WO1992006842A1

WO1992006842A1 - Heat-resistant moisture-proof film

Info

Publication number: WO1992006842A1
Application number: PCT/JP1991/001417
Authority: WO
Inventors: Tsutomu Sawada; Shinichi Ohashi; Shigenobu Yoshida
Original assignee: Mitubisi Kasei Polytec Company
Priority date: 1990-10-17
Filing date: 1991-10-17
Publication date: 1992-04-30
Also published as: DE69128524D1; EP0505575A4; DE69128524T2; KR920703333A; EP0505575B1; US5346752A; EP0505575A1; KR0175919B1

Description

明細書

発明の名称

耐熱性防湿フィルム技術分野

本発明は、耐熱性防湿フィルムに関するものであり、詳しくは、透明で且つ高い耐熱性を有し、水蒸気などのガスを殆んど透過しない高度な防湿性能を有する耐熱性防湿フィルムに関するものである。

本発明の耐熱性防湿フィルムは、穣層プラスチックフィルムとして構成され、そして、液晶ディスプレイのバックライト用 EL素子などのパッケージフィルムとして好適である。背景技術

液晶表示素子は、低消費電力駆動が可能であるという最大の特徴を活かし、 OA 機器をはじめとする各種分野で多用されている。

一方、有機分散型のエレクトロルミネセンス素子（以下、「EL素子」と略記する）は、薄型、軽量の特徴を活かし、液晶表示素子用の安価な平面発光のバックライト（補助光源）として用途が広がりつつある。

上記 EL素子は、 ZnS : Mn、 ZnS： Cuなどの蛍光物質を含み、その発光輝度が吸湿により著しく損なわれるため、防湿性能の優れた透明なフィルムによりパッケージされて使用される。

そして、パッケージは、一般的には、一方の面がヒートシール可能なシーラント層から成る 2枚の防湿フィルムを用い、そして、これら 2枚の防湿フィルムのシーラント層の間に挟み込みこんだ EL素子を上下に配置した加熱ロール間に適当なニップ圧で通過させ、 EL素子の全周囲のシーラント層をヒートシールする方法により行われる。

従来、 EL素子のパッケージには、フッ素化樹脂フィルム、特に、ポリ塩化三フッ化工チレン（以下、「PCTFE」と略記する））を主体にした積層フィルムが、優れた防湿性能、透明性を有するところから奨用されている。

上記の積層フィルムは、一般には、厚さが 70〜300 z m程度の PCTFEフィルムに、ヒートシール用のシーラントとして厚さが 20〜100 m程度のポリオレフインを積層して構成され、水蒸気を透過し難いところから、既存の透明なプラスチックフィルムの中では最も防湿性能が優れたものであると言われている

また、最近では、透明なプラスチック基体フィルムの表面に、金属酸化物、特に、ゲイ素あるいはアルミニウム系の透明な酸化物薄膜を設けた透明積層ブラスチックフィルムが、ガスバリャ性の包装材として商品化されている。

しかしながら、 PCTFEを主体にした積層フィルムは、極めて高価であるために、バックライトの製造コストが高くなるという問題がある。加えて、上記の積層フィルムでは、雰囲気の温度が 50 °Cを越えるとその防湿性能が低下するため、高温下での EL素子の寿命が極端に短くなるという問題がある。

また、表面に金属酸化物の透明な薄膜を設けた透明積層プラスチックフィルムは、現状のままでは防湿性能が充分でないことから、 EL素子のパッケージフイルムとして使用できるまでには至っていない。加えて、本発明者等の知見によれば、 EL素子の封止工程において、パッケージフィルムは、 110〜150。C程度の加熱ロールにて処理されるが、当該加熱により、用いる基体フィルムの種類によってはパッケージフィルムの防湿性能が損なわれるという問題がある。上記のような理由から、 EL素子のパッケージフィルムとして好適に使用でき、 PCTFEフィルムよりも安価で防湿性能の優れた透明なプラスチックフィルムの開発が望まれていた。

本発明は、上記実情に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、優れた透明性と防湿性を有し、強度、耐熱性および経済性の面でも優れた積層プラスチックフィルムより成る耐熱性防湿フィルムを提供することにある。本発明者らは、上記課題解決のために鋭意検討の結果、次のような知見を得

(1) 特定のポリビニルアルコールより成る基体フィルムの表面にゲイ素酸化物薄膜を形成したフィルムは、優れた透明性および防湿性を有し、そして、ケィ素酸化物薄膜を表面に形成した他の透明なプラスチックフィルムで保護されることにより、高温、多湿な雰囲気下でも安定した防湿性能を長期間に亘つて持続し得る。

(2) 上記の他の透明なプラスチックフィルムとして、特定物性のフィルムを含ませることにより、 EL素子封止工程での加熱加圧を受けても、本来のガスバリャ性能が維持され、防湿性能の低下が有効に防止され得る。発明の開示

本発明は、上記知-目を基に完成されたものであり、その要旨は、下記の通り定義される第 1層（A)、第 2層（B) 及び第 3層（C) から成り、第 1層の一方の面に第 2層が接合され、第 1層の他方の面に第 3層が接合されていることを特徴とする耐熱性防湿フィルムに存する。

(a) 第 1層（A) は、ゲン化度 99モル％以上のポリビニルアルコールより成る基体フィルムとその少なくとも片面に形成された透明なゲイ素酸化物薄膜とより構成される透明積層フィルムの単層体または積層体から成る。 (b)第 2層（B) は、ポリビニルアルコール以外の透明プラスチックより成るフィルムの単層体または積層体で構成され、少なくとも 1層のフィルムの少なくとも片面には 100〜5000人の透明なゲイ素酸化物薄膜が形成され、しかも、 150 でで 30分間加熱したときの縦方向と横方向の加熱収縮率の絶対値の和が 1 %以下であり、 ASTM D— 1003による光線透過率が 85 %以上である耐熱性透明フイルムを少なくとも 1層含む。

(c) 第 3層（C) は、ヒートシール可能な樹脂層から成る。

以下、本発明を詳細に説明する。

本発明の耐熱性防湿フィルムは、前記のように定義される第 1層（A)、第 2 層（B) 及び第 3層（C) から成り、第 1層（A) の一方の面に第 2層（B) が接合され、他方の面に第 3層（C) が接合されて構成される。

先ず、上記の各層について順次説明する。

(1) 第 1層（A)

本発明に係る耐熱性防湿フィルムにおいて、第 1層（A) は、ゲン化度が 99 モル％以上のポリビニルアルコール（以下、「PVAJと略記する）より成る基体フィルムとその少なくとも片面に形成された透明なゲイ素酸化物薄膜（以下、 rso 薄膜」と略記する）とより構成される透明積層フィルムの単層体または積層体から成る。

基体の PVAフィルムは、ケン化度が 99モル％以上である PVAから成ることが必要である。 99モル％未満のゲン化度の PVAから成るフィルムでは、このフィルムの表面に SO薄膜を形成しても優れた防湿性能は得られない。

PVAフィルムは、未延伸フィルムでも延伸フィルムでもよいが、フィルム強度および防湿性能の点から、延伸フィルム、特に、 3 X 3倍程度に延伸された二軸延伸フィルムが好ましい。また、その厚さは、 5〜400 // mの範囲で選ぶこができ、 10〜200 mの範囲で選ぶのが好ましい。

PVAフィルム表面に形成される SO薄膜は、フィルムの片面だけに形成しても、両面に形成しても構わないが、高度の防湿性能を長期に保持させるには、むしろ、保護層として機能する第 2層（B) を積層すべき面だけに形成した方がよい。

SO薄膜の形成は、一酸化ゲイ素、二酸化ケイ素、または、それらの混合物等を蒸着原料とし、真空蒸着法、スパッタリング法またはイオンプレーティング法のいずれかの方法により行うことができる。その外にも、蒸着原料としてケィ素、一酸化ゲイ素、二酸化ケイ素、または、それらの混合物等を用い、酸素ガスを供耠しながら行なう反応蒸着法も採用することができる。

SO薄膜の形成に先立って、薄膜と基体フィルムの接着強度を上げるため、ァンカーコート剤を使用することも可能である。好適なアンカーコート剤としては、イソシァネート系、ポリエチレンイミン系、有機チタン系などの接着促進剤およびポリウレタン、ポリエステル系などの接着剤を挙げることができる。また、アンカーコート剤として、ポリエチレン系、ポリエステル系、ポリアミド系の無溶剤タイプの接着剤を使用してもよい。

SO薄膜は、 10重量％以下であれば、その中に不純物として、カルシウム、マグネシゥム又はそれらの酸化物等が混入していても、目的とする防湿性能の極端な低下は認められない。

SO薄膜の厚さは、 100〜5000人の範囲で選ぶのがよい。 SO薄膜の厚さが 100 A未満であると、防湿性能が不十分であり、また 5000 Aを越えると、フィルムにカールが発生して問題となったり、 SO薄膜自体に亀裂や剥離が生じ易いので好ましくない。

上記の第 1層（A) は、前記の PVAより成る基体フィルムの片面に透明な SO 薄膜を有する透明積層フィルム 1枚から成る単層体または透明積層フィルム 2枚以上を透明な接着剤を用いて接合した積層体の、ずれであつてもよい。単層体同士を接合する場合に用いることのできる接着剤としては、ウレタン系、ァクリル系、ポリエステル系等のものを挙げることができる。

(2) 第 2層（B)

本発明においては、前記第 1層（A) の一方の面、好ましくは、 SO薄膜側の面に、第 2層（B) が接合される。

第 2層（B) は、保護層として機能し、 PVA以外の透明プラスチックより成るフィルムの単層体または積層体から成る。

また、第 2層（B) は、これを構成する少なくとも 1層のフィルムの少なくとも片面には 100〜5000人の透明な SO薄膜が形成されている。しかも、第 2層

(B) は、耐熱性透明フィルムを少なくとも 1層含む。

本発明において、耐熱性透明フィルムとは、 150でで 30分間加熱したときの縦方向と横方向の加熱収縮率の絶対値の和が 1 %以下であり、 ASTM D一 1003 による光線透過率（以下、単に光線透過率と略称する）が 85 %以上であるフィルムを言う。

なお、上記の加熱収縮率は、 150°Cに制御された熱風オーブン中にて加熱した後の測定値を意味する。

PVA以外の透明プラスチックフィルムは、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリアセテート、ポリプロピレン又はポリアミドより成るフィルムが挙げられる。また、以下に記載した耐熱性透明フィルムも使用することができる。特に、 PVA以外の透明プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートの二軸延伸フィルムが好適である。

—方、第 2層（B) に用いる耐熱性透明フィルムは、前記の特性を有する @り、一つ一

その原料樹脂は特に制限されないが、 Γ'下に説明するポリサルフォン系樹脂、ポリアリレート系樹脂またはポリイミド系樹脂等を原料とする各フィルムが挙げられる。

上記のポリサルフォン系樹脂としては、耐熱性の面から、主鎖中にスルフォン結合およびエーテル結合を有し、これらの結合の間に下記の化学式中の（a) 〜（d) に例示されるような芳香族残基が結合した芳香族ポリサルフォン系樹脂が好適に使用される。

a寸/6dfc.d : z6

o

上記の芳香族ポリサルフォン系樹脂において、繰り返し単位（1) を有する樹脂より成るフィルムと繰り返し単位（2) を有する樹脂より成るフィルムは、いずれも、既に市販されており入手が容易であるために好適に使用することがでさる。

なお、前記の化学式中の重合度（n) は、フィルム化し得る限り特に制限はないが、繰り返し単位（1) を有する樹脂では 100〜160、繰り返し単位（2) を有する樹脂では 50〜80の範囲である。

前記のポリアリレート系樹脂としては、 2価フエノールと芳香族ジカルボン酸との重縮合体が使用できる。具体的には、下記の化学式中（11)〜（16) で表される繰り返し単位を有する各種の樹脂を例示することができる。

なお、化学式中の略号（BIS A) は、ビスフエノール Aの残基を表す。

(¹斗 _(BISA) Q _Qj

a

上記の化学式中の重合度（n) は、フィルム化し得る限り特に制限はないが、繰り返し単位（11) を有する樹脂では 50〜110の範囲である。

繰り返し単位（11) を有するポリアリレート樹脂より成るフィルムは、既に市販されており入手が容易であるために好適に使用することができる。

前記のポリイミド系樹脂としては、主鎖中にイミド結合のみを有する狭義のポリイミド樹脂の外、ィミド結合とエーテル結合とを有するポリエーテルィミド樹脂およびィミド結合とアミド結合とをを有するポリアミドィミド樹脂が使用できる。斯かるポリイミド系樹脂においては、耐熱性の面から、上記各結合の間に下記の化学式中の（e) 〜（g) に例示されるような芳香族残基が結合した芳香族ポリイミド系樹脂が好適に使用される。

上記のようなポリイミド系樹脂としては、具体的には、下記の化学式中（17) 〜（19) で表される繰り返し単位を有する各種の樹脂を例示することができる。繰り返し単位（17) を有する樹脂はポリイミド樹脂、繰り返し単位（18) を有する樹脂はポリエーテルイミド樹脂、繰り返し単位（19) を有する樹脂はポリアミドイミド樹脂である。

なお、市販のポリイミド系樹脂フィルムには着色したものがあるが、本発明においては、光線透過率が 85 %以上のフィルムはいずれも使用することができる。

本発明においては、上記の各耐熱性透明フィルムの中では、特に、慣用的にポリエーテルサルフォン樹脂と呼ばれる、繰り返し単位（1) を有する樹脂より成るフィルムが最も好ましい。何故ならば、慣用的にポリサルフォン樹脂と呼ばれる、繰り返し単位（2) を有する樹脂またはポリアリレート系樹脂より成るフィルムは、耐溶剤性が必ずしも充分でないため、フィルムを後述するようにドライラミネ一トする場合には、フィルム表面が侵され易いという難点があるが、上記ポリエーテルサルフォン樹脂より成るフィルムには、斯かる問題は全くないからである。

第 2層（B) を構成する前記の透明ブラスチックフィルムの厚みは、特に制限されないが、前記の耐熱性透明フィルムの厚みは、 10〜100〃mの範囲から選択するのが好ましい。

本発明に係る耐熱性防湿フィルムは、第 2層（B) 中に 150°Cで 30分間加熱したときの縦方向と横方向の加熱収縮率の絶対値の和が 1 %以下である耐熱性透明フィルムを少なくとも 1雇含むことにより、優れた防湿性能を発揮するが、これは、次のような作用に基づくものと推定される。

すなわち、第 2層（B) が積層体である場合においても、全体として加熱収縮率が低くなる。その結果、 EL素子の封止工程で加熱される場合、第 2層（B) の SO薄膜の亀裂発生が防止されるみならず、これに接合される第 1層（A) の基体フィルムの収縮が抑制されるため、基体フィルム表面の SO薄膜の亀裂発生などが有効に防止される。また、本発明に係る耐熱性防湿フィルムは、上記の耐熱性透明フィルムが光線透過率が 85 %以上のものであるため、他の透明プラスチックフィルムと積層して使用される場合においても、第 2層（B) として一層良好な透明性を確保でき、封止された EL素子の発光光線を良好に透過させることができる。

第 2層（B) は、上記のような透明プラスチックフィルムの単層体または積層体で構成される。単層体の場合には、これ自体を前記耐熱性透明フィルムで構成する必要がある。積層体の場合には、耐熱性透フィルムを最外層に位置させるのが好ましい。積層体を構成するの接合用接着剤としては、前記のウレタン系、アクリル系、ポリエステル系等の接着剤を用いることができる。

第 2層（B) は、これを構成する少なくとも 1層の透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に SO薄膜を形成し、透明積層フィルムとして使用する。第 2 層（B) が単層体の場合には、これ自体（耐熱性透明フィルム）に SO薄膜を形成して透明積層フィルムとする必要がある。 SO薄膜の形成は、 PVAフィルム表面に SO薄膜を形成する前述の方法により行うことができ、そして、その厚さは、 100〜5000 Aの範囲にする必要がある。 SO薄膜の厚さが 100 A未満であると、防湿性能が不十分であり、また 5000 Aを越えると、フィルムにカールが発生して問題となったり、 SO薄膜自体に亀裂や剥離が生じ易、。

第 2層（B) は、耐熱性透明フィルムが外表面に露出するように、第 1層（A) に接合するのが好ましく、このような層構造により、 SO薄膜自体を引つ搔きゃ押し潰しから保護することができ、その結果、該 SO薄膜の破損により懸念される防湿性能の低下の問題もなくなる。

(3) 第 3層（C)

本発明においては、第 1層（A) の他方の面、好ましくは PVAフィルム側の面に、第 3層（C) が接合される。

第 3層（C) は、シーラントとして機能し、ヒートシール可能な樹脂層から成る。

ヒートシール可能な樹脂としては、低密度ポリエチレン、エチレン一齚酸ビニル共重合体、ポリプロピレン、エチレン一アクリル酸塩共重合体（アイオノマー）等の一般的なものを使用できる。そして、 EL素子用のパッケージフィルムなどのように高度な防湿性能が要求される用途には、シール面からの透湿を防ぐ意味から、エチレンーァクリル酸共重合体 (EAA).エチレンーェチルァクリレート共重合体（EEA) が好ましい。次に、前記各層を接合した積層構造について説明する。

第 1層（A) 面に第 2層（B) 及び第 3層（C) を接合する場合には、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、ポリエステル系接着剤などを用いるドライラミネート法または押出ラミネート法などの公知の方法を採用することができる。また、第 3層（C) としてフィルムを接合する場合、このフィルムは、未延伸のもの又は一軸あるいは二軸に延伸したフィルムのいずれであってもよい。なお、第 3層（C) の積層順序は、第 1層（A) の SO薄膜の形成の前でも、後でもかまわない。

第 3層（C) は、上記の外、接着剤を使用せずに、第 1層（A) に対し、好ましくは PVAフィルム面に対し、押出コートにより設けることもできる。

本発明の耐熱性防湿フィルムは、 EL素子のパッケージフィルムとして特に好適に使用されるが、勿論、防湿を必要とする他の被包装物に対するパッケージフィルムとしても好適に使用し得る。

そして、包装する内容物によっては、防湿フィルムの性能として防湿性能以外に紫外線遮断能が必要とされるが、本発明による耐熱性防湿フィルムでは必要に応じて紫外線遮断性能を付与することが可能である。例えば、上記の各層の接合の際に、接着剤層に紫外線吸収能を有する物質を添加しておくことにより、紫外線遮断能を有する防湿フィルムを得ることができる。

紫外線吸収剤は、ベンゾフヱノン、ベンゾトリアゾール系など市販のものが 1種または何種類か組合せて用いられ、必要とされる紫外線吸収能によって紫外線吸収剤の使用量が決められる。

なお、紫外線遮断能は、上記の各層を形成するフィルムとして紫外線吸収能を有する物質を配合したフィルムを使用することによつても付与することができることはいうまでもない。本発明に係る防湿フィルムにおいては、第 2層（B) と第 3層（C) の合計厚さは、 50〜： 1000 / mの範囲が好ましく、また全体の厚さは、強度、柔軟性、経済性などの点から 100〜1100 β mの範囲が好ましく、 150〜300 mの範囲がより好ましい。接着剤層を除いた各層の厚さの比（A)： (B)： (C) は、 1： 1〜 10： 1〜； 10であることが好ましい。

なお、第 1層（A) と第 2層（B) との間、または、第 1層（A) と第 3層（C) との間に、全体の厚さ調整のため、透明なプラスチックフィルムを介在させることもできる。介在させるプラスチックフィルムは、透明であれば特に限定されないが、第 2層（B) を形成するプラスチックフィルムと同種のものが好適に使用される。介在させるプラスチックフィルムの厚さは、防湿フィルム全体の厚さとの関係で選択される。

次に、本発明に係る防湿フィルムの層構造の具体例について説明する。

第 1図〜第 5図は、本発明の耐熱性防湿フィルムの具体的構造例を示す断面略図である。

なお、以下の説明において、「SO薄膜」は透明な SO薄膜を意味し、「フィルム」は、特に断わりがない限り、本発明で規定する耐熱性透明フィルムを意味する。

第 1図は、本発明に係る耐熱性防湿フィルムの基本的構造を示すものである。第 1層（A) は、 PVAフィルム（1) の片面に SO薄膜（2) を形成した透明積層フィルムの単層体から成る。そして、その SO薄膜 (2)側に、フィルム（3) の片面に SO薄膜（4)を形成した透明積層フィルムの単層体から成る第 2層（B) が、 SO薄膜（4) を内側にして接着剤層（a) を介して接合され、更に、第 1層 (A) の PVAフィルム側（1) に、接着剤層（a) を介してヒートシール可能な樹脂より成る第 3層（C) が接合された構造となっている。第 2図は、他の構造例を示し、第 1図の構造例において、第 2層（B) として 2枚のフィルムを含む積層構造体を用いた例である。

すなわち、第 2図中の第 2層（B) においては、フィルム（3) の片面に SO薄膜（4) を形成した透明積眉フィルムのフィルム側に、フィルム（5) の片面に SO薄膜（6) を形成した透明積層フィルムが、 SO薄膜（6) を内側にして接着剤層（a)を介して接合されている。そして、この積層構造体より成る第 2層（B) が、 SO薄膜（4) を内側にして接着剤層（a) を介して第 1層（A) の SO薄膜 (2) 側に接合されている。

なお、上記第 2図の構造例においては、フィルム（3) は、本発明で規定する耐熱性透明フィルム以外の透明プラスチックフィルムとしてもよい。

第 3図は、更に他の構造例を示し、第 2図の構造例と同様に、第 2層（B) として、 2枚のフィルムを含む積層構造体を用いた例であるが、第 2図のものと異なる点は、第 2層（B) 中に SO薄膜が 1層しか形成されていない点である。すなわち、第 3図中の第 2層（B) においては、フィルム（3) の片面に SO薄膜（4) を形成した透明積層フィルムの SO薄膜（4) 側に、 SO薄膜を形成していないフィルム（5) が、接着剤層（a) を介して接合されている。そして、この積層構造体より成る第 2層（B)が、フィルム（3) を内側にして接着剤層（a) を介して第 1層（A) の SO薄膜（2) 側に接合されている。

なお、上記第 3図の構造例においても、フィルム（3) は、本発明で規定する耐熱性透明フィルム以外の透明ブラスチックフィルムとしてもよい。

第 4図は、更に他の構造例を示し、第 2図及び第 3図の構造例と同様に、第 2 層（B) として積層構造体を用いた例であるが、これらと異なる点は、耐熱性の高くない通常の透明ブラスチックフィルムを更に 1枚加えて 3枚の透明ブラスチックフィルムを含む積層構造体とした点である。すなわち、第 4図中の第 2層（B) においては、フィルム（3) の片面に SO薄膜（4) を形成した透明積層フィルムの SO薄膜 (4)側に、耐熱性の高くない通常の透明プラスチックフィルム（5) の片面に SO薄膜（6) を形成した透明積層フィルムが、フィルム（5)側を内側にして接着剤層（a)を介して接合され、 SO 薄膜 (6) 側に、 SO薄膜を形成していないフィルム（7) が、接着剤層（a) を介して接合されている。そして、この積層構造体より成る第 2層（B) が、フィルム（3) 側を内側にして接着剤層（a) を介して第 1層（A) の SO薄膜（2) 側に接合されている。

なお、上記第 4図の構造例においては、フィルム（3) は、本発明で規定する耐熱性透明フィルム以外の透明プラスチックフィルムとしてもよい。

第 5図は、更に他の構造例を示し、第 4図の構造例において、第 1層（A) として積層構造体を用いた例である。

すなわち、 PVAフィルム（1) の片面に SO薄膜（2) を形成した 2枚の透明積層フィルムを接着剤層（a) を介して接合して積層構造体となし、この積層構造体より成る第 1層（A) の SO薄膜（2) 側に、第 4図の構造例における 3層構造体から成る第 2層（B) が、フィルム（3) を内側にして接着剤層（a) を介して接合された構造となっている。

本発明に係る耐熱性防湿フィルムにおいて、その基本的機能の防湿性は、第 1層（A) の PVAフィルム表面に形成した SO薄膜が、第 2層（B) で保護されることにより実現される。

そして、上記の傻れた防湿性は、次のような作用に基づいて発現されるものと推定される。

—般に、 PVAフィルム表面に形成した SO薄膜のゲイ素の結合エネルギーは、この薄膜の厚み方向に対し特異な値を示し、フィルム近傍部において表層部や中央部より大きなエネルギーを持ち、斯かる SO薄膜を形成した PVAフィルムは、常温下では優れた防湿性能を有する。

しかしながら、高温、多湿の雰囲気下では、 PVAフィルムが吸湿し、寸法変化を起こすことにより表面の SO薄膜が破壊され、折角の防湿性が損なわれる。上記の問題は、 PVAフィルムをフィルムで保護することによって解決されようが、通常のフィルム若しくは PVDCフィルム又は PVDCをコーティングしたフィルム等では高湿時の防湿性能の劣化が著しくて、 50°C以上では PVAフィルムの吸湿防止効果は殆ど期待できな t、。

これに対し、本発明において第 2層（B) として使用する SO薄膜を有する透明積層フィルムは、高温領域での防湿性能の劣化がごくわずかであるため、高温領域でも第 1層（A)の透明フィルムを有効に保護し、 SO薄膜を形成した PVA フィルムの優れた防湿性能が高温領域でも保持できると考えられる。

また、本発明に係る耐熱性防湿フィルムは、第 2層（B) 中に 150 ^eCで 30分間加熱したときの縦方向と横方向の加熱収縮率の絶対値の和が 1 %以下の耐熱性透明フィルムを含むために、例えば、 EL素子封止時において、第 2層（B) の

SO薄膜の亀裂みならず、これに接合される第 1層（A) の基体フィルムの収縮をもが抑制され、基体フィルム表面の SO薄膜の亀裂発生などが有効に防止されると考えられる。

よって、本発明に係る耐熱性防湿フィルムは、液晶ディスプレイのバックラィト用途のみならず、自動車や照明用途に使用可能な EL素子用のパッケージフイルムとして十分に使用することができる。図面の簡単な説明

第 1図〜第 5図は、本発明に係る耐熱性防湿フィルムの具体的構造例を示す断面図である。図中、（A) は第 1層、（B) は第 2層、（C) は 3層、（a) は接着剤層、（1) はポリビニルアルコールフィルム、（2)、 (4) 及び（6) はゲイ素酸化物薄膜、（3)、 (5) 及び（7) は透明フィルムである。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明を実施例および比較例により、更に詳細に説明するが、本発明は、その要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。

なお、以下の諸例において、各物性値は、次の方法によって測定したものである。

(1) SO薄膜の厚さ

薄膜形成時に水晶式膜厚計によつて測定した。

(2) 加熱収縮率（％)

フィルムを熱風オーブンにより、 150。C x 30分間加熱し、加熱前後の縦、横の寸法の変化率から求めた。

(3) 透湿度（gr/m2 · 24H)

所定の防湿フィルムから、 70 X 70mmの 3方シール（シール幅 5mm) の袋を作成し、該袋の中に、 EL素子の代替として、吸湿性の強い絶乾状態の厚紙を入れ、 2本の加熱ゴムロールの間を通して残りの 1辺をシールし、厚紙封入サンプルとした。なお、シーノレ条件は、加熱温度 150。C、ロール圧力 lOKgZcmとした。

上記の厚紙封入サンプルを夫々 10個ずつ 50°C x 90%RHの棼囲気下に約 500 時間放置し、全体の重量変化から防湿フィルムの透湿度を求めた。

(4) 透明性 (%)

日立製作所製の分光光度計を用いて可視光におけるフィルムの光線透過率を測定し、 550nmにおける光線透過率をフィルムの透明性とした。

実施例 1

本実施例で使用したフィルムは次の通りである。

く積層フィルム（A) >

ゲン化度 99.9モル％の PVAより成るニ蚰延伸フィルム（延伸倍率 3 x 3倍、厚さ 12 m) を基体フィルムとし、その一方の表面に、 5 X 10-5torrの真空下、電子ビーム加熱方式で、純度 99.9 %の一酸化ゲイ素（SiO) を加熱蒸発させて、厚さ 1000 Aの透明な SO薄膜を形成させたもの。

<積層フィルム（B) >

次の積層フィルム（B— 1) 及び（(B— 1) を組み合わせて使用した。

(1) 積層フィルム（B— 1)

ポリエチレンテレフタレート（以下、「PET」と略記する）より成る二軸延伸フィルム（延伸倍率 3 X 3倍、厚さ 12 z m) の片面に、上記と同様の方法により、厚さ 100C 4の SO薄膜を形成させたものを 2枚調製、一方の SO薄膜面と他方の非 SO薄膜面とをウレタン系接着剤で接合したもの。

(2) 耐熱性フィルム（B— 2)

ポリエーテルサルフォン樹脂より成る厚さ 50 / mの未延伸フィルムであり、 150でにて 30分間加熱した後の収縮率が、縦方向（MD)で 0.10%、横方向（TD) で 0.09 %であり、光線透過率が 88 %のもの。

<シ一ラントフィルム >

エチレン一ェチルァクリ 'ノート共重合体（EEA) より成る厚さ 50 /z mの未延伸フィルム。

先ず、上記積層フィルム（A) の SO薄膜面と積層フィルム（B— 1) の非 SO 薄膜面とをウレタン系接着剤（以下、単に「接着剤」と略記する）を用いて接合し、次いで、得られた接合体の積層フィルム（B— 1) の SO薄膜面と耐熱性フィルム（B— 2) とを接着剤を用いて接合し、 4層構成の積層フィルムとした。上記の 4層構造の積層フィルムの積層フィルム（A)側に上記シーラントフィルム（C) を接着剤を用いて接合し、第 4図に示すような、透明な 5層構造の積層フィルムを得た。

得られた積層フィルムについて、 EL素子の封止工程の代替試験として、前述の方法により、透湿度を測定した。また、前述の方法により、透明性を測定した。これらの結果を積層フィルムの構造と共に表 1に示す。

なお、表 1中、積層フィルム（B— 2) の各記号の意味は、次の通りである。

PES：前記の化学式中の（1) で表される繰り返し単位を有するポリエーテルサルフォン樹脂より成るフィルム〔三井東圧化学（株）製、商品名 TALPA - 1000 (Tg： 225。C)

PSF : 前記の化学式中の（2) で表される繰り返し単位を有するポリサルフォン樹脂より成るフィルム〔住友ベークライト（株）製、商品名スミライト FS— 1300 (Tg： 223 °C)

PAr：前記の化学式中の（11) で表される繰り返し単位を有するポリアリレート樹脂より成るフィルム〔住友化学（株）製、商品名エスペックスー R (Tg： 193 °C)

PI ：前記の化学式中の（17) で表される繰り返し単位を有するポリイミド榭脂より成るフィルム

PET : ポリエチレンテレフタレートフィルム

実施例 2〜7及び比較例 1〜5

表 1の記載した通り、積層フィルムの構造を変更した外は、実施例 1と同様にして各種の積層フィルムを得た。得られた各積層フィルムの構成および各物性値の測定結果を表 1に示す。なお、各積層フイルムにおけるシーラントフィルムは実施例 1と同一であり、表 1 には記載を省略してある。

表 1に示した結果から明らかなように、第 2層（B) 中に、所定の耐熱性透明フィルムを含ませたことにより、透湿度および透明性を改善した耐熱性防湿性フィルムが得られる。

表 1

1 (つづき）貝第 2 層（Β)

(Β - 1)

\ フィルム so薄膜厚みフィルフィルム厚さ加熱収縮率 (¾ί) 兀透過率例番号 \ の種類 (A) ム枚数の種類 ( β Τίί MD TD 実施例 1 PET 1000 2 PES 50 0.10 0.09 88 実施例 2 PET 1000 2 PES 25 0.12 0.11 89 実施例 3 PET 1000 2 PSF 50 0.07 0.04 89 実施例 4 PET 1000 2 PAr 50 0.12 0.06 90 実施例 5 PET 1000 2 PES 50 0.10 0.09 88 m

芙施例 b PET 100 2 PES 50 0.10 0.09 88

Ά芙施 [A; /at T PET 1000 1 PES 50 0.10 0.09 88

■tC权丄 PET 1000 2 PES 50 0.10 0.09 88 お例 2 PET 1000 2 PES 50 0.10 0.09 88 比較例 3 PET 50 2 PES 50 0.10 0.09 88 比較例 4 PET 1000 2 PET 50 1.25 0.22 90 比較例 5 PET 1000 2 PI 50 0.07 0.16 49 1 (つづき）

産業上の利用可能性

本発明に係る耐熱性防湿フィルムは、透明性に傻れ、かつ、極めて優れた防湿性を有するものである。そして、柔軟性があって、強度および経済性の面でも傻れたものである。また、苛酷な条件で長期間使用されても防湿性能が損なわれることはない。

従って、苛酷な条件下で長期間に亘つて使用される液晶ディスプレイのバックライン用 EL素子等のパッケージフィルムなど高度な防湿性能が要求される用途に好適であり、その工業的価値は極めて大である。

Claims

請求の範囲

(!) 下記の通り定義される第 1層（A)、第 2層（B)及び第 3層（C) から成り、第 1層の一方の面に第 2層が接合され、第 1層の他方の面に第 3層が接合されていることを特徴とする耐熱性防湿フィルム。

(a) 第 1層（A) は、ゲン化度 99モル％以上のポリビニルアルコールより成る基体フィルムとその少なくとも片面に形成された透明なゲイ素酸化物薄膜とより構成される透明積層フィルムの単層体または積層体から成る。

(b) 第 2層（B) は、ポリビニルアルコール以外の透明ブラスチックより成るフィルムの単層体または積層体で構成され、少なくとも 1層のフィルムの少なくとも片面には 100〜5000 Aの透明なゲイ素酸化物薄膜が形成され、しかも、 150でで 30分間加熱したときの縦方向と横方向の加熱収縮率の絶対値の和が 1 %以下であり、 ASTM D - 1003による光線透過率が 85 %以上である耐熱性透明フィルムを少なくとも 1層含む。

(c) 第 3層（C) は、ヒートシール可能な樹脂層から成る。

(2) 耐熱性透明フィルムの厚みが、 10〜100 / mの範囲であることを特徴とする請求項 1記載の耐熱性防湿フィルム。

(3) 耐熱性透明フィルムが、下記の化学式で表される繰り返し単位を有するポリエーテルサルフォン樹脂より成るフィルムであることを特徴とする請求項 1又は 2記載の耐熱性防湿フィルム。

(4) ゲイ素酸化物薄膜が、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法のいずれかの方法によって形成されたものであることを特徴とする請求項 1ないし 3のいずれかに記載の耐熱性防湿フィルム。

(5) 第 1層（A) における基体フィルム及びゲイ素酸化物薄膜の各厚さが、それぞれ、 5〜400 /z m、 100〜5000 Aの範囲であり、第 2層（Β) と第 3層（C) との合計厚さが、 50〜1000〃 mの範囲であることを特徴とする請求項 1ないし 4の t、ずれかに記載の耐熱性防湿フィルム。