WO1993021672A1 - Controller for laser oscillator - Google Patents
Controller for laser oscillator Download PDFInfo
- Publication number
- WO1993021672A1 WO1993021672A1 PCT/JP1993/000450 JP9300450W WO9321672A1 WO 1993021672 A1 WO1993021672 A1 WO 1993021672A1 JP 9300450 W JP9300450 W JP 9300450W WO 9321672 A1 WO9321672 A1 WO 9321672A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- value
- laser oscillator
- laser
- laser output
- output
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
- G08B21/18—Status alarms
Definitions
- the present invention relates to a laser oscillator control device that controls a laser oscillator, and more particularly to a laser oscillator control device that manages the life of a discharge tube, an oscillation lamp, and the like.
- the cause is not necessarily caused by the consumption of the discharge tube or the oscillation lamp. Therefore, when replacing the laser oscillator after it has stopped operating, it took time and effort to investigate the cause of the operation stop, and it took a long time to recover the laser oscillator.
- an object of the present invention is to provide a laser oscillator control device that can notify an operator of an appropriate replacement time of consumable parts such as a discharge tube and an oscillation lamp. I do.
- the present invention provides a laser oscillator control device that controls a laser oscillator, wherein a multiplication value of a laser output instantaneous value of the laser oscillator and a use time is calculated, and the multiplication value is calculated by the laser oscillator.
- a laser output calculating means for calculating an integrated laser output value from the time of replacement of the part;
- a use time calculating means for calculating a usage time integrated value obtained by integrating the total use time since the replacement of the part;
- a laser oscillator control device characterized by comprising: a teaching means for notifying an operator of the degree of wear of the component based on the integrated laser output value and the usage time integrated value.
- the laser output calculating means calculates a multiplied value of the laser output instantaneous value of the laser oscillator and the operating time, and calculates a laser output integrated value obtained by integrating all the multiplied values since the replacement of the laser oscillator component.
- the usage time calculation means calculates a usage time integrated value obtained by integrating the total usage time since the part was replaced. Then, the teaching means informs the operator of the degree of wear of the parts all at once based on the integrated value of the laser output and the integrated value of the use time. For this reason, the operator can accurately determine the degree of wear of parts 0
- Figure 1 is a block diagram showing the configuration of a robot controller equipped with a laser oscillator.
- Fig. 2 is a flowchart showing the procedure of life management control of the parts of the laser oscillator.
- Fig. 1 is a block diagram showing the configuration of a robot controller equipped with a laser oscillator.
- the robot control apparatus 1 in the 0 has a processor board 1 1, the processor 1 la to the processor board 1 1, ROM 1 lb, and t the processor 1 1 a of RAM I 1 c is provided, R 0 M 11 1 Controls the entire robot controller 10 according to the system program stored in the robot. ⁇
- the RAM I1c stores various data, and stores a robot operation program (not shown), an output instruction program to the laser oscillator 20, and the like.
- a part of the RAM I1c is configured as a non-volatile memory, and an operation program, an output command program, and the like are stored in the non-volatile memory.
- a non-volatile memory portion stores a program for life management control, which will be described later, and usage time integrated value data and laser output integrated value data necessary for the program.
- the processor board 11 has a digital servo control circuit 12, a serial port 14, a digital IZ 15, an analog IZO 1, and a large memory Li 18 is connected.
- the digital servo control circuit 12 is driven by a command from the processor board 11 via the servo amplifier 13 to operate the servo motors 41, 42, 43, and 4 that operate the axes of the robot.
- the serial port 14 is connected to another RS 23 C device 45.
- the CRT 16 a of the operation panel 16 is connected to the serial port 14.
- This CRT 16a displays the integrated value of the laser output and the integrated value of the operating time after each component such as the discharge tube of the laser oscillator 20 and the oscillation lamp is replaced.
- the integrated laser output value is the sum of the multiplied value of the instantaneous output value of the laser oscillator 20 and its use time from the time of component replacement.
- the usage time integrated value is the total usage time of the laser oscillator 20 from the time of component replacement.
- the integrated value of the laser output and the integrated value of the use time are calculated and displayed for each part. When each component reaches the end of its life, an alarm is displayed.
- the digital IZO 15 is connected to the operation panel 16'b of the operation panel 16.
- the operation panel 16b is provided with an alarm lamp (not shown), which is lit when the life of the discharge tube or other component has reached its end.
- the digital IZQ 15 is connected to a central control device that controls the factory and other peripheral devices, and sends and receives signals to and from these devices. Further, the digital IZO 15 is connected to the laser oscillator 20 and transmits and receives digital signals from the laser oscillator 20.
- the digital signal includes laser processing condition data output to the laser oscillator 20, a laser output detection signal input from a laser output sensor (not shown) attached to the discharge tube, and the like.
- ⁇ Analog IZO 17 is used to output analog signals to laser oscillator 20.
- the laser oscillator 20 outputs a laser beam according to the analog signal.
- the output laser beam is- It is sent to the robot's hand via the transmission pipe and irradiates the work.
- the large-capacity memory 18 stores teaching data, a database of machining condition menus, and the like.
- FIG. 2 is a flowchart showing a procedure for controlling the life of components of the laser oscillator 20.
- step S4 It is determined whether or not the laser oscillator 20 is operating and performing laser oscillation. If so, the process proceeds to step S5; otherwise, the process proceeds to step S7.
- [S5] Increase the use time of the laser oscillator 20 after the parts are replaced, and read the laser output detection signal from the laser output sensor.
- step S6 Each integrated value calculated in step S6 is displayed on CRT 16a.
- the integrated value of the operating time is displayed in units of time (h), while the integrated value of the laser output is displayed in kilo ⁇ units ⁇ hour (kw ⁇ h).
- the use time integrated value and the laser output integrated value are displayed for each component.
- the difference between the integrated laser output value and the preset laser output life judgment value, and the difference between the use time integrated value and the preset use time life judgment value are calculated, and both of these differences are predetermined. If the value is less than the value, it is determined that the component is nearing the end of its life, and the process proceeds to step S9. On the other hand, if the parts have not reached the end of their service life, the process ends.
- the integrated value of the operating time of the laser oscillator 20 and the integrated value of the laser output after the replacement of the component are calculated, the life of the component is determined from these values, and an alarm is output.
- the worn parts can be replaced at an appropriate time, and the operation of the laser oscillator 20 due to the worn parts can be prevented.
- the laser oscillator 20 becomes inoperable, it is possible to reliably determine whether or not the laser oscillator 20 is caused by exhaustion of components. Therefore, maintenance of the laser oscillator 20 becomes easy.
- the laser oscillator 20 is connected to the robot control device 10, but the present invention can be applied to a case where the laser oscillator 20 is connected to an NC device or the like.
- the laser output detection signal from the laser output sensor is used as a parameter indicating the laser output.
- the robot control device 10 sends the laser output signal to the laser oscillator 20.
- An output command signal or a voltage value of the discharge tube may be used.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Description
明 細 書 レーザ発振器の制御装置 技 術 分 野
本発明はレーザ発振器の制御を行う レーザ発振器の制御装置 に関し、 特に放電管や発振用ラ ンプ等の寿命を管理するレーザ 発振器の制御装置に関する。 背 景 技 術
従来、 レーザ発振器の放電管や発振用ラ ンプ等の消耗部品の 交換時期を確かめる方法としては、 消耗部品が完全に故障して レーザ発振器が動作しなくなったときか、 あるいは各消耗部品 に予め決められた使用時間が経過したときに、 新丄ぃ部品と交 換するようにしていた。
しかし、 実際にレーザ発振器の動作が停止した場合には、 そ の原因が必ずしも放電管や発振用ラ ンプ等の消耗によるものと は限らない。 したがって、 レーザ発振器が動作しなくなってか ら交換する方法では、 動作停止の原因究明等の作業に手間がか かり、 復旧に時間がかかるという問題点があつた。
また、 部品の消耗度は、 使用時間が同じであってもそのレ ー ザ出力によって変化する。 したがって、 決められた時間が経過 したときに部品を交換する方法では、 まだ充分に使用可能な瓿 品を廃棄してしまう恐れがあった。 発 明 の 開 示
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、 放電管 や発振用ランプ等の消耗部品の適切な交換時期をオペレータに 知らせることのできるレーザ発振器の制御装置を提供すること を目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、 レーザ発振器の制御 を行うレーザ発振器の制御装置において、 前記レーザ発振器の レーザ出力瞬時値と使用時間との乗算値を計算し、 前記乗算値 を前記レーザ発振器の部品の交換時から全て積算したレーザ出 力積算値を算出するレーザ出力算出手段と、 前記部品の交換時 からの全使用時間を積算した使用時間積算値を算出する使用時 算出手段と、 前記レーザ出力積算値および前記使用時間積算 値に基づいて前記部品の消耗度をオペレータに知らせる教示手 段と、 を有することを特徵とするレーザ発振器の制御装置が提 供される。
レーザ出力算岀手段は、 レーザ発振器のレーザ出力瞬時値と 使用時簡との乗算値を計算し、 その乗算値をレーザ発振器の部 品の交換時から全て積算したレーザ出力積算値を算出する。 使 用時間算出手段は、 部品の交換時からの全使用時間を積算した 使用時間積算値を算出する。 そして、 教示手段が、 レーザ出力 積算値および使用時間積算値に基づいて部品の消耗度をォペレ 一夕に知らせる。 このため、 オペレータは部品の消耗度を的確 に判断できる 0
図 面 の 簡 単 な 説 明
図 1はレーザ発振器を搭載するロボッ ト制御装置の構成を示 すブロック図、
図 2はレーザ発振器の部品の寿命管理制御の手順を示すフ口 一チヤ一トである。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
図 1はレーザ発振器を搭載するロボッ ト制御装置の構成を示 すブロ ック図である。 ロボッ ト制御装置 1 0内にはプロセッサ ボー ド 1 1があり、 このプロセッサボー ド 1 1にはプロセッサ 1 l a、 ROM 1 l b、 および RAM I 1 cが設けられている t プロセッサ 1 1 aは、 R 0 M 1 1 わに格納されたシステムプロ グラ ムに従ってロボッ ト制御装置 1 0全体を制御する。 ―
RAM I 1 cには各種のデータが格納され、 図示されていな いロボッ トの動作プロ グラ ムや、 レーザ発振器 2 0への出力指 令プログラ ム等が格納される。 RAM I 1 cの一部は不揮発性 メモリ として構成されており、 動作プログラ厶ゃ出力指令プロ グラム等はこの不揮発性メモリ部分に格納されている。 また、 の不揮発性メモリ部分には、 後述する寿命管理制御のプログ ラムと、 それに必要な使用時間積算値データやレ^ーザ出力積算 値データ等が格納される。
プロセッサボー ド 1 1には、 ノ ス 1 9を介してディ ジタルサ ―ボ制御回路 1 2、 シ リ 'アルポー ト 1 4、 ディ ジタ ル I Z〇 1 5、 アナログ I ZO 1 Ί、 および大容量メモ リ 1 8が結合され ている。
ディ ジタルサーボ制御回路 1 2は、 プロセッサボ一 ド 1 1か らの指令によって、 サーボアンプ 1 3を経由して、 ロボッ トの 各軸を動作させるサーボモータ 4 1、 4 2、 4 3、 および 4 4
を制御する。
シリアルポー ト 1 4は、 他の R S 2 3 C機器 4 5と接続さ れている。 また、 シリアルポート 1 4には、 操作盤 1 6の C R T 1 6 aが接続されている。 この C R T 1 6 aには、 レーザ発 振器 2 0の放電管や発振用ラ ンプ等の各部品を交換してからの、 レーザ出力積算値や使用時間積算値が表示される。 こ こで、 レ 一ザ出力積算値とは、 レーザ発振器 2 0の瞬時出力値とその使 用時間との乗算値を部品交換時から総和したものである。 また、 使用時間積算値とは、 部品交換時からのレーザ発振器 2 0の全 使用時間である。 これらレーザ出力積算値および使用時間積算 値は、 部品毎に計算され表示される。 また、 各部品が寿命とな つた場合には、 アラーム表示がなされる。
ディジタル I Z O 1 5には操作盤 1 6の 作パネル 1 6' bが 接続されている。 この操作パネル 1 6 bには図示されていない 警報ランプが設けられており、 放電管等の部品が寿命 φなった 場合に点灯する。 また、 ディジタル I Z Q 1 5は、 工場^ ¾を 制御する中央管理装置および他の周辺機器等と接続されており， これらと信号の授受を行う。 さらにディ ジタル I Z O 1 5は、 レーザ発振器 2 0 と接続されており、 レーザ発振器 2 0からの ディジタル信号の授受を行う。 このディ ジタル信号としては、 レーザ発振器 2 0へ出力するレーザ加工条件データや、 放電管 に取り付けられた図示されていないレーザ出力センサから入力 されるレーザ出力検出信号等がある。 ~ アナログ I Z O 1 7は、 レーザ発振器 2 0へのアナ口グ信号 の出力に使用される。 レーザ発振器 2 0は、 このアナ πグ信号 に応じて.レーザビームを出力する。 出力されたレーザビームは-
伝送管を介してロボッ トのハン ドに送られ、 ワークに照射され る。 大容量メモ リ 1 8にはティ ーチングデータ、 加工条件メ 二 ユーのデータベース等が格納される。
次に、 上記構成を有するロボッ ト制御装置 1 0のレーザ発振 器 2 0の部品の寿命管理制御について説明する。
図 2はレーザ発振器 2 0の部品の寿命管理制御の手順を示す フ ローチヤ一トである。
〔 S 1〕 新たに部品が交換されたか否かを判断し、 交換されれ ばステップ S 2に進み、 されていなければステツプ S 3に進む <
〔 S 2〕 交換された部品の交換前に計算されたレーザ出力積算 値、 使用時間積算値、 およびプログラム上の部品交換フラグを ク リァ処理する。
〔S 3〕 ァラてーム出力をク リア処理する。 一
〔 S 4〕 レーザ発振器 2 0が動作してレ ザ発振を行っている か否かを判断し、 行っていればステップ S 5に進み、 そうでな ければステップ S 7に進む。
〔 S 5〕 部品が交換されてからのレーザ発振器 2 0の使用時間 を力ゥン トアップし、 またレーザ出力セ ンサからのレーザ'出力 検出信号を読み込む。
〔 S 6〕 部品が交換されてからのレーザ発振器 2 0の使用時間 積算値、 およびレーザ出力積算値を算出する。
〔 S 7〕 ステップ S 6で算出した各積算値を C R T 1 6 aに表 示する。 このときの表示例としては、 使用時間積算値はその単 位を時間 （ h ) で、 一方、 レーザ出力積算値の場合はキロ · ヮ ッ ト ♦ 時 （k w · h ) で表示される。 また、 これら使用時間積 算値およびレーザ出力積算値は、 各部品について表示される。
〔S 8〕 レーザ出力積算値と予め設定されたレーザ出力寿命判 定値との差と、 使用時間積算値と予め設定された使用時間寿命 判定値との差を算出し、 これらの差がともに所定値以下となつ ていれば部品が寿命間近となっていると判断し、 ステップ S 9 に進む。 一方、 部品が寿命間近となっていなければ本フ ーチ ャ一トを終了する。
〔S 9〕 ァラーム出力を行うことにより、 C R T 1 6 aでァラ —ム表示を行うとともに、 操作パネル 1 6 bの警告ランプを点 灯させる。
このように、 本実施例では、 部品が交換されてからのレーザ 発振器 2 0の使用時間積算値、 およびレーザ出力積算値を算出 し、 これらの値から部品の寿命を判定しアラーム出力するよう にしたので、 使用頻度に比例した部品の消耗度を確実に知るこ とができる。 したがって、 消耗した部品の交換を適切な時期に 行えるとともに、 消耗した部品によるレーザ発振器 2 0の動作 不能を防止できる。 また、 レーザ発振器 2 0が動作不能となつ たときに部品の消耗によるものか否かを確実に判断することが できる。 このため、 レーザ発振器 2 0の保守が容易となる.。
なお、 本実施例では、 レーザ発振器 2 0をロボッ ト制御装置 1 0に接続するようにしたが、 N C装置等と接続した場合でも 本発明を適用することができる。
また、 本実施例では、 レーザ出力を示すパラ メ ータとして、 レーザ出力セ ンサからのレーザ出力検出信号を使用したが、 の他にも、 ロボッ ト制御装置 1 0からレーザ発振器 2 0への出 力指令信号や、 放電管 かかる電圧値等を使用してもよい。 以上説明したように本発明では、 レーザ発振器の部品の交換
時からのレーザ出力および使用時間のそれぞれの積算値を算出 し、 部品の消耗度をオペレータに知らせるようにしたので、 使 用頻度に比例した部品の消耗度を確実に知ることができる。
このため、 消耗した部品の交換を適切な時期に行えるととも に、 消耗した部品によるレーザ発振器の動作不能を防止できる。 また、 レーザ発振器が動作不能となったときに部品の消耗によ るものか否かを確実に判断することができる。
したがって、 保守が容易となる。
Claims
1 . レーザ発振器の制御を行うレーザ発振器の制御装置にお いて、
前記レーザ発振器のレーザ出力瞬時値と使用時間との乗算値 を計算し、 前記乗算値を前記レーザ発振器の部品の交換時から 全て積算したレーず出力積算値を算出するレーザ出力算出手段 と、
前記部品の交換時からの全使用時間を積算した使甩時間積算 値を算出する使用時間算出手段と、
前記レーザ出力積算値および前記使用時間積算値に基づいて 前記部品の消耗度をオペレータに知らせる教示手段と、
を有することを特徵とするレーザ発振器の制御装置。
2 . 前記教示手段は、 前記レーザ出力積算値および前記使用 時間積算値を画面表示する表示手段を有していることを特徵と する請求項 1記載のレーザ発振器の制御装置。 ，
3 . 前記教示手段は、 前記レーザ出力積算値と予め設定され たレーザ出力寿命判定値との差であるレーザ出力設定値と、 前 記使用時間積算値と予め設定された使用時間寿命 定値との差 である使用時間設定値とを算出する寿命算出手段と、 前記レー ザ出力設定値および前記使用時間設定値がそれぞれ所定！:以下 となった場合はアラーム警告するァラ一ム手段とを有すること を特徴とする請求項 1記載のレーザ発振器の制御装置。
4 . 前記レーザ出力瞬時値は、 前記レーザ発振器への出力指 令値を使用することを特徴とする請求項 1記載のレーザ発振器 の制御装置。
5 . 前記レーザ出力瞬時値は、 前記レーザ発振器に取り付け
られた出力センサで検出されたレーザ出力瞬時値を使用するこ とを特徴とする請求項 1記載のレーザ発振器の制御装置。
6 . 前記レーザ出力瞬時値は、 前記レーザ発振器の放電管に かかる電圧値から計算したレーザ出力瞬時値を使用することを 特徴とする請求項 1記載のレーザ発振器の制御装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP93908067A EP0589062B1 (en) | 1992-04-13 | 1993-04-07 | Controller for laser oscillator |
| DE69311993T DE69311993T2 (de) | 1992-04-13 | 1993-04-07 | Uberwachungseinheit für laseroszillatoren |
| KR1019930703833A KR940701593A (ko) | 1992-04-13 | 1993-04-07 | 레이저 발진기의 제어 장치 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4/92737 | 1992-04-13 | ||
| JP4092737A JP2716622B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | レーザ発振器の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1993021672A1 true WO1993021672A1 (en) | 1993-10-28 |
Family
ID=14062734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP1993/000450 WO1993021672A1 (en) | 1992-04-13 | 1993-04-07 | Controller for laser oscillator |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0589062B1 (ja) |
| JP (1) | JP2716622B2 (ja) |
| KR (1) | KR940701593A (ja) |
| DE (1) | DE69311993T2 (ja) |
| WO (1) | WO1993021672A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5646954A (en) * | 1996-02-12 | 1997-07-08 | Cymer, Inc. | Maintenance strategy control system and monitoring method for gas discharge lasers |
| JP2000271888A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Fanuc Ltd | ロボット制御装置 |
| US6697695B1 (en) * | 2000-04-25 | 2004-02-24 | Komatsu Ltd. | Laser device management system |
| JP5789393B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-10-07 | パナソニック デバイスＳｕｎｘ株式会社 | レーザ加工装置 |
| WO2014017562A1 (ja) | 2012-07-26 | 2014-01-30 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 |
| WO2014038584A1 (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 |
| JP7343324B2 (ja) * | 2019-07-26 | 2023-09-12 | ファナック株式会社 | レーザ発振器を制御する制御装置、及び制御方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5939957U (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-14 | 富士通株式会社 | ガスレ−ザ装置 |
| JPS63318180A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器制御装置 |
| JPH01154580A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-16 | Nec Eng Ltd | ガスレーザ発振器の出力安定化回路 |
| JPH021189A (ja) * | 1988-05-24 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| JPH0423373A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-27 | Fanuc Ltd | レーザ制御装置 |
| JPH0463666U (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-29 | ||
| JPH0463169U (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-29 |
-
1992
- 1992-04-13 JP JP4092737A patent/JP2716622B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-04-07 EP EP93908067A patent/EP0589062B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-04-07 DE DE69311993T patent/DE69311993T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-04-07 WO PCT/JP1993/000450 patent/WO1993021672A1/ja active IP Right Grant
- 1993-04-07 KR KR1019930703833A patent/KR940701593A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5939957U (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-14 | 富士通株式会社 | ガスレ−ザ装置 |
| JPS63318180A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器制御装置 |
| JPH01154580A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-16 | Nec Eng Ltd | ガスレーザ発振器の出力安定化回路 |
| JPH021189A (ja) * | 1988-05-24 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| JPH0423373A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-27 | Fanuc Ltd | レーザ制御装置 |
| JPH0463169U (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-29 | ||
| JPH0463666U (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-29 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| See also references of EP0589062A4 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05291649A (ja) | 1993-11-05 |
| DE69311993D1 (de) | 1997-08-14 |
| EP0589062B1 (en) | 1997-07-09 |
| KR940701593A (ko) | 1994-05-28 |
| JP2716622B2 (ja) | 1998-02-18 |
| DE69311993T2 (de) | 1997-11-06 |
| EP0589062A4 (en) | 1994-11-23 |
| EP0589062A1 (en) | 1994-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3226473B2 (ja) | 部品の耐用期間の終焉を予測可能なレーザーシステム及びその予測方法 | |
| US20070021050A1 (en) | System for providing and managing a laminar flow of clean air | |
| WO1993021672A1 (en) | Controller for laser oscillator | |
| EP1450265B1 (en) | Inverter | |
| WO2018199116A1 (en) | Control apparatus, control method, and program | |
| US5504766A (en) | Controller for laser beam oscillator | |
| JPH06204596A (ja) | レーザ発振器の出力制御装置 | |
| JPH09313852A (ja) | フィルタの管理装置 | |
| US6683269B2 (en) | Working fluid processing device of wire electric discharge machine | |
| JPH0973589A (ja) | 異常警報装置 | |
| JP3652712B2 (ja) | ヒータ温度制御システム | |
| JPH09134215A (ja) | サーボ制御システムの監視装置 | |
| JPH0335935B2 (ja) | ||
| CN116390829B (zh) | 增材制造装置及其控制方法、存储介质和复合加工装置 | |
| JPH0830320A (ja) | プラント監視制御システム | |
| JP2503048B2 (ja) | 電源装置の異常表示方式 | |
| JPH02170793A (ja) | 遠隔制御装置 | |
| JP2001076269A (ja) | 稼働管理装置および稼働管理方法 | |
| JP2009080518A (ja) | 計測監視制御システム | |
| JPH05211706A (ja) | 監視制御装置 | |
| KR100894213B1 (ko) | 전기로용 진공차단기 교체시기 알람 장치 및 방법 | |
| JP2004338890A (ja) | 軸受管理装置及びこれを使用する軸受管理システム | |
| JPH0567834A (ja) | 金属蒸気レーザー装置の放電監視装置 | |
| JPS63295155A (ja) | 加工部品数管理装置 | |
| JPH03246493A (ja) | 制御棒位置監視装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): KR US |
|
| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE |
|
| ENP | Entry into the national phase |
Ref country code: US Ref document number: 1993 142346 Date of ref document: 19931123 Kind code of ref document: A Format of ref document f/p: F |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 1993908067 Country of ref document: EP |
|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| WWP | Wipo information: published in national office |
Ref document number: 1993908067 Country of ref document: EP |
|
| ENP | Entry into the national phase |
Ref country code: US Ref document number: 1995 453510 Date of ref document: 19950530 Kind code of ref document: A Format of ref document f/p: F |
|
| WWG | Wipo information: grant in national office |
Ref document number: 1993908067 Country of ref document: EP |