WO2000048238A1 - Structure multicouche a contraintes internes controlees et procede de realisation d'une telle structure - Google Patents

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WO2000048238A1
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Hubert Moriceau
Olivier Rayssac
Anne-Marie Cartier
Bernard Aspar
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Definitions

  • the present invention relates to a multilayer structure obtained by adhesion or adhesion, in particular molecular, characterized by controlled internal stresses, and to a process for producing such a structure.
  • multilayer structure with controlled stresses means a structure comprising at least two layers, called main layers, having tension or compression constraints between them. These constraints are determined and controlled according to the destination of the structure.
  • the invention finds applications in the fields of microelectronics, as a substrate or as a stiffener, but also in the fields of micromechanics for the manufacture of membrane sensors, for example.
  • an SOI multilayer structure comprises a thick layer of silicon serving as a support, an insulating layer of silicon oxide and a surface layer of thin silicon, of which the thickness is between a few tens of nanometers to a few tens of micrometers.
  • the manufacture of SOI structures generally involves contacting by molecular adhesion two silicon wafers, at least one of which is covered by a surface layer of silicon oxide.
  • the platelets After contacting, the platelets generally undergo a heat treatment under a controlled atmosphere.
  • the function of this heat treatment is to improve intimate contact and therefore the adhesion of platelets.
  • the materials present are capable of imposing mutual constraints.
  • the constraints are linked in particular to the differences in coefficient of thermal expansion, ⁇ l / 1 of the materials in contact.
  • a film of Si0 2 on a silicon wafer when produced at certain temperatures, has the effect of inducing deformation of the wafer during its cooling.
  • the relative deformation under the effect of heat, noted ⁇ l / 1, is of the order of 2.6.10 "6 / K for silicon, and of the order of 5.
  • 10 " NK for SiO oxide produced by thermal oxidation of silicon.
  • FIGS. 1 to 4 appended make it possible to illustrate the stresses generated in SOI structures produced by conventional methods by molecular adhesion.
  • FIG. 1 shows a first main layer 10a, or support, in the form of a silicon wafer having on its surface a thin layer of thermal oxide 20a.
  • the reference 10b designates a silicon wafer forming a second main layer, the parallel faces of which are planar.
  • the main layers 10a and 10b initially have thicknesses of the same order of magnitude.
  • Figure 2 shows the structure obtained by assembling the main layers 10a and 10b. These layers are connected by the oxide layer 20a.
  • the assembly comprises, as mentioned above, the molecular bonding of the second main layer of silicon 10b on the surface layer of oxide 20a. This bonding is reinforced by a heat treatment. It is observed that the structure obtained after assembly exhibits almost no deformation. In fact, as soon as the thicknesses of the main silicon layers are of the same order of magnitude, the stresses generated by the oxide layer on each of the main layers tend to compensate for each other.
  • the silicon surface film of an SOI type structure is generally a thin film whose thickness is adapted to the requirements for electrical insulation of components, for example. The rigidity of the structure is ensured by the thick silicon layer.
  • Thinning can take place by one of the thinning techniques known in various BSOI processes.
  • Figures 3 and 4 show structures obtained respectively by the thinning of the main layers 10b and 10a. These structures have an arrow and the surface of the thin silicon layer is convex in each case. It is noted that the thickness of the main layers but also the thickness of the buried silicon oxide layer, that is to say the oxide layer sandwiched between the main layer and the thin surface layer, make part of the parameters which govern the deflection of the structure finally obtained.
  • values of arrows are obtained which can be greater than 50 ⁇ m when the thin surface silicon film 10a has a thickness of 25 ⁇ m and when the main layer of silicon has a thickness of the order of 500 ⁇ m.
  • the thickness of the silicon surface film is increased to more than 50 ⁇ m, the deflection decreases to approximately 25 ⁇ m. This shows the importance of the thickness of the silicon film compared to that of the oxide film.
  • One possible measure to reduce the deformations of the structure would consist in making a second oxide film on the free face, called the rear face, of the thick main layer of the structure. This measure would effectively reduce the deformation of the plates before they are brought into contact. In a number of applications, however, it is necessary to remove the rear oxide film. However, after thinning, if the oxide film is removed on the rear face, it is found that the deformation is restored and finally a deformation of the SOI structure is obtained, mainly related to the thickness of the oxide film. Reference can be made to this subject in document (1), the reference of which is specified at the end of the description.
  • FIG. 5 one can try to reduce the effect of the stresses by bringing into contact two main layers of silicon 10a, 10b each equipped with an oxide film 20a, 20b on the surface, the films being of comparable thickness.
  • a deformation appears for the structure during the thinning of one of the layers.
  • the initial deflection of the two main layers increases the difficulty of bringing the surfaces of the surface oxide layers into contact. This can locally generate areas of poor contact and therefore recesses or defects in the final structure.
  • the deformation phenomenon described above for a structure combining layers of silicon and silicon oxide exists for a large number of pairs of materials.
  • the deformation generated can be variable depending on the materials brought into contact and in particular the type of stress, in tension or in compression which appears.
  • FIG. 6 when a film of silicon nitride 30 is deposited on a silicon wafer 10, this deposit can generate, depending on its conditions of use and after cooling, stresses leading also to a deformation.
  • the constraints between silicon nitride and silicon have origins intrinsic to materials but also thermal origins linked to differences in coefficients of thermal expansion.
  • the coefficient of thermal expansion of a film of silicon nitride obtained by chemical vapor deposition (CVD) is of the order of 4.2 ⁇ 10 ⁇ 6 6 / K while this coefficient is 2, 6.10 "6 / K for silicon.
  • CVD chemical vapor deposition
  • Document (3) in particular shows that it is possible to compensate for the effects of constraints generated by a surface film of silicon oxide formed on the surface of a silicon wafer, by covering this surface film with a second film of silicon nitride. A substantially planar structure can be obtained.
  • the thickness of the second film must be precisely controlled to finally obtain a structure with flat faces.
  • the stresses generated between the layers are not simply linked to the materials brought into contact, as is the case for layers produced for example by consecutive deposits, but are also linked to the quality of the molecular adhesion between layers.
  • An object of the present invention is to propose a method for producing a multilayer structure, comprising at least one adhesion step, and making it possible to precisely control the stresses appearing in the structure following the association of layers of different materials. .
  • One aim is in particular to propose such a method making it possible to modify and adjust the stresses in order to obtain a final planar structure or having a predetermined deflection.
  • One aim is to be able to transfer, using adhesion, at least one crystalline layer to obtain a structure whose stress is controlled.
  • An aim is also to propose such a method making it possible to produce a structure free from contact defects at the interfaces between the layers of different materials.
  • Another aim is to propose a process capable of taking into account treatments before or after the production of the structure and which is compatible with the requirements of an industrial implementation such as, for example, an implantation treatment in to obtain separation.
  • the invention more specifically relates to a method for producing a multilayer structure comprising at least a first and a second layer called main layers, interconnected by a stack of at least two adaptation layers of constraints, and having a determined structural stress, in which: a) the first main layer is equipped with a first stress adaptation layer, and at least one second stress adaptation layer is fitted, l one of the second main layer and the first stress adaptation layer, b) an assembly of the first and second main layers is carried out by means of the stress adaptation layers (said assembly advantageously comprising an adhesive bonding between layers), the first and second adaptation layers being made of materials and with thicknesses such that at the end of the process, said determined structural stress is obtained in the structure.
  • the first adaptation layer and the second adaptation layer are chosen (type of embodiment, nature, thickness) as if they are respectively on the first main layer and on the second main layer independently (that is i.e. before assembly), they cause deformations in opposite directions. These deformations are not necessarily of the same amplitude.
  • At least one of the adaptation layers is surmounted by an intermediate layer to allow the desired multilayer structure to be obtained.
  • the adhesion bonding can be a bonding of the molecular adhesion type.
  • the invention can also use a bonding chosen from a solder, a weld, a bonding by means of an adhesive substance, an interdiffusion between layers or a combination of these different techniques. In these techniques, bonding takes place by means of a so-called bonding layer.
  • This bonding layer is either between the adaptation layers or between one of the adaptation layers and the corresponding main layer.
  • structural constraint is meant the constraint resulting from the constraints of each of the adaptation layers, the constraints of each of the main layers, and the constraints linked to the link interface.
  • the structural constraint determines the convex or concave deflection, or the plane character of the surfaces of the structure obtained.
  • the heat treatment possibly carried out after step b) not only improves the quality of the bonding but above all makes it possible, by adjusting the thermal budget used, to modify the contact constraints between the layers so as to adjust the balance. tension and compression constraints.
  • the thermal budget used can be adjusted taking into account in particular the thermal budgets of treatments before or after step c). Thus, other heat treatments carried out on the structure are not detrimental to obtaining a given stress.
  • the heat treatment budget is also adjusted according to other parameters governing the stresses in the layers. Among these parameters we can cite:
  • the first stress adaptation layer can be formed on the first main layer and the second stress adaptation layer on the second layer main.
  • bonding is carried out between the adaptation layers.
  • one of the stress adaptation layers has a convex surface and the second adaptation layer has a concave surface.
  • the surfaces to be assembled thus have, to a certain extent, a complementarity of shape which makes it possible to obtain a quality contact free from bonding defects such as recesses, or poorly bonded areas.
  • the two stress adaptation layers can be formed on the first main layer and bonding can take place between the second main layer and the surface stress adaptation layer, integral with the first main layer.
  • step b) before step b), it is possible to prepare the layers to be combined by colla ⁇ e mol pr.nl ai ⁇ - to adjust the surface condition of these layers and give them, for example, a hydrophilic character.
  • the adjustment of the surface state can consist either of smoothing (chemical, mechanochemical or by heat treatment) or, on the contrary, in an operation tending to make the surface of at least one of the layers to be assembled rougher.
  • the method may include a step of thinning one of the main layers after assembly.
  • Obtaining a thin layer, in particular on a thin layer of silicon, over stress adaptation layers of which at least one is insulating, is advantageous for example for the subsequent production of integrated electronic circuits (for example SOI substrate).
  • the thinning of one of the main layers can take place by a mechanical or mechanochemical abrasive treatment.
  • Thinning can also take place by fracture.
  • the method comprises at least one ion implantation of gaseous species in at least one of the main layers or of the adaptation layers to form therein a fracture zone, and the thinning step comprises a step of separation of said implanted layer according to the fracture zone, for example by a thermal and / or mechanical treatment.
  • the stress of the structure will then be modified by the thinning step.
  • l stress during the process can advantageously be used as an "intermediate" stress of determined structure, to participate in this thinning.
  • the final structure obtained after thinning that is to say after separation of one of the layers, presents a new constraint of determined "final" structure.
  • the structure according to the invention in certain variants, can contain a certain number of layers, some of which can be thinned, or even eliminated, their role being justified in certain cases only to adapt the intermediate stress which participates in the thinning.
  • the adaptation of the intermediate constraint can be an objective in itself.
  • the use of an intermediate constraint which participates in the separation makes it possible to reduce the dose of implanted species (hydrogen and / or rare gases), and / or the thermal budget and / or the work induced by the mechanical force or forces applied. for separation. For example, it makes it possible to obtain separation with a very low thermal budget on structures where the main layers have different coefficients of thermal expansion. Control of the intermediate stress makes it possible to considerably improve the process by modifying either the implantation conditions or the separation conditions.
  • one of the techniques uses an implantation of gaseous species capable of creating a layer embrittled consisting of microcavities or gaseous microbubbles.
  • microcavity or gaseous microbubble is understood to mean any cavity generated by the implantation of ions of hydrogen gas and / or of rare gases in the material.
  • the cavities can be in very flattened form, that is to say of low height, for example a few inter-atomic distances as well as in spherical form or any other form different from these two previous forms.
  • These cavities may contain a free gas phase and / or gas atoms from the implanted ions attached to atoms of the material forming the walls of the cavities; these cavities can even be empty.
  • the cavities are generally called in Anglo-Saxon terminology “platelets”, “microblisters” or even “bubbles”.
  • gaseous species elements for example of hydrogen or of rare gases in their atomic form (for example H) or in their molecular form (for example H 2 ) or in their ionic form (for example H + , H 2 + ) or in their isotopic (e.g. deuterium) or isotopic and ionic form.
  • the fracture heat treatment is carried out with a thermal budget which depends on the thermal budget supplied to the main layer during the implantation, and during the stages which take place before the fracture. Depending on the case, this heat treatment can be zero in time and / or temperature. Of more, this heat treatment can be adjusted according to other stresses exerted, such as, for example, mechanical forces, traction, shear, bending, etc. exercised alone or in combination.
  • the heat treatment leads to the coalescence of the microcavities which bring about a weakening of the structure at the level of the layer of microcavities.
  • This embrittlement allows the separation of the material under the effect of internal stresses and / or pressure in the microcavities, this separation being able to be natural or assisted by application of external stresses.
  • Mechanical forces can be applied perpendicular to the planes of the layers and / or parallel to them. They can be located in a point or a zone or be applied to different places in a symmetrical or asymmetrical way.
  • the stage of adaptation of the constraints of the final structure can also include a stage of thinning, for example by sacrificial oxidation and / or chemical attack and / or plasma etching and / or polishing.
  • At least one of the stress adaptation layers can be formed by deposition of material according to a deposition method chosen for example from spraying, epitaxy, chemical deposition methods, such as chemical vapor deposition, low pressure vapor phase deposition, and chemical phase deposition plasma assisted steam.
  • a deposition method chosen for example from spraying, epitaxy, chemical deposition methods, such as chemical vapor deposition, low pressure vapor phase deposition, and chemical phase deposition plasma assisted steam.
  • a stress adaptation layer can also be obtained by surface oxidation of one of the main layers.
  • one of the adaptation layers can be a layer of thermal oxide Si0 2 .
  • At least one stress adaptation layer can be obtained by implanting species in a main layer.
  • the implantation of species in one of the main layers makes it possible to form on the surface of this layer an area whose properties are modified.
  • the implantation of species makes it possible to generate constraints or to locally modify the density of the material.
  • the depth where the majority of the implanted species is located depends on the conditions of the implantation. For example of its energy, if the implantation is of the ion implantation type.
  • the film of implanted species, defined by this depth, and its vicinity, where most of the implanted species are located, then constitutes one of the layers of the constraint bilayer.
  • the film between this film of implanted species and the surface of the second main layer can constitute one of the two films of the stress bilayer.
  • the intensity of the constraints can be adapted according to the nature of the species, the dose or the various implantation parameters (temperature, implantation current, energy, etc.).
  • the implantation can in particular be carried out with gaseous species, for example hydrogen and / or rare gases.
  • the presence of a stress in the structure participates in the separation and makes it possible to reduce the dose of implanted species (hydrogen and / or rare gases), and / or the thermal budget and / or the work induced by the mechanical force (s) applied to separate it.
  • implanted species hydrogen and / or rare gases
  • thermal budget and / or the work induced by the mechanical force (s) applied to separate it.
  • stress control makes it possible to considerably improve the process. It allows for example to have the fracture with a very low thermal budget on structures where the main layers have different coefficients of thermal expansion.
  • the implantation can be carried out before or after assembly of the structure.
  • the normally adjacent main layer may be omitted or confused with this adaptation layer.
  • a modified main layer and a multilayer stack are obtained, the latter being able to be reused as the main layer comprising a stress adaptation layer.
  • the production method described above is applicable to main layers of various materials.
  • the main layers of identical or different materials can be for example in monocrystalline, polycrystalline or amorphous materials, and for example silicon, germanium, silicon carbide, type III-V or II-VI semiconductor, such as GaAs, GaN, InP, ... made of glass or quartz, superconductive materials, diamonds, or ceramic materials (such as LiTa0 3 , LiNb0 3 , ).
  • the main layer can be formed of one or more layers, for example glued, deposited, or epitaxial.
  • the stress adaptation layers are for example made of a material chosen from Si0 2 , SiN, Si 3 N 4 , TiN, diamond and metals (such as Pd, alloys, etc.) or one of the materials capable of constitute one of the main layers or in a combination of these materials.
  • the invention also relates to a multilayer structure with controlled internal stresses comprising, in order, a stack of a first main layer, of at least a first stress adaptation layer in contact with the first main layer, of at least a second stress adaptation layer in contact with said first stress adaptation layer and a second main layer in contact with the second stress adaptation layer.
  • the first and second stress adaptation layers have contact constraints with the first and second main layers which are of opposite sign respectively.
  • the structure may have a suspended membrane, the suspended membrane comprising at least a portion of one of the first and second main layers, released from the second respectively of the first main layer.
  • the suspended membrane can support other functional layers.
  • it may further comprise at least one layer of superconductive material covering said portion of one of the first and second main layers.
  • FIG. 1 is a schematic section of first and second main layers before assembly, one of the layers being covered with a surface film of a material capable of generating internal constraints.
  • FIG. 2 already described, shows a structure comprising the layers of Figure 1, after assembly.
  • FIGS 7, 8 and 9 are schematic sections showing steps in the manufacture of a multilayer structure according to a particular implementation of the method of the invention.
  • FIG. 10 is a graph indicating, on an arbitrary scale, the deflection values of the structure obtained by the method, as a function of thermal treatment parameters.
  • FIG. 11 to 15 are schematic sections showing successive steps of another possibility of implementing the method of one invention.
  • FIG. 16 to 18 are schematic sections, showing successive stages in the production of a suspended membrane structure and illustrating a particular application of the invention.
  • FIG. 19 is a schematic section of a structure constituting a variant of the structure of Figure 18.
  • FIG. 20 is a diagrammatic section of a structure constituting another variant of the structure of FIG. 18.
  • a first example of implementation relates to the production of a stacked structure consisting of a very thin silicon film and a bilayer for adaptation of stresses supported by a thick silicon substrate.
  • the described implementation calls upon a separation process for forming the thin surface layer of silicon.
  • a film of silicon nitride Si 3 N 4 130, with a thickness of 400 nm, is formed according to a low pressure vapor deposition (LPCVD) process, on a plate. of silicon which forms a first main layer 110a.
  • LPCVD low pressure vapor deposition
  • the low-pressure vapor deposition makes it possible to produce a film inducing a weak deflection on the main layer. This is the case in particular if the deposition is carried out on the two faces of this layer.
  • the silicon nitride film 130 constitutes a first stress adaptation layer.
  • this adaptation layer can be surmounted by an intermediate layer produced for example by a film of silicon oxide and by a film of silicon oxynitride, for example a few nm thick.
  • This intermediate layer in this case allows either to promote bonding by molecular adhesion used for assembly or to improve the electrical quality of the interface with the main layer.
  • the silicon wafer is optionally covered beforehand with a very thin layer of silicon oxide, not shown, for example with a thickness of 10 nm. The advantage of such a very thin layer is, for example to constitute an interface of very good electronic quality with a surface silicon layer described below.
  • hydrogen is implanted through the film 130 with an implantation dose of the order of 2.5 ⁇ 10 16 at / cm 2 .
  • the implantation leads to the formation of a fracture zone identified with the reference 112.
  • the hydrogen implantation parameters can be changed when the deflection of the nitride film is changed, depending on the deposition conditions for example.
  • a film 120 of silicon oxide is produced by a heat treatment under an oxidizing atmosphere.
  • the thickness of the oxide film is substantially equivalent to that of the nitride film 130.
  • the second silicon wafer 110b and the oxide film 120 respectively form a second main layer and a second stress adaptation layer.
  • the layers of silicon nitride and the silicon oxide initially formed on the main layers of silicon generate contact stresses of opposite sign. This results in deformations of the main layers such that the surfaces of the nitride and oxide stress adaptation layers are respectively concave and convex.
  • the process is continued by a step of cleaning the plates intended to make the surface of the stress adaptation layers 120, 130 hydrophilic.
  • the cleaning makes it possible to obtain a controlled surface micro-roughness, of quadratic value (RMS in English). typically less than 0.7 nm, which is compatible with direct molecular adhesion.
  • Micro-roughness can be measured and controlled by atomic force microscopy for example in a range of spatial frequencies from 10 "2 ⁇ m _1 to 10 3 ⁇ m -1 .
  • the control of the surface roughness, by the step of cleaning the plates before bonding, is presented here as an advantage on surface polishing techniques, for a silicon nitride film, the thickness of which can reach at least several tenths of a micron.
  • the cleaning step makes it possible to induce a modification of the binding energy and therefore to induce a modification of the specific stress of the bilayer subsequently formed by the bonding of the stress adaptation layers.
  • the cleaning step makes it possible to free the process from a mechanical-chemical polishing step, good thickness homogeneity of the
  • the next step in the process actually involves bringing the stress adaptation layers into direct contact to cause them to stick. This operation takes place at room temperature. It is understood from FIG. 7 that the complementary nature of the deformation of the layers makes it possible to minimize the risk of poor contact.
  • a first heat treatment carried out for 30 minutes at a temperature of 500 ° C. makes it possible to cause a fracture in the fracture zone 112 indicated in FIG. 7 and therefore to detach from the first main layer 110a a thin surface layer 114
  • This surface layer remains integral with the second main layer 110b via the bilayer formed by the stress adaptation layers 120, 130 associated possibly to intermediate layers.
  • the heat treatment can be assisted in whole or in part by the application of mechanical stresses. As a result, the thermal budget required for the fracture can be reduced. It can be zero in time and in temperature.
  • the thickness of the thin surface layer of silicon 114 is of the order of a few tenths of a micrometer. It is fixed by the penetration depth of the gaseous species of the separation layer (fracture) implanted in the first main layer of silicon. As the implantation takes place through the film 130 of silicon nitride, the depth of implantation and therefore the thickness of the thin layer 114 of silicon also depend on the thickness of the film 130 of silicon nitride.
  • first main layer 110a is equipped with a stress adaptation layer makes it possible to reduce the implantation dose necessary for the fracture in the zone 112 and / or to reduce the thermal budget of the first thermal fracture treatment and / or the mechanical separation forces.
  • the specific constraints induced by the stress adaptation layers and in particular the layer of silicon nitride 130, in the first main layer of silicon 110a indeed favor fracture. For example, a gain in temperature, energy and ultimately cost can be obtained.
  • the minimum dose to obtain a separation is 3.5.10 16 at / cm 2 , for a conventional stacked structure where the nitride film would be replaced by a thermal oxide film 400 nm thick.
  • a second heat treatment is carried out.
  • This treatment has a double function of making more intimate the connections at the interface between the two layers of adaptation of stresses previously brought into contact, and of modifying or adjusting the stresses induced within the structure finally obtained.
  • the second heat treatment takes into account, of course, the thermal budget of the first heat treatment and possibly the use of mechanical stresses.
  • the second heat treatment can be carried out at a temperature of 1100 ° C. for 2 hours.
  • a concavity of the structure is obtained with a deflection of approximately 50 ⁇ m.
  • the deflection of the final stacked structure depends mainly on two parameters which are the ratio Re of the thicknesses E nit and E ox of the layers of nitride 120, and of silicon oxide 130, of stress adaptation and the thermal budget applied to the structure.
  • the effect of the thickness ratio of the layers, at fixed sealing temperature, reflects the fact that the deflection of the structure is proportional to the effective stress and to the thickness of the adaptation layers.
  • FIG. 10 is a graph which indicates in arbitrary units the deflection of the structure finally obtained as a function of the thickness ratio of the layers
  • E oxidizes two different treatment temperatures Ti and T 2 such that T 2 > T ⁇ .
  • the stress adaptation bilayer is consisting of a film of Si0 2 and a layer implanted in one of the main layers.
  • a first stress adaptation layer 220 is formed by implantation of species in a silicon wafer. The part of this plate not affected by the implantation forms the first main layer 210a.
  • the implantation can take place with nitrogen with a dose of 10 16 atoms / cm 2 and with an energy of 135 keV.
  • the stress adaptation layer 220 that is to say the zone disturbed by the implantation, induces a compressive stress of a few tens of MPa.
  • the deformations of the layers induced by the stresses are no longer shown in FIGS. 11 to 15.
  • the energy, and therefore the implantation depth, makes it possible to define in the main layer 210a a thin surface layer 214 more or less thick. This is delimited by the separation layer 212.
  • a film of silicon oxide (Si0 2 ) 230 is formed on the surface of another silicon wafer which constitutes the second main layer 210b.
  • the silicon oxide film 230 forms a stress adaptation layer.
  • the main layers, equipped with the stress adaptation layers are then cleaned so that the micro-roughness and the hydrophilic nature of the stress adaptation layers allow molecular adhesion as soon as these layers are brought into contact.
  • the assembly of main layers, by bringing the stress adaptation layers into contact, is illustrated in FIG. 14.
  • the contacting of the silicon oxide layer 230 and the implanted layer 220 also makes it possible to constitute a bilayer for adaptation of stresses.
  • the normally adjacent main layer may be omitted or confused with this adaptation layer.
  • a first heat treatment, called transfer treatment (which optionally also makes it possible to strengthen the adhesion between the stress adaptation layers) is carried out with a thermal budget sufficient to allow a fracture according to the fracture layer.
  • This heat treatment can be applied, for example, continuously, variable or pulse.
  • This heat transfer treatment can optionally be assisted by the application of mechanical forces, for example by traction and / or shear and / or bending.
  • the thermal budget can be carried out at reduced temperature and time, or even zero.
  • the divide separates the thin layer 214 and the first main layer 210a, as shown in FIG. 15.
  • separation can be caused by heating the structure to 450 ° C for 30 minutes.
  • treatment at a temperature of at least 500 ° C. would be necessary, for 30 minutes to obtain a separation .
  • each of the stress adaptation layers of the bilayer is subjected to an effective stress, the result of which can be globally modified by the adhesion mechanisms of the two plates and by the various heat treatments applied.
  • the final stacked structure is then subjected to an adaptable stress, in particular by the final heat treatment.
  • the various heat treatments can advantageously be mechanically assisted (for example by traction, compression, shearing, bending or by application of electrostatic or magnetic fields depending on the nature of the layers) to induce an additional effect of stresses in the specific bilayer.
  • an alternative embodiment not shown in the figures consists in not thinning one of the main layers by the layer transfer fracture.
  • the other preparation steps being comparable to those described in the second example of implementation, the thinning of one of the main layers, if desired, can then be carried out by simple mechanical and / or chemical abrasion.
  • components such as as membranes
  • the advantage of such an approach is to be able to have the surface of the surface layer, for example, to carry out an epitaxy there without having to deposit stress adaptation layers of the membranes therein, during the preparation of those -this.
  • the surface layer of silicon is that obtained by the process described beforehand, that is to say by implantation of hydrogen and separation, and the stress of the stacked structure, comprising the stress adaptation bilayer, obtained at the end of the process for developing this layer of silicon is therefore essential for the quality of the consecutive epitaxy (s) insofar as it makes it possible to have a prestressed support better suited to these epitaxies.
  • main layers may themselves have a multilayer structure with a plurality of sublayers.
  • this can be formed by a native, thermal or deposited oxide.
  • FIGS. 16 to 20 illustrate in section, different stages and possibilities of making a structure with a suspended membrane.
  • Figure 16 shows a multilayer structure comparable to that of Figure 15, at the end of the thinning or fracture of the first main layer.
  • the structure of FIG. 16 comprises a thin layer 214 of silicon, coming from the first main layer, a pair of stress adaptation layers 220, 230 and a second main layer 210b, also made of silicon, which here constitutes a support substrate.
  • the pair of constraint adaptation layer, or bilayer is designated in the following text by a single reference 225.
  • the thin layer 214 is covered with an etching mask 240 having a pattern corresponding to the contours of a membrane which it is desired to produce in the structure. More specifically, the mask has openings which leave areas of the structure to be engraved to define the shape of the suspended membrane.
  • the mask 240 is for example a photosensitive resin mask, shaped by exposure through an exposure mask, then by development.
  • a first anisotropic etching through the openings of the mask 240 makes it possible to form trenches 242 which extend through the thin layer 214 and all or part of the stress adaptation bilayer 225.
  • the etching can also be stopped on the second main layer.
  • the etching stop can be facilitated by an etching stop layer, not shown, placed on the second main layer before the formation of the multilayer structure.
  • the trenches delimit a central part 244 intended to subsequently form the suspended membrane. It should be noted, however, that the trenches do not completely surround the central part 244 but preserve "bridges" which connect it to the structure 245 surrounding the central part. These "bridges" which are not visible, because outside the section plane of the figures, may possibly constitute in the final structure of the beams for holding the suspended membrane thus allowing for example an electrical and / or thermal conduction.
  • a next step, illustrated in FIG. 18, includes a selective anisotropic etching making it possible to eliminate at least part of the stress adaptation bilayer to release a portion of the thin layer, in this case the central part 244 which now constitutes a suspended membrane.
  • the figure does. does not take into account a possible attack on the lateral flanks of the bilayer 225 in the trenches, during the anisotropic etching.
  • FIG. 19 illustrates a variant in which the membrane is released by means of anisotropic etching which makes it possible to selectively attack the second main layer 210b, that is to say the support substrate.
  • the membrane can also be released by a combined etching of the second main layer and the stress adaptation bilayer. Finally, at the end of the engravings, the layer of resin forming the mask 240 can be eliminated.
  • FIG. 20 shows a particular embodiment, comparable to that of FIG. 18, in which additional layers were formed on the thin layer 214 before etching.
  • the additional layers in the example comprise a layer 246 of germ and / or a buffer layer, and a layer 248 of superconductive material, for example of the YBaCuO type.
  • the seed layer 246 and / or a buffer layer, not shown, make it possible to promote the growth of the superconductive material on the thin layer of silicon and / or make it possible to correct any possible mismatch of crystalline mesh between the silicon of the thin layer and the superconductor.
  • These layers are etched as already described with reference to Figures 18 or 19 to obtain the final structure of Figure 20 with a suspended membrane 244.
  • the location of the engraving mask 240, removed, is shown in broken lines.

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Abstract

Structure multicouche à contraintes internes contrôlées comprenant, dans l'ordre, une première couche principale (110a), au moins une première couche d'adaptation de contraintes (130) en contact avec la première couche principale, au moins une deuxième couche d'adaptation de contraintes (120) mise en contact par adhésion avec ladite première couche d'adaptation de contraintes et une deuxième couche principale (110b) en contact avec la deuxième couche d'adaptation de contraintes, les première et deuxième couches d'adaptation de contraintes présentant des contraintes de contact avec les première et deuxième couches principales. Application à la réalisation de circuits électroniques et de dispositifs à membrane.

Description

STRUCTURE MULTICOUCHE A CONTRAINTES INTERNES CONTROLEES ET PROCEDE DE REALISATION D'UNE TELLE STRUCTURE
Domaine technique
La présente invention concerne une structure multicouche obtenue par adhésion ou adhérence, en particulier moléculaire, caractérisée par des contraintes internes contrôlées, et un procédé de réalisation d'une telle structure- On entend par structure multicouche à contraintes contrôlées, une structure comprenant au moins deux couches, dites couches principales, présentant entre elles des contraintes en tension ou en compression. Ces contraintes sont déterminées et contrôlées en fonction de la destination de la structure .
L' invention trouve des applications dans les domaines de la microélectronique, comme substrat ou comme raidisseur, mais aussi dans les domaines de la micromécanique pour la fabrication de capteurs à membrane, par exemple.
Etat de la technique antérieure Parmi les structures multicouches assemblées par des techniques d'adhésion moléculaire (wafer bonding) , on peut citer, à tire d'exemple, les structures SOI (silicium sur isolant/silicon on insulator) . De façon typique une structure multicouche SOI comporte une couche épaisse de silicium servant de support, une couche isolante en oxyde de silicium et une couche superficielle de silicium mince, dont l'épaisseur est comprise entre quelques dizaines de nanomètres à quelques dizaine de micromètres.
La fabrication des structures SOI comporte généralement la mise en contact par adhésion moléculaire de deux plaquettes de silicium dont l'une au moins est recouverte par une couche superficielle d'oxyde de silicium.
Après la mise en contact, les plaquettes subissent généralement un traitement thermique sous atmosphère contrôlée. La fonction de ce traitement thermique est d'améliorer le contact intime et par conséquent l'adhérence des plaquettes.
Lors du traitement thermique, les matériaux en présence, en particulier le silicium en contact avec l'oxyde de silicium, sont susceptibles de s'imposer mutuellement des contraintes. Les contraintes sont liées en particulier aux différences de coefficient de dilatation thermique, Δl/1 des matériaux en contact.
Ces différences de coefficients de dilatation des matériaux des surfaces en contact sont également la source de contraintes lors du refroidissement des structures intimement liées.
De façon plus générale, il est également connu, qu'un film de Si02 sur une plaquette de silicium, lorsqu'il est réalisé à certaines températures, a pour effet d' induire une déformation de la plaquette lors de son refroidissement. La déformation relative sous l'effet de la chaleur, notée Δl/1, est de l'ordre de 2,6.10"6/K pour le silicium, et de l'ordre de 5. 10"NK pour l'oxyde de SiO; réalisé par oxydation thermique du silicium.
Lorsque le film d'oxyde est formé sur une face de la plaquette de silicium, la mesure de la flèche au centre de la plaquette permet de quantifier la déformation due aux contraintes. Du fait de la différence des coefficients de dilatation thermique, une diminution de la température génère une compression du film d'oxyde sur la plaquette de silicium. Cette compression se traduit par une convexité de la plaquette. La convexité est d'autant plus marquée que le film d'oxyde est épais, et peut entraîner une modification de la morphologie de surface. Les figures 1 à 4 annexées permettent d' illustrer les contraintes engendrées dans des structures SOI réalisées par des procédés classiques par adhésion moléculaire.
La figure 1 montre une première couche principale 10a, ou support, sous la forme d'une plaque de silicium présentant à sa surface une couche mince d'oxyde thermique 20a.
On observe que l'ensemble formé par la première couche principale de silicium 10a et la couche superficielle d'oxyde 20a est cintré. La surface de la couche d'oxyde 20a est convexe.
La référence 10b désigne une plaquette de silicium formant une deuxième couche principale dont les faces parallèles sont planes. Dans l'exemple illustré, les couches principales 10a et 10b présentent initialement des épaisseurs du même ordre de grandeur.
La figure 2 montre la structure obtenue par assemblage des couches principales 10a et 10b. Ces couches sont reliées par la couche d'oxyde 20a. L'assemblage comporte, comme évoqué précédemment, le collage moléculaire de la deuxième couche principale de silicium 10b sur la couche superficielle d'oxyde 20a. Ce collage est renforcé par un traitement thermique. On observe que la structure obtenue après assemblage ne présente quasiment pas de déformation. En effet, dès lors que les épaisseurs des couches principales de silicium sont du même ordre de grandeur, les contraintes générées par la couche d'oxyde sur chacune des couches principales tendent à se compenser. Le film superficiel de silicium d'une structure de type SOI est généralement un film mince dont l'épaisseur est adaptée aux exigences d'isolation électrique de composants, par exemple. La rigidité de la structure est assurée par la couche de silicium épaisse.
Ainsi, pour obtenir une structure SOI typique à partir de la structure de la figure 2, il convient d'amincir l'une des couches principales de silicium.
L'amincissement peut avoir lieu par une des techniques d'amincissement connues dans différents procédé BSOI
(Bonded Silicon On Insulator, silicium reporté sur isolant) , BESOI (Bonded with Etch stop layer Silicon On Insulator, BSOI à couche d'arrêt de gravure). A ce sujet, on peut se reporter au document (7) dont la référence est précisée à la fin de la présente description.
Lorsque l'une des couches principales de silicium est amincie, il apparaît que les contraintes générées aux interfaces avec la couche d'oxyde de silicium ne sont plus compensées.
Les figures 3 et 4 montrent des structures obtenues respectivement par l'amincissement des couches principales 10b et 10a. Ces structures présentent une flèche et la surface de la couche de silicium mince est convexe dans chacun des cas. On constate que l'épaisseur des couches principales mais aussi l'épaisseur de la couche d'oxyde de silicium enterrée, c'est-à-dire la couche d'oxyde prise en sandwich entre la couche principale et la couche superficielle mince, font partie des paramètres qui gouvernent la flèche de la structure finalement obtenue.
A titre d'exemple, pour un film d'oxyde thermique 20a enterré avec une épaisseur de l'ordre du micromètre, on obtient des valeurs de flèches qui peuvent être supérieures à 50μm lorsque le film mince superficiel de silicium 10a présente une épaisseur de 25μm et lorsque la couche principale de silicium a une épaisseur de l'ordre de 500 μm. Lorsque l'épaisseur du film superficiel de silicium est augmentée à plus de 50μm, la flèche diminue à environ 25μm. Ceci montre l'importance de l'épaisseur du film de silicium par rapport à celle du film d'oxyde.
Une mesure envisageable pour réduire les déformations de la structure consisterait à réaliser un deuxième film d'oxyde sur la face libre, appelé face arrière, de la couche principale épaisse de la structure. Cette mesure permettrait effectivement de réduire la déformation des plaques avant leur mise en contact. Dans un certain nombre d'applications, il est cependant nécessaire de retirer le film d'oxyde arrière. Or, après amincissement, si le film d'oxyde est retiré en face arrière, on constate que la déformation est restaurée et on obtient finalement une déformation de la structure SOI, principalement liée à l'épaisseur du film d'oxyde. On peut se reporter à ce sujet au document (1) dont la référence est précisée à la fin de la description.
Selon une autre possibilité, illustrée par la figure 5, on peut tenter de réduire l'effet des contraintes en mettant en contact deux couches principales de silicium 10a, 10b équipées chacune d'un film d'oxyde 20a, 20b en surface, les films étant d'épaisseur comparable. On constate cependant qu'une déformation apparaît pour la structure lors de l'amincissement de l'une des couches. En outre, comme le montre la figure 5, la flèche initiale des deux couches principales augmente la difficulté de la mise en contact des surfaces des couches superficielles d'oxyde. Ceci peut générer localement des zones de mauvais contact et donc des evidements ou des défauts dans la structure finale.
Le phénomène de déformation décrit ci-dessus pour une structure combinant des couches de silicium et d'oxyde de silicium existe pour un grand nombre de couples de matériaux. Cependant, la déformation engendrée peut être variable en fonction des matériaux mis en contact et notamment du type de contrainte, en tension ou en compression qui apparaît. A titre d'exemple, comme le montre la figure 6, lorsqu'un film de nitrure de silicium 30 est déposé sur une plaquette de silicium 10, ce dépôt peut engendrer, selon ses conditions de mise en œuvre et après refroidissement, des contraintes conduisant également à une déformation.
Les contraintes entre le nitrure de silicium et le silicium ont des origines intrinsèques aux matériaux mais aussi des origines thermiques liées aux différences de coefficients de dilatation thermique. A titre d'exemple, le coefficient de dilatation thermique d'un film de nitrure de silicium obtenu par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est de l'ordre de 4,2.10"6/K tandis que ce coefficient est de 2,6.10"6/K pour le silicium. Le dépôt du nitrure de silicium ayant lieu à température élevée, de fortes contraintes apparaissent lors du refroidissement.
Toutefois, on observe, en comparant par exemple les figures 6 et 1, que la surface de la couche de nitrure de silicium 30 est concave, contrairement à la surface convexe de la couche d'oxyde de silicium 20a.
Cette différence de courbure traduit le fait que le nitrure de silicium et l'oxyde de silicium présentent, lorsqu'ils sont réalisés sur le support principal de silicium des contraintes de contact généralement opposées (tension-compression) .
On comprend aussi que l'association de deux couches principales de silicium, recouvertes chacune d'un film de nitrure de silicium, conformément à la figure 6, peut également poser des problèmes d'adhérence ou de qualité de contact lorsque les films de nitrure sont en regard. En particulier des bulles sont susceptibles de se former à l'interface entre les couches de nitrure de silicium, générant localement des défauts dans la structure finale.
Pour une meilleure illustration des problèmes évoqués ci-dessus, on peut se reporter aux documents (2), (3), (4), (5) et (6) dont les références sont indiquées à la fin de la description et qui concernent les contraintes de contact entre couches différentes.
Le document (3) en particulier, montre qu'il est possible de compenser les effets de contraintes engendrées par un film superficiel d'oxyde de silicium formé à la surface d'une plaquette de silicium, en recouvrant ce film superficiel par un deuxième film de nitrure de silicium. Une structure sensiblement plane peut être obtenue.
L'épaisseur du deuxième film (de nitrure) doit être contrôlée avec précision pour obtenir finalement une structure avec des faces planes. II s'avère cependant que les contraintes engendrées entre les couches ne sont pas simplement liées aux matériaux mis en contact, comme c'est le cas pour des couches réalisées par exemple par des dépôts consécutifs, mais sont liées aussi à la qualité de l'adhésion moléculaire entre les couches.
Ainsi, des traitements ultérieurs subis par une structure selon le document (3), ou l'association d'une telle structure avec d'autres couches, peuvent entraîner une modification de l'équilibre des contraintes de sorte que les contraintes finales de la structure sont difficilement maîtrisables.
Exposé de l'invention
Un but de la présente invention est de proposer un procédé de réalisation d'une structure multicouche, comportant au moins une étape d'adhésion, et permettant de contrôler avec précision les contraintes apparaissant dans la structure suite à l'association de couches de matériaux différents. Un but est en particulier de proposer un tel procédé permettant de modifier et d'ajuster les contraintes pour obtenir une structure finale plane ou présentant une flèche prédéterminée. Un but est de pouvoir transférer, en utilisant l'adhésion, au moins une couche cristalline pour obtenir une structure dont la contrainte est contrôlée. Un but est aussi de proposer un tel procédé permettant de réaliser une structure exempte de défauts de contact aux interfaces entre les couches de matériaux différents.
Un but est encore de proposer un procédé susceptible de prendre en compte des traitements antérieurs ou postérieurs à la réalisation de la structure et qui soit compatible avec les exigences d'une mise en œuvre industrielle tels que, par exemple, un traitement d'implantation en vue d'obtenir une séparation. Pour atteindre ces buts, l'invention a plus précisément pour objet un procédé de réalisation d'une structure multicouche comprenant au moins une première et une deuxième couches appelées couches principales, reliées entre elles par un empilement d'au moins deux couches d'adaptation de contraintes, et présentant une contrainte de structure déterminée, dans lequel : a) on équipe la première couche principale d'une première couche d'adaptation de contraintes, et on équipe d' au moins une deuxième couche d' adaptation de contrainte, l'une parmi la deuxième couche principale et la première couche d' adaptation de contraintes, b) on effectue un assemblage des première et deuxième couches principales par l'intermédiaire des couches d'adaptation de contraintes (ledit assemblage comprenant avantageusement un collage par adhérence entre couches), les première et deuxième couches d'adaptation étant réalisées en des matériaux et avec des épaisseurs tels qu'en fin de procédé on obtienne dans la structure ladite contrainte de structure déterminée.
Par exemple, la première couche d'adaptation et la deuxième couche d'adaptation sont choisies (type de réalisation, nature, épaisseur) telles que si elles sont respectivement sur la première couche principale et sur la deuxième couche principale indépendamment (c'est-à-dire avant assemblage), elles provoquent des déformations en sens opposés. Ces déformations ne sont pas forcément de même amplitude.
Dans certains modes de réalisation, au moins une des couches d'adaptation est surmontée d'une couche intermédiaire pour permettre l'obtention de la structure multicouche désirée.
De façon avantageuse, on peut effectuer ensuite, après l'étape b) , un traitement thermique avec une température et une durée suffisantes pour ajuster dans la structure ladite contrainte de structure déterminée.
Selon un mode préféré de réalisation, le collage par adhérence peut être un collage du type par adhérence moléculaire. L'invention peut également utiliser un collage choisi parmi une brasure, une soudure, un collage au moyen d'une substance adhésive, une interdiffusion entre couches ou une combinaison de ces différentes techniques. Dans ces techniques, le collage a lieu au moyen d'une couche dite de collage. Cette couche de collage est soit entre les couches d'adaptation soit entre une des couches d'adaptation et la couche principale correspondante. On entend par contrainte de structure la contrainte résultant des contraintes de chacune des couches d'adaptation, des contraintes de chacune des couches principales, et des contraintes liées à l'interface de liaison.
La contrainte de structure détermine la flèche convexe ou concave, ou le caractère plan des surfaces de la structure obtenue.
Le traitement thermique éventuellement effectué après l'étape b) permet non seulement d'améliorer la qualité du collage mais permet surtout, en ajustant le budget thermique mis en œuvre, de modifier les contraintes de contact entre les couches de façon à ajuster l'équilibre des contraintes de tension et de compression.
Le budget thermique mis en oeuvre peut être ajusté en tenant compte notamment des budgets thermiques de traitements antérieurs ou postérieurs à l'étape c) . Ainsi, d'autres traitements thermiques effectués sur la structure ne sont pas préjudiciables à l'obtention d'une contrainte donnée.
Le budget de traitement thermique est également ajusté en fonction d'autres paramètres gouvernant les contraintes dans les couches. Parmi ces paramètres on peut citer :
- les matériaux mis en oeuvre et les traitements subis par ces matériaux,
- l'épaisseur des couches et leurs modes de réalisation, - l'état de rugosité de la surface et la forme des couches mises en contact,
- la qualité du nettoyage des surfaces et leur caractère plus ou moins hydrophile. La prise en compte de ces paramètres pour le choix du budget thermique permet d'adapter la contrainte interne de la structure finale et donc sa déformation. En particulier, les contraintes dans les couches d'adaptation de contraintes peuvent être augmentées, diminuées ou même inversées.
Selon une première possibilité de mise en oeuvre de l'invention, lors de l'étape a), on peut former la première couche d' adaptation de contraintes sur la première couche principale et la deuxième couche d'adaptation de contraintes sur la deuxième couche principale. Dans ce cas, lors de l'étape b) , on effectue un collage entre les couches d'adaptation.
Comme les contraintes de contact des couches d'adaptation de contraintes avec les couches principales sont de signe opposé, l'une des couches d'adaptation de contraintes présente une surface convexe et la deuxième couche d'adaptation présente une surface concave. Les surfaces à assembler présentent ainsi, dans une certaine mesure, une complémentarité de forme qui permet d'obtenir un contact de qualité exempt de défauts de collage tels que des evidements, ou des zones mal collées. Selon une variante, les deux couches d'adaptation de contraintes peuvent être formées sur la première couche principale et le collage peut avoir lieu entre la deuxième couche principale et la couche d'adaptation de contraintes superficielle, solidaire de la première couche principale.
Selon un autre aspect de l'invention, avant l'étape b) , on peut effectuer une préparation des couches devant être associées par collaσe mol pr.nl ai Γ - pour ajuster un état de surface de ces couches et leur conférer, par exemple, un caractère hydrophile.
L'ajustement de l'état de la surface peut consister soit en un lissage (chimique, mécanochimique ou par traitement thermique) ou, au contraire, en une opération tendant à rendre la surface d'au moins une des couches à assembler plus rugueuse.
La modification de l'amplitude de la rugosité des faces à assembler permet de contrôler l'énergie d'adhésion entre les couches et donc les contraintes qui en résultent.
Selon une variante, le procédé peut inclure une étape d'amincissement de l'une des couches principales après l'assemblage. L'obtention d'une couche mince, en particulier sur une couche mince de silicium, au-dessus de couches d'adaptation de contraintes dont au moins une est isolante, est avantageuse par exemple pour la réalisation ultérieure de circuits électroniques intégrés (par exemple substrat SOI) .
L'amincissement de l'une des couches principales peut avoir lieu par un traitement abrasif mécanique ou mécanochimique.
L'amincissement peut également avoir lieu par fracture. Dans ce cas, le procédé comporte au moins une implantation ionique d'espèces gazeuses dans l'une au moins des couches principales ou des couches d'adaptation pour y former une zone de fracture, et l'étape d'amincissement comporte une étape de séparation de ladite couche implantée selon la zone de fracture, par exemple par un traitement thermique et/ou mécanique. La contrainte de la structure sera alors modifiée par l'étape d'amincissement. En outre. l contrainte en cours de procédé peut être avantageusement utilisée en tant que contrainte "intermédiaire" de structure déterminée, pour participer à cet amincissement. La structure finale obtenue après amincissement, c'est-à-dire après séparation d'une des couches, présente une nouvelle contrainte de structure "finale" déterminée. La structure selon l'invention, dans certaines variantes, peut contenir un certain nombre de couches dont certaines peuvent être amincies, voire supprimées, leur rôle n'étant justifié dans certains cas que pour adapter la contrainte intermédiaire qui participe à l'amincissement. L'adaptation de la contrainte intermédiaire peut être un objectif en soi. L'utilisation d'une contrainte intermédiaire qui participe à la séparation permet de diminuer la dose d'espèces implantées (hydrogène et/ou gaz rares), et/ou le budget thermique et/ou le travail induit par la ou les forces mécaniques appliquées pour la séparation. Par exemple, elle permet d'obtenir la séparation avec un très faible budget thermique sur des structures où les couches principales présentent des coefficients de dilatation thermique différents. Le contrôle de la contrainte intermédiaire permet d'améliorer considérablement le procédé en modifiant soit les conditions d'implantation soit les conditions de séparation.
La réalisation d'une zone de fracture dans une couche par implantation d'espèces gazeuses peut avoir lieu selon des techniques en soi connues.
Par exemple, une des techniques utilise une implantation d'espèces gazeuse aptes à créer une couche fragilisée constituée de microcavités ou microbulles gazeuses.
On entend par "microcavité ou microbulle gazeuse" toute cavité générée par l'implantation d'ions de gaz hydrogène et/ou de gaz rares dans le matériau.
Les cavités peuvent se présenter sous forme très aplatie, c'est-à-dire de faible hauteur, par exemple quelques distances inter-atomiques aussi bien que sous forme sphérique ou de tout autre forme différente de ces deux formes précédentes. Ces cavités peuvent contenir une phase gazeuse libre et/ou des atomes de gaz issus des ions implantés fixés sur des atomes du matériau formant les parois des cavités ; ces cavités peuvent même être vides . Les cavités sont généralement appelées en terminologie anglo-saxonne "platelets", "microblisters" ou même "bubbles".
On entend par espèces gazeuses des éléments par exemple d'hydrogène ou de gaz rares sous leur forme atomique (par exemple H) ou sous leur forme moléculaire (par exemple H2) ou sous leur forme ionique (par exemple H+, H2 +) ou sous leur forme isotopique (par exemple deutérium) ou isotopique et ionique.
On entend, par ailleurs, par implantation ionique tout type d'introduction des espèces définies précédemment, seul ou en combinaison tels que le bombardement ionique, la diffusion, etc.
Le traitement thermique de fracture est réalisé avec un budget thermique qui dépend du budget thermique fourni à la couche principale au cours de l'implantation, et pendant les étapes qui ont lieu avant la fracture. Suivant le cas, ce traitement thermique peut être nul en temps et/ou température. De plus, ce traitement thermique peut être ajusté en fonction d'autres contraintes exercées, telles que, par exemple, des forces mécaniques, de traction, de cisaillement, de flexion, etc. exercées seules ou en combinaison.
Le traitement thermique conduit, quel que soit le type de matériau solide, à la coalescence des microcavités qui amènent une fragilisation de la structure au niveau de la couche de microcavités. Cette fragilisation permet la séparation du matériau sous l'effet de contraintes internes et/ou de pression dans les microcavités, cette séparation pouvant être naturelle ou assistée par application de contraintes externes . Les forces mécaniques peuvent être appliquées perpendiculairement aux plans des couches et/ou parallèlement à celles-ci. Elles peuvent être localisées en un point ou une zone ou être appliquées à différents endroits de façon symétrique ou dissymétrique.
En outre, si on veut adapter la contrainte de structure finale, le budget thermique de la fracture est pris en compte pour établir le budget thermique de l'étape d'adaptation. L'étape d'adaptation des contraintes de la structure finale peut également inclure une étape d'amincissement, par exemple par oxydation sacrificielle et/ou attaque chimique et/ou gravure plasma et/ou polissage.
Plusieurs possibilités peuvent être envisagées pour la réalisation des couches d'adaptation de contraintes .
Selon une première possibilité au moins l'une des couches d'adaptation de contraintes peut être formée par dépôt de matière selon un procédé de dépôt choisi par exemple parmi les procédés de pulvérisation, d'épitaxie, de dépôt chimique, tel que dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt en phase vapeur à basse pression, et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma.
Selon une variante, une couche d'adaptation de contraintes peut également être obtenue par oxydation superficielle d'une des couches principales. En particulier, lorsque l'une des couches principales est une couche de silicium, l'une des couches d'adaptation peut être une couche d'oxyde thermique Si02.
Selon une troisième possibilité, au moins une couche d'adaptation de contraintes peut être obtenue par implantation d'espèces dans une couche principale.
L'implantation d'espèces dans l'une des couches principales permet de former à la surface de cette couche une zone dont les propriétés sont modifiées. En particulier, l'implantation d'espèces permet de générer des contraintes ou de modifier localement la densité du matériau. La profondeur où est située la majorité des espèces implantées dépend des conditions de l'implantation. Par exemple de son énergie, si l'implantation est de type implantation ionique. Le film d'espèces implantées, défini par cette profondeur, et son voisinage, où est localisée la majorité des espèces implantées, constitue alors une des couches du bicouche de contraintes. Le film compris entre ce film d'espèces implantées et la surface de la deuxième couche principale peut constituer un des deux films du bicouche de contraintes. L'intensité des contraintes peut être adaptée en fonction de la nature des espèces, de la dose ou des divers paramètres d'implantation (température, courant d'implantation, énergie,...). L'implantation peut en particulier être réalisée avec des espèces gazeuses, par exemple hydrogène et/ou gaz rares.
La présence d'une contrainte dans la structure participe à la séparation et permet de diminuer la dose d'espèces implantées (hydrogène et/ou gaz rares), et/ou le budget thermique et/ou le travail induit par le ou les forces mécaniques appliquées pour la séparer. Ainsi, la présence de cette contrainte permet de modifier soit les conditions d'implantation soit les conditions de séparation. Le contrôle de la contrainte permet de considérablement améliorer le procédé. Il permet par exemple d'avoir la fracture avec un très faible budget thermique sur des structures où les couches principales présentent des coefficients de dilatation thermique différents. L'implantation pourra être réalisée avant ou après assemblage de la structure.
Dans certains cas où une au moins des couches d'adaptation est suffisamment épaisse et/ou rigide, la couche principale normalement adjacente peut être omise ou confondue avec cette couche d'adaptation. Après séparation, on obtient une couche principale modifiée et un empilement multicouche, ce dernier pouvant être réutilisé comme couche principale comprenant une couche d'adaptation de contrainte. Le procédé de réalisation décrit ci-dessus est applicable à des couches principales en des matériaux divers. Les couches principales en des matériaux identiques ou différents peuvent être par exemple en matériaux monocristallins, polycristallins ou amorphes, et par exemple en silicium, en germanium, en carbure de silicium, en semi-conducteur de type III-V ou II-VI, tels que GaAs , GaN, InP, ... en verre ou en quartz, en matériaux supraconducteurs, en diamant, ou en des matériaux céramiques (tels que LiTa03, LiNb03, ...).
Ainsi, la couche principale peut être formée d'une ou de plusieurs couches par exemple collées, déposées, ou épitaxiées. Les couches d'adaptation de contraintes sont par exemple en un matériau choisi parmi Si02, SiN, Si3N4, TiN, le diamant et les métaux (tels que Pd, des alliages, ...) ou en un des matériaux pouvant constituer une des couches principales ou en une combinaison de ces matériaux.
L'invention concerne également une structure multicouche à contraintes internes contrôlées comprenant, dans l'ordre, un empilement d'une première couche principale, d'au moins une première couche d'adaptation de contraintes en contact avec la première couche principale, d'au moins une deuxième couche d'adaptation de contraintes en contact avec ladite première couche d'adaptation de contraintes et d'une deuxième couche principale en contact avec la deuxième couche d'adaptation de contraintes. Dans cette structure, les première et deuxième couches d' adaptation de contraintes présentent des contraintes de contact avec les première et deuxième couches principales qui sont respectivement de signe opposé. Dans une application particulière, la structure peut présenter une membrane suspendue, la membrane suspendue comportant au moins une portion de l'une des première et deuxième couches principales, libérée de la deuxième respectivement de la première couche principale .
La membrane suspendue peut supporter d' autres couches fonctionnelles. Par exemple, elle peut comporter en outre au moins une couche de matériau supraconducteur recouvrant ladite portion de l'une des première et deuxième couches principales.
D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, en référence aux figures des dessins annexés. Cette description est donnée à titre purement illustratif et non limitatif.
Brève description des figures - La figure 1, déjà décrite, est une coupe schématique d'une première et d'une deuxième couches principales avant assemblage, l'une des couches étant recouverte d'un film superficiel en un matériau susceptible d'engendrer des contraintes internes. - La figure 2, déjà décrite, représente une structure comprenant les couches de la figure 1, après assemblage.
- Les figures 3 et 4, déjà décrites, représentent en coupe schématique la structure de la figure 2 après amincissement de l'une des couches principales .
- La figure 5, déjà décrite, représente schématiquement une paire de couches principales supportant chacune une couche superficielle présentant une contrainte de tension.
- La figure 6, déjà décrite, représente schématiquement une couche principale supportant une couche superficielle présentant une contrainte de tension.
- Les figures 7, 8 et 9 sont des coupes schématiques montrant des étapes de fabrication d'une structure multicouche selon une mise en oeuvre particulière du procédé de l'invention.
- La figure 10 est un graphique indiquant, en échelle arbitraire, les valeurs de flèche de la structure obtenue par le procédé, en fonction de paramètres de traitement thermiques.
- Les figures 11 à 15 sont des coupes schématiques montrant des étapes successives d'une autre possibilité de mise en oeuvre du procédé de 1 ' invention. - Les figures 16 à 18 sont des coupes schématiques, montrant des étapes successives de réalisation d'une structure à membrane suspendue et illustrant une application particulière de l'invention.
- La figure 19 est une coupe schématique d'une structure constituant une variante de la structure de la figure 18.
- La figure 20 est une coupe schématique d'une structure constituant une autre variante de la structure de la figure 18.
Description détaillée de modes de mise en oeuyre de
1 ' invention
Un premier exemple de mise en oeuvre concerne la réalisation d'une structure empilée constituée d'un film de silicium très mince et d'une bicouche d'adaptation de contraintes supportés par un substrat de silicium épais. La réalisation décrite fait appel à un procédé de séparation pour former la couche mince superficielle de silicium.
Dans une première étape illustrée par la figure 7, un film de nitrure de silicium Si3N4 130, d'une épaisseur de 400 nm, est formé selon un procédé de dépôt en phase vapeur à basse pression (LPCVD) , sur une plaque de silicium qui forme une première couche principale 110a. Le dépôt en phase vapeur à basse pression permet de réaliser un film induisant une faible flèche sur la couche principale. Ceci est le cas notamment si le dépôt est réalisé sur les deux faces de cette couche.
Le film de nitrure de silicium 130 constitue une première couche d'adaptation de contrainte. Selon une variante de mise en œuvre de l'invention, cette couche d'adaptation peut être surmontée d'une couche intermédiaire réalisée par exemple par un film d'oxyde de silicium et par un film d'oxynitrure de silicium, par exemple de quelques nm d'épaisseur. Cette couche intermédiaire dans ce cas permet soit de favoriser le collage par adhérence moléculaire utilisé pour l'assemblage soit d'améliorer la qualité électrique de l'interface avec la couche principale. La plaque de silicium est éventuellement recouverte au préalable, d'une très fine couche d'oxyde de silicium, non représentée, par exemple d'une épaisseur de 10 nm. L'intérêt d'une telle couche très fine est, par exemple de constituer une interface de très bonne qualité électronique avec une couche de silicium superficielle décrite ci-après.
Après la formation du film de nitrure 130, une implantation d'hydrogène est pratiquée à travers le film 130 avec une dose d'implantation de l'ordre de 2,5.1016 at/cm2. L'implantation conduit à la formation d'une zone de fracture repérée avec la référence 112. Les paramètres d'implantation d'hydrogène peuvent être changées lorsque la flèche du film de nitrure est changée, en fonction des conditions de dépôt par exemple.
Sur une seconde plaque de silicium 110b, également représentée sur la figure 7, on réalise un film 120 d'oxyde de silicium par un traitement thermique sous atmosphère oxydante. L'épaisseur du film d'oxyde est sensiblement équivalente à celle du film de nitrure 130.
La seconde plaque de silicium 110b et le film 120 d'oxyde forment respectivement une deuxième couche principale et une deuxième couche d'adaptation de contraintes .
Les couches de nitrure de silicium et l'oxyde de silicium initialement formée sur les couches principales de silicium, engendrent des contraintes de contact de signe opposé. Ceci se traduit par des déformations des couches principales telles que les surfaces des couches d'adaptation de contraintes de nitrure et d'oxyde sont respectivement concave et convexe.
Le procédé est poursuivi par une étape de nettoyage des plaques destinée à rendre hydrophile la surface des couches d'adaptation de contraintes 120, 130. Le nettoyage permet d'obtenir une micro-rugosité de surface contrôlée, de valeur quadratique (RMS en anglais) typiquement inférieure à 0,7 nm, ce qui est compatible avec une adhésion moléculaire directe. La micro-rugosité peut être mesurée et contrôlée par microscopie à force atomique par exemple dans une gamme de fréquences spatiales de 10"2μm_1 à 103μm-1. Le contrôle de la rugosité de surface, par l'étape de nettoyage des plaques avant collage, est présenté ici comme un avantage sur les technique de polissage de surface, pour un film de nitrure de silicium, dont l'épaisseur peut atteindre au moins plusieurs dixièmes de microns.
L'étape de nettoyage permet d'induire une modification de l'énergie de liaison et donc d'induire une modification de la contrainte spécifique de la bicouche formée ultérieurement par le collage des couches d'adaptation de contrainte.
En outre, l'étape de nettoyage permettant d'affranchir le procédé d'une étape de polissage mécano-chimique, une bonne homogénéité en épaisseur des
* films de la structure empilée, formée dans une étape subséquente, est également assurée.
L'étape suivante du procédé comporte effectivement la mise en contact directe des couches d'adaptation de contraintes pour provoquer leur collage. Cette opération a lieu à température ambiante. On comprend au vu de la figure 7 que le caractère complémentaire de la déformation des couches permet de minimiser le risque d'un mauvais contact. Après le collage, un premier traitement thermique opéré pendant 30 minutes à une température de 500°C permet de provoquer une fracture dans la zone de fracture 112 indiquée sur la figure 7 et donc de détacher de la première couche principale 110a une fine couche superficielle 114. Cette couche superficielle reste solidaire de la deuxième couche principale 110b par l'intermédiaire de la bicouche formée par les couches d'adaptation de contraintes 120, 130 associées éventuellement à des couches intermédiaires. Le traitement thermique peut être assisté en tout ou partie par l'application de contraintes mécaniques. En conséquence, le budget thermique nécessaire à la fracture peut être réduit. Il peut être nul en temps et en température.
La structure obtenue est illustrée par les figures 8 et 9.
L'épaisseur de la couche mince superficielle de silicium 114 est de l'ordre de quelques dixièmes de micromètres. Elle est fixée par la profondeur de pénétration des espèces gazeuses de la couche de séparation (fracture) implantées dans la première couche principale de silicium. Comme l'implantation a lieu à travers le film 130 de nitrure de silicium, la profondeur d'implantation et donc l'épaisseur de la couche mince 114 de silicium dépendent aussi de l'épaisseur du film 130 de nitrure de silicium.
Le fait que la première couche principale 110a soit équipée d'une couche d'adaptation de contraintes, permet de réduire la dose d'implantation nécessaire à la fracture dans la zone 112 et/ou de réduire le budget thermique du premier traitement thermique de fracture et/ou les forces mécaniques de séparation. Les contraintes spécifiques induites par les couches d'adaptation de contrainte et notamment la couche de nitrure de silicium 130, dans la première couche principale de silicium 110a favorisent en effet la fracture. Par exemple, un gain en température, en énergie et finalement en coût peut être obtenu.
A titre de comparaison, dans les mêmes conditions d'implantation (énergie, courant, température,...) et de traitement thermique de transfert, la dose minimale pour obtenir une séparation est de 3,5.1016 at/cm2, pour une structure empilée classique où le film de nitrure serait remplacé par un film d'oxyde thermique de 400 nm d'épaisseur.
Dans une étape suivante, un deuxième traitement thermique est effectué. Ce traitement a une double fonction de rendre plus intime les liaisons à l'interface entre les deux couches d'adaptation de contraintes préalablement mises en contact, et de modifier ou ajuster les contraintes induites au sein de la structure finalement obtenue.
En adaptant les épaisseurs des couches de l'empilement, leur état de surface avant mise en contact et surtout le budget thermique du deuxième traitement, il est possible de contrôler les contraintes générées par la bicouche 120, 130 et donc de contrôler la déformation convexe ou concave de la structure finale (figures 8 et 9) . A titre d'exemple, dans le cadre de l'application à un dispositif à membrane, il peut être avantageux de réaliser une structure empilée de forme concave, qui permet après la libération partielle de la membrane, d'obtenir une membrane pré-tendue. Selon le budget thermique mis en oeuvre, une flèche positive, négative, ou nulle peut être obtenue.
Le deuxième traitement thermique prend en compte, bien entendu, le budget thermique du premier traitement thermique et éventuellement l'utilisation de contraintes mécaniques.
A titre d'exemple, le deuxième traitement thermique peut être effectué à une température de 1100°C pendant 2 heures. Pour des films d'oxyde et de nitrure de même épaisseur, de l'ordre de 400 nm, on obtient une concavité de la structure avec une flèche d'environ 50μm.
La flèche de la structure empilée finale dépend principalement de deux paramètres qui sont le rapport Re des épaisseurs Enit et Eox des couches de nitrure 120, et d'oxyde de silicium 130, d'adaptation de contraintes et le budget thermique appliqué à la structure. L'effet du rapport d'épaisseur des couches, à température de scellement fixée, traduit le fait que la flèche de la structure est proportionnelle à la contrainte effective et à l'épaisseur des couches d'adaptation.
Il apparaît en outre de façon originale, que lorsque la température Tc du deuxième traitement thermique mis en oeuvre varie, la contrainte effective de la bicouche est modifiée. L'effet du traitement thermique appliqué dépend en particulier de l'état de l'interface d'adhésion (micro-rugosité, densité de liaisons entre les couches, ...). A titre d'exemple, pour un rapport Re=l, une augmentation de température
ΔTC=100°C entraîne une augmentation Δσ/σ de la contrainte dans la bicouche telle que Δσ/σ=100%.
La figure 10 est un graphique qui indique en unités arbitraires la flèche de la structure finalement obtenue en fonction du rapport d'épaisseur des couches
E ' +- d'adaptation de contraintes ( Re = nitrure s et pOUr
Eoxyde deux températures de traitement différentes Ti et T2 telles que T2>Tι.
Dans un second exemple de mise en oeuvre du procédé, décrit ci-après en référence aux figures 11 à
15, la bicouche d'adaptation de contraintes est constituée d'un film de Si02 et d'une couche implantée dans l'une des couches principales.
Comme le montre la figure 11, une première couche d'adaptation de contrainte 220 est formée par implantation d'espèces dans une plaquette de silicium. La partie de cette plaquette non affectée par l'implantation forme la première couche principale 210a.
A titre d'exemple, l'implantation peut avoir lieu avec de l'azote avec une dose de 1016 atomes/cm2 et avec une énergie de 135 keV.
Avec une telle implantation, la couche d'adaptation de contraintes 220, c'est-à-dire la zone perturbée par l'implantation, induit une contrainte en compression de quelques dizaines de MPa. Pour des raisons de simplification les déformations des couches induites par les contraintes ne sont plus représentées sur les figures 11 à 15.
Une deuxième implantation plus profonde, illustrée à la figure 12, est alors effectuée avec des espèces gazeuses. Cette implantation a lieu à la travers la couche d'adaptation de contraintes 220 pour former une couche de séparation (fracture) 212.
A titre d'exemple, on peut implanter une dose d'hydrogène de l'ordre de 5.1016 atomes/cm2.
L'énergie, et donc la profondeur d'implantation, permet de définir dans la couche principale 210a une couche superficielle mince 214 plus ou moins épaisse. Celle-ci est délimitée par la couche de séparation 212.
Par ailleurs, comme le montre la figure 13, un film d'oxyde de silicium (Si02) 230, d'une épaisseur de l'ordre de 200nm est formé à la surface d'une autre plaquette de silicium qui constitue la deuxième couche principale 210b. Le film d'oxyde de silicium 230 forme une couche d'adaptation de contraintes.
Les couches principales, équipées des couches d'adaptation de contraintes sont alors nettoyées de sorte que la micro-rugosité et le caractère hydrophile des couches d'adaptation de contraintes permettent une adhésion moléculaire dès la mise en contact de ces couches . L'assemblage de couches principales, par mise en contact des couches d'adaptation de contraintes, est illustré à la figure 14.
La mise en contact de la couche d'oxyde de silicium 230 et la couche implantée 220 permet de constituer également une bicouche d'adaptation de contraintes .
Dans certains cas, où une au moins des couches d'adaptation est suffisamment épaisse et/ou rigide, la couche principale normalement adjacente peut être omise ou confondue avec cette couche d'adaptation.
Un premier traitement thermique, dit de transfert (qui permet éventuellement aussi de renforcer l'adhésion entre les couches d'adaptation de contraintes) est effectué avec un budget thermique suffisant pour permettre une fracture selon la couche de fracture. Ce traitement thermique peut être appliqué, par exemple, de façon continue, variable ou impulsionnelle. Ce traitement thermique de transfert peut être éventuellement assisté par l'application de forces mécaniques, par exemple par traction et/ou cisaillement et/ou flexion. Suivant les contraintes appliquées, le budget thermique peut être effectué à température et temps réduits, voire nuls. La fracture permet de séparer la couche mince 214 et la première couche principal 210a, comme le montre la figure 15. Ces contraintes générées par la bicouche d'adaptation de contraintes peuvent également permettre de diminuer la dose d'espèces implantées et réduire le budget thermique du traitement de transfert et/ou les forces mécaniques de séparation.
Par exemple, une séparation (fracture) peut être provoquée en chauffant la structure à 450°C pendant 30 minutes. En comparaison, pour provoquer une séparation dans un substrat comparable à la figure 12, en l'absence des couches d'adaptation de contraintes, un traitement à une température d'au moins 500°C serait nécessaire, pendant 30 minutes pour obtenir une séparation.
Enfin, un traitement thermique final est réalisé. Dans la structure empilée, chacune des couches d'adaptation de contraintes de la bicouche est soumise à une contrainte effective dont la résultante peut être globalement modifiée par les mécanismes d'adhésion des deux plaques et par les divers traitements thermiques appliqués. La structure empilée finale est soumise alors à une contrainte adaptable en particulier par le traitement thermique final. Les divers traitements thermiques peuvent être avantageusement assistés mécaniquement (par exemple par traction, compression, cisaillement, flexion ou par application de champs électrostatiques ou magnétiques suivant la nature des couches) pour induire un effet supplémentaire de contraintes dans la bicouche spécifique.
Selon un troisième exemple, une variante de mise en oeuvre non représentée sur les figures, consiste à ne pas effectuer l'amincissement d'une des couches principales par la fracture de transfert de couches. Les autres étapes de préparation étant comparables à celles décrites dans le deuxième exemple de mise en oeuvre, l'amincissement d'une des couches principales, s'il est souhaité, peut être réalisé alors par abrasion mécanique et/ou chimique simple.
Selon un autre mode de mise en oeuvre d'application de l'invention, on peut réaliser dans la couche superficielle, obtenue après amincissement, et dans tout ou partie des couches d'adaptation et des couches intermédiaires de la structure finale, des composants tels que des membranes, dans lesquels la contrainte effective est contrôlée lors de la réalisation de la structure empilée. L'avantage d'une telle approche est de pouvoir disposer de la surface de la couche superficielle, par exemple, pour y réaliser une épitaxie sans avoir à y déposer des couches d'adaptation de contraintes des membranes, lors de l'élaboration de celles-ci.
A titre d'exemple d'application de cet autre mode de mise en oeuvre, on peut citer l' épitaxie de supraconducteur de type YBaCuO sur une couche superficielle de silicium en vue de réaliser un bolomètre en membrane. Cette épitaxie suppose habituellement de façon avantageuse l'utilisation de couches d'adaptation d' épitaxie, dites " buffer"
(tampon) et "seed layers" (de germe) en anglais. Elles ont pour but l'adaptation du paramètre cristallin entre le supraconducteur et le silicium. Ces couches peuvent être en MgO, Ce02, Zr02, par exemple pour le cas de l'YBaCuO déposé sur silicium. La couche superficielle de silicium est celle obtenue par le procédé décrit au préalable, c'est-à- dire par implantation d'hydrogène et séparation, et la contrainte de la structure empilée, comprenant la bicouche d'adaptation de contrainte, obtenue en fin de procédé d'élaboration de cette couche de silicium est alors primordial pour la qualité de la ou des épitaxies consécutives dans la mesure où elle permet de disposer d'un support précontraint mieux adapté à ces épitaxies. En outre, il est alors avantageux de pouvoir réaliser des membranes, par exemple par gravure, avant le dépôt du supraconducteur par épitaxie.
Bien que la description qui précède se rapporte à des couches principales massives en silicium, on entend que les couches principales peuvent elles-mêmes présenter une structure multicouche avec une pluralité de sous-couches.
Par ailleurs, lorsque l'on a une couche d'adaptation en oxyde de silicium, celle-ci peut être formée par un oxyde natif, thermique ou déposé.
En outre, les couches principales peuvent inclure des composants électroniques, mécaniques ou optiques formés préalablement ou postérieurement aux traitements décrits. Un exemple particulier d'application de l'invention est décrit à présent en référence aux figures 16 à 20 qui illustrent en coupe, différentes étapes et possibilités de réalisation d'une structure à membrane suspendue. La figure 16 montre une structure multicouche comparable à celle de la figure 15, au terme de l'amincissement ou la fracture de la première couche principale. En utilisant les mêmes références pour des parties identiques ou similaires à ceux de la figure 15, la structure de la figure 16 comporte une couche mince 214 de silicium, provenant de la première couche principale, une paire de couches d'adaptation de contraintes 220, 230 et une deuxième couche principale 210b, également en silicium, qui constitue ici un substrat de support.
Pour des raisons de simplification, la paire de couche d'adaptation de contraintes, ou bicouche, est désignée dans la suite du texte par une unique référence 225.
La couche mince 214 est recouverte d'un masque de gravure 240 présentant un motif correspondant à des contours d'une membrane que l'on souhaite réaliser dans la structure. Plus précisément, le masque présente des ouvertures qui laissent à nu des zones de la structure devant être gravées pour définir la forme de la membrane suspendue. Le masque 240 est par exemple un masque de résine photosensible, mis en forme par insolation à travers un masque d'insolation, puis par développement.
Une première gravure anisotrope à travers les ouvertures du masque 240 permet de former des tranchées 242 qui s'étendent à travers la couche mince 214 et tout ou partie de la bicouche d' adaptation de contraintes 225. La gravure peut aussi être arrêtée sur la deuxième couche principale. L'arrêt de gravure peut être facilité par une couche d'arrêt de gravure, non représentée, mise en place sur la deuxième couche principale avant la formation de la structure multicouche. Les tranchées délimitent une partie centrale 244 destinée à former ultérieurement la membrane suspendue. Il convient de préciser, cependant, que les tranchées n'entourent pas totalement la partie centrale 244 mais préservent des "ponts" qui la relient à la structure 245 entourant la partie centrale. Ces "ponts" qui ne sont pas visibles, car en dehors du plan de coupe des figures, peuvent constituer éventuellement dans la structure finale des poutrelles de maintien de la membrane suspendue permettant ainsi par exemple une conduction électrique et/ou thermique.
Une étape suivante, illustrée par la figure 18 comprend une gravure anisotrope sélective permettant d'éliminer au moins une partie de la bicouche d'adaptation de contraintes pour libérer une portion de la couche mince, en l'occurrence la partie centrale 244 qui constitue désormais une membrane suspendue.
Pour des raisons de simplification, la figure ne. tient pas compte d'une éventuelle attaque des flancs latéraux de la bicouche 225 dans les tranchées, lors de la gravure anisotrope.
La figure 19 illustre une variante dans laquelle la membrane est libérée au moyen d'une gravure anisotrope qui permet d'attaquer sélectivement la deuxième couche principale 210b, c'est-à-dire le substrat de support.
La membrane peut aussi être libérée par une gravure combinée de la deuxième couche principale et de la bicouche d'adaptation de contraintes. Enfin, au terme des gravures, la couche de résine formant le masque 240 peut être éliminée.
La figure 20 montre une réalisation particulière, comparable à celle de la figure 18, dans laquelle des couches additionnelles ont été formées sur la couche mince 214 avant la gravure.
Les couches additionnelles comportent dans l'exemple une couche 246 de germe et/ou une couche de tampon, et une couche 248 de matériau supraconducteur, par exemple de type YBaCuO.
La couche 246 de germe et/ou une couche de tampon non représentée, permettent de favoriser la croissance du matériau supraconducteur sur la couche mince de silicium et/ou permettent de corriger un éventuel désaccord de maille cristalline entre le silicium de la couche mince et le supraconducteur. Ces couches sont gravées de la façon déjà décrite en référence aux figures 18 ou 19 pour obtenir la structure finale de la figure 20 avec une membrane suspendue 244.
L'emplacement du masque de gravure 240, retiré, est indiqué en trait discontinu.
Une application possible d'une structure à membrane suspendue telle que décrite, est la réalisation de dispositifs de type bolomètre, par exemple.
DOCUMENTS CITES
(1)
Bower et al., Appl. Phys . Lett. 62, 26, 1993, p. 3485.
(2)
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October 1976, p. 1539. (4) S. Sanchez et al., J. Michromech. Microeng. 7
(1997), p.111-113. (5)
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C. Gui, M. Elwenspoek, J.G.E. Gardeneiers, P.V.
Lambeck, E.C.S. vol. 97-36, 1997, p. 114. (7)
FR-A-2 681 472

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé de réalisation d'une structure multicouche comprenant au moins une première et une deuxième couches (110a, 110b, 210a, 210b) appelées couches principales, reliées entre elles par un empilement d'au moins deux couches d'adaptation de contraintes, (120,130,220,230) et présentant une contrainte de structure déterminée, dans lequel : a) on équipe la première couche principale d'une première couche d'adaptation de contraintes, et on équipe d' au moins une deuxième couche d' adaptation de contrainte, l'une parmi la deuxième couche principale et la première couche d'adaptation de contraintes, b) on effectue un assemblage des première et deuxième couches principales par l'intermédiaire des couches d'adaptation de contraintes, les première et deuxième couches d'adaptation étant réalisées en des matériaux et avec des épaisseurs tels qu'en fin de procédé on obtienne dans la structure ladite contrainte de structure déterminée.
2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel ledit assemblage des première et deuxième couches principales comprend un collage par adhérence.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les première et deuxième couches d'adaptation sont réalisées en des matériaux et avec des épaisseurs tels que les contraintes avec les première et deuxième couches principales soient respectivement de signe opposé.
4. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on effectue, après l'étape b) un traitement thermique avec une température et une durée suffisantes pour ajuster dans la structure ladite contrainte de structure déterminée.
5. Procédé selon la revendication 1, dans lequel au moins l'une des couches d'adaptation de contrainte est surmontée d'au moins une couche dite intermédiaire .
6. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel ledit assemblage comprend un collage par adhésion moléculaire entre couches.
7. Procédé selon la revendication 6, dans lequel avant l'étape b) on effectue une préparation des couches devant être associées par collage moléculaire, pour ajuster un état de surface de ces couches.
8. Procédé selon la revendication 6, dans lequel lors de l'étape b) le collage moléculaire est réalisé à température ambiante.
9. Procédé selon la revendication 1, dans lequel ledit assemblage comprend un collage mettant en œuvre au moins une technique de collage choisie parmi : la brasure, la soudure, 1 ' interdiffusion entre couches, et collage par substance adhésive.
10. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'assemblage a lieu par l'intermédiaire d'une couche d'adhésion.
11. Procédé selon la revendication 1, dans lequel lors de l'étape a) on forme la première couche d'adaptation de contraintes (130,220) sur la première couche principale (110a, 210a) et la deuxième couche d'adaptation de contraintes (120,230) sur la deuxième couche principale (110b, 210b), et dans lequel, lors de l'étape b) , on effectue un collage moléculaire entre les couches d'adaptation de contraintes.
12. Procédé selon la revendication 1, dans lequel les première et deuxième couches d'adaptation de contraintes sont formées sur la première couche principale et le collage a lieu entre la deuxième couche principale et l'une des première et deuxième couches d'adaptation de contrainte superficielle.
13. Procédé selon la revendication 1, comprenant en outre une étape d'amincissement dans l'une au moins des couches principales après l'assemblage.
14. Procédé selon la revendication 1 ou 13, dans lequel l'étape d'amincissement comporte une étape de séparation pour fracturer selon la zone de fracture.
15. Procédé selon la revendication 14, comprenant, au moins une implantation d'espèces gazeuses dans l'une au moins des première ou deuxième couches principales ou l'une au moins des première ou deuxième couches d'adaptation pour y former une zone de fracture (112, 212), et une étape d'amincissement comportant un traitement thermique et/ou mécanique.
16. Procédé selon la revendication 14 ou 15, dans lequel la contrainte de structure obtenue avant amincissement est telle qu'elle participe à la séparation au niveau de la zone de fracture.
17. Procédé selon la revendication 1, dans lequel au moins une couche d'adaptation de contraintes est formée par dépôt de matière selon un procédé de dépôt choisi parmi les procédés de pulvérisation, d' épitaxie, de dépôt chimique, tel que le dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt en phase vapeur à basse pression, et le dépôt en phase vapeur assisté par plasma.
18. Procédé selon la revendications 1, dans lequel au moins une couche d' adaptation de contraintes est obtenue par oxydation superficielle d'une couche principale.
19. Procédé selon la revendication 1, dans lequel au moins une couche d'adaptation de contraintes est obtenue par implantation d'espèces dans une couche principale .
20. Procédé selon la revendication 1, dans lequel les couches principales sont réalisées en au moins un matériau choisi parmi le silicium, le germanium, le carbure de silicium, les semi-conducteurs de type III-V, les semi-conducteurs de type II-VI, le verre, les supraconducteurs, le diamant, les matériaux céramiques (LiNb03, LiTa03) , et le quartz, et dans lequel les couches d'adaptation de contraintes sont réalisées en au moins un matériau choisi parmi Si02, SiN, Si3N4, TiN, les métaux, les alliages métalliques, et le diamant ou des matériaux d'une des couches principales.
21. Structure multicouche à contraintes internes contrôlées comprenant, dans l'ordre, un empilement d'au moins une première couche principale (110a, 210a), d'au moins une première couche d'adaptation de contraintes (130, 220) en contact avec la première couche principale, d'au moins une deuxième couche d'adaptation de contraintes (120, 230) en contact avec ladite première couche d'adaptation de contraintes et une deuxième couche principale (110b, 210b) en contact avec la deuxième couche d'adaptation de contraintes, les première et deuxième couches d'adaptation de contraintes présentant des contraintes de contact avec les première et deuxième couches principales, respectivement de signe opposé.
22. Structure selon la revendication 21, caractérisé en ce que l'empilement comporte en outre une couche de collage situé entre les couches d'adaptation de contraintes ou entre une des couches d'adaptation de contraintes et une couche principale correspondante .
23. Structure selon la revendication 21, présentant une membrane suspendue, la membrane suspendue (244) comportant au moins une portion de l'une des première et deuxième couches principales, libérée de la deuxième respectivement de la première couche principale.
24. Structure selon la revendication 23, dans lequel la membrane suspendue (244) comporte en outre au moins une couche de matériau supraconducteur (248) recouvrant ladite portion de l'une des première et deuxième couches principales.
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