の形態による P D Pの製造方法におけるエージング工程について説明する。なお、エージング工程以外の P D P 1の製造工程は、従来の P D Pの製造工程と同様である。

図 2は、本発明の実施の形態におけるエージング工程での P D Pとエージング装置との接続状態を示す図である。エージング時には、それぞれの走査電極 X I 〜X n (図 1の走査電極 4 ) を短絡電極 1 0 1を用いて短絡し、エージング装置 1 0 4に接続されている。それぞれの維持電極 Y l〜Y n (図 1の維持電極 5 ) およびそれぞれのアドレス電極 A 1〜Α η (図 1のアドレス電極 1 1 ) についても同様に短絡電極 1 0 2および 1 0 3を用いて短絡し、エージング装置 1 0 4に接続されている。

図 3は、エージング装置 1 0 4から走査電極 4、維持電極 5およびアドレス電極 1 1に印加する走査電極用パルス電圧、維持電極用パルス電圧、アドレス電極用パルス電圧（以下、それぞれを「パルス電圧」と略記する）の波形を示した図である。走査電極 4と維持電極 5とにはパルス電圧として電圧 V sの台形波あるいは矩形波を繰返し周期 Τで交互に印加する。また、アドレス電極 1 1には、走查電極用パルス電圧の立ち上がりタイミングと同期し、かつ走査電極用パルス電圧よりパルス幅の狭い台形あるいは矩形のパルス電圧、すなわち第 1のアドレス電極用パルス電圧を印加する。したがって、アドレス電極 1 1に印加するパルス電圧の立下がり夕イミングは走査電極 4に印加するパルス電圧の立下りタイミングょりも早くなる。また、維持電極 5にパルス電圧を印加する時にはァドレス電極 1 1にはパルス電圧を印加しないので、アドレス電極 1 1に連続してパルス電圧を印加することはない。さらに、このときのアドレス電極用パルス電圧の電圧は電圧 V sよりも低い電圧 V dに設定した。

なお、アドレス電極 1 1に、維持電極用パルス電圧の立ち上がりタイミングと同期し、かつ維持電極用パルス電圧よりパルス幅の狭い台形あるいは矩形のパルス電圧、すなわち第 2のアドレス電極用パルス電圧を印加しても以下に説明する結果と同様の結果が得られる。

次に、このようなエージング工程によりエージングを行った結果について説明する。なお、以下の説明においては、対角 4 2ィンチ、画素数 1 0 2 8 X 7 6 8 の P D Pを用いてエージングを行った。また、電圧 V sは 3 5 0 V、電圧 V dは 1 0 0 Vでそれぞれ一定とし、走査電極用パルス電圧および維持電極用パルス電圧の繰返し周期 Tは 2 5 sとした。また、比較のために、図 4に示すような、走査電極 4と維持電極 5との両方のパルス電圧に対して、毎回、立上がりは同期させ立下がりは早くしたパルス電圧、すなわち第 1のァドレス電極用パルス電圧と第 2のァドレス電極用パルス電圧とを連続してァドレス電極へ印加した場合についても検討を行った。

図 5は、エージング工程において、放電セル内でエージング放電が発生する最低電圧（以下、「放電開始電圧」と略記する）の時間変化を示す図であり、横軸はエージング時間、縦軸は走査電極 4と維持電極 5との間での放電開始電圧である。図 5には図 3および図 4に示したパルス電圧によるエージングの結果を示している。なお、放電開始電圧が所定の設定電圧以下にまで低下し、かつ安定になった時点がエージング工程の終了であると判断する。図 4に示したパルス電圧によるエージング（図 5の「比較例」）では、 1 2時間経過しても放電開始電圧は下がり切っておらず、また、安定にもなつていないことから、エージングは終了していない。一方、図 3に示したパルス電圧によるエージング（図 5の「本発明」）では、およそ 6時間でエージングが終了する。このように、本発明の実施の形態によればエージング時間の短縮が可能であり、これにより電力効率の良いエージングを行うことが可能である。

本発明の実施の形態における P D Pの製造方法のエージング工程によってエージング時間が短縮できる理由は以下のように考えられる。

図 6 A〜図 6 Fは、図 3に示したパルス電圧を用いてエージングを行ったときの放電セル 1 6内の壁電荷の予想図である。図 6 Aは、周期 Tのエージング放電が終了した直後、言い換えれば次の周期 Tのエージング放電が開始する直前の壁電荷の配置を示しており、走査電極 4側には正の壁電荷、維持電極 5側には負の壁電荷が蓄積し、アドレス電極 1 1側にはわずかに正の壁電荷が蓄積している。維持電極 5は電圧 0 Vに接地された状態で、走査電極 4およびァドレス電極 1 1には同期したパルス電圧が印加される。パルス電圧の電圧が上昇する過程で、図 6 A中に矢印 Aで示すように、維持電極 5側の電子がアドレス電極 1 1の正の電荷および正の電位に引き寄せられ弱い放電が発生じる。維持電極側電子は正ィオンより軽く、また M g O保護層は 2次電子放出係数が大きく電子が飛び出し易いこともこの弱い放電を生じる理由と考えられる。この弱い放電が引き金となつて走査電極 4と維持電極 5との間の距離の近い領域で強い放電が発生し、矢印 B で示すように正イオンと電子とが互いに逆の方向に移動する。その結果、図 6 B に示すように、放電の発生した領域で壁電荷の極性が反転する。更に印加電圧を上昇させ、走査電極 4の電圧値が V s、アドレス電極 1 1の電圧値が V dに至ると、最初の放電で発生した荷電粒子、励起原子、励起分子、ラジカルなどの粒子 (以下、「プライミング粒子」と略記する）が引き金となって、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の遠い領域で強い放電が発生し、矢印 Cで示すように電子と正イオンとが互いに逆の方向に移動する。そして、図 6 Cに示すように、走査電極 4、維持電極 5上の壁電荷が反転し、走査電極 4上には負の壁電荷、維持電極 5上には正の壁電荷が蓄積する。また、ァドレス電極 1 1に電圧 V dが印加されているため、ァドレス電極 1 1上にはわずかに負の壁電荷が蓄積する。

つぎにアドレス電極 1 1の印加電圧を V dから 0 Vに減少させるが、蛍光体の 2次電子放出係数は小さく M g〇に比べて電子が飛び出しにくいため、蛍光体表面の電子が維持電極 5側に移動し難く弱い放電は生じにくい。そしてアドレス電極の印加電圧が 0 Vになった後、走査電極 4の印加電圧を V sから 0 Vに減少させる。このときは、アドレス電極 1 1側に蓄積した負の壁電荷によって走査電極 4とアドレス電極 1 1との間の電界が弱められるため弱い放電は生じ難く、走査電極 4一維持電極 5間の放電には至らない。なお、アドレス電極用パルス電圧が立下がつた後に走査電極用パルス電圧が立下がるのは、立上がり夕イミングが走査電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期し、かつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭くなるように、アドレス電極用パルス電圧を設定しているからである。

次に図 6 Dに示すように、走査電極 4およびアドレス電極 1 1を 0 Vとし、維持電極 5に電圧 V sのパルス電圧を印加すると、矢印 Dで示すように、ァドレス電極 1 1上の電子が維持電極 5側に引き寄せられ弱い放電が生じる。この放電が引き金となって走査電極 4と維持電極 5との間の距離の近い領域で強い放電が発生し、矢印 Eで示すように正イオンと電子とが互いに逆の方向に移動する。その結果、図 6 Eに示すように、放電の発生した領域で壁電荷の極性が反転する。更に維持電極 5への印加電圧を上昇させ、電圧値が V sに至ると、プライミング粒子の影響を受けて、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の遠い領域でも強い放電が発生し、矢印 Fで示すように電子と正イオンとが互いに逆の方向に移動する。維持電極 5の電圧値が V sに到達して放電が終了した状態では維持電極 5に対してアドレス電極 1 1は陰極になるため、図 6 Fに示すように、アドレス電極 1 1 上には正の壁電荷が蓄積している。また、走査電極 4上には正の壁電荷、維持電極 5上には負の壁電荷が蓄積している。

つぎに維持電極 5の電圧値を V sから 0 Vに減少させると、 M g O保護層の 2 次電子放出係数が大きいため、維持電極側にたまった電子がァドレス電極側にたまった正電荷に引き寄せられて維持電極 5とアドレス電極 1 1間で弱い放電が生じ、走査電極 4一維持電極 5間の放電に至る。続けて図 6 Aに示すように走査電極 4の電圧値を V sに増加させると同時にァドレス電極の電圧値を V dに増加させる。その後、図 6 B、図 6 C、 · · ·となり、上記の動作を繰返す。以上の説明では、便宜上、図 6 Aにおいて、ァドレス電極にパルス電圧 V dが印加された後、維持電極—アドレス電極間の弱い放電が生じるとしたが、正しくは図 6 Aの前の状態、すなわち図 6 Fの時点において弱い放電は生じている。

図 7 A〜図 7 Fは、図 4に示した比較例の場合のパルス電圧を用いてエージングを行ったときの放電セル 1 6内での各電極の壁電荷の動きを予想した図である。図 7 Aは周期 Tのエージング放電が終了した直後、言い換えれば次の周期 Tのェ一ジング放電が開始する直前の壁電荷の配置を示し、走査電極 4側には正の壁電荷、維持電極 5側には負の壁電荷が蓄積し、アドレス電極 1 1側にはエージング放電時に V dの電圧を印加したために負の壁電荷が蓄積している。

維持電極 5を電圧 0 Vに接地した状態で、走査電極 4およびアドレス電極 1 1 に、同期したパルス電圧を印加する。このとき、アドレス電極 1 1上の負の壁電荷がァドレス電極 1 1と維持電極 5との間の電界を緩和するので、図 6 Aに矢印 Aで示したようなアドレス電極 1 1と維持電極 5との間での弱い放電は図 7 Aでは発生しない。そして、走査電極 4と維持電極 5との間の電位差が大きくなつて初めて、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の近い領域で強い放電が発生し、矢印 B ' で示すような電荷の移動が起こる。その結果、図 7 Bに示すように、放電の発生した領域で壁電荷の極性が反転する。更に印加電圧を上昇させ、走査電極 4の電圧値が V s、アドレス電極 1 1の電圧値が V dに至ると、矢印 C ' で示すように、最初の放電で発生したプライミング粒子が引き金となって、走査電極 4と瘫持電極 5との間の距離の遠い領域で強い放電が発生しょうとするが、ァドレス電極 1 1上の負の壁電荷が電子の移動を妨げ、この強い放電を妨げるように作用する。そのため、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の、より遠い領域まで放電が広がらず、走査電極 4および維持電極 5上の壁電荷は図 7 Cに示すように一部をのこして反転する。

次に走査電極 4が 0 Vに接地された状態で、維持電極 5に電圧 V sのパルス電圧を、ァドレス電極 1 1に電圧 V dのパルス電圧を印加すると、図 7 Aにおいて、走査電極 4と維持電極 5とを入れ替えたものと同様の動作を行う。すなわち、ァドレス電極 1 1上の負の壁電荷がアドレス電極 1 1と走査電極 4との間の電界を緩和し、アドレス電極 1 1と走査電極 4との間での弱い放電は発生しない。そして、走査電極 4と維持電極 5との間の電位差が大きくなつてから、図 7 Dに示すように、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の近い領域で強い放電が発生し電荷の移動が起こる。さらに印加電圧を上昇させ、維持電極 5の電圧値が V s、ァドレス電極 1 1の電圧値が V dに至ると、図 7 Eに示すように、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の遠い領域で強い放電が発生しょうとする。しかし、アドレス電極 1 1上の負の壁電荷がこの強い放電を妨げるので、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の、より遠い領域まで放電が広がらず、走査電極 4および維持電極 5上の壁電荷は図 7 Fに示すように一部をのこして反転する。

エージングは、走査電極 4および維持電極 5上の保護層 8表面に吸着した不純ガスを放電によるスパッ夕で除去し、放電セル 1 6の放電開始電圧を低減するとともに放電を安定させることを目的として行うものである。この観点で図 6および図 7を比べてみると、図 6に示したように実施の形態においては、走査電極 4 および維持電極 5上での電荷の移動が放電セル内の広い領域にわたり均一に行われていると考えられる。しかし、図 7に示した比較例の場合では、走査電極 4と維持電極 5との間の距離の遠い領域では十分な電荷の移動が行われていないと考えられる。すなわち、本発明の実施の形態によれば、走査電極 4および維持電極 5上の保護層 8の表面が、比較例に比べ均一性良くスパッ夕され、その結果、比較例に比べてエージング時間を短くすることが可能になるものと考えられる。また、蛍光体層表面 1 4 R、 1 4 G、 1 4 Bには排気工程で取りきれない H ₂ Oや c o ₂、炭化水素ガスなどの不純物ガスが吸着しており、これらの吸着ガスをスパッ夕で叩き出しておかないと、使用中に徐々にこれらのガスが放電空間に放出されて M g〇表面に吸着し、 »J作電圧を不安定にする。本発明の実施の形態においては図 6 A〜図 6 Fで示すように蛍光体層表面 1 4 R、 1 4 G、 1 4 Bの壁電荷が正と負に交互に変化している。そして壁電荷の極性が負から正へ変わる時に蛍光体層表面 1 4 R、 1 4 G、 1 4 Bが正イオンにより叩かれ、蛍光体層表面に吸着している不純物ガスが効率よく叩き出されていることも動作電圧が速やかに安定させる要因のひとつである。一方、比較例の場合は図 7 A〜図 7 Fに示すように常に蛍光体層 1 4 R、 1 4 G、 1 4 Bは負に帯電しており電荷の移動がない。そのため正イオンが蛍光体層を叩く機会が少なく動作電圧が安定するまでに時間を要すると考えられる。

このようにエージング工程では、走査電極 4および維持電極 5にパルス電圧を印加し、アドレス電極 1 1にもパルス電圧を印加するエージング放電（図 6 A、図 6 B、図 6 Cに対応）と、アドレス電極 1 1にはパルス電圧を印加しないェ一ジング放電 (図 6 D、図 6 E、図 6 F ) とを交互に繰り返すことが重要である。これによつて、保護層 8の M g 0表面を均一にスパッタするとともに蛍光体表面をイオンが叩き、保護層 8の表面および蛍光体表面に吸着されている不純ガスを除去することができ、効率の良いエージングを実施できる。

ここで、パルス電圧の波形としては、走査電極 4には走査電極用パルス電圧、維持電極には維持電極用パルス電圧を交互に印加し、アドレス電極 1 1にァドレス電極用パルス電圧を印加しないエージング放電と、ァドレス電極用パルス電圧を印加するエージング放電とを繰り返す、すなわち第 1のァドレス電極用パルス電圧のァドレス電極への印加を休止する場合、または第 2のァドレス電極用パルス電圧のァドレス電極への印加を休止する場合が存在すれば、図 3に示した波形以外の波形であってもよい。上述したように、立上がりタイミングが走査電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期し、かつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭い第 1のアドレス電極用パルス電圧をアドレス電極に印加してもよい。また、立上がりタイミングが維持電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期し、かつパルス幅が維持電極用パルス電圧より狭い第 2のァドレス電極用パルス電圧をアドレス電極に印加する方法でもよい。さらにまた、第 1のアドレス電極用パルス電圧と第 2のァドレス電極用パルス電圧とをァドレス電極に印加する場合には、少なくとも、第 1のアドレス電極用パルス電圧を 3回以上連続しないようにァドレス電極に印加する、または第 2のブドレス電極用パルス電圧を 3回以上連続しないようにァドレス電極に印加することによっても実現することができる。

図 8は本発明の他の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程の他のパルス電圧の波形を示す図である。図 8 ( a ) は、走査電極 4に印加するパルス電圧の立ち上がりに同期させてァドレス電極 1 1にパルス電圧を印加させる場合と、維持電極 5に印加するパルス電圧の立ち上がりに同期させてアドレス電極 1 1にパルス電圧を印加させる場合とを交互に繰り返し、かつ、アドレス電極にパルス電圧を加えない期間を 2回連続して設けた例である。すなわち、アドレス電極に、第 1のアドレス電極用パルス電圧と第 2 のァドレス電極用パルス電圧とを連続させずに交互に印加した例である。また、図 8 ( b ) は、アドレス電極 1 1にパルス電圧を印加させる期間を 2回連続し、ァドレス電極にパルス電圧を加えない期間を 1回設けた例である。すなわち、ァドレス電極に、第 1のアドレス電極用パルス電圧と第 2のアドレス電極用パルス電圧とを 3回以上連続させずに交互に印加した例である。さらに、図 8 ( c )は、アドレス電極 1 1にパルス電圧を印加させる期間を 2回連続し、アドレス電極にパルス電圧を加えない期間も 2回連続して設けた例である。このようなパルス電圧の波形であつても上記と同様の効果が得られる。なお、アドレス電極にパルス電圧を連続して印加する場合は、 2 0回以下とすることが好ましく、これ以上連続させると上述した効果は小さくなる。また、ァドレス電極にパルス電圧を印加しないタイミングも 2 0回以下とすることが好ましく、これ以上長くなると、やはり上述した効果は小さくなる。。

また、アドレス電極用パルス電圧の形状は、立ち上がりのタイミングでは走査電極用パルス電圧または維持電極用パルス電圧の立上がりタイミングに同期させ、走査電極用パルス電圧または維持電極用パルス電圧が立ち下がる前に立ち下げるものである。

また、アドレス電極用パルス電圧の電圧値 V dの大きさは、上限としては走査電極 4と維持電極 5との間の放電に影響を与えないよう、走査電極および維持電極用パルス電圧の電圧値 V sを越えないように設定することが好ましい。一方、下限としては維持電極 5とァドレス電極 1 1間で少なくとも弱い放電を生じさせる電圧である。この電圧は、図 6 Aのように各電極には電荷がたまっているため、放電開始電圧の半分程度である。尚、放電開始電圧は P D P放電セルの形状に依存し、典型的な P D Pでは、電圧値 V dの大きさは 5 0 V〜l 5 0 Vの範囲である。

また、アドレス電極 1 1は、パルス電圧を加えない時は接地状態としたが、例えば図 9に示すように、負の電圧 V d—を印加すると、図 6 Dに示す状態において、維持電極 5とアドレス電極 1 1との間での弱い放電が生じやすくなり、且つ、放電後、より多くの正の電荷がアドレス電極 1 1側に蓄えられ、図 6 Aに示す状態での維持電極 5とアドレス電極 1 1との間での弱い放電が生じやすくなるため、より好ましい。但し、走査電極 4と維持電極 5との間の放電に影響を与えないようにするため、 V d +と I V d— I との和が、 V sを越えないように設定する必要がある。

また、図 2において、エージング装置 1 0 4と P D P 1との間の配線を極力短くすることで、配線のインダクタンスをできる限り小さくした場合には、図 3に示したパルス電圧の波形がほぼそのままの形で P D P 1に印加される。しかし、エージング装置 1 0 4と P D P 1との間にインダクタを挿入した場合、あるいは配線長が長く配線の浮遊ィンダク夕ンスが大きい場合には、 P D P 1の静電容量との共振によってパルス電] £にリンギングが重畳される。図 1 0 Aは、ェ一ジング装置 1 0 4から出力される走査電極用パルス電圧を示し、図 1 0 Bはェ一ジング装置 1 0 4から出力される維持電極用パルス電圧を示している。また、図 1 0 Cは走査電極 X I〜X nを短絡する短絡電極 1 0 1におけるリンギングが重畳された走査電極用パルス電圧を示し、図 1 0 Dは維持電極 Y l〜Y nを短絡する短絡電極 1 0 2におけるリンギングが重畳された維持電極用パルス電圧を示す。このように、エージング電圧の波形にリンギングが重畳している場合には、エージング電圧のピーク電圧が V sを遙かに越えるので、エージング装置 1 0 4の出力端におけるパルス電圧の電圧 iiiv sは小さく設定することができる。また、この場合、アドレス電極に印加されるパルス電圧にもリンギングが重畳するが、走査電極あるいは維持電極の電圧波形のパルス電圧に重畳されたリンギングの立ち上がりに同期させてァドレス電極のパルス電圧のリンギングを立ち上げ、走查電極あるいは維持電極用パルス電圧の最初のリンギングの谷に合わせてァドレス電極の電圧波形が立ち下がるようにすれば、ァドレス電極にパルス電圧を印加する効果は上記の矩形波の場合と同様に得られる。

また、本発明によれば、アドレス電極 1 1にパルス電圧を印加することにより、維持電極 5あるいは走査電極 4とアドレス電極 1 1との間で弱い放電を発生させ、そして維持電極 5と走査電極 4との間で強い放電を生じさせている。すなわち、弱い放電を種火として、維持電極 5と走査電極 4との間で強い放電を生じさせるため、小さいパルス電圧 V sでのエージング放電を可能にしている。これに対し、従来のエージング手法においては、アドレス電極 1 1は接地した状態で走査電極 4と維持電極 5との間にパルス電圧を印加する方式であり、この場合、常にアドレス電極 1 1側には正の電荷が蓄積された状態となるため、 V sを下げる効果はない。そして V sが高いと、エージングに必要な消費電力が増大するだけでなく、 P D P 1内部で絶縁破壊が生じやすくなるという問題もあり好ましくない。

また、上記構成においては、走査電極 4および維持電極 5へ印加するパルス電圧 V s、 V dの電圧値は一定としたが、図 1 1に一例として示すように、パルス電圧 V s、パルス電圧 V dの一方または両方の電圧値を、エージングの進行による放電開始電圧の低下に応じて減少させるとエージング電力を低減できるので、より好ましい。ここで、図 11Aは、連続的に電圧を変化させた場合の一例であり、変化のさせ方は直線的であってもよい。また図 11 Bはエージング開始後、所定の時間は一定値とし、その後電圧値を減少させた例である。減少のさせ方は階段状でも良く徐々に電圧を下げる形であつても良い。電圧の変化のさせ方は、エージング時の動作電圧の変化に応じて、プロファイルを決定すればよい。ここで、放電開始電圧よりも大きな印加電圧 V sが印加されると P D P 1内部での絶縁破壌が発生しやすくなるので、放電開始電圧の減少に合わせて Vsを下げるのが好ましい。

上記実施の形態では周波数を 40 kHzとしたが、数 kHz〜100 kHzの範囲で使用可能である。そしてパルス電圧の電圧値 V s、 Vdも、 PDP 1の構造に合わせて最適な値に設定すればよい。

本発明によれば、エージング時間を短縮し、電力効率の良いエージングを行うことが可能な P D Pの製造方法を実現することが可能となる。産業上の利用可能性

以上述べたように本発明によれば、エージング時間を短縮し、電力効率の良いエージングを行うことが可能な P D Pの製造方法を実現することが可能となる。

Claims

請求の範囲

1 . 走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも前記走査電極と前記維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージングェ程において、少なくとも、立上がりタイミングが前記走査電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期し、かつパルス幅が前記走査電極用パルス電圧より狭い第 1のアドレス電極用パルス電圧、または、立上がりタイミングが前記維持電極用パルス電圧の立上がりタイミングと同期し、かつパルス幅が前記維持電極用パルス電圧より狭い第 2のアドレス電極用パルス電圧を、前記アドレス電極に印加することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 . 前記第 1のアドレス電極用パルス電圧の前記ァドレス電極への印加を休止する場合、または前記第 2のアドレス電極用パルス電圧の前記ァドレス電極への印加を休止する場合が存在することを特徴とする請求項 1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

3 . 少なくとも、前記第 1のアドレス電極用パルス電圧を 3回以上連続しないように前記ァドレス電極に印加する、または前記第 2のァドレス電極用パルス電圧を 3回以上連続しないように前記ァドレス電極に印加することを特徴とする請求項 2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

4. 前記第 1のアドレス電極用パルス電圧および前記第 2のアドレス電極用パルス電圧の電圧値は、前記走査電極用パルス電圧の電圧値および前記維持電極用パルス電圧の電圧値を越えないことを特徴とする請求項 1から請求項 3のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

5 . 前記エージング工程において、少なくとも、前記走査電極用パルス電圧、前記維持電極用パルス電圧、前記アドレス電極用パルス電圧のいずれかの電圧値を時間とともに減少させることを特徴とする請求項 1から請求項 3のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

6 . 走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも前記走査電極と前記維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージングェ程において、前記走査電極と前記ァドレス電極との間または前記維持電極と前記ァドレス電極との間で放電を発生させ、この放電を種火として前記走査電極と前記維持電極との間で放電を発生させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。