WO1997016708A1 - Appareil pour source lumineuse et procede de mesure - Google Patents

Description

明 細 書 光源装置および測定方法 技術分野

木¾¾は， 必要な s長を有する光を 1つまたは 数の から ： ύから選 し、 分離して投射する光源装置に関し、 特に、 可視または近赤外の光を測定対象物に 投射して得られる透過光、 もしくは反射光 （散乱光を含む） の強度を検出して測 定対象物内の情報を得るのに用いられる光源装置に関する。 背景技術

近年、 測定対象物を透過した光、 もしくは測定対象物によって反射、 散乱され た光を用いた様々な光学測定が行われている。 このような光学測定では、 測定対 象物に光を照射して、 得られた透過光、 反射光、 または散乱光の強度を検出し、 これにより測定対象物内の情報を得ている。

測定に用いられる光は、 測定対象物に応じて好適な波長を有するものが選ばれ る。 また、 同一の測定対象物であっても、 得られる透過光、 反射光、 または散乱 光の強度は測定波長によって異なる。 このため、 測定条件に応じて好適な波長を 選ばなければならない。 高い感度の測定を行うためには、 このようにして選ばれ た波長の光を含む光を測定対象物に精度よく投射する必要がある。

従来から、 上述したような光学測定には、 複数の波長の光を出射する 1つまた は複数の光源と透過波長が異なる複数のフィル夕とを組み合わせた光源装置が用 いられている。 この従来の光源装置では、 複数のフィルタが可動部によって移動 可能に設けられている。 測定に用いられる波長に応じてフィル夕が選ばれて光源 からの光を受け取る位置に移動されることにより、 測定に用いられる波長の光を 測定対象物に向けて投射している。 しかしながら、 このような従来の装置では、 同一測定対象物に照射する波長を 順次変えていく、 つまり波長の走査を行おうとすると、 フィルタュニッ 卜を機械 的に動かすことによってフィルタを順次切り替える必要がある。 した力、'つて、 光 源装置全体の構成が複雑になつたり、 大型化するという問題点があつた。

また、 従来の光源装置では、 光源の周囲の温度によって光量が安定しないとい w o UitM' UiL *« IK'J C V ] ¹ "CP 4 L Ό の光を出射する光源を選択する度に光源の電源をオン ·オフする必要が生じる場 合がある。 このため、 光源を切り替える度に、 光量が安定するまで時間がかかる。 さらに、 光源そのものが波長特性を有していること、 および複数のフィルタを使 用していることにより、 波長毎の発光強度が一定にはならない。

さらに、 上述したような光学的測定では、 対象物に照射され、 その後対象物を 透過した光、 対象物から反射、 あるいは散乱された光を用いている。 このため、 測定に用いられる光の強度は、 対象物による光の吸収の影響を受けることになる。 図 7に、 測定対象物に照射される光の強度 I。 （ス） と測定対象物を透過する 光の強度 I ( λ ) との関係の一例を示す。 この図からわかるように、 測定対象物 による吸収のために、 入射光と測定光 （ここでは透過光） との間では、 光の強度 が大きく異なる。 したがって、 測定分解能を最大にするためには、 測定光の強度 に応じて受光系の感度を変化させる必要がある。

本発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、 その目的は、 測定対象 物に対して、 測定に必要な波長の光を精度よく投射することができる上に、 波長 毎の発光強度のばらつきのない安定な光源装置を提供すること、 および操作が簡 単で、 装置の小型化が可能な光源装霞を提供することである。 発明の閼示

本発明の光源装置は、 複数の波長の光を出射する光源部と、 該複数の波長の光 から 1つの波長の光を選択し、 該選択された波長の光を分離して出射するフィル 夕であって、 該選択される波長は電気的に可変であるフィルタと、 を備えており、 そのことにより上記目的を達成する。

前記選択される波長の光の強度は、 電気的に可変であつてもよい。

前記フィルタは、 音響光学フィルタであってもよい。

前記フィルタは、 前記選択された波長の光を、 それ以外の波長の光とは異なる 方向に出射してもよい。

前記フィルタは、 前記選択された波長の光を ± 1次光として出射し、 それ以外 の光を 0次光として出射してもよい。

前記士 1次光を 1つに合成する合成手段をさらに備えていてもよい。

前記フィルタは、 前記選択された波長の光を ± m次光として出射し、 それ以外 の光を 0次光として出射し、 mは 2以上の整数であつてもよい。

前記士 m次光を 1つに合成する合成手段をさらに備えていてもよい。

前記光源部は、 複数の光源を有していてもよい。

前記光源部は、 単一の光源を有していてもよい。

前記光源装置は、 前記フィルタから出射された光を集光する集光部材を有して いてもよい。

前記光源装置は、 前記選択された波長の光のみを透過し、 それ以外の光を遮る 部材をさらに備えていてもよい。

前記フィルタは、 前記選択された波長が順次変化し、 かつ該選択された波長の 光の強度が一定であるように、 電気的に調整されてもよい。

前記フィルタは、 前記選択された波長の光の強度が順次変化し、 かつ該選択さ れた波長が一定であるように、 電気的に調整されてもよい。

前記光源部は、 レーザダイオードを有していてもよい。

前記光源部は、 発光ダイオードを有していてもよい。

前記複数の光源は、 互いに波長域が異なる光を出射してもよい。

前記複数の光源は、 アレイ状に配列されていてもよい。 前記光源装 sは、 前記光源部と前記フィルタとの間に設けられ、 複数のレンズ を有しているレンズアレイをさらに備えていてもよい。

本発明の測定方法は、 複数の波長の光を出射する光源部と、 該複数の波長の光 から 1つの波長の光を選択し、 該選択された波長の光を分離して出射するフィル 夕であって、 該選択される波長は、 電気的に可変であるフィルタと、 を備えてい ろ光 から出 される光を 、る^定方 てあつて、 ¾ から出 'さ れる該光を測定対象物に照射する工程と、 該測定対象物を透過した光、 あるいは 該測定対象物から反射または散乱された光を受け取る工程と、 受け取った該光に 基づいて、 該測定対象物に関する測定を行う工程と、 を包含しており、 該照射ェ 程において、 前記選択される波長、 および該選択される光の強度の少なくとも一 方を順次変化させ、 そのことにより上記目的を達成する。

本発明の他の測定方法は、 複数の波長の光を出射する光源部と、 該複数の波長 の光から 1つの波長の光を選択し、 該選択された波長の光を分離して出射するフ ィルタであって、 該選択される波長は、 電気的に可変であるフィルタと、 を備え ている光源装 Sから出射される光を用いる測定,方法であって、 該光源装置から出 射される該光を測定対象物に照射する工程と、 該測定対象物を透過した光、 ある いは該測定対象物から反射または散乱された光を測定光として受け取る工程と、 受け取った該光に基づいて、 該測定対象物に関する測定を行う工程と、 を包含し ており、 該照射工程に先立って、 該フィルタによって選択される波長に依存せず に、 該測定光の強度が略一定となるように、 該フィルタを電気的に調整する工程 をさらに包含しており、 そのことにより上記目的を達成する。 図面の簡単 ^明

図 1は、 本発明の光源装置において用いられているフィル夕の構成を示す図で ある。

図 2は、 本発明の光源装置の構成を概略的に示す断面図である。 図 3は、 図 2の光源装置の光源部の波長特性の一例を示す図である。

図 4は、 光源部が図 3に示す波長特性を有するときの、 図 2の光源装置から出 射される光の波長特性の一例を示す図である。

図 5は、 光源部が図 3に示す波長特性を有するときの、 図 2の光源装置から出 射される光の波長特性の他の例を示す図である。

Sは、 光 か 'Ξ 2に示す すると έ "つ、 SiSEから出 射される光の波長特性のさらに他の例を示す図である。

図 7は、 従来の光源装 Sからの出射光、 および、 それを測定対象物に照射して 得られる測定光の波長特性の一例を示す図である。

図 8は、 図 2の光源装置を用いた光学測定において、 光源装置からの出射光の 強度を調整する工程を説明する図である。 発明を実施するための最皋の形態

以下、 図面を参照しながら、 本発明の光源装置の一実施形態を説明する。

図 1は、 本発明の光源装置において、 複数の 長の光から、 1つの波長の光を 取り出すのに用いられるフィルタを示す。 フィルタは、 電気的に波長をスキャン するバンドパスフィルタである音響光学フィルタ （A O T F ) で構成されている。 音響光学フィルタ 4は、 音響光学結晶 4 1、 音響波ドライバ 4 2、 圧電トランス デューサ 4 3、 およびァブソーバ 4 4を有しており、 複数の波長の成分を含む入 射光を受け取り、 1つの波長の成分およびその波長近傍の成分を含む光を選択的 に出射する。 本発明の光源装置で用いられる音響光学フィルタ 4は、 音響光学結 晶 4 1に与えられる音響波の進行方向と音響光学結晶 4 1における光の進行方向 とが交差する、 いわゆる noncolinearタイプのものであり、 音響光学結晶 4 1と して二酸化テルル （T e 0₂ ) を用いている。 選択される波長は、 音響波ドライ バ 4 2が圧電トランスデューサ 4 3に与える高周波の電気信号の周波数を変える ことによって変えることができる。 したがって、 従来必要だったフィルタを移動 させるための機械的な可動部は全く必要なく、 また、 校正をやり直す必要もない。 以下、 図 1を参照しながら、 音響光学フィルタ 4の動作を説明する。

音饗波ドライバ 4 2が高周波信号を発生すると、 その高周波信号は、 圧電トラ ンスデューサ 4 3によって音響波に変換され、 音響光学結晶 4 1に入射する。 音 饗光学結晶 4 1では、 音饗波カ通過する際に結晶格子の歪みが生じる。 この結晶 格子の歪みが、 音響光学結晶 4 1に入射した光のうちのある波長を有する光に対 して、 グレーティングとして働く。 したがって、 音響波が与えられている状態に ある音響光学結晶 4 1は、 入射光から、 ある波長を有するものを選択的に回折す し、 ± 1次光として出射する。 ± 1次光が出射される方向、 つまり回折の角度は、 音響光学結晶 4 1に与えられている音響波の周波数に依存する。 残りの波長の光 は、 音饗光学結晶 4 1を透過する 0次光として、 ± 1次光とは異なる方向に出射 される。 このようにして、 フィル夕によって選択された波長の光は、 その他の波 長の光から分離される。

音響光学結晶 4 1によって選択的に回折される波長は、 音響波の周波数によつ て決まる。 したがって、 音響波ドライバ 4 2が発生する高周波信号の周波数を変 えてやれば、 選択的に回折される光の波長を変えることができる。 また、 音響光 学フィルタでは、 音響光学結晶 4 1からの出射光、 すなわち回折光の強度は、 音 饗波ドライバ 4 2が発生する高周波信号のパワーによって決まる。 ゆえに、 高周 波信号のパワーを調整すれば、 所望の強度 （光量） の回折光を得ることができる。 このように、 本発明の光源装置では、 音整光学フィルタ 4を用いているので、 フ ィルタによって選択される光の波長、 および強度 （光量） を電気的に変更するこ とが可能である。

続いて、 図 2を参照しながら、 本発明の光源装置の構成を説明する。

図 2は、 本発明の光源装置の構成を概略的に示す断面図である。

光源装置 1は、 光源部 2、 レンズアレイ 3、 音響光学フィルタ 4、 集光レンズ

5、 セレクタ 6および合成素子 7を有している。 光源部 2は、 複数の波長範囲を 有する光を出射するように構成されている。 本実施形態では、 異なる波長の光を 出力する複数個の光源 2 A、 2 B、 2 C、 · · ·、 2 N力、らなる光源アレイを光 源部 2として用いている。 好ましくは、 光源 2 A、 2 B、 2 C、 · · ·、 2 Nと しては、 出力強度の等しいものが用いられる。 これらの光源の電源は、 従来の光 源装置における光源のように断続的にオン、 オフする必要はない。 なぜなら、 分 離する波長の選択は、 音響光学フィルタ 4の電気的な調整のみによって行われる ので、 従来のように選択すべき波長に応じて光源の選択を行う必要はないからで ある。 このような複数の光源としては、 レーザダイオード、 あるいは発光ダイォ —ド等を用いることができる。 また、 光源の配列は、 1次元配列であっても、 2 次元配列であってもよい。 あるいは、 複数の光源を、 環状に配列してもよい。 複数の光源を用いる代わりに、 ブロードな波長特性を有する、 つまり様々な波 長の光を出力する、 例えば蛍光灯のような単一の光源を用いてもよい。 複数の光 源を用し、る場合でも、 単一の光源を用いる場合でも光源の電源は予め投入されて おり、 電源出力が安定し、 各光源から出射される光の光量が安定した状態で使用 される。

レンズアレイ 3は、 光源部 2の前面に設けられており、 光源部 2から出射され た複数の波長を有する光を、 平行光にしてから、 音響光学フィルタ 4に入射させ る。 本実施形態では、 レンズアレイ 3は、 光源アレイを構成する光源の個数と同 じ個数の集光レンズ 3 A、 3 B、 3 C、 · · ·、 3 Nを有している。

レンズアレイ 3によって平行光化された光は、 音響光学フィルタ 4に入射する。 音饗光学フィルタ 4は、 上述したようにして、 所望の波長の光のみを選択的に回 折して、 選択された波長の光を ± 1次光、 その他の波長の光を 0次光として、 互 いに異なる方向に出射する。 集光レンズ 5は、 音饗光学フィルタ 4の出射光を受 け取って、 それぞれが入射してきた方向に応じた位置に、 0次光および ± 1次光 を集光させる。 したがって、 選択された波長の光のみが、 その他の波長の光とは 異なる位置に集光される。 集光レンズ 5の前面には、 2つの開口部を有するセレクタ 6が設けられている。 セレクタ 6は、 ± 1次光が集光される位置にこれら 2つの開口部が位置するよう に配置されている。 したがって、 このセレクタ 6によって、 所望の波長の光以外 の光は遮られ、 測定対象物には、 ± 1次光のみが、 開口部を通して照射されるこ とになる。

セレクタ 6の前面には、 合成素子 7が配 Sされており、 これによつて、 セレク タ 6の開口部を通過した ± 1次光は、 1つの光に合成される。 本実施形態では、 合成素子 7として、 2つの入力部と 1つの出力部とを有する多分岐ファイバを用 いている。 しかし、 合成素子 7は多分岐ファイバには限られず、 2方向から入射 する ± 1次光を合成して 1つの光として出力するものであればよい。 例えば、 導 光路等を用いることもできる。

このようにして、 本発明の光源装置 1では、 電気的な調整のみで、 複数の波長 の光の中から任意の波長の光を分離して、 任意の強度 （光量） で出射することが できる。

図 3に、 光源部 2の波長特性の一例を示す。 この例では、 光源部 2は、 1 0 6

5 n m、 1 1 5 3 n m、 1 2 8 7 n mという異なる 3つの波長の光を発生する。 本実施形態では、 3個のレーザダイォードを配列したアレイを光源部 2として用 いた。 このとき、 音響波ドライバ 4 2が発生する高周波信号の周波数を 9 0 . 6 6 5 MH zとすることにより、 図 4に示すように 1 0 6 5 n mの波長の光を選択 することができた。 また、 高周波信号の周波数を 8 3 . 7 4 6 MH zとしたとき に、 図 5に示すように 1 1 5 3 n mの波長の光を、 高周波信号の周波数を 7 5 . 2 6 O MH zとしたときに、 図 6に示すように 1 2 8 7 n mの波長の光を選択す ることができた。 このように、 本発明の光源装置によれば、 音響波ドライバ 4 2 からトランスデューサ 4 3に与えられる高周波の電気信号の周波数を変えること によって、 音響光学フィルタ 4が選択する波長を変えることができる。

上述したように本発明の光源装置では、 光源装置が出射する光の波長を電気的 に調整することができる。 このため、 本発明の光源装 Sを用いれば、 例えば、 同

—の測定対象物に照射する光の波長を順次変えていく、 いわゆる波長の走査を行 うような光学的測定を効率よく行うことができる。 また、 光源装置から出射され る光の波長だけではなく、 強度 （光量） も電気的に調整することができるので、 測定対象物に照射する光の強度をも順次変えていくような測定もまた、 効率的に 行うことが可能である。

従来の光源装置を用いた場合、 1つの測定対象物に照射する光の波長を順次変 えていこうとすると、 上述したように、 光源装置の動作、 機搆が煩雑になるとい う欠点があった。 また、 図 7に示すように、 同一の測定対象物であっても、 照射 する光の波長によっては、 測定光として得られる透過光、 反射光または散乱光の 強度は大きく変化する。 このため、 ある測定対象物に対して波長の走査を行うと きには、 波長の変化と合わせて、 測定光を受け取る受光系の感度も変ィヒさせる必 要がある。

本発明の光源装置を用いると、 1つの測定対象物に照射する光の波長を順次変 化させて行う測定を以下のようにして行うことができる。 まず、 任意の波長特性 を有する光を光源装置から出射し、 これを測定対象物に照射する。 本実施形態で は、 図 8に破線で示される波長特性を有する光 I。 （ス） を照射した。 続いて、 この測定で得られた光の波長特性に基づいて、 測定光の強度を各波長でほぼ一定 にするような照射光の波長特性 （波長毎の光の強度） を求める。 本実施形態では、 測定光の強度を各波長でほぼ一定にすることができる照射光として、 図 8に一点 鎖線で示されるような波長特性を有する照射光 I ₀' ( λ )が決定された。

次に、 求められた波長特性を実現するように音響光学フィル夕 4の音響波ドラ ィバ 4 2のパワーを調整しながら、 音響光学フィルタ 4が選択する光の波長を順 次変えていく。 このようにして、 波長特性がほぼフラットな測定光 Γ ( λ ) を 得ることができる。

上述したように、 本発明の光源装置を用いれば、 同一測定対象物に対する波長 の走査を電気的に容易に行うことができるだけではなく、 波長の走査を行って得 られる測定光の強度をほぼ一定にすることができる。 したがって、 測定に用いる 受光系の感度を波長に応じて変更する必要がなくなる。 また、 受光系の測定エリ ァを狭く設定することが可能となる。 あるいは、 光源装置からの出射光の強度を 電気的に諝整する際に、 受光系の測定ェリァに合わせて音響光学フィルタの音響 波ドライバのパワーを調整することも可能である。

なお、 上述した実施形態では、 光源部 2として複数の光源が配列されたアレイ を用いる例を説明している。光源の配列は、 1次元であっても、 2次元であって もよく、 環状であってもよい。

また、 上述した実施形想では、 光源部 2からの光を音響光学フィルタ 4に入射 させるのにレンズアレイ 3を用いている。 しかし、 レンズアレイ 3に代えて、 例 えば、 複数の光源それぞれに対応した光入力と、 1つの光出力とを有する多分岐 ファイバを用いた場合にも、光源部 2からに光を効率よく音響光学フィルタ 4に 集光させることができる。

なお、 上記実施の形態では、 選択波長の光を ± 1次回折光として分離する例を 説明している。 しかし、 本発明はこれには限られず、 選択波長の光を、 それより も高次の回折光 （±m次光、 mは 2以上の整数） としてもよい。 産寒上の利甩可能性

以上説明したように、 本発明の光源装置は、 複数の波長の光のうちの 1つの波 長の光を選択して、 それを他の波長の光から分離して出射する。 選択する波長は、 フィルタの設定を電気的に変えることによって、 変えることができる。 具体的に は、 フィル夕として用いられている音響光学フィル夕の音饗波ドライバが発生す る髙周波信号の周波数を変えることで、 分雜する光の波長を変えることができる。 したがって、 選択する波長毎にフィルタを設けて、 これらを波長に応じて切り替 える必要がなくなり、 光源装 Sの構成および動作を簡略にすることができ、 光源 装置全体のサイズを小さくすることができる。 また、 精度よく、 所望の波長の光 を得ることができる。

さらに、 本発明の光源装置では、 フィルタによって選択される波長だけではな く、 フィルタが選択する波長の光の強度も、 電気的に変えることができる。 具体 的には、 音響光学フィルタの音響波ドライバが発生する高周波信号のパワーを変 えることで、 音響光学フィルタが出射する光の強度を変えることができる。 また、 本発明の光源装置では、 光源装置から出射される光の波長の選択は、 フ ィルタによつて電気的に行われるので、 複数の光源を設けた場合であつても従来 のように光源のオン ·オフを行う必要はない。 光源は、 常時発光状態にしておく ことができる。 したがって、 光源装置から出射させる光の ^tm (強度） の変動を 小さくすることができる。 また、 フィルタによって、 選択された波長の光が他の 波長の光から分離されるので、 複数の波長の光を分離してからフィルタに入射さ せる必要はなく、 光源装置の構成を簡単にすることができる。

さらに、 本発明の光源装置では、 選択された波長の光を他の波長の光から分離 しても、 集光することが可能である。

また、 本発明の光源装置では、 光源部が発生した複数の波長の光を効率よくフ ィルタに集光させることができる。 光源部として複数の光源を配列したァレイを 用い、 光源に対応して配列したレンズアレイ、 または光源に対応する光入力を有 する多分岐ファイバを光源アレイの前方に E置すれば、 より効率的に光源部から の光をフィルタに集光させることができる。

光源部として、 発生する光の波長範囲が互し、に異なる複数の光源を用 L、れば、 光源装置が出射する光の波長範囲を広くすることができる。

Claims

請求の範囲

1 . 複数の波長の光を出射する光源部と、

該複数の波長の光から 1つの波長の光を選択し、 該選択された波長の光を分離 して出射するフィルタであって、 該選択される波長は、 電気的に可変であるフィ ル夕と、

を備えている光源装置。

2. 前記選択される波長の光の強度は、 電気的に可変である、 請求項 1に記載の 光源装 S。

3 . 前記フィルタは、 音響光学フィルタである、 請求項 1または 2に記載の光源 装置。

4 . 前記フィルタは、 前記選択された波長の光を、 それ以外の波長の光とは異な る方向に出射する、 請求項 1から 3のいずれか 1つに記載の光源装置。

5 . 前記フィルタは、 前記選択された波長の光を ± 1次光として出射し、 それ以 外の光を 0次光として出射する、 請求項 4に記載の光源装置。

6 . 前記 ± 1次光を 1つに合成する合成手段をさらに備えている、 請求項 5に記 載の光源装置。

7 . 前記フィルタは、 前記選択された波長の光を ± m次光として出射し、 それ以 外の光を 0次光として出射し、 mは 2以上の整数である、 請求項 4に記載の光源 装置。

8. 前記 ±m次光を 1つに合成する合成手段をさらに備えている、 請求項 7に記 載の光源装置。

9. 前記光源部は、 複数の光源を有している、 請求項 1から 8のいずれか 1つに 記載の光源装置。

10. 前記光源部は、 単一の光源を有している、 請求項 1から 8のいずれか 1つ に記載の光源装置。

1 1. 前記フィルタから出射された光を集光する集光部材を有している、 請求項 9に記載の光源装置。

12. 前記選択された波長の光のみを透過し、 それ以外の光を遮る部材をさらに 備えている、 請求項 1から 1 1に記載の光源装置。

1 3. 前記フィルタは、 前記選択された波長が順次変化し、 かつ該選択された波 長の光の強度が一定であるように、 電気的に調整される、 請求項 1から 12のい ずれか 1つに記載の光源装置。

14. 前記フィルタは、 前記選択された波長の光の強度が順次変化し、 かつ該選 択された波長が一定であるように、 電気的に調整される、 請求項 1から 12のい ずれか 1つに記載の光源装置。

15. 前記光源部は、 レーザダイオードを有している、 請求項 9または 10に記 載の光源装置。

1 6 . 前記光源部は、 発光ダイォードを有している、 請求項 9または 1 0に記載 の光源装置。

1 7 . 前記複数の光源は、 互いに波長域が異なる光を出射する、 請求項 9、 1 5 および 1 6のいずれか 1つに記載の光源装置。

1 8. 前記複数の光源は、 アレイ状に配列されている、 請求項 9、 1 5、 1 6お よび 1 7のいずれか 1つに記載の光源装 S。

1 9 . 前記光源部と前記フィルタとの間に設けられ、 複数のレンズを有している レンズアレイをさらに備えている、 請求項 9、 1 5、 1 6、 1 7および 1 8のい ずれか 1つに記載の光源装置。

2 0 . 複数の波長の光を出射する光源部と、 該複数の波長の光から 1つの波長の 光を選択し、 該選択された波長の光を分離して出射するフィルタであって、 該選 択される波長は、 電気的に可変であるフィルタと、 を備えている光源装置から出 射される光を用いる測定方法であって、

該光源装置から出射される該光を測定対象物に照射する工程と、

該測定対象物を透過した光、 ある 、は該測定対象物から反射または散乱された 光を受け取る工程と、

受け取った該光に基づいて、 該測定対象物に関する測定を行う工程と、 を包含しており、

該照射工程において、 前記選択される波長、 および該選択される光の強度の少 なくとも一方を順次変化させる、 測定方法。

2 1 . 複数の波長の光を出射する光源部と、 該複数の波長の光から 1つの波長の 光を選択し、 該選択された波長の光を分離して出射するフィル夕であって、 該選 択される波長は、 電気的に可変であるフィルタと、 を備えている光源装置から出 射される光を用いる測定方法であって、

該光源装置から出射される該光を測定対象物に照射する工程と、

該測定対象物を透過した光、 ある t、は該測定対象物から反射または散乱された 光を測定光として受け取る工程と、

受け取った該光に基づいて、 該測定対象物に関する測定を行う工程と、 を包含しており、

該照射工程に先立って、 該フィルタによって選択される波長に依存せずに、 該 測定光の強度が略一定となるように、 該フィルタを電気的に調整する工程をさら に包含している、 測定方法。