WO2000070355A1 - Bauelementegeometrie-unabhängige vorrichtung zum testen elektronischer bauelemente mit verschiebbarem kontaktmittel - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen (1) unterschiedlicher Geometrie mit einem elektrisch leitenden Verbindungselement (3), welches einerseits mit einer elektrischen Prüfeinrichtung (4) zur Prüfung der elektrischen Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen (1) elektrisch leitend verbunden ist und andererseits mit einem Kontaktmittel (5) elektrisch leitend in Verbindung steht oder in elektrisch leitende Verbindung bringbar ist, wobei das zu testende elektronische Bauelement (1) an die dem Verbindungselement (3) gegenüberliegende Seite des Kontaktmittels (5) unter Herbeiführung einer elektrisch leitenden Kontaktierung heranführbar ist, wobei das Kontaktmittel (5) einen im wesentlichen bandförmigen Aufbau aufweist, in der senkrecht zur Kontaktfläche ausgerichteten Kontaktierrichtung zumindest etwas elastisch ist, in der Kontaktierrichtung elektrisch leitend und rechtwinklig zur Kontaktrichtung elektrisch isolierend ist und wobei das Kontaktmittel (5) in Richtung der z- und/oder x- und/oder y-Achse zumindest etwas verschiebbar ist.

Description

Bauelementegeometrie-unabhängige Vorrichtung zum Testen elektronischer Bauelemente mit verschiebbarem Kontaktmit- tel

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Testen der elektrischen -Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen auch unterschiedlicher Geometrie, ins- besondere von integrierten Schaltkreisen, mit den im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmalen.

Es ist eine Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen bekannt, bei welcher das zu testende elektronische Bauelement während des Testvorganges in einen Kontaktsockel einzusetzen ist.

Diese Testvorrichtung mit Kontaktsockel weist einerseits den Nachteil auf, daß für jede unterschiedliche Ausführungsform eines zu testenden elektronischen Bauelements ein separater, an die jeweilige Ausführung form des zu testenden elektronischen Bauelements paßgenau angepaßter Kontaktsockel zu verwenden ist, dessen Anschaffungskosten jeweils etwa bei DM 10.000,00 liegen.

Üblicherweise beträgt die Lebensdauer eines derartigen Kontaktsockels etwa 50.000 Testzyklen. Bei einer Testzeit von 1 Sekunde und einer Zykluszeit von 2 Sekunden ergibt sich eine Lebensdauer des Kontaktsockels von lediglich etwa 2 Tagen ( 50.000 Zyklen x 2 sec/Zyklus = 100.000 sec « 28 Stunden « 2 Tage) . Alle zwei Tage ist demnach ein neuer Kontaktsockel für etwa DM 10.000,00 anzuschaffen, weshalb die Testkosten dort erheblich sind. Aufgrund der hohen Innovationsgeschwindigkeit bei elektronischen Bauelementen werden diese Kontaktsockel nicht vorgefertigt auf Lager gehalten, sondern müssen nach Auf- tragseingang kundenspezifisch hergestellt werden. Die Lieferzeiten für Kontaktsockel liegen bei etwa 4 Wochen.

Die Installation eines neuen Kontaktsockels in die Test- Vorrichtung ist zeitintensiv und erfordert eine langfri- stige und mühsame Montage und Ausrichtung des Pontaktsok- kels sowie ein zeitraubendes Überprüfen der Funktionsfähigkeit und der Ausrichtung des Kontaktsockels.

Aus dem Stand der Technik ist ferner eine Vorrichtung zum Testen elektronischer Bauelemente bekannt, bei welcher eine feststehende Elastomer-Folie mit integrierten Leitungsdrähten als Kontaktmittel für die Übertragung von Signalen zwischen dem zu testenden elektronischen Bauelement und dem Prüfsockel dient.

In der Regel befinden sich ausgeprägte Oxidschichten und/oder Flußmitte] schichten auf der- Kontakten der zu testenden elektronischen Bauelemente. Während des Kontaktie- rungsvorganges zwischen dem folienförmigen Kontaktmittel und den Kontakten der elektronischen Bauelemente kommt es stets zu einer Ablagerung der Oxidschichten und/oder der Flußmittelschichten auf dem folienförmigen Kontaktelement. Gleiches gilt für die Kontaktflächen eines Kontaktsockels.

Diese mit jedem Kontaktierungsvorgang anwachsenden Ablagerungen führen bei den aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtungen insbesondere zu dem gravierenden Nachteil einer sich ständig verändernden und gegebenenfalls stark eingeschränkten elektrischen Leitf higkeit. Nur mit erheblichem Reinigungsaufwand sowie unter verlustbringendem Stillstand der gesamten Testvorrichtung gelingt es, diese Oxid- und/oder Flußmittelschichten zumindest in gewissem Umfang zu entfernen.

Aufgrund der durch die verschmutzten Kontaktierungsstellen bedingten schlechten Kontaktierungsqualität werden zahlreiche elektrisch einwandfreie Bauelemente irrtümlich als fehlerhaft aussortiert. Bei teuren elektronischen Bautei- len macht sich die verringerte Ausbeute an einwandfreien Bauteilen besonders nachteilig bemerkbar.

Die wegen des permanenten Aufbaus der Oxid- und/oder Flußmittelschicht ständig schwankende elektrische Leitfähig- keit des Kontaktmittels bewirkt ferner eine sehr geringe Meßsicherheit. Kosten- und zeitintensive Nachmessungen und ein unnötig hoher Ausschuß an elektrisch einwandfreien Bauelementen sind die Folge.

Sobald insbesondere das folienförmige, großfläche Kontaktmittel durch die abgelagerten Oxid- und/oior Flußmittelschichten im Kontaktbereich verschmutzt ist, ist der Ersatz durch ein neues großflächiges, folienför iges Kontaktmittel angezeigt. Die aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtung zum Testen elektronischer Bauelemente mit einem folienförmigen Kontaktelement weist demnach den Nachteil auf, daß sie den Einsatz großer Flächen an teuren, folienförmigen Kontaktelementen erfordert, obwohl ein großer Teil des jeweiligen folienförmigen Kontaktelements, beispielsweise der Randbereich oder der zwischen den Bauelement-Kontakten liegende Bereich, noch ungenutzt ist. Zumal das aus dem Stand der Technik bekannte folienförmige Kontaktelement bereits nach einer geringen Anzahl von Kontaktierungen aufgrund der Ablagerung von Oxid- und/oder Flußmittelschichten und/oder durch Verschleiß des Elasto- mer-Materials erneuerungsbedürftig ist, kommt ihm lediglich eine sehr kurze Lebensdauer und Standzeit zu.

Aufgabe dar vorliegenden Erfindung ist daher die Bereitstellung einer Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfahigkeit von elektronischen Bauelementen, welche selbst für mehrere unterschiedliche Ausführungsformen elektronischer Bauelemente -und damit bei einem Wechsel des Bauelementtyps- anstelle einer Vielzahl von teuren und langfristig zu bestellenden Kontaktsockeln lediglich ein einziges, vergleichsweise äußerst kostengünstiges Kontaktmittel benötigt, wobei das Kontaktmittel nicht in Abhängigkeit von den Abmessungen des zu testenden elektronischen Bauelements jeweils kundenspezifisch in Verbindung mit langen Bestellzeiten einzeln anzufertigen ist, sondern aufgrund seiner universellen Verwendbarkeit für viele Ausführungsformen elektronischer Bauelemente eine Lagerhaltung rentabel macht und somit unter Ausschluß einer langen Bestellzeit sofort verfügbar ist und wobei die Installation des Kontaktmittelε in die Test-Vorrichtung besonders einfach, schnell und ohne aufwendige Justier- und Kontrollarbeiten möglich ist, welche einer Reinigung des Kontaktmittels zwischen dem elektronischen Bauelement einerseits und dem mit der Prüfeinrichtung elektrisch leitend in Verbindung stehenden Verbindungselement andererseits grundsätzlich nicht bedarf und folglich das Problem eines verlustbringenden, häufigen Stillstandes der gesamten Testvorrichtung während der üblicherweise häufig durchzuführenden Kontaktmittel-Reinigungsarbeiten nicht kennt, deren Kontaktierungsqualität und Meßsicherheit trotz zahl- reicher Kontaktierungen im wesentlichen gleichleibend und sehr hoch sind, wodurch die verlustbringende Aussortierung von elektronisch einwandfreien Bauelementen als fehlerhaft erheblich reduziert und die Ausbeute an einwandfreien elektronischen Bauteilen deutlich erhöht wird, welche die Fläche des teuren Kontaktmittels im Vergleich zu der aus dem Stand der Technik bekannten Testvorrichtung wesentlich vollständiger ausnutzt und somit einen kostengünstigeren Prüfbetrieb erlaubt und welche über eine sehr lange Lebensdauer und Standzeit ihres Kontaktmitte s verfügt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. Besonders bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:

Abbildung 1 eine schematische, perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen von schräg links oben mit einem, auf einer kassettenfόrmi- gen Abwickel- und Auf ollvorrichtung aufgespulten, trans- portablen und bandförmigen Kontaktmittel;

Abbildung 2 einen schematischen Querschnitt durch ein erfindungsgemäß verwendetes Kontaktmittel mit darin integrierten, sich in Kontaktierrichtung erstreckenden, draht- förmigen Leitern;

Abbildung 3 einen schematischen Querschnitt durch ein erfindungsgemäß verwendetes Kontaktmittel mit darin integrierten, sich schräg zur Kontaktierrichtung erstrecken- den, drahtförmigen Leitern; Abbildung 4 einen schematischen Querschnitt durch ein erfindungsgemäß verwendetes Kontaktmittel mit darin zumindest teilweise integrierten, sich in Kontaktierrichtung erstreckenden, drahtförmigen Leitern;

Abbildung 5 eine schematische, perspektivische rückwärtige Ansicht einer Kassette zur aufrollbaren und/oder abrollbaren Halterung und Lagerung eines bandförmigen Kontaktmit- tels;

Abbildung 6 eine schematische, perspektivische frontwärti- ge Ansicht einer Kassette zur auf- und/oder abrollbaren Halterung und Lagerung eines im wesentlichen bandförmigen Kontaktmittels, bei welcher über die Wellen der Kassette ein gasförmiges Medium zu- oder abgeführt wird, welches das bandförmige Kontaktmittel zumindest teilweise und ein- oder beidseitig überstreicht und somit auf eine voreingestellte Temperatur bringt;

Abbildung 7 eine schematische, perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen von schräg links oben mit einem auf einer Abwickel- und Aufrollvorrichtung aufgespulten, transportablen und bandförmigen Kontaktmittel.

Wie insbesondere aus Abbildung 1 hervorgeht, umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen (1), insbesondere von integrierten Schaltkreisen, mindestens ein elektrisch leitendes Verbindungselement (3). In der Regel ist die dem zu testenden Bauelement (1) abgewandte Rückseite und/oder der Randbereich dieses Verbindungselements (3) mittelbar oder unmittelbar mit einer elektrischen Prüfeinrichtung (4) zur Prüfung der elektri- sehen Funktionsfahigkeit von elektronischen Bauelementen (1) elektrisch leitend verbunden.

Die gegenüberliegende Seite des Verbindungselements (3) , also die dem zu testenden Bauelement (1) zugewandte Seite, steht vorzugsweise mit mindestens einem Kontaktmittel (5) mittelbar oder unmittelbar elektrisch leitend in Verbindung oder kann hiermit -.beispielsweise durch Andrücken mittels des zu testenden elektronischen Bauelements (1)- elektrisch leitend in Verbindung gebracht werden.

Zur Durchführung des Prüfvorganges wird das zu testende elektronische Bauelement (1) an die dem Verbindungselement (3) gegenüberliegende Seite des Kontaktmittels (5) unter Bewerkstelligung einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen dem elektronischen Bauelement (1), dem Kontaktmittel (5) und dem Verbindungselement (3) herangeführt. Alternativ hierzu ist es möglich, das Verbindungselement (3) zusammen mit dem Kontaktmittel (5) unter Bewerkstelligung einer elektrisch leitenden Verbindung an das gegebe- nenfalls feststehende elektronische Bauelement (1) heranzuführen.

Wie insbesondere aus den Abbildungen 2 bis 4 und 7 hervorgeht, weist das Kontaktmittel (5) beispielsweise einen im wesentlichen film-, folien-, streifen-, bogen-, blatt- oder bandförmigen Aufbau auf.

In der senkrecht zur Kontaktfläche ausgerichteten Kontaktierrichtung ist das Kontaktmittel (5) vorzugsweise zumindest etwas elastisch. Selbstverständlich ist es möglich, das Kontaktmittel (5) in der senkrecht zur Kontaktfläche ausgerichteten Kontaktierrichtung nicht-nachgiebig auszugestalten.

Bei einer elastischen Ausbildung des Kontaktmittels (5) geht dieses nach einer Deformation durch die Kontakte des zu testenden elektronischen Bauelements (1) während des Testvorganges wieder in seinen ursprünglichen Zustand über .

Das Kontaktmittel (5) kann üoer Energieelastizität (Stahlelastizität) oder En-cropieelastizität (Gummieelastizität) verfügen.

In bevorzugten Ausführungformen ist das Kontaktmittel (5) in der Kontaktierrichtung chemisch, physikalisch oder durch Einlagerung von elektrisch leitenden Materialien elektrisch leitend und rechtwinklig zur Kontaktierrichtung elektrisch isolierend.

Ein wesentliches Merkmal der erfindung≤gemäßen Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähigkeit von elek- tronischen Bauelementen (1) besteht darin, daß vorzugsweise das Kontaktmittel (5) in Richtung der z- und/oder x- und/oder v-Achse zumindest etwas verschiebbar ist. Alternativ oder zusätzlich hierzu ist es möglich, das Verbindungselement .'3) zusammen mit dem elektrischen Bauelement (1) in fester Endzuordnung zueinander gegenüber dem Kontaktmittel (5) zu verschieben.

Die Verschiebung des Kontaktmittels (5) kann beispielsweise unter mittelbarer oder unmittelbarer Koppelung mit der Bewegung der Handhabungseinrichtung (2) im wesentlichen unter Ausschluß einer Verringerung des Bauelementedurchsatzes erfolgen. Gegebenenfalls findet die Verschiebung des Kontaktmittels (5) während der Handhabung des elektronischen Bauelements (1) und vor und/oder nach dem eigent- liehen PrüfVorgang statt. Insbesondere Abbildung 1 zeigt, daß die erfmdungsgemaße, Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfahigkeit von elektronischen Bauelementen mindestens eine manuelle oder automatische Handhabungseinrichtung (2) zur Positionierung von elektronischen Bauelementen (1) m x- und/oder y- und/oder z-Richtung umfaßt. In bevorzugten Ausfuhrungsformen ist die Handhabungseinrichtung (2) selbst m y- und/oder y- und/oder z-Richtung bewegbar.

Bei dem Kontaktmittel (5) kann es sich im wesentlichen um eine elektrisch isolierende, streifen-, bogen-, band-, blatt- oder plattenformige, m Kontaktierrichtung nicht- nachgebende Folie (7) handeln.

In besonders bevorzugten Ausfuhrungsformen ist diese Folie (7) jedoch m Form einer Elas omer-Folie ausgebildet. Das Elastomer kann beispielsweise ausgewählt sein aus der Gruppe Silikone, Naturkautschuk, synthetisches Polyiso- pren, Gummi, Acrylatkautschuk, Polyester-Urethan-Kau- tschuk, halogenierter Butyl-Kautschuk, Polybutadien, halo- geniertes PoJyethylen, Epichlorhydrn n (Homopolymer, Co- poplymere) , Polychloropren, sulfuriertes Polyethylen, Ethylen-Acrylat-Kautschuk, schwefelvernetztes Ethylen- Propy-len-Terpolymer, peroxidisch vernetztes Ethylen-

Propylen-Copolymer, Polyether-Urethan-Kautschuk, Ethylen- Vmyl-acetat-Copolymer, Fluorkautschuk, Fluorsilikon- Kautschuk, hydrierter Nitril-Kautschuk, Butylkautschuk, vmylhaltiges Dimethylpolysiloxan, Thioplaste, Polyfluor- phosphazene, Polynorbornen und Styrolbutadien-Kautschuk.

Vorzugsweise sind m das folien- beziehungsweise bandförmige Kontaktmittel (5) mehrere sich m Kontaktiemchcung erstreckende, im wesentlichen drahtformige Leiter (6) zu- mindest teilweise integriert. Abbildung 4 zeigt, daß die Enden der drahtförmigen Leiter (6) die Vorder- und/oder Rückseite des Kontaktmittels (5) zur Gewährleistung einer besonders sicheren Kontaktierung gegebenenfalls zumindest etwas überragen

Wie insbesondere aus den Abbildungen 2 bis 4 hervorgeht, können die im wesentlichen drahtförmigen Leiter (6) rechtwinklig oder schräg zur Oberfläche des Kontaktmittels (5) ausgerichtet sein. Die Leiter (f) bestehen beispielsweise aus einem goldplattierten Draht und sind meist nur sehr geringfügig voneinander beabstandet.

Das Kontaktmittel (5) kann beispielsweise im wesentlichen bandförmig und abspulbar beziehungsweise aufspulbar in ei- ner auswechselbaren Kassette (8) oder vorzugsweise auf einer in die Testvorrichtung zumindest teilweise integrierten Abspul- und Aufrollvorrichtung (9) vorgesehen sein (siehe insbesondere Abbildungen 1, 6 und 7), wobei die Kassette (8) in der Regel lediglich eine Stützfunktion für das Kontaktmittel (5) ausübt.

Wie insbesondere aus Abbildung 6 hervorgeht, können die Drehachsen der Kassette (8) oder der Aufroll- und Abrollvorrichtung (9) beispielsweise durch mindestens einen (Schritt-) Motor und/oder manuell rotativ antreibbar sein.

Da der Prüfvorgang des elektronischen Bauelements (1) bei exakt vorgegebenen Temperaturen durchzuführen ist, ist in bevorzugten Ausführungsformen das Kontaktmittel (5) und/oder die Kassette (8) und/oder die Abspul- und Aufrollvorrichtung (9) unmittelbar oder mittelbar auf eine voreingestellte Temperatur durch Beheizung und/oder Kühlung Dringbar . Wie msbeondere aus Abbildung 6 hervorgeht, kann zu diesem Zwecke beispielsweise ein auf eine voreingestellte Temperatur gebrachtes gasformiges Medium der Kassette (8) über die Drehachsen zugeführt werden und das gasförmige Medium über entsprechende Austrittsoffnungen über die Vorderseite und/oder über die Ruckseite des Kontaktmittels (5) geleitet werden.

Zur Sicherstellung einer gleichbleibenden Temperatur wan- rend zahlreicher Testzyklen ist es möglich, die Kassette (8) un 'oder die Aufroll- und Abwickel Vorrichtung (9) mittelbar oder unmittelbar m die gegebenenfalls kastenförmige Wärmeisolierung (10) der erfmdunσsgemaßen Vorrichtung zumindest teilweise zu integrieren oder innerhalb dieser vorzusehen.

In der Regel weist das Verbindungselement (3) auf seiner dem zu testenden elektronischen Bauteil (1) zugewandten Seite ein oder mehrere elektrisch leitende Anschlußelemente m einer Anordnung auf, welche der Anschlußelemente- Anordnung des zu testenden elektronischen Bauelements (1) entspricht .

Auf der dem elektronischen Bauelement (1) abgewandten Seite des Verbinduαgselements (3) oder m dessen Randberexch können ein oder mehrere elektrisch leitende Anschlußelemente zum mittelbaren oder unmittelbaren Anschluß einer Prufvorrichtung (4) vorgesehen sein (siehe msbesonder Abbildungen 1 und 7) .

In der Regel erzeugt die Prüfemrichtung (4) einerseits an das zu prüfende Bauelement (1) über das Verbindungselement (3) und das Kontaktmittel (5) gericntete Eingangssignale. Andererseits kann die Prüfemrichtung (4) von dem elektronischen Bauelement [ 1 ) über das Verbmdungselement (3) und das Kontaktmittel (5) abgegebene Antwortsignale auswerten und dadurch Aufschluß über die elektrische Funktionsfähigkeit des zu prüfenden elektronischen Bauelements (1) geben.

In bevorzugten Ausführungsformen steht die Prüfeinrichtung (4) mit der Handhabungseinrichtung (2) und/oder mit der Vorrichtung zur Positionierung der Handhabungseinrichtung (2) elektrisch leitend in Verbindung, so daß im Anschluß an den Testvorgang das zu prüfende elektronische Bauele- ment (1) gegebenenfalls nach Güteklassen sortiert, gezielt abgelegt werden kann.

Vorzugsweise wird das Kontaktmittel (5) nach einer voreingestellten Anzahl von Kontaktiervorgängen durch die zu te- stenden elektronischen Bauelemente (1) gegenüber der Testposition des Verbindungselements (3) und der Testposition des elektronischen Bauelements (1) zumindest etwas verschoben. Aufgrund dieser Maßnahme gelangt ein bisher ungenutzter Bereich des Kontaktmittels (5) in den Kontaktbereich zwischen dem zu testenden elektronischen Bauelement (1) und dem Verbindungselement (3) . Es kommt somit zu einer weitgehend vollständigen Ausnutzung der Gesamtfläche des Kontaktmittels (5) .

In besonders bevorzugten Ausführungsformen erfolgt die Verschiebung des Kontaktmittels (5) gegenüber der Testposition des Verbindungselements (3) und der Testposition des elektronischen Bauelements (1) bei einer y- Kontaktierrichtung in x- und/oder z-Richtung, bei einer z- Kontaktierrichtung in x- und/oder y-Richtung und bei einer x-Kontaktierri chtung in z- und/oder y-Richtung. Zur besonders vollständigen Ausnutzung der Gesamtflache des Kontaktmittels (5) ist dieses beispielsweise mindestens um die volle Lange und/oder Breite des zu testenden elektronischen Bauelements (1) und/oder um Bruchteile hiervon bei einer y-Kontaktierπchtung in x- und/oder z- Richtung, bei einer z-Kontaktierπchtung in x- und/oder y- Richtung und bei einer x-Kontaktiemchtung in z- und/oder y-Richtung zumindest etwas verschiebbar.

Alternativ oder zusätzlich hierzu ist es möglich, das zu testende elektronische Bauelement (1) zusammen mit dem Verbindungselement (3), eweils unter Beibehaltung der für den Testvorgang erforderlichen Endpositionen, gegenüber dem gegebenenfalls nicht-verschiebbaren Kontaktmittel (5) nach Ablauf einer voreingestellten Anzahl von Kontaktie- rungsvorgangen mindestens um die volle Lange und/oder Breite des zu testenden elektronischen Bauelements (1) und/oder um Bruchteile hiervon zumindest etwas zu verschieben. Vorzugsweise erfolgt auch diese Verschiebung bei einer y- Kontaktierπchtung m x- und/oder z-Richtung, bei einer z- Kontaktierπchtung m x- und/oder y-Richtung und bei einer x-Kontaktierπchfung in z- und/oder y-Richtung.

Zusammenfassend ist festzustellen, daß die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum Testen der elektrischen Leitfähigkeit von elektronischen Bauelementen bereitstellt, welche selbst für mehrere unterschiedliche Ausführungsformen elektronischer Bauelemente - und damit bei einem Wech- sei des Bauelementtyps - anstelle einer Vielzahl von Kontaktsockeln lediglich ein einziges, vergleichsweise äußerst kostengünstiges Kontaktmittel (5) benotigt. Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, daß das Kontaktmittel (5) nicht in Abhängigkeit von den Abmessungen des zu testenden elektronischen Bauelements (1) jeweils kundenspezifisch in Verbindung mit langen Bestellzeiten einzeln anzufertigen ist, sondern aufgrund seiner universellen Verwendbarkeit für viele Ausführungsformen elektronischer Bauelemente eine Lagerhaltung rentabel macht und somit unter Ausschluß einer langen Bestellzeit sofort verfügbar ist.

Vorteilhaft ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ferner, daß die Installation des Kontaktmittels (5) in die Testvorrichtung besonders einfach, schnell und ohne aufwendige Justier- und Kontrollarbeiten möglich ist.

Besonders vorteilhaft ist im Falle der erfindungsgemäßen Testvorrichtung ferner, daß diese einer Reinigung des Kontaktmittels (5) zwischen dem elektronischen Bauelement (1) einerseits und dem mit der Prüfeinrichtung (4) elektrisch leitend in Verbindung stehenden Verbindungselement (3) andererseits grundsätzlich nicht bedarf. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kennt folglich das Problem eines verlustbringenden häufigen Stillstandes der gesamten Testvorrichtung während der üblicherweise in kurzen Zeitabständen durchzuführenden Kontaktmittel-Reinigungsarbeiten nicht.

Ein großer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist auch darin zu sehen, daß die Kontaktierungsqualität und Meßsicherheit trotz zahlreicher Kontaktierungen im wesent- liehen gleichbleibend und sehr hoch sind, wodurch die verlustbringende Aussortierung von elektronisch einwandfreien Bauelementen als fehlerhaft erheblich reduziert und die Ausbeute an einwandfreien elektronischen Bauteilen deutlich erhöht wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähigkeit von elektronischen Bauelementen ist auch deswegen vorteilhaft, weil sie die Fläche des teuren Kontaktmittels (5) im Vergleich zu der aus dem Stand der Technik bekannten Testvorrichtung wesentlich vollständiger ausnutzt und somit einen kostengünstigeren Prüfbetrieb erlaubt.

Ein wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist schließlich darin zu sehen, daß sie über ein Kontaktmittel (5) mit einer sehr langen Lebensdauer und Standzeit verfügt, wodurch deren Wirtschaftlichkeit und Rentabilität sehr positiv beeinflußt wird.

Claims

Patentansprüche

1. Vorrichtung zum Testen der elektrischen Funktionsfähig- keit von elektronischen Bauelementen (1), insbesondere von integrierten Schaltkreisen, mit mindestens einem elektrisch leitenden Verbindungselement (3) , welches einerseits mittelbar oder unmittelbar mit einer elektrischen Prüfeinrichtung (4) zur Prüfung der elektrischen Funkti- onsfähigkeit von elektronischen Bauelementen (1) elektrisch leitend verbunden ist und andererseits mit mindestens einem Kontaktmittel (5) mittelbar oder unmittelbar elektrisch leitend in Verbindung steht oder in elektrisch leitende Verbindung bringbar ist, wobei das zu testende elektronische Bauelement (1) an die dem Verbindungselement (3) gegenüberliegende Seite des Kontaktmittels (5) unter Herbeiführung einer elektrisch leitenden Kontaktierung heranführbar ist, dadurch gekennzeichnet daß das Kontaktmittel (5) einen im wesentlichen film-, folien-, streifen- , bogen- oder blattförmigen Aufbau aufweist, in der senkrecht zur Kontaktfläche ausgerichteten Kontaktierrichtung zumindest etwas elastisch oder unelastisch ist, in der Kontaktierrichtung elektrisch leitend und rechtwinklig zur Kontaktrichtung elektrisch isolierend ist, wobei das Kon- taktmittel (5) einerseits, oder das Verbindungselement (3) zusammen mit dem elektronischen Bauelement (1) in fester Endzuordnung zueinander andererseits, in Richtung der z- und/oder x- und/oder y-Achse zumindest etwas verschiebbar sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie mindestens eine manuelle oder automatische Handhabungseinrichtung (2) zur Positionierung von elektronischen Bauelementen (1) in x- und/oder y- und/oder z-Richtung um- faßt.

3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktmittel (5) im wesentlichen eine elektrisch isolierende, streifen-, bogen-, band-, b-i-att- oder plattenformige, in Kontaktierrichtung nicht-nachgebende Folie oder eine Elastomer-Folie (7) mit sich m Kontaktierrichtung erstreckenden, zumindest teilweise in die Folie (7) integrierten, im wesentlichen drahtformiςen Leitern (6) ist.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch Gekennzeichnet, daß das Kontaktmittel (5) im wesentlichen bandförmig ist und aufgespult und abspulbar beziehungsweise aufspulbar in einer auswechselbaren Kassette (8) oder auf einer in die Testvorrichtung integrierten Ab- spul- und Aufrollvorrichtung (9) vorgesehen ist.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktmittel (5) und/oder die Kassette (8) und/oder die Abspul- und Aufrollvorπch- tung (9) unmittelbar oder mittelbar auf eine voreingestellte Temperatur durch Beheizung und/oder Kühlung bringbar sind.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungselement (3) auf der dem zu testenden elektronischen Bauteil (1) zugewandten Seite ein oder mehrere elektrisch leitende Anschlußelemente m einer Anordnung aufweist, welche der Anschlußelemente-Anordnung des zu testenden elektronischen Bauele- ments (1) entspricht, wobei auf der dem elektronischen Bauelement (1) abgewandten Seite des Verbmdungselements (3) und/oder in dessen Randbereich ein oder mehrere elektrisch leitende Anschlußelemente zum mittelbaren oder unmittelbaren Anschluß einer Prufvorπchtung (4) vorgesehen sind.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfemrichtung (4) an das zu prüfende Bauelement (1) über das Verbindungselement (3) und das Kontaktmittel (5) gerichtete Eingangssignale erzeugt und von dem elektronischen Bauelement (1) über das Verbindungselement (3) und das Kontaktmittel (5) abgegebene Antwortsignale auswertet.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktmittel (5) nach einer voreingestellten Anzahl von Kontaktiervorgangen durch die zu testenden elektronischen Bauelemente (1) bei einer y-Kontaktierπchtung in x- und/oder z-Richtung, bei einer z-Kontaktiemchtung in x- und/oder y-Richtung und bei einer x-Kontaktierπchtung in z- und/oder y-Richtung gegenüber der Testposition des Verb dungselements (3) und der Testposition des elektronischen Bauelementes (1) zumindest etwas verschiebbar ist, so daß em bisher ungenutzter Bereich des Kontaktmittels (5) m den Kontaktbereich zwischen dem zu testenden elektronischen Bauelement (1) und dem Verbiαdur gselement (3) gelangt.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzexchnet, daß zur weitgehend vollständigen Nutzung der Gesamtflache des Kontaktmittels (5) dieses mindestens um die volle Lange und/oder Breite des zu testenden elektronischen Bauelements (1) und/oder um Bruch- teile hiervon bei einer y-Kontaktierrichtung m x- und/oder z-Richtung, bei einer z-Kontaktiemchtung in x- und/oder y-Richtung und bei einer x-Kontaktiemchtung m z- und/oder y-Richtung zumindest etwas verschiebbar ist.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur weitgehend vollständigen Nutzung der Gesamtflache des Kontaktmittels (5) das zu testende elektronische Bauelement (1) zusammen mit dem Ver- bmdungselement (3), jeweils unter Beibehaltung der für den Testvorgang geeigneten Endpositionen, gegen ber dem nicht-verschiebbaren Kontaktmittel (5) nach Ablauf einer voreingestellten Anzahl von Fontaktiervorgangen mindestens um dxe volle Lange und/oder Breite des zu testenden elek- tronischen Bauelements (1) und/oder um Bruchteile hiervon bei einer y-Kontaktierrichtung m x- und/oder z-Richtung, bei einer z-Kontaktiemchtung m x- und/oder y-Richtung und bei einer x-Kontaktiemchtung in z- und/oder y- Richtung zumindest etwas verschiebbar sind.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung des Kontaktmittels (5) m mittelbarer oder unmittelbarer Kopplung mit der Bewegung der Handhabungsemrichtung (2) im wesentlichen unter Ausschluß einer Verringerung des Bauelementedurchsatzes erfolgt.

12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung des Kontaktmittels (5) durch mittelbare oder unmittelbare Kopplung mit der Bewegung der Handhabungseinrichtung (2) wahrend der Handhabung des elektronischen Bauelements (1) und vor und/oder nach dem eigentlichen PrüfVorgang erfolgt.