WO2000060153A1 - Glass cloth and printed wiring board - Google Patents

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Yasuyuki Kimura
Yoshinori Gondoh
Yoshinobu Fujimura
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Asahi-Schwebel Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a printed wiring board used in the field of electronics and electricity, and more particularly to a high-density printed wiring board for forming a small-diameter hole and a glass cross used for the wiring board.
  • 'A printed wiring board is formed by laminating a plurality of insulating substrates provided with conductor layers in a multilayer shape and joining them.
  • the conductive layer provided on each insulating base material is electrically connected to an arbitrary conductive layer in the vertical direction through conductive holes called through holes, inner via holes, and blind via holes. You.
  • printed wiring boards must meet the demand for higher density. It is indispensable to reduce the diameter.
  • this build-up wiring board generally does not contain glass cross in the insulating layer, dimensional stability, heat resistance, and the like are greatly reduced, and a process different from the conventional one is required to form the build-up layer. Is required, which results in a significant cost increase. Therefore, there is a demand for the development of a glass cross that can be applied to a via hole of a multilayer printed wiring board containing a glass cloth of 0.1 mm or less in an insulating layer by a laser single-hole processing method.
  • the insulating base material of a printed wiring board is a composite material composed of a matrix resin as an organic material and glass gloss as an inorganic material, and the organic material and the inorganic material are non-uniformly present. Material. Therefore, in laser single-hole processing, the processing state of each material is different, which causes the inner wall of the hole to be rough, and has the drawback of impairing the reliability of conductor formation by the metal. In other words, the absorption ratio, decomposition temperature, thermal diffusivity, etc. of the laser beam differ between the organic material portion and the inorganic material portion.
  • An object of the present invention is to uniformly form through holes, inner via holes, blind via holes, etc. of a high-density printed wiring board by drilling, which is a small-diameter hole drilling method, and particularly by laser beam machining. It is an object of the present invention to provide a glass cross which can be processed into a small-diameter hole, and a printed wiring board using the glass cloth as a base material.
  • the present inventors have conducted intensive studies on the above-mentioned problems, and as a result, focused on the woven fabric structure of glass cloth and attempted to make the distribution of glass cross in the plane direction uniform, specifically, the width of the cross section of the yarn bundle of the glass yarn.
  • the present inventors have found that it is easy to remove glass components and to optimize the processing conditions particularly for laser processing, and have completed the present invention. That is, the present invention is as follows.
  • Thread bundle cross-sectional width A ( ⁇ .m), diameter L ( ⁇ ⁇ ) of single fiber of the yarn, number of single fibers constituting the yarn ⁇ (number), and woven density C of woven fabric composed of the yarn (Book / 25mm) is characterized by satisfying the following formula (11a). .
  • both the warp and the weft are arranged with substantially no gap, and the warp and the weft also have a yarn bundle cross-sectional width A ( ⁇ m), the diameter L of the single filament of the yarn ( ⁇ ⁇ ), the number of the single fibers constituting the yarn ⁇ (the number of yarns), and the woven density C of the yarn (25 mm of the yarn) are expressed by the following formula (1 — b).
  • a glass cloth specializing in vegetables.
  • the yarn bundle cross-sectional width A indicates the distance shown in FIG.
  • the glass cloth generally has a plain weave structure in which warp yarns and weft yarns alternately float and sink.In this case, a portion where the yarns overlap, a portion where one of the yarns exists, and a basket.
  • the warp and the weft alternately float and sink, so that the distance between the one yarn is affected by the thickness of the yarn orthogonal to the yarn. Therefore, when simultaneously minimizing the interval between each of the warp and weft yarns, the cross-sectional width of one of the yarn bundles is A ( ⁇ ), the thickness of the yarn orthogonal to the yarn is B c (m), When the woven density of the yarn is C (25 mm), there is substantially no gap and the arrangement state is defined by the following equation (3).
  • the relation of 28 ⁇ (A + Bc) XCZ 100 ⁇ 25 must be satisfied. That is, if it is smaller than 25 (mm), which is the unit length of the woven density of the glass cloth, a gap is formed between adjacent yarn bundles in excess of the thickness of the yarn that is perpendicular to the yarn, and the resin layer alone is Notably, it adversely affects the processing state. In the case of laser processing However, since the processing states of the resin part and the glass part are different, it is difficult to make the processing holes uniform. If it is larger than 28 (mm), the waviness of the other yarn is suppressed, which adversely affects the uniformity of the glass cross in the thickness direction and tends to deteriorate the smoothness.
  • the thickness of the yarn is sufficiently flattened. Sufficiently flattened here is defined as follows.
  • the cross section width of the target yarn bundle is A (m)
  • the diameter of the single fiber constituting the yarn is L (/ m)
  • the number of single fibers constituting the yarn is N (number)
  • the fabric of the yarn is Assuming that the density is C (25 mm), the width (/ m) at which the yarn spreads at the maximum uniformity (hereinafter referred to as W1) can be obtained by the following formula (4).
  • the diameter L (m) of the single fiber used here is the value of the nominal diameter of the single fiber shown in JISR 314.
  • the flat state of the yarn is also influenced by the woven fabric density of the yarn, that is, when the woven fabric density is high, the gap between the yarn and the adjacent yarn is narrowed, and therefore, Inevitably, there is less room for the yarn to spread.
  • the lower the woven fabric density the more room for the yarn to spread, and as a result, the wider the yarn is.
  • W2 maximum width of the widened yarn (hereinafter referred to as W2) (mm) (mm), which is inevitably determined by the density of the woven fabric, is calculated by the following equation (5), and the weight of the flattening difficulty is calculated. ⁇ 3 ⁇ 43 ⁇ 4 3 ⁇ 43 ⁇ 4 3 ⁇ 43 ⁇ 4 ⁇
  • Equation (7) is defined as satisfying both the warp and the weft.
  • the flattened bidirectional yarn covers the entire glass cloth, and the glass fiber distribution in the glass cloth can be said to be uniform. , Workability becomes good.
  • F t ⁇ 0.8 the surface is sufficiently flattened and uniform.
  • F t can also be expressed as follows.
  • the glass fiber covers the entire glass cross and the glass fiber becomes O defined as uniformly distributed
  • the flattened yarn covers the entire glass cloth, and the glass fiber distribution in the glass cloth can be said to be uniform. , Workability becomes good.
  • F t ⁇ l.2, it is sufficiently flattened and uniform.
  • the density of the woven fabric and the widening state of the yarn are closely related, and the weight and thickness of the cloth are determined according to the requirements of the layer structure of the laminated board, and the optimal glass cloth is selected.
  • a diameter of J IS R 3 4 13 which is smaller than the nominal diameter E and preferably a single fiber diameter which is smaller than the nominal diameter D is suitable for drilling.
  • the twist (0.7 to 0 times / 25 mm) of the glass thread that is usually used is reduced to a low twist, that is, the number of twists of the glass thread is reduced to 0.
  • the yarn width is easy to spread, and the warp and weft yarns are arranged with substantially no gap between adjacent yarns. This facilitates the formation of a structured structure.
  • the use of low twist yarns makes the yarn flattened, the cross-sectional shape of the yarn itself approaches the shape of a flat plate from an elliptical shape, and the distribution of glass fibers in the glass cross becomes more uniform.o
  • the flattening process of glass cloth can be performed by, for example, opening by the pressure of a water stream, opening by high-frequency vibration using a liquid as a medium, pressurization by jetting a fluid having surface pressure, or pressurization by a roll.
  • the yarn width is increased, and it becomes easy to form a structure in which the adjacent yarns of both the warp and the weft are arranged substantially without gaps.
  • the yarn is flattened, the cross-sectional shape of the yarn itself approaches the shape of a flat plate from an elliptical shape, and the same effect as that of a low-twist yarn is obtained, in which the distribution of glass fibers in the glass cross becomes more uniform.
  • E glass alkali-free glass
  • D glass S glass, high dielectric constant glass, etc.
  • the printed wiring board of the present invention may be prepared according to a conventional method.
  • a resin impregnated prepreg is prepared by impregnating a glass resin with a matrix resin such as an epoxy resin. It can be obtained by laminating a plurality of them, or laminating a plurality of or one of them on the inner layer core plate, and molding by heating and pressing, and by repeating these.
  • the resin used for the printed circuit board is epoxy resin, unsaturated polyester resin, polyimide resin, bismaleiamide triazine (BT) resin, thermosetting resin, etc.
  • thermoplastic resins such as polyphenylene oxide (PP0) resin, polyetherimide resin and fluorine resin, or a resin mixture thereof.
  • PP0 polyphenylene oxide
  • PP1 polyphenylene oxide
  • PP2 polyetherimide resin
  • fluorine resin or a resin mixture thereof.
  • a resin in which an inorganic filler such as aluminum hydroxide is mixed in the resin may be used.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating the relationship between glass threads constituting a glass cloth and the width and thickness of a cross section of a warp or weft yarn bundle. You. In FIG. 1, A is the cross section width of the yarn bundle, and B is the thickness of the yarn. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • the physical properties of the glass cloth in the examples and comparative examples, the width and thickness of the yarn bundles of the glass cloth, the method of preparing a laminate using the glass cloth, and the test method were measured by the following methods.
  • the measurement was performed according to JIS R 324.
  • a 35 mm copper foil 0.4 mm thick double-sided board was used as the inner layer core board, and the surface copper foil was entirely blackened to form a core board.
  • a glass cloth was impregnated with an epoxy resin varnish and dried to obtain a prepreg.
  • the pre-pre grayed stacked one by one on both layers of the core plate, by heating and pressing thereon overlapping a copper foil of 1 8 in 1 7 5 ° C, 4 0 kg / cm 2 to be al in laminated I got a board.
  • a laminate was prepared according to the method for preparing a laminate shown in (3), and after etching the copper foil, the surface layer only was processed with a carbon dioxide laser processing machine (Sumitomo Heavy Industries, Ltd. LAVIA 100 TW). Small hole drilling was performed. Processing conditions were 0.145 mm ⁇ , frequency 500 Hz, pulse energy 1 The test was performed at 8 J / cm 2 and the number of shots was 6.
  • the surface shape and cross-sectional shape of the hole were observed in the same way as the cross-sectional shape of the glass cross, and the characteristics were evaluated.
  • the characteristics the roughness of the inner wall and the reproducibility of the processing were evaluated.
  • the roughness of the inner wall indicates the difference between the convex and concave portions of the hole inner wall.
  • the reproducibility of machining shows the variation (standard deviation) of the average diameter at the bottom of the machining hole.
  • the surface treatment was performed using a silane coupling agent SZ6302 (manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.) as a treatment liquid, and the glass cloth was immersed. After drying at 20 ° C. for 1 minute, a glass cross having a weight of 24 g / m 2 and a thickness of 0.028 mm was obtained. Using this glass cross, a laminated layer was prepared by the method described above.
  • a silane coupling agent SZ6302 manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.
  • the warp yarn 5 4 25 mm, the weft 5 4 2 The glass cloth was woven at a fabric density of 5 mm, and the obtained greige was subjected to a fiber opening process (processing pressure of 300 N / cm 2 ) using a high-pressure water flow. Thereafter, the mixture was subjected to high-temperature desizing at 400 ° C. for 24 hours. Subsequently, surface treatment was performed in the same manner as in Example 1 to obtain a glass cloth having a mass of 48 g Zm 2 and a thickness of 0.042 mm. Using this glass cross, a laminate was prepared by the method described above.
  • the weft was made of glass cloth having a weft density of 46 yarns and a weave density of 25 mm, and then subjected to high-temperature desizing at 400 ° C. for 24 hours. Subsequently, surface treatment was performed in the same manner as in Example 1 to obtain a glass cloth having a mass of 48 g / m 2 and a thickness of 0.055 mm. Using this glass cross, a laminate was prepared by the method described above.
  • Example 2 a surface treatment was performed in the same manner as in Example 1 to obtain a glass cloth having a mass of 25 g Zm 2 and a thickness of 0.038 mm. Using the glass cross, a laminate was prepared by the method described above.
  • Tables 1 and 2 show the above examples, comparative examples and evaluation results.
  • the printed wiring board of the present invention By using the printed wiring board of the present invention, particularly, small-diameter hole processing (roughness of the inner wall, reproducibility of processing, roundness) of the printed wiring board by laser beam processing is improved. It becomes possible. In particular, the uniformity of the distribution of glass fibers in the glass cloth makes the reproducibility of processing extremely good. For high-density mounting, the via holes required recently have been uniformly reproducible with a small diameter. It is possible to provide a printed wiring board capable of forming holes.

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Description

明 細 書 ガラ スク ロス及びプリ ン 卜配線板 技術分野
本発明は、 電子 · 電気分野で使用されるプリ ン ト配線板に関する ものであり、 特に、 小径穴加工を行う高密度プリ ン 卜配線板及び該 配線板に用いられるガラスク ロスに関するものである。 背景技術
' プリ ン ト配線板、 特に多層プリ ン 卜配線板は、 導体層を設けた絶 縁基材を複数枚、 多層状に積層し、 接合することにより構成されて いる。 そして、 各絶縁基材に設けた導体層は、 その上下方向におけ る任意の導体層との間にスルーホール、 イ ンナビアホール、 ブライ ン ドビアホールと呼ばれる導通穴を介して電気的に接続される。 一 方、 近年の電子機器の高性能化、 小型化に伴い、 プリ ン ト配線板に は高密度化の要求に対応することが必要となっており、 この配線密 度の向上のためにビアホールの小径化が不可欠となっている。
しかしながら、 従来より導通穴の加工方法と して用いられてきた ドリ ル加工方法による小径化では、 加工面の内壁の粗さ、 加工穴の 位置ずれ、 後工程であるメ ッキエ程での加工穴壁面からのメ ッキ液 染み込みによる絶縁不良等の問題を引き起こ している。 そこで、 こ れまでにも絶縁基材を構成するガラスク ロス及びマ ト リ ッ クス樹脂 に様々な改善がなされてきた。 例えば、 ガラスク ロスの表面処理剤 によるマ ト リ ッ クス樹脂との接着性の改善、 ガラスク ロスを開繊加 ェし、 ガラス単繊維の分布の均一化、 マ 卜 リ ッ クス樹脂の T gを上 げることによる耐熱性の改善等が挙げられる。 一方で、 さ らに高密度化が進み、 0 . 2 m m 0以下の穴加工まで 必要となっている。 しかしながら、 小径ドリルは折損等による消耗 が激し く 、 ドリ ル交換に多大な時間を要するため、 生産性が上がら ないという欠点が生じる。 さ らに、 プリ ン ト配線板の小型化のため に絶縁基材の厚さが 0 . 1 m m以下まで薄く なり、 ドリル加工では 穴の深さを 0 . 1 m m以下の精度で制御することは難し く、 このよ うな薄い絶縁基材のブライ ン ドビアホール形成は困難であった。 そ のため、 最 £、 0 . 1 m m以下の絶縁層と導体を逐次積み重ねて多 層化する、 ビル ドアップ配線板と呼ばれる、 高密度多層プリ ン ト配 線板が開発され、 そのビア形成方法にレーザ一ビームによる穴加工 が提案、 実施されている。
しかし、 このビル ドアップ配線板は一般的に絶縁層にガラスクロ スを含まないために、 寸法安定性、 耐熱性等が大幅に低下し、 また 、 ビル ドアップ層を形成するために従来とは異なる工程が必要であ り、 大幅なコス トアップとなる。 そこで、 絶縁層に 0 . 1 m m以下 のガラスクロスを含む多層プリ ン ト配線板のビア形成に、 レーザ一 穴加工方法が適用可能なガラスク ロスの開発が望まれている。
一般に、 プリ ン ト配線板の絶縁基材は、 有機材料であるマ ト リ ツ ク ス樹脂と無機材料であるガラスグロスとからなる複合材料であり 、 有機材料と無機材料が不均一に存在する材料である。 そのため、 レーザ一穴加工ではそれぞれの材料の加工伏態が異なり、 穴内壁の 粗さを引き起こ し、 メ ッキによる導体化の信頼性を損なう欠点が生 じる。 つまり、 有機材料部と無機材料部ではレーザ一光の吸収率、 分解温度、 熱拡散率等が異なるためである。
これに対して、 加工条件を適正化することで、 良好な穴加工状態 を得る検討もなされているが、 有機材料であるマ ト リ ッ クス樹脂と 無機材料であるガラスク ロスの面方向での不均一な分布の絶縁基材 では、 各穴間での加工穴の均一性改良は達成されていない。
この面方向での不均一性を改良するために、 織物の密度を上げて 、 隙間ないガラスク ロスを作成する検討も行われているが、 各加工 穴の均一性は改善されるものの、 ガラス量の増加に伴い、 加工性が 低下し、 またコス 卜アップの要因となるため好ま し く ない。
また、 微小穴を必要とする高密度配線板の新しい用途と して I C ノ、。ッケ一ジが最近脚光を浴びている。 その中でも B G A、 C S Pと いったエリ アアレイ型の I Cパッケージは形状が正方形に近く、 た て、 よこ方向.ともに同じ機械特性が要求されるようになつてきてい る。 中でも接続信頼性に大きな影響を与える積層板の熱膨張係数は 特に、 たて、 よこ方向の値が同じであることが要求されている。 そのため、 ガラスク ロスの織物密度は、 たて、 よこ方向が同数に近 い構成が要求されており、 同時に、 たて糸、 よこ糸の糸形状も、 例 えば、 扁平化、 拡幅化状態も近づけることが求められるようになつ てきている。 発明の開示
本発明の目的は、 小径穴加工法である ドリル加工、 及び、 特にレ —ザ一ビーム加工により、 高密度実装プリ ン ト配線板のスルーホー ル、 イ ンナ一ビアホール、 ブライ ン ドビアホール等を均一に小径穴 加工することを可能とするガラスク ロス、 及び、 該ガラスクロスを 基材と して用いたプリ ン 卜配線板を提供することにある。
本発明者らは、 上記課題につき鋭意検討した結果、 ガラスク ロ ス の織物構造に着目 し、 ガラスク ロスの面方向の分布の均一化を図り 、 具体的には、 ガラス糸の糸束断面の幅と織物密度を限定すること により、 従来のガラスク ロスを基材と して用いた積層板と比絞して 、 小径穴加工性の向上に必須である表面平滑性に優れた積層板が得 られ、 特にレーザー加工に対しては、 ガラス成分の除去及び加工条 件の適正化が容易になることを見出し、 本発明を完成するに至った 即ち、 本発明は下記の通りである。
1. たて糸とよこ糸から構成されるガラスク ロスにおいて、 たて 糸とよこ糸のうちどちらか一方が、 実質的に隙間がなく配列され、 さ らに、 該実質的に隙間がなく配列された糸の糸束断面幅 A { μ. m ) 、 該糸の単繊維の直径 L ( μ τη) , 該糸を構成する単線維の本数 Ν (本) 、 および該糸から構成される織物の織物密度 C (本 / 2 5 m m) が、 下記式 ( 1 一 a ) を満たすことを特徵とするガラスクロ 'ス。 .
C X A / ( 2 5 X L X N ) ≥ 1 . 0 …… ( 1 — a )
2. たて糸とよこ糸から構成されるガラスク ロスにおいて、 たて 糸とよこ糸の両方が、 実質的に隙間がなく配列され、 さ らに、 たて 糸及びよこ糸において、 糸の糸束断面幅 A ( ^ m) 、 糸の単線維の 直径 L ( μ κι 、 糸を構成する単繊維の本数 Ν (本) 、 および糸の 織物密度 C (本 2 5 mm) が、 下記式 ( 1 — b ) を'蔬たすことを 特徵とするガラスク ロス。
C X A / ( 2 5 X L N) ≥ 0 . 7 5…… ( 1 — b )
3. たて糸の織物密度 C t (本/ / 2 5 mm) とよこ糸の織物密度 C y (本 2 5 mm) が、 下記式 ( 2 ) を満たすことを特徵とする 上記 1 または 2記載のガラスク ロス。
0 . 9 ≤ C t / C y ≤ 1 . 1 …… ( 2 )
4 . ガラスクロスを構成するガラス糸の単織維の直径が、 J I S R 3 4 1 3 において呼び径 Dの太さ以下であることを特徴とす る上記 1 、 2 または 3記載のガラスク ロス。
5. 上記 1 ~ 4 のいずれかに記載のガラスク ロスを基材と して用 いることを特徵とするプリ ン 卜配線板。
なお、 こ こで言う糸束断面幅 Aは、 図 1 に示す距離を示す。
以下、 本発明を詳細に説明する。
( i ) ガラ スク ロ スの特徴
ガラスクロスは、 たて糸とよこ糸が交互に浮沈している平織り構 造が一般的であり、 その場合、 該糸が重なっている部分と、 どち ら か一方の糸が存在している部分、 バスケッ トホールと呼ばれるたて 糸とよこ糸により囲まれた、 ガラス糸のない部分の 3種の状態が混 在している。 小径穴加工に優れたプリ ン ト配線板を得るためには、 絶縁基材中のガラス繊維の面方向での分布を均一にすることが重要 である。 そのため、 ガラスク ロスを構成するたて糸及びよこ糸の少 なく とも一方の糸が、 実質的に隙間がなく 、 配列されることが必要 である。
しかしながら、 織物を均一にする目的で、 たて糸とよこ糸の形状 を近づけた場合、 たて糸とよこ糸は交互に浮沈するため、 一方の糸 同志の間隔は該糸に直交する糸の厚みの影響を受ける。 そのため、 たて糸及びよこ糸ともに、 同時にそれぞれの糸同志の間隔を最小に する場合、 一方の糸束断面幅を A ( μ τα ) 、 該糸に直交する糸の厚 みを B c ( m) 、 該糸の織物密度を C (本 2 5 mm) とすると 、 実質的に隙間がなく 、 配列された状態とは下記 ( 3 ) 式で定義さ れる。
( A十 B c ) X C 1 0 0 0 ≥ 2 5 …… ( 3 )
好ま し く は、 2 8 ≥ ( A + B c ) X C Z 1 0 0 0 ≥ 2 5 の関係を 満たすことである。 すなわち、 ガラスク ロスの織物密度の単位長さ である 2 5 (mm) より小さければ.、 隣り合う糸束同志で該糸に直 交する糸の厚み以上に隙間が生じ、 樹脂層のみの部分が顕著に生じ るため、 加工状態へ悪影響を及ぼす。 またレーザ一加工の場合には 、 樹脂部分とガラス部分の加工状態が異なるため、 加工穴の均一化 が困難になる。 2 8 (mm) より大きいと、 他方の糸のうねりが抑 制され、 ガラスク ロスの厚さ方向で.の均一性に悪影響を及ぼし、 平 滑性を悪化させる傾向がある。
さ らに、 絶縁基材中のガラス量を増加させないで、 上述の式 ( 3 ) の関係を得るためには、 該糸の厚みが十分に扁平化されているこ とが好ま しい。 こ こでいう十分に扁平化されているとは、 次のよう に定義される。
まず、 対象とする糸束断面幅を A ( m) 、 該糸を構成する単繊 維の直径を L (/ m) 、 該糸を構成する単繊維本数を N (本) 、 該 糸の織物密度を C (本 2 5 mm) とすると、 該糸が最大均一に拡 がる幅 (以下、 W 1で表す) ( / m) は、 下記 ( 4 ) 式で求められ る。 こ こでいう単繊維の直径 L ( m) とは J I S R 3 4 1 3 に示されている単繊維の直径の呼び径を値と して用いている。
N X L = W 1…… ( 4 )
よって、 扁平化率 (以下、 Fで表す) は F = A/W 1 となる。 しかしながら、 該糸の扁平状態は、 該糸の織物密度にも影譽を受 け、 つま り、 織物密度が高い場合は、 該糸と該糸と隣り合う糸との 隙間は狭く なり、 そのため、 必然的に該糸が拡がる余地は少なく な る。 逆に、 織物密度が低い場合ほ、 該糸の拡がる余地は多く なり、 結果と して、 拡幅されやすいことになる。 こ こで、 織物密度によつ て必然的に求められる最大に拡幅された糸の幅 (以下、 W 2で表す ) (mm) を下記 ( 5 ) 式で求め、 扁平化難易度の重み付けと して Λ ¾¾した ο
2 5ノ C = W 2…… ( 5 )
これらより、 実質的な扁平化率 (以下、 F t で表す) を下記 ( 6 ) 式で表し、 たて糸及びよこ糸ともに扁平化されている場合、 下記 ( 7 ) 式をたて糸、 よこ糸と もに満足すると定義した。
F t = F /W 2 = A/ (W 1 x W 2 ) …… ( 6 )
F t ≥ 0. 7 5…… ( 7 )
つま り、 たて糸も しく はよこ糸両方の F t力く 0. 7 5以上であれ ば、 扁平化された両方向の糸でガラスク ロス全体が覆われ、 ガラス ク ロス中のガラス繊維分布は均一と言え、 加工性は良好となる。 好 ま し く は、 F t ≥ 0. 8の場合、 十分に扁平化され、 均一になつて いると る。
尚、 上記 ( 6 ) 式より、 F t は次のように表すこともできる。
F t = C x A/ ( 2 5 x L x N)
• また、 たて糸も し く はよこ糸のどち らかが特に扁平化され、 扁平 化されている該糸が下記 ( 8 ) 式を満足する場合、 ガラス繊維がガ ラスク ロス全体を覆い、 ガラス繊維が均一分布していると定義した o
F t ≥ 1. 0…… ( 8 )
つま り、 たて糸もし く はよこ糸どちらか一方の F tが 1. 0以上 であれば、 扁平化された該糸でガラスク ロス全体が覆われ、 ガラス ク ロス中のガラス籙維分布は均一と言え、 加工性は良好となる。 好 ま し く は、 F t ≥ l . 2の場合、 十分に扁平化され、 均一になつて い と ん 。
このよ う に、 織物密度と糸の拡幅状態は密接な関係にあり、 積層 板の層構造への要求に合わせ、 布重量、 布厚みが決められ、 最適な ガラスク ロスが選択される。
また、 たて糸の織物密度 (以下、 C t (本 2 5 mm) で表す) とよこ糸の織物密度 (以下、 C y (本/ / 2 5 mm) で表す) の関係 が下記 ( 9 ) 式の場合、 最近の積層板のたて方向、 よこ方向の均一 化要求を満足するようなガラスクロスが得られる。 さ らにはよこ方 向への織縮みを制限するためには、 下記 ( 1 0 ) 式の関係であるこ とがより好ま しい。
0 . 9 ≤ C t / C y≤ 1 . 1 …… ( 9 )
1 . 0 ≤ C t / C y≤ 1 . 1 …… ( 1 0 )
さ らに、 ガラスクロスを構成するガラス糸の単線維の直径は細い 方が均一に分散しやすく 、 またプリ ン 卜配線板の ドリ ル穴加工時の 抵抗も小さ く、 レーザ一加工時もガラ スの除去が容易である。 つま り J I S R 3 4 1 3 における呼び径 E以下の太さ、 好ま し く は 呼び径 D以下の単線維直径が穴加工には適している。
( i i ) ガラスク ロスの製造 :
' 本発明のガラスク ロスを得るためには、 通常使用されるガラス糸 の撚り ( 0 . 7〜 0回/ 2 5 m m ) を低撚化することにより、 つま り、 ガラス糸の撚り数を 0 . 5回 Z 2 5 m m以下、 好ま し く は 0 . 3〜 0 回 2 5 m mにすることにより、 より糸幅は拡がり易く 、 たて糸およびよこ糸ともに隣り合う糸同士が実質的に隙間なく配 列された構造を形成しやすく なる。 また、 低撚糸を使用することに より、 糸が扁平化し、 糸自体の断面形状が楕円の形状から平板の形 状に近づき、 ガラスク ロス中のガラス繊維の分布がより均一となる o
また、 ガラスクロス ό扁平化加工を、 例えば、 水流による圧力に よる開繊、 液体を媒体と した高周波の振動による開籙、 面圧を有す る流体の噴射による加圧、 ロールによる加圧での加工等を施すこと により、 より糸幅は拡がり、 たて糸及びよこ糸ともに隣り合う糸同 士が実質的に隙間がなく配列された構造を形成しやすく なる。 また 、 糸が扁平化し、 糸自体の断面形状が楕円の形状から平板の形状に 近づき、 ガラスク ロス中のガラス繊維の分布がより均一となる糸の 低撚糸化と同様な効果が得られる。 さ らに、 ガラス糸に滑剤の特性 を示す有機物が付着した状態のガラスクロス、 または通常のガラス ク ロスを製織する際に使用されるバイ ンダ一、 糊剤等が付着した状 態 (通常、 生機という) での扁平加工やこれらの手法の組合せによ つて、 より効果的となる。 また、 両手法の組み合わせにより、 さ ら に効果的となる。
( i i i ) ガラ スク ロ スの組成 :
プリ ン 卜配線板等に使用される積層板のガラスク ロスには、 通常 Eガラス (無アルカ リ ガラス) と呼ばれるガラスが使用されるが、 Dガラス、 Sガラス、 高誘電率ガラス等を使用しても、 ガラス種に よつて本発明の効果が損なわれることはない:,
( i V ) 積層板の製造 :
本発明のプリ ン 卜配線板を作成するには常法に従えばよ く 、 例え ば、 ガラスク ロスにエポキシ樹脂のようなマ 卜 リ ッ クス樹脂を含浸 させて、 樹脂含浸プリ プレグを作り、 これを複数枚積層し、 または 内層コア板の上にこれを複数枚または 1枚積層し、 加熱加圧成形す ることにより、 またこれらを繰り返すことにより得られる。
プリ ン 卜配線板に使用される樹脂と しては、 エポキシ樹脂、 不飽 和ポリエステル樹脂、 ポリイ ミ ド樹脂、 ビスマ レイ ミ ド ト リ アジ ン ( B T ) 樹脂、 シァネ一 卜樹脂等の熱硬化性樹脂や、 ポリ フ ヱニレ ンォキサイ ド ( P P 0 ) 樹脂、 ポリエーテルィ ミ ド樹脂、 フ ッ素樹 脂等の熱可塑性樹脂、 またはそれらの混合樹脂などが挙げられる。 また、 樹脂中に水酸化アルミ ニゥム等の無機充塡剤を混在させた樹 脂を使用しても構わない。 図面の簡単な説明
図 1 は、 ガラスク ロスを構成するガラス糸の関係、 及び、 たて糸 あるいはよこ糸の糸束断面の幅及び厚みを説明する模式的な図であ る。 図 1 において Aは糸束断面幅であり、 Bは糸の厚みである。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明を実施例により詳し く説明するが、 本発明はこれら に限定される ものではない。
実施例、 比較例中のガラ スク ロ スの物性、 ガラスク ロ スの糸束断 面幅及び厚み、 ガラスク ロスを用いた積層板の作成方法、 及び試験 方法は、 以下の方法により測定した。
① ガラ スク ロ スの物性測定方法 :
J I S R 3 4 2 0 に従い測定した。
② たて糸及びよこ糸の糸束断面幅及び厚みの測定方法 : ガラスク ロスを常温硬化のエポキシで包埋し、 研磨してガラス糸 束断面を削り出し、 たて糸及び、 よ こ糸をそれぞれ電子顕微鏡 (日 立製作所製 S 5 7 0 ) にて断面写真を撮影し、 図 1 に示す糸束断 面の幅及び厚みを測定した。
③ プリ ン 卜配線板用積層板の作成方法 :
内層コア板と して 3 5 銅箔 0 . 4 m m厚両面板を用い、 表層銅 箔を全面黒化処理して、 コア板と した。 次にガラスク ロスにェポキ シ樹脂ワニスを含浸し、 乾燥してプリ プレグを得た。 このプリ プレ グを該コア板の両層に 1枚ずつ積層し、 さ らにその上に 1 8 の銅 箔を重ねて 1 7 5 °C、 4 0 k g / c m 2 で加熱加圧して積層板を得 た。
④ プリ ン ト配線板の加工性評価 :
③に示す積層板の作成方法により積層板を作成し、 銅箔をエツチ ァゥ 卜後、 炭酸ガス レーザ一加工機 (住友重機械工業 (株) L A V I A 1 0 0 0 T W ) により、 表層のみの小径穴加工を行つた。 加工 条件は 0 . 1 4 5 m m ø、 周波数 5 0 0 H z 、 パルスエネルギー 1 8 J / c m 2 、 シ ョ ッ ト数 6 で行った。
穴加工後、 穴の表面形状及び断面形状をガラスク ロスの断面形状 と同様な方法で観察し、 特性を評価した。 特性と して、 内壁の粗さ 、 加工の再現性を評価した。 こ こで、 内壁の粗さは穴内壁の凸部と 凹部の差を示す。 また、 加工の再現性は加工穴底部の平均径のバラ ツキ (標準偏差) を示す。
(実施例 1 )
ガラスク ロスと して、 たて糸及びよこ糸に C 1 2 0 0 1 / 0 1. 0 Zを使用し、 エアジ ヱ ッ トルームで、 たて糸 6 9本 / 2 5 m m、 よこ糸 6 9本 / 2 5 mmの織物密度でガラスク ロスを製織し、 得られた生機に扁平化加工と してプレスロールで連続的に加圧する (線圧 3 0 0 NZ c m) 方法を施した後、 高圧散水流による開繊加 ェ (加工圧 2 0 0 NX c m 2 ) 方法を採用した。 その後、 4 0 0 °C で 2 4時間高温脱糊した。
続いて、 表面処理と してシラ ンカ ツプリ ング剤である S Z 6 0 3 2 (東レ · ダウコーニング (株) 製) を用いて処理液と し、 ガラス ク ロスを浸漬し、 絞液後、 1 2 0 °Cで 1分乾燥し、 重量 2 4 g / m 2 、 厚さ 0. 0 2 8 mmのガラ スク ロスを得た。 このガラ スク ロス を用いて、 前述の方法で積層扳を作成した。
(実施例 2 )
ガラスク ロスと して、 たて糸及びよこ糸に C 9 0 0 1 / 0 1 . 0 Zを使用し、 エアジヱ ッ 卜ルームで、 たて糸 6 9本 Z 2 5 mm 、 よこ糸 6 9本 Z 2 5 mmの織物密度でガラ スク ロ スを製織し、 得 られた生機に高圧散水流による開繊加工 (加工圧 2 0 0 / c m 2 ) 方法を採用した。 その後、 4 0 0 2Cで 2 4時間高温脱糊した,: 続いて、 実施例 1 と同様に表面処理を施し、 重量 3 0 g /m 2 、 厚さ 0 . 0 3 O mmのガラスク ロスを得た。 このガラスク ロスを用 いて、 前述の方法で積層板を作成した。
(実施例 3 )
ガラスクロスと して、 たて糸およびよこ糸と して D 9 0 0 1 / 0 1 . 0 Zを使用し、 エアジェ ッ トルームで、 たて糸 6 9本 / 2 5 mm、 よ こ糸 6 9本 Z 2 5 m mの織物密度でガラ スク ロスを製織 し、 得られた生機に高圧水流による開織加工 (加工圧 1 5 0 NZ c m 2 ) 方法を採用した。 その後、 4 0 0 °Cで 2 4時間高温脱糊した 続いて、 実施例 1 と同様に表面処理を施し、 質量 3 0 g /m 2 、 厚さ 0 . 0 3 2 m mのガラスク ロスを得た。 このガラスク ロスを用 いて、 前述の方法で積層板を作成した
(実施例 4 )
ガラスクロスと して、 たて糸およびよこ糸と して D 4 5 0 1 / 0 0 . 3 Zを使用し、 エア ジヱ ッ トル一ムで、 たて糸 5 4本 2 5 mm、 よこ糸 5 4本ノ 2 5 m mの織物密度でガラ スク ロスを製織 し、 得られた生機に高圧水流による開繊加工 (加工圧 3 0 0 N / c m 2 ) 方法を採用した。 その後、 4 0 0てで 2 4時間高温脱糊した 続いて、 実施例 1 と同様に表面処理を施し、 質量 4 8 g Zm 2 、 厚さ 0 . 0 4 2 mmのガラスク ロスを得た。 このガラスク ロスを用 いて、 前述の方法で積層板を作成した。
(比較例 1 )
ガラスク ロスと して、 たて糸及びよこ糸に D 4 5 0 1 / 0 1 0 Zを使用し、 ェアジエ ツ トル一ムで、 たて糸 6 0本 2 5 mm
、 よこ糸 4 6本 Z 2 5 m mの織物密度でのガラスク ロスを製織し、 その後、 4 0 0 °Cで 2 4時間高温脱糊した。 続いて、 実施例 1 と同様に表面処理を施し、 質量 4 8 g / m 2 、 厚さ 0 . 0 5 5 mmのガラスク ロスを得た。 このガラスク ロスを用 いて、 前述の方法で積層板を作成した。
(比較例 2 )
ガラスク ロスと して、 たて糸及びよこ糸に D 9 0 0 1 / 0 1 . 0 Zを使用し、 ェアジエ ツ トル一ムで、 たて糸 5 6本 / 2 5 mm 、 よこ糸 5 6本 / 2 5 mmの織物密度でガラスク ロスを製織し、 そ の後、 4 0 0 °Cで 2 4時間高温脱糊した。
続いて、 実施例 1 と同様に表面処理を施し、 質量 2 5 g Zm 2 、 厚さ 0 . 0 3 8 mmのガラ スク ロ スを得た。 このガラ スク ロスを用 いて、 前述の方法で積層板を作成した。
以上の実施例、 比較例及びその評価結果を表 1 、 2 に示す。
表 1
実施例
1 2 3 4 単繊維直径 たて糸 4. 5 4. 5 ' 5 5
L (urn) よこ糸 4. 5 4. 5 5 5 単繊維本数 たて糸 1 0 0 1 4 4 1 0 0 2 0 0 N (本) よこ糸 1 0 0 1 4 4 1 0 0 2 0 0 ガ 織物密度 C tたて糸 6 9 6 9 6 9 5 4 ラ C (本 /25mm) C yよこ糸 6 9 6 9 6 9 5 4 ス C t / C y 1. 0 1. 0 1. 0 1. 0 ク
□ 糸束断面幅 たて糸 1 6 1 2 0 4 2 1 4 3 8 6 ス A ( μ m) よこ糸 3 5 2 3 5 4 3 5 6 4 6 4 構
成 糸束断面厚み たて糸 1 8 1 8 1 9 2 7 内 B ( i m) よこ糸 1 1 1 5 1 6 1 9 容
(A + Bc) X C/1000 たて糸 1 2 1 5 1 6 2 2 よ Γ¾ 2 6 2 6 2 6 2 7
F t たて糸 0.99 0.86 1.18 0.83 よ し糸 2.16 1.51 1.97 1.00 加 内壁粗さ ( in) 1.8 2.1 4.5 7.4 ェ
性 穴径バラツキ ( 10) 3.5 4.0 4.4 5.4 P
表 2
比較例
1 2 単繊維直径 たて糸 D 5
L ( m) よこ糸 5 5 単繊維本数 たて糸 2 0 0 1 0 0 N (本) よこ糸 2 0 0 1 0 0 ガ 織物密度 C t たて糸 6 0 5 6 ラ C (本/ 25iura) C yよこ糸. 4 6 5 6 ス C t / C y 1. 3 1. 0 ク
D 糸束断面幅 たて糸 2 6 4 1 9 9 ス A ( m) よこ糸 3 5 0 2 8 5 構
成 糸束断面厚み たて糸 3 7 2 6 内 B ( μ m) よこ糸 3 4 1 7 容
(A+Bc) X C/1000 たて糸 1 8 1 2 よこ糸 1 8 1 7
F t たて糸 0.63 0.88 よ し糸 0.64 1.27 加 内壁粗さ ( im) 16.5 9.3 ェ
性 穴径バラツキ ( m) 16.0 13.8 産業上の利用の可能性
本発明のプリ ン ト配線板を用いる ことにより、 特に、 レーザ—ビ —ム加工によるプリ ン 卜配線板の小径穴加工 (内壁の粗さ、 加工の 再現性、 真円性) を良好にすることが可能となる。 特に、 ガラスク ロス中のガラス繊維の分布が均一であることから、 加工の再現性が 極めて良好であり、 高密度実装化のために、 最近求められているバ ィャホールを均一に再現性良く 、 小径穴加工することを可能とする プリ ン ト配線板を提供することができる。

Claims

求 の 範 囲
1 . たて糸とよこ糸から構成されるガラスクロスにおいて、 たて 糸とよこ糸のうちどちらか一方が、 実質的に隙間がなく配列され、 さ らに、 該実質的に隙間がなく配列された糸の糸束断面幅 A ( μ m ) 、 該糸の単繊維の直き α径青 L ( m) 、 該糸を構成する単繊維の本数 N (本) 、 および該糸の織物密度 C (本 / 2 5 mm) が、 下記式 ( 1 - a ) を満たすことを特徴とするガラスク ロス。
C X A Z ( 2 5 X L X N ) ≥ 1 . 0 …… ( 1 — a )
2 . たて糸とよこ糸から構成されるガラスク ロスにおいて、 たて 糸とよこ糸の両方が、 実質的に隙間がなく配列され、 さ らに、 たて 糸及びよこ糸において、 糸の糸束断面幅 A ( m) 、 糸の単繊維の 直径し ( β τα) 、 糸を構成する単繊維の本数 Ν (本) 、 および糸の 織物密度 C (本 Ζ 2 5 mm) が、 下記式 ( 1 一 b ) を満たすことを 特徴とするガラスク ロス。
C X A / ( 2 5 x L x Ν ) ≥ 0 . 7 5…… ( 1 一 b )
3 . たて糸の織物密度 C t (本 Z 2 5 mm) とよこ糸の織物密度 C y (本 Z 2 5 mm) が、 下記式 ( 2 ) を満たすことを特徴とする 請求項 1 または 2記載のガラスクロス。
0 . 9 ≤ C t / C y ≤ 1 . 1 …… ( 2 )
4 . ガラスク ロスを構成するガラス糸の単繊維の直径が、 J I S R 3 4 1 3 において呼び径 Dの太さ以下であることを特徵とす る請求項 1、 2 または 3記載のガラスクロス。
5. 請求項 1〜 4 のいずれかに記載のガラスク ロスを基材と して 用いることを特徴とするプリ ン ト配線板。
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