WO2002076673A1

WO2002076673A1 - Support de pieces a usiner

Info

Publication number: WO2002076673A1
Application number: PCT/JP2002/001328
Authority: WO
Inventors: Takayuki Kawakami
Original assignee: Pascal Engineering Corporation
Priority date: 2001-03-22
Filing date: 2002-02-15
Publication date: 2002-10-03
Also published as: JP2002283161A; US6886822B2; US20040130086A1; DE60221814D1; EP1378318A1; EP1378318B1; DE60221814T2; EP1378318A4

Description

ワークサポート技術分野

本発明は、スリーブ体を油圧により縮径側へ弹性変形させてロッドをロックする形式のワークサポートに関し、特に、ロッドとワークを確実に当接させた後、ロッドをロック可能に構成したものに関する。

明田

背景技術

従来、ワークをワークパレット等に固定して機械加工に供する際に、ワークの弾性変形やビビリ振動により加工精度が低下するのを防止するため、ワークを機械加工側と反対側から受け止める種々の構造のワークサポートが実用に供されている。本願出願人はこれらのワークサポートとして、油圧によりロッドを確実にロック可能なワークサポートを実用化している。

即ち、このワークサポートは、ロッドと、このロッドに外嵌され且つ縮径側へ弹性変形可能なスリーブ体と、このスリーブ体を支持するケース部材と、スリ一ブ体の外周側に形成された外周側油圧室とを備え、スプリング部材と協働して口ッドを進退移動させる油圧シリンダも設けられている。

このワークサポートによりワークをサポートするには、まず、 1又は複数のヮ一クサポートの上方からワークをセットし、ワークの外周部を別の固定具とクランプ装置とで固定した状態にする。次に、油圧供給源から油圧シリンダへ油圧を供給してピストン部材を上方へ進出駆動し、ピストン部材の進出移動に伴いスプリング部材の付勢力で口ッドが上方へ進出移動し、口ッドの先端がワークに弱い力で軽く当接する。それと並行して、油圧シリンダの油室から油路を介して外周側油圧室に油圧が供給され、この油圧によりスリーブ体が縮径側へ弾性変形してロッドを強固にロックし、このロッドによりワークが支持され、機械加工中におけるワークの弹性変形やビビリ振動が生じなくなる。前記のワークサポートでは、ロッドがワークに当接した状態でロッドをロックするために、ロッドの進出移動時にはロッドがロックされないように油室に低圧の油圧を供給する。ロッドがワークに当接した後に油室に高圧の油圧を供給してロッドをロックするために、ロッドとワークの当接を検知する必要がある。このため、ロッドの先端に加圧エアを噴出するノズルを設け、ホースやチューブ等をロッドの上端部側面に接続してノズルに加圧エアを供給し、ロッドの先端がヮ一クに当接したときにはノズルがワークにより閉止されて、加圧エアの圧力上昇を圧力センサ一等で検知することで当接状態を検知する。

しかし、前記のワークサポートにおいては、ロッドの先端によりワークに弾性変形を生じさせないように、弱い力でロッドの先端をワークに当接させているが、ヮ一クサポート側面に接続された加圧エア用のホースやチューブ等の自重により、ロッドのスプリング部材による進出移動の抵抗になる。従って、ロッドの先端の位置が安定せず、加圧エアの圧力によりロッドとワークの当接状態を一旦確認してからロッドをロックしたとしても、ロック後にロッドがワークに当接していない状況も起こりうる。また、このホース等に切粉等がたまることでその抵抗力は大きくなり、ロッドの重量バランスも悪くなるため、ロッドの進出動作が安定しない。

本発明の目的は、ノズルに接続して加圧エアを供給するエア通路をヮ一クサポ一トの内部に設けることによりロッドを安定してワークに当接させることが可能で且つその当接状態を検知可能なワークサポートを提供することである。発明の開示

本発明のワークサポートは、出力部材としてのロッドと、このロッドに外嵌され且つ縮径側へ弹性変形可能なスリーブ体と、このスリ一ブ体を支持するケース部材とを備えたワークサポートであって、前記ロッドの先端に設けられ加圧エアを噴出する検知用ノズルと、前記ケース部材と前記ロッドの内部に形成され前記検知用ノズルに接続されたエア通路と、前記エア通路の圧力を介して前記ロッドの先端とワークの当接を検知可能な当接検知手段とを有することを特徴とするものである。

このワークサポ一トでワークをサボ一トするときには、まずエア通路を外部のエア供給源と接続し、エア通路に加圧エアを供給して、ロッドの先端の検知用ノズルから加圧エアを噴出させておく。次に、ロッドを進出させロッドの先端をヮークに弾性変形を生じさせない程度に当接させる。ロッドの先端がワークに当接した状態では、検知用ノズルから加圧エアが噴出するのが妨げられるため、エア通路内の加圧エアの圧力が上昇し、当接検知手段によりエア通路の圧力を介してロッドの先端とワークの当接状態を検知する。当接状態を検知した後にスリーブ体を縮径側へ弾性変形させてロッドをロックする。

加圧エアを検知用ノズルに供給するエア通路はケース部材とロッドの内部に形成されているため、ワークサポートに加圧エア供給用のチューブ等を接続する必要がなく、ロッドを安定した状態でワークに当接させることができ、ロッドの先端がワークから離隔した状態でロッドがロックされることがない。また、ロッドの先端とワークとの当接を当接検知手段で検知した後にロッドをロックするので、ロッドの先端がワークに確実に当接した状態でロッドをロックすることができる。

また、本発明のワークサポートは、出力部材としてのロッドと、このロッドを進出側へ弾性付勢するスプリング部材と、ロッドに外嵌され且つ縮径側へ弾性変形可能なスリーブ体と、このスリーブ体を支持するケース部材と、スリーブ体の外周側に形成された外周側油圧室とを備えたワークサポートであって、ピストン部材とこのピストン部材を進出駆動する受圧室を有しピストン部材と前記スプリング部材を介して前記ロッドを進出側へ駆動する流体圧シリンダと、前記ロッドの先端に設けられ加圧エアを噴出する検知用ノズルと、前記ケース部材と前記口ッドの内部に形成され前記検知用ノズルに接続されたエア通路と、前記エア通路の圧力を介して前記ロッドの先端とワークの当接を検知可能な当接検知手段とを有することを特徴とするものである。

このワークサポートでワークをサポートするときには、まずエア通路を外部のエア供給源と接続し、エア通路に加圧エアを供給して、ロッドの先端の検知用ノズルから加圧エアを噴出させておく。次に、流体圧シリンダの受圧室に作動流体を供給してピストン部材を進出駆動し、ピストン部材によりスプリング部材が圧縮され、スプリング部材の比較的弱い力でロッドを進出側へ弾性付勢する。このためロッドの先端はワークに弾性変形を生じさせない程度に当接する。

ロッドの先端がワークに当接した状態では、検知用ノズルから加圧エアが噴出するのが妨げられるため、エア通路内の加圧エアの圧力が上昇し、当接検知手段によりエア通路の圧力を介してロッドの先端とワークの当接状態を検知する。当接状態を検知したら、外周側油圧室に高圧の油圧を供給するか、若しくは充填された油圧を加圧するための高圧の作動流体をワークサポートに供給し、外周側油圧室の油圧によりスリーブ体を縮径側へ弾性変形させてロッドをロックする。加圧エアを検知用ノズルに供給するエア通路はケ一ス部材とロッドの内部に形成されているため、ヮ一クサポートに加圧エア供給用のチューブ等を接続する必要がなく、ロッドを安定した状態でワークに当接させることができ、ロッドの先端がワークから離隔した状態でロッドがロックされることがない。また、ロッドの先端とワークとの当接を当接検知手段で検知した後にロッドをロックするので、ロッドの先端がワークに確実に当接した状態でロッドをロックすることができる。さらに、ロッドはスプリング部材により比較的弱い力で弾性付勢されているので、ワークに当接したときにワークに弹性変形をを生じさせることがない。ここで、前記検知用ノズルから加圧エアを噴出させた状態で前記ロッドを進出させ、前記当接検知手段によりロッドの先端がワークに当接したことを検知した後、前記スリーブ体を縮径側へ弾性変形させるように構成してもよい。このヮークサポートでワークをサポートするときには、まずエア通路を外部のエア供給源と接続し、エア通路に加圧エアを供給して、ロッドの先端の検知用ノズルから加圧エアを噴出させておく。次に、ロッドを進出させてロッドの先端がワークに当接した状態では、検知用ノズルから加圧エアが噴出するのが妨げられるため、ェァ通路内の加圧エアの圧力が上昇し、当接検知手段によりエア通路の圧力を介してロッドの先端とワークの当接を検知することができる。この当接を検知した後にスリーブ体を縮径側へ弹性変形させてロッドをロックする。つまり、ロッドの先端がワークに確実に当接した状態でロッドをロックすることができる。

前記流体圧シリンダは油圧を作動流体として前記ピストン部材を進出駆動する油圧シリンダであってもよい。油圧シリンダに油圧を供給してピストン部材とスプリング部材を介してロッドを進出駆動できる。

前記受圧室と前記外周側油圧室とを連通させてもよい。ロッドの先端がワークに当接する前は受圧室にピストン部材を駆動するのに十分で且つスリーブ体を縮径側へ弾性変形させない程度の比較的低圧の油圧を供給し、ピストン部材は進出駆動されるが、ロッドがロックされることはない。ロッドの先端がワークに当接した状態を検知した後、受圧室に高圧の油圧を供給し、外周側油圧室に高圧の油圧を作用させてスリーブ体を縮径側へ弾性変形させ、ロッドをロックする。前記流体圧シリンダは前記ピストン部材を退入側へ弾性付勢するスプリング部材を有するものとしてもよい。ヮ一クのサポートを解除する際には、外周側油圧室の油圧を低下させてロッドのロックを解除し、流体圧シリンダの受圧室から作動流体を抜くと、スプリング部材によりピストン部材が退入側へ駆動され、口ッドの先端がワークから離隔する。図面の簡単な説明

図 1は本発明の実施形態に係るワークサポート及び周辺装置の構成図、図 2はワークサポート（ロッド退入状態）の縦断面図、図 3はワークサポート（サポート状態）の縦断面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態について説明する。図 1に示すように、本実施形態のワークサボ一ト 1は、機械加工に供するワーク 2の中央部を下側から支持して、ワーク 2の弾性変形や振動を防止するためのものである。図 1，図 2に示すように、このワークサポート 1は、ケース部材 3と、出力部材としてのロッド 4 と、ロッド 4に外嵌され縮径側へ弾性変形可能なスリーブ体 5と、ロッド 4を進出側へ駆動する油圧シリンダ 6 (流体圧シリンダ）と、口ッド 4を進出側へ弹性付勢するスプリング 7 (圧縮コイルスプリング）と、加圧エアを噴出させる検知用ノズル 8と、この検知用ノズル 8に接続されたエア通路 9と、エア通路 9の圧力を介して口ッド 4の先端とワーク 2の当接を検知可能な圧力センサー 1 0と、この圧力センサーからの信号により油圧供給源 1 2を制御する制御ュニット 1 5 (圧力センサー 1 0と制御ュニット 1 5が当接検知手段に相当する）などを有する。ワークサポート 1は、油管 1 1を介して油圧ポンプ、ポンプ駆動用モータ一、アキュ一ムレーター等を備えた油圧供給源 1 2と接続され、エア供給管 1 3を介してエア供給源 1 4と接続されている。

このワークサボ一ト 1においては、検知用ノズル 8から加圧エアを噴出させた状態でロッド 4を進出させてロッド 4の先端をワーク 2に当接させ、圧力センサ —1 0により加圧エアの圧力を介してロッド 4が当接したことを検知した後、スリ一ブ体 5を縮径側へ弹性変形させてロッド 4をロックする。

図 2に示すように、略筒状のケース部材 3は内部にロッド 4とスリーブ体 5を装着して支持するためのものであり、このケ一ス部材 3は、ケース本体 3 aと、このケース本体 3 aに外嵌して固定されたケースカバー 3 bとからなる。ケース本体 3 aの内周側にはスリーブ体装着孔 2 1が形成され、スリーブ体装着孔 2 1 の上端部には、ロッド 4の退入時にロッド 4の外周面の付着物を搔取るスクレーパー 2 2が設けられ、またスリーブ体装着孔 2 1の上端側部分にはシール部材 2 3が装着されている。

図 2に示すように、ロッド 4はスリーブ体 5に摺動自在に内嵌され、ロッド 4 は略円筒状のロッド本体 4 aとこのロッド本体 4 aの先端に螺合された出力部 4 bなどで構成されている。ロッド本体 4 aの下半部には円筒穴 2 4が形成され、中間壁部 2 5を隔てて円筒穴 2 4よりも小径のスプリング収容穴 2 6も形成されている。円筒穴 2 4には、油圧シリンダ 6のシリンダ本体 3 3 bが内嵌され、口ッド 4はシリンダ本体 3 3 bとの間に僅かな隙間 2 7を有し、スリーブ体 5とシリンダ本体 3 3 bとの間でガイドされ上下摺動可能に構成されている。また、中間壁部 2 5には、隙間 2 7とスプリング収容穴 2 6を連通させるための複数の連通孔 2 5 aも設けられている出力部 4 bはロッド本体 4 aの先端に螺合固定され、ワーク 2をサポートする際には、出力部 4 bはワーク 2に当接する。出力部 4 bの下半部の内部にはスプリング収容穴 2 6に連なる円筒穴 2 8が形成され、この円筒穴 2 8の先端に連なりロッド 4の先端から加圧エアを噴出させるための検知用ノズル 8も設けられている。

図 2に示すように、略筒状のスリ一ブ体 5は金属製のものであり、このスリーブ体 5の長さ方向途中部の大部分には薄肉筒部 5 aが形成されている。スリーブ体 5はケース本体 3 aのスリーブ体装着孔 2 1に内嵌状に装着され、スリーブ体 5の上端部はケ一ス本体 3 aの上端部で上方から係止され、スリーブ体 5の下端部はケース本体 3 aと油圧シリンダ 6のシリンダ本体 3 3 bとの間に挟持されて固定されている。薄肉筒部 5 aは縮径側へ弹性変形可能であり、薄肉筒部 5 aの外周側には環状の外周側油圧室 3 0が形成され、この外周側油圧室 3 0は油圧シリンダ 6の油室 3 5と連通し、油室 3 5より油圧が供給される。

図 2に示すように、油圧シリンダ 6はシリンダ部材 3 3とピストン部材 3 4とこのピストン部材 3 4を進出駆動する油室 3 5 (受圧室）を備え、この油圧シリンダ 6は、ピストン部材 3 4とスプリング 7を介してロッド 4を進出側へ駆動する。シリンダ部材 3 3はケース本体 3 aの下端部に内嵌状に螺合されたシリンダ基部 3 3 aと、このシリンダ基部 3 3 aから上方へ延びるシリンダ本体 3 3 bとを一体形成したものである。シリンダ基部 3 3 aには外周側油圧室 3 0に油圧を供給する油路 3 6と、エア通路 9のエア供給口 3 7と連通路 3 8が形成され、油路 3 6により油室 3 5と外周側油圧室 3 0が連通されている。シリンダ部材 3 3 とケース本体 3 aとの間にはシール部材 3 9 , 4 0が装着され、シリンダ部材 3 3とケースカバー 3 bとの間にもシ一ル部材 4 1が装着されている。シリンダ本体 3 3 bの内部にはシリンダ穴 4 2が形成され、シリンダ穴 4 2の上壁部には開口部 4 3が形成されている。

ピストン部材 3 4はピストン 3 4 aと、ピストン 3 4 aから上方へ延びるピストンロッド 3 4 bとを一体形成したものである。ピストン 3 4 aはシリンダ穴 4 2に摺動自在に装着され、ピストン 3 4 aにはシール部材 4 4が装着され、ピストン 3 4 aの下側には油室 3 5が形成され、この油室 3 5には油圧給排ポート 1 1 aを介して油圧供給源 1 2から油圧が供給される。ロッド 4を当接させるときには、油室 3 5にスリーブ体 5が縮径側へ弾性変形しない程度の比較的低圧の油圧を供給してピストン部材 3 4を進出駆動し、口ッド 4がワーク 2に当接した後にロッド 4をロックするときには、油室 3 5に高圧の油圧を供給し、油路 3 6を介して外周側油圧室 3 0に高圧の油圧を供給することで薄肉筒部 5 aを縮径側へ弹性変形させてロッド 4をロックする。ピストン 3 4 aの上側にはビストン部材 3 4を退入側へ弹性付勢するスプリング 4 5が配設されている。

ピストンロッド 3 4 bは大径部 4 6と小径部 4 7とからなり、小径部 4 7は開口部 4 3と中間壁部 2 5の中心穴を揷通してスプリング収容穴 2 6へ延び、このスプリング収容穴 2 6内に位置する小径部 4 7の中段部には鍔状係止部 4 8が形成され、ピストン部材 3 4が下方へ退入移動するときには、鍔状係止部 4 8が中間壁部 2 5に係止してロッド 4を下方へ移動させる。

ロッド 4を進出側へ弾性付勢するスプリング 7の下端はピストンロッド 3 4 b の鍔状係止部 4 8で係止され、スプリング 7の下半部はピストンロッド 3 4 bの小径部 4 6に外装され、スプリング 7はスプリング収容穴 2 6に配設されている。このスプリング 7は、ロッド 4がワーク 2に当接したときにロッド 4の先端でワーク 2を弾性変形させないように、弱い力でロッド 4を進出側へ弾性付勢する次に、検出用ノズル 8、エア通路 9及、圧力センサー 1 0及び制御ュニット 1 5について説明する。前述のように、検出用ノズル 8はロッド 4の先端に設けられ、この検出用ノズル' 8にはエア通路 9を介して加圧エアが供給されて加圧エアを噴出し、ロッド 4がワーク 2に当接したときには、ワーク 2によって加圧エアの噴出が妨げられる。

エア通路 9は、ケース部材 3とロッド 4の内部に形成されて検知用ノズル 8に接続され、このエア通路 9は、シリンダ基部 3 3 aのエア供給口 3 7及び連通路 3 8と、ロッド 4とシリンダ本体 3 3との間の隙間 2 7と、スプリング収容穴 2 6と、ロッド 4に形成された円筒穴 2 8などで構成され、エア供給口 3 7に接続されたエア供給ポート 1 3 aを介してエア供給源 1 4から加圧エアが供給され、この加圧エアは、連通路 3 8、隙間 2 7、スプリング収容穴 2 6、円筒穴 2 8、を介して検出用ノズル 8に供給される。

圧力センサー 1 0はエア供給管 1 3のエア供給口 3 7近傍に設けられ、圧力センサ一 1 0はエア通路 9の圧力を検知する。制御ュニット 1 5には圧力センサー 1 0からエア通路 9の圧力上昇の信号を受けて油圧供給源 1 2を制御するもので、ロッド 4の当接状態を表示する表示部と、低圧と高圧の油圧の切り換えを行うための操作パネルと、油圧を切り換える切換弁を駆動する駆動回路などが設けられている。

ワーク 2をサポートする際には、エア通路 9を介して検知用ノズル 8に加圧ェァを供給して検知用ノズル 8から加圧エアを噴出させた状態で、ロッド 4の先端をワーク 2に当接させると、ワーク 2により検出用ノズル 8からの加圧エアの噴出が妨げられるため、エア通路 9の圧力が上昇するので、圧力センサ一 1 0によりエア通路 9の圧力を介してロッド 4とワーク 2の当接状態を検知し、この当接状態は制御ュニット 1 5に表示され、制御ュニット 1 5により油圧供給源 1 2を制御して高圧の油圧を油室 3 5に供給する。

次に、ワークサポート 1の作用について説明する。

図 1，図 2に示すように、ワークサポート 1と油圧供給源 1 2とが油管 1 1により接続され、ワークサポート 1とエア供給源 1 4とがエア供給管 1 3により接続され、検知用ノズル 8にはエア通路 9を介して加圧エアが供給され、検知用ノズル 8から加圧エアが噴出しているものとする。

この状態で、油室 3 5に比較的低圧の油圧を供給すると、図 3に示すように、ピストン 3 4 aがスプリング 4 5の付勢力に抗して進出駆動され、それに伴ってピストンロッド 3 4 bも進出移動し、鍔状係止部 4 8が中間壁部 2 5から離隔してロッド 4の進出移動が可能になる。従って、スプリング 7の付勢力によりロッド 4は上方へ進出駆動される。このとき、油室 3 5に連通している外周側油圧室 3 0にも低圧の油圧が供給されるが、この油圧によってはスリーブ体 5の薄肉筒部 5 aは縮経側へ弹性変形することがなく、ロッド 4はロックされず上方へ進出移動する。

ロッド 4が進出移動してロッド 4の先端がワーク 2に当接すると、検出用ノズル 8からの加圧エアの噴出がワーク 2により妨げられるため、エア通路 9の圧力が上昇し、この圧力上昇は圧力センサ一 1 0により検知される。この圧力上昇の信号が制御ュニット 1 5に送られて表示され、圧力センサ一 1 0によりロッド 4 の先端とワーク 2との当接状態を検知することができる。ロッド 4とワーク 2の当接を検知した後、制御ュニット 1 5により油圧供給源 1 2を制御して油室 3 5 に高圧の油圧を供給する。この高圧の油圧は外周側油圧室 3 0にも供給され、この油圧によりスリーブ体 5の薄肉筒部 5 aが縮径側に弹性変形し、ロッド 4との間に静摩擦力を発生させてロッド 4の上下移動をロックする。

以上のワークサポート 1によれば、検出用ノズル 8に加圧エアを供給するエア通路 9をワークサポート 1の内部に設けたので、ロッド 4の重量バランスが良く、ロッド 4が進出移動してワーク 2に当接したときにロッド 4の位置が安定する。また、圧力センサー 1 0により、エア通路 9の圧力を介してロッド 4の先端とワーク 2の当接状態を検知した後ロッド 4をロックすることができるので、安定してワーク 2に当接した状態でロッド 4をロックすることができる。

ロッド 4を進出駆動するときには、油室 3 5には低圧の油圧を供給し、ロッド 4とワーク 2の当接状態を検知してから、ロッド 4をロックするために油室 3 5 に高圧の油圧を供給することができるので、ワーク 2に当接していない状態で口ッド 4がロックされることがない。

ロッド 4はスプリング 7による弱い弹性付勢力により駆動されるため、ロッド 4の先端がワーク 2に当接したときに、ワーク 2に弹性変形を生じさせることがない。

次に、前記実施形態を部分的に変更した変更形態について説明する。

1〕油圧シリンダ 6の油室 3 5と外周側油圧室 3 0を連通させず、夫々別々の油管 1 1と接続して油圧を供給してもよい。

2〕ピストン部材 3 4をエアシリンダによって進出駆動してもよい。この場合には、外周側油圧室 3 0を油管 1 1と接続して油圧を供給してもよいし、外周側油圧室 3 0に油圧を封入し、加圧エアによりこの油圧を加圧するように構成してもよい。

3〕当接検知手段としては、圧力センサ一 1 0の代わりに、圧力が上昇したときに O Nとなるような圧力スィッチを用いてもよい。

4〕スリーブ体 5の外周面をテ一パー状に形成し、このスリーブ体 5の外周面に係合可能なテ一パ一状の内周面とピストン部を有する筒状のピストン部材をスリ —ブ体に外嵌させ、ピストン部を油圧ゃスプリング等で退入駆動させてスリーブ体 5の外周面とピストン部材の内周面を係合させ、スリ一ブ体 5を縮径側へ弾性変形させるように構成してもよい。また、スリーブ体 5の内周面とピストン部材の外周面の間に複数の鋼球を挿入して摩擦力を減少させるように構成してもよい

Claims

請求の範囲

1 . 出力部材としてのロッドと、このロッドに外嵌され且つ縮径側へ弾性変形可能なスリーブ体と、このスリーブ体を支持するケ一ス部材とを備えたワークサボ一卜であって、

前記ロッドの先端に設けられ加圧エアを噴出する検知用ノズルと、

前記ケース部材と前記ロッドの内部に形成され前記検知用ノズルに接続されたエア通路と、

前記エア通路の圧力を介して前記ロッドの先端とワークの当接を検知可能な当接検知手段とを有することを特徴とするワークサボ一ト。

2 . 出力部材としてのロッドと、このロッドを進出側へ弾性付勢するスプリング部材と、ロッドに外嵌され且つ縮径側へ弾性変形可能なスリーブ体と、このスリ —ブ体を支持するケース部材と、スリーブ体の外周側に形成された外周側油圧室とを備えたワークサポートであって、

ピストン部材とこのピストン部材を進出駆動する受圧室を有しピストン部材と前記スプリング部材を介して前記ロッドを進出側へ駆動する流体圧シリンダと、前記口ッドの先端に設けられ加圧エアを噴出する検知用ノズルと、

前記エア通路の圧力を介して前記ロッドの先端とワークの当接を検知可能な当接検知手段とを有することを特徴とするワークサポート。

3 . 前記検知用ノズルから加圧エアを噴出させた状態で前記ロッドを進出させ、前記当接検知手段によりロッドの先端がワークに当接したことを検知した後、前記スリーブ体を縮径側へ弹性変形させるように構成したことを特徴とする請求の範囲第 1項又は第 2項に記載のワークサポート。

4. 前記流体圧シリンダは油圧を作動流体として前記ピストン部材を進出駆動する油圧シリンダであることを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のワークサポー卜。

5 . 前記受圧室と前記外周側油圧室とは連通していることを特徴とする請求の範囲第 4項に記載のワークサポート。

6 . 前記流体圧シリンダは前記ピストン部材を退入側へ弾性付勢するスプリング部材を有することを特徴とする請求の範囲第 2項又は第 4項又は第 5項に記載のワークサポート。