WO2004019662A1 - Gasentladungslampe - Google Patents

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WO2004019662A1
WO2004019662A1 PCT/IB2003/003657 IB0303657W WO2004019662A1 WO 2004019662 A1 WO2004019662 A1 WO 2004019662A1 IB 0303657 W IB0303657 W IB 0303657W WO 2004019662 A1 WO2004019662 A1 WO 2004019662A1
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WO
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opening
gas discharge
discharge lamp
electrodes
cathode
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PCT/IB2003/003657
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English (en)
French (fr)
Inventor
Dominik Vaudrevange
Klaus Bergmann
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Koninklijke Philips Electronics N.V.
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    • H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
    • H01J61/0735—Main electrodes for high-pressure discharge lamps characterised by the material of the electrode

Definitions

  • the invention relates to a gas discharge lamp for generating extreme ultraviolet and / or soft X-rays according to the preamble of claim 1.
  • Preferred areas of application are those which require extreme ultraviolet (EUV) radiation or soft X-rays in the wavelength range from approximately 1-20 nm, especially around 13 nm, such as EUV lithography or X-ray microscopy.
  • EUV extreme ultraviolet
  • the gas discharge lamp typically consists of an electrode system with anode and cathode, which is connected to one
  • a pulsed current with currents in the single-digit kiloampere range up to max. 100 kA and pulse durations in the range from 10 ns to a few 100 ns a so-called pinch plasma, which is caused by ohmic heating and
  • Compression is brought by the pulse current to temperatures of some 10 eV and densities at which it emits characteristic radiation of the working gas used in the spectral range of interest.
  • Suitable means for the preionization of a gas are required for this, for example a surface sliding spark trigger, a high dielectric trigger, a ferroelectric trigger or a glow discharge trigger.
  • the electrode system consists of anode 1 and cathode 2 with each Opposing openings 3 and 4 and an electrical insulator 5 located between them.
  • a plasma channel 8 is present in the discharge space 6 on the axis of symmetry 7 shown in broken lines.
  • the plasma emits the radiation, which is indicated by the arrows.
  • the cathode 2 also has a cavity 9 in which charge carriers, in particular electrons, are generated by suitable means for preionization.
  • an operation can also be provided in which the starting electrons are created in the self-breakthrough.
  • the self-breakthrough can be controlled by a trigger electrode in room 9, whereby the radiation pulses can be triggered precisely in time.
  • the gas is first ionized along the field lines in the borehole area.
  • This phase creates the conditions for the formation of a plasma in the hollow cathode, which is why it is referred to as a hollow cathode plasma.
  • This plasma then leads to a low-resistance channel in the gap between the electrodes.
  • a pulsed current which is generated by the discharge of electrically stored energy in a capacitor bank 10, is sent via this channel. The current leads to the compression and heating of the plasma, so that conditions for the efficient emission of characteristic radiation of the discharge gas used in the EUV range are achieved.
  • Gas discharge lamps operating according to this functional principle are described, for example, in WO 99/29145 AI and WO 01/01736 AI.
  • the last-mentioned publication also provides various measures to increase the efficiency in converting the electrical energy fed into radiation energy, including the choice of a non-continuous opening of the conical cut in the anode. This geometric configuration of the anode recess is intended to increase the radiation yield.
  • WO 02/07484 A2 discloses a gas discharge lamp in which a pinch plasma is created on an axis of symmetry, which emits the radiation in the relevant spectral range.
  • the document teaches to carry out a pre-ionization in an outer area by means of a pulsed sliding discharge, the charge carriers that are created being intended to reach the discharge area via an axial aperture in one of the electrodes. It is provided here that the pre-ionization area does not communicate optically with the axis of the pinch plasma channel.
  • the invention is based on the technical problem of a gas discharge lamp with an EUV and / or soft
  • the above-mentioned technical problem is solved by providing a gas discharge lamp in which the continuous electrode opening tapers towards the outside.
  • the diameter of the electrode opening on the side facing the discharge space should be larger than on the side facing away from the discharge space.
  • the exterior area is to be understood as the area in which charge carriers can be generated which can be transported into the discharge space via the continuous opening.
  • the invention is based on the knowledge that an increase in the stability in the radiation emission, ie an improved consistency in the emission from pulse to pulse, is achieved in that the processes in the gas discharge space and in the outer area are largely decoupled.
  • the pre-ionization processes in the outside area with the generation of charge carriers influence the discharge process in the intermediate space and lead to a destabilization of the radiation emission.
  • the disadvantage of a discharge build-up in the discharge space between the anode and cathode before the desired holding voltage is reached that is to say the so-called self-breakdown, can be reduced by transferring fewer charge carriers from the outer region, for example from the hollow cathode, into the interelectrode space.
  • the through opening in the electrode serves this purpose, be it the anode or the cathode, which tapers in the direction of the outer region.
  • the improved dielectric strength of the electrode system in this way also allows an increase in the maximum repetition frequency or the maximum repetition rate.
  • the gas discharge lamp according to the invention can either be used in self-breakthrough operation or, alternatively, additional means for pre-ionization can be provided. With such an ignition device it can be achieved that the radiation pulses are triggered precisely in time if the application requires it.
  • the tapered cathode opening can have different geometries. This is shown in the preferred exemplary embodiments shown in FIGS. 2 to 7, which represent an enlargement of the dashed area shown in FIG. 1. The area shown enlarged is rotated counterclockwise by 90 ° in FIGS. 2 to 7 compared to FIG. 1.
  • Electrode opening advantages in the erosion of the electrode surface When a pinch plasma is generated, pulse energies of typically a few joules to several 10 J are converted. A significant proportion of this energy is concentrated in the pinch plasma, which leads to thermal stress on the electrodes. The thermal load arises from the emission of radiation and hot particles such as ions. To illustrate this fact, it should be noted that the distance of the anode from the cathode is typically only a few Is millimeters, and the diameter of the electrode opening on the discharge side is typically between 8 mm and 20 mm.
  • the cathode is preferably designed as a hollow cathode and has the continuous, tapering opening.
  • the hollow space of the hollow cathode is connected to the discharge space in a gas-supplying manner. This enables the ignition of a hollow cathode plasma.
  • Typical diameters for the opening of the two electrodes are in the range of a few millimeters to a few 10 millimeters. If, on the other hand, larger openings were selected, it would increasingly be impossible to generate pinch plasma which emits in the desired spectral range of the EUV and / or soft X-ray radiation, because the plasma temperature that can be achieved becomes smaller as the diameter increases.
  • the anode opening should also be chosen to be as large as possible so that the radiation coupled out of the anode opening is optically accessible as well as possible from large observation angles to the pinch plasma.
  • the cathode is made of a different material in the opening area than in the other areas of the cathode.
  • the opening area can be made of a low-erosion material such as tungsten, molybdenum or other low-erosion alloys in order to achieve less erosion or erosion.
  • the remaining areas of the cathode can then consist of a material with good thermal conductivity, such as copper.
  • the anode opening has a smaller diameter than the cathode opening.
  • this causes longer electric field lines because these field lines now extend into the opening, for example up to the step in the cathode opening according to FIG. 4.
  • This allows the gas pressure in the Discharge space, which in turn enables an increase in the repetition frequency of the gas discharge lamp.
  • the increase in the repetition frequency leads to a higher degree of radiation energy that can be coupled out.
  • the use of a tapered cathode opening allows the gas discharge lamp to be operated more easily.
  • the person skilled in the art has to select a total of two diameters, namely the diameter of the cathode opening on the side facing the discharge space and additionally the diameter on the side of the cathode opening facing the outer space.
  • the specialist gains another when operating the system
  • the opposite may be required in other experimental situations, i.e. it may be necessary to reduce the operating pressure.
  • the maximum achievable repetition rate typically scales with the time with which the charge carriers of the plasma recombine.
  • increasing the cathode diameter allows the selection of a lower operating pressure, and this enables a higher repetition rate.
  • an easier adjustment of the operating parameters will be possible.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Gasentladungslampe für den Wellenlängenbereich extremer Ultraviolettstrahlung und/oder weicher Röntgenstrahlung, mit mindestens zwei Elektroden zur Bereitstellung eines strahlungsemittierenden Plasmas im dazwischen befindlichen Entladungsraum, bei der eine der Elektroden eine durchgehende Öffnung zu einem angrenzenden Außenbereich aufweist, wobei im Außenbereich Ladungsträger erzeugbar sind welche über die Öffnung in den Entladungsraum transportierbar sind, und die dadurch gekennzeichnet ist, dass sich die Elektrodenöffnung in Richtung des Außenbereichs verjüngt.

Description

Gasentladun gsl ampe
Die Erfindung betrifft eine Gasentladungslampe zur Erzeugung extremer Ultraviolett- und/oder weicher Röntgenstrahlung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Bevorzugte Anwendungsgebiete sind solche, die extreme Ultraviolett- (EUV-) Strahlung oder weiche Röntgenstrahlung im Wellenlängenbereich von ca. 1-20 nm benötigen, insbesondere um 13 nm, wie zum Beispiel die EUV-Lithographie oder die Röntgenmikroskopie.
Es ist allgemein bekannt, ein dichtes heißes Plasma als Strahlungsemittierendes Medium zur Erzeugung von EUV- und/oder weicher Röntgenstrahlung einzusetzen. Die Gasentladungslampe besteht dabei typischerweise aus einem Elektrodensystem mit Anode und Kathode, welches an einen
Strompulsgenerator angeschlossen ist. Der zwischen den Elektroden befindliche Entladungsraum ist gasgefüllt bei Drücken im Bereich von ca. 1 Pa bis 100 Pa. Im Entladungsraum entsteht durch einen gepulsten Strom mit Stromstärken im einstelligen Kiloamperebereich bis max. 100 kA und Pulsdauern im Bereich von 10 ns bis einigen 100 ns ein sogenanntes Pinchplasma, welches durch ohmsche Heizung und
Kompression durch den Pulsstrom auf Temperaturen von einigen 10 eV und Dichten gebracht wird, bei denen es charakteristische Strahlung des verwendeten Arbeitsgases im interessierenden Spektralbereich emittiert.
Um das Strahlungsemittierende Plasma bereitzustellen ist es erforderlich, Ladungsträger in den Entladungsraum zwischen Anode und Kathode einzubringen oder aber dort zu erzeugen. Hierzu sind geeignete Mittel zur Vorionisierung eines Gases erforderlich, so zum Beispiel ein Oberflächengleitfunkentrigger, ein hochdielektrischer Trigger ein ferroelektrischer Trigger oder ein Glimmentladungstrigger.
Weiterhin ist bekannt, Ladungsträger über ein Hohlkathodenplasma bereitzustellen, was anhand von Fig. 1 schematisch dargestellt ist. Das Elektrodensystem besteht hier aus Anode 1 und Kathode 2 mit jeweils gegenüberliegenden Öffnungen 3 bzw. 4 und einem dazwischen befindlichen elektrischen Isolator 5. Im Entladungsraum 6 liegt auf der gestrichtelt dargestellten Symmetrieachse 7 ein Plasmakanal 8 vor. Das Plasma emittiert die Strahlung, was durch die Pfeile angedeutet wird. Die Kathode 2 weist ferner einen Hohlraum 9 auf, in dem Ladungsträger wie insbesondere Elektronen durch geeignete Mittel zur Vorionisierung erzeugt werden.
Alternativ zur aktiven Bereitstellung von Startelektronen durch Mittel zur Vorionisierung kann auch ein Betrieb vorgesehen sein, bei dem die Startelektronen im Selbstdurchbruch entstehen. Der Selbstdurchbruch kann hierbei durch eine Trigger- lektrode im Raum 9 gesteuert werden, wodurch die Strahlungspulse zeitlich präzise ausgelöst werden können. Hierbei liegt im Entladungsraum 6 ein Gasdruck von ca. 1 Pa bis 100 Pa vor. Gasdruck und Geometrie der Elektroden sind so gewählt, dass die Zündung des Plasmas auf dem linken Ast der Paschenkurve erfolgt. Die Zündung erfolgt danach im Bereich der langen elektrischen Feldlinien, die im Bereich der Bohrlöcher 3 bzw. 4 auftreten. Zur Bereitstellung des strahlungsemittierenden Plasmas erfolgt zunächst eine Ionisierung des Gases entlang der Feldlinien im Bohrlochbereich. Diese Phase schafft die Bedingungen zur Ausbildung eines Plasmas in der Hohlkathode, weshalb von einem Hohlkathodenplasma gesprochen wird. Dieses Plasma fuhrt dann zu einem niederohmigen Kanal im Elektrodenzwischenraum. Über diesen Kanal wird ein gepulster Strom geschickt, der durch die Entladung elektrisch gespeicherter Energie in einer Kondensatorbank 10 generiert wird. Der Strom führt zur Kompression und Aufheizung des Plasmas, so dass Bedingungen für die effiziente Emission charakteristischer Strahlung des genutzten Entladegases im EUV-Bereich erreicht werden.
Nach diesem Funktionsprinzip arbeitende Gasentladungslampen werden zum Beispiel in der WO 99/29145 AI und der WO 01/01736 AI beschrieben. Die letztgenannte Druckschrift sieht zudem diverse Maßnahmen vor, um die Effizienz bei der Umwandlung der eingespeisten elektrischen Energie in Strahlungsenergie zu erhöhen, dazu gehört auch die Wahl einer nicht durchgehenden Öffnung konischen Zuschnitts in der Anode. Durch diese geometrische Ausgestaltung der Anodenvertiefung soll die Strahlungsausbeute erhöht werden. Die WO 02/07484 A2 offenbart eine Gasentladungslampe, bei der auf einer Symmetrieachse ein Pinchplasma geschaffen wird, welches die Strahlung im relevanten Spektralbereich emittiert. Die Druckschrift lehrt, in einem Außenbereich mittels einer gepulsten Gleitentladung eine Vorionisierung vorzunehmen, wobei die entstandenen Ladungsträger über eine axiale Apertur in einer der Elektroden in den Entladungsbereich gelangen sollen. Hierbei ist vorgesehen, dass der Vorionisierungsbereich nicht mit der Achse des Pinchplasmakanals optisch kommuniziert.
Der Erfindung liegt das technische Problem zugrunde eine Gasentladungslampe mit einem im EUV- und/oder weichen
Röntgenwellenlängenbereich emittierenden Plasma bereitzustellen, die eine verbesserte Stabilität der Strahlungsemission aufweist. Die Lösung dieses technischen Problems erfolgt durch die Merkmale des unabhängigen Anspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbildungen werden durch die abhängigen Ansprüche angegeben.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass das oben genannte technische Problem durch die Bereitstellung einer Gasentladungslampe gelöst wird, bei der sich die durchgehende Elektrodenöffnung in Richtung des Außenbereichs verjüngt. Mit anderen Worten soll der Durchmesser der Elektrodenöffnung auf der dem Entladungsraum zugewandten Seite größer sein als auf der dem Entladungsraum abgewandten Seite.
Als Außenbereich ist derjenige Raumbereich zu verstehen, in welchem Ladungsträger erzeugbar sind, welche über die durchgehende Öffnung in den Entladungsraum transportierbar sind.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass eine Steigerung der Stabilität bei der Strahlungsemission, d. h. eine verbesserte Konstanz bei der Emission von Puls zu Puls, dadurch erreicht wird, dass die Vorgänge im Gasentladungsraum und im Außenbereich weitestgehend entkoppelt werden. Die Vorionisierungsvorgänge im Außenbereich mit der Erzeugung von Ladungsträgern beeinflussen nämlich den Entladungsvorgang im Zwischenraum und führen zu einer DeStabilisierung der Strahlungsemission. Es wurde gefunden, dass der Nachteil eines Entladungsaufbaus im Entladungsraum zwischen Anode und Kathode vor Erreichen der angestrebten Haltespannung, d. h. der so genannte Selbstdurchbruch, dadurch gemindert werden kann, dass weniger Ladungsträger vom Außenbereich, zum Beispiel von der Hohlkathode, in den Elektrodenzwischenraum übertragen werden. Hierzu dient die durchgehende Öffnung in der Elektrode, sei es die Anode oder die Kathode, die sich in Richtung des Außenbereichs verjüngt.
Die auf diese Weise verbesserte Spannungsfestigkeit des Elektrodensystems erlaubt ferner eine Erhöhung der maximalen Wiederholfrequenz bzw. der maximalen Wiederholrate.
Die erfindungsgemäßen Gasentladungslampe kann entweder im Selbstdurchbruchbetrieb genutzt werden, oder es können alternativ zusätzliche Mittel zur Vorionisierung vorgesehen sein. Durch eine derartige Zündvorrichtung kann erreicht werden, dass die Strahlungsimpulse zeitlich präzise ausgelöst werden, falls es die Anwendung erfordert.
Die sich verjüngende Kathodenöffnung kann geometrisch unterschiedlich beschaffen sein. Dies wird in den in den dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispielen Fig. 2 bis 7 gezeigt , die eine Vergrößerung des in Fig. 1 dargestellten gestrichelten Bereichs wiedergeben. Der vergrößert dargestellte Bereich ist in den Fig. 2 bis 7 gegenüber Fig. 1 um 90° im Gegenuhrzeigersinn gedreht.
Möglich sind kontinuierliche oder stufenförmige Übergänge in der Öffnung gemäß Fig. 2 und 4 bis 7, und auch die Bereitstellung einer Öffnung mit einer Einschnürung, vgl. Fig. 3, d. h. einer Verkleinerung des Durchmessers, welcher eine Vergrößerung des Durchmessers folgt. Weiterhin zeigt eine sich in Richtung des Außenbereichs verjüngende
Elektrodenöffnung Vorteile bei der Erosion der Elektrodenoberfläche. Bei der Erzeugung eines Pinchplasmas werden nämlich Pulsenergien von typischerweise einigen Joule bis mehreren 10 J umgesetzt. Ein wesentlicher Anteil dieser Energie wird im Pinchplasma konzentriert, was zu einer thermischen Belastung der Elektroden führt. Die thermische Belastung entsteht hierbei durch die Emission von Strahlung und von heißen Teilchen, wie zum Beispiel Ionen. Zur Veranschaulichung dieses Sachverhalts sei angemerkt, dass der Abstand der Anode von der Kathode typischerweise nur einige Millimeter beträgt, und der Durchmesser der Elektrodenöffnung auf der Entladungsseite typischerweise zwischen 8 mm und 20 mm.
Vorzugsweise ist die Kathode als Hohlkathode ausgeführt und weist die durchgehende, sich verjüngende Öffnung auf In diesem Fall ist der Hohlraum der Hohlkathode mit dem Entladungsraum gaszuleitend verbunden. Dies ermöglicht die Zündung eines Hohlkathodenplasmas.
Zur Minderung der thermischen Belastung wäre ein möglichst großer Abstand der Elektrodenoberfläche zum Pinchplasma vorteilhaft. Typische Durchmesser für die Öffnung der beiden Elektroden liegen im Bereich einiger Millimeter bis zu einigen 10 Millimetern. Würden demgegenüber größere Öffnungen gewählt, so könnte zunehmend kein Pinchplasma mehr erzeugt werden, welches im angestrebten Spektralbereich der EUV- und/oder weichen Röntgenstrahlung emittiert, denn mit zunehmender Vergrößerung des Durchmessers wird die erreichbare Plasmatemperatur kleiner. Die Anodenöffnung sollte zudem auch deshalb möglichst groß gewählt werden, damit die aus der Anodenöffnung ausgekoppelte Strahlung auch aus großen Beobachtungswinkeln zum Pinchplasma optisch möglichst gut zugänglich ist.
Es hat sich experimentell als zweckmäßig erwiesen, den Durchmesser der Kathodenöffnung so zu wählen, dass er sich bis zum Außenbereich um etwa ein Faktor 2 verjüngt. Es kann ferner vorgesehen sein, dass die Kathode im Öffnungsbereich aus einem anderen Material gefertigt ist als in den anderen Bereichen der Kathode. So kann der Öffnungsbereich zum Beispiel aus einem niedererosiven Material wie Wolfram, Molybdän oder anderen niedererosiven Legierungen bestehen, um dadurch einen geringeren Abbrand bzw. eine geringe Erosion zu realisieren. Die restlichen Bereiche der Kathode können dann aus gut wärmeleitfähigem Material wie beispielsweise Kupfer bestehen.
In einem weiteren Aspekt der Erfindung ist vorgesehen, dass auf der dem Entladungsraum zugewandten Seite die Anodenöffnung einen kleineren Durchmesser aufweist als die Kathodenöffnung. Bei einer auf dem linken Ast der Paschenkurve betriebenen Gasentladung bedingt dies nämlich längere elektrische Feldlinien dadurch, dass diese Feldlinien nun in die Öffnung hineinreichen, zum Beispiel bis zur Stufe in der Kathodenöffnung gemäß Fig. 4. Dies erlaubt eine Senkung des Gasdrucks im Entladungsraum, was wiederum eine Steigerung der Wiederholfrequenz der Gasentladungslampe ermöglicht. Die Steigerung der Wiederholfrequenz führt zu einem höheren Maß an auskoppelbarer Strahlungsenergie.
In einem weiteren Aspekt der Erfindung erlaubt der Einsatz einer sich verjüngenden Kathodenöffnung eine einfachere Betriebsweise der Gasentladungslampe. Bei einer sich verjüngenden Kathodenöffnung hat der Fachmann insgesamt zwei Durchmesser auszuwählen, nämlich den Durchmesser der Kathodenöffnung auf der dem Entladungsraum zugewandten Seite, und zusätzlich den Durchmesser auf der dem Außenraum zugewandten Seite der Kathodenöffnung. Je nach Wahl der beiden Durchmesser gewinnt der Fachmann beim Betrieb der Anlage einen weiteren
Freiheitsgrad, durch den es ihm leichter fällt, geeignete Betriebsparameter zu wählen. Je nach den Erfordernissen der jeweiligen Applikation kann es nämlich durchaus vorkommen, dass ein höherer Betriebsdruck erforderlich ist. Bei einer Kathodenöffnung, welche sich vom Entladungsraum beginnend in Richtung des Außenraumes verkleinert, kommt es in vielen Fällen zu einem höheren Betriebsdruck, so dass der Fachmann in diesem Fall die Maximierung der EUV-Ausbeute bei vorgegebener Pulsenergie besser vornehmen kann.
Bei anderen experimentellen Situationen kann jedoch genau das Gegenteil erforderlich sein, d.h. es kann erforderlich sein den Betriebsdruck zu senken. Zur Erläuterung sei angeführt, dass die maximal erreichbare Wiederholrate typischerweise mit der Zeit skaliert, mit der die Ladungsträger des Plasmas rekombinieren. In Experimenten hat sich gezeigt, dass die Vergrößerung des Kathodendurchmessers die Wahl eines niederigeren Betriebsdrucks erlaubt, und dies ermöglicht eine höhere Wiederholrate. Insgesamt wird somit je nach anwendungsspezifischen Erfordernissen eine leichtere Einstellung der Betriebsparameter möglich sein.

Claims

CLAIMS:
1. Gasentladungslampe für den Wellenlängenbereich extremer Ultraviolettstrahlung und/oder weicher Röntgenstrahlung, mit mindestens zwei Elektroden (1, 2) zur Erzeugung eines strahlungsemittierenden Plasmas (8) im dazwischen befindlichen Entladungsraum (6), bei der eine der Elektroden (1, 2) eine durchgehende Öffnung (4) zu einem angrenzenden Außenbereich (9) aufweist, wobei im Außenbereich (9) Ladungsträger erzeugbar sind welche über die Öffnung (4) in den Entladungsraum (6) transportierbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Elektrodenöffnung (4) in Richtung des Außenbereichs (9) verjüngt.
2. Gasentladungslampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Vorionisierung von Gas im Außenbereich (9) vorgesehen sind.
3. Gasentladungslampe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden im Öffnungsbereich aus einem Material gefertigt ist, das im Vergleich zum restlichen Elektrodenmaterial niedererosiver ist.
4. Gasentladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Elektrodenöffnung mit kontinuierlichem oder stufenförmigem Übergang vorgesehen ist.
5. Gasentladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb der Elektrodenöffnung eine Einschnürung vorliegt.
6. Gasentladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kathode mit der sich verjüngenden durchgehenden Öffnung ausgestattet ist.
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