WO2002058095A1

WO2002058095A1 - Plasma display panel and its manufacturing method

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Publication number: WO2002058095A1
Application number: PCT/JP2002/000170
Authority: WO
Inventors: Kanako Miyashita; Hiroyuki Kado
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2001-01-17
Filing date: 2002-01-15
Publication date: 2002-07-25
Also published as: TW591680B; CN100372042C; KR100884152B1; CN1496575A; US20040075375A1; KR20030091965A; US7329991B2; EP1361593A1; EP1361593A4

Description

W 夸

プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法技術分野

本発明は、プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。背景技術

プラズマディスプレイパネル（以下、「P D P」という）は、直流（ D C ) 型と交流（A C ) 型に大きく分けられるが、現在では大型化に適した A C型が主流となっている。

図 1 6は、 A C型 P D Pの一例を示す斜視図（一部断面図）である。図 1 6に示すように、前面ガラス基板 6 1の表面上には、複数の表示電極 6 2がストライプ状に配設されている。表示電極 6 2が配設された面の上には、全体を覆うように誘電体層 6 3が形成されている。さらに、誘電体層 6 3の面上には、誘電体保護膜 6 4が形成されている。

一方、背面ガラス基板 7 1の上記前面ガラス基板 6 1 と対向する面には、複数のアドレス電極 7 2がストライプ状に配設されている。ァドレス電極 7 2の配設方向は、前面ガラス基板 6 1 と背面ガラス基板 7 1 とを対向配置する際に、表示電極 6 2と交差する方向である。アドレス電極 7 2が配設された面の上には、全体を覆うように誘電体層 7 3が形成されている。さらに、誘電体層 7 3の面上には、アドレス電極 7 2と平行に、且つ前面ガラス基板 6 1の方に向けて、複数の隔壁 7 5が突設されている。

隣り合う隔壁 7 5と隔壁 7 5および誘電体層 7 3とで形成される溝部分の側面には、蛍光体層 7 6が配設されている。蛍光体層 7 6は、隔壁 7 5で仕切られる溝部分毎に、赤色蛍光体層 7 6 R、緑色蛍光体層 7 6 G、青色蛍光体層 7 6 Bが配設されている。これら蛍光体層 7 6は、スクリーン印刷法ゃィンクジェット法、フォトレジストフィルム法などの厚膜形成法を用いて形成された蛍光体粒子群からなる層である。このような構造を有する前面ガラス基板 6 1 と背面ガラス基板 7 1 とを対向配置した際に、上記溝部分と誘電体保護膜 64とで形成される放電空間 77には、放電ガスが封入されている。

以上の構造を有する AC型 P D Pは、基本的に蛍光灯と同様の発光原理を有し、放電空間 77の内部における放電に伴い放電ガスから放出された紫外線が蛍光体層 7 6を励起発光させ、可視光に変換される。

ただし、上記 AC型 P D Pに用いる各色の蛍光体層 7 6 R、 7 6 G、 76 Bには、それぞれに異なる可視光への変換効率を有する蛍光体材料が用いられている。そのため、パネルにおいて画像を表示させる際には、一般に各蛍光体層 76 R、 7 6 G、 76 Bの輝度を調整することによつて、色バランスの調整がなされている。具体的には、輝度の最も低い色の蛍光体層を基準にして、他の蛍光体層の輝度を色毎に決められた比率で低下させている。

ところで、高品位ディスプレイへの要求が高まるのに伴い、 P D Pにおいても、セルの微細化が求められている。セルを微細化した場合、放電空間 77の体積の減少に伴って紫外線の放射効率が低下するので、微細なセル構造を有する P D Pを実現するためには、従来よりもさらにセル単位での発光効率を向上させる必要がある。

例えば、従来の NTS Cでは、セル数が 64 0 X 480であり、 40 インチクラスではセルピッチが 0. 43mmx l . 2 9 mm, 1セル当りの面積が.0. 5 5mm²で輝度が約 2 5 0 c d/m²である（例えば、機能材料 1 99 6年 2月号 V 0 1. 1 6、 N o. 2、ページ 7)。これに対して、フルスペックのハイビジョンテレビの画素レベルでは、画素数が 1 9 20 x 1 1 2 5となり、 4 2インチクラスでのセルピッチは 0. 1 5mmx 0. 48mmで、 1セル当りの面積が 0. 07 2m m²となる。このようなスペックのハイビジョンテレビ用の PD Pを従来の構造で作製した場合、 1セル当りの面積の減少に伴い、紫外線の放射効率が、 NT S Cの場合に比べて 1ノア〜 1 Z8程度の 0. 1 5 1 m ZW〜0. 1 7 1 m/W程度まで低下する。よって、パネルの発光効率も、低くなる。発明の開示

本発明は、以上のような課題を解決しょうとなされたものであって、微細なセル構造を有する場合にも高い発光効率で動作させることが出来るプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法を提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明は、対向配置された前面パネルと背面パネルとの間隙に、複数の発光セルが形成されてなる P D Pにおいて、少なくとも一部領域に薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜を備えることを特徴とする。

この P D Pでは、結晶蛍光体膜が蛍光体粒子群からなる蛍光体層よりも可視光変換率で優れるので、高い発光効率で動作可能である。

上記結晶蛍光体膜が形成される領域は、前面パネルにおける少なくとも一部の発光セル相当部位であることが望ましい。

従来の P D Pでは、前面パネルに蛍光体層が形成されていなかったため、紫外線の一部が利用されずに前面パネルに吸収されていた。

これに対して、上記 P D Pでは、薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜が前面パネルの少なくとも一部の発光セル相当部位に形成されているので、この発光セル内で生じた紫外線の一部がそのまま前面パネルに吸収されることなく、可視光に変換されてパネル外部に放出される。

また、従来の蛍光体粒子群からなる蛍光体層は、可視光透過率が低いので、これを前面パネル側に形成すると、発光セル内で生じた可視光の多くを遮ってしまうのに対して、上記結晶蛍光体膜では、高い可視光透過率を有する薄膜結晶から形成されているので、これを前面パネル側に形成しても、発光セル内で生じた可視光をほとんど遮ることがない。従って、上記 P D Pでは、従来の P D Pに比べて発光効率に優れ、微細なセル構造を採用する際にも適している。

なお、一般に薄膜という用語を用いる場合、結晶性の薄膜以外にもァモルファスゃ粒子群からなる薄膜を含むが、ここで云う薄膜結晶とは、単一固溶体の薄膜であって、透過型電子顕微鏡（T E M) で結晶格子像が確認出来るとともに、 X線回折法による測定で鋭いピークが得られるような結晶性の薄膜を指している。

上記 P D Pでは、結晶蛍光体膜の可視光透過率が少なくとも 8 5 %となるような材料を選択したり、膜厚を設定したりすることが望ましい。これは、前面パネルに转晶蛍光体膜を形成する場合であっても、可視光透過率が 8 5 %未満であると、結晶蛍光体膜によって遮られてしまう可視光が大きくなってしまい、総合的に見てパネルの発光効率が低下するためである。

なお、この可視光透過率とは、前面パネルに形成された薄膜結晶からなる蛍光体膜の可視光の透過率を指している。具体的には、当該蛍光体自身の発光波長における透過率である。また、蛍光体自身の透過率を指し、その他基板や誘電体層の透過率は含めない。

また、上記 P D Pでは、必ずしも前面パネルの全域に結晶蛍光体膜を形成する必要はない。例えば、本発明は、結晶蛍光体膜を、赤色および緑色および青色の発光セル群の内の一つまたは二つの発光セル群、具体的には、青色発光セル群および緑色発光セル群の内の少なくとも一方の相当部位に形成すれば、十分効果が得られる。これは、通常、パネルの色バランスをとる際にこれらの色に合わせて赤色の輝度を低下させることが必要であり、上記 2色の輝度が向上できれば、パネル全体としての発光効率を向上させることが出来るためである。特に、青色の発光セル群の相当箇所に結晶蛍光体膜を形成することが効果的である。

また、特定の色の発光セル群を選択して形成するほか、形成する領域を発光セル群の輝度に応じて制限することなどによっても効果が得られる。

上記結晶蛍光体膜を形成するのに用いる蛍光体材料と、蛍光体粒子群からなる蛍光体層を形成するのに用いる蛍光体材料とは、同じ材料であつても良いし、異なる材料であっても良い。 P D Pにおいて、表示電極間での放電は、前面パネルの表面近傍で生じ、数 mの領域である。ここでは、多量の電離気体が存在し、前面パネル表面は電子やイオンの衝撃を多く受ける。従来の P D Pでは、放電領域から離れた背面パネルのみに蛍光体層が形成されるため、紫外線励起型の蛍光体材料が用いられてきた。

これに対して、上記のように、放電領域の近傍である前面パネルの最表面に蛍光体膜が形成される場合には、紫外線励起型のみでなく、電子やイオンが衝突する際の衝突エネルギーによって蛍光体が励起されて発光する衝突励起型の蛍光体材料を用いることが出来る。

前面パネルにおいて、上記結晶蛍光体膜を形成する前面パネルの部位は、保護膜の面上であっても良いし、誘電体層と保護膜との層間であつても良い。この内、結晶蛍光体膜を保護膜の面上に形成する場合には、表示電極の相当部位に切欠部を設けておくことが望ましい。これによつて、上記 P D Pでは、パネル駆動時の放電において、保護膜の二次電子放出係数が高い性質が有効に利用できる。

また、上記 P D Pでは、保護膜の表面に設けた蛍光体膜に切欠部を設けたが、保護膜の表面全体に蛍光体膜を形成しても同様の効果が得られる。ただし、蛍光体膜により放電が妨げられるために、放電電圧が多少高くなる。これを防ぐためには、前面パネルに形成する蛍光体膜を誘電体層と保護膜との間に形成することが有効である。このようにすれば、放電が妨げられない上に、蛍光体膜の表面積を大きくとることが可能となり、より輝度の高い P D Pを得ることが出来る。ただし、この場合には、結晶蛍光体膜が放電空間に直接面しないため、この材料としては従来と同様の紫外線励起型の蛍光体材料を用いることが必要である。また、上記 P D Pでは、背面パネルおよび隔壁の少なくとも一方に蛍光体粒子群からなる蛍光体層を備えていても良い。たとえ、背面パネルおよび隔壁の一方に蛍光体粒子群からなる蛍光体層を備えていない場合にも、上記 P D Pは、従来の P D Pに比べて、優れた発光 ¾率を有する。背面パネルに蛍光体層を形成しない場合には、背面パネルの誘電体層の面上に、可視光を前面パネルの側に反射する機能を有する領域形成しておくことが、発光効率の向上という面から望ましい。

上記結晶蛍光体膜と蛍光体粒子群からなる蛍光体層とは、異なる組成の蛍光体材料から形成されていることが望ましい。特に、結晶蛍光体膜が衝突励起型の蛍光体材料から形成されていることが、望ましい。また、この場合には、背面パネルや隔壁に蛍光体層を備えないので、製造時における工程数を減らすことができ、コスト面で優れる。

また、上記 P D Pでは、背面パネルが、背面基板上に複数の電極と、誘電体層とが形成されてなり、誘電体層が、間に結晶蛍光体膜あるいは蛍光体粒子群からなる蛍光体層の何れも介することなく、発光セルの内部空間に面していても良い。同様に、背面パネル上に形成されている隔壁において、その表面が発光セルの内部空間に面していても良いし、隔壁の発光セル相当部位に蛍光体粒子群からなる蛍光体層あるいは薄膜結晶からなる蛍光体膜が形成されていても良い。

背面パネルにおける発光セル相当部位に蛍光体層が形成されていない場合には、背面パネルが少なくとも 8 5 %以上の可視光反射率を有する領域を形成しておくことが望ましい。背面パネルにおける上記可視光反射率を有する領域を形成する箇所は、誘電体層の面上であっても良いし、その層内であっても良い。

また、上記 P D Pでは、前面パネルにアドレス電極を有するとともに、背面パネルに表示電極を有するものも望ましい。

さらに、本発明は、対向配置された前面パネルと背面パネルとの間隙に、複数の発光セルが形成されてなる P D Pにおいて、背面パネルが電極を有しており、背面パネルにおける前記電極上に、可視光を前記前面パネルの側に反射する機能を有する領域を介して、薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜を備えていることを特徴とする。

上記 P D Pでは、背面パネルの可視光を反射する機能を有する領域の面上に薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜を形成しているので、より発光効率が向上する。この場合、上記可視光を反射する機能を有する領域における結晶蛍光体膜の側に凹凸を設けておけば、結晶蛍光体膜の実効表面積を広くすることができ、効果的である。この凹凸は、例えば表面を階段状、複数の突起を有する構造などが好ましい。この凹凸による実効表面積は、その平滑面の面積の 5倍以上であることがより好ましい。

本発明は、前面パネルおよび背面パネルの内の少なくとも一方に、薄膜結晶からなる蛍光体膜を形成する蛍光体膜形成ステツプを有する P D Pの製造方法において、蛍光体膜形成ステツプでの蛍光体膜の形成に、減圧雰囲気下における真空製膜プロセスを用いることを特徴とする。

この製造方法では、前面パネルおよび背面パネルの内の少なくとも一方に薄膜結晶からなる蛍光体膜を容易に形成することが出来るので、従来の P D Pに比べて、発光効率の高い P D Pを製造することが出来る。具体的な真空製膜プロセスとしては、真空蒸着法やスパッ夕リング法や C V D法などに代表される気相成長法があげられる。この真空製膜プロセスでの減圧雰囲気には、形成する蛍光体の材料組成によって、酸素を注入したり、還元性を有するようにしたりすることが望ましい。上記 P D Pの製造方法では、前面パネルを形成するステツプを有し、前面パネルを形成するステツプが、保護膜を形成するサブステツプを有し、保護膜を形成するサブステップと蛍光体膜形成ステップとが、そのステツプ間に他の工程を介することなく連続して実施されることが望ましい。このような製造方法では、基板の温度を低下させることなく両方の膜を一貫形成出来るので、放電空間に面する最表面側の膜の結晶性が良好なものとすることが出来る。

特に、上記製造方法では、ステップ間で前面パネルを大気に曝すことがないように維持することが結晶性を良好に膜を形成できるという点から望ましい。

また、上記製造方法では、真空装置を個別に備えずに済むので、設備費用を抑えることが出来る。

上記蛍光体膜形成ステップでは、基板の蛍光体膜を形成しょうとする領域を加熱しておくことが望ましい。これは、真空製膜プロセスにおいて、加熱により基板の瘟度を上昇させておけば、蛍光体膜の薄膜結晶における結晶性を高めることができるためである。

さらに、本発明は、前面パネルに第 1の蛍光体層を形成する第 1 のステツプと、背面パネルに第 2の蛍光体層を形成する第 2のステップとを備える P D Pの製造方法において、第 1 のステツプおよび第 2のステツプの内、一方のステップが、薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜を形成するステップであり、他方のステップが、蛍光体粒子群からなる蛍光体層を形成するステツプであることを特徴とする。

この方法では、従来の P D Pに比べて、色バランスを崩すことなく、発光効率に優れた P D Pを製造することが出来る。

本発明は、上記製造方法を用いて製造された P D Pや、 P D Pにこれを駆動するための駆動回路を備える P D P表示装置も、その範囲に含むものである。

なお、本願明細書に添付の図面ならびに以下に記載の実施の形態は、本発明の一例として挙げたに過ぎない。本発明は、これら図面および実施の形態に限定されることを意図しない。図面の簡単な説明

図 1 ；実施の形態 1 に係る A C型 P D Pを示す斜視図（一部断面図）である。

図 2 ；図 1 における X— X矢視断面図である。

図 3 ；図 1 の P D Pと駆動回路とからなる P D P表示装置を示す構成図である。

図 4 ；第 1の蛍光体膜を形成するための E B蒸着装置を示す構成図である。

図 5 ；図 4における電子銃を示す構成図である。

図 6 ； X線回折による基板温度と回折強度との関係を示すグラフである。

図 7 ；蛍光体粒子群からなる蛍光体層に入射する紫外線の経路を示す模式図である。

図 8 ；薄膜結晶の蛍光体膜に入射する紫外線の経路を示す模式図である。

図 9 ；蛍光体評価用のサンプルを示す概略図である。

図 1 0 ；薄膜結晶からなる蛍光体膜の膜厚と輝度との関係を示すダラフである。

図 1 1 ；図 1 における Y— Y矢視断面図である。

図 1 2 ；膜厚と相対輝度の関係図である。

図 1 3 ；実施の形態 2に係る AC型 P DPの一部分を示す断面図である。

図 1 4 ；誘電体層と誘電体保護膜との間に第 1の蛍光体膜が揷設された前面パネルを示す断面図である。

図 1 5 ；実施の形態 3に係る AC型 P D Pの一部分を示す断面図である。

図 1 6 ；従来の AC型 P DPを示す斜視図（一部断面図）である。発明を実施するための最良の形態

(実施の形態 1 )

1. パネルの全体構成

実施の形態 1 に係る AC型 P DPの全体構成について、図 1を用いて説明する。図 1は、 AC型 PDP 1の一部分を抜き出して示した図である。

図 1に示すように、 AC型 PD P 1は、前面パネル 1 0と背面パネル 20とが間隔.をあけて対向配置され、パネル間の空間が隔壁 30によつて複数の放電空間 40に仕切られた構造を有する。

前面パネル 1 0は、前面ガラス基板 1 1の一方の主表面上（図では下側）に複数の表示電極 1 2がストライプ状に配設され、その表面に第 1 の誘電体層 1 3および誘電体保護膜 1 4が順に積層された構造を有している。背面パネル 2 0は、上記前面パネル 1 0と対向する側の背面ガラス基板 2 1の面上に、複数のァドレス電極 2 2がストライプ状に配設され、その表面を覆うように第 2の誘電体層 2 3が形成されてなる。

また、隔壁 3 0は、実際には背面パネル 2 0の第 2の誘電体層 2 3の上に突設されているものであって、アドレス電極 2 2と平行に、且つ、隣り合うアドレス電極 2 2とアドレス電極 2 2との間の領域に配置されている。

前面パネル 1 0と背面パネル 2 0とは、それぞれに配設された表示電極 1 2とアドレス電極 2 2とが交差して対向するように配置され、パネル周囲が気密シール層で封着されている。

放電空間 4 0の内部には、放電ガス（N e— X e系ガス、 H e— X e 系ガスなど）が封入されている。

上記 A C型 P D P 1では、両ガラス基板 1 1、 2 1間における表示電極 1 2とアドレス電極 2 2とが交差する各々の部分が、発光セルに相当することになる。

誘電体保護膜 1 4の面上における発光セルの相当部位には、第 1の蛍光体膜 3 1が形成されており、隔壁 3 0および第 2の誘電体層 2 3の面上には、第 2の蛍光体層 3 2が形成されている。

これら蛍光体層 3 1、 3 2の内、第 2の蛍光体層 3 2は、スクリーン印刷法を用いて形成された蛍光体層であって、単結晶粉末の蛍光体粒子群からなる厚膜蛍光体層である。この層は、蛍光体粒子が概ね 1 0層程度積層された厚さとなっている。

一方、前面パネル 1 0に形成されている第 1の蛍光体膜 3 1は、後述する電子ビーム（以下、「E B」という）蒸着法を用いて形成された、薄膜結晶からなる蛍光体膜である。ただし、一般に薄膜には、ァモルファスゃ粒子群からなるものも含むことがあるが、ここで云う薄膜結晶とは、透過型電子顕微鏡（T E M) で結晶格子像が確認出来るとともに、 X線回折法による測定で鋭いピーク（ — 2 法で半値幅が数度以下のピーク）が得られるような、単一固溶体からなる結晶質の薄膜を示す。また、第 1の蛍光体膜 3 1の膜厚は、当該第 1の蛍光体膜 31に紫外線を照射した際に十分な発光輝度が得られることと可視光透過率を確保することが両立可能な範囲に設定されている。具体的に、膜厚は、 1〜 6 mの範囲内であり、望ましくは 2 m付近である。この点については、後で説明する。

第 2の蛍光体層 32を構成する蛍光体材料の組成は、以下に示すような紫外線励起型のものである。

赤色蛍光体：（Y, G d) B0₃ ： E u

緑色蛍光体： Z n₂S i 0₄ ： Mn

青色蛍光体： B aMgA l _{1 ()}0₁₇ : Eu

—方、第 1の蛍光体膜 31を構成する蛍光体材料は、衝突励起型のものであって、例えば以下に示すようなものである。

赤色蛍光体 S n O 2 ： E u

緑色蛍光体 Z n 0 ： Z n

青色蛍光体 Z n S ： A g

2. 第 1の蛍光体膜 3 1の形状

次に、第 1の蛍光体膜 31の形状について、図 2を用いて説明する。図 2は、上記図 1における X— X矢視断面図である。

図 2に示すように、第 1の蛍光体膜 31は、誘電体保護膜 14の面上における隔壁 30と隔壁 30との間の全面に形成されているのではない。誘電体保護膜 14の面上における表示電極 12に対応した領域では、第 1の蛍光体膜 31は、切り欠かれている。この切り欠かれた部分（切欠部 3 1 a) は、表示電極 12が形成された領域の誘電体保護膜 14を放電空間 40に対して露出させるために設けられているものであり、パネル駆動時の放電において、誘電体保護膜 14の二次電子放出係数が高い性質が有効に利用できる。

3. パネルと駆動回路との接続

上記 AC型 P DP 1と駆動回路との接続について、図 3を用いて説明する。図 3に示すように、 A C型 P D P 1には、各ドライバ 141、 142 、 143および駆動回路 140が接続されている。

AC型 P D P 1に形成された複数の表示電極 1 2の内、一本おきに配されている半数の電極（以下、「走査電極 1 2 a」という）は、スキヤンドライバ 141に接続されている。スキャンドライバ 141に接続されていない残りの表示電極 1 2 (以下、「維持電極 1 2 b」という）は、サスティンドライバ 142に接続されている。

また、全てのァドレス電極 22は、データドライノ 143に接続されている。

駆動回路 140は、上記 3つのドライバ 141、 142、 143に接続されている。このようにして、 AC型 PDP 1を備える PDP表示装置が構成されている。

この P D P表示装置では、点灯させようとするセルに対応する走査電極 1 2 aとアドレス電極 22の間に電圧が印加されて、ァドレス放電を生じる。アドレス放電の後に、走査電極 12 aと維持電極 12 bとの間には、パルス電圧が印加されることによって、維持放電が発生する。そして、この放電に伴って放電ガスから紫外線が放出され、放出された紫外線は、上記第 1の蛍光体膜 31および第 2の蛍光体層 32で可視光に変換される。このようにして、 AC型 PDP 1では、セルが点灯し、画像が表示される。

4. A C型 P D P 1の製造方法

次に、上記構造の AC型 P D P 1の製造方法について説明する。 . 4— 1. 前面パネル 10の製造方法 .

表示電極 12は、上述のように、前面ガラス基板 1 1の主表面上に A gを含む電極用ペーストをスクリーン印刷法を用いて塗布し、焼結することによって形成される。表示電極 12の成パターンは、互いに平行なストライプ状とする。

第 1の誘電体層.13は、表示電極 12が形成された前面ガラス基板 1 1の面全体に誘電体ガラス粒子を含むペーストをスクリ一ン印刷法を用いて塗布し、焼結することにより形成される。第 1の誘電体層 1 3の厚みは、 20〃 m程度である。

誘電体保護膜 14は、スパッタリング法などを用いて、第 1の誘電体層 13の表面上を Mg 0の薄膜で覆うことにより形成される。

第 1の蛍光体膜 31は、 EB蒸着法を用いて形成されるが、詳細な形成方法については、後述する。

4-2. 背面パネル 20の製造方法

背面パネル 20におけるァドレス電極 22およぴ第 2の誘電体層 23 の形成方法は、基本的に上述の前面パネル 1 0の場合と同様である。隔壁 30は、第 2の誘電体層 23の面上に隔壁用のガラスペーストをスクリーン印刷法で塗布した後に、焼成することにより形成される。隔壁 30と第 2の誘電体層 23とで形成される溝部分には、上記組成を有する各蛍光体ペーストがスクリーン印刷法により塗布され，焼成されることにより第 2の蛍光体層 32が形成される。第 2の蛍光体層 32の形成領域は，溝部分の底面、つまり第 2の誘電体層 23の面上だけではなく、隔壁 30の壁面にも形成されている。

4-3. 前面パネル 10と背面パネル 20との封着

以上のように製造された前面パネル 1 0と背面パネル 20とは、接合しょうとする部分に封着用のガラス（フリットガラス）を塗布し、仮焼成して封着ガラス層を形成して後、表示電極 1 2とアドレス電極 22とが直交して対向するように重ね合わせて、両パネル 10、 20を加熱して封着ガラス層を軟化させて封着がなされる。

封着によって形成された放電空間 40は、高真空状態（例えば、 1. 0 1 0~⁴P a) まで排気がなされた後、放電ガスが所定圧力で封入される。そして、放電ガスの封入孔が塞がれることによって、 AC型 P D P 1が完成する。

4-4. 第 1の蛍光体膜 31の形成方法

AC型 PDP 1の特徴部分である第 1の蛍光体膜 31の形成方法について、図 4および図 5を用いて説明する。第 1の蛍光体膜 3 1の形成には、上述の第 2の蛍光体層 3 2を形成する場合とは異なり、図 4に示すような E B蒸着装置が用いられる。

図 4に示すように、 E B蒸着装置 9 0は、内部を真空状態にする真空チャンバ一 9 1の中に、蒸着原料 9 2を収容するハース 9 3と、電子ビーム 9 4を出射する電子銃 9 5と、出射された電子ビーム 9 4を集束 - 偏向する集束コィル 9 6と偏向コイル 9 7とを備えている。

これら主要構成部 φ上方には、第 1の蛍光体膜 3 1の形成対象となるガラス基板 9 8が搬送される搬送路（不図示）が備えられており、図中の矢印の方向に一定速度で通過するガラス基板 9 8の下側表面に薄膜結晶の蛍光体が被着される構造となっている。また、搬送路の上方には、ヒー夕（不図示）が取り付けられており、この熱輻射によってガラス基板 9 8が加熱できるようになっている。

この Ε Β蒸着装置 9 0の構成要素の中で、電子銃 9 5は、図 5に示すような構造を有している。

図 5に示すように、電子銃 9 5は、熱発生源であるフイラメント 1 0 1 と、一対の電極であるカソード 1 0 2およびアノード 1 0 3とを備える。電子ビーム 9 4は、加熱されたフイラメント 1 0 1から出射され、力ソード 1 0 2およびアノード 1 0 3で加速されて集束コィル 9 6に向けて放出される。

図 4において、装置内には、蛍光体材料 9 2の蒸気 9 9が搬送路の機器などに被着しないように防着板 1 0 0が設けられている。

第 1 の蛍光体膜 3 1の形成は、上記 Ε Β蒸着装置 9 0を用いて以下のようにして行う。

先ず、形成しょうとする色の上記組成を有する蛍光体材料 9 2をハース 9 3にセットする。蛍光体材料は、前もってペレツト状に加工されている。

次に、このハース 9 3に向けて電子ビーム 9 4を照射し、蛍光体材料 9 2を約 2 0 0 0 °C程度まで加熱して蒸発させる。ハース 9 3から上がつた蒸気 9 9は、装置の上方に上昇してゆき、搬送路中のガラス基板 9 8の露出された面に被着する。ガラス基板 9 8には、予め第 1の蛍光体膜 3 1 を形成しない領域にマスクが設けられている。

照射する電子ビーム 9 4の強度およびガラス基板 9 8の搬送速度は、第 1 の蛍光体膜 3 1の成長レートが約 2 . 0 ( n m/ s ) になるように設定する。電子ビーム 9 4の強度は、力ソード 1 0 2 とアノード 1 0 3 との間の電圧値を一定に保った状態で、電流値により設定される。

なお、上記第 1の蛍光体膜 3 1 の形成にあっては、 E B蒸着法を用いたが、例えば真空蒸着法やスパッタリング法、 C V D法などの気相成長法を用いてもよい。ただし、誘電体保護膜 1 4の面上に第 1の蛍光体膜 3 1 を形成するに当っては、誘電体保護膜 1 4を形成した後、前面パネル 1 0を大気に曝さない状態を維持して蛍光体膜を形成することが望ましい。さらに、ガラス基板の温度も保ったまま、誘電体保護膜 1 4およぴ第 1の蛍光体膜 3 1を形成するようにすれば、良好な結晶性を有する第 1 の蛍光体膜 3 1を形成することが出来る。

また、上述の形成方法では、第 1の蛍光体膜 3 1 を形成する際に、用いる材料毎に雰囲気を最適化することが望ましい。例えば、 S n 0 ₂ ： E uなどの材料を用いて蛍光体層を形成する際には、成長段階における酸素欠陥の発生を抑制するために、酸素を含む雰囲気とすることが必要である。 Z n O ： Z.nなどの材料を用いる際には、還元性の雰囲気とすることが望ましい。

また、 Z n S ： A gでは、酸化性も還元性も示さない減圧雰囲気とすることが望ましい。

ここで、第 1 の蛍光体膜 3 1の形成に衝突励起型の蛍光体材料を用いたのは、上述のように放電領域の近傍である前面パネル 1 0の最表面に蛍光体膜を形成する場合に、電子やイオンが衝突する際のエネルギーによって発光するという特性から、放電領域近傍である前面パネル 1 0の最表面に第 1の蛍光体膜 3 1 を形成する場合、従来の紫外線励起型の蛍光体材料よりも適しているためである。ただし、第 1の蛍光体膜 3 1の形成には、紫外線励起型の蛍光体材料を用いてもかまわない。 4 - 5 . 基板温度と蛍光体膜の結晶性

上記第 1の蛍光体膜 3 1を形成する際に、ガラス基板を加熱する理由について、図 6を用いて説明する。図 6は、第 1の蛍光体膜 3 1 を形成する際のガラス基板の温度と X線回折による（ 1 1 1 ) 配向のピーク強度との関係を示すグラフである。

図 6に示すように、回折強度は、基板温度の上昇に伴い上昇していく。これは、蛍光体を形成する際に、基板の温度が高いほど得られる蛍光体膜の結晶性が高いことを示している。よって、結晶性の高い蛍光体膜を形成するには、ガラス基板やその上に形成されている構成要素に悪影響を及ぼさない範囲で、ガラス基板を加熱しておくことが望ましい。 5 . 第 1の蛍光体膜 3 1 についての考察

5— 1 . 薄膜結晶からなることの優位性

以上のような第 1の蛍光体膜 3 1は、薄膜結晶からなるので、優れた可視光透過率を有し、且つ紫外線から可視光への変換効率も高い。以下では、これら第 1の蛍光体膜 3 1の優位性について、図 7、 8の両図を用いて説明する。図 7は、厚膜形成法を用いて形成された蛍光体粒子群からなる蛍光体層の表面に入射する紫外線の進行経路を示す図であり、図 8は、真空製膜プロセスを経て形成された薄膜結晶からなる蛍光体膜の表面に入射する紫外線の進行経路を示す図である。

図 7に示すように、厚膜形成法を用いて形成された蛍光体層では、蛍光体粒子の最表面にデツドレイヤーが形成される。このデッドレイヤーの部位では、紫外線を吸収しても発光中心にそのエネルギーを伝搬する効率が低い。そのため、可視光への変換効率が低い。中でも、デッドレィヤーの厚い部分に入射された紫外線は、ほとんど発光に寄与しない。これに対して、図 8に示すように、薄膜結晶からなる第 1の蛍光体膜 3 1では、成長初期の層にデッドレイヤーが形成されることがあるものの、膜の最表面には形成されにくい。よって、薄膜結晶からなる第 1の蛍光体膜 3 1 は、上記蛍光体粒子群からなる第 2の蛍光体層 3 2に比べて可視光への変換効率が高い。また、薄膜結晶は、単一固溶体であり、散乱され難いため、可視光透過率が非常に高い。

5 - 2 . 第 1 の蛍光体膜 3 1の膜厚についての考察

次に、上述の第 1の蛍光体膜 3 1の厚みの設定について図 9、 1 0を用いて説明する。図 9は、第 1の蛍光体膜 3 1の膜厚と発光輝度との関係を調べるために作製した評価用のサンプルであり、図 1 0は、このサンプルに 1 4 7 n mのエキシマランプを照射した際に得られる発光輝度を測定した結果を示すグラフである。ここで云う相対輝度とは、従来の蛍光体粒子群からなる蛍光体層の発光輝度を 1 0 0として相対的に示すものである。

図 9に示すように、用いるサンプルは、ガラス基板 1 1 3の面上に可視光反射層 1 1 2を形成し、その上に薄膜結晶からなる蛍光体膜 1 1 1 を形成したものである。

図 1 0に示すように、蛍光体膜 1 1 1の相対輝度は、膜厚が 2 mまでの範囲では膜厚に比例して高くなるが、 2 以上では飽和状態となる。飽和状態における蛍光体層 1 1 1の相対輝度は、約 1 2 0であり、蛍光体粒子群からなる蛍光体層よりも輝度が約 2 0 %優れることが分かる。

従って、蛍光体膜 1 1 1の膜厚は、当該第 1の蛍光体膜 3 1に紫外線を照射した際に十分な発光輝度が得られることと可視光透過率を確保することが両立可能な 2 m付近が最適である。例えば、上記組成の蛍光体材料で薄膜結晶からなる青色の蛍光体膜を形成すると、膜厚が 2 m のときに、 9 7 %と非常に高い可視光透過率を有する。

5 - 3 . A C型 P D P 1 において発光効率が向上するメ力ニズム次に、上記 A C型 P D P 1 において発光効率が向上するメカニズムについて、図 1 1 を用いて説明する。

A C型 P D P 1 において、放電ガスから放出された紫外線は、放電空間 4 0の全方向に向けて進行する。図 1 1では.、便宜上、第 1の蛍光体膜 3 1の方に向かって進行するものを矢印 U 1、 '第 2の蛍光体層 3 2の方に向かって進行するものを矢印 U 2で示している。

図 1 1おいて、矢印 V 1は、第 1の蛍光体膜 3 1で矢印 U 1の紫外線が変換されて前面パネル 1 0を通過する可視光を示し、矢印 V 2は、第 2の蛍光体層 3 2で矢印 U 2の紫外線が変換されて前面パネル 1 0を通過する可視光を示している。この矢印 V 1 と矢印 V 2の可視光が、実際に A C型 P D P 1の発光効率に寄与するものである。

上記従来の A C型 P D Pでは、矢印 U 1で示す紫外線が蛍光体層によつて可視光に変換されることなく前面パネルに吸収されてしまう。

これに対して， A C型 P D P 1では、矢印 U 1の紫外線が第 1の蛍光体膜 3 1 によって、矢印 V 1の可視光に変換されて後、パネルの外部に放出される。

さらに、第 1 の蛍光体膜 3 1は、上述のように、可視光透過率が高いので、 '矢印 U 2の紫外線による発光が矢印 V 2として無駄なく外部に放出でき、高い発光効率を有する。

以上のように、 A C型 P D P 1では、前面パネル 1 0に第 1の蛍光体膜 3 1 を形成することによって、放電によって生じた紫外線を効率よく可視光に変換できるとともに、変換された可視光を効率よく外部に放出することが出来る。よって、この A C型 P D P 1 は、従来の A C型 P D Pに比べて発光効率が高い。

5 - 4 . 青色蛍光体層の一例

八型？ 0 1 における発光効率が、従来の A C型 P D Pに対して優位性を示す具体例について、図 1 2を用いて説明する。図 1 2は、青色の蛍光体膜において、前面パネルに形成する第 1 の蛍光体膜 3 1 の膜厚と、パネルの相対輝度との関係を示すグラフである。図中において、相対輝度とは、蛍光体粒子群からなる蛍光体層を背面パネルのみに備える従来の A C型 P D Pの輝度を 1 0 0としたときの相対値である。

図 1 2に示すように、前面パネル（第 1の蛍光体膜）の可視光透過率は、膜厚が増していくのに従って、低下してくる。例えば、膜厚が 2〃 mのときに約 9 7 %である可視光透過率は、膜厚が 6 mのときには約 85 %まで低下する。

この可視光透過率と第 1の蛍光体膜の相対輝度とから算出されるパネル全体としての相対輝度は、図中の丸印で示されている。図 1 2からも分かるように、パネル全体としての相対輝度は、膜厚が約 2 mのときにピーク値を有し、膜厚が増すに従って徐々に低下している。膜厚が 2 mのときの相対輝度は、以下の通りとなる。

第 1の蛍光体膜 3 1を前面パネルに備える AC型 P D P 1では、前面パネルの可視光透過率が 97 %、 U 1 / (U 1 +U 2) が 30%であると仮定すれば、可視光放出率が、 97 % X 70 %+ 30 %= 97. 9 % となる。

なお、可視光放出率とは、紫外線から変換されうる可視光の内、実際に前面パネルから外部に放出される可視光の比率である。

これに対して、前面パネルに蛍光体層を備えない従来の AC型 P D P では、前面パネルの可視光透過率が 1 00 %、 U 2が 70%であると仮定すれば、可視光放出率が、 1 00 % X 70 %= 70 %となる。

従って、前面パネル 1 0に膜厚 2 mの第 1の蛍光体膜 3 1を備える AC型 P DP 1 は、従来の AC型 P D Pに比べて、可視光放出率が約 4 0%高く .、発光効率も同様に約 40%高い。

6. 実施の形態 1の変形例

上記 AC型 P D P Iでは、赤色、緑色、青色の全てのセルにおいて、前面パネル 1 0に第 1の蛍光体膜 3 1を有するものとしたが、必ずしも全色のセルついて第 1の蛍光体膜 3 1を形成する必要はない。例えば、上記 AC型 PD P 1では、特定の色の発光セルの前面パネル 1 0側に第 1の蛍光体膜 3 1を設けることによって、その色の輝度を向上させ、ノネルを白表示させるときの色温度を高くすることも出来る。

例えば、前面パネルにおいて第 1の蛍光体膜 3 1を形成するのは、一般的に可視光変換率の低い蛍光体を用いる青色のセルだけであっても良い。図には示していないが，これについて本発明者が AC型 PDPに各色の発光セルを同一条件で点灯させた際の白色の色温度を確認したところ、 1000 OKであった。これは、同一の条件で点灯させた上記従来の AC型 PDPでは、 6000 Kであったが、パネル特性として最適な色温度 1 1 000 Kに近く、色温度補正による輝度低下を抑えることが可能となった。

ただし、第 1の蛍光体膜 31の形成にあっては、各色の蛍光体膜に用いる蛍光体の組成および特性を考慮した上で、パネルの輝度および全体として適当な色温度となるように設定することが必要である。

また、上記では、 AC型 PDPを一例に、薄膜結晶からなる蛍光体膜の形成方法およびこれを有する P D Pの優位性について説明してきたが、 D C型 P D Pにも適用可能である。

(実施の形態 2)

実施の形態 2に係る AC型 P D P 2について、図 1 3を用いて説明する。図 1 3は、 1つの発光セルに相当する部分のみを示す AC型 P D P 2の断面図である。

図 1 3に示すように、 A C型 P D P 2において形成されている蛍光体膜（層）は、前面パネル 1 0の表面上に形成された第 1の蛍光体膜 3 1 だけである。つまり、背面パネル 20および隔壁 30には、蛍光体膜（層）が形成されていない。

AC型 PDP 2は、この点を除いて、上記 AC型 P D P 1と同様の構造を有し、同様の方法を用いて製造される。

なお、図示はしていないが、第 1の蛍光体膜 31が切欠部 31 aを有している点も上記 AC型 P D P 1と同様である。

この AC型 PDP 2は、従来の蛍光体粒子群からなる蛍光体層を背面パネル 20や隔壁 30の面上に形成しなくても、十分に高い輝度が得られる。これは、上述のように、薄膜結晶からなる蛍光体膜が、蛍光体粒子群からなる蛍光体層に比べて高い発光効率を有することから実現出来るものである。

また、この AC型 PDP 2は、表面上に隔壁 30を突設した後の背面パネル 20に蛍光体の塗布や焼成をすることなくパネルを製造出来るので、製造コスト面で優位性を有する。

なお、上記実施の形態 1、 2では、第 1の蛍光体膜 31を前面パネル 10の最表面、つまり放電空間 40に面する誘電体保護膜 14の面上に形成したが、図 14に示すように、第 1の蛍光体膜 31を第 1の誘電体層 1 3と誘電体保護膜 14の間に揷設しても良い。

このようにすれば、二次電子放出特性に優れた誘電体保護膜 14が放電空間 40に露出されるので、第 1の蛍光体膜 31には、表示電極 12 に対応する部分に切欠部 31 aを形成しなくても放電が妨げられることがない。

従って、第 1の蛍光体膜 31に切欠部 3 1 aを形成する必要がなくなり、第 1の蛍光体膜 31の表面積が増大される。これによつて、 AC型 PDPでは、より高輝度が実現される。

なお、上記 AC型 PDP 2では、背面パネル 20の第 2の誘電体層 2 3の面上に何も形成しなかったが、面上に可視光を前面パネル 1 0の方に反射するような可視光反射層を形成するか、あるいは第 2の誘電体層 23に T i O₂を混入するなどにより、可視光を反射させる機能を持たせることで、前面パネル 10での発光が背面パネル 20側に無駄に放出されることなく前面パネル 10側に取り出すことが可能となるので、ノ、 ° ネルの発光輝度がその分向上する。可視光反射層が形成された背面パネル 20では、可視光反射率（背面パネルに入力された可視光の内、反射される可視光の割合）が 85%以上となっている。

(実施の形態 3)

実施の形態 3に係る AC型 PDP 3について、図 15を用いて説明する。

図 1 5に示すように、 AC型 PDP 3と上記 AC型 P DP 2とは、第 1の蛍光体膜 3 1が前面パネル 10のみに形成されている点では同様であるが，前面パネル 1 0にアドレス電極 22および第 2の誘電体層 23 が形成され、背面パネル 20に表示電極 1 2、第 1の誘電体層 1 3およぴ誘電体保護膜 14が形成されている点で異なる。この構造を採用するにあたって、ァドレス電極 2 2および第 2の誘電体層 2 3は、可視光の透過を妨げないように可視光透過率の高い材料から形成されている。具体的に、ァドレス電極 2 2には、 I T O ( I n d i u m T i n O x i d e ) や S n O ₂などの透明電極を用い、第 2 の誘電体層 2 3には、酸化鉛を主成分とする鉛ガラスを用いる。ここで、アドレス電極 2 2は、パネルの短辺方向に形成されているとともに、表示電極 1 2に比べて小さな電流しか流されることがないので、電気抵杭が大きくても上記データドライバ 1 4 3に接続された側とは反対側の電極端部における電圧降下が小さい。従って、アドレス電極 2 2を I T Oだけで形成しても、実質的にアドレス放電が影響を受けることがないまた、第 2の誘電体層 2 3の表面上に形成されている第 1の蛍光体膜 3 1 は、前面パネル 1 0の内部に表示電極 1 2を有していないので、上述のような切欠部 3 1 aが形成されていない。つまり、第 1の蛍光体膜 3 1 は、可視光が透過する全域に形成されている。

従来、前面パネル 1 0に形成されている表示電極 1 2は、電気抵抗を小さくするために透明電極上に金属材料からなるバス電極を併設している。これにより、発光セル内で発生した可視光の一部が遮られていた。これに対して、上記 A C型 P D P 3では、表示電極 1 2が背面パネル 2 0に形成されているので、前面パネルからパネル外部に出て行く可視光が表示電極 1 2によって遮られない。よって、 A C型 P D P 3は、輝度向上および発光効率の向上に有利である。

また、上記 A C型 P D P 3では、表示電極 1 2および誘電体保護膜 1 4が第 1の蛍光体膜 3 1 と別のガラス基板に形成されているため、第 1 の蛍光体膜 3 1 に切欠部を設ける必要がないので大きな表面積を確保出来る上、誘電体保護膜 1 4が直接放電空間 4 0に面するように形成されているので、放電特性が犠牲にならずに、且つ輝度が高い。例えば、 4 ィンチクラスの N T S Cパネルでは、全セル面積に対して 7 0 %近い面積を表示電極が占めている。これより、このパネルに上記 A C型 P D P 3の構造を採用した場合には、上述の AC型 PDP 1、 2のように前面パネルに表示電極を構成する場合に比べて、切欠部がないため約 3倍の発光輝度が得られることになる。

また、上述の A C型 P D P 1、 2で、前面パネル 1 0の第 1の蛍光体膜 31を第 1の誘電体層 13と誘電体保護膜 14との間に形成し、切欠部 31 aを設けない構造の場合と比較しても、本実施の形態における A C型 PDPでは、前面パネル 1 0に可視光を遮る金属材料の電極が形成されないので、有利である。

よって、この AC型 PDP3では、パネル全体としての発光効率が向上可能であるとともに、上述と同様に、高い発光輝度が確保可能であるなお、上記の実施の形態 2、 3では、背面パネル 20の面上並びに隔壁 30の面上に第 1の蛍光体膜 31および第 2の蛍光体層 32の何れも形成しなかったが、パネルの発光効率をより高める場合には、この部位にも蛍光体を形成することが有効である。ただし、実施の形態 3で背面パネル 20に第 1の蛍光体膜 31あるいは第 2の蛍光体層 32を形成する場合には、上記切欠部 31 aを形成しておくことが望ましい。

(実施の形態 4)

実施の形態 4に係る AC型 P D P 4について、説明する。

なお、 AC型 PDP4は、従来の AC型 P D Pと類似の構造を有するので、図示を省略し、その相違点のみを説明する。

A C型 P D P 4が従来の AC型 P D Pと異なる点は、従来蛍光体粒子群からなる蛍光体層が形成されていた背面パネルに、薄膜結晶の蛍光体膜で構成されている点である。

このような構造を有する AC型 PDP4では、発光効率の高い蛍光体膜の形成されている領域が上記 AC型 PDP 2、 3より広いため、パネルの発光効率の点で優れる。

さらに、可視光反射層における第 1の蛍光体膜 31の内側に凹凸を設けておけば、第 1の蛍光体膜 31の実効表面積を広くすることが出来るので効果的である。

なお、可視光反射層は、上記実施の形態 2のものと同様のものであるこのように、可視光を反射させる機能を持つ AC型 PDP4では、前面パネル 10での発光が背面パネル 20側に無駄に放出されることなく前面パネル 1 0側に取り出すことが可能となるので、パネルの発光輝度がその分向上する。可視光反射層が形成された背面パネル 20では、可視光反射率（背面パネルに入力された可視光の内、反射される可視光の割合）が 85 %1 ^上となる。

この凹凸は、例えば可視光反射層の表面を階段状にしたり、複数の突起などを形成したりすることで、平滑面の面積より広くすることが可能である。

なお、 AC型 P D P 4の背面パネル 20と、上記 AC型 PDP 1の前面パネル 10との組み合わせにより得られる AC型 PDPは、さらなる輝度向上が得られ、優れたパネル特性を示す。

また、表示電極 12の形成箇所については、前面パネル 10のみに限定されるものではなく、上記実施の形態 3のように背面パネル 20側に形成されているものであっても良い。

以上の実施の形態 1〜4では、 AC型 PDPを一例に説明をしてきたが、. A C型 P DPに限らず DC型 P DPに上記構造を適用した場合にも、同様の効果を得ることが出来る。産業上の利用の可能性

本発明にかかる PD Pおよびその製造方法は、コンピュータやテレビ等のディスプレイ装置、特に高詳細 · 高輝度のディスプレイ装置を実現するのに有効である。

Claims

請求の範囲

1 . 対向配置された前面パネルと背面パネルとの間隙に、複数の発光セルが形成されてなるプラズマディスプレイパネルにおいて、

少なくとも一部領域には、薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜が形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。

2. 前記結晶蛍光体膜が形成されているのは、前記前面パネルにおける少なくとも一部の発光セル相当部位である

ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のプラズマディスプレイパネル。

3. 前記結晶蛍光体膜は、可視光透過率が少なくとも 8 5 %となるような膜厚を有する

ことを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のプラズマディスプレイパネル。

4. 前記複数の発光セルは、赤色発光セル群および緑色発光セル群および青色発光セル群から構成されており、

前記結晶蛍光体膜は、前記三つの発光セル群の内、一つまたは二つの発光セル群相当部位に形成されている

ことを特徴とする請求の範囲第 3項に記載のプラズマディスプレイパネル。

5. 前記結晶蛍光体膜が形成されている前面パネル部位は、緑色発光セル群と青色発光セル群の相当位である ' ことを特徴とする請求の範囲第 4項に記載のプラズマディスプレイパネル。

6. 前記結晶蛍光体膜が形成されている前面パネル部位は、青色発光セル群の相当部位である

ことを特徴とする請求の範囲第 4項に記載のプラズマディスプレイパネル。

7. 前記前面パネルは、前面基板上に複数の電極が配され、前記電極が配された前面基板上に誘電体層と保護膜とが積層されてなり、

前記結晶蛍光体膜は、前記保護膜の面上、または前記誘電体層と保護膜との層間に形成されている

8. 前記結晶蛍光体膜は、前記保護膜の面上に形成されており、前記電極の相当部位に切欠部を有する

ことを特徴とする請求の範囲第 7項に記載のプラズマディスプレイパネル。

9. 前記背面パネル上に形成された隔壁およぴ背面パネルの少なくとも一方における前記発光セル相当部位には、蛍光体粒子群からなる蛍光体層が形成されている

1 0. 前記結晶蛍光体膜と蛍光体粒子群からなる蛍光体層とは、異なる組成の蛍光体材料から形成されている

ことを特徴とする請求の範囲第 9項に記載のプラズマディスプレイパネル。

1 1 . 前記結晶蛍光体膜の形成に用いる材料は、衝突励起型の蛍光体材料である

ことを特徴とする請求の範囲第 1 0項に記載のプラズマディスプレイパネル。

1 2. 前記背面パネルは、背面基板上に複数の電極が配され、前記電極が配された背面基板上に誘電体層が形成されてなり、

前記誘電体層は、間に前記結晶蛍光体膜あるいは蛍光体粒子群からなる蛍光体層の何れをも介することなく、前記発光セルの内部空間に面する

ことを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のブラズマディスプレイパネル。

1 3. 前記背面パネル上に形成された隔壁は、間に前記結晶蛍光体膜あるいは蛍光体粒子群からなる蛍光体層の何れをも介することなく、前記発光セルの内部空間に面する

ことを特徴とする請求の範囲第 1 2項に記載のプラズマディスプレイパネル。

1 4. 前記背面パネル上に形成された隔壁の前記発光セル相当部位には、蛍光体粒子群からなる蛍光体層あるいは薄膜結晶からなる蛍光体膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第 1 2項に記載のプラズマディスプレイパネル。

1 5. 前記背面パネルは、少なくとも 8 5 %の可視光反射率を有する

ことを特徴とする請求の範囲第 1 2項から第 1 4項の何れかに記載のプラズマディスプレイパネル。

1 6. 前記誘電体層の面上、あるいは、層内には、可視光反射の機能を有する領域が形成されている

ことを特徴とする請求の範囲第 1 2項から第 1 5項に記載のプラズマディスプレイパネル。

1 7. 前記前面パネルがァドレス電極を有し、且つ前記背面パネルが表示電極を有している

1 8. 対向配置された前面パネルと背面パネとの間隙に、複数の発光セルが形成されてなるプラズマディスプレイパネルにおいて、 - 前記背面パネルは、電極を有しており、

前記背面パネルにおける前記電極上には、可視光を前記前面パネル側に反射する機能を有する領域を介して、薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜が形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。

1 9. 前記可視光反射層における前記結晶蛍光体膜が形成されている側の面には、実効表面積を広げるように凹凸が形成されている

ことを特徴とする請求の範囲第 1 8項に記載のプラズマディスプレイパネル。

2 0. 前面パネルおよび背面パネルの内の少なくとも一方に、薄膜結晶からなる蛍光体膜を形成する蛍光体膜形成ステップを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、

前記蛍光体膜形成ステップでは、前記蛍光体膜が、減圧雰囲気下での真空製膜プロセスを経て形成される

ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 1 . 前記蛍光体膜形成ステップにおいて、前記蛍光体膜を形成するのは、前記前面パネルである

ことを特徴とする請求の範囲第 2 0項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 2. 前記蛍光体膜形成ステップでは、気相成長法を用いて前記薄膜結晶を成長させ、前記蛍光体膜を形成する

ことを特徴とする請求の範囲第 2 1項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 3. 前記蛍光体膜形成ステップで用いられるのは、真空蒸着法およびスパッタリング ¾および C V D法の中から選ばれる 1の方法であ'る

ことを特徴とする請求の範囲第 2 2項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 4. 前記蛍光体膜形成ステップは、酸素を含む減圧雰囲気下で実施されることを特徴とする請求の範囲第 2 2項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 5. 前記蛍光体膜形成ステップは、還元性の減圧雰囲気下で実施されることを特徴とする請求の範囲第 2 2項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 6. 当該プラズマディスプレイパネルの製造方法は、前面パネルを形成するステップを有し、

前記前面パネルを形成するステップは、保護膜を形成するサブステップを有し前記保護膜を形成するサブステップと蛍光体膜形成ステップとは、ステップ間に他の工程を介することなく連続して実施される

ことを特徴とする請求の範囲第 2 0項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 7. 前記蛍光体膜形成ステップと前記保護膜を形成するサブステップとは、前記前面パネルを大気に曝すことがないような状態を維持して実施されることを特徴とする請求の範囲第 2 6項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

2 8. 前記蛍光体膜形成ステップの前記真空製膜プロセスにおいて、少なくとも蛍光体膜を形成しょうとする領域を加熱する

ことを特徴とする請求の範囲第 2 0項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 ' '

2 9. 前面パネルに第 1の蛍光体層を形成する第 1のステップと、背面パネルに第 2の蛍光体層を形成する第 2のステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法において、

前記第 1のステツプおよぴ第 2のステップの内、

一方のステップは、薄膜結晶からなる結晶蛍光体膜を形成するステップであり、

他方のステップは、蛍光体粒子群からなる蛍光体層を形成するステップである

3 0. 請求の範囲第 2 0項から請求の範囲第 2 9項の何れかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法を用いて作製されたプラズマディスプレイパネル

3 1 . 請求の範囲第 3 0項の特徴を有するプラズマディスプレイパネルと、これを駆動するための駆動回路とを備えるプラズマディスプレイパネル表示装置。

3 2. 請求の範囲第 1項から請求の範囲第 1 9項の何れかに記載のプラズマディスプレイパネルと、これを駆動するための駆動回路とを備えるプラズマディスプレイパネル表示装置。