WO2004109911A2 - Saw-filter mit verbesserter selektion oder isolation - Google Patents

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WO2004109911A2
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Maximilian Pitschi
Matthias Jungkunz
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    • H03H9/14588Horizontally-split transducers

Definitions

  • a SAW filter consists of at least one acoustic track in which at least one electroacoustic transducer is arranged.
  • Such a transducer has at least two busbars, which are usually arranged parallel to the direction of propagation of the surface acoustic wave.
  • Electrode fingers are arranged perpendicular to each conductor rail and form an interdigital electrode structure.
  • capacitive capacitances can occur between the metallizations that form component structures such as transducers and busbars, and in particular between the busbars aligned parallel to the track Interactions come. If the two acoustic tracks are interconnected and belong to the same filter, this generally changes the blocking selection. If electromagnetic coupling occurs between acoustic traces of two independent filters, the insulation can be deteriorated. This has the effect that undesired or foreign signal components are received at the output of a filter from the input of one or the other filter, which falsify the actual signal and must be avoided. In general, such capacitive interactions are called crosstalk.
  • the transducers can be arranged in several interconnected tracks.
  • the acoustic tracks are usually aligned parallel to one another and, in order to save expensive chip surfaces, are spatially adjacent.
  • Opposed transducers or closely spaced busbars of different acoustic traces occur particularly with input and output converters and lead to a not inconsiderable crosstalk, which worsens the selection of the filter. This problem occurs in particular when the busbar of the input or output converter facing the adjacent track is connected to a potential that is different from ground.
  • Multitrack strain gauge filters can be caused by electromagnetic coupling.
  • the object of the present invention is' to provide a filter in which the electromagnetic coupling between two acoustic tracks is suppressed, and therefore the selection of the filter or the insulation is improved a .Mehrfachfilters.
  • a SAW filter with the features of claim 1.
  • Advantageous embodiments of the invention can be found in further claims.
  • the invention proposes to arrange a metallic shield structure connected to ground between two adjacent acoustic tracks. In this way it is possible to shield the transducers, which tend to crosstalk and are arranged in different tracks, from one another. If the two tracks belong to a common filter and are electrically connected to one another, the blocking selection is improved in this way, that is to say signals which are located in the stop band are better suppressed. If the transducers shielded from one another belong to different filters, the insulation between these filters is improved in this way.
  • the shielding structure serves to divert electromagnetic field lines, which bring about the crosstalk, with the metallic shielding structure against the ground termination.
  • a metallic shielding structure according to the invention is therefore preferably designed as a high-quality mass. This means that at least one, better two or more ground connections are provided. The quality of the mass can also be improved with increasing area of the shielding structure. It is also possible to increase the metallization thickness of the shielding structure.
  • the shielding structure according to the invention has particular advantages in a filter in which the converters to be shielded from one another are designed as V-split converters, the divided busbars of which are connected to the connections, the other, continuous busbar, on the other hand, being floating.
  • Such a filter - without the shielding structure according to the invention - can lead to increased crosstalk, since the distance between the adjacent tracks is reduced due to the lack of a connection to the floating busbar.
  • the shielding structure according to the invention preferably consists of a continuously metallized surface which advantageously extends at least over the length of the transducers to be shielded from one another.
  • the maximum width of the shielding structure measured perpendicular to the acoustic track is selected. Given a predetermined distance of the acoustic tracks, the area between the tracks is optimally filled with the shielding structure.
  • the spacing of the tracks is preferably increased in order to make room for a high-quality shielding structure. The increased space requirement of the filter, which is actually a disadvantage, is compensated for by the improved blocking selection or the improved insulation.
  • the filter is designed as a strain gauge filter which has a first converter serving as an input converter and a first coupling converter in a first track, a second coupling converter on the other hand and a second converter serving as an output converter in the second track.
  • each track deviated serving converter can still any number of other, as input, output or coupling transducers may be provided.
  • the two acoustic tracks are connected via coupling lines, each of which is connected to a busbar of the first and second coupling converters.
  • the shielding structure is arranged between the input transducer of the first track and the output transducer of the second track, that is to say between the first and second transducers.
  • the shielding structure is additionally connected to that busbar of the respective coupling converter which is opposite the busbar connected to the coupling line. These are, in particular, the busbars of the coupling converters pointing to the other track.
  • the head cable line is connected to the outward-facing busbars of the coupling transducers, it is preferably also routed outside the acoustic track or around the respective track.
  • each acoustic track of a strain gauge filter is preferably delimited by two reflectors, in one embodiment of the invention the coupling line is routed behind the reflectors of each track.
  • the shielding structure is connected to the reflectors. It is possible to provide the ground connection of the shielding structure via the reflectors and therefore to connect the reflectors separately to a ground connection. However, it is also possible to connect only the shielding structure to a ground connection and to connect the reflectors to the shielding structure. However, both the reflectors and the shielding structure can also be connected to a ground connection.
  • -the shield structure is produced along with other metallizations on the 'substrate, and therefore advantageously has the same structure.
  • the shielding structure can also have a combined multiple metallization and, in particular, be constructed thicker than the metallizations used for the transducers, reflectors or busbars. It can therefore be produced in the same step together with other metallizations and thus does not require any additional process outlay during production.
  • a suitable metallization for converter and thus a potential part of 'the shielding metallization for example, consists of aluminum, an aluminum-containing alloy or a multilayer structure, which contains at least one such layer comprising aluminum.
  • a passivation layer can be arranged over the metallization.
  • Such a passivation layer can be an additionally applied dielectric layer, for example a thin SiO 2 layer.
  • dielectric layer for example a thin SiO 2 layer.
  • a metallization comprising aluminum is therefore preferably covered with a passivation layer made of aluminum oxide. This can be generated by anodic oxidation or by a corresponding plasma treatment of the original metallization in an oxygen-containing plasma.
  • connections of the metallic structures of the filter and thus the connections for the shielding structure, the transducers and possibly other parts of the filter can be made using bonding wires.
  • a flip chip arrangement is preferred in which the piezoelectric substrate carrying the filter structures is connected to a carrier substrate via bump connections in such a way that the component structures point towards the carrier substrate and the electrical connection surfaces to be connected to one another are directly opposite one another come lying and then ' connected with bumps.
  • FIG. 1 shows a 2-track strain gauge filter with a shielding structure according to the invention.
  • FIG. 2 shows a 2-track strain gauge filter in which the shielding structure is connected to the ground connections of the coupling converter.
  • FIG. 3 shows a 2-track strain gauge arrangement with an unsplit input and output converter.
  • FIG. 4 shows a 2-track strain gauge filter, each with two converters per track and unsplit input and output converters.
  • FIG. 5 shows a 2-track strain gauge filter with an interconnection variant
  • FIG. 6 shows a 2-track strain gauge filter with a further connection option
  • FIG. 7 shows the transmission behavior of a filter according to the invention in comparison with that of a known filter.
  • Figure 8 shows the transmission behavior of a further improved filter according to the invention compared to a known filter.
  • FIG. 1 shows a first simple embodiment of the invention realized in a 2-track 3-converter DMS filter.
  • a first converter W1 is arranged, connected to the input IN via two connections and therefore serves as an input converter.
  • the second acoustic track comprises a second transducer W2, which is connected to the output (OUT) and represents the output transducer.
  • the second converter W2 is adjacent in the second track by a second coupling converter K2, K2 '.
  • First and second coupling converters K1, K2; Kl ', K2' are connected to one another via coupling lines KL, KL '.
  • Each track is bounded on both sides by a respective reflector Rl, Rl ⁇ , R2, R2 '.
  • Input and output converters (first and second converters 1) W1, W2 are designed here as V-split converters and are operated symmetrically, ie balanced.
  • a shielding structure AS is formed as a flat metallization between the two tracks.
  • the shielding structure AS here extends at least over the length of the first and second transducers which are determined parallel to the acoustic track and are to be shielded from one another.
  • the width of the shielding structure which is determined perpendicular to the acoustic track, is considerably greater than that of the conductor rails of the transducers and is optimized for the distance between the two tracks or fills them optimally.
  • the shield structure is connected to a ground connection.
  • that busbar of each coupling converter K1, K2, which is not connected to a coupling line KL is led together with the directly adjacent reflector R to a ground connection.
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the invention, in which the coupling lines KL, KL 'are connected to that busbar of the coupling converter K which points away from the other track or is furthest away from it.
  • the shielding structure AS arranged between the tracks is only adjacent to those busbars or structures which are actually or virtually grounded.
  • the busbars of the coupling transducers K to be connected to ground are connected to the shielding structure door AS.
  • the first and second coupling converters K1 and K2 are connected via a coupling line KL which is guided around the reflectors R1, R2.
  • the reflectors are connected to the adjacent coupling line.
  • FIG. 3 shows a further embodiment of the invention, in which, in contrast to the embodiment according to FIG. 2, the first converter W1 and second converter W2 are designed as normal converters with continuous busbars on both sides of the acoustic track, the connections of the first and second converter on the two busbars are provided on both sides of the acoustic track.
  • input and output converters W1, W2 are designed as symmetrical converters that are operated in a balanced manner. The remaining configuration of the filter is unchanged from the configuration according to FIG. 2.
  • the shielding structure AS does not separate a floating busbar in each of the two transducers W1 and W2, but rather the internal symmetrical connections of the first and second transducers W1, W2.
  • FIG. 4 shows a 2-track strain gauge converter, in which each track has two converters, a first converter and a first
  • Coupling converter in the first and a second converter and a second coupling converter in the second track have their connections on both sides of the transducer.
  • the coupling converters K1, K2 are connected via a coupling line KL, each to the one pointing outwards
  • Busbar of the coupling converter is connected and is guided around the two directly adjacent reflectors.
  • the internal busbars of the coupling transducers K1, K2 are connected to the shielding structure, as are the reflectors Rl •, R2 'arranged directly next to the first and second transducers W1, W2.
  • FIG. 5 shows a further variation of the embodiment shown in Figure 4.
  • the coupling line is passed through the two directly adjacent reflectors R1, R2.
  • FIG. 6 shows a further variation of the embodiment shown in FIG. 4, in which the coupling line KL is guided around the two reflectors R1, R2.
  • the reflectors R1, R2 are here not connected to the coupling line KL, but instead to the shielding structure AS.
  • the shielding structure is extended and separates all converters and reflectors of the two tracks from each other.
  • FIG. 7 shows the frequency response of a filter according to the invention and is compared with the frequency response of a known filter without a shielding structure.
  • the frequency response A of a 3-converter 2-track DMS filter which is designed according to FIG. 1, is compared with the frequency response B of a corresponding filter without a shielding structure AS. It can be seen that the filter (measured on the transfer function S21) has an improved blocking selection, see, for example, the difference between the two transfer functions at the points in the blocking area identified by arrows.
  • FIG. 8 shows, by means of a comparison, the frequency response C of a filter according to the invention designed according to FIG. 2, which is compared here to the frequency response D of a corresponding filter without a shielding structure.
  • the invention is also not limited to strain gauge filters. It is also possible to shield transducers in traces of a reactance filter. Further variations result from the connection of the transducers and coupling wall 1s and from the omission of the connection, so that the invention is implemented on the basis of two tracks which are electrically insulated from one another.
  • the transducers can also be used as split finger transducers.
  • Transducers can be designed as weighted transducers, as transducers with distributed excitation and in particular as SPUDT transducers.
  • the distances and / or the widths of the electrode fingers can change along an axis perpendicular to the direction of propagation of the surface wave, so that the corresponding transducer is designed as a fan transducer.
  • Filters according to the invention can also have transducers with spacings and / or widths of the electrode fingers that change in the direction of propagation.
  • a filter according to the invention can also comprise a first and a second track, which are each formed in one of the filters of a double so-called 2 in 1 filter accommodated in a housing.
  • the two tracks can also be assigned to the two sub-filters of a duplexer, so that one track is assigned to an RX filter and the other track to a TX filter.
  • the the two acoustic tracks or the resonators are shielded from one another, preferably resonators from different branches being shielded from one another with the aid of a shielding structure.
  • a resonator in the " serial branch can be shielded from a resonator in the parallel branch that is directly adjacent in the next acoustic track.
  • improved isolation is obtained, which in this case can be noticed in the overall filter in an improved blocking selection ,

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Abstract

Zwischen den beiden akustischen Spuren eines auf der Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats ausgebildeten SAW-Filters wird zur Abschirmung zweier in unterschiedlichen Spuren angeordneter Wandler eine metallische Abschirmstruktur angeordnet und mit Masse verbunden. Auf diese Weise wird innerhalb eines Filters ein Übersprechen verhindert und die Sperrselektion verbessert.

Description

Beschreibung
SAW-Filter mit verbesserter Selektion oder Isolation
Ein SAW-Filter besteht aus zumindest einer akustischen Spur, in der zumindest ein elektroakustischer Wandler angeordnet ist. Ein solcher Wandler weist zumindest zwei Stromschienen auf, die üblicherweise parallel zur Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle angeordnet sind. Senkrecht zu jeder Stromschiene sind Elektrodenfinger angeordnet und bilden eine interdigitale Elektrodenstruktur.
Sind auf einem piezoelektrischen Substrat mehrere Spuren eines Filters oder verschiedene Spuren unterschiedlicher Filter in räumlicher Nähe zueinander angeordnet, so kann es zwischen den Metallisierungen, die BauelementStrukturen wie Wandler und Stromschienen bilden, und insbesondere zwischen den parallel zur Spur ausgerichteten Stromschienen zweier unterschiedlicher akustischer Spuren zu kapazitiven Wechselwirkun- gen kommen. Sind die beiden akustischen Spuren miteinander verschaltet und dem gleichen Filter zugehörig, so verändert sich dadurch in der Regel die Sperrselektion. Treten elektromagnetische Kopplungen zwischen akustischen Spuren zweier unabhängiger Filter auf, so kann dadurch die Isolation ver- schlechtert werden. Dies bewirkt, daß am Ausgang eines Filters unerwünschte bzw. fremde Signalanteile vom Eingang des einen oder des anderen Filters empfangen werden, die das eigentliche Signal verfälschen und zu vermeiden sind. Ganz allgemein werden solche kapazitiven- Wechselwirkungen als Übersprechen bezeichnet.
Bei DMS-Filtern können die Wandler in mehreren miteinander verschalteten Spuren angeordnet werden. Üblicherweise sind die akustischen Spuren dazu parallel zueinander ausgerichtet und zur Einsparung kostenträchtiger Chipoberfläche räumlich nahe benachbart. Einander gegenüberliegende Wandler bzw. nahe beieinander liegende Stromschienen unterschiedlicher akusti- scher Spuren treten insbesondere bei Ein- und Ausgangswandlern auf und führen zu einem nicht unerheblichen Übersprechen, das die Selektion des Filters verschlechtert. Dieses Problem tritt insbesondere dann auf, wenn die zur benachbar- ten Spur weisende Stromschiene des Ein- oder Ausgangswandlers mit einem Potential verbunden ist, das von Masse unterschiedlich ist. Besonders starke Auswirkungen finden sich auch bei solchen Wandlern, bei denen der elektrische Anschluß des Wandlers von einer Seite der akustischen Spur erfolgt, auf der dann die entsprechende Stromschiene in zwei Teilschienen geteilt ist, die mit den beiden Anschlüssen verbunden sind. Die gegenüberliegende Stromschiene ist einteilig, nicht mit einem von außen eingeprägten Potential verbunden und nimmt daher ein floatendes Potential (Zwischenpotential) an. Wird ein solcher, z.B. aus der DE 100 13 861 AI bekannter, auch als V-Split-Wandler bezeichneter Wandler symmetrisch (balan- ced) angesteuert, so stellt die floatende Stromschiene eine virtuelle Masse dar. Das heißt, bei symmetrischer verschal- tung und ansonsten optimierter symmetrischer Ausgestaltung des übrigen Filters liegt das floatende Potential genau auf
Masse. Weicht das Potential dieser virtuellen Masse jedoch von Null ab, so liegt eine Symmetriestörung vor, die zu einer Beeinträchtigung der Filterfunktion führt und insbesondere eine geringere Sperrselektion zur Folge hat . Ein solches "Wegdriften" der virtuellen Masse solcher Zweispur- oder
Mehrspur-DMS-Filter kann durch elektromagnetische Kopplungen verursacht werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher,' ein Filter anzugeben, bei dem die elektromagnetische Kopplung zwischen zwei akustischen Spuren unterdrückt ist und damit die Selektion des Filters oder die Isolation eines .Mehrfachfilters verbessert ist .
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein SAW-Filter mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind weiteren Ansprüchen zu entnehmen. Die Erfindung schlägt bei einem SAW-Filter vor, zwischen zwei benachbarten akustischen Spuren eine mit Masse verbundene metallische Abschirmstruktur anzuordnen. Auf diese Weise ge- lingt es, die ansonsten zum Übersprechen neigenden in unterschiedlichen Spuren angeordneten Wandler gegeneinander abzuschirmen. Sind die beiden Spuren einem gemeinsamen Filter angehörig und elektrisch miteinander verschaltet, so wird auf diese Weise die Sperrselektion verbessert, also Stoppband liegende Signale besser unterdrückt. Sind die gegeneinander abgeschirmten Wandler unterschiedlichen Filtern angehörig, so verbessert sich auf diese Weise die Isolation zwischen diesen Filtern.
Die Abschirmstruktur dient dazu, elektromagnetische Feldlinien, die das Übersprechen bewirken, mit der metallischen Abschirmstruktur gegen den Masseabschluß abzuleiten. Eine erfindungsgemäße metallische Abschirmstruktur ist daher vorzugsweise als hochwertige Masse ausgebildet. Dies bedeutet, daß zumindest ein, besser zwei oder mehr Masseanschlüsse vorgesehen sind. Die Qualität der Masse kann auch mit zunehmender Fläche der Abschirmstruktur verbessert werden. Möglich ist es auch, die Metallisierungsdicke der Abschirmstruktur zu erhöhen.
Besondere Vorteile entfaltet die er indungsgemäße Abschirmstruktur in einem Filter, bei dem die gegeneinander abzuschirmenden Wandler als V-Split-Wandler ausgebildet sind, deren geteilte Stromschienen mit den Anschlüssen verbunden sind wobei die jeweils andere, durchgehende Stromschiene dagegen floatend ist. Bei einem solchen Filter - ohne die erfindungsgemäße Abschirmstruktur - kann es zu verstärktem Übersprechen kommen, da aufgrund des fehlenden Anschlusses an der floatenden Stromschiene der Abstand der benachbarten Spuren redu- ziert ist. Die erfindungsgemäße Abschirmstruktur besteht vorzugsweise aus einer durchgehend metallisierten Fläche, die sich vorteilhaft zumindest über die Länge der gegeneinander abzuschirmenden Wandler erstreckt. Da mit der Fläche der Ab- schirmstruktür auch die Qualität der Masse ansteigt, wird die senkrecht zur akustischen Spur gemessene Breite der Abschirmstruktur maximal gewählt . Bei einem vorgegebenen Abstand der akustischen Spuren wird dabei die zwischen den Spuren vorhandene Fläche mit der Abschirmstruktur optimal ausgefüllt. Vor- zugsweise wird gegenüber einem nicht abgeschirmten Filter der Abstand der Spuren zusätzlich erhöht, um Platz für eine hoch qualitative Abschirmstruktur zu schaffen. Der dadurch erhöhte Flächenbedarf des Filters, der eigentlich einen Nachteil darstellt, wird durch die verbesserte Sperrselektion bzw. die verbesserte Isolation kompensiert.
In einer Ausgestaltung der Erfindung ist das Filter als DMS- Filter ausgebildet, welches einen als Eingangswandler dienenden ersten Wandler und einen ersten Koppelwandler in einer ersten Spur, einen zweiten Koppelwandler dagegen und einen als Ausgangswandler dienenden zweiten Wandler in der zweiten Spur aufweist. In' jeder Spur kann daneben noch eine beliebige Anzahl von weiteren, als Eingangs-, Ausgangs- oder Koppelwandler dienende Wandler vorgesehen sein. Die beiden akusti- sehen Spuren sind über Koppelleitungen verbunden, die jeweils an eine Stromschiene von erstem und zweitem Koppelwandler angeschlossen sind. Die Abschirmstruktur ist zwischen dem Eingangswandler der ersten Spur und dem Ausgangswandler der zweiten Spur, also zwischen erstem und zweitem Wandler ange- ordnet .
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist die Abschirmstruktur zusätzlich mit derjenigen Stromschiene des jeweiligen Koppelwandlers verbunden, die der mit der Koppel- leitung verbundenen Stromschiene gegenüber liegt. Dies sind insbesondere die zur jeweils anderen Spur weisenden Stromschienen der Koppelwandler. Da bei dieser Anordnung die Kop- pelleitung jeweils mit den nach außen weisenden Stromschienen der Koppelwandler verbunden ist, wird sie auch vorzugsweise außerhalb der akustischen Spur bzw. um die jeweilige Spur herumgeführt.. Da eine jede akustische Spur eines DMS-Filters vorzugsweise von zwei Reflektoren begrenzt ist, wird in einer Ausgestaltung der Erfindung die Koppelleitung hinter den Reflektoren jeder Spur herumgeführt.
Möglich ist es jedoch auch, die Reflektoren in die Koppellei- tung einzubauen und dadurch das Signal durch die Reflektoren hindurch zu führen. Diese Ausführung ist besonders platzsparend, da dabei die Reflektoren zur Signalleitung eingesetzt werden und keine zusätzliche Leitung erforderlich ist.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird die Abschirmstruktur mit den Reflektoren verbunden. Dabei ist es möglich, den Masseanschluß der Abschirmstruktur über die Reflektoren zur Verfügung zu stellen und die Reflektoren daher gesondert mit einem Masseanschluß zu verbinden. Möglich ist es jedoch auch, nur die Abschirmstruktur mit einem Masseanschluß zu verbinden und die Reflektoren an die Abschirmstruk- tur anzubinden. Es können aber auch sowohl die Reflektoren als auch die Abschirmst uktur mit einem Masseanschluß verbunden sein.
Vorzugsweise wird -die Abschirmstruktur zusammen mit anderen Metallisierungen auf dem' Substrat erzeugt und besitzt daher vorteilhaft den gleichen Aufbau. Sind unterschiedliche Metallisierungschritte aus anderen Gründen erforderlich, so kann die Abschirmstruktur auch eine kombinierte mehrfache Metallisierung aufweisen und insbesondere dicker als die für die Wandler, Reflektoren oder Stromschienen verwendeten Metallisierungen aufgebaut sein. Sie kann daher im gleichen Schrit zusammen mit anderen Metallisierungen erzeugt werden und er- fordert so bei der Herstellung keinen zusätzlichen Verfahrensaufwand. Eine geeignete Metallisierung für Wandler und damit ein potentieller Bestandteil der' Metallisierung für die Abschirmstruktur besteht beispielsweise aus Aluminium, einer aluminiumhaltigen Legierung oder aus einer MehrschichtStruktur, die zumindest eine solche Aluminium umfassende Schicht enthält. Zwischen Metallisierung und Substratoberfläche können zusätzliche, die Haftung verbessernde Schichten vorgesehen sein. Über der Metallisierung kann eine Passivierungsschicht angeordnet sein. Eine solche Passivierungsschicht kann eine zu- sätzlich aufgebrachte dielektrische Schicht sein, beispielsweise eine dünne Si02-Schicht . Möglich ist es jedoch auch, die oberste Schicht der Metallisierung und damit die oberste Schicht sowohl der Wandler als auch der Abschirmstruktur zu oxidieren und beispielsweise in die entsprechenden Oxide überzuführen. Eine Aluminium umfassende Metallisierung ist daher vorzugsweise mit einer Passivierungsschicht aus Aluminiumoxid überzogen. Dieses kann durch anodische Oxidation oder durch eine entsprechende Plasmabehandlung der ursprünglichen Metallisierung in einem sauerstoffhaltigen Plasma er- zeugt werden.
Weiter ist es möglich, Stromschienen und/oder lötbare Anschlußflächen oder Underbump-Metallisierungen- zusätzlich zu verstärken, wobei in diesem Prozess auch die Abschirmstruktur verstärkt werden kann.
Die Anschlüsse der metallischen Strukturen des Filters und damit die Anschlüsse für die Abschirmstruktur, die Wandler und ggf. weitere Teile des Filters, können über Bonddrähte vorgenommen werden. Insbesondere bei miniaturisierten Bauelementen ist jedoch eine Flip Chip Anordnung bevorzugt, bei der das die Filterstrukturen tragende piezoelektrische Substrat über Bump-Verbindungen mit einem Trägersubstrat so verbunden wird, daß die BauelementStrukturen hin zum Trägersubstrat weisen, und die miteinander zu verbindenden elektrischen Anschlußflächen einander direkt gegenüber zu liegen kommen und dann' mit Bumps verbunden werden. Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei- spielen und der dazugehörigen Figuren näher erläutert . Die Figuren dienen der Veranschaulichung und sind daher nur sche- matisch und.nicht maßstabsgetreu ausgeführt. Auch die Anzahl der dargestellten Elemente, insbesondere der Elektrodenfinger weicht ebenso wie die Dimensionierung der Elemente von der realen Ausgestaltung eines Filters ab.
Figur 1 zeigt ein 2-Spur-DMS-Filter mit erfindungsgemäßer Abschirmstruktur.
Figur 2 zeigt ein 2-Spur-DMS-Filter, bei dem die Abschirmstruktur mit den Masseanschlüssen der Koppelwandler verbunden ist.
Figur 3 zeigt eine 2-Spur-DMS-Anordnung mit ungesplittetem Ein- und Ausgangswandler.
Figur 4 zeigt ein 2-Spur-DMS-Filter mit jeweils zwei Wandlern pro Spur und ungesplitteten Ein- und Ausgangswandlern.
Figur 5 zeigt ein 2-Spur-DMS-Filter mit einer Verschaltungs- variante
Figur 6 zeigt ein 2-Spur-DMS-Filter mit einer weiteren Verschaltungsmöglichkeit
Figur 7 zeigt das Durchlaßverhalten eines erfindungsgemäßen Filters im Vergleich mit dem eines bekannten Filters.
Figur 8 zeigt das Durchlaßverhalten eines weiter verbesserten erfindungsgemäßen Filters im Vergleich zu einem bekannten Filter.
Figur 1 zeigt eine erste einfache, in einem 2-Spur-3-Wandler- DMS-Filter verwirklichte Ausführungsform der Erfindung. In der ersten Spur (in der Figur unten dargestellt) ist ein erster Wandler Wl angeordnet, über zwei Anschlüsse mit dem Eingang IN verbunden und dient daher als Eingangswandler. Ein erster Koppelwandler Kl und ein weiterer Koppelwandler Kl ' sind beiderseits des ersten Wandlers Wl angeordnet.
Die zweite akustische Spur umfaßt einen zweiten Wandler W2, der mit dem Ausgang (OUT) verbunden ist und den Ausgangswandler darstellt. Beiderseits ist der zweite Wandler W2 in der zweiten Spur je von einem zweiten Koppelwandler K2 , K2 ' benachbart. Erste und zweite Koppelwandler Kl, K2 ; Kl', K2 ' sind über Koppelleitungen KL, KL' miteinander verbunden. Jede Spur ist beiderseits von je einem Reflektor Rl, Rl , R2, R2 ' begrenzt. Ein- und Ausgangswandler (erster und zweiter Wand- 1er) Wl, W2 sind hier als V-Split-Wandler ausgebildet und werden symmetrisch, also balanced betrieben. Möglich ist es jedoch auch, einen oder beide aus ersten und- zweiten Wandler unsymmetrisch zu betreiben und dazu einen der Anschlüsse auf Null- oder Bezugspotential (Masse) zu legen. Zwischen den beiden Spuren ist eine Abschirmstruktur AS als flächige Metallisierung ausgebildet . Die Abschirmstruktur AS erstreckt sich hier zumindest über die parallel zur akustischen Spur bestimmte Länge von erstem und zweitem Wandler, die gegeneinander abzuschirmen sind. 'Die senkrecht zur akustischen Spur bestimmte Breite der Abschirmstruktur ist wesentlich höher als die der Stromschienen der Wandler und ist auf den Abstand der beiden Spuren optimiert bzw. füllt diesen optimal aus. Die Abschirmstruktur ist mit einem Masseanschluß verbunden. Als weitere Ausgestaltung in dieser Figur wird diejenige Stromschiene eines jeden Koppelwandlers Kl, K2 , die nicht mit einer Koppelleitung KL verbunden ist, zusammen mit dem direkt benachbarten Reflektor R zu einem Masseanschluß geführt .
Figur 2 zeigt eine weitere Ausgestaltung der Erfindung, bei der die Koppelleitungen KL, KL' an diejenige Stromschiene der Koppelwandler K angebunden sind, die von der jeweils anderen Spur wegweist bzw. am weitesten von dieser entfernt ist. Auf diese Weise ist die zwischen den Spuren angeordnete Abschirmstruktur AS nur solchen Stromschienen bzw. Strukturen benachbart, die tatsächlich oder virtuell auf Masse liegen. Zusätzlich sind die mit Masse zu verbindenden Stromschienen der Koppelwandler K mit der Abschirmstruktür AS verbunden. Erster und zweiter Koppelwandler Kl und K2 sind über eine Koppelleitung KL verbunden, die um die Reflektoren Rl, R2 herumgeführt wird. Gleiches gilt für die Koppelleitung KL', die um die Reflektoren Rl', R2 ' herumgeführt ist. In dieser Ausführung sind die Reflektoren mit der jeweils benachbarten Koppelleitung verbunden. Möglich ist es jedoch auch, die Reflektoren an Masse anzuschließen oder floatend zu gestalten.
Figur 3 zeigt eine weitere Ausgestaltung der Erfindung, bei der im Unterschied zur Ausführung nach Figur 2 erster Wandler Wl und zweiter Wandler W2 als normaler Wandler mit durchgehenden Stromschienen beiderseits der akustischen Spur ausgeführt sind, wobei die Anschlüsse von erstem und zweitem Wandler auf den beiden Stromschienen beiderseits der akustischen Spur vorgesehen sind. In dieser Ausführung sind Ein- und Aus- gangswandler Wl, W2 als symmetrische Wandler ausgebildet, die balanced betrieben werden. Die übrige Ausgestaltung des Filters ist gegenüber der Ausgestaltung nach Figur 2 unverändert. In dieser Ausführung trennt die Abschirmstruktur AS nicht eine floatende Stromschiene in jedem der beiden Wandler Wl und W2, sondern vielmehr die innenliegenden symmetrischen Anschlüsse von erstem und zweitem Wandler Wl, W2.
Figur 4 zeigt einen 2 -Spur-DMS-Wandler, bei dem jede Spur zwei Wandler aufweist, einen ersten Wandler und einen ersten
Koppelwandler in der ersten bzw. einen zweiten Wandler und einen zweiten Koppelwandler in der zweiten Spur. Erster und zweiter Wandler haben ihre Anschlüsse auf beiden Seiten des Wandlers. Die Koppelwandler Kl, K2 sind über eine Koppellei- tung KL verbunden, die jeweils an die nach außen weisende
Stromschiene der Koppelwandler angeschlossen ist und um die beiden direkt benachbarten Reflektoren herumgeführt wird. Die innen liegenden Stromschienen der Koppelwandler Kl, K2 sind mit der Abschirmstruktur verbunden, ebenso die direkt neben erstem und zweitem Wandler Wl, W2 angeordneten Reflektoren Rl • , R2 ' .
Figur 5 zeigt eine weitere Variation der in Figur 4 dargestellten Ausführung. In dieser Ausführung ist die Koppelleitung durch die beiden direkt benachbarten Reflektoren Rl, R2 hindurchgeführt. Dies erspart gegenüber der Ausführung in Fi- gur 4 einen Leiterabschnitt der Koppelleitung , dessen Funktion hier durch die beiden Reflektoren wahrgenommen wird.
Figur 6 zeigt eine weitere Variation der in Figur 4 dargestellten Ausführung, bei der die Koppelleitung KL zwar um die beiden Reflektoren Rl, R2 herumgeführt wird. Im Unterschied zur Figur 4 sind hier jedoch die Reflektoren Rl, R2 nicht mit der Koppelleitung KL, dafür aber mit der Abschirmstruktur AS verbunden. Dazu ist die Abschirmstruktur verlängert und trennt sämtliche Wandler und Reflektoren der beiden Spuren voneinander.
In Figur 7 ist der Frequenzgang eines erfindungsgemäßen Filters dargestellt und dem Frequenzgang eines bekannten Filters ohne Abschirmstruktur gegenübergestellt . Verglichen wird der Frequenzgang A eines 3-Wandler-2-Spur-DMS-Filters, der gemäß Figur 1 ausgebildet ist mit dem Frequenzgang B eines entsprechenden Filters ohne Abschirmstruktur AS. Es zeigt sich, daß das Filter (gemessen an der Übertragungsfunktion S21) eine verbesserte Sperrselektion aufweist, siehe beispielsweise den Unterschied der beiden Übertragungsfunktionen an den mit Pfeilen gekennzeichneten Stellen im Sperrbereich.
Figur 8 zeigt anhand einer Gegenüberstellung den Frequenzgang C eines gemäß Figur 2 ausgebildeten erfindungsgemäßen Fil- ters, der hier dem Frequenzgang D eines entsprechenden Filters ohne Abschirmstruktur gegenübergestellt ist. Es zeigt sich, daß mit einer im Vergleich zu einem Filter nach Figur 1 vergrößerten Abschirmstruktur und mit außen geführten Koppel- leitung eine weitere Verbesserung der Sperrselektion erzielt werden kann, während das Paßband, also- der Durchlaßbereich des Filters weitgehend unverändert bleibt. Insbesondere bleibt die Einfügedämpfung und die Bandbreite nahezu gleich.
Obwohl die Erfindung nur anhand weniger Ausführungsbeispiele dargestellt wurde, ist sie nicht auf diese beschränkt. Weitere im Rahmen der Erfindung liegende Variationsmöglichkeiten ergeben sich aus Variationen der Struktur, insbesondere der
Anzahl der Wandler pro Spur. Die Erfindung ist auch nicht auf DMS-Filter beschränkt. Möglich ist auch die Abschirmung von Wandlern in Spuren eines Reaktanzfilters. Weitere Variationen ergeben sich aus der Verschaltung der Wandler und Koppelwand- 1er sowie aus dem Weglassen der Verschaltung, so daß die Erfindung anhand zweier elektrisch gegeneinander isolierter Spuren verwirklicht ist.
Neben den in den Ausführungsbeispielen dargestellten Normal- fingerwandlern können die Wandler auch als Splitfinger-
Wandler, als gewichtete Wandler, als Wandler mit verteilter Anregung und insbesondere als SPUDT-Wandler ausgebildet sein. Zusätzlich können sich die Abstände und/oder die Breiten der Elektrodenfinger entlang einer Achse senkrecht zur Ausbrei- tungsrichtung der Oberflächenwelle verändern, so daß der entsprechende Wandler als Fächer-Wandler ausgebildet ist. Auch können erfindungsgemäße Filter Wandler mit sich in Ausbreitungsrichtung verändernden Abstände und/oder Breiten der Elektrodenfinger aufweisen.
Ein erfindungsgemäßes Filter kann auch eine erste und eine zweite Spur umfassen, die jeweils in einem der Filter eines in einem Gehäuse untergebrachten doppelten sogenannten 2 in 1-Filter ausgebildet sind. Die beiden Spuren können auch den beiden Teilfiltern eines Duplexers zugeordnet sein, so daß eine Spur einem RX-Filter und die andere Spur einem TX-Filter zugeordnet ist. Im Falle eines Reaktanzfilters werden die beiden akustischen Spuren bzw. die Resonatoren gegeneinander abgeschirmt, wobei vorzugsweise Resonatoren aus unterschiedlichen Zweigen mit Hilfe einer Abschirmstruktur gegeneinander abgeschirmt werden. Beispielsweise kann erfindungsgemäß ein Resonator im "seriellen Zweig gegen einen in der nächsten akustischen Spur direkt benachbarten Resonator im parallelen Zweig abgeschirmt werden. Auf diese Weise wird eine verbesserte Isolation erhalten, die sich im Gesamt-Filter in diesem Fall in einer verbesserten Sperrselektion bemerkbar machen kann.

Claims

Patentansprüche
1 . SAW Filter, aufgebaut auf der Oberfläche eines piezoelektrischen Sub- strats umfassend zwei zueinander benachbart angeordnete und elektrisch miteinander verschaltete akustische Spuren, in denen jeweils als Ein- und Ausgangswandler dienende elektroakusti- sche Wandler (W1,W2) angeordnet sind, bei dem zwischen den beiden Spuren eine mit Masse verbundene metallische Abschirmstruktur (AS) angeordnet ist, die zumindest zwei in unterschiedlichen Spuren angeordnete Wandler gegeneinander abschirmt .
2. SAW Filter nach Anspruch 1, bei dem die beiden gegeneinander abgeschirmten Wandler (W1,W2) jeweils eine zur Abschirmstruktur (AS) weisende Stromschiene aufweisen, wobei zumindest eine dieser Stromschienen floatend ist oder mit einem von Masse verschiedenen Potential verbunden ist.
3. SAW Filter nach Anspruch 1 oder 2,
- ausgebildet als DMS Filter
- mit einem als Eingangswandler (Wl) dienenden ersten Wand- 1er und einem ersten Koppelwandler (Kl) in der ersten Spur
- mit einem zweiten Koppelwandler (K2) und einem als Ausgangswandler dienenden zweiten Wandler (W2) in der zweiten Spur
- mit einer jeweils eine Stromschiene des ersten und des zweiten Koppelwandlers elektrisch verbindenden Koppelleitung
- bei dem die Abschirmstruktur (AS) zwischen dem ersten und dem zweiten Wandler angeordnet ist.
4. SAW Filter nach/Anspruch 3, bei dem die Koppelleitung (KL) in jeder Spur jeweils an diejenige Stromschiene des betreffenden Koppelwandlers (K1,K2) angeschlossen ist, die von. der anderen Spur weiter entfernt ist .
5. SAW Filter nach Anspruch 4 , bei dem die akustischen Spuren jeweils von zwei Reflektoren (R,R') begrenzt sind, bei dem die Koppelleitungen (KL) außerhalb der akustischen Spuren um die Reflektoren herum geführt sind.
6. SAW Filter nach einem der Ansprüche 3 bis 5, bei dem die Abschirmstruktur (AS) mit einem äußeren Masseanschluß und mit jeweils der Stromschiene eines der Koppelwandler (K1,K2) verbunden ist, die nicht mit der Koppelleitung (KL) verbunden ist.
7. SAW Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die akustischen Spuren jeweils von zwei Reflektoren (R) begrenzt sind bei dem die Abschirmstruktur (AS) mit einem äußeren Massean- Schluß und den Reflektoren verbunden ist.
8. SAW Filter nach einem der Ansprüche 3 bis 7, bei dem im ersten und im zweiten Wandler (W1,W2) die jeweils von der benachbarten Spur weiter entfernte Stromschiene in zwei Teilschienen aufgeteilt ist, wobei jede Teilschiene des ersten Wandler (Wl) mit einem der äußeren Anschlüssen des Eingangs (IN) und jede Teilschiene des zweiten Wandlers (W2) mit einem der äußeren Anschlüssen des Ausgang (OUT) verbunden ist und bei dem die als Ein- und Ausgangswandler dienenden ersten und zweiten Wandler (W1,W2) jeweils einem symmetrischen Ein- bzw. Ausgang (IN, OUT) zugeordnet sind.
9. SAW Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem die Wandler (W1,W2) und die Abschirmstruktur (AS) aus der gleichen Metallisierung aufgebaut sind.
10. SAW Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem Metallisierung der Wandler (W1,W2) und der Abschirm- Struktur (AS) eine Schicht aus Aluminium oder einer Aluminium enthaltenden Legierung, oder einen eine solche Schicht umfas- senden Mehrschichtaufbau aufweist.
11. SAW Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem das Substrat in Flip-Chip-Anordnung auf einem Träger montiert ist, und bei dem eine elektrisch leitende Verbindung zwischen einer auf dem Träger angeordneten Anschlußfläche und der Abschirmstruktur (AS) mit einem oder mehreren Bumps vorgenommen ist.
12. SAW Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem sich die Abschirmstruktür (AS) zumindest über die gesamte Länge der beiden voneinander abzuschirmenden Wandler (W1,W2) erstreckt.
13. SAW Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem die Abschirmstruktur (AS) eine Breite aufweist, die deutlich größer ist als die der zueinander weisenden Stromschienen von erstem und zweitem Wandler (W1,W2) .
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7515017B2 (en) * 2005-10-26 2009-04-07 Fujitsu Media Devices Limited Surface acoustic wave device utilizing a terminal routing pattern
US8138858B1 (en) * 2007-10-29 2012-03-20 Rf Micro Devices, Inc. Architectures using multiple dual-mode surface acoustic wave devices

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006311041A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd アンテナ共用器
JP5099330B2 (ja) * 2007-09-07 2012-12-19 Tdk株式会社 弾性表面波装置
JP5100890B2 (ja) * 2009-06-26 2012-12-19 京セラ株式会社 弾性表面波フィルタおよびそれを用いた分波器
US8294331B2 (en) 2009-09-22 2012-10-23 Triquint Semiconductor, Inc. Acoustic wave guide device and method for minimizing trimming effects and piston mode instabilities
US7939989B2 (en) * 2009-09-22 2011-05-10 Triquint Semiconductor, Inc. Piston mode acoustic wave device and method providing a high coupling factor
DE102011011377B4 (de) 2011-02-16 2016-05-25 Epcos Ag Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement
EP2830217B1 (de) 2012-03-22 2018-02-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastischer oberflächenwellenfilter mit vertikal gekoppeltem resonator
WO2014050450A1 (ja) * 2012-09-28 2014-04-03 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
US10056878B2 (en) * 2014-12-12 2018-08-21 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave device and method of fabricating the same
JP6558445B2 (ja) * 2015-11-18 2019-08-14 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタモジュール

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4647881A (en) * 1984-10-15 1987-03-03 Clarion Co., Ltd. Surface acoustic wave device
USRE33957E (en) * 1982-07-26 1992-06-09 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. High frequency narrow-band multi-mode filter
DE19818826A1 (de) * 1998-04-27 1999-11-04 Siemens Matsushita Components Oberflächenwellenfilter mit erhöhter Bandbreite
DE10013861A1 (de) * 2000-03-21 2001-09-27 Epcos Ag Dualmode-Oberflächenwellenfilter mit verbesserter Symmetrie und erhöhter Sperrdämpfung
EP1158670A1 (de) * 1999-12-09 2001-11-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Akustische oberflächenwellenanordnung und kommunikationsgerät mit einer derartigen anordnung
DE10025450A1 (de) * 2000-05-23 2001-11-29 Epcos Ag Oberflächenwellen-Bandpassfilter in Drei-Wandler-Anordnung

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07154201A (ja) * 1993-11-30 1995-06-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 弾性表面波フィルタ
US5929723A (en) * 1995-09-21 1999-07-27 Tdk Corporation Surface acoustic wave apparatus having an electrode that is a doped alloy film
US6147574A (en) * 1997-11-20 2000-11-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Unidirectional surface acoustic wave transducer and transversal-type saw filter having the same
JP3860364B2 (ja) * 1999-08-11 2006-12-20 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波装置
JP3391347B2 (ja) * 2000-06-26 2003-03-31 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP3384403B2 (ja) * 2001-03-01 2003-03-10 株式会社村田製作所 弾性表面波装置、通信装置
JP2003209456A (ja) * 2002-01-16 2003-07-25 Toyo Commun Equip Co Ltd Sawフィルタ
JP2004260793A (ja) * 2003-02-04 2004-09-16 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ
JP4283076B2 (ja) * 2003-09-29 2009-06-24 富士通メディアデバイス株式会社 圧電体を用いたフィルタ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE33957E (en) * 1982-07-26 1992-06-09 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. High frequency narrow-band multi-mode filter
US4647881A (en) * 1984-10-15 1987-03-03 Clarion Co., Ltd. Surface acoustic wave device
DE19818826A1 (de) * 1998-04-27 1999-11-04 Siemens Matsushita Components Oberflächenwellenfilter mit erhöhter Bandbreite
EP1158670A1 (de) * 1999-12-09 2001-11-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Akustische oberflächenwellenanordnung und kommunikationsgerät mit einer derartigen anordnung
DE10013861A1 (de) * 2000-03-21 2001-09-27 Epcos Ag Dualmode-Oberflächenwellenfilter mit verbesserter Symmetrie und erhöhter Sperrdämpfung
DE10025450A1 (de) * 2000-05-23 2001-11-29 Epcos Ag Oberflächenwellen-Bandpassfilter in Drei-Wandler-Anordnung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7515017B2 (en) * 2005-10-26 2009-04-07 Fujitsu Media Devices Limited Surface acoustic wave device utilizing a terminal routing pattern
CN1956325B (zh) * 2005-10-26 2010-05-12 富士通媒体部品株式会社 表面声波器件
US8138858B1 (en) * 2007-10-29 2012-03-20 Rf Micro Devices, Inc. Architectures using multiple dual-mode surface acoustic wave devices

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006527516A (ja) 2006-11-30
KR101075674B1 (ko) 2011-10-21
US20070279156A1 (en) 2007-12-06
DE10325798B4 (de) 2015-06-18
WO2004109911A3 (de) 2005-06-23
JP4567672B2 (ja) 2010-10-20
DE10325798A1 (de) 2004-12-23
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US7477117B2 (en) 2009-01-13

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