WO2004103033A1 - X線発生装置 - Google Patents

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WO2004103033A1
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English (en)
French (fr)
Inventor
Jun Takahashi
Hiroshi Takano
Original Assignee
Hitachi Medical Corporation
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08Electrical details
    • H05G1/10Power supply arrangements for feeding the X-ray tube
    • H05G1/12Power supply arrangements for feeding the X-ray tube with dc or rectified single-phase ac or double-phase

Definitions

  • the present invention relates to a high-voltage device that can multiply the output voltage of a high-voltage transformer by several times.
  • a high-voltage device that can multiply the output voltage of a high-voltage transformer by several times.
  • Inverter that converts DC power into high-frequency AC using an inverter, boosts its output voltage with a high-voltage transformer, rectifies it, generates a DC high voltage, and applies this to an anode-grounded X-ray tube. It relates to an X-ray generator.
  • an X-ray generator that generates X-rays for irradiating X-rays to a diagnostic site of a subject.
  • the X-ray generator includes an X-ray tube that emits X-rays, A high-voltage generator for generating a DC high voltage (hereinafter, referred to as a tube voltage) to be applied to the X-ray tube is provided.
  • a neutral grounded type is mainly used.
  • a grounded anode X-ray tube has come to be used with the increase in capacity and load factor of an X-ray generator.
  • the grounded anode X-ray tube is configured to ground the potential of the rotating rotor of the anode, so the degree of freedom of anode design is increased, the heat radiation design is simplified, and the heat radiation efficiency can be dramatically improved. I made it. This has made it possible to mount large-capacity X-ray tubes.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-164197
  • the grounded anode type X When a tube is used, the anode side of the X-ray tube is grounded, and the power source side has a maximum of 150 kV with respect to the ground. For this reason, a withstand voltage design that is twice as high as 75 kV is required, and high-voltage generators including high-voltage transformers and high-voltage rectifiers for anode-grounded X-ray tubes become extremely large.
  • Japanese Patent No. 2814016 which is another document, discloses a Cockcroft'Walton circuit as a voltage doubler circuit. The circuit operation will be described with reference to FIG.
  • Patent Document 2 Patent No. 2814016 (1) In a cycle in which the upper side of the secondary coil is positive, the current flows through the capacitor 17 from above the secondary coil and flows through the diode 19. At this time, a voltage E (kV) having a peak value of the AC voltage is charged at both ends of the capacitor 17. (2) Next, in a cycle in which the polarity of the AC voltage is inverted and the lower side of the secondary coil is positive, the secondary current flows through the lower capacitor 21. The capacitor 21 is charged to E (kV), and the current returns to the secondary coil through the diode 18 and the capacitor 17. At this time, the current that has passed through the diode 18 is blocked by the voltage E (kV) maintained in the capacitor 17.
  • the voltage applied to the capacitor 21 is usually about 150 kV, and the capacitor needs to be quite large.
  • the voltage drop curves at both ends of the X-ray tube during discharge include significant ripple.
  • An object of the present invention is to provide an inverter-type X-ray generator that can be configured to be small, lightweight, and inexpensive, and that can reduce ripples during discharge, even when an anode-grounded X-ray tube that operates at a high voltage is used. It is in. Disclosure of the invention
  • a high-frequency output means for outputting a high-frequency alternating current, and a high-frequency output means connected to the output side of the high-frequency output means.
  • High-voltage transformer for boosting the output
  • voltage doubling means for doubling the high-voltage output of the high-voltage transformer
  • a grounded anode X-ray to which the DC high voltage generated by the voltage doubling means is applied.
  • a tube wherein the voltage multiplier includes a high frequency rectifier circuit.
  • the voltage doubling means includes a step of setting the peak value of the inter-node voltage of the high-frequency rectifier circuit to the high frequency.
  • Voltage maintaining means for maintaining longer than the cycle of the output means is included.
  • the high-frequency rectifier circuit is configured by connecting at least two diode full bridges. Was done.
  • the voltage maintaining means is connected at least in the high-frequency rectifier circuit.
  • a smoothing means is further provided in the voltage multiplying means.
  • the high-frequency rectifier circuit includes the input terminals of at least two diode full bridges arranged in parallel for each pole.
  • the voltage maintaining means comprises a first voltage maintaining means and a second voltage maintaining means, and the first voltage maintaining means is inserted between the parallel connection wirings, respectively,
  • the dangling means is connected between two-pole output terminals of the at least two diode full bridges, and the second voltage maintaining means is connected between the high-frequency output means and the high-frequency rectifier circuit.
  • the second voltage maintaining means includes an output side of the high-voltage transformer and the high-frequency rectifier. Inserted into at least one of the wires between the input sides of the circuit.
  • one of the second voltage maintaining means is inserted on an input side of the high voltage transforming means.
  • a tube voltage detecting means is further connected to an output side of the voltage multiplying means.
  • the high-frequency output means also has a DC power supply and an inverter circuit power.
  • FIG. 1 is a circuit diagram showing an inverter type X-ray generator according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2a is a partial sectional front view showing a high-voltage transformer in the inverter type X-ray generator shown in FIG. 1.
  • FIG. 2b is a sectional view taken along line 33c in FIG. 2a.
  • FIG. 3a is a configuration diagram of a conventional neutral-point grounded X-ray tube inverter type X-ray generator.
  • FIG. 3b is a schematic configuration diagram of an inverter type X-ray generator for an anode point grounded X-ray tube according to the present invention.
  • FIG. 4 is a circuit diagram showing a diode full bridge circuit.
  • FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration of a voltage multiplying means including a tube voltage detecting device according to the present invention.
  • FIG. 6 is a circuit diagram showing an inverter type X-ray generator according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a circuit diagram showing an inverter type X-ray generator according to still another embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a circuit diagram showing a conventional neutral point grounded inverter type X-ray generator.
  • FIG. 1 is a circuit diagram showing an inverter type X-ray generator according to one embodiment of the present invention.
  • the DC voltage of DC power supply 1 is converted to high-frequency AC voltage using inverter 2 and After the output voltage is boosted by the high voltage transformer 3, the anode 5a and the power source 5b are connected to the output side of the voltage multiplier 4 connected to the output side of the high voltage transformer 3, and the voltage
  • the rectified DC high voltage is supplied to the grounded anode X-ray tube 5 to emit X-rays, and the high voltage transformer 3 and the voltage multiplier 4 constitute a high voltage generator 12. are doing.
  • other means may be used as long as the device generates an AC power of a high frequency, which is described using an inverter.
  • the above-described DC power supply 1 is a means for supplying a DC voltage.
  • Examples of such a DC power supply 1 that can be used include: a means for obtaining a DC voltage by rectifying the power of an AC commercial power supply of 50 Hz or 60 Hz and smoothing it with a smoothing means such as a capacitor; and High power factor converter with boost function using IGBT etc.
  • the rectification of the electric power of the commercial power supply can be performed, for example, by a rectifier circuit using a diode or a thyristor.
  • the DC voltage output from the DC power supply 1 is received and converted into a high-frequency AC voltage, and the tube voltage output from the high-voltage generator 12 and applied to the X-ray tube becomes a target value.
  • the tube voltage is controlled to a target value by an inverter control circuit (not shown).
  • the high-voltage transformer 3 boosts the AC voltage from the inverter 2 and is connected to the output side of the primary winding inverter S inverter 2.
  • the first primary winding 31a and the second primary winding 31k must have two legs 34a, 34k of the U-U-shaped cut core 33 in order to secure a sufficient current capacity and supply large power at a high frequency.
  • the U—U-shaped cut core 33 is, for example, a ring-shaped core 33 formed by joining one U-shaped cut core 33a and the other U-shaped cut core 33b, and the butted portion 33c is, for example, as shown in FIG. 2B.
  • the secondary windings 32a and 32k are wound around the primary windings 31a and 31k, respectively, so as to generate approximately half the tube voltage.
  • Voltage doubling means 4 receives the high-frequency high-voltage output from high-voltage transformer 3 and converts it to DC.
  • Capacitors C1 which maintain the voltage peak value between the terminals of the secondary windings 32a, 32k in the high-voltage transformer 3 for a period longer than the period pulsed by the inverter 2, respectively.
  • Connect voltage maintaining means such as C5.
  • the terminals of the secondary windings 32a and 32k are connected to the input terminals of the two diode full bridge circuits 6 and 7 via these voltage maintaining means.
  • the input terminal of this diode full bridge circuit 6 has two poles of nodes n2 and n8, and the input terminal of the diode full bridge circuit 7 has two poles of nodes n3 and n9.
  • One of the terminals of the secondary windings 32a and 32k is connected to one pole of the two diode full bridge circuits.
  • the other ends of the secondary windings 32a and 32k are connected to the other poles of the two diode full bridge circuits. That is, one end of the secondary windings 32a and 32k are connected, and the other end of the secondary winding 32a is connected to the capacitor C1, and then the node n2 which is one pole side of the input terminal of the diode full bridge circuit 6 is connected. , n3.
  • the other end of the secondary winding 32k is connected to the capacitor C5 and then to the nodes n8 and n9 on the other pole side of the input side terminal of the diode full bridge circuit 6.
  • a voltage maintaining means such as a capacitor C2 that maintains a voltage peak value for a period longer than the period of the inverter 2 is connected between the node n2 and the node n3 that are one pole side of the input terminal.
  • a voltage maintaining means such as a capacitor C2 that maintains a voltage peak value for a period longer than the cycle of the inverter 2 is connected between the nodes n8 and n9 on the other pole side of the input terminal.
  • the diode full bridges 6 and 7 are connected in series on the output side.
  • the nodes n5 of the diode full bridges 6 and 7 are connected to each other, and the output terminal n4 of the diode full bridge circuit 6 and the output terminal n6 of the diode full bridge circuit 7 are connected to the anode-grounded X-ray tube 5, respectively. Connected to the anode 5a and the force sword 5b.
  • the anode grounded X-ray tube 5 receives the DC output voltage from the voltage doubling means 4 and emits X-rays.
  • the source 5k for generating thermoelectrons and the source 5k An anode 5a that generates X-rays by collision of thermal electrons, and the anode 5a is grounded.
  • the software used for the simulation is a general software that can perform an electric circuit analysis, and is software commonly called SPICE.
  • the simulation will be described with reference to FIG.
  • Circuit elements include a full-bridge inverter 2 (20 kHz, 700 V DC), a high-voltage transformer 3 (turn ratio 100 to 200), an anode-grounded X-ray tube 5 (about 200 k ⁇ for 500 mA at 100 kV), and Diode full bridge circuits D1 to D8 and C3 to C4 (with four diodes bridged and capacitors inserted in the center) were connected in parallel in two to four stages. Furthermore, voltage maintaining capacitors CI, C2, C5 and C6 for generating doubled voltage were added as appropriate. The following effects were confirmed as a result of simulating the circuit by setting the conditions as described above and performing a simulation.
  • the voltage can be doubled in proportion to the above-mentioned number of stages of the diode full bridge circuit of the tube voltage.
  • the voltage is as low as that of an inverter-type generator using a neutral-grounded X-ray tube.
  • Capacitors can be used, and the insulation design of the entire equipment must be neutral grounded.
  • Fig. 3b shows the design of an inverter-type X-ray generator for an anode-grounded X-ray tube with the same design concept as the conventional inverter-type X-ray generator for a neutral-point grounded X-ray tube shown in Fig. 3a.
  • the configuration is as shown.
  • the high-voltage rectifier circuit in which the input terminals of the high-voltage rectifier circuits 4a and 4b are connected to the secondary windings 3a and 3b of the high-voltage transformer 3 and the output terminals are connected in series, respectively.
  • the voltage doubling means 4 in the high voltage generator 12 is provided with capacitors CI, C2, and C3 that maintain the voltage peak value for a period longer than the cycle of the inverter 2.
  • a voltage maintaining means such as C5 and C6 and a smoothing means such as smoothing capacitors C3 and C4 were added.
  • the diode full bridge circuits 6 and 7 configured as described above are two-stage full-wave multiple boosting circuits. For example, when 150 kV is applied to the anode grounded X-ray tube 5, the maximum potential difference between the secondary terminals of the high-voltage transformer 3 is 75 kV. The output of stage 4 can be doubled to 150kV.
  • this node n4 in the voltage doubling means 4 is grounded, this node n4 has the same potential as the anode 5a side of the anode grounded X-ray tube 5. That is, when the voltage of 150 V is rectified by the voltage multiplier 4, the reference point of the rectification is set to the intermediate voltage 75 kV at the node n4. Thus, both the secondary terminals of the voltage transformer 3 operate within a range of up to ⁇ 75 kV, which is half the maximum tube voltage with respect to the ground. Therefore, in the high-voltage generator 12, it is sufficient that the withstand voltage design with respect to the ground potential is ⁇ 75 kV. As described above, the withstand voltage design of the X-ray generator for an anode grounded X-ray tube according to the present invention can be almost the same as that of the conventional neutral grounded X-ray tube.
  • the secondary winding 3a of the high-voltage transformer 3 is connected between the input side AC terminals 6a and 7a of the diode full bridge circuit module 4a, and the secondary The winding 3b is connected between the input side AC terminals 6b and 7b of the diode full bridge circuit module 4b, and the output positive terminal 8b of the diode full bridge circuit module 4b is connected to the output negative terminal 9a of the diode full bridge circuit module 4a.
  • the X-ray tube 5 is connected between the output positive terminal 8a of the diode full bridge circuit module 4a and the output negative terminal 9b of the diode full bridge circuit module 4b. Based on this configuration, the connection of the diode full-bridge circuit modules 4a and 4b, each of which is a modularized full-wave rectifier circuit with four diode forces, is changed to provide the voltage doubling means shown in Fig. 1 above. 4 can also be configured.
  • the diode full-bridge circuit modules 4a and 4b include a conventional neutral grounded X including voltage dividers 10a and 10b used together with a tube voltage detecting resistor 11 to detect a tube voltage as shown in FIG. It is acceptable to use the configuration of the line generator.
  • the circuit elements used in the neutral grounding method as shown in FIG. 8 can be used as they are as the elements of the present invention, and it is not necessary to arrange new elements. It becomes important.
  • the diode full bridge circuit modules 4a and 4b constituting the voltage multiplier 4 can be shared between the neutral point grounded type and the anode grounded type, and many of the existing manufacturing facilities and parts arrangements are required. It is possible to provide an inexpensive X-ray generator that does not need to be changed.
  • the inverter circuit using the full-wave multiplying booster circuit according to the present invention has a smaller capacitor capacity and lowers the tube voltage ripple than a half-wave rectification booster circuit such as a Cockcroft-Walton circuit. It has features that enable it to be as small and light as a neutral grounded X-ray generator.
  • FIG. 6 is a circuit diagram showing an inverter type X-ray generator according to the second embodiment.
  • the same reference numerals are given to the same components as those of the first embodiment, and the detailed description is omitted.
  • the capacitor C5 connected between the secondary winding 32k of the high voltage transformer 3 and the voltage doubling means 4 shown in FIG. 1 is omitted,
  • the other capacitors CI, C2, and C6 constitute voltage maintaining means for maintaining the voltage peak value for a period longer than the cycle of the inverter 2.
  • This is equivalent to the embodiment shown in FIG. 1 in terms of electric circuit, and the size and cost of the entire device can be further reduced by further reducing the number of capacitors.
  • Such a configuration is particularly effective when the installation space of the X-ray generator is limited.
  • FIG. 7 is a circuit diagram showing an inverter type X-ray generator according to the third embodiment.
  • the same reference numerals are given to the same components as those of the first embodiment, and the detailed description is omitted.
  • the secondary windings 32a and 32k of the high-voltage transformer 3 shown in FIG. Means Capacitors CI and C5 respectively connected between means 4 are omitted and connected directly.
  • capacitor C1 is connected to the primary side of high-voltage transformer 3 and the voltage peak value is longer than the period of inverter 2. Is maintained.
  • the capacitor for maintaining the peak voltage can be installed on the primary side of the high-voltage transformer, so that the degree of freedom in designing the X-ray generator can be improved.
  • the X-ray generator for the anode grounded X-ray tube has been described.
  • the voltage multiplier according to the present invention can be applied to other technical fields. For example, it can be used for electron microscopes that require high voltage. Despite the small size, light weight, and inexpensive equipment, it can generate many times the voltage of the power supply with little voltage fluctuation and stable.

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Abstract

 高電圧変圧器3における二次巻線の端子間にそれぞれインバータ2の周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサなどの電圧維持手段を介して複数のダイオードフルブリッジ回路の入力側端子を並列接続し、各ダイオードフルブリッジ回路の入力側端子間にはそれぞれインバータの周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサなどの電圧維持手段を接続し、また各ダイオードフルブリッジの出力側端子をそれぞれほぼ同等の平滑コンデンサなどの平滑手段を介して直列接続し、その出力側端子間に陽極接地型X線管5を接続したことで、陽極接地型X線管を用いながら、小型軽量で安価な構成を実現し、さらに出力電圧のリップルを低減した。  

Description

技術分野
[0001] 本発明は、高電圧変圧器の出力電圧を数倍化可能な高電圧装置に関する。特に
、直流電源をインバータにより高周波の交流に変換し、その出力電圧を高電圧変圧 器で昇圧した後、整流して直流の高電圧を発生し、これを陽極接地型 X線管に印加 するインバータ式 X線発生装置に関する。
明 背景技術 田
[0002] 一般に、被検体の診断部位に X線を照射するために X線を発生させる X線発生装 置が知られており、この X線発生装置は X線を放射する X線管と、この X線管に印加す るための直流高電圧 (以下、管電圧と称す)を発生する高電圧発生装置とを備えて 構成されている。この X線発生装置としては、中性点接地型のものが主に用いられて いる。しかし、陽極の熱容量を稼いだり, CT装置に適用する場合において陽極の軸 受け部等の対遠心力強度を確保しにくかった。そこで、 日本国特開 2002— 164197号 公報に開示されるように、 X線発生装置の大容量化と高負荷率化に伴い、陽極接地 型 X線管も用いられるようになつてきた。この陽極接地型 X線管は、陽極の回転ロータ の電位を接地できる構成となっているので、陽極の設計自由度が増し、放熱設計が 容易となり、放熱効率を飛躍的に向上させることを可能にした。これによつて大容量 の X線管の実装が可能となった。
特許文献 1:特開 2002— 164197号公報
[0003] し力しながら、従来の陽極接地型 X線管を用いたインバータ式高電圧発生装置で は、耐電圧の確保のため筐体を大型化せざるを得ない。従来の中性点接地型にお ける高電圧発生装置は、アース電位に対してそれぞれアノード側に最大 + 75kV、力 ソード側に最大 75kV、トータルで 150kVの直流電圧を X線管に印加するように構成 して ヽるため、高電圧変圧器の卷線ゃ高電圧整流器の各端子とアース電位との間で は、最大 ± 75kVの耐電圧設計をしておけば良力つた。これに対して、陽極接地型 X 線管を用いた場合、 X線管のアノード側を接地するため力ソード側はアースに対して 最大 150kVとなる。このため、 75kVの 2倍の耐電圧設計が求められ、陽極接地型 X 線管用の高電圧変圧器や高電圧整流器等を含む高電圧発生装置は非常に大型化 する。
[0004] 一方、別の文献である日本国特許第 2814016号には、倍電圧回路としてコッククロ フト 'ウォルトン回路が開示される。同公報図 3を用いて回路動作を説明する。
特許文献 2 :特許第 2814016号 (1)二次コイルの上側がプラスとなる周期では、電流 は、二次コイルの上からコンデンサ 17を通過して、ダイオード 19を流れる。この時、コ ンデンサ 17の両端には交流電圧のピーク値の電圧 E(kV)が充電される。 (2)次に 、交流電圧の極性が反転し二次コイルの下側がプラスとなる周期では,二次電流が 下力 コンデンサ 21に流れる。コンデンサ 21は E (kV)に充電され、電流は、ダイォ ード 18とコンデンサ 17を通過して二次コイルに戻る。このとき、先のコンデンサ 17内に 維持された電圧である E (kV)によってダイオード 18を通過した電流はせき止められ る。結果として、 2次コイルで発生した E (kV)とコンデンサ 17内の電圧 E (kV)との合 計である 2E (kV)力 コンデンサ 21の両端間に生じる。 (3)さらに、交流の極性が反 転し、二次コイルの上側が再度プラスとなる周期では、(1)と同じように電流が流れ、 この際立ち下がり始めたコンデンサ 17内の E (kV)は維持される。 (4)さらに、交流 の極性が反転し、二次コイルの下側が再度プラスとなる周期では、アースと二次コィ ルの上側の間に、二次コイルで生じる— E(kV)と(3)でコンデンサ 17に蓄えられた E ( kV)との合計の— 2E (kV)が生じる。すでに(2)でコンデンサ 21の両端には— 2E(kV)が 生じている。このように X線管の陰極の電位は- 2E (kV)に安定する。なお、(2)以降、 X線管の両端に力かる電圧がある一定以上に達した後、 X線管の放電は常に起こる。
[0005] ここで、コンデンサ 21に力かる電圧は通常 150kV程度であり、コンデンサはかなり 大型である必要がある。また、放電時における X線管両端の電圧降下曲線には、顕 著なリップルが含まれる。
本発明の目的は、高電圧で動作する陽極接地型 X線管を用いても、小型軽量で安 価な構成が可能で、かつ放電時のリップルを減少できるインバータ式 X線発生装置を 提供することにある。 発明の開示
[0006] 上記目的を達成するために、本発明の第 1の特徴によれば、高周波の交流を出力 する高周波出力手段と、この高周波出力手段の出力側に接続されて上記高周波出 力手段の出力を昇圧する高電圧変圧手段と、この高電圧変圧手段の高電圧出力を 倍化する電圧倍化手段と、この電圧倍化手段にて発生した直流高電圧が印加される 陽極接地型 X線管と、を備えた X線発生装置において、前記電圧倍ィ匕手段には、高 周波整流回路が含まれる。
本発明の第 2の特徴によれば、前記第 1の特徴に記載の X線発生装置において、前 記電圧倍化手段には、前記高周波整流回路のノード間電圧のピーク値を上記高周 波出力手段の周期より長く維持する電圧維持手段を含む。
[0007] 本発明の第 3の特徴によれば、前記第 1および 2の特徴に記載の X線発生装置にお V、て、前記高周波整流回路は少なくとも 2つのダイオードフルブリッジを接続して構成 された。
本発明の第 4の特徴によれば、前記第 1から 3の特徴に記載の X線発生装置におい て、前記電圧維持手段は、少なくとも前記高周波整流回路内に接続された。
本発明の第 5の特徴によれば、前記第 1から 4の特徴に記載の X線発生装置におい て、さらに平滑ィ匕手段を前記電圧倍ィ匕手段内に備えた。
[0008] 本発明の第 6の特徴によれば、前記第 5の特徴に記載の X線発生装置において、前 記高周波整流回路は、少なくとも 2つのダイオードフルブリッジの入力端子同士を極 毎に並列に接続して構成され、前記電圧維持手段は第 1の電圧維持手段と第 2の電 圧維持手段からなり、前記第 1の電圧維持手段は前記並列接続配線間にそれぞれ 挿入され、前記平滑ィ匕手段は前記少なくとも 2つのダイオードフルブリッジの 2極の出 力端子間に接続され、前記第 2の電圧維持手段は前記高周波出力手段と前記高周 波整流回路の間に接続された。
[0009] 本発明の第 7の特徴によれば、前記第 6の特徴に記載の X線発生装置において、前 記第 2の電圧維持手段は、前記高電圧変圧手段の出力側と前記高周波整流回路の 入力側の間の配線の少なくとも一方に挿入される。 本発明の第 8の特徴によれば、前記第 6の特徴に記載の X線発生装置において、前 記第 2の電圧維持手段は、前記高電圧変圧手段の入力側に 1つ挿入される。
本発明の第 9の特徴によれば、前記第 1から 8の特徴に記載の X線発生装置におい て、さらに管電圧検出手段を前記電圧倍ィ匕手段の出力側に接続した。
本発明の第 10の特徴によれば、前記第 1から 9の特徴に記載の X線発生装置にお いて、前記高周波出力手段は直流電源とインバータ回路力もなる。 図面の簡単な説明
[0010] [図 1]本発明の一実施の形態によるインバータ式 X線発生装置を示す回路図である。
[図 2a]図 1に示したインバータ式 X線発生装置における高電圧変圧器を示す部分断 面正面図である。
[図 2b]図 2aの 33cにおける断面図である。
[図 3a]従来の中性点接地型 X線管用インバータ式 X線発生装置の構成図である。
[図 3b]本発明に係る陽極点接地型 X線管用インバータ式 X線発生装置の概略構成 図である。
[図 4]ダイオードフルブリッジ回路を示す回路図である。
[図 5]本発明にかかわる管電圧検出装置を含んだ電圧倍ィ匕手段の構成を示す回路 図である。
[図 6]本発明の他の実施の形態によるインバータ式 X線発生装置を示す回路図であ る。
[図 7]本発明のさらに他の実施の形態によるインバータ式 X線発生装置を示す回路図 である。
[図 8]従来の中性点接地型インバータ式 X線発生装置を示す回路図である。
発明を実施するための最良の形態
[0011] 以下、添付図面に従って本発明に係る機能画像の表示方法および装置の好まし V、実施の形態につ!、て説明する。
図 1は、本発明の一実施の形態によるインバータ式 X線発生装置を示す回路図であ る。直流電源 1の直流電圧をインバータ 2を用いて高周波の交流電圧に変換し、その 出力電圧を高電圧変圧器 3で昇圧した後、高電圧変圧器 3の出力側に接続した電圧 倍ィ匕手段 4の出力側にアノード 5aおよび力ソード 5bを接続し、電圧倍化手段 4で整流 した直流高電圧を陽極接地型 X線管 5に供給して X線を放射するように構成しており、 高電圧変圧器 3と電圧倍ィ匕手段 4とによって高電圧発生装置 12を構成している。ここ では、インバータを使用したものを用いて説明している力 高周波の交流電源を発生 する装置であれば他の手段でも差し支えな 、ことは言うまでもな 、。
[0012] 上述した直流電源 1は直流電圧を供給する手段である。このような直流電源 1として 使用可能なものを例示すれば、ノ ッテリー、 50または 60Hzの交流の商用電源の電力 を整流すると共にコンデンサ等の平滑手段で平滑することによって直流電圧を得る 手段、および IGBT等を適用した昇圧機能を持つ高力率コンバータである。なお、上 記商用電源の電力の整流は、例えばダイオードやサイリスタによる整流回路により可 能である。
インバータ 2では、直流電源 1から出力された直流電圧を受電して高周波の交流電 圧に変換すると共に、高電圧発生装置 12から出力して X線管に印加される管電圧が 目標値となるように制御する。例えば、図示しないインバータ制御回路により、管電圧 が目標値となるように制御して 、る。
[0013] また、高電圧変圧器 3は、インバータ 2からの交流電圧を昇圧するもので、その一次 卷線カ Sインバータ 2の出力側に接続されている。図 2により、上記一次卷線の構成の 一例を説明する。十分な電流容量を確保すると共に、高周波で大電力を供給する必 要上、第一の一次卷線 31aおよび第二の一次卷線 31kは、 U— U型カットコア 33の二脚 34a, 34kにそれぞれ卷回して二並列構成としている。 U— U型カットコア 33は、例えば 、一方の U型カットコア 33aと他方の U型カットコア 33bをつき合わせてリング状のコア 33 としており、その突合せ部 33cは、例えば、図 2bのように断面四角状となっている。一 方、二次卷線 32a, 32kは、各一次卷線 31a, 31kの周囲に卷回され、それぞれ管電圧 のおよそ半分の電圧を発生するようにして ヽる。
[0014] 電圧倍化手段 4は、高電圧変圧器 3からの高周波の高電圧出力を受電して直流に 変換する。高電圧変圧器 3における二次卷線 32a, 32kの端子間に、それぞれインバ ータ 2でパルス化された周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサ C1, C5などの電圧維持手段を接続する。これら電圧維持手段を介して、二次卷線 32a, 32kの端子を二つのダイオードフルブリッジ回路 6, 7の入力側端子に接続して!/、る。 このダイオードフルブリッジ回路 6の入力側端子には、ノード n2, n8の 2極があり、ダイ オードフルブリッジ回路 7の入力側端子には、ノード n3, n9の 2極がある。二つのダイ オードフルブリッジ回路の一極側に二次卷線 32a, 32kの端子の一方を接続する。ま た、二つのダイオードフルブリッジ回路の他極側に二次卷線 32a, 32kの端子の他方 を接続する。つまり、二次卷線 32aと 32kの一端は接続され、二次卷線 32aの他端はコ ンデンサ C1と接続されてから、ダイオードフルブリッジ回路 6の入力側端子の一極側 であるノード n2, n3に接続される。また、二次卷線 32kの他端はコンデンサ C5と接続さ れてから、ダイオードフルブリッジ回路 6の入力側端子の他極側であるノード n8, n9に 接続される。
[0015] さらに、入力側端子の一極側であるノード n2とノード n3の間には、インバータ 2の周 期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサ C2などの電圧維持手段が接続 される。同様に、入力側端子の他極側であるノード n8とノード n9の間にも、インバータ 2の周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサ C2などの電圧維持手段 が接続される。
また、各ダイオードフルブリッジ 6と 7は出力側で直列接続される。つまり、ダイオード フルブリッジ 6と 7のノード n5同士は接続され、ダイオードフルブリッジ回路 6の出力側 端子 n4とダイオードフルブリッジ回路 7の出力側端子 n6とは陽極接地型 X線管 5のそ れぞれアノード 5aおよび力ソード 5bに接続される。
[0016] 陽極接地型 X線管 5は、電圧倍化手段 4からの直流出力電圧を入力して X線を放射 するもので、熱電子を発生する力ソード 5kと、この力ソード 5kからの熱電子が衝突する ことによって X線を発生するアノード 5aとを有してなり、このアノード 5aは接地されてい る。
ここで、上記日本国特許第 2814016号に記載され図 9に示したコッククロフト'ゥオル トン回路と本発明による電圧倍ィ匕装置の違 、を説明する。コッククロフト'ウォルトン回 路の場合、出力に並列接続されたコンデンサ 21には 1周期に一度しか充電されな!ヽ ため、 X線管電圧の脈動率、つまり目的管電圧からの変動幅、が大きい。 X線管電圧 の脈動率を減少させるためには、より頻繁なタイミングである半周期に 1回コンデンサ を充電する方法が望ましい。また、日本国特開 2002— 164197号公報に記載され図 8 に示されたような中性点接地型 X線管を用いたインバータ式高電圧発生装置では、 装置内の回路で発生する最大電圧が ±75kVであるために、使用するコンデンサの サイズが小さぐコストが低ぐひいては高電圧装置全体の絶縁設計の許容度が大き いという長所があった。そこで、上記 X線管電圧の脈動率を減少させながら、上記最 大電圧を低くするために、発明者は高電圧変圧器の出力の極性が切り替わる都度に コンデンサへの充電を行わせる回路を上述のとおり案出した。この回路構成を詳細 に検討して改良すベぐ発明者は下記のようなシミュレーションを行った。
[0017] シミュレーションに使用したソフトウェアは電気回路解析の行える一般的なもので、 通称 SPICEと呼ばれるソフトウェアである。シミュレーションを図 1を参照して説明する 。回路要素として、フルブリッジのインバータ 2 (20kHz,直流 700V)、高電圧変圧器 3 ( 卷数比が 100から 200)、陽極接地型 X線管 5 (100kVの 500mAとして 200k Ω程度)、お よびダイオードフルブリッジ回路 D1から D8と C3から C4 (4つのダイオードをブリッジ接 続して中央にはコンデンサを挿入したもの)を 2から 4段の範囲で複数並列接続した。 さらに倍電圧を生じさせるための電圧値維持コンデンサ CI, C2, C5および C6を適宜 追加した。以上のように条件設定して回路を構成し、シミュレーションを行った結果、 下記の効果が確認された。
[0018] (1)管電圧の脈動率は段数の多少にはあまり影響されず 2段あれば十分であること
(2)管電圧のダイオードフルブリッジ回路の上記段数に比例して電圧も倍ィ匕可能で あること。
(3)段数が多いほど管電圧の立ち上がり時間が増加してしまうこと。
(4)回路中、 X線管に接続される出力部近傍以外は、中性点接地型 X線管を用い たインバータ式発生装置と同様の低い電圧であるため容量やサイズを抑えた安価な コンデンサの使用が可能で、装置全体の絶縁設計も中性点接地のものが流用できる こと。
(5) 2段とすると,中性点接地方式で使用して 、るフルブリッジダイオードモジュール が適用可能であること。
以上の結果から、陽極接地型 X線管を用いたインバータ式 X線発生装置の構成と しては、 2段のダイオードフルブリッジ回路を備えたものがもっとも望ましいことが判明 した。
[0019] 本発明に係る X線発生装置の耐電設計上の利点につ!、て、具体的な例を挙げてさ らに詳述する。図 3aに記載する従来の中性点接地型 X線管用のインバータ式 X線発 生装置と同じ設計思想をもって陽極接地型 X線管用のインバータ式 X線発生装置を 設計しょうとすると、図 3bに示すような構成になる。つまり、図 3aの中性点接地では、 高電圧変圧器 3の二次卷線 3a, 3bにそれぞれ高電圧整流回路 4a, 4bの入力端子を 接続し、出力端子間を直列接続した高電圧整流回路 4a, 4b間で接地すると共に、高 電圧整流回路 4a, 4bの出力両端子間に X線管 5を接続して中性点接地型 X線発生装 置を構成していたのに対して、同図 3bに示す本発明の構成では二次卷線 3a, 3bの 接続部における接地を止め、二次卷線 3a, 3bの端子間に X線管 5を接続すると共に アノード 5a側を接地して陽極接地型 X線発生装置を構成してもよい。
[0020] 中性点接地型高電圧発生装置では、図 3aに示すように X線管 5に 150kVを印加する とき高電圧変圧器 3の二次卷線 3a, 3b間の電位差はそれぞれ ± 75kVである。しかし ながら、従来の陽極接地型 X線管用の X線発生装置では、高電圧変圧器 3の二次卷 線 3a, 3bの端子間には同図 bに示すように最大 150kVの電位差が生じることになる。 したがって、例えば、耐電圧の高いコンデンサ等の素子の使用の必要性や、高電圧 発生装置 12を収納する高電圧タンク等の内壁面との絶縁距離を大きくする等十分な 絶縁距離の確保の必要性が生じ、その結果高電圧変圧器 3自体の大型化は避けら れなくなる。
[0021] 本発明では、高電圧発生装置 12内の電圧倍化手段 4に対して、図 1に示したよう〖こ インバータ 2の周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサ CI, C2, C5, C6などの電圧維持手段と、平滑コンデンサ C3, C4などの平滑手段とを付カ卩した。こ のように構成されたダイオードフルブリッジ回路 6, 7は、二段の全波多倍昇圧回路と なっている。例えば、陽極接地型 X線管 5に 150kVを印加する場合、高電圧変圧器 3 の二次側端子間の最大電位差を 75kVであるが、その昇圧機能によって電圧倍ィ匕手 段 4の出力としては 2倍の 150kVとすることが可能である。また、ここで電圧倍化手段 4 におけるノード n4を接地すれば、このノード n4は陽極接地型 X線管 5のアノード 5a側と 同電位となる。つまり、電圧倍ィ匕手段 4で 150Vの電圧を整流する際に、その整流の基 準点をノード n4における中間電圧 75kVに置く。こうして、電圧変圧器 3の二次側端子 は、共にアースに対して最大管電圧の半分の電圧である最大 ± 75kVの範囲で動作 すること〖こなる。このため、高電圧発生装置 12において、アース電位に対する耐電圧 設計を ± 75kVとすれば足りる。以上のようにして、本発明に係わる陽極接地型 X線管 用 X線発生装置の耐電圧設計は、従来の中性点接地型のそれと同程度で済むこと になる。
[0022] 次に、本発明に係る X線発生装置の回路素子流用に関する利点について説明する 。図 8に示した従来の中性点接地型 X線装置では、高電圧変圧器 3の二次卷線 3aを ダイオードフルブリッジ回路モジュール 4aの入力側交流端子 6a, 7a間に接続し、二次 卷線 3bをダイオードフルブリッジ回路モジュール 4bの入力側交流端子 6b, 7b間に接 続し、ダイオードフルブリッジ回路モジュール 4aの出力側負端子 9aにダイオードフル ブリッジ回路モジュール 4bの出力側正端子 8bを接続して接地し、ダイオードフルブリ ッジ回路モジュール 4aの出力側正端子 8aとダイオードフルブリッジ回路モジュール 4b の出力側負端子 9b間に X線管 5を接続している。この構成をもとにして、各々 4個のダ ィオード力 成る全波整流回路をモジュール化したダイオードフルブリッジ回路モジ ユール 4a, 4bの接続を変更して、上記図 1に示した電圧倍化手段 4を構成することも できる。
[0023] つまり、 7aと 6bを結び、 6aにピーク電圧維持コンデンサを介在させる。さらに、 6aを D5と D6の交点まで伸長させ、そこにも別のピーク電圧維持コンデンサを介在させる。 さらに、 7bにピーク電圧維持コンデンサを介在させ、 7bを D3と D4の交点まで伸長させ 、そこにも別のピーク電圧維持コンデンサを介在させる。さらに、 9aと 8b間のアースを 外すことで、図 1と同じ陽極接地型 X線発生装置に変換することができる。この構成で X線管 5に 150kVを印加する場合、個々のダイオード D1— D8の耐圧は 75kVであるか ら、図 5に示した従来の中性点接地型 X線発生装置で用いていたものと同じダイォー ドフルブリッジ回路モジュール 4a, 4bを使用すると、個々のダイオード D1— D8の耐電 圧は 75kVであり、耐電圧的にそのまま使用することができることになる。 なお、このダイオードフルブリッジ回路モジュール 4a, 4bには、図 5のように管電圧を 検出するために管電圧検出用抵抗 11と共に用いる分圧器 10a, 10bを含んだ従来の 中性点接地型 X線発生装置の構成を用いても良 ヽ。
[0024] 以上のように、図 8に示されるような中性点接地方式で使用する回路素子の多くを そのまま本発明の素子として使用することが可能であり、新たな素子の手配などが不 要となる。また、電圧倍ィ匕手段部 4を構成するダイオードフルブリッジ回路モジュール 4a, 4bとしては、中性点接地型と陽極接地型との間で共用化可能となり、既存の製造 設備や部品手配の多くを変更することなぐ安価な X線発生装置を提供することが可 能となる。
また、本発明に係る全波多倍昇圧回路を使用したインバータ回路は、コッククロフト •ウォルトン回路のような半波整流の昇圧回路と比べても、コンデンサの容量が小さく 、かつ、管電圧のリップルを低減できる特徴を持っており、中性点接地型 X線発生装 置並みの小型化軽量化も可能である。
[0025] 実施例 2
図 6は、実施例 2によるインバータ式 X線発生装置を示す回路図である。実施例 1と の同等物には同一符号を付けて詳細な説明は省略する。本実施の形態によるインバ ータ式 X線発生装置では、図 1に示した高電圧変圧器 3の二次卷線 32kと電圧倍化手 段 4間に接続していたコンデンサ C5を省略し、その他のコンデンサ CI, C2, C6によつ てインバータ 2の周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持する電圧維持手段を構成し ている。これは、図 1に示した実施の形態と電気回路的には等価であり、コンデンサの 数をさらに減らすことで、装置全体のサイズとコストをさらに減らすことができる。このよ うな構成は、 X線発生装置の設置スペースに限定がある場合に特に効果を発揮する
[0026] 実施例 3
図 7は、実施例 3によるインバータ式 X線発生装置を示す回路図である。実施例 1と の同等物には同一符号を付けて詳細な説明を省略する。本実施例によるインバータ 式 X線発生装置では、図 1に示した高電圧変圧器 3の二次卷線 32a, 32kと電圧倍ィ匕 手段 4間にそれぞれ接続していたコンデンサ CI, C5を省略して直接接続し、代わりに 高電圧変圧器 3の一次側にコンデンサ C1を接続して、インバータ 2の周期よりも長い 期間電圧ピーク値を維持する電圧維持手段を構成している。これは、図 1に示した実 施の形態と電気回路的には等価である。この実施例では、ピーク電圧値維持用のコ ンデンサを高電圧変圧器の一次側に設置可能として、 X線発生装置の設計の自由 度を向上させることができる。
実施例 4
実施例 1から 3では、陽極接地型 X線管用の X線発生装置について説明してきたが 、本発明にかかわる電圧倍ィ匕装置は他の技術分野にも応用可能である。例えば、高 電圧が要求される電子顕微鏡に使用可能である。小型軽量で安価な装置にもかか わらず、電源の何倍もの電圧を電圧変動を少なく安定して発生可能である。

Claims

請求の範囲
[1] 高周波の交流を出力する高周波出力手段と、この高周波出力手段の出力側に接 続されて上記高周波出力手段の出力を昇圧する高電圧変圧手段と、この高電圧変 圧手段の高電圧出力を倍化する電圧倍化手段と、この電圧倍化手段にて発生した 直流高電圧が印加される陽極接地型 X線管と、を備えた X線発生装置において、 前記電圧倍化手段には、高周波整流回路が含まれることを特徴とする X線発生装置
[2] 前記電圧倍ィ匕手段には、前記高周波整流回路のノード間電圧のピーク値を上記 高周波出力手段の周期より長く維持する電圧維持手段を含むことを特徴とする請求 項 1に記載の X線発生装置。
[3] 前記高周波整流回路は少なくとも 2つのダイオードフルブリッジを接続して構成され たことを特徴とする請求項 1または 2に記載の X線発生装置。
[4] 前記電圧維持手段は、少なくとも前記高周波整流回路内に接続されることを特徴と する請求項 1から 3のいずれかに記載の X線発生装置。
[5] さらに平滑化手段を前記電圧倍化手段内に備えた請求項 1から 4のいずれかに記 載の X線発生装置。
[6] 前記高周波整流回路は、少なくとも 2つのダイオードフルブリッジの入力端子同士を 極毎に並列に接続して構成され、前記電圧維持手段は第 1の電圧維持手段と第 2の 電圧維持手段からなり、前記第 1の電圧維持手段は前記並列接続配線間にそれぞ れ揷入され、前記平滑化手段は前記少なくとも 2つのダイオードフルブリッジの 2極の 出力端子間に接続され、前記第 2の電圧維持手段は前記高周波出力手段と前記高 周波整流回路の間に接続されたことを特徴とする請求項 5に記載の X線発生装置。
[7] 前記第 2の電圧維持手段は、前記高電圧変圧手段の出力側と前記高周波整流回 路の入力側の間の配線の少なくとも一方に挿入されることを特徴とする請求項 6に記 載の X線発生装置。
[8] 前記第 2の電圧維持手段は、前記高電圧変圧手段の入力側に 1つ挿入されること を特徴とする請求項 6に記載の X線発生装置。
[9] さらに管電圧検出手段を前記電圧倍ィ匕手段の出力側に接続したことを特徴とする 請求項 1から 8の 、ずれかに記載の X線発生装置。
[10] 前記高周波出力手段は直流電源とインバータ回路力 なることを特徴とする請求項 1から 9のいずれかひとつに記載の X線発生装置。
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