WO2004023126A1 - Procede de montage et procede de fabrication de microdetecteur au silicium, et microdetecteur au silicium y relatif - Google Patents

Procede de montage et procede de fabrication de microdetecteur au silicium, et microdetecteur au silicium y relatif Download PDF

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silicon
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Shunsuke Maeda
Shogo Hamatani
Yoshihiko Kohmura
Takio Kojima
Takafumi Ooshima
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Ngk Spark Plug Co., Ltd.
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Abstract

L'invention concerne un procédé de montage de microdétecteur au silicium, en mesure de présenter les caractéristiques de base du microdétecteur au silicium par contrôle de la position entre un élément détecteur et un boîtier, pour un rapport de position spécifié, après que le détecteur ait adhéré au boîtier, procédé caractérisé en ce qu'on fait adhérer la surface arrière (50b) de l'élément détecteur (50) sur la surface du fond (41B) de la partie évidée d'adhésion (41) d'un détecteur de gaz (10), au moyen d'un élément adhésif se présentant sous forme de feuille (48), en ce que l'élément adhésif (48) présente une épaisseur (d1) telle que la surface (50A) de l'élément détecteur (50) soit, de façon générale, de niveau avec la surface de montage (40A) du boîtier (40) de l'élément, lorsque l'élément détecteur (50) adhère complètement avec la partie évidée d'adhésion (41).
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