DE112010001620B4 - Filter für elastische Wellen und Kommunikationsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Filter für elastische Wellen (200), umfassend zumindest: ein piezoelektrisches Substrat (P) und eine längsgekoppelte Filtereinheit (200A) vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat (P) ausgebildet ist, wobei die längsgekoppelte Filtereinheit (200A) vom Resonatortyp für elastische Wellen erste bis fünfte IDTs (201, ..., 205), die in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren (206, 207) umfaßt, die in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen so angeordnet sind, daß sie den Bereich einfassen, wo die ersten bis fünften IDTs (201, ..., 205) angeordnet sind, die dritte IDT (203) erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden (203b, 203c) umfaßt, die in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode (203b) auf der Seite nahe der zweiten IDT (202) angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode (203c) auf der Seite nahe der vierten IDT (204) angeordnet ist, die zweiten und vierten IDTs (202, 204) mit einem asymmetrischen Signalanschluß (211) verbunden sind, die erste IDT (201) und die erste geteilte kammförmige Elektrode (203b) der dritten IDT (203) mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß (212) verbunden sind, und die fünfte IDT (205) und die zweite geteilte kammförmige Elektrode (203c) der dritten IDT (203) mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß (213) verbunden sind, die ersten und fünften IDTs (201, 205) jeweils einen konstanten Elektrodenfingerabstand haben, und der Elektrodenfingerabstand der ersten IDT (201) kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der fünften IDT (205) oder das Metallisierungsverhältnis der ersten IDT (201) kleiner ist als das Metallisierungsverhältnis der fünften IDT (205), und ...

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Filter für elastische Wellen mit einer Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion und eine Kommunikationsvorrichtung, die ein solches Filter für elastische Wellen enthält.
  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Um die Größe und/oder das Gewicht von Kommunikationsvorrichtungen wie zum Beispiel Mobiltelefonen zu verringern, wurden in den vergangenen Jahren die Anzahl und/oder die Größe ihrer Komponenten verringert. Darüber hinaus wurde die Entwicklung von Komponenten mit kombinierten Mehrfachfunktionen forciert. Vor diesem Hintergrund werden Oberflächenschallwellenfilter mit einer Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion, einer sogenannten SymAsym-Funktion, in HF(Hochfrequenz)-Schaltkreisen von Kommunikationsvorrichtungen verwendet.
  • Jedoch haben Oberflächenschallwellenfilter mit der Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion das Problem, daß Signale, die von einem ersten symmetrischen Signalanschluß ausgegeben werden, und jene, die von einem zweiten symmetrischen Signalanschluß ausgegeben werden, nicht genau symmetrisch sind. Mit „Symmetrie” sind hier Amplitudensymmetrie und Phasensymmetrie gemeint.
  • Nachfolgend genannte PTL 1 schlägt ein Oberflächenschallwellenfilter vor, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist und das diese Arten der Symmetrie verbessert.
  • Die 1 von PTL 1 und PTL 2 offenbaren ein längsgekoppeltes Oberflächenschallwellenfilter vom Resonatortyp und vom 3-IDT-Typ, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, wobei erste bis dritte kammförmige Elektrodeneinheiten (IDTs) auf einem piezoelektrischen Substrat in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind. Erste und zweite Reflektoren sind auf beiden Seiten des Bereichs, wo die ersten bis dritten IDTs angeordnet sind, in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Die zentrierte zweite IDT enthält nach PTL 1 erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden werden durch Teilen einer der kammförmigen Elektroden, die die zweite IDT bilden, in zwei Abschnitte in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen gebildet. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden sind mit ersten bzw. zweiten symmetrischen Signalanschlüssen verbunden. Die ersten und dritten IDTs sind nach PTL 1 und PTL 2 miteinander verbunden und sind dann mit einem asymmetrischen Signalanschluß verbunden. In PTL 2 variiert mindestens ein Designparameter der ersten bis dritten IDTs und in PTL 1 auch der ersten und zweiten Reflektoren zwischen einer Seite und der anderen einer virtuellen Mittelachse A, die in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen verläuft. Es wird in PTL 1 ausgesagt, daß dies die Symmetrie verbessert.
  • PTL 3 sowie 13 von PTL 1 offenbaren ein längsgekoppeltes Oberflächenschallwellenfilter vom Resonatortyp und vom 5-IDT-Typ, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, wobei fünf IDTs in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen auf einem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind. Erste und zweite Reflektoren sind auf beiden Seiten des Bereichs, wo die fünf IDTs angeordnet sind, in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. PTL 1 schlägt vor, daß ein solches längsgekoppeltes Oberflächenschallwellenfilter vom Resonatortyp und vom 5-IDT-Typ außerdem vorzugsweise so konfiguriert ist, daß mindestens ein Designparameter der ersten bis dritten IDTs und der ersten und zweiten Reflektoren zwischen einer Seite und der anderen einer virtuellen Mittelachse A, die in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen verläuft, variiert, so wie bei der Ausführungsform eines längsgekoppelten Oberflächenschallwellenfilters vom Resonatortyp und vom 3-IDT-Typ.
  • Zitierungsliste
  • Patentliteratur
    • PTL 1: US 2005/0212621 A1
    • PTL 2: US 2003/0025576 A1
    • PTL 3: US 2008/0122552 A1
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Technisches Problem
  • Leider beschreibt PTL 1 nichts Konkretes im Hinblick darauf, wie eine Seite und die andere der virtuellen Mittelachse bei dem längsgekoppelten Oberflächenschallwellenfilter vom Resonatortyp und vom 5-IDT-Typ, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, voneinander verschieden gestaltet werden.
  • Andererseits hat das längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfilter vom Resonatortyp und vom 5-IDT-Typ, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, wie in 13 von PTL 1 beschrieben, mehr Konfigurationen, um eine Seite und die andere der virtuellen Mittelachse voneinander verschieden zu gestalten, als das längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfilter vom Resonatortyp und vom 3-IDT-Typ, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist. Dementsprechend führt es nicht zu einer hinreichenden Verbesserung der Symmetrie, wenn man lediglich eine Seite und die andere mit Bezug auf die virtuelle Mittelachse asymmetrisch gestaltet, sondern hat vielmehr eine Verschlechterung der Symmetrie zur Folge.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines längsgekoppelten Filters vom Resonatortyp für elastische Wellen, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, wobei fünf IDTs in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind, und das die Signalsymmetrie zwischen ersten und zweiten symmetrischen Signalanschlüssen zuverlässiger verbessern kann.
  • Lösung des Problems
  • Gemäß einer ersten Erfindung dieser Anmeldung wird ein Filter für elastische Wellen bereitgestellt, das mindestens ein piezoelektrisches Substrat und eine längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist, enthält. Die längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen enthält erste bis fünfte IDTs, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen so angeordnet sind, daß sie zwischen dem Bereich liegen, wo die ersten bis fünften IDTs angeordnet sind. Die dritte IDT enthält erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode neben der zweiten IDT angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode neben der vierten IDT angeordnet ist. Die zweiten und vierten IDTs sind mit einem asymmetrischen Signalanschluß verbunden, die erste IDT und die erste geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß verbunden, und die fünfte IDT und die zweite geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß verbunden. Die ersten und fünften IDTs haben jeweils einen konstanten Elektrodenfingerabstand, und der Elektrodenfingerabstand der ersten IDT ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der fünften IDT. Ein Signal, das die erste IDT durchquert, und ein Signal, das die zweite IDT durchquert, sind in dem Bereich phasengleich, wo die ersten und zweiten IDTs nebeneinander liegen.
  • Gemäß einer zweiten Erfindung dieser Anmeldung wird ein Filter für elastische Wellen bereitgestellt, das mindestens ein piezoelektrisches Substrat und eine längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist, enthält. Die längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen enthält erste bis fünfte IDTs, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen so angeordnet sind, daß sie zwischen dem Bereich liegen, wo die ersten bis fünften IDTs angeordnet sind. Die dritte IDT enthält erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode neben der zweiten IDT angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode neben der vierten IDT angeordnet ist. Die zweiten und vierten IDTs sind mit einem asymmetrischen Signalanschluß verbunden, die erste IDT und die erste geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß verbunden, und die fünfte IDT und die zweite geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß verbunden. Die ersten und fünften IDTs haben jeweils einen konstanten Elektrodenfingerabstand, und der Elektrodenfingerabstand der ersten IDT ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der fünften IDT. Benachbarte äußerste Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität in dem Bereich, wo die ersten und zweiten IDTs nebeneinander liegen.
  • Gemäß einer dritten Erfindung dieser Anmeldung wird ein Filter für elastische Wellen bereitgestellt, das mindestens ein piezoelektrisches Substrat und eine längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist, enthält. Die längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen enthält erste bis fünfte IDTs, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen so angeordnet sind, daß sie zwischen dem Bereich liegen, wo die ersten bis fünften IDTs angeordnet sind. Die dritte IDT enthält erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode neben der zweiten IDT angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode neben der vierten IDT angeordnet ist. Die zweiten und vierten IDTs sind mit einem asymmetrischen Signalanschluß verbunden, die erste IDT und die erste geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß verbunden, und die fünfte IDT und die zweite geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß verbunden. Die ersten und fünften IDTs enthalten jeweils eine Elektrodenfingersektion mit einem Hauptabstand und eine Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand, die einen kleineren Elektrodenfingerabstand aufweist als die Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand, und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT, oder der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand der ersten IDT ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand der fünften IDT. Ein Signal, das die erste IDT durchquert, und ein Signal, das die zweite IDT durchquert, sind in dem Bereich phasengleich, wo die ersten und zweiten IDTs nebeneinander liegen.
  • Gemäß einer vierten Erfindung dieser Anmeldung wird ein Filter für elastische Wellen bereitgestellt, das mindestens ein piezoelektrisches Substrat und eine längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist, enthält. Die längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen enthält erste bis fünfte IDTs, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen so angeordnet sind, daß sie zwischen dem Bereich liegen, wo die ersten bis fünften IDTs angeordnet sind. Die dritte IDT enthält erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode neben der zweiten IDT angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode neben der vierten IDT angeordnet ist. Die zweiten und vierten IDTs sind mit einem asymmetrischen Signalanschluß verbunden, die erste IDT und die erste geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß verbunden, und die fünfte IDT und die zweite geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß verbunden. Die ersten und fünften IDTs enthalten jeweils eine Elektrodenfingersektion mit einem Hauptabstand und eine Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand, die einen kleineren Elektrodenfingerabstand aufweist als die Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand, und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT, oder der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand der ersten IDT ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand der fünften IDT. Benachbarte äußerste Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität in dem Bereich, wo die ersten und zweiten IDTs nebeneinander liegen.
  • Gemäß einer fünften Erfindung dieser Anmeldung wird ein Filter für elastische Wellen bereitgestellt, das mindestens ein piezoelektrisches Substrat und eine längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist, enthält. Die längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen enthält erste bis fünfte IDTs, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen so angeordnet sind, daß sie zwischen dem Bereich liegen, wo die ersten bis fünften IDTs angeordnet sind. Die dritte IDT enthält erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode neben der zweiten IDT angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode neben der vierten IDT angeordnet ist. Die zweiten und vierten IDTs sind mit einem asymmetrischen Signalanschluß verbunden, die erste IDT und die erste geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß verbunden, und die fünfte IDT und die zweite geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß verbunden. Das Metallisierungsverhältnis der ersten IDT ist kleiner als das Metallisierungsverhältnis der fünften IDT. Ein Signal, das die erste IDT durchquert, und ein Signal, das die zweite IDT durchquert, sind in dem Bereich phasengleich, wo die ersten und zweiten IDTs nebeneinander liegen.
  • Gemäß einer sechsten Erfindung dieser Anmeldung wird ein Filter für elastische Wellen bereitgestellt, das mindestens ein piezoelektrisches Substrat und eine längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist, enthält. Die längsgekoppelte Filtereinheit vom Resonatortyp für elastische Wellen enthält erste bis fünfte IDTs, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen so angeordnet sind, daß sie zwischen dem Bereich liegen, wo die ersten bis fünften IDTs angeordnet sind. Die dritte IDT enthält erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode neben der zweiten IDT angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode neben der vierten IDT angeordnet ist. Die zweiten und vierten IDTs sind mit einem asymmetrischen Signalanschluß verbunden, die erste IDT und die erste geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß verbunden, und die fünfte IDT und die zweite geteilte kammförmige Elektrode der dritten IDT sind mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß verbunden. Das Metallisierungsverhältnis der ersten IDT ist kleiner als das Metallisierungsverhältnis der fünften IDT. Benachbarte äußerste Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität in dem Bereich, wo die ersten und zweiten IDTs nebeneinander liegen.
  • Ein Filter für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Oberflächenschallwellenfilter sein, das Oberflächenschallwellen als elastische Wellen verwendet, oder kann ein Grenzflächenschallwellenfilter sein, das Grenzflächenschallwellen als elastische Wellen verwendet.
  • Eine Kommunikationsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß sie das Filter für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung enthält.
  • Vorteile der Erfindung
  • Gemäß der ersten bis sechsten Erfindung dieser Anmeldung unterscheiden sich bei dem längsgekoppelten Filter vom Resonatortyp und vom 5-IDT-Typ für elastische Wellen, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, wobei die ersten bis fünften IDTs in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind und die zentrierte dritte IDT die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden enthält, die Elektrodenfingerabstände oder Metallisierungsverhältnisse der ersten und fünften IDTs, die sich am weitesten außen befinden, voneinander. Dies kann die Signalsymmetrie zwischen den ersten und zweiten symmetrischen Signalanschlüssen effektiv verbessern.
  • Bei dem längsgekoppelten Oberflächenschallwellenfilter vom Resonatortyp und vom 3-IDT-Typ, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, wie in PTL 1 beschrieben, wird die Symmetrie verbessert, indem man einfach einer Seite und der anderen der virtuellen Mittelachse eine unterschiedliche Konfiguration gibt. Das längsgekoppelte Filter vom Resonatortyp und vom 5-IDT-Typ für elastische Wellen, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, hat viele Konfigurationen auf einer Seite und der anderen der virtuellen Mittelachse. Darum kann die Symmetrie nicht unbedingt verbessert werden, indem man einfach einer Seite und der anderen der virtuellen Mittelachse eine unterschiedliche Konfiguration gibt. Bei dem längsgekoppelten Filter vom Resonatortyp und vom 5-IDT-Typ für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, unterscheiden sich die Elektrodenfingerabstände oder Metallisierungsverhältnisse der ersten und fünften IDTs, die sich am weitesten außen befinden, voneinander. Dies kann effektiv die Symmetrie verbessern.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur einer Oberflächenschallwellenfilter gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 2 ist eine Unteransicht des Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 3 ist ein schematischer Aufriß im Querschnitt, der die Struktur des Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 4 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß einem ersten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 5 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 6 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß einem zweiten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 7 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 8 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 9 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und gemäß einem dritten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 10 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und gemäß dem dritten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 11 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und gemäß einem vierten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 12 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und gemäß dem vierten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 13 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 14 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß einem fünften Vergleichsbeispiel und gemäß einem sechsten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 15 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem fünften Vergleichsbeispiel und gemäß dem sechsten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 16 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 17 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß einem siebenten Vergleichsbeispiel und gemäß einem achten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 18 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem siebenten Vergleichsbeispiel und gemäß dem achten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 19 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 20 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß einem neunten Vergleichsbeispiel und gemäß einem zehnten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 21 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem neunten Vergleichsbeispiel und gemäß dem zehnten Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 22 ist ein Kurvendiagramm, das eine Amplitudensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß einem elften Vergleichsbeispiel und gemäß einem zwölften Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 23 ist ein Kurvendiagramm, das eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gemäß dem elften Vergleichsbeispiel und gemäß dem zwölften Vergleichsbeispiel zeigt.
  • 24 ist ein schematischer Aufriß im Querschnitt, der ein Beispiel eines Grenzflächenschallwellenfilters gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die vorliegende Erfindung wird nun anhand von Beschreibungen konkreter Ausführungsformen der Erfindung unter Bezug auf die Zeichnungen erläutert.
  • [Erste Ausführungsform]
  • 1 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform ist ein Filter für elastische Wellen, das mit Oberflächenschallwellen arbeitet.
  • Bei dieser und nachfolgend beschriebenen Ausführungsformen werden Filter für elastische Wellen beschrieben, die als Filter zum Empfangen von PCSs (persönlichen Kommunikationsdiensten) verwendet werden. Das Durchlaßband von Filtern zum Empfangen von PCSs beträgt 1930 bis 1990 MHz.
  • Bei dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform ist eine Elektrodenstruktur, wie in 1 gezeigt, auf einem piezoelektrischen Substrat P ausgebildet. Ein LiTaO3-Substrat mit einem Y-Schnitt von 40° ± 5° und X-Ausbreitung wird als das piezoelektrische Substrat P verwendet. Für die Elektrodenstruktur gelten keine speziellen Beschränkungen; in dieser Ausführungsform besteht es aus einem metallischen Material, das hauptsächlich Aluminium enthält.
  • Durch Ausbilden der oben erwähnten Elektrodenstruktur auf dem piezoelektrischen Substrat P entstehen eine längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 200A und ein damit in Reihe geschalteter Oberflächenschallwellenresonator 214.
  • Die längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 200A enthält erste bis fünfte IDTs 201 bis 205, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind. Erste und zweite Reflektoren 206 und 207 sind auf beiden Seiten des Bereichs, wo die ersten bis fünften IDTs 201 bis 205 angeordnet sind, in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Die ersten und zweiten Reflektoren 206 und 207 sind Reflektoren vom Gittertyp, die durch Kurzschließen mehrerer Elektrodenfinger an beiden Endabschnitten gebildet werden.
  • Die Struktur einer IDT wird anhand der ersten IDT 201 als Beispiel beschrieben. Die erste IDT 201 enthält ein Paar kammförmiger Elektroden 201a und 201b. Die kammförmige Elektrode 201a enthält eine Sammelschiene und mehrere Elektrodenfinger, die an Endabschnitten mit der Sammelschiene verbunden sind. Die kammförmige Elektrode 201b enthält ebenfalls eine Sammelschiene und mehrerer Elektrodenfinger, die an Endabschnitten mit der Sammelschiene verbunden sind. Die kammförmigen Elektroden 201a und 201b sind so einander gegenüber angeordnet, daß die mehreren Elektrodenfinger der kammförmigen Elektrode 201a und jene der kammförmigen Elektrode 201b wechselweise angeordnet sind. Diese mehreren Elektrodenfinger erstrecken sich in Richtungen senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen.
  • Die zweiten bis fünften IDTs 202 bis 205 enthalten ebenfalls mehrere kammförmige Elektroden. Es ist zu beachten, daß die zentrierte dritte IDT 203 eine kammförmige Elektrode 203a und erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden 203b und 203c enthält. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 203b und 203c werden durch Teilen einer kammförmigen Elektrode auf der anderen Seite gegenüber der kammförmigen Elektrode 203a in zwei Abschnitte in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen gebildet. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 203b und 203c sind in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet.
  • Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind mit einem asymmetrischen Signalanschluß 211 über den Oberflächenschallwellenresonator 214 verbunden. Die anderen Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Endabschnitte der ersten und fünften IDTs 201 und 205 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Der andere Endabschnitt der ersten IDT 201 und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b der dritten IDT 203 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß 212 verbunden. Die zweite geteilte kammförmige Elektrode 203c der dritten IDT 203 und der andere Endabschnitt der fünften IDT 205 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß 213 verbunden.
  • Die kammförmige Elektrode 203a der zentrierten dritten IDT 203 ist mit dem Erdungspotential verbunden.
  • Die vierte IDT 204 ist relativ zu der zweiten IDT 202 so invertiert, daß, wenn ein Signal von dem asymmetrischen Signalanschluß 211 eingespeist wird, um 180° phasenverdrehte Signale von den ersten und zweiten symmetrischen Signalanschlüssen 212 und 213 ausgegeben werden, und so, daß, wenn 180° phasenverdrehte Signale von den ersten und zweiten symmetrischen Signalanschlüssen 212 und 213 eingespeist werden, ein Signal von dem asymmetrischen Signalanschluß 211 ausgegeben wird. Somit hat das Oberflächenschallwellenfilter 200 die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion.
  • 3 ist ein schematischer Aufriß im Querschnitt, der die Struktur des Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß dieser Ausführungsform zeigt. Wie in 3 gezeigt, enthält das Oberflächenschallwellenfilter 200 das piezoelektrische Substrat P, auf dem die in 1 gezeigte Elektrodenstruktur ausgebildet ist, ein Basissubstrat 222, auf das das piezoelektrische Substrat P flipchip-gebondet ist, und eine Harzschicht 223, die so ausgebildet ist, daß sie das piezoelektrische Substrat P und das Basissubstrat 222 bedeckt. Das heißt, das Oberflächenschallwellenfilter 200 ist ein Oberflächenschallwellenfilter vom CSP(Chip Size Package)-Typ. In der Praxis werden Oberflächenschallwellenfilter 200 hergestellt, indem man mehrere piezoelektrische Substrate P auf ein gemeinsames Basissubstrat flipchip-bondet, dann das gemeinsame Basissubstrat mit einem Harz versiegelt und es dann schneidet.
  • 2 ist eine Unteransicht des Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß dieser Ausführungsform. Wie in 2 gezeigt, sind Anschlußelektroden 301 bis 305 zum elektrischen Verbinden des Oberflächenschallwellenfilters 200 nach außen an der Unterseite des Oberflächenschallwellenfilters 200, das heißt, an der unteren Fläche des Basissubstrats 222, ausgebildet. Die Anschlußelektroden 301 bis 305 bestehen jeweils aus einem geeigneten Elektrodenmaterial wie zum Beispiel W.
  • Die Anschlußelektrode 301 ist elektrisch mit dem asymmetrischen Signalanschluß 211 verbunden. Die Anschlußelektroden 302 und 303 sind elektrisch mit dem ersten und dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 212 bzw. 213 verbunden. Die Anschlußelektroden 304 und 305 sind Anschlußelektroden, die mit dem Erdungspotential verbunden sind.
  • Die Unterseite des Basissubstrats 222 ist rechteckig, und die Anschlußelektrode 301 ist entlang einer kurzen Seite und in der Mitte der kurzen Seite angeordnet. Die Anschlußelektroden 302 und 304 und die Anschlußelektroden 303 und 305 sind symmetrisch zur Mittelachse angeordnet, die durch diese kurze Seite verläuft und parallel zu den Seiten ist. Es ist bevorzugt, daß die Anschlußelektroden 302 und 304 und die Anschlußelektroden 303 und 305 symmetrisch zur Mittelachse angeordnet sind, wie oben beschrieben. Dies kann die Signalsymmetrie zwischen den ersten und zweiten symmetrischen Signalanschlüssen 212 und 213 weiter verstärken. Um die Symmetrie weiter zu verstärken, wird die Mittelachse vorzugsweise in einer Position angeordnet, welche die virtuelle Mittelachse A, die später noch beschrieben wird, überlappt.
  • Wie in 1 gezeigt, ist in den Bereichen der ersten bis fünften IDTs 201 bis 205, wo zwei IDTs nebeneinander liegen, der Elektrodenfingerabstand der mehreren Elektrodenfinger jeder IDT, einschließlich des äußersten Elektrodenfingers, der sich am Endabschnitt der IDT befindet, kleiner als der Elektrodenfingerabstand der anderen Sektion der IDT Diese Sektion mit dem relativ kleinen Elektrodenfingerabstand wird als eine Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand bezeichnet. In 1 ist jede Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand schematisch mit N bezeichnet. Die Sektion einer IDT, die keine mit N bezeichnete Sektion (Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand) ist, ist eine Elektrodenfingersektion, die einen Elektrodenfingerabstand aufweist, der sich von dem Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand unterscheidet, und wird als eine Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand bezeichnet. Der Elektrodenfingerabstand bezieht sich hier auf den Mittenabstand zwischen benachbarten Elektrodenfingern.
  • Die Bereitstellung der Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand kann bekanntlich die Kontinuität der Ausbreitungseigenschaften von Oberflächenschallwellen in den Bereichen verbessern, wo die IDTs nebeneinander liegen.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind einander gleich. In der dritten IDT 203 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, einander gleich. Der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205. Genauer gesagt, ist der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205. Dies kann die Symmetrie verbessern, wie später in der Ausführungsform beschrieben wird.
  • Die Anzahlen der Elektrodenfinger der ersten bis fünften IDTs 201 bis 205 sind in Tabelle 1 unten angegeben. Die in Klammern gesetzte Anzahl stellt die Anzahl der Elektrodenfinger der Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand dar. Die anderen Anzahlen stellen die Anzahl der Elektrodenfinger der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand dar. In Bezug auf die IDT 203 sind die Elektrodenfingeranzahlen für den Abschnitt, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und die Elektrodenfingeranzahlen für den Abschnitt, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, separat gezeigt. [Tabelle 1]
    IDT Elektrodenfingeranzahl
    201 48(5)
    202 (3)67(5)
    203b (4)13
    203c 13(4)
    204 (5)67(3)
    205 (5)48
  • Wie in 1 gezeigt, sind in dem Bereich, wo die erste IDT 201 und die zweite IDT 202 nebeneinander liegen, die äußersten Elektrodenfinger der ersten IDT 201 und der zweiten IDT 202 Elektrodenfinger, die mit dem Erdungspotential verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • Andererseits ist in dem Bereich, wo die vierte IDT 204 und die fünfte IDT 205 nebeneinander liegen, der äußerste Elektrodenfinger der vierten IDT 204 ein Elektrodenfinger, der mit einem Signalanschluß verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der fünften IDT 205 ist ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • In dem Bereich, wo die zweite IDT 202 und die dritte IDT 203 nebeneinander liegen, sind die äußersten Elektrodenfinger der vierten IDT 204 und der dritten IDT 203 Elektrodenfinger, die mit dem Erdungspotential verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • Andererseits ist in dem Bereich, wo die dritte IDT 203 und die vierte IDT 204 nebeneinander liegen, der äußerste Elektrodenfinger der dritten IDT 203 ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der vierten IDT 204 ist ein Elektrodenfinger, der mit dem Signalanschluß verbunden ist. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • Darum sind in dem Bereich, wo die erste IDT 201 und die zweite IDT 202 nebeneinander liegen, Signale, welche die zweite IDT 202 durchqueren, und Signale, welche die erste IDT 201 durchqueren, phasengleich. Andererseits haben in dem Bereich, wo die vierte IDT 204 und die fünfte IDT 205 nebeneinander liegen, Signale, welche die vierte IDT 204 durchqueren, und Signale, welche die fünfte IDT 205 durchqueren, entgegengesetzte Phasen.
  • Das heißt, diese Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert: In dem Bereich, wo die erste IDT 201, die mit dem ersten symmetrischen Signalanschluß 212 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die zweite IDT 202, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 211 verbunden ist, nebeneinander liegen, sind Signale, die die benachbarten IDTs durchqueren, phasengleich; in dem Bereich, wo die fünfte IDT 205, die mit dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 213 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die vierte IDT 204, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 211 verbunden ist, nebeneinander liegen, haben Signale, die die benachbarten IDTs durchqueren, entgegengesetzte Phasen; und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205.
  • In dieser Ausführungsform ist die Struktur auf dem piezoelektrischen Substrat P mit Bezug auf die virtuelle Mittelachse A, die in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen verläuft, symmetrisch, außer daß sich die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 und der fünften IDT 205 voneinander unterscheiden. Darum wird die Symmetrie erhöht. Das liegt daran, daß nur wenige asymmetrische Komponenten vorhanden sind, außer daß die äußersten Elektrodenfinger der zweiten IDT 202 neben der dritten IDT 203 sowie der vierten IDT 204 neben der zentrierten dritten IDT 203 verschiedene Polaritäten haben.
  • Zum Vergleich mit dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform wurde ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem ersten Vergleichsbeispiel hergestellt. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 und der fünften IDT 205 einander gleich sind.
  • Genauer gesagt ist das erste Vergleichsbeispiel folgendermaßen konfiguriert: Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten und fünften IDTs 201 und 205 sind einander gleich. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind einander gleich. In der dritten IDT 203 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, einander gleich.
  • 4 und 5 sind Kurvendiagramme, die eine Amplitudensymmetrie und eine Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß dieser Ausführungsform und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel zeigen. In den 4 und 5 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform dar, und die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel dar.
  • Amplitudensymmetrie meint die Differenz zwischen der Amplitude eines Signals, das von dem ersten symmetrischen Signalanschluß 212 ausgegeben wird, und der Amplitude eines Signals, das von dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 213 ausgegeben wird. Phasensymmetrie meint die Differenz zwischen der Phase eines Signals, das von dem ersten symmetrischen Signalanschluß 212 ausgegeben wird, und der Phase eines Signals, das von dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 213 ausgegeben wird. Idealerweise hat ein Oberflächenschallwellenfilter, das die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion aufweist, eine Amplitudensymmetrie von 0 dB und eine Phasensymmetrie von 180° im Durchlaßband. Im Allgemeinen müssen die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie –1,2 dB bis +1,2 dB bzw. 168° bis 192° im Durchlaßband betragen.
  • Beim Schätzen der Amplitudensymmetrie und der Phasensymmetrie sind die Größen der schlechtesten Werte der Amplitudensymmetrie und der Phasensymmetrie im Durchlaßband von Bedeutung. Das heißt, die schlechtesten Werte der Amplitudensymmetrie und der Phasensymmetrie müssen ein kleiner absoluter Werte bzw. ein Wert nahe 180° im Durchlaßband sein.
  • Wie aus 4 zu erkennen ist, ist der Wert der Amplitudensymmetrie am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern, sowohl in dieser Ausführungsform als auch im ersten Vergleichsbeispiel. Für das erste Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,0 dB. Andererseits liegt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz für diese Ausführungsform bei –0,8 dB. Somit wird gemäß dieser Ausführungsform die Amplitudensymmetrie im Vergleich zum ersten Vergleichsbeispiel um ungefähr 0,2 dB verbessert. Das liegt daran, daß die Phasendifferenz zwischen einem Signal, das von dem ersten symmetrischen Signalanschluß 212 ausgegeben wird, und einem Signal, das von dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 213 ausgegeben wird, korrigiert wird, indem die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 und der fünften IDT 205 unterschiedlich ausgelegt werden.
  • Andererseits ist, wie aus 5 zu erkennen ist, die Phasensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform geringfügig schlechter als beim ersten Vergleichsbeispiel.
  • In dieser Ausführungsform fällt jedoch der schlechteste Wert der Phasensymmetrie in den Bereich von 168° bis 192°. Somit kann gemäß dieser Ausführungsform die Amplitudensymmetrie deutlich verbessert werden, ohne daß sich die Phasensymmetrie nennenswert verschlechtert.
  • Als nächstes wurde ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem zweiten Vergleichsbeispiel hergestellt. 6 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel zeigt. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel ist die Elektrodenstruktur, wie in 6 gezeigt, auf dem piezoelektrischen Substrat P ausgebildet. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel ist – im Gegensatz zu dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform – der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201.
  • Genauer gesagt, ist das zweite Vergleichsbeispiel konfiguriert folgendermaßen. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind einander gleich. In der dritten IDT 203 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, einander gleich. Der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201.
  • 7 und 8 sind Kurvendiagramme, die die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß dieser Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel zeigen. In den 7 und 8 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform dar; die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel dar; und die Strich-Punkt-Strich-Linien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zweiten Vergleichsbeispiel dar.
  • Wie aus 7 zu erkennen ist, ist bei dem zweiten Vergleichsbeispiel der Wert der Amplitudensymmetrie ebenfalls am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem zweiten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz –1,4 dB und ist schlechter als beim ersten Vergleichsbeispiel. Darüber hinaus erfüllt die Amplitudensymmetrie bei dem zweiten Vergleichsbeispiel nicht die Bereichsanforderung von –1,2 dB bis +1,2 dB. Des Weiteren verschlechtert sich bei dem zweiten Vergleichsbeispiel die Phasensymmetrie, wie aus 8 zu erkennen ist.
  • Als nächstes wurde ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem dritten Vergleichsbeispiel hergestellt. Tabelle 2 zeigt die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten bis fünften IDTs 201 bis 205 eines Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß der ersten Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem dritten Vergleichsbeispiel. In Bezug auf die IDT 203 sind der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, separat gezeigt.
  • Diese Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind gleich λ3. In der dritten IDT 203 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und der Abschnitt, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, gleich λ4. Der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 beträgt λ2 × 0,999, und Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205 beträgt λ2 × 1,001. Das heißt, der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205.
  • Das erste Vergleichsbeispiel ist folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten und fünften IDTs 201 und 205 sind gleich λ2. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind gleich λ3. In der dritten IDT 203 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, gleich λ4.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem dritten Vergleichsbeispiel ist folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten und fünften IDTs 201 und 205 sind gleich λ2. In der dritten IDT 203 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, λ4 und einander gleich. Der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der zweiten IDT 202 beträgt λ3 × 1,001, und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der vierten IDT 204 ist λ3 × 0,999. Das heißt, die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten IDT 202 und vierten IDT 204 unterscheiden sich voneinander. Das dritte Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform, mit Ausnahme der Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten bis fünften IDTs 201 bis 205. [Tabelle 2]
    Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand
    IDT Erstes Vergleichsbeispiel Erste Ausführungsform Drittes Vergleichsbeispiel
    201 λ2 λ2 × 0,999 λ2
    202 λ3 λ3 λ3 × 1,001
    203b λ4 λ4 λ4
    203c λ4 λ4 λ4
    204 λ3 λ3 λ3 × 0,999
    205 λ2 λ2 × 1,001 λ2
  • 9 und 10 sind Kurvendiagramme, die die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß dieser Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem dritten Vergleichsbeispiel zeigen. In den 9 und 10 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform dar; die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel dar; und die Strich-Punkt-Strich-Linien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem dritten Vergleichsbeispiel dar.
  • Bei dem dritten Vergleichsbeispiel sind die äußersten Elektrodenfinger der dritten IDT 203 Elektrodenfinger, die mit dem Neutralpunktpotential, das heißt dem Erdungspotential verbunden sind; der äußerste Elektrodenfinger der zweiten IDT 202 neben der dritten IDT 203 ist ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist; und der äußerste Elektrodenfinger der vierten IDT 204 neben der dritten IDT 203 ist ein Elektrodenfinger, der mit einem Signalanschluß verbunden ist. Dementsprechend ist, wie oben beschrieben, der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der zweiten IDT 202 größer als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der vierten IDT 204.
  • Wie aus 9 zu erkennen ist, ist bei dem dritten Vergleichsbeispiel ebenfalls der Wert der Amplitudensymmetrie am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem dritten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz –1,7 dB und ist schlechter als bei dem ersten Vergleichsbeispiel. Darüber hinaus erfüllt die Amplitudensymmetrie bei dem dritten Vergleichsbeispiel nicht die Bereichsanforderung von –1,2 dB bis +1,2 dB. Möglicherweise liegt das daran, daß die elektrische Verbindung zwischen der zweiten IDT 202 und der vierten IDT 204 eine Veränderung eines Parameters von einer dieser IDTs verursacht, wodurch die andere IDT beeinträchtigt wird.
  • Als nächstes wurde ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem vierten Vergleichsbeispiel hergestellt. Tabelle 3 zeigt die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten bis fünften IDTs 201 bis 205 eines Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß der ersten Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem vierten Vergleichsbeispiel. In Bezug auf die IDT 203 sind der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, separat gezeigt. λ2 bis λ4 in Tabelle 3 sind die gleichen Werte wie λ2 bis λ4 in Tabelle 2. [Tabelle 3]
    Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand
    IDT Erstes Vergleichsbeispiel Erste Ausführungsform Viertes Vergleichsbeispiel
    201 λ2 λ2 × 0,999 λ2
    202 λ3 λ3 λ3
    203b λ4 λ4 λ4 × 1,001
    203c λ4 λ4 λ4 × 0,999
    204 λ3 λ3 λ3
    205 λ2 λ2 × 1,001 λ2
  • Wie aus Tabelle 3 zu erkennen ist, ist das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem vierten Vergleichsbeispiel folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten und fünften IDTs 201 und 205 sind gleich λ2. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind gleich λ3, In der dritten IDT 203 ist der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, gleich λ4 × 1,001, und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, ist gleich λ4 × 0,999. Das heißt, in der dritten IDT 203 unterscheiden sich die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, voneinander. Das vierte Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform, mit Ausnahme der Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten bis fünften IDTs 201 bis 205.
  • 11 und 12 sind Kurvendiagramme, die die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß dieser Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem vierten Vergleichsbeispiel zeigen. In den 11 und 12 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß dieser Ausführungsform dar; die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel dar; und die Strich-Punkt-Strich-Linien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem vierten Vergleichsbeispiel dar.
  • Wie aus 11 zu erkennen ist, ist bei dem vierten Vergleichsbeispiel ebenfalls der Wert der Amplitudensymmetrie am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem vierten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz –1,4 dB und ist schlechter als bei dem ersten Vergleichsbeispiel. Darüber hinaus erfüllt die Amplitudensymmetrie bei dem vierten Vergleichsbeispiel nicht die Bereichsanforderung von –1,2 dB bis +1,2 dB. Möglicherweise liegt das daran, daß die Nachbarschaft zwischen den Elektrodenfingern der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c der dritten IDT 203 die akustische Kopplung verstärkt, so daß eine Veränderung eines Parameters von einer dieser geteilten kammförmigen Elektroden die andere geteilte kammförmige Elektrode beeinträchtigt.
  • Aus den oben beschriebenen Ergebnissen der ersten Ausführungsform und der ersten bis vierten Vergleichsbeispiele geht hervor, daß in dem Bereich, wo die erste IDT 201, die mit dem ersten symmetrischen Signalanschluß 212 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die zweite IDT 202, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 211 verbunden ist, nebeneinander liegen, Signale, die die benachbarten IDTs durchqueren, phasengleich sind; und daß in dem Bereich, wo die fünfte IDT 205, die mit dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 213 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die vierte IDT 204, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 211 verbunden ist, nebeneinander liegen, Signale, die die benachbarten IDTs durchqueren, entgegengesetzte Phasen haben; und daß eine Einstellung vorgenommen werden muß, so daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205; und daß eine solche Einstellung die Symmetrie deutlich verbessern kann.
  • Obgleich sich in der ersten Ausführungsform sämtliche Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten und fünften IDTs 201 und 205 voneinander unterscheiden, braucht sich lediglich ein Teil der Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand dieser IDTs voneinander zu unterscheiden. Alternativ können sich die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand der ersten IDT 201 und der fünften IDT 205 voneinander unterscheiden. Auch in diesem Fall kann, wie in der oben besprochenen ersten Ausführungsform, die Symmetrie verbessert werden.
  • Obgleich in der ersten Ausführungsform die Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand in den ersten bis fünften IDTs 201 bis 205 angeordnet sind, kann der Elektrodenfingerabstand auch konstant sein, ohne Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand vorzusehen. Selbst in diesem Fall kann die Symmetrie verbessert werden, indem man die Elektrodenfingerabstände der ersten und fünften IDTs 201 und 205, die jeweils einen konstanten Elektrodenfingerabstand haben, ganz oder teilweise voneinander verschieden ausgelegt.
  • In der ersten Ausführungsform wird ein LiTaO3-Substrat mit einem Y-Schnitt von 40° ± 5° und X-Ausbreitung als das piezoelektrische Substrat P verwendet. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Wie ebenfalls aus dem Prinzip, auf das sich die Vorteile der Erfindung gründen, zu erkennen ist, können auch andere piezoelektrische Einkristallsubstrate verwendet werden. Zum Beispiel ermöglicht die Verwendung eines LiNbO3-Substrats mit einem Y-Schnitt von 64° bis 72° und X-Ausbreitung, eines LiNbO3-Substrats mit einem Y-Schnitt von 41° und X-Ausbreitung oder dergleichen die Realisierung ähnlicher Vorteile.
  • In der ersten Ausführungsform können die Elektrodenfinger der kammförmigen Elektrode 203a der dritten IDT 203, die den ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 203b und 203c gegenüber liegt, schwimmende Elektrodenfinger sein. Selbst in diesem Fall lassen sich ähnliche Vorteile wie bei der oben beschriebenen Ausführungsform realisieren.
  • [Zweite Ausführungsform]
  • 13 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters 400 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Bei dem Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß der zweiten Ausführungsform wird die Elektrodenstruktur, wie in 13 gezeigt, auf dem piezoelektrischen Substrat P ausgebildet. Wie bei dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform enthält das Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß der zweiten Ausführungsform eine längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 400A und einen damit in Reihe geschalteten Oberflächenschallwellenresonator 414. Das Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß der zweiten Ausführungsform hat eine Grundstruktur ähnlich dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform. Aus diesem Grund erhalten die gleichen Komponenten Bezugszahlen im 400-Bereich anstelle des 200-Bereichs und werden nicht mehr ausführlich beschrieben.
  • In der zweiten Ausführungsform enthält die längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 400A ebenfalls erste bis fünfte IDTs 401 bis 405, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind. Die zentrierte dritte IDT 403 enthält eine kammförmige Elektrode 403a und erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden 403b und 403c. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 403b und 403c werden durch Teilen einer kammförmigen Elektrode auf der anderen Seite gegenüber der kammförmigen Elektrode 403a in zwei Abschnitte in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen gebildet. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 403b und 403c sind in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Erste und zweite Reflektoren 406 und 407 sind auf beiden Seiten des Bereichs, wo die ersten bis fünften IDTs 401 bis 405 angeordnet sind, in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Es ist zu beachten, daß bei dem Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß der zweiten Ausführungsform die zweiten und vierten IDTs 402 und 404 relativ zu den zweiten und vierten IDTs 202 bzw. 204 des Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß der ersten Ausführungsform invertiert sind.
  • Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 402 und 404 sind über einen Oberflächenschallwellenresonator 414 mit einem asymmetrischen Signalanschluß 411 verbunden. Die anderen Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 402 und 404 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Endabschnitte der ersten und fünften IDTs 401 und 405 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Der andere Endabschnitt der ersten IDT 401 und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 403b der dritten IDT 403 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß 412 verbunden. Die zweite geteilte kammförmige Elektrode 403c der dritten IDT 403 und der andere Endabschnitt der fünften IDT 405 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß 413 verbunden. Die kammförmige Elektrode 403a der zentrierten dritten IDT 403 ist mit dem Erdungspotential verbunden.
  • In der zweiten Ausführungsform ist die vierte IDT 404 – wie in der ersten Ausführungsform – relativ zu der zweiten IDT 402 invertiert, um die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion zu realisieren.
  • Wie in 13 gezeigt, sind in den Bereichen der ersten bis fünften IDTs 401 bis 405, wo zwei IDTs nebeneinander liegen, Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand angeordnet. Der Elektrodenfingerabstand der mehreren Elektrodenfinger einer Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand einer IDT, die den äußersten Elektrodenfinger enthält, der sich an dem Endabschnitt der IDT befindet, ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der anderen Sektion der IDT. In 13 ist jede Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand schematisch mit N bezeichnet. Die Sektion einer IDT, die keine mit N bezeichnete Sektion (Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand) ist, ist eine Elektrodenfingersektion, die einen Elektrodenfingerabstand aufweist, der sich von dem Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand unterscheidet, das heißt eine Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand.
  • Wie in 13 gezeigt, ist in dem Bereich, wo die erste IDT 401 und die zweite IDT 402 nebeneinander liegen, der äußerste Elektrodenfinger der ersten IDT 401 ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der zweiten IDT 402 ist ein Elektrodenfinger, der mit einem Signalanschluß verbunden ist. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • Andererseits sind in dem Bereich, wo die vierte IDT 404 und die fünfte IDT 405 nebeneinander liegen, die äußersten Elektrodenfinger der vierten IDT 404 und der fünften IDT 405 Elektrodenfinger, die mit dem Erdungspotential verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • In dem Bereich, wo die zweite IDT 402 und die dritte IDT 403 nebeneinander liegen, ist der äußerste Elektrodenfinger der zweiten IDT 402 ein Elektrodenfinger, der mit dem Signalanschluß verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der dritten IDT 403 ist ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • Andererseits sind in dem Bereich, wo die dritte IDT 403 und die vierte IDT 404 nebeneinander liegen, die äußersten Elektrodenfinger der dritten IDT 403 und der vierten IDT 404 Elektrodenfinger, die mit dem Erdungspotential verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • Somit haben in dem Bereich, wo die erste IDT 401 und die zweite IDT 402 nebeneinander liegen, Signale, welche die zweite IDT 402 durchqueren, und Signale, welche die erste IDT 401 durchqueren, entgegengesetzte Phasen. Andererseits sind in dem Bereich, wo die vierte IDT 404 und die fünfte IDT 405 nebeneinander liegen, Signale, welche die vierte IDT 404 durchqueren, und Signale, welche die fünfte IDT 405 durchqueren, phasengleich.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß dieser Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 402 und 404 sind einander gleich. In der dritten IDT 403 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 403a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 403b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 403a und der zweiten geteilten Elektrode 403c besteht, einander gleich. Der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 405 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß dieser Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 405 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401. Genauer gesagt, ist der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 405 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401.
  • Das heißt, diese Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert: In dem Bereich, wo die erste IDT 401, die mit dem ersten symmetrischen Signalanschluß 412 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die zweite IDT 402, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 411 verbunden ist, nebeneinander liegen, sind Signals, welche die benachbarten zwei IDTs durchqueren, phasengleich; in dem Bereich, wo die fünfte IDT 405, die mit dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 413 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die vierte IDT 404, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 411 verbunden ist, nebeneinander liegen, haben Signale, welche die benachbarten zwei IDTs durchqueren, entgegengesetzte Phasen; und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 405 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401.
  • In dieser Ausführungsform ist die Struktur auf dem piezoelektrischen Substrat P mit Bezug auf die virtuelle Mittelachse A, die in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen verläuft, symmetrisch, außer daß sich die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401 und fünften IDT 405 voneinander unterscheiden. Somit wird die Symmetrie erhöht. Das liegt daran, daß nur wenige asymmetrische Komponenten vorhanden sind, außer daß die äußersten Elektrodenfinger der zweiten IDT 402 neben der dritten IDT 403 sowie der vierten IDT 404 neben der zentrierten dritten IDT 403 verschiedene Polaritäten zwischen der zweiten IDT 402 und vierten IDT 404 haben.
  • Zum Vergleich mit dem Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß dieser Ausführungsform wurden ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem fünften Vergleichsbeispiel und ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem sechsten Vergleichsbeispiel hergestellt. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem fünften Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401 und der fünften IDT 405 einander gleich sind. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem sechsten Vergleichsbeispiel ist im Gegensatz zu dem Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß dieser Ausführungsform der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 405. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem sechsten Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 405.
  • 14 und 15 sind Kurvendiagramme, die die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters 400 gemäß dieser Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem fünften Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem sechsten Vergleichsbeispiel zeigen. In den 14 und 15 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter 400 gemäß dieser Ausführungsform dar; die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem fünften Vergleichsbeispiel dar; und die Strich-Punkt-Strich-Linien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem sechsten Vergleichsbeispiel dar.
  • Wie aus 14 zu erkennen ist, ist der Wert der Amplitudensymmetrie sowohl in dieser Ausführungsform als auch bei dem fünften Vergleichsbeispiel am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem fünften Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz –1,1 dB. Andererseits beträgt in dieser Ausführungsform die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz –0,8 dB. Somit wird die Amplitudensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform im Vergleich zum fünften Vergleichsbeispiel um ungefähr 0,3 dB verbessert. Das liegt daran, daß die Phasendifferenz zwischen einem Signal, das von dem ersten symmetrischen Signalanschluß 412 ausgegeben wird, und einem Signal, das von dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 413 ausgegeben wird, korrigiert wird, indem die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 401 und der fünften IDT 405 unterschiedlich ausgelegt werden.
  • Andererseits, wie aus 15 zu erkennen ist, ist die Phasensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform geringfügig schlechter als beim fünften Vergleichsbeispiel. Jedoch fällt auch in dieser Ausführungsform der schlechteste Wert der Phasensymmetrie in den Bereich von 168° bis 192°.
  • Wie aus 14 zu erkennen ist, ist im sechsten Vergleichsbeispiel ebenfalls der Wert der Amplitudensymmetrie am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem sechsten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,4 dB und ist schlechter als im fünften Vergleichsbeispiel. Darüber hinaus erfüllt die Amplitudensymmetrie im sechsten Vergleichsbeispiel nicht die Bereichsanforderung von –1,2 dB bis +1,2 dB. Des Weiteren verschlechtert sich beim sechsten Vergleichsbeispiel die Phasensymmetrie, wie aus 15 zu erkennen ist. Somit ist aus den 14 und 15 zu erkennen, daß auch in der zweiten Ausführungsform die Amplitudensymmetrie verbessert werden kann, ohne daß sich die Phasensymmetrie nennenswert verschlechtert.
  • [Dritte Ausführungsform]
  • 16 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters 500 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß der dritten Ausführungsform ist die Elektrodenstruktur, wie in 16 gezeigt, auf dem piezoelektrischen Substrat P ausgebildet. Wie bei dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform enthält das Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß der dritten Ausführungsform eine längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 500A und einen damit in Reihe geschalteten Oberflächenschallwellenresonator 514. Das Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß der dritten Ausführungsform hat eine Grundstruktur ähnlich dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform. Aus diesem Grund erhalten die gleichen Komponenten Bezugszahlen im 500-Bereich anstelle des 200-Bereichs und werden nicht mehr ausführlich beschrieben.
  • In der dritten Ausführungsform enthält die längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 500A ebenfalls erste bis fünfte IDTs 501 bis 505, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind. Die zentrierte dritte IDT 503 enthält eine kammförmige Elektrode 503a und erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden 503b und 503c. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 503b und 503c werden durch Teilen einer kammförmigen Elektrode auf der anderen Seite gegenüber der kammförmigen Elektrode 503a in zwei Abschnitte in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen gebildet. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 503b und 503c sind in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Erste und zweite Reflektoren 505 und 506 sind auf beiden Seiten des Bereichs, wo die ersten bis fünften IDTs 501 bis 505 angeordnet sind, in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß der dritten Ausführungsform sind die ersten und fünften IDTs 501 und 505 relativ zu den ersten und fünften IDTs 201 bzw. 205 des Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß der ersten Ausführungsform invertiert, und die äußersten Elektrodenfinger der dritten IDT 503 sind Elektrodenfinger, die mit Signalanschlüssen verbunden sind.
  • Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 502 und 504 sind über einen Oberflächenschallwellenresonator 514 mit einem asymmetrischen Signalanschluß 511 verbunden. Die anderen Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 502 und 504 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Endabschnitte der ersten und fünften IDTs 501 und 505 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Der andere Endabschnitt der ersten IDT 501 und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 503b der dritten IDT 503 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß 512 verbunden. Die zweite geteilte kammförmige Elektrode 503c der dritten IDT 503 und der andere Endabschnitt der fünften IDT 505 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß 513 verbunden. Die kammförmige Elektrode 503a der zentrierten dritten IDT 503 ist mit dem Erdungspotential verbunden.
  • In der dritten Ausführungsform ist, wie in der ersten Ausführungsform, die vierte IDT 504 relativ zu der zweiten IDT 502 invertiert, so daß die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion realisiert wird.
  • Wie in 16 gezeigt, sind Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand in den Bereichen der ersten bis fünften IDTs 501 bis 505, wo zwei IDTs nebeneinander liegen, angeordnet. Der Elektrodenfingerabstand der mehreren Elektrodenfinger einer Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand einer IDT, die den äußersten Elektrodenfinger enthält, der sich an dem Endabschnitt der IDT befindet, ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der anderen Sektion der IDT. In 16 ist jede Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand schematisch mit N bezeichnet. Die Sektion einer IDT, die keine mit N bezeichnete Sektion (Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand) ist, ist eine Elektrodenfingersektion, die einen Elektrodenfingerabstand aufweist, der sich von dem Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand unterscheidet, das heißt eine Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand.
  • Wie in 16 gezeigt, ist in dem Bereich, wo die erste IDT 501 und die zweite IDT 502 nebeneinander liegen, der äußerste Elektrodenfinger der ersten IDT 501 ein Elektrodenfinger, der mit einem Signalanschluß verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der zweiten IDT 502 ist ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • Andererseits sind in dem Bereich, wo die vierte IDT 504 und die fünfte IDT 505 nebeneinander liegen, die äußersten Elektrodenfinger der vierten IDT 504 und der fünften IDT 505 Elektrodenfinger, die mit Signalanschlüssen verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • In dem Bereich, wo die zweite IDT 502 und die dritte IDT 503 nebeneinander liegen, ist der äußerste Elektrodenfinger der zweiten IDT 502 ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der dritten IDT 503 ist ein Elektrodenfinger, der mit einem Signalanschluß verbunden ist. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • Andererseits sind in dem Bereich, wo die dritte IDT 503 und die vierte IDT 504 nebeneinander liegen, die äußersten Elektrodenfinger der dritten IDT 503 und der vierten IDT 504 Elektrodenfinger, die mit Signalanschlüssen verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • Somit haben in dem Bereich, wo die erste IDT 501 und die zweite IDT 502 nebeneinander liegen, Signale, welche die zweite IDT 502 durchqueren, und Signale, welche die erste IDT 501 durchqueren, entgegengesetzte Phasen. Andererseits sind in dem Bereich, wo die vierte IDT 504 und die fünfte IDT 505 nebeneinander liegen, Signale, welche die vierte IDT 504 durchqueren, und Signale, welche die fünfte IDT 505 durchqueren, phasengleich.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß dieser Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 502 und 504 sind einander gleich. In der dritten IDT 503 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 503a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 503b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 503a und der zweiten geteilten Elektrode 503c besteht, einander gleich. Der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 505 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß dieser Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 505 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501. Genauer gesagt, ist der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 505 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501. Das heißt, diese Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert: In dem Bereich, wo die erste IDT 501, die mit dem ersten symmetrischen Signalanschluß 512 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die zweite IDT 502, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 511 verbunden ist, nebeneinander liegen, sind Signale, welche die benachbarten zwei IDTs durchqueren, phasengleich; in dem Bereich, wo die fünfte IDT 505, die mit dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 513 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die vierte IDT 504, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 511 verbunden ist, nebeneinander liegen, haben Signale, welche die benachbarten zwei IDTs durchqueren, entgegengesetzte Phasen; und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 505 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501.
  • In dieser Ausführungsform ist die Struktur auf dem piezoelektrischen Substrat P mit Bezug auf die virtuelle Mittelachse A, die in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen verläuft, symmetrisch, außer daß sich die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501 und der fünften IDT 505 voneinander unterscheiden. Somit wird die Symmetrie erhöht. Das liegt daran, daß nur wenige asymmetrische Komponenten vorhanden sind, außer daß die äußersten Elektrodenfinger der zweiten IDT 502 neben der dritten IDT 503 sowie der vierten IDT 504 neben der zentrierten dritten IDT 503 verschiedene Polaritäten zwischen der zweiten IDT 502 und vierten IDT 504 haben.
  • Da auch in dieser Ausführungsform die ersten bis fünften IDT 501 bis 505 in der oben beschrieben Weise konfiguriert sind, kann die Symmetrie verbessert werden. Dies wird mit Bezug auf die 17 und 18 beschrieben.
  • Zum Vergleich mit dem Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß dieser Ausführungsform wurden ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem siebenten Vergleichsbeispiel und ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem achten Vergleichsbeispiel hergestellt. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem siebenten Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501 und fünften IDT 505 einander gleich sind. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem achten Vergleichsbeispiel ist – im Gegensatz zu dem Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß dieser Ausführungsform – der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 505. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem achten Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 505.
  • 17 und 18 sind Kurvendiagramme, die die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters 500 gemäß dieser Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem siebenten Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem achten Vergleichsbeispiel zeigen. In den 17 und 18 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter 500 gemäß dieser Ausführungsform dar; die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem siebenten Vergleichsbeispiel dar; und die Strich-Punkt-Strich-Linien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem achten Vergleichsbeispiel dar.
  • Wie aus 17 zu erkennen ist, ist der Wert der Amplitudensymmetrie sowohl in dieser Ausführungsform als auch bei dem siebenten Vergleichsbeispiel am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem siebenten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,2 dB. Andererseits beträgt die Amplitudensymmetrie in dieser Ausführungsform bei 1990 MHz ungefähr –1,1 dB. Somit wird die Amplitudensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform im Vergleich zum siebenten Vergleichsbeispiel um ungefähr 0,1 dB verbessert. Das liegt daran, daß die Phasendifferenz zwischen einem Signal, das von dem ersten symmetrischen Signalanschluß 512 ausgegeben wird, und einem Signal, das von dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 513 ausgegeben wird, korrigiert wird, indem die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 501 und der fünften IDT 505 unterschiedlich ausgelegt werden.
  • Andererseits, wie aus 18 zu erkennen ist, ist die Phasensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform geringfügig schlechter als gemäß dem siebenten Vergleichsbeispiel. In dieser Ausführungsform fällt jedoch der schlechteste Wert der Phasensymmetrie in den Bereich von 168° bis 192°.
  • Wie aus 17 zu erkennen ist, ist bei dem achten Vergleichsbeispiel ebenfalls der Wert der Amplitudensymmetrie am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem achten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,4 dB und ist schlechter als bei dem siebenten Vergleichsbeispiel. Darüber hinaus erfüllt die Amplitudensymmetrie bei dem achten Vergleichsbeispiel nicht die Bereichsanforderung von –1,2 dB bis +1,2 dB.
  • Wie aus 18 zu erkennen ist, verschlechtert sich die Phasensymmetrie bei dem achten Vergleichsbeispiel.
  • Dementsprechend kann, wie aus den 17 und 18 zu erkennen ist, auch in der dritten Ausführungsform die Amplitudensymmetrie verbessert werden, ohne daß sich die Phasensymmetrie nennenswert verschlechtert.
  • [Vierte Ausführungsform]
  • 19 ist eine schematische Draufsicht, welche die Elektrodenstruktur eines Oberflächenschallwellenfilters 600 gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß der vierten Ausführungsform ist die Elektrodenstruktur, wie in 19 gezeigt, auf dem piezoelektrischen Substrat P ausgebildet.
  • Wie bei dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform enthält das Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß der vierten Ausführungsform eine längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 600A und einen damit in Reihe geschalteten Oberflächenschallwellenresonator 614. Das Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß der vierten Ausführungsform hat eine Grundstruktur ähnlich dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform. Aus diesem Grund erhalten die gleichen Komponenten Bezugszahlen im 600-Bereich anstelle des 200-Bereichs und werden nicht mehr ausführlich beschrieben.
  • Auch in der vierten Ausführungsform enthält die längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp 600A erste bis fünfte IDTs 601 bis 605, die in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet sind. Die zentrierte dritte IDT 603 enthält eine kammförmige Elektrode 603a und erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden 603b und 603c. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 603b und 603c werden durch Teilen einer kammförmigen Elektrode auf der anderen Seite gegenüber der kammförmigen Elektrode 603a in zwei Abschnitte in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen gebildet. Die ersten und zweiten geteilten kammförmigen Elektroden 603b und 603c sind in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Erste und zweite Reflektoren 606 und 607 sind auf beiden Seiten des Bereichs, wo die ersten bis fünften IDTs 601 bis 605 angeordnet sind, in der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen angeordnet. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß der vierten Ausführungsform sind die erste IDT 601, die zweite IDT 602, die vierte IDT 604 und die fünfte IDT 605 relativ zu der ersten IDT 201, der zweiten IDT 202, der vierten IDT 204 bzw. der fünften IDT 205 des Oberflächenschallwellenfilters 200 gemäß der ersten Ausführungsform invertiert, und die äußersten Elektrodenfinger der dritten IDT 603 sind Elektrodenfinger, die mit Signalanschlüssen verbunden sind.
  • Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 602 und 604 sind über einen Oberflächenschallwellenresonator 614 mit einem asymmetrischen Signalanschluß 611 verbunden. Die anderen Endabschnitte der zweiten und vierten IDTs 602 und 604 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Endabschnitte der ersten und fünften IDTs 601 und 605 sind mit dem Erdungspotential verbunden. Der andere Endabschnitt der ersten IDT 601 und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 603b der dritten IDT 603 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß 612 verbunden. Die zweite geteilte kammförmige Elektrode 603c der dritten IDT 603 und der andere Endabschnitt der fünften IDT 605 sind miteinander verbunden und sind dann mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß 613 verbunden. Die kammförmige Elektrode 603a der zentrierten dritten IDT 603 ist mit dem Erdungspotential verbunden.
  • In der vierten Ausführungsform ist, wie in der ersten Ausführungsform, die vierte IDT 604 relativ zu der zweiten IDT 602 invertiert, so daß die Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion realisiert wird.
  • Wie in 19 gezeigt, sind Elektrodenfingersektionen mit schmalem Abstand in den Bereichen der ersten bis fünften IDTs 601 bis 605, wo zwei IDTs nebeneinander liegen, angeordnet. Der Elektrodenfingerabstand der mehreren Elektrodenfinger einer Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand einer IDT, die den äußersten Elektrodenfinger enthält, der sich an dem Endabschnitt der IDT befindet, ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der anderen Sektion der IDT. In 19 ist jede Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand schematisch mit N bezeichnet. Die Sektion einer IDT, die keine mit N bezeichnete Sektion (Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand) ist, ist eine Elektrodenfingersektion, die einen Elektrodenfingerabstand aufweist, der sich von dem Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand unterscheidet, das heißt eine Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand.
  • Wie in 19 gezeigt, sind in dem Bereich, wo die erste IDT 601 und die zweite IDT 602 nebeneinander liegen, die äußersten Elektrodenfinger der ersten IDT 601 und der zweiten IDT 602 Elektrodenfinger, die mit Signalanschlüssen verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • Andererseits ist in dem Bereich, wo die vierte IDT 604 und die fünfte IDT 605 nebeneinander liegen, der äußerste Elektrodenfinger der vierten IDT 604 ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der fünften IDT 605 ist ein Elektrodenfinger, der mit einem Signalanschluß verbunden ist. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • In dem Bereich, wo die zweite IDT 602 und die dritte IDT 603 nebeneinander liegen, sind die äußersten Elektrodenfinger der zweiten IDT 602 und der dritten IDT 603 Elektrodenfinger, die mit Signalanschlüssen verbunden sind. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben die gleiche Polarität.
  • Andererseits ist in dem Bereich, wo die dritte IDT 603 und die vierte IDT 604 nebeneinander liegen, der äußerste Elektrodenfinger der dritten IDT 603 ein Elektrodenfinger, der mit einem Signalanschluß verbunden ist, und der äußerste Elektrodenfinger der vierten IDT 604 ist ein Elektrodenfinger, der mit dem Erdungspotential verbunden ist. Das heißt, beide Elektrodenfinger haben verschiedene Polaritäten.
  • Somit sind in dem Bereich, wo die erste IDT 601 und die zweite IDT 602 nebeneinander liegen, Signale, welche die zweite IDT 602 durchqueren, und Signale, welche die erste IDT 601 durchqueren, phasengleich. Andererseits haben in dem Bereich, wo die vierte IDT 604 und die fünfte IDT 605 nebeneinander liegen, Signale, welche die vierte IDT 604 durchqueren, und Signale, welche die fünfte IDT 605 durchqueren, entgegengesetzte Phasen.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß dieser Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert. Die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 602 und 604 sind einander gleich. In der dritten IDT 603 sind die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 603a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 603b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 603a und der zweiten geteilten Elektrode 603c besteht, einander gleich. Der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 605.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß dieser Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 605. Genauer gesagt, ist der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 605.
  • Das heißt, diese Ausführungsform ist folgendermaßen konfiguriert: In dem Bereich, wo die erste IDT 601, die mit dem ersten symmetrischen Signalanschluß 612 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die zweite IDT 602, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 611 verbunden ist, nebeneinander liegen, sind Signale, welche die benachbarten zwei IDTs durchqueren, phasengleich; in dem Bereich, wo die fünfte IDT 205, die mit dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 613 verbunden ist und am weitesten außen angeordnet ist, und die vierte IDT 604, die mit dem asymmetrischen Signalanschluß 611 verbunden ist, nebeneinander liegen, haben Signale, welche die benachbarten zwei IDTs durchqueren, entgegengesetzte Phasen; und der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601 ist kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 605.
  • In dieser Ausführungsform ist die Struktur auf dem piezoelektrischen Substrat P mit Bezug auf die virtuelle Mittelachse A, die in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwellen verläuft, symmetrisch, außer daß sich die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601 und der fünften IDT 605 voneinander unterscheiden. Somit wird die Symmetrie erhöht. Das liegt daran, daß nur wenige asymmetrische Komponenten vorhanden sind, außer daß die äußersten Elektrodenfinger der zweiten IDT 602 neben der dritten IDT 603 sowie der vierten IDT 604 neben der zentrierten dritten IDT 203 verschiedene Polaritäten zwischen den zweiten und vierten IDTs 602 und 604 haben.
  • Zum Vergleich mit dem Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß dieser Ausführungsform wurden ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem neunten Vergleichsbeispiel und ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem zehnten Vergleichsbeispiel hergestellt.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem neunten Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601 und der fünften IDT 605 einander gleich sind.
  • Bei dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zehnten Vergleichsbeispiel ist – im Gegensatz zu dem Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß dieser Ausführungsform – der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 605 um ungefähr 0,2% kleiner als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zehnten Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß dieser Ausführungsform, außer daß der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 605 kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601.
  • 20 und 21 sind Kurvendiagramme, die die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie eines Oberflächenschallwellenfilters 600 gemäß dieser Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem neunten Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem zehnten Vergleichsbeispiel zeigen. In den 20 und 21 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter 600 gemäß dieser Ausführungsform dar; die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem neunten Vergleichsbeispiel dar; und die Strich-Punkt-Strich-Linien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zehnten Vergleichsbeispiel dar.
  • Wie aus 20 zu erkennen ist, ist der Wert der Amplitudensymmetrie sowohl in dieser Ausführungsform als auch bei dem neunten Vergleichsbeispiel am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem neunten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,2 dB. Andererseits beträgt in dieser Ausführungsform die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,1 dB.
  • Somit wird die Amplitudensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform im Vergleich zum neunten Vergleichsbeispiel um ungefähr 0,1 dB verbessert. Das liegt daran, daß die Phasendifferenz zwischen einem Signal, das von dem ersten symmetrischen Signalanschluß 612 ausgegeben wird, und einem Signal, das von dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 613 ausgegeben wird, korrigiert wird, indem die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 601 und der fünften IDT 605 unterschiedlich ausgelegt werden.
  • Andererseits ist, wie aus 21 zu erkennen ist, die Phasensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform geringfügig schlechter als beim neunten Vergleichsbeispiel. In dieser Ausführungsform fällt jedoch der schlechteste Wert der Phasensymmetrie ebenfalls in den Bereich von 168° bis 192°.
  • Wie aus 20 zu erkennen ist, ist bei dem zehnten Vergleichsbeispiel ebenfalls der Wert der Amplitudensymmetrie am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem zehnten Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,4 dB und ist schlechter als bei dem neunten Vergleichsbeispiel. Darüber hinaus erfüllt die Amplitudensymmetrie bei dem zehnten Vergleichsbeispiel nicht die Bereichsanforderung von –1,2 dB bis +1,2 dB. Des Weiteren verschlechtert sich bei dem zehnten Vergleichsbeispiel die Phasensymmetrie, wie aus 21 zu erkennen ist.
  • Somit kann, wie aus den 20 und 21 zu erkennen ist, auch in der vierten Ausführungsform die Amplitudensymmetrie verbessert werden, ohne daß sich die Phasensymmetrie nennenswert verschlechtert.
  • [Fünfte Ausführungsform]
  • Ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unterscheidet sich von dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform nur darin, daß sich die Elektrodenfingerabstände der Elektrodenfinger mit dem Hauptabstand der ersten IDT und der fünften IDT – im Gegensatz zu dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform – nicht voneinander unterscheiden und daß sich die Metallisierungsverhältnisse ihrer Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand voneinander unterscheiden, wie in Tabelle 4 unten angegeben ist. Dementsprechend hat das Oberflächenschallwellenfilter gemäß der fünften Ausführungsform eine Elektrodenstruktur ähnlich dem Oberflächenschallwellenfilter 200 gemäß der ersten Ausführungsform. Aus diesem Grund wird in der folgenden Beschreibung der fünften Ausführungsform die in 1 gezeigte erste Ausführungsform zitiert. [Tabelle 4]
    Metallisierung
    IDT Elftes Vergleichsbeispiel Fünfte Ausführungsform Zwölftes Vergleichsbeispiel
    201 Metallisierungsverhältnis 2 Metallisierungsverhältnis 2 × 0,97 Metallisierungsverhältnis 2 × 1,03
    202 Metallisierungsverhältnis 3 Metallisierungsverhältnis 3 Metallisierungsverhältnis 3
    203b Metallisierungsverhältnis 4 Metallisierungsverhältnis 4 Metallisierungsverhältnis 4
    203c Metallisierungsverhältnis 4 Metallisierungsverhältnis 4 Metallisierungsverhältnis 4
    204 Metallisierungsverhältnis 3 Metallisierungsverhältnis 3 Metallisierungsverhältnis 3
    205 Metallisierungsverhältnis 2 Metallisierungsverhältnis 2 × 1,03 Metallisierungsverhältnis 2 × 0,97
  • Wie in Tabelle 4 angegeben, ist das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dieser Ausführungsform folgendermaßen konfiguriert. Die Metallisierungsverhältnisse der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der zweiten und vierten IDTs 202 und 204 sind einander gleich. In der dritten IDT 203 sind die Metallisierungsverhältnisse der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der ersten geteilten kammförmigen Elektrode 203b besteht, und des Abschnitts, der aus der kammförmigen Elektrode 203a und der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode 203c besteht, einander gleich. Das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 ist kleiner als das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205.
  • Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dieser Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 kleiner ist als das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205. Genauer gesagt, ist das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 um ungefähr 6% kleiner als das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205.
  • Zum Vergleich mit dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dieser Ausführungsform wurden ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem elften Vergleichsbeispiel und ein Oberflächenschallwellenfilter gemäß einem zwölften Vergleichsbeispiel hergestellt. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem elften Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dieser Ausführungsform, außer daß die Metallisierungsverhältnisse der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 und der fünften IDT 205 einander gleich sind. Bei dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zwölften Vergleichsbeispiel ist – im Gegensatz zu dem Oberflächenschallwellenfilter gemäß dieser Ausführungsform – das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205 um ungefähr 6% kleiner als das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201. Das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zwölften Vergleichsbeispiel hat die gleiche Konfiguration wie das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dieser Ausführungsform, außer daß das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der fünften IDT 205 kleiner ist als das Metallisierungsverhältnis der Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201.
  • 22 und 23 sind Kurvendiagramme, die die Amplitudensymmetrie und die Phasensymmetrie des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dieser Ausführungsform, des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem elften Vergleichsbeispiel und des Oberflächenschallwellenfilters gemäß dem zwölften Vergleichsbeispiel zeigen.
  • In den 22 und 23 stellen die durchgezogenen Linien das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dieser Ausführungsform dar; die Strichlinien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem elften Vergleichsbeispiel dar; und die Strich-Punkt-Strich-Linien stellen das Oberflächenschallwellenfilter gemäß dem zwölften Vergleichsbeispiel dar.
  • Wie aus 22 zu erkennen ist, ist der Wert der Amplitudensymmetrie sowohl in dieser Ausführungsform als auch bei dem elften Vergleichsbeispiel ein schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem elften Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,1 dB. Andererseits beträgt die Amplitudensymmetrie in dieser Ausführungsform bei 1990 MHz ungefähr –0,9 dB. Somit wird die Amplitudensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform im Vergleich zum elften Vergleichsbeispiel um ungefähr 0,2 dB verbessert. Das liegt daran, daß die Phasendifferenz zwischen einem Signal, das von dem ersten symmetrischen Signalanschluß 212 ausgegeben wird, und einem Signal, das von dem zweiten symmetrischen Signalanschluß 213 ausgegeben wird, korrigiert wird, indem die Metallisierungsverhältnisse der Elektrodenfingersektionen mit dem Hauptabstand der ersten IDT 201 und der fünften IDT 205 unterschiedlich ausgelegt werden.
  • Andererseits ist, wie aus 23 zu erkennen ist, die Phasensymmetrie gemäß dieser Ausführungsform geringfügig schlechter als gemäß dem elften Vergleichsbeispiel. In dieser Ausführungsform fällt jedoch der schlechteste Wert der Phasensymmetrie ebenfalls in den Bereich von 168° bis 192°.
  • Wie aus 22 zu erkennen ist, ist bei dem zwölften Vergleichsbeispiel ebenfalls der Wert der Amplitudensymmetrie am schlechtesten bei etwa 1990 MHz, der Obergrenze des Durchlaßbandes von PCS-Empfangsfiltern. Bei dem zwölften Vergleichsbeispiel beträgt die Amplitudensymmetrie bei 1990 MHz ungefähr –1,2 dB und ist schlechter als bei dem elften Vergleichsbeispiel. Wie aus 23 zu erkennen ist, verschlechtert sich die Phasensymmetrie bei dem zwölften Vergleichsbeispiel.
  • Wie aus den 22 und 23 zu erkennen ist, kann auch in der fünften Ausführungsform die Amplitudensymmetrie verbessert werden, ohne daß sich die Phasensymmetrie nennenswert verschlechtert. Somit kann, wie aus der fünften Ausführungsform zu erkennen ist, die Symmetrie auch dadurch verbessert werden, daß die Metallisierungsverhältnisse anstelle der Elektrodenfingerabstände unterschiedlich ausgelegt werden.
  • [Sonstiges]
  • Das Oberflächenschallwellenfilter wurde in den ersten bis fünften Ausführungsformen beschrieben. Wie oben beschrieben, kann mittels der vorliegenden Erfindung der Vorteil einer Verbesserung der Symmetrie realisiert werden, was der Elektrodenstruktur der längsgekoppelten Filter vom Resonatortyp zu verdanken ist, welche die ersten bis fünften IDTs enthält. Dementsprechend findet die vorliegende Erfindung Anwendung auf Oberflächenschallwellenfilter, die mit Oberflächenschallwellen arbeiten, sowie auf Grenzflächenschallwellenfilter, die mit Grenzflächenschallwellen arbeiten.
  • 24 ist ein schematischer Aufriß im Querschnitt, der ein Beispiel eines Grenzflächenschallwellenfilters 701 gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Bei dem Grenzflächenschallwellenfilter 701 ist ein Dielektrikum 703 auf ein piezoelektrisches Substrat 702 laminiert, das aus einem piezoelektrischen Material zusammengesetzt ist. Eine Elektrodenstruktur 704, die IDTs enthält, ist an der Grenzfläche zwischen dem piezoelektrischen Substrat 702 und dem Dielektrikum 703 angeordnet. Die Elektrodenstrukturen der oben beschriebenen Ausführungsformen, die als die Elektrodenstruktur 704 ausgebildet sind, ermöglichen die Herstellung eines Grenzflächenschallwellenfilters gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Bezugszeichenliste
    • 200
    Oberflächenschallwellenfilter
    200A
    längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp
    201 bis 205
    IDT
    201a, 201b, 203a
    kammförmige Elektrode
    203b, 203c
    geteilte kammförmige Elektrode
    206, 207
    Reflektor
    211
    asymmetrischer Signalanschluß
    212
    erster symmetrischer Signalanschluß
    213
    zweiter symmetrischer Signalanschluß
    214
    Oberflächenschallwellenresonator
    222
    Basissubstrat
    223
    Harzschicht
    301 bis 305
    Anschlußelektrode
    400
    Oberflächenschallwellenfilter
    400A
    längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp
    401 bis 405
    IDT
    403a
    kammförmige Elektrode
    403b, 403c
    geteilte kammförmige Elektrode
    406, 407
    Reflektor
    411
    asymmetrischer Signalanschluß
    412
    erster symmetrischer Signalanschluß
    413
    zweiter symmetrischen Signalanschluß
    414
    Oberflächenschallwellenresonator
    500
    Oberflächenschallwellenfilter
    500A
    längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp
    501 bis 505
    IDT
    503a
    kammförmige Elektrode
    503b, 503c
    geteilte kammförmige Elektrode
    506, 507
    Reflektor
    511
    asymmetrischer Signalanschluß
    512
    erster symmetrischer Signalanschluß
    513
    zweiter symmetrischer Signalanschluß
    514
    Oberflächenschallwellenresonator
    600
    Oberflächenschallwellenfilter
    600A
    längsgekoppelte Oberflächenschallwellenfiltereinheit vom Resonatortyp
    601 bis 605
    IDT
    603a
    kammförmige Elektrode
    603b, 603c
    geteilte kammförmige Elektrode
    606, 607
    Reflektor
    611
    asymmetrischer Signalanschluß
    612
    erster symmetrischer Signalanschluß
    613
    zweiter symmetrischer Signalanschluß
    614
    Oberflächenschallwellenresonator
    701
    Grenzflächenschallwellenfilter
    702
    piezoelektrisches Substrat
    703
    Dielektrikum
    704
    Elektrodenstruktur
    P
    piezoelektrisches Substrat

Claims (6)

  1. Filter für elastische Wellen (200), umfassend zumindest: ein piezoelektrisches Substrat (P) und eine längsgekoppelte Filtereinheit (200A) vom Resonatortyp für elastische Wellen, die auf dem piezoelektrischen Substrat (P) ausgebildet ist, wobei die längsgekoppelte Filtereinheit (200A) vom Resonatortyp für elastische Wellen erste bis fünfte IDTs (201, ..., 205), die in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind, und erste und zweite Reflektoren (206, 207) umfaßt, die in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen so angeordnet sind, daß sie den Bereich einfassen, wo die ersten bis fünften IDTs (201, ..., 205) angeordnet sind, die dritte IDT (203) erste und zweite geteilte kammförmige Elektroden (203b, 203c) umfaßt, die in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind, wobei die erste geteilte kammförmige Elektrode (203b) auf der Seite nahe der zweiten IDT (202) angeordnet ist und die zweite geteilte kammförmige Elektrode (203c) auf der Seite nahe der vierten IDT (204) angeordnet ist, die zweiten und vierten IDTs (202, 204) mit einem asymmetrischen Signalanschluß (211) verbunden sind, die erste IDT (201) und die erste geteilte kammförmige Elektrode (203b) der dritten IDT (203) mit einem ersten symmetrischen Signalanschluß (212) verbunden sind, und die fünfte IDT (205) und die zweite geteilte kammförmige Elektrode (203c) der dritten IDT (203) mit einem zweiten symmetrischen Signalanschluß (213) verbunden sind, die ersten und fünften IDTs (201, 205) jeweils einen konstanten Elektrodenfingerabstand haben, und der Elektrodenfingerabstand der ersten IDT (201) kleiner ist als der Elektrodenfingerabstand der fünften IDT (205) oder das Metallisierungsverhältnis der ersten IDT (201) kleiner ist als das Metallisierungsverhältnis der fünften IDT (205), und ein Signal, das die erste IDT (201) durchquert, und ein Signal, das die zweite IDT (202) durchquert, in dem Bereich phasengleich sind, wo die ersten und zweiten IDTs (201, 202) nebeneinander liegen oder benachbarte äußerste Elektrodenfinger die gleiche Polarität in dem Bereich haben, wo die ersten und zweiten IDTs (201, 202) nebeneinander liegen.
  2. Filter für elastische Wellen (200) nach Anspruch 1, wobei die ersten und fünften IDTs (201, 205) jeweils eine Elektrodenfingersektion mit einem Hauptabstand und eine Elektrodenfingersektion mit schmalem Abstand (N), die einen kleineren Elektrodenfingerabstand als die Elektrodenfingersektion mit dem Hauptabstand aufweist, umfassen, und der konstante Elektrodenfingerabstand entweder der Hauptabstand oder der schmale Abstand (N) ist.
  3. Filter für elastische Wellen (200) nach Anspruch 1 oder 2, wobei Elektrodenfingeranzahlen und Elektrodenfingerabstände bzw. Elektrodenfingersektionsmetallisierungsverhältnisse der zweiten und vierten IDTs (202, 204) einander gleich sind und Elektrodenfingeranzahlen und Elektrodenfingerabstände bzw. Elektrodenfingersektionsmetallisierungsverhältnisse der dritten IDT (203) in einem Abschnitt mit der ersten geteilten kammförmigen Elektrode (203b) und einem Abschnitt mit der zweiten geteilten kammförmigen Elektrode (203c) gleich sind.
  4. Filter für elastische Wellen (200) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei elastische Wellen Oberflächenschallwellen sind.
  5. Filter für elastische Wellen (200) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei elastische Wellen Grenzflächenschallwellen sind.
  6. Kommunikationsvorrichtung, die das Filter für elastische Wellen (200) nach einem der Ansprüche 1 bis 5 umfaßt.
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