WO2002053806A3 - Procede et dispositif de revetement electrochimique - Google Patents

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Karl-Heinz Heckner
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Alexander Kraft
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Abstract

L'invention concerne un procédé et un dispositif permettant de déposer par voie électrochimique de fines couches d'épaisseur pratiquement homogène, sur des substrats de grande surface, à résistances relativement élevées. Ces couches minces sont par exemple des couches de métal, d'oxyde de métal ou à semi-conducteurs, ainsi que des couches de polymères conducteurs déposés par ex. sur des électrodes ou des substrats à semi-conducteurs transparents. La contre-électrode prévue pour le substrat à recouvrir est répartie en plusieurs segments d'électrode et des tensions différant entre elles peuvent être appliquées entre chaque segment individuel d'électrode et le substrat à recouvrir. Ce procédé permet d'obtenir une bonne homogénéité des couches minces déposées, en termes d'épaisseur et de propriétés physiques.
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