JP2003209456A - Ｓａｗフィルタ - Google Patents
ＳａｗフィルタInfo
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- JP2003209456A JP2003209456A JP2002007882A JP2002007882A JP2003209456A JP 2003209456 A JP2003209456 A JP 2003209456A JP 2002007882 A JP2002007882 A JP 2002007882A JP 2002007882 A JP2002007882 A JP 2002007882A JP 2003209456 A JP2003209456 A JP 2003209456A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 １次−３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタ
の振幅及び位相のバランスエラー特性を改善する手段を
得る。 【解決手段】 圧電基板の主表面上に３つのＩＤＴ電極
を近接配置して構成した平衡型１次−３次縦結合二重モ
ードＳＡＷフィルタであって、両外側のＩＤＴ電極に接
続する信号が流れるリード電極と、中央のＩＤＴ電極に
接続するパッド電極の一方との間に該パッド電極の周縁
を囲むようにシールド電極を設けて構成する。
の振幅及び位相のバランスエラー特性を改善する手段を
得る。 【解決手段】 圧電基板の主表面上に３つのＩＤＴ電極
を近接配置して構成した平衡型１次−３次縦結合二重モ
ードＳＡＷフィルタであって、両外側のＩＤＴ電極に接
続する信号が流れるリード電極と、中央のＩＤＴ電極に
接続するパッド電極の一方との間に該パッド電極の周縁
を囲むようにシールド電極を設けて構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
（以下、ＳＡＷフィルタと称す）に関し、特に１次−３
次縦結合二重モードＳＡＷフィルタ（以下、二重モード
ＳＡＷフィルタと称す）を平衡型化する際に振幅及び位
相のバランスエラーを改善した二重モードＳＡＷフィル
タに関する。
（以下、ＳＡＷフィルタと称す）に関し、特に１次−３
次縦結合二重モードＳＡＷフィルタ（以下、二重モード
ＳＡＷフィルタと称す）を平衡型化する際に振幅及び位
相のバランスエラーを改善した二重モードＳＡＷフィル
タに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＳＡＷフィルタは通信分野で広く
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。そ
の中で携帯電話機のＲＦ部に用いられるＳＡＷフィルタ
の１つに、３個のＩＤＴ電極を近接配置して、１次と３
次の縦モードを強勢に励振し、これらを利用して構成し
た広帯域の二重モードＳＡＷフィルタがある。最近の携
帯電話機等ではデジタル回路とアナログ回路とを非常に
小さな空間に収容する必要から、近接する他の回路から
のノイズを極力低減することが重要となっている。この
ため、ＲＦ回路、ＩＦ回路の入出力回路を平衡型化し
て、ノイズを低減する手段が採用されるようになり、Ｒ
Ｆ及びＩＦ回路等に用いられるデバイスにも平衡型化が
要求されている。
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。そ
の中で携帯電話機のＲＦ部に用いられるＳＡＷフィルタ
の１つに、３個のＩＤＴ電極を近接配置して、１次と３
次の縦モードを強勢に励振し、これらを利用して構成し
た広帯域の二重モードＳＡＷフィルタがある。最近の携
帯電話機等ではデジタル回路とアナログ回路とを非常に
小さな空間に収容する必要から、近接する他の回路から
のノイズを極力低減することが重要となっている。この
ため、ＲＦ回路、ＩＦ回路の入出力回路を平衡型化し
て、ノイズを低減する手段が採用されるようになり、Ｒ
Ｆ及びＩＦ回路等に用いられるデバイスにも平衡型化が
要求されている。
【０００３】図９は入力ＩＮを不平衡、出力ＯＵＴ１、
ＯＵＴ２を平衡型とした二重モードＳＡＷフィルタの構
成を示す平面図であって、圧電基板２０の主表面上に表
面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極２１、２２、
２３を近接配置すると共に、それらの両側にグレーティ
ング反射器（以下、反射器と称す）２４ａ、２４ｂを配
設する。そして、ＩＤＴ電極２１、２２、２３はそれぞ
れ互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形
電極から形成され、両外側のＩＤＴ電極２２、２３のそ
れぞれのくし形電極のバスバー同士を、圧電基板２０上
に形成したリード電極２５、２６にてそれぞれ接続する
と共に、リード電極の一方を入力端子ＩＮに接続し、他
方を接地する。さらに、中央のＩＤＴ電極２１を構成す
るそれぞれのくし形電極と、該ＩＤＴ電極２１の表面波
伝搬方向と直交する方向に設けたパッド電極Ｐａ、Ｐｂ
とを圧電基板２０上に形成したリード電極にて接続する
と共に、パッド電極Ｐａ、Ｐｂと出力端子ＯＵＴ１、Ｏ
ＵＴ２とをそれぞれワイヤボンディング等を用いて接続
して二重モードＳＡＷフィルタｆ２を構成する。
ＯＵＴ２を平衡型とした二重モードＳＡＷフィルタの構
成を示す平面図であって、圧電基板２０の主表面上に表
面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極２１、２２、
２３を近接配置すると共に、それらの両側にグレーティ
ング反射器（以下、反射器と称す）２４ａ、２４ｂを配
設する。そして、ＩＤＴ電極２１、２２、２３はそれぞ
れ互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形
電極から形成され、両外側のＩＤＴ電極２２、２３のそ
れぞれのくし形電極のバスバー同士を、圧電基板２０上
に形成したリード電極２５、２６にてそれぞれ接続する
と共に、リード電極の一方を入力端子ＩＮに接続し、他
方を接地する。さらに、中央のＩＤＴ電極２１を構成す
るそれぞれのくし形電極と、該ＩＤＴ電極２１の表面波
伝搬方向と直交する方向に設けたパッド電極Ｐａ、Ｐｂ
とを圧電基板２０上に形成したリード電極にて接続する
と共に、パッド電極Ｐａ、Ｐｂと出力端子ＯＵＴ１、Ｏ
ＵＴ２とをそれぞれワイヤボンディング等を用いて接続
して二重モードＳＡＷフィルタｆ２を構成する。
【０００４】図１０は、図９に示した二重モードＳＡＷ
フィルタｆ２の通過域近傍の減衰量を改善するため、該
二重モードＳＡＷフィルタｆ２に、ＩＤＴ電極２６と該
ＩＤＴ電極２６の両側に配置した反射器２７ａ、２７ｂ
とからなるＳＡＷ共振子ｒ１を直列接続して構成したＳ
ＡＷフィルタの電極パターンを示す図である。図１１に
示すフィルタ特性は、図１０に示したＳＡＷフィルタの
電極パターンを用いて構成したＰＣＳ用のＲＦフィルタ
であって、圧電基板に３９°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３を用
い、中心周波数を1960MHz、帯域幅６０MHzに設定し、フ
ィルタｆ２の中央のＩＤＴ電極２１の対数を18対、両外
側のＩＤＴ電極２２、２３の対数を共に12.5対、交叉長
Ｗを45λ（λはＩＤＴ電極周期）、反射器２４ａ、２４
ｂの本数をそれぞれ200本とし、ＳＡＷ共振子ｒ１のＩ
ＤＴ電極２６の本数を２００本、反射器２７ａ、２７ｂ
の本数をそれぞれ１００本、交叉長Ｗ１を２０λとし、
アルミニウム合金の電極膜厚を6.5％λとした場合のフ
ィルタ特性である。図１２は、図１４に示す測定回路を
用いて測定した図１０のＳＡＷフィルタの振幅バランス
エラー特性（二重モードＳＡＷフィルタの２つの平衡出
力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２を用いて測定したそれぞれの
振幅特性の差）である。また、図１３はＳＡＷフィルタ
の位相のバランスエラー特性（２つの平衡出力端子ＯＵ
Ｔ１、ＯＵＴ２を用いて測定したそれぞれの位相特性の
差）である。
フィルタｆ２の通過域近傍の減衰量を改善するため、該
二重モードＳＡＷフィルタｆ２に、ＩＤＴ電極２６と該
ＩＤＴ電極２６の両側に配置した反射器２７ａ、２７ｂ
とからなるＳＡＷ共振子ｒ１を直列接続して構成したＳ
ＡＷフィルタの電極パターンを示す図である。図１１に
示すフィルタ特性は、図１０に示したＳＡＷフィルタの
電極パターンを用いて構成したＰＣＳ用のＲＦフィルタ
であって、圧電基板に３９°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３を用
い、中心周波数を1960MHz、帯域幅６０MHzに設定し、フ
ィルタｆ２の中央のＩＤＴ電極２１の対数を18対、両外
側のＩＤＴ電極２２、２３の対数を共に12.5対、交叉長
Ｗを45λ（λはＩＤＴ電極周期）、反射器２４ａ、２４
ｂの本数をそれぞれ200本とし、ＳＡＷ共振子ｒ１のＩ
ＤＴ電極２６の本数を２００本、反射器２７ａ、２７ｂ
の本数をそれぞれ１００本、交叉長Ｗ１を２０λとし、
アルミニウム合金の電極膜厚を6.5％λとした場合のフ
ィルタ特性である。図１２は、図１４に示す測定回路を
用いて測定した図１０のＳＡＷフィルタの振幅バランス
エラー特性（二重モードＳＡＷフィルタの２つの平衡出
力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２を用いて測定したそれぞれの
振幅特性の差）である。また、図１３はＳＡＷフィルタ
の位相のバランスエラー特性（２つの平衡出力端子ＯＵ
Ｔ１、ＯＵＴ２を用いて測定したそれぞれの位相特性の
差）である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
二重モードＳＡＷフィルタにおいては図１１に示したよ
うに、フィルタの保証減衰量が小さく、また、図１２、
１３に示したように振幅及び位相のバランスエラー特性
も要求される規格（振幅のバランスエラー：±２ｄＢ以
内、位相のバランスエラー：±１３°以内）を満たすこ
とができないという問題があった。本発明は上記問題を
解決するためになされたものであって、保証減衰量、振
幅及び位相のバランスエラー特性を改善した二重モード
ＳＡＷフィルタを提供することを目的とする。
二重モードＳＡＷフィルタにおいては図１１に示したよ
うに、フィルタの保証減衰量が小さく、また、図１２、
１３に示したように振幅及び位相のバランスエラー特性
も要求される規格（振幅のバランスエラー：±２ｄＢ以
内、位相のバランスエラー：±１３°以内）を満たすこ
とができないという問題があった。本発明は上記問題を
解決するためになされたものであって、保証減衰量、振
幅及び位相のバランスエラー特性を改善した二重モード
ＳＡＷフィルタを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るＳＡＷフィルタの請求項１記載の発明
は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って３
つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティング反射器
とを配置した縦結合二重モードＳＡＷフィルタであっ
て、両外側のＩＤＴ電極をそれぞれ構成する一方のくし
形電極同士を互いに第１のリード電極にて接続しこれを
接地電位とし、他方のくし形電極同士を互いに第２のリ
ード電極にて接続しこれを入力又は出力とすると共に、
中央のＩＤＴ電極を構成する一方のくし形電極と前記第
１のリード電極に囲まれた領域内に設けた第１のパッド
電極とを第３のリード電極にて接続し、他方のくし形と
前記第２のリード電極に囲まれた領域内に設けた第２の
パッド電極とを第４のリード電極にて接続し、前記第１
及び第２のパッド電極を入力又は出力としたものに於い
て、第２のパッド電極と第２のリード電極との間に、第
２のパッド電極を取り囲むようにシールド電極を配置し
これを接地電極としたことを特徴とする縦結合二重モー
ドＳＡＷフィルタである。請求項２記載の発明は、前記
シールド電極と第２のパッド電極との間隙と、前記第１
のリード電極と第１のパッド電極との間隙とをほぼ等し
く設定したことを特徴とする請求項１記載の縦結合二重
モードＳＡＷフィルタである。請求項３記載の発明は、
前記第１のリード電極と第１のパッド電極との間に前記
シールド電極とほぼ同じ形状のシールド電極を配置しこ
れを接地電位としたことを特徴とする請求項１記載の縦
結合二重モードＳＡＷフィルタである。請求項４記載の
発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の縦結合二重
モードＳＡＷフィルタと、同一の圧電基板上に形成した
ＳＡＷ共振子とを直列または並列に接続したことを特徴
とするＳＡＷフィルタである。請求項５記載の発明は、
圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って３つの
ＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティング反射器とを
配置した縦結合二重モードＳＡＷフィルタを複数個縦続
接続したものに於いて、縦続接続された相隣接する２つ
の縦結合二重モードＳＡＷフィルタのうち、一方のＳＡ
Ｗフィルタの中央ＩＤＴ電極を構成し且つ他方のＳＡＷ
フィルタ側に配置されたくし形電極とリード電極にて接
続され入力または出力として機能するパッド電極を有
し、該パッド電極を取り囲むようにシールド電極を配置
し、該シールド電極を接地電位とすると共に他方のＳＡ
Ｗフィルタの中央ＩＤＴ電極を構成し且つ一方のＳＡＷ
フィルタ側に配置されたくし形電極に接続したことを特
徴とする縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。
に本発明に係るＳＡＷフィルタの請求項１記載の発明
は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って３
つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティング反射器
とを配置した縦結合二重モードＳＡＷフィルタであっ
て、両外側のＩＤＴ電極をそれぞれ構成する一方のくし
形電極同士を互いに第１のリード電極にて接続しこれを
接地電位とし、他方のくし形電極同士を互いに第２のリ
ード電極にて接続しこれを入力又は出力とすると共に、
中央のＩＤＴ電極を構成する一方のくし形電極と前記第
１のリード電極に囲まれた領域内に設けた第１のパッド
電極とを第３のリード電極にて接続し、他方のくし形と
前記第２のリード電極に囲まれた領域内に設けた第２の
パッド電極とを第４のリード電極にて接続し、前記第１
及び第２のパッド電極を入力又は出力としたものに於い
て、第２のパッド電極と第２のリード電極との間に、第
２のパッド電極を取り囲むようにシールド電極を配置し
これを接地電極としたことを特徴とする縦結合二重モー
ドＳＡＷフィルタである。請求項２記載の発明は、前記
シールド電極と第２のパッド電極との間隙と、前記第１
のリード電極と第１のパッド電極との間隙とをほぼ等し
く設定したことを特徴とする請求項１記載の縦結合二重
モードＳＡＷフィルタである。請求項３記載の発明は、
前記第１のリード電極と第１のパッド電極との間に前記
シールド電極とほぼ同じ形状のシールド電極を配置しこ
れを接地電位としたことを特徴とする請求項１記載の縦
結合二重モードＳＡＷフィルタである。請求項４記載の
発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の縦結合二重
モードＳＡＷフィルタと、同一の圧電基板上に形成した
ＳＡＷ共振子とを直列または並列に接続したことを特徴
とするＳＡＷフィルタである。請求項５記載の発明は、
圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って３つの
ＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティング反射器とを
配置した縦結合二重モードＳＡＷフィルタを複数個縦続
接続したものに於いて、縦続接続された相隣接する２つ
の縦結合二重モードＳＡＷフィルタのうち、一方のＳＡ
Ｗフィルタの中央ＩＤＴ電極を構成し且つ他方のＳＡＷ
フィルタ側に配置されたくし形電極とリード電極にて接
続され入力または出力として機能するパッド電極を有
し、該パッド電極を取り囲むようにシールド電極を配置
し、該シールド電極を接地電位とすると共に他方のＳＡ
Ｗフィルタの中央ＩＤＴ電極を構成し且つ一方のＳＡＷ
フィルタ側に配置されたくし形電極に接続したことを特
徴とする縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る平
衡型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す電極パター
ン図であって、圧電基板（図示しない）の主表面上に表
面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極１、２、３を
近接配置すると共に、それらの両側に反射器４ａ、４ｂ
を配設する。そして、ＩＤＴ電極１、２、３はそれぞれ
互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形電
極から形成され、両外側のＩＤＴ電極２、３の図中下方
に位置するそれぞれの一方のくし形電極のバスバー同士
を、それぞれのバスバーから延在する第１のリード電極
５にて接続し、これと入力端子ＩＮとをワイヤボンディ
ング等を用いて接続する。さらに、両外側のＩＤＴ電極
２、３の図中上方に位置するそれぞれの他方のくし形電
極のバスバー同士を、それぞれのバスバーから延在する
第２のリード電極６にて接続し、これを接地する。そし
て、中央のＩＤＴ電極１を構成する図中下側の一方のく
し形電極と、前記第１のリード電極５に囲まれた領域に
設けた第１のパッド電極Ｐａとを圧電基板上に形成した
第３のリード電極７にて接続し、中央のＩＤＴ電極１を
構成する図中上側の他方のくし形電極と前記第２のリー
ド電極６に囲まれた領域に設けた第２のパッド電極Ｐｂ
とを圧電基板上に形成した第４のリード電極８にて接続
する。そして、該パッド電極Ｐａ、Ｐｂと出力端子ＯＵ
Ｔ１、ＯＵＴ２とをワイヤボンディング等を用いて接続
する。さらに、パッド電極Ｐａと、リード電極５との間
にパッド電極Ｐａの周縁を囲むように略Ｕ字型のシール
ド電極９を形成し、該シールド電極９を接地して、本発
明に係る入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフ
ィルタＦ２を構成する。
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る平
衡型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す電極パター
ン図であって、圧電基板（図示しない）の主表面上に表
面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極１、２、３を
近接配置すると共に、それらの両側に反射器４ａ、４ｂ
を配設する。そして、ＩＤＴ電極１、２、３はそれぞれ
互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形電
極から形成され、両外側のＩＤＴ電極２、３の図中下方
に位置するそれぞれの一方のくし形電極のバスバー同士
を、それぞれのバスバーから延在する第１のリード電極
５にて接続し、これと入力端子ＩＮとをワイヤボンディ
ング等を用いて接続する。さらに、両外側のＩＤＴ電極
２、３の図中上方に位置するそれぞれの他方のくし形電
極のバスバー同士を、それぞれのバスバーから延在する
第２のリード電極６にて接続し、これを接地する。そし
て、中央のＩＤＴ電極１を構成する図中下側の一方のく
し形電極と、前記第１のリード電極５に囲まれた領域に
設けた第１のパッド電極Ｐａとを圧電基板上に形成した
第３のリード電極７にて接続し、中央のＩＤＴ電極１を
構成する図中上側の他方のくし形電極と前記第２のリー
ド電極６に囲まれた領域に設けた第２のパッド電極Ｐｂ
とを圧電基板上に形成した第４のリード電極８にて接続
する。そして、該パッド電極Ｐａ、Ｐｂと出力端子ＯＵ
Ｔ１、ＯＵＴ２とをワイヤボンディング等を用いて接続
する。さらに、パッド電極Ｐａと、リード電極５との間
にパッド電極Ｐａの周縁を囲むように略Ｕ字型のシール
ド電極９を形成し、該シールド電極９を接地して、本発
明に係る入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフ
ィルタＦ２を構成する。
【０００８】本発明の特徴は二重モードＳＡＷフィルタ
の入力側の信号線であるリード電極５と、一方の平衡出
力ＯＵＴ１につながる出力パッド電極Ｐａとの間に電磁
的シールド電極９を形成したことである。従来の二重モ
ードＳＡＷフィルタの振幅及び位相のバランスエラーが
大きくなる理由は、図９に示した二重モードＳＡＷフィ
ルタの電極パターンから明らかなように、２つの平衡出
力端子ＯＵＴ１、２に接続するパッド電極Ｐａ、Ｐｂ
と、その周囲のリード電極２５及び２６との電磁的バラ
ンスがくずれていることに起因するものと推測した。即
ち、一方のパッド電極Ｐａがその周囲を信号用のリード
電極２５に囲まれているのに対し、他方のパッド電極Ｐ
ｂが接地したリード電極２６に囲まれており、出力ＯＵ
Ｔ１、２間の電磁的バランスが異なっている。そこで、
図１に示した二重モードＳＡＷフィルタの電極パターン
のように、信号線であるリード電極５と平衡出力ＯＵＴ
１の出力パッド電極Ｐａとの間に電磁的シールド電極９
を形成することにより、平衡出力ＯＵＴ１、２間の電磁
的バランスが改善できると推測した。
の入力側の信号線であるリード電極５と、一方の平衡出
力ＯＵＴ１につながる出力パッド電極Ｐａとの間に電磁
的シールド電極９を形成したことである。従来の二重モ
ードＳＡＷフィルタの振幅及び位相のバランスエラーが
大きくなる理由は、図９に示した二重モードＳＡＷフィ
ルタの電極パターンから明らかなように、２つの平衡出
力端子ＯＵＴ１、２に接続するパッド電極Ｐａ、Ｐｂ
と、その周囲のリード電極２５及び２６との電磁的バラ
ンスがくずれていることに起因するものと推測した。即
ち、一方のパッド電極Ｐａがその周囲を信号用のリード
電極２５に囲まれているのに対し、他方のパッド電極Ｐ
ｂが接地したリード電極２６に囲まれており、出力ＯＵ
Ｔ１、２間の電磁的バランスが異なっている。そこで、
図１に示した二重モードＳＡＷフィルタの電極パターン
のように、信号線であるリード電極５と平衡出力ＯＵＴ
１の出力パッド電極Ｐａとの間に電磁的シールド電極９
を形成することにより、平衡出力ＯＵＴ１、２間の電磁
的バランスが改善できると推測した。
【０００９】シールド電極を用いてＳＡＷデバイスの入
出力端子間の電磁結合を阻止した例として、特開平６−
９７７５７、９−１２１１３７等が開示されている。即
ち、絶縁基板上に形成する入力及び出力端子を基板端部
に離すと共に、これらの端子間にシールド電極を形成し
た上で、該基板上にＳＡＷデバイス素子を接着し、素子
上のパッド電極と上記入出力端子とをそれぞれワイヤボ
ンディングして、ＳＡＷデバイスを構成する。前記シー
ルド電極を形成することにより入出力端子間の直達波を
遮断でき、保証減衰量が改善できるという利点がある。
これら先行技術は、入出力共に不平衡としたＳＡＷフィ
ルタが前提となっており、シールド電極を圧電基板上で
はなく、ＳＡＷデバイス素子を搭載するための絶縁基板
上に設けている。これはシールドの目的が入出力端子間
の直達波を遮蔽することのみにあることを意味する。こ
れに対し、本発明に係るシールド電極９の目的は入出力
端子間の直達波を遮蔽するだけではなく、平衡型二重モ
ードＳＡＷフィルタの平衡度、即ち、出力ＯＵＴ１、２
から出力されるそれぞれの振幅及び位相間のバランスエ
ラーを極力低減させることにあり、二重モードＳＡＷフ
ィルタを構成する圧電基板上にシールド電極パターンを
形成し、２つの平衡出力ＯＵＴ１、２間の電磁的バラン
スを図ったものであり、これら先行技術とは明らかに構
成、及び作用効果が異なるのである。
出力端子間の電磁結合を阻止した例として、特開平６−
９７７５７、９−１２１１３７等が開示されている。即
ち、絶縁基板上に形成する入力及び出力端子を基板端部
に離すと共に、これらの端子間にシールド電極を形成し
た上で、該基板上にＳＡＷデバイス素子を接着し、素子
上のパッド電極と上記入出力端子とをそれぞれワイヤボ
ンディングして、ＳＡＷデバイスを構成する。前記シー
ルド電極を形成することにより入出力端子間の直達波を
遮断でき、保証減衰量が改善できるという利点がある。
これら先行技術は、入出力共に不平衡としたＳＡＷフィ
ルタが前提となっており、シールド電極を圧電基板上で
はなく、ＳＡＷデバイス素子を搭載するための絶縁基板
上に設けている。これはシールドの目的が入出力端子間
の直達波を遮蔽することのみにあることを意味する。こ
れに対し、本発明に係るシールド電極９の目的は入出力
端子間の直達波を遮蔽するだけではなく、平衡型二重モ
ードＳＡＷフィルタの平衡度、即ち、出力ＯＵＴ１、２
から出力されるそれぞれの振幅及び位相間のバランスエ
ラーを極力低減させることにあり、二重モードＳＡＷフ
ィルタを構成する圧電基板上にシールド電極パターンを
形成し、２つの平衡出力ＯＵＴ１、２間の電磁的バラン
スを図ったものであり、これら先行技術とは明らかに構
成、及び作用効果が異なるのである。
【００１０】図２は本発明に係る第２の発明の実施の形
態を示す電極パターン図であって、図１で示した第１の
実施例の二重モードＳＡＷフィルタＦ２に、ＩＤＴ電極
１０とその両側に配置した反射器１１ａ、１１ｂとから
なるＳＡＷ共振子Ｒ１を直列に接続して構成したＳＡＷ
フィルタであり、通過域近傍の減衰量を改善したもので
ある。図３に実線にて示すフィルタ特性は、図２に示し
た電極パターンを用い、圧電基板に３９°Ｙ−Ｘ Ｌｉ
ＴａＯ３を用い、中心周波数を1960MHz、帯域幅６０MHz
に設定し、中央のＩＤＴ電極１の対数を18対、両外側の
ＩＤＴ電極２、３の対数を共に12.5対、交叉長Ｗを45λ
（λは電極周期）、反射器４ａ、４ｂの本数をそれぞれ
200本、ＳＡＷ共振子Ｒ１のＩＤＴ電極対数を２００
対、反射器の本数を１００本、交叉長Ｗ１を２０λ、ア
ルミニウム合金の電極膜厚を6.5％λをとした場合のフ
ィルタ特性である。比較のため図１１に示した従来のＳ
ＡＷフィルタのフィルタ特性を破線にて重ね書きした
が、この図からも明らかなように保証減衰量が大幅に改
善されていることが判明した。
態を示す電極パターン図であって、図１で示した第１の
実施例の二重モードＳＡＷフィルタＦ２に、ＩＤＴ電極
１０とその両側に配置した反射器１１ａ、１１ｂとから
なるＳＡＷ共振子Ｒ１を直列に接続して構成したＳＡＷ
フィルタであり、通過域近傍の減衰量を改善したもので
ある。図３に実線にて示すフィルタ特性は、図２に示し
た電極パターンを用い、圧電基板に３９°Ｙ−Ｘ Ｌｉ
ＴａＯ３を用い、中心周波数を1960MHz、帯域幅６０MHz
に設定し、中央のＩＤＴ電極１の対数を18対、両外側の
ＩＤＴ電極２、３の対数を共に12.5対、交叉長Ｗを45λ
（λは電極周期）、反射器４ａ、４ｂの本数をそれぞれ
200本、ＳＡＷ共振子Ｒ１のＩＤＴ電極対数を２００
対、反射器の本数を１００本、交叉長Ｗ１を２０λ、ア
ルミニウム合金の電極膜厚を6.5％λをとした場合のフ
ィルタ特性である。比較のため図１１に示した従来のＳ
ＡＷフィルタのフィルタ特性を破線にて重ね書きした
が、この図からも明らかなように保証減衰量が大幅に改
善されていることが判明した。
【００１１】図４は図３に示したＳＡＷフィルタの振幅
バランスエラー特性を実線にて示し、従来のＳＡＷフィ
ルタの振幅バランスエラー特性を破線にて示す。この図
からも本発明に係るシールド電極９を設けたことによ
り、振幅バランスエラー特性が大幅に改善されたことが
判明した。また、図５は図３に示したＳＡＷフィルタの
位相のバランスエラー特性を実線にて示し、従来のもの
を破線にて示す。この図からも本発明に係るシールド電
極９を設けたことにより、位相のバランスエラー特性が
大幅に改善されることが分かった。
バランスエラー特性を実線にて示し、従来のＳＡＷフィ
ルタの振幅バランスエラー特性を破線にて示す。この図
からも本発明に係るシールド電極９を設けたことによ
り、振幅バランスエラー特性が大幅に改善されたことが
判明した。また、図５は図３に示したＳＡＷフィルタの
位相のバランスエラー特性を実線にて示し、従来のもの
を破線にて示す。この図からも本発明に係るシールド電
極９を設けたことにより、位相のバランスエラー特性が
大幅に改善されることが分かった。
【００１２】図６は本発明に係る第３の発明の実施の形
態を示す図であって、電極の対称性を改良した電極パタ
ーンである。即ち、リード電極５と６の長さをほぼ等し
くすると共に、リード電極５の幅とシールド電極の幅と
リード電極５とシールド電極５との間のスペース幅との
和を、リード電極６の幅とほぼ等しくしたことである。
このようにＩＤＴ電極１、２、３と共にのリード電極の
対称性を改善することにより、振幅及び位相のバランス
エラーがより改善されることが期待できる。
態を示す図であって、電極の対称性を改良した電極パタ
ーンである。即ち、リード電極５と６の長さをほぼ等し
くすると共に、リード電極５の幅とシールド電極の幅と
リード電極５とシールド電極５との間のスペース幅との
和を、リード電極６の幅とほぼ等しくしたことである。
このようにＩＤＴ電極１、２、３と共にのリード電極の
対称性を改善することにより、振幅及び位相のバランス
エラーがより改善されることが期待できる。
【００１３】図７は本発明に係る第４の発明の実施の形
態を示す図であって、リード電極及びシールド電極を完
全に対称構成とした電極パターンである。即ち、リード
電極５と６、シールド電極９ａと９ｂの電極パターンを
ＩＤＴ電極１、２、３の中心線Ｃに関して対称構造とし
たことである。このような電極パターンとすることによ
り、振幅及び位相のバランスエラーがより改善されるこ
とが期待できる。
態を示す図であって、リード電極及びシールド電極を完
全に対称構成とした電極パターンである。即ち、リード
電極５と６、シールド電極９ａと９ｂの電極パターンを
ＩＤＴ電極１、２、３の中心線Ｃに関して対称構造とし
たことである。このような電極パターンとすることによ
り、振幅及び位相のバランスエラーがより改善されるこ
とが期待できる。
【００１４】図８は本発明に係る第５の発明の実施の形
態を示す図であって、圧電基板（図示しない）の主表面
上に表面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極とこれ
らの両側にグレーティング反射器とを配置した縦結合二
重モードＳＡＷフィルタを複数個縦続接続（図８の例は
２個）したものである。縦続接続する相隣接する２つの
縦結合二重モードＳＡＷフィルタＦ２、Ｆ’２のうち、
一方のＳＡＷフィルタＦ２の中央ＩＤＴ電極１を構成す
ると共に、図中下方のＳＡＷフィルタＦ’２側に配置し
たくし形電極とリード電極７ａにて接続する入力または
出力として機能するパッド電極Ｐａを設け、該パッド電
極を取り囲むようにシールド電極１２を配置する。そし
て、該シールド電極１２を接地電位とすると共にＳＡＷ
フィルタＦ’２の中央ＩＤＴ電極を構成すると共に、Ｓ
ＡＷフィルタＦ２側に配置されたくし形電極に接続し
て、入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフィル
タを構成した例である。このように縦続接続することに
より振幅及び位相のバランスエラーを改善されると共
に、保証減衰量が大幅に改善することが期待できる。
態を示す図であって、圧電基板（図示しない）の主表面
上に表面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極とこれ
らの両側にグレーティング反射器とを配置した縦結合二
重モードＳＡＷフィルタを複数個縦続接続（図８の例は
２個）したものである。縦続接続する相隣接する２つの
縦結合二重モードＳＡＷフィルタＦ２、Ｆ’２のうち、
一方のＳＡＷフィルタＦ２の中央ＩＤＴ電極１を構成す
ると共に、図中下方のＳＡＷフィルタＦ’２側に配置し
たくし形電極とリード電極７ａにて接続する入力または
出力として機能するパッド電極Ｐａを設け、該パッド電
極を取り囲むようにシールド電極１２を配置する。そし
て、該シールド電極１２を接地電位とすると共にＳＡＷ
フィルタＦ’２の中央ＩＤＴ電極を構成すると共に、Ｓ
ＡＷフィルタＦ２側に配置されたくし形電極に接続し
て、入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフィル
タを構成した例である。このように縦続接続することに
より振幅及び位相のバランスエラーを改善されると共
に、保証減衰量が大幅に改善することが期待できる。
【００１５】本発明は、以上説明したものに限定される
ものではなく、入力側を平衡型とし出力側を不平衡とし
たものでってもよく、入出力とも平衡型としたものであ
ってもよい。後者については図７の如き構成が望ましい
ことは言うまでもない。また、二重モードＳＡＷフィル
タとＳＡＷ共振子とを直列接続した例を説明したが、Ｓ
ＡＷ共振子を並列接続しても通過域近傍の減衰量を改善
することができる。さらに、本発明に係る二重モードＳ
ＡＷフィルタを複数段接続するか、本発明に係る二重モ
ードＳＡＷフィルタと、従来の二重モードＳＡＷフィル
タとを複数段縦続接続することにより保証減衰量が大幅
に改善すると共に、振幅及び位相のバランスエラーを改
善されることが期待できる。更に、本発明を３９°Ｙ−
Ｘ ＬｉＴａＯ３を用いて説明したが、本発明はこの切
断角度に限定するものではなく、他の切断角度にも適用
できることは言うまでもない。また、圧電基板にタンタ
ル酸リチウムを用いて説明したが、ニオブ酸リチウム、
四硼酸リチウム、ランガサイト等、他の圧電基板にも適
用できることは説明するまでもない。
ものではなく、入力側を平衡型とし出力側を不平衡とし
たものでってもよく、入出力とも平衡型としたものであ
ってもよい。後者については図７の如き構成が望ましい
ことは言うまでもない。また、二重モードＳＡＷフィル
タとＳＡＷ共振子とを直列接続した例を説明したが、Ｓ
ＡＷ共振子を並列接続しても通過域近傍の減衰量を改善
することができる。さらに、本発明に係る二重モードＳ
ＡＷフィルタを複数段接続するか、本発明に係る二重モ
ードＳＡＷフィルタと、従来の二重モードＳＡＷフィル
タとを複数段縦続接続することにより保証減衰量が大幅
に改善すると共に、振幅及び位相のバランスエラーを改
善されることが期待できる。更に、本発明を３９°Ｙ−
Ｘ ＬｉＴａＯ３を用いて説明したが、本発明はこの切
断角度に限定するものではなく、他の切断角度にも適用
できることは言うまでもない。また、圧電基板にタンタ
ル酸リチウムを用いて説明したが、ニオブ酸リチウム、
四硼酸リチウム、ランガサイト等、他の圧電基板にも適
用できることは説明するまでもない。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、請求項１に記載の発明はフィルタの保証減衰量が
改善され、振幅及び位相のバランスエラーが大幅に改善
されるという優れた効果を表す。請求項２に記載の発明
は請求項１に記載の平衡型ＳＡＷフィルタよりもより、
振幅及び位相のバランスエラーの改善が期待できるとい
う効果を表す。請求項３に記載の発明は請求項１あるい
は２に記載の平衡型ＳＡＷフィルタよりもより、振幅及
び位相のバランスエラーの改善が期待できるという効果
を表す。請求項４に記載の発明は振幅及び位相のバラン
スエラーを改善すると共に、通過域近傍の減衰量を改善
するという優れた効果を奏す。請求項５に記載の発明は
振幅及び位相のバランスエラーを改善すると共に、保証
減衰量を大幅に改善するという優れた効果を奏す。
ので、請求項１に記載の発明はフィルタの保証減衰量が
改善され、振幅及び位相のバランスエラーが大幅に改善
されるという優れた効果を表す。請求項２に記載の発明
は請求項１に記載の平衡型ＳＡＷフィルタよりもより、
振幅及び位相のバランスエラーの改善が期待できるとい
う効果を表す。請求項３に記載の発明は請求項１あるい
は２に記載の平衡型ＳＡＷフィルタよりもより、振幅及
び位相のバランスエラーの改善が期待できるという効果
を表す。請求項４に記載の発明は振幅及び位相のバラン
スエラーを改善すると共に、通過域近傍の減衰量を改善
するという優れた効果を奏す。請求項５に記載の発明は
振幅及び位相のバランスエラーを改善すると共に、保証
減衰量を大幅に改善するという優れた効果を奏す。
【図１】本発明に係る二重モードＳＡＷフィルタの第１
の発明の実施例の構成を示す電極パターン図である。
の発明の実施例の構成を示す電極パターン図である。
【図２】第２の発明の実施例の構成を示す電極パターン
図である。
図である。
【図３】第２の実施例のフィルタ特性を示す図である。
【図４】第２の実施例の振幅バランスエラー特性を示す
図である。
図である。
【図５】第２の実施例の位相バランスエラー特性を示す
図である。
図である。
【図６】第３の発明の実施例の構成を示す電極パターン
図である。
図である。
【図７】第４の発明の実施例の構成を示す電極パターン
図である。
図である。
【図８】第５の発明の実施例の構成を示す電極パターン
図である。
図である。
【図９】従来の１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフィ
ルタの構成を示す平面図である。
ルタの構成を示す平面図である。
【図１０】図９に示した従来の二重モードＳＡＷフィル
タにＳＡＷ共振子を直列接続して構成したＳＡＷフィル
タである。
タにＳＡＷ共振子を直列接続して構成したＳＡＷフィル
タである。
【図１１】従来のＳＡＷフィルタのフィルタ特性を示す
図である。
図である。
【図１２】従来のＳＡＷフィルタの振幅バランスエラー
特性を示す図である。
特性を示す図である。
【図１３】従来のＳＡＷフィルタの位相バランスエラー
特性を示す図である。
特性を示す図である。
【図１４】振幅及び位相バランスエラー特性を測定する
ための回路図である。
ための回路図である。
１、２、３、１０・・ＩＤＴ電極
５、６、７、７ａ、８・・リード電極
４ａ、４ｂ、１１ａ、１１ｂ・・グレーティング反射器
９、９ａ、９ｂ、１２・・シールド電極
Ｆ２、Ｆ’２・・１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフ
ィルタ Ｒ１・・ＳＡＷ共振子 ＩＮ・・不平衡型入力端子 ＯＵＴ１、２・・平衡型出力端子 Ｐａ、Ｐｂ・・パッド電極
ィルタ Ｒ１・・ＳＡＷ共振子 ＩＮ・・不平衡型入力端子 ＯＵＴ１、２・・平衡型出力端子 Ｐａ、Ｐｂ・・パッド電極
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
に沿って３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティ
ング反射器とを配置した縦結合二重モードＳＡＷフィル
タであって、両外側のＩＤＴ電極をそれぞれ構成する一
方のくし形電極同士を互いに第１のリード電極にて接続
しこれを接地電位とし、他方のくし形電極同士を互いに
第２のリード電極にて接続しこれを入力又は出力とする
と共に、中央のＩＤＴ電極を構成する一方のくし形電極
と前記第１のリード電極に囲まれた領域内に設けた第１
のパッド電極とを第３のリード電極にて接続し、他方の
くし形と前記第２のリード電極に囲まれた領域内に設け
た第２のパッド電極とを第４のリード電極にて接続し、
前記第１及び第２のパッド電極を入力又は出力としたも
のに於いて、第２のパッド電極と第２のリード電極との
間に、第２のパッド電極を取り囲むようにシールド電極
を配置しこれを接地電極としたことを特徴とする縦結合
二重モードＳＡＷフィルタ。 - 【請求項２】 前記シールド電極と第２のパッド電極と
の間隙と、前記第１のリード電極と第１のパッド電極と
の間隙とをほぼ等しく設定したことを特徴とする請求項
１記載の縦結合二重モードＳＡＷフィルタ。 - 【請求項３】 前記第１のリード電極と第１のパッド電
極との間に前記シールド電極とほぼ同じ形状のシールド
電極を配置しこれを接地電位としたことを特徴とする請
求項１記載の縦結合二重モードＳＡＷフィルタ。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載の縦結
合二重モードＳＡＷフィルタと、同一の圧電基板上に形
成したＳＡＷ共振子とを直列または並列に接続したこと
を特徴とするＳＡＷフィルタ。 - 【請求項５】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
に沿って３つのＩＤＴ電極とこれらの両側にグレーティ
ング反射器とを配置した縦結合二重モードＳＡＷフィル
タを複数個縦続接続したものに於いて、縦続接続された
相隣接する２つの縦結合二重モードＳＡＷフィルタのう
ち、一方のＳＡＷフィルタの中央ＩＤＴ電極を構成し且
つ他方のＳＡＷフィルタ側に配置されたくし形電極とリ
ード電極にて接続され入力または出力として機能するパ
ッド電極を有し、該パッド電極を取り囲むようにシール
ド電極を配置し、該シールド電極を接地電位とすると共
に他方のＳＡＷフィルタの中央ＩＤＴ電極を構成し且つ
一方のＳＡＷフィルタ側に配置されたくし形電極に接続
したことを特徴とする縦結合二重モードＳＡＷフィル
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002007882A JP2003209456A (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | Ｓａｗフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002007882A JP2003209456A (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | Ｓａｗフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003209456A true JP2003209456A (ja) | 2003-07-25 |
Family
ID=27646285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002007882A Pending JP2003209456A (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | Ｓａｗフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003209456A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006527516A (ja) * | 2003-06-06 | 2006-11-30 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 選択性または分離性の改善されたｓａｗフィルタ |
| US7292122B2 (en) * | 2003-11-21 | 2007-11-06 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter and wireless device that employs the same |
| WO2008038498A1 (fr) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif de filtre d'onde acoustique équilibré |
| EP2214312A2 (en) | 2009-02-02 | 2010-08-04 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Receiving side filter of duplexer and duplexer |
-
2002
- 2002-01-16 JP JP2002007882A patent/JP2003209456A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006527516A (ja) * | 2003-06-06 | 2006-11-30 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 選択性または分離性の改善されたｓａｗフィルタ |
| US7292122B2 (en) * | 2003-11-21 | 2007-11-06 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter and wireless device that employs the same |
| EP1533895A3 (en) * | 2003-11-21 | 2010-01-06 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter and wireless device that employs the same |
| WO2008038498A1 (fr) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif de filtre d'onde acoustique équilibré |
| JPWO2008038498A1 (ja) * | 2006-09-28 | 2010-01-28 | 株式会社村田製作所 | バランス型弾性波フィルタ装置 |
| JP4873010B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2012-02-08 | 株式会社村田製作所 | バランス型弾性波フィルタ装置 |
| EP2214312A2 (en) | 2009-02-02 | 2010-08-04 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Receiving side filter of duplexer and duplexer |
| US8421555B2 (en) | 2009-02-02 | 2013-04-16 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Receiving side filter of duplexer and duplexer |
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