WO2001075788A1 - Herstellungsverfahren für laminierte chipkarten - Google Patents

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WO2001075788A1
WO2001075788A1 PCT/DE2001/001332 DE0101332W WO0175788A1 WO 2001075788 A1 WO2001075788 A1 WO 2001075788A1 DE 0101332 W DE0101332 W DE 0101332W WO 0175788 A1 WO0175788 A1 WO 0175788A1
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chip card
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Erik Heinemann
Frank PÜSCHNER
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Infineon Technologies Ag
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    • Y10T29/49165—Manufacturing circuit on or in base by forming conductive walled aperture in base

Definitions

  • the present invention relates to a particularly cost-effective production method for a chip card laminated from paper or film.
  • Chip cards are now also used for applications that are limited to a certain time or in which the chip card can only be used a few times.
  • An example of this is a telephone prepaid card, in the chip of which a certain number of telephone units are stored for consumption. Since the individual chip card does not provide any independent use in such applications and has only a memory content of low value, the chip card itself may only make up a small part of the purchase price, which is to be kept low, for reasons of economy. It is therefore sought for card material, card structure and manufacturing methods with which the chip card can be manufactured as inexpensively as possible.
  • W095 / 21423 describes chip cards that can be produced from paper, in which a chip card module is laminated into paper layers.
  • the chip card module contains at least one semiconductor chip with an integrated circuit and its electrical connections according to the chip card standard.
  • conductor tracks functioning as antennas are attached in the chip card module and are electrically conductively connected to the semiconductor chip.
  • the production of the laminate uses the usual techniques of paper production. The different layers are glued and pressed together; Cutouts in the paper are punched or milled to accommodate the chip card module.
  • the chip card module, including the connection contacts and a carrier element for the semiconductor chip is produced independently of the paper layer laminate.
  • WO 97/18531 describes a chip card in which a plastic layer with an IC chip laminated therein is connected to an insulating layer as a substrate printed on both sides with conductors such that the connections of the IC chip with the conductors facing it on the insulating layer are electrically connected.
  • EP 0 706 152 A2 describes a chip card and a production method in which the chip is mounted on conductors which are attached to a film and is built into a core film and on the back without producing a module using flip-chip technology an outer film is laminated. Vias to external contacts are present in the film.
  • WO 97/27564 describes a chip card with a laminated chip module, which is produced by means of heatable laminating roller pairs.
  • the object of the present invention is to provide a production method with which the inexpensive production of chip cards in large numbers is possible.
  • the chip card produced according to the invention is made of at least two layers of a thin carrier material such as. B. laminated paper or foil, one layer each carrying the semiconductor chip provided for a chip card and the second layer having connection contacts and conductor tracks or external connection surfaces which are provided for signal and energy transmission.
  • the semiconductor chips are attached in one layer so that their contacts the other Layer facing.
  • the layers are connected to one another in such a way that the contacts of the semiconductor chips are electrically conductively connected to the connection contacts of the other layer. In the case of a chip card provided with external connection surfaces, these are for contacting the
  • connection contacts and the external connection surfaces arranged on two opposite sides of a layer An electrically conductive connection between them takes place through cutouts or openings in the carrier material of this layer.
  • the chip cards can thus be produced without inserting a chip card module, the carrier materials in particular being unwound as strips or webs of rolls and being fed to a device for producing laminates which is known in principle from paper production.
  • FIG. 1 schematically shows an arrangement for producing a chip card with external connection areas.
  • Figure 2 shows schematically an arrangement for producing a contactless chip card.
  • the carrier materials 1, 2 provided for the at least two layers are shown in a side view in an arrangement for producing the chip cards.
  • a semiconductor chip 6 is used in the first carrier material 1, which is provided for the first layer of the chip card.
  • a multiplicity of chip cards are produced from a strip or a web of the carrier material, which are only separated after the carrier materials 1, 2 have been connected.
  • an arrangement with only one semiconductor chip 6 in the first carrier material 1 is drawn in cross section in FIG. This semiconductor chip 6 is to be thought of to the left and right and possibly also into the drawing plane adjacent to further semiconductor chips, which are each provided for further chip cards.
  • Each semiconductor chip 6 is arranged in the first carrier material 1, preferably inserted into a recess.
  • This cutout can completely break through the thin carrier material 1; or there is only one recess which leaves the rear upper side 11 of the first carrier material 1 intact. Further layers for covering the semiconductor chip from the back can also be applied to this rear upper side 11 or can be applied in a final manufacturing step.
  • Connection contacts 3 with which the contacts of the semiconductor chip 6 in the manufacture of the laminate via electrical Conductive connections 7 (eg so-called bumps made of a soft solder such as NiAu) are connected in or on the side of the second carrier material 2 facing the semiconductor chip 6.
  • electrical Conductive connections 7 eg so-called bumps made of a soft solder such as NiAu
  • connection surfaces 4 which are for external
  • connection contacts of a terminal on the outer top 11 facing away from the semiconductor chip 6 of the second carrier material 2.
  • connection contacts 5 there is electrically conductive material in openings which are in the second carrier material 2 before the application of the the connection contacts and the connection surfaces 4 provided electrically conductive materials are produced.
  • the first carrier material 1 forms a first layer with the semiconductor chips 6 mounted therein and the second carrier material 2 forms the second layer 2 with the connection contacts 3 provided for electrical connections, the electrically conductive connections 5 provided in the openings and the external connection surfaces 4th
  • the carrier materials 1, 2 are unwound in the arrangement of rolls 12 shown in FIG. 1, as is also the case with paper and cardboard production with so-called endless roll formats.
  • the further transport of the interconnected carrier materials is indicated in FIG. 1 by the rollers 13 shown, which press the laminate consisting of the layers together during transport and which are preferably arranged at different points along the path of the carrier material in the device.
  • These rollers can be provided with heating devices which heat the carrier material in such a way that an adhesive layer, for example an adhesive layer, is applied between the carrier materials.
  • an adhesive layer for example an adhesive layer
  • connection contacts 7 For the production of the electrically conductive connections 7 between the contacts of the semiconductor chip 6 and the connection contacts 3, heating can also take place via a heating part pressed on from the outside, here also preferably a rolling heating roller.
  • the chip card produced according to the invention is therefore composed of at least two layers, although modifications with a larger number of layers are within the scope of the invention. It is essential that the semiconductor chip is integrated directly into a layer as an IC chip.
  • the electrical conductors for the connection are installed in or on a further layer. Paper or film in continuous roll format is particularly suitable as the carrier material.
  • the connection contacts and / or connection surfaces provided on the second layer can preferably be produced in an endless screen printing process, with which, for example, an electrically conductive paste is applied in a thin layer and thereby structured.
  • the connection of the contacts of the IC to the connection contacts of the second layer is carried out similarly to the method of flip chip mounting of semiconductor chips known per se.
  • a filling compound 8 can be present between the semiconductor chip 6 and the second layer formed by the second carrier material 2, which preferably consists of an anisotropically electrically conductive material is formed.
  • the material is aligned in such a way that the greatest conductivity is present in the direction of the intended conductive connections 7, while the conductivity transverse to this direction, that is to say in the plane of the connection of the carrier materials 1, 2, is as low as possible in order to avoid short circuits between the to avoid different contacts.
  • Isotropically conductive or insulating fillers 8 can also be used, it being advantageous if these fillers undergo at least a slight shrinkage after the application and connection of the carrier materials 1, 2, so that the electrically conductive connections 7 to the contacts of the semiconductor chip 6 and the connection contacts 3 of the second layer 2 are pressed on and in this way a sufficiently strong ke, non-positive electrically conductive connection 7 is achieved.
  • a contactless chip card can be produced according to the invention in a manner analogous to this exemplary embodiment. Then, instead of the connection surfaces 4 applied to the second carrier material 2, a conductor track 10 (see FIG. 2) is applied and structured on the inner surface provided with the connection contacts 3. Such a conductor track 10 can be designed spirally as a coil, which is provided as an antenna for signal transmission and energy transmission.
  • the other components and the manufacturing method of this chip card according to FIG. 2 correspond to the chip cards previously shown with reference to FIG. 1.
  • the second carrier material 2 is preferably only on the
  • the laminate can consist of more than two layers.
  • the configurations according to FIGS. 1 and 2 can also be combined with one another, for example if a chip card is desired that is suitable for both external electrical connection and contactless use.

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Abstract

Die Chipkarte ist aus mindestens zwei Schichten (1, 2) Papier oder Folie als Trägermaterial laminiert, wobei eine Schicht den Halbleiterchip (6) trägt und die zweite Schicht Anschlusskontakte (3) sowie Leiterbahnen oder externe Anschlussflächen (4) aufweist. Die Kontakte der Halbleiterchips sind elektrisch leitend (7) mit den Anschlusskontakten (3) der zweiten Schicht verbunden. Es sind keine Chipmodule zur Herstellung der Chipkarten erforderlich. Mit ICs und Kontakten versehenes Trägermaterial im Endlosrollenformat kann wie bei der Papierherstellung laminiert werden.

Description

Beschreibung
Herstellungsverfahren für laminierte Chipkarten
Die vorliegende Erfindung betrifft ein besonders kostengünstiges Herstellungsverfahren für eine aus Papier oder Folie laminierte Chipkarte .
Chipkarten sind mittlerweile auch für Anwendungen im Ge- brauch, die auf eine bestimmte Zeit begrenzt sind oder bei denen die Chipkarte nur wenige Male benutzt werden kann. Ein Beispiel dafür ist eine Telefonwertkarte, in deren Chip eine gewisse Anzahl von Telefoneinheiten zum Verbrauch gespeichert ist. Da die einzelne Chipkarte bei derartigen Anwendungen keinen eigenständigen Nutzen bringt und nur einen Speicherinhalt geringen Wertes aufweist, darf aus Gründen der Wirtschaftlichkeit die Chipkarte selbst nur einen geringen Anteil an dem ohnehin niedrig zu haltenden Kaufpreis ausmachen. Es wird daher nach Kartenmaterial, Kartenaufbau und Herstel- lungsmethoden gesucht, mit denen die Chipkarte möglichst kostengünstig hergestellt werden kann.
In der W095/21423 sind aus Papier herstellbare Chipkarten beschrieben, bei denen ein Chipkartenmodul in Papierschichten einlaminiert wird. Der Chipkartenmodul enthält mindestens einen Halbleiterchip mit einer integrierten Schaltung sowie deren elektrische Anschlüsse nach der Chipkartennorm. Bei kontaktlos arbeitenden Chipkarten sind in dem Chipkartenmodul als Antenne fungierende Leiterbahnen angebracht, die mit dem Halbleiterchip elektrisch leitend verbunden sind. Die Herstellung des Laminates macht von den üblichen Techniken der Papierherstellung Gebrauch. Die verschiedenen Schichten werden zusammengeklebt und zusammengepresst ; Aussparungen im Papier werden gestanzt oder gefräst, um den Chipkartenmodul aufzunehmen. Der Chipkartenmodul, einschließlich der Anschlusskontakte und eines Trägerelementes für den Halbleiter- chip, wird unabhängig von dem Papierschichtlaminat hergestellt.
In der WO 97/18531 ist eine Chipkarte beschrieben, bei der eine Plastikschicht mit einem darin einlaminierten IC-Chip mit einer doppelseitig mit Leitern bedruckten isolierenden Schicht als Substrat so verbunden ist, dass die Anschlüsse des IC-Chips mit den ihm zugewandten Leitern auf der isolierenden Schicht elektrisch leitend verbunden sind.
In der EP 0 706 152 A2 sind eine Chip-Karte und ein Herstellungsverfahren beschrieben, bei dem der Chip ohne Herstellung eines Moduls in Flip-Chip-Technik auf Leitern, die auf einer Folie angebracht sind, montiert und rückseitig in eine Kern- Folie sowie eine äußere Folie einlaminiert ist. In der Folie sind Durchkontaktierungen zu externen Kontakten vorhanden.
In der WO 97/27564 ist eine Chipkarte mit einlaminiertem Chipmodul beschrieben, die mittels beheizbarer Laminierwal- zenpaare hergestellt wird.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Herstellungsverfahren anzugeben, mit dem die kostengünstige Herstellung von Chipkarten in großer Stückzahl möglich wird.
Diese Aufgabe wird mit dem Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst . Ausgestaltungen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Die erfindungsgemäß hergestellte Chipkarte ist aus mindestens zwei Schichten eines dünnen Trägermaterials wie z. B. Papier oder Folie laminiert, wobei eine Schicht jeweils den für eine Chipkarte vorgesehenen Halbleiterchip trägt und die zweite Schicht Anschlusskontakte sowie Leiterbahnen oder externe An- schlussflächen, die für eine Signal- und Energieübertragung vorgesehen sind, aufweist. Die Halbleiterchips werden in der einen Schicht so angebracht, dass ihre Kontakte der anderen Schicht zugewandt sind. Die Schichten werden so miteinander verbunden, dass die Kontakte der Halbleiterchips elektrisch leitend mit den Anschlusskontakten der anderen Schicht verbunden werden. Im Falle einer mit externen Anschlussflächen versehenen Chipkarte sind die für eine Kontaktierung der
Halbleiterchips vorgesehenen Anschlusskontakte und die externen Anschlussflächen auf zwei einander gegenüberliegenden Seiten einer Schicht angeordnet . Eine elektrisch leitende Verbindung dazwischen erfolgt durch Aussparungen oder Durch- brüche in dem Trägermaterial dieser Schicht. Die Chipkarten können so ohne Einsetzen eines Chipkartenmoduls hergestellt werden, wobei insbesondere die Trägermaterialien als Streifen oder Bahnen von Rollen abgewickelt und einer im Prinzip von der Papierherstellung her bekannten Vorrichtung zur Herstel- lung von Laminaten zugeführt werden können.
Es folgt eine genauere Beschreibung von Beispielen des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren anhand der Figuren 1 und 2.
Figur 1 zeigt schematisch eine Anordnung zur Herstellung ei- ner Chipkarte mit externen Anschlussflächen.
Figur 2 zeigt schematisch eine Anordnung zur Herstellung einer kontaktlosen Chipkarte .
In Figur 1 sind die für die beiden mindestens vorhandenen Schichten vorgesehenen Trägermaterialien 1, 2 in einer seitlichen Ansicht in einer Anordnung zur Herstellung der Chipkarten dargestellt. In dem ersten Trägermaterial 1, das für die erste Schicht der Chipkarte vorgesehen ist, ist ein Halbleiterchip 6 eingesetzt. Bei einem bevorzugten Herstellungs- verfahren wird aus einem Streifen oder einer Bahn des Trägermaterials eine Vielzahl von Chipkarten hergestellt, die erst nach dem Verbinden der Trägermaterialien 1, 2 vereinzelt werden. Der Einfachheit halber ist in Figur 1 eine Anordnung mit nur einem Halbleiterchip 6 in dem ersten Trägermaterial 1 im Querschnitt gezeichnet. An diesen Halbleiterchip 6 sind nach links und rechts und gegebenenfalls auch in die Zeichenebene hinein angrenzend weitere Halbleiterchips zu denken, die jeweils für weitere Chipkarten vorgesehen sind. Jeder Halbleiterchip 6 ist in dem ersten Trägermaterial 1 angeordnet, vor- zugsweise in eine Aussparung eingesetzt. Diese Aussparung kann das dünne Trägermaterial 1 vollständig durchbrechen; oder es ist nur eine Ausnehmung vorhanden, die die rückwärtige Oberseite 11 des ersten Trägermaterials 1 unversehrt lässt. Es können auf dieser rückwärtigen Oberseite 11 auch weitere Schichten zur Abdeckung des Halbleiterchips von der Rückseite her aufgebracht sein oder in einem abschließenden Herstellungsschritt aufgebracht werden.
Anschlusskontakte 3, mit denen die Kontakte des Halbleiter- Chips 6 bei der Herstellung des Laminates über elektrisch leitende Verbindungen 7 (z. B. sogenannte Bumps aus einem Weichlot wie z. B. NiAu) verbunden werden, sind in oder an der dem Halbleiterchip 6 zugewandten Seite des zweiten Trägermaterials 2 angebracht. Bei dem Ausführungsbeispiel der Figur 1 befinden sich Anschlussflächen 4, die für externe
Kontaktierung der Chipkarte z. B. mit den Anschlusskontakten eines Terminals vorgesehen sind, auf der von dem Halbleiterchip 6 abgewandten äußeren Oberseite 11 des zweiten Trägermaterials 2. Für eine elektrisch leitende Verbindung 5 befindet sich elektrisch leitfähiges Material in Durchbrüchen, die in dem zweiten Trägermaterial 2 vor dem Aufbringen der für die Anschlusskontakte und die Anschlussflächen 4 vorgesehenen elektrisch leitfähigen Materialien hergestellt werden. Nach dem Vereinzeln der Chipkarten bildet das erste Trägermaterial 1 eine erste Schicht mit den darin angebrachten Halbleiterchips 6 und das zweite Trägermaterial 2 die zweite Schicht 2 mit den für elektrische Anschlüsse vorgesehenen Anschlusskontakten 3 , den in den Durchbrüchen vorgesehenen elektrisch leitenden Verbindungen 5 und den externen Anschlussflächen 4.
Die Trägermaterialien 1, 2 werden in der in Figur 1 dargestellten Anordnung von Rollen 12 abgewickelt, wie das auch bei der Papier- und Pappenherstellung mit sogenannten Endlosrollenformaten geschieht. Der Weitertransport der miteinander verbundenen Trägermaterialien ist in Figur 1 mit eingezeichneten Walzen 13 angedeutet, die das aus den Schichten bestehende Laminat beim Transport zusammenpressen und die vorzugsweise an verschiedenen Stellen längs der Bahn des Trägermaterials in der Vorrichtung angeordnet sind. Diese W lzen können mit Heizeinrichtungen versehen sein, die das Trägermaterial so erwärmen, dass eine zwischen den Trägermaterialien angebrachte Haftschicht, z. B. eine Kleberschicht, eine bessere Haftung erreicht. Auch für die Herstellung der elektrisch leitenden Verbindungen 7 zwischen den Kontakten des Halblei- terchips 6 und den Anschlusskontakten 3 kann eine Erwärmung über ein von außen angepresstes Heizteil, auch hier vorzugsweise eine mitrollende Heizwalze, erfolgen. Die erfindungsgemäß hergestellte Chipkarte setzt sich daher aus mindestens zwei Schichten zusammen, wobei allerdings Abwandlungen mit einer größeren Anzahl von Schichten im Rahmen der Erfindung liegen. Wesentlich ist dabei, dass der Halbleiterchip direkt als IC-Chip in eine Schicht integriert wird. Die elektrischen Leiter für den Anschluss sind in oder an einer weiteren Schicht angebracht. Als Trägermaterial ist insbesondere Papier oder Folie im Endlosrollenformat geeignet. Die auf der zweiten Schicht vorgesehenen Anschlusskontakte und/oder Anschlussflächen können vorzugsweise in einem Endlos-Siebdruckverfahren hergestellt werden, mit dem beispielsweise eine elektrisch leitfähige Paste in einer dünnen Schicht aufgebracht und dabei strukturiert wird. Der An- schluss der Kontakte des IC an die Anschlusskontakte der zweiten Schicht erfolgt ähnlich wie bei dem an sich bekannten Verfahren der Flip-Chip-Montage von Halbleiterchips.
Zur Verbesserung der mit den Kontaktflecken oder Weichlot- klümpchen (bumps) hergestellten elektrisch leitenden Verbindungen 7 kann zwischen dem Halbleiterchip 6 und der durch das zweite Trägermaterial 2 gebildeten zweiten Schicht eine Füllmasse 8 (underfill) vorhanden sein, die vorzugsweise aus einem anisotrop elektrisch leitenden Material gebildet wird. Das Material wird so ausgerichtet, dass die größte Leitfähigkeit in Richtung der vorgesehenen leitenden Verbindungen 7 vorhanden ist, während die Leitfähigkeit quer zu dieser Richtung, also in der Ebene der Verbindung der Trägermaterialien 1, 2, möglichst gering ist, um Kurzschlüsse zwischen den ver- schiedenen Kontakten zu vermeiden. Auch isotrop leitende oder isolierende Füllmassen 8 können verwendet werden, wobei es von Vorteil ist, wenn diese Füllmassen nach dem Aufbringen und nach dem Verbinden der Trägermaterialien 1, 2 zumindest eine geringfügige Schrumpfung erleiden, so dass die elek- trisch leitenden Verbindungen 7 an die Kontakte des Halbleiterchips 6 und die Anschlusskontakte 3 der zweiten Schicht 2 angedrückt werden und auf diese Weise eine ausreichend star- ke, kraftschlüssige elektrisch leitende Verbindung 7 erzielt wird.
In einer zu diesem Ausführungsbeispiel analogen Weise kann eine kontaktlose Chipkarte erfindungsgemäß hergestellt werden. Dann wird anstelle der auf dem zweiten Trägermaterial 2 aufgebrachten Anschlussflächen 4 auf der mit den Anschlusskontakten 3 versehenen inneren Oberfläche eine Leiterbahn 10 (siehe Figur 2) aufgebracht und strukturiert. Eine solche Leiterbahn 10 kann spiralig als Spule ausgebildet sein, die als Antenne für eine Signalübermittlung und eine Energieübermittlung vorgesehen ist. Die übrigen Komponenten und das Herstellungsverfahren dieser Chipkarte gemäß Figur 2 entsprechen der zuvor anhand von Figur 1 dargestellten Chipkarten. Das zweite Trägermaterial 2 wird vorzugsweise nur auf der dem
Halbleiterchip 6 zugewandten Seite mit einer elektrisch leitenden Strukturierung versehen. Das Laminat kann wie bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel aus mehr als zwei Schichten bestehen. Grundsätzlich lassen sich aber auch die Ausgestaltungen gemäß den Figuren 1 und 2 miteinander kombinieren, falls z.B. eine Chipkarte gewünscht wird, die sowohl für externen elektrischen Anschluss als auch für kontaktlose Anwendung geeignet ist.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung einer Chipkarte, bei dem in einem ersten Schritt ein erstes Trägermaterial (1) mit mindestens einem für eine jeweilige Chipkarte vorgesehenen Halbleiterchip (6) versehen wird, der eine integrierte Schaltung enthält und mindestens einen Kontakt aufweist, und ein zweites Trägermaterial (2) mit mindestens einem für eine jeweilige Chipkarte vorgesehenen Anschlusskontakt (3) verse- hen wird, wobei als Trägermaterialien Streifen oder Bahnen aus Papier oder Folie verwendet werden, die für eine Mehrzahl von Chipkarten vorgesehen sind, und in einem zweiten Schritt die Trägermaterialien (1, 2) durch Andruck und/oder Verkleben dauerhaft miteinander verbunden werden, wobei der Kontakt des Halbleiterchips elektrisch leitend mit dem Anschlusskontakt verbunden wird, und in einem dritten Schritt durch Schneiden oder Stanzen die jeweiligen Chipkarten vereinzelt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Trägermaterialien mittels Rollen (12) oder Walzen (13) bereitgestellt und transportiert werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem vor dem ersten Schritt das zweite Trägermaterial (2) mit Durchbrüchen versehen wird und in dem ersten Schritt das zweite Trägermaterial (2) zur Ausbildung des mindestens einen für eine jeweilige Chipkarte vorgesehenen Anschlusskontaktes (3) und mindestens einer auf der gegenüberliegenden Seite des zweiten Trägermaterials angeordneten Anschlussfläche (4) beidseitig mit einem elektrisch leitfähigen Material in einer vorgesehenen Struktur beschichtet wird, wobei in den Durchbrüchen eine elektrisch leitende Verbindung (5) zwischen dem jeweiligen Anschlusskontakt (3) und der jeweiligen Anschlussfläche (4) hergestellt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem in dem ersten Schritt das zweite Trägermaterial (2) zur Ausbildung des mindestens einen für eine jeweilige Chipkarte vorgesehenen Anschlusskontaktes (3) und mindestens einer damit verbundenen Leiterbahn (10) mit einem elektrisch leitfähigen Material in einer vorgesehenen Struktur beschichtet wird.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6942496B2 (en) 2002-01-15 2005-09-13 Tribotek, Inc. Woven multiple-contact connector
US6945790B2 (en) 2002-01-15 2005-09-20 Tribotek, Inc. Multiple-contact cable connector assemblies
US7056139B2 (en) 2002-01-15 2006-06-06 Tribotek, Inc. Electrical connector
US7077662B2 (en) 2002-01-15 2006-07-18 Tribotek, Inc. Contact woven connectors
US7083427B2 (en) 2002-01-15 2006-08-01 Tribotek, Inc. Woven multiple-contact connectors
US7094064B2 (en) 2003-07-11 2006-08-22 Tribotek, Inc. Multiple-contact woven electrical switches
US7097495B2 (en) 2003-07-14 2006-08-29 Tribotek, Inc. System and methods for connecting electrical components
US7214106B2 (en) 2005-07-18 2007-05-08 Tribotek, Inc. Electrical connector
US7293355B2 (en) * 2005-04-21 2007-11-13 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Apparatus and method for making circuitized substrates in a continuous manner
DE102009023405A1 (de) * 2009-05-29 2010-12-02 Giesecke & Devrient Gmbh Verfahren zur Herstellung tragbarer Datenträger

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2743649B1 (fr) * 1996-01-17 1998-04-03 Gemplus Card Int Module electronique sans contact, carte etiquette electronique l'incorporant, et leurs procedes de fabrication
US6586078B2 (en) * 2001-07-05 2003-07-01 Soundcraft, Inc. High pressure lamination of electronic cards
EP1544786B1 (de) * 2003-12-17 2007-10-03 ASSA ABLOY Identification Technologies Austria GmbH Datenträger und Verfahren zur Herstellung desselben
ES2322456T3 (es) 2004-01-31 2009-06-22 Atlantic Zeiser Gmbh Procedimiento para fabricar tarjetas inteligentes sin contacto.
DE102004006457A1 (de) * 2004-02-04 2005-08-25 Bielomatik Leuze Gmbh + Co Kg Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Herstellen elektronischer Folienbauteile
EP1686512A1 (de) * 2005-02-01 2006-08-02 NagraID S.A. Verfahren zur Plazierung einer elektonischen Vorrichtung auf ein Substrat und Plaziervorrichtung
US7785932B2 (en) * 2005-02-01 2010-08-31 Nagraid S.A. Placement method of an electronic module on a substrate and device produced by said method
US8119458B2 (en) * 2005-02-01 2012-02-21 Nagraid S.A. Placement method of an electronic module on a substrate
TWI258207B (en) * 2005-06-07 2006-07-11 Powerchip Semiconductor Corp Flash memory and manufacturing method thereof
US20090222367A1 (en) * 2008-02-28 2009-09-03 Capital One Financial Corporation System and Method for the Activation and Use of a Temporary Financial Card
DE102008019571A1 (de) * 2008-04-18 2009-10-22 Giesecke & Devrient Gmbh Chipkarte und Verfahren zu deren Herstellung
EP2463809A1 (de) * 2010-12-07 2012-06-13 NagraID S.A. Elektronische Karte mit elektrischem Kontakt, die eine elektronische Einheit und/oder eine Antenne umfasst
FR2974925B1 (fr) 2011-05-02 2013-06-14 Oberthur Technologies Procede de preparation d'un support de carte a base de cellulose pour minicarte
DE102012018928A1 (de) * 2012-09-25 2014-03-27 Infineon Technologies Ag Halbleitergehäuse für Chipkarten
CN203894790U (zh) * 2013-04-11 2014-10-22 德昌电机(深圳)有限公司 智能卡、身份识别卡、银行卡及智能卡触板

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0249266A1 (de) * 1986-05-30 1987-12-16 Papier-Plastic-Coating Groningen B.V. Datenkarte sowie Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
DE19602821C1 (de) * 1996-01-26 1997-06-26 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer Datenkarte
FR2775810A1 (fr) * 1998-03-09 1999-09-10 Gemplus Card Int Procede de fabrication de cartes sans contact
EP0952543A1 (de) * 1996-12-17 1999-10-27 Rohm Co., Ltd. Halbleiteranordnung und herstellungsverfahren

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH074995B2 (ja) * 1986-05-20 1995-01-25 株式会社東芝 Ｉｃカ−ド及びその製造方法
DE9422424U1 (de) * 1994-02-04 2002-02-21 Giesecke & Devrient GmbH, 81677 München Chipkarte mit einem elektronischen Modul
DE59502482D1 (de) * 1994-11-03 1998-07-16 Fela Holding Ag Basis Folie für Chip Karte
FR2741009B1 (fr) * 1995-11-15 1997-12-12 Solaic Sa Carte a circuit integre et module a circuit integre
US5976391A (en) * 1998-01-13 1999-11-02 Ford Motor Company Continuous Flexible chemically-milled circuit assembly with multiple conductor layers and method of making same
US6271469B1 (en) * 1999-11-12 2001-08-07 Intel Corporation Direct build-up layer on an encapsulated die package

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0249266A1 (de) * 1986-05-30 1987-12-16 Papier-Plastic-Coating Groningen B.V. Datenkarte sowie Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
DE19602821C1 (de) * 1996-01-26 1997-06-26 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer Datenkarte
EP0952543A1 (de) * 1996-12-17 1999-10-27 Rohm Co., Ltd. Halbleiteranordnung und herstellungsverfahren
FR2775810A1 (fr) * 1998-03-09 1999-09-10 Gemplus Card Int Procede de fabrication de cartes sans contact

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7101194B2 (en) 2002-01-15 2006-09-05 Tribotek, Inc. Woven multiple-contact connector
US6945790B2 (en) 2002-01-15 2005-09-20 Tribotek, Inc. Multiple-contact cable connector assemblies
US7021957B2 (en) 2002-01-15 2006-04-04 Tribotek, Inc. Woven multiple-contact connector
US7056139B2 (en) 2002-01-15 2006-06-06 Tribotek, Inc. Electrical connector
US7077662B2 (en) 2002-01-15 2006-07-18 Tribotek, Inc. Contact woven connectors
US7083427B2 (en) 2002-01-15 2006-08-01 Tribotek, Inc. Woven multiple-contact connectors
US6942496B2 (en) 2002-01-15 2005-09-13 Tribotek, Inc. Woven multiple-contact connector
US7094064B2 (en) 2003-07-11 2006-08-22 Tribotek, Inc. Multiple-contact woven electrical switches
US7097495B2 (en) 2003-07-14 2006-08-29 Tribotek, Inc. System and methods for connecting electrical components
US7125281B2 (en) 2003-07-14 2006-10-24 Tribotek, Inc. Systems and methods for connecting electrical components
US7293355B2 (en) * 2005-04-21 2007-11-13 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Apparatus and method for making circuitized substrates in a continuous manner
US7214106B2 (en) 2005-07-18 2007-05-08 Tribotek, Inc. Electrical connector
US7458827B2 (en) 2005-07-18 2008-12-02 Methode Electronics, Inc. Electrical connector
DE102009023405A1 (de) * 2009-05-29 2010-12-02 Giesecke & Devrient Gmbh Verfahren zur Herstellung tragbarer Datenträger
US10275701B2 (en) 2009-05-29 2019-04-30 Giesecke+Devrient Mobile Security Gmbh Method for producing portable data carriers

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