Verfahren zur Herstellung eines Feuchtesensors
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Feuchtesensors, insbesondere eines kapazitiven Feuchte- sensors mit einem Polyimid als feuchtigkeitsempfindlicher Schicht.
Feuchtesensoren mit Metall- und Halbleiteroxiden sowie verschiedenen Polymeren sind in verschiedenen Ausführungs- formen bekannt und im industriellen Einsatz. Die oxidischen Materialien kommen hiebei vor allem in Form von Dünnschicht- feuchtigkeitssensoren zur Anwendung und arbeiten meist resistiv, d.h. sie verändern ihren elektrischen Widerstand in Abhängigkeit von der Feuchtigkeit. Zur Herstellung von Feuchtigkeitssensoren aus polymeren Materialien werden meist Polymerfolien verwendet, die zwar im allgemeinen eine hohe Empfindlichkeit, aber nur geringe Langzeitstabilität auf¬ weisen.
Kapazitiv arbeitende Feuchtesensoren, die ein Polyimid als feuchteempfindliche Schicht aufweisen, sind bereits der DE-OS 3 339 276, der DE-OS 2 848 034, der US-PS 4 345 301 und der US-PS 4 761 710 zu entnehmen. In allen Fällen wird das Polyimid entweder als Poiyimidvorstufe (Precursor) auf ein Trägermaterial aufgebracht und nachträglich imidisiert oder bereits als Folie vorliegend auf ein Trägermaterial geklebt bzw. mit Elektrodenmaterial beschichtet. Bei der aus der US-PS 4 345 301 bekannten Verfahrensweise wird eine vorge¬ fertigte Polyimidfolie eingesetzt, wobei insbesondere für die Herstellung kapazitiver Sensoren Folien vollkommen gleicher Dicke eingesetzt werden müssen und dafür Sorge getragen werden muß, daß die Folie während der Verarbeitung weder zerkratzt, geknickt oder gebrochen wird. Bei der Verwendung von Polyimid in einer Polyimidvorstufe, d.h. als sogenannter Precursor, in einem Lösungsmittel erfolgt die Imidisierung nach dem Auftragen. Während dieser Imidisierung, dem söge-
nannten Curing, erfolgt auf Grund der Imidisierung eine Freisetzung von Wasser und es entstehen auf diese Weise bei der Imidisierung des Polyimides in der Polyimidschicht feinste Löcher. Diese Löcher können wiederum die Funktion des Polyimids als feuchteempfindliches Dielektrikum in Frage stellen, da die Gefahr eines Kurzschlusses zwischen den Elektroden des Kondensators vor allen Dingen bei hohen Feuchtigkeitswerten besteht.
Um derartige Kurzschlüsse zu vermeiden wurde bisher in der DE-OS 3 339 276 vorgeschlagen eine Tantalgrundelektrode anodisch zu oxidieren, um eine ohmsche Leitung des Sensors zu verhindern. Im Falle eines lokalen Defektes in der Polyimid¬ schicht bildet sich mit Tantaloxid als Dielektrikum eine Serienkapazität aus, welche die Empfindlichkeit des Sensors einschränkt.
Sowohl für kapazitive als auch resistive Feuchtesensoren ist es insgesamt von wesentlicher Bedeutung eine möglichst homogene und im übrigen möglichst dünne gleichbleibende Schichtstärke zu erzielen, deren höchste Ansprechgeschwindig¬ keit erreicht werden soll.
Für kapazitiv arbeitende 'Feuchtigkeitsensoren sind bereits unterschiedliche Schaltungsanordnungen vorgeschlagen worden.
Insbesondere ist der DE-OS 22 39 359 eine Schaltungsanordnung zu entnehmen, welche einen Streufeldkondensator mit drei nebeneinander angeordneten Elektroden aufweist, von denen die mittlere als Abschirmelektrode wirkt, eine andere mit einem Signalgeber und die dritte mit einem Empfänger elektrisch leitend verbunden ist. Der Aufbau in schaltungstechnischer
Hinsicht kann verschieden ausgebildet sein, wobei lediglich zwischen den Elektroden das Dielektrikum liegen muß und das
Dielektrikum nicht von einer feuchtigkeitsundurchlässigen Schicht, beispielsweise einer feuchtigkeitsundurchlässigen
Elektrode, abgeschirmt sein darf. Im Falle von resistiven
Feuchtesensoren auf der Basis von Polyimid muß mit Rücksicht auf die isolierenden Eigenschaften des Polyimides ein geeig¬ neter die Leitfähigkeit erhöhender Zusatz eingebracht werden. Bei resistiven Feuchtesensoren besteht die Gefahr eines Kurzschlusses zwischen den Elektroden naturgemäß nur in weit geringerem Ausmaß und eine möglichst geringe homogene und gleichförmige Schichtdicke ist hier in erster Linie mit Rücksicht auf gesteigerte Ansprechempfindlichkeit von Inter¬ esse.
Die Erfindung zielt nun darauf ab, ein Verfahren zur Her¬ stellung eines Feuchtigkeitssensors der eingangs genannten Art, insbesondere eines kapazitiven Feuchtesensors, zu schaffen, mit welchem eine homogene, dichte, besonders dünne feuchtigkeitsempfindliche Schicht in besonders einfacher Weise erzielt werden kann, so daß ein verbessertes Ansprech¬ verhalten und eine höhere Empfindlichkeit erzielt werden kann und auch nach einer Betauung des Sensors keine Schäden entstehen. Zur Lösung dieser Aufgabe besteht das erfindungs- gemäße Verfahren im wesentlichen darin, daß das Polyimid in vollständig imidisiertem Zustand in einem polaren Lösungs¬ mittel gelöst auf ein isolierendes, wenigstens eine Anschlu߬ oder Grundelektrode aufweisendes Trägermaterial aufgebracht wird, worauf das Lösungsmittel entfernt wird. Als isolie- rendes Trägermaterial können hiebei Glas, Keramik, oxidierte Siliziu wafer od.dgl. eingesetzt werden, wobei durch die Ma߬ nahme, das Polyimid in vollständig imidisiertem Zustand in einem polaren Lösungsmittel gelöst aufzutragen, beliebige Schichtstärken mit vollständiger Homogenität erzielt werden, da beim nachfolgenden Entfernen, insbesondere Abdampfen, des Lösungsmittels keine chemische Reaktion in der Beschichtung abläuft und dadurch die Gefahr der Ausbildung von Löchern vermieden wird. Gegenüber der umständlicheren Handhabung von Folien besteht auch keine Gefahr eines Knickens bzw. Zer- kratzens bei der Handhabung von Folien, so daß eine hohe Homogenität und Dichte bei gleichbleibend dünnen Schichten
aus Polyimid sichergestellt werden kann. Im Falle von kapazi¬ tiven Feuchtesensoren kann die Grundelektrode in der Folge mit einer Deckelektrode gemeinsam unter Einschluß des Poly¬ imids als Dielektrikum zu einem Kondensator fertiggestellt werden, wobei eine Anschlußelektrode am Trägermaterial bereits strukturiert vorliegen kann, welche in der Folge mit der Deckelektrode kontaktiert wird. Im Falle von resistiven Sensoren genügen im Prinzip zwei Anschlußelektroden am Trägermaterial, welche gemeinsam mit dem die Anschluß- elektroden als dünne Beschichtung verbindenden Polyimid einen in Abhängigkeit von der Feuchtigkeit veränderlichen Wider¬ stand ergeben, wenn das Polyimid zuvor mit einem die Leit¬ fähigkeit erhöhenden Zusatz ausgerüstet wurde. Die Grund¬ elektrode kann üblicherweise durch Aufdampfen oder Sputtern aufgebracht und fotolithografisch strukturiert werden und es kann im gleichen Arbeitsgang die Anschlußelektrode für die im Fall eines kapazitiven Feuchtigkeitssensors erforderliche Deckelektrode hergestellt werden.
Mit Vorteil wird für die Herstellung kapazitiver Feuchte¬ sensoren eine feuchtigkeitsdurchlässige Deckelektrode aufge¬ bracht, wobei die Kontaktierung der Deckelektrode mit einer gegebenenfalls zuvor am Trägermaterial hergestellten An¬ schlußelektrode in besonders einfacher Weise so erfolgen kann, daß die Polyimidschicht über der Anschlußfläche der Grundelektrode und der Anschlußelektrode mechanisch oder durch Plasmaätzen oder mittels Laser entfernt wird, worauf die Deckelektrode elektrisch mit der Anschlußelektrode verbunden wird und mit der Grundelektrode einen Kondensator mit dem Polymer als Dielektrikum bildet.
Die feuchtigkeitsdurchlässige Deckelektrode kann in ver¬ fahrenstechnisch besonders einfacher Weise durch Aufdampfen oder Sputtern über dem Polymer und der Anschlußelektrode aufgebracht werden, wobei die feuchtigkeitsdurchlässige Deckelektrode aus Chrom oder Gold bestehen kann und gleich-
falls beispielsweise fotolithografisch strukturiert werden kann. Eine verfahrenstechnisch besonders einfache Struktu¬ rierung besteht beispielsweise in der Ausbildung einer Kamm¬ oder Gitterstruktur, wobei naturgemäß das Elektrodenmaterial auch so aufgebracht werden kann, daß es bei der Herstellung bereits sehr porös oder rissig, insbesondere in Inselstruktur aufgebracht wird und auf diese Weise einen entsprechenden Feuchteaustausch zwischen der Umgebungsluft und dem Polyimid gewährleistet. Voraussetzung für die Durchführung des erfin- dungsgemäßen Verfahrens ist ein Polyimid, welches in einem polaren Lösungsmittel vollständig lösbar ist, um auf diese Weise eine vollkommen homogene pinholefreie sehr dünne Polyimidschicht herstellen zu können. Derartig dünne Poly- imidschichten, die durch Aufbringen des Polyimids aus der Lösung hergestellt werden, weisen auch nach dem Trocknen keinerlei Knicke, Risse oder Löcher auf.
Als polares Lösungsmittel kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung mit Vorteil Dimethylformamid, Dimethylacetamid, Dimethylsulfoxid, N-Methylpyrrolidon oder Sulfolan verwendet werden, wobei eine vollständige Lösung in einem derartigen polaren Lösungsmittel dann sichergestellt werden kann, wenn als Polyimid ein Copolymeres aus 3,3' ,4,4'-Benzophenontetra- carbonsäuredianhydrid und' 60 bis 100 Mol.% Toluylendiamin (2,4- und/oder 2,6-Isomeres) oder Toluylendiisocyanat (2,4- und/oder 2,6-Isomeres) und 0 bis 40 % Mol.% 4,4-Methylenbis- (phenylamin) oder 4,4'-Methylenbis-(phenylisocyanat) und insbesondere ein lineares Polyimid mit einem Gewichtsmittel von 30000 bis 300000 Einheiten und einem Zahlenmittel von 10000 bis 60000 eingesetzt wird. Ein derartiges lineares Polyimid kann aus der Lösung durch Tauchen, Sprühen oder Schleudern aufgebracht werden und es wird auf diese Weise sichergestellt, daß die aufgebrachte Schicht über die gesamte Fläche gleichmäßig dick und pinholefrei ist, wobei im Ver- gleich zu herkömmlichen Polyimidfolien die Schichten mit bedeutend geringerer Dicke aufgebracht werden können, was
insbesondere im Hinblick auf die Ansprechgeschwindigkeit von besonderer Bedeutung ist.
Als lineares Polyimid mit besonders hoher Empfindlichkeit und gegenüber herkömmlichen Polyimidfolien verbessertem An¬ sprechverhalten wurde ein Copolymeres aus 3,3* ,4,4•-Benzo- phenontetracarbonsäuredianhydrid und 60 bis 100 Mol.% Toluylendiamin (2,4- und/oder 2,6-Isomeres) oder Toluylen- diisocyanat (2,4- und/oder 2,6-Isomeres) und 0 bis 40 % Mol.% 4,4-Methylenbis(phenylamin) oder 4,4'-Methylenbis-(phenyl- isocyanat) aufgefunden. Die Verwendung eines derartigen Copolymeren, insbesondere eines derartigen statistischen Copoly eren mit einem Gewichtsmittel von 30000 bis 300000 Einheiten und einem Zahlenmittel von 10000 bis 60000 Ein- heiten, zeichnet sich dadurch aus, daß es in den oben ge¬ nannten stark polaren Lösungsmitteln ohne weiteres löslich ist, wobei die Haftung und insbesondere die Gefahr eines Ver- rutschens oder Ablösens der nach dem Trocknen ausgebildeten Polyimidschicht vom Trägermaterial mit Sicherheit dadurch verhindert werden kann, daß vor dem Auftragen der Polyimid¬ schicht ein Haftvermittler, insbesondere organofunktionelle Silane mit einer oder mehreren funktionellen Endgruppen (so z.B. Aminopropyltriethoxysilan, Aminoethylaminopropyl- trimethoxysilan oder 3-Glycidoxypropyltriethoxysilan etc.), aufgebracht wird. Derartige organofunktionelle Silane sind einfach verarbeitbar und zeigen zu üblicherweise verwendeten Trägermaterialien, wie Glas, Keramik, Metall od.dgl., ebenso wie zu den für die Herstellung der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht verwendeten linearen löslichen Polyimiden eine große Affinität. Durch die gute Lδslichkeit derartiger organofunk- tioneller Silane sowohl in wässrigen als auch nicht wässrigen Lösungsmitteln lassen sich insbesondere durch Tauchen, Sprühen oder Schleudern extrem dünne Schichten des Haft¬ vermittlers auf dem Trägermaterial aufbringen, so daß die Gesamtdicke des Sensors durch den Haftvermittler nur un¬ wesentlich vergrößert wird.
Eine vollständige Entfernung der polaren Lösungsmittel gelingt in einfacher Weise dadurch, daß das Polyimid bei Temperaturen von 80 bis 330°C ansteigend getrocknet wird, wobei vorzugsweise die Trocknung in drei Stufen vorgenommen wird, wobei bei jeder der drei Stufen die Temperatur gegen¬ über der zuvor herrschenden Temperatur um 80°C bis 100°C erhöht wird. Durch die Einhaltung des genannten Temperatur¬ bereiches wird eine dünne homogene Polyimidschicht auf dem Träger oder dem mit einem Haftmittel vorbehandelten Träger sichergestellt, wobei die bevorzugte Trocknung in Stufen sicherstellt, daß das Polyimid über die gesamte Fläche und Tiefe des Bauteiles gleichmäßig durchgetrocknet wird. Während der ersten Stufe eines derartigen Trocknungsprozesses mit der niedrigsten Temperatur werden eventuell noch vorhandene Spuren von Wasser und Gas aus der Polymerlösung entfernt, so daß bei den nachfolgenden Temperaturerhöhungen die Homoge¬ nität der Polymerschicht nicht durch in dem aushärtenden Material eingeschlossene Dampf- bzw. Gasblasen zerstört wird. Bei nachfolgenden Temperaturerhöhungen und insbesondere in der dritten Stufe des Trocknens erfolgt eine endgültige Ent¬ fernung des Lösungsmittels. Als Endprodukt entsteht auf diese Weise eine gleichmäßig harte Polyimidschicht besonders geringer Schichtstärke, welche keine Versprödungsneigung aufweist.
Die Erfindung wird nachfolgend an Hand eines in der Zeichnung schematisch dargestellten Ausführungsbeispieles näher er¬ läutert. In dieser zeigen Fig.l eine Draufsicht auf einen erfindungsgemäßen Feuchtesensor und Fig.2 einen Schnitt nach der Linie II-II der Fig.l.
In Fig.l ist mit 1 ein isolierender Träger, welcher bei¬ spielsweise aus Glas, Keramik oder als oxidierter Silizium- wafer eingesetzt werden kann, bezeichnet. Auf diesen Träger 1 wird eine Grundelektrode 2 beispielsweise durch Aufdampfen oder Sputtern aufgebracht und fotolithografisch strukturiert.
Gleichzeitig mit der Grundelektrode 2 wird eine Anschlu߬ elektrode 3 für die Deckelektrode 5 hergestellt.
Auf die gereinigte und getrocknete, gegebenenfalls mit einem Haftvermittler behandelte Oberfläche des mit Elektroden ver¬ sehenen Substrats wird die Lösung eines im voll i idisierten Zustand noch in polaren Lösungsmitteln löslichen Polyimids oder Copolyimids aufgebracht und anschließend getrocknet.
Die dünne Polymerschicht 4 wird anschließend über den An¬ schlußflächen der Elektrode und der Anschlußelektrode ent¬ weder mechanisch oder durch Plasmaätzen oder mittels Laser entfernt und eine feuchtedurchlässige Deckelektrode 5 durch Aufdampfen oder Sputtern über dem Polymer und der Anschluß- elektrode aufgebracht.
Für die Polyimidschicht 4 wird ein lineares Copolymeres aus 3,3' ,4,4'-Benzophenontetracarbonsäuredianhydrid und 60 bis 100 Mol.% Toluylendiamin (2,4- und/oder 2,6-Isomeres) oder Toluylendiisocyanat (2,4- und/oder 2,6-Isomeres) und 0 bis 40 % Mol.% 4,4'-Methylenbis(phenylamin) oder 4,4'-Methylen- bis-(phenylisocyanat) in einem stark polaren Lösungsmittel wie beispielsweise Dimethylformamid, Dimethylacetamid, Dimethylsulfoxid, N-Methylpyrrolidon oder Sulfolan einge- setzt. Nach dem Aufbringen eines derartigen statistischen Copolymeren mit einem Gewichtsmittel von 30000 bis 300000 Einheiten und einem Zahlenmittel von 10000 bis 6000 wurde das Polyimid bei Temperaturen von 80 bis 330°C ansteigend ge¬ trocknet, wobei in drei Stufen getrocknet wurde und in jeder der drei Stufen die Temperatur gegenüber der zuvor herrschen¬ den Temperatur um jeweils 80 bis 100°C erhöht wurde. Das lineare Polyimid wurde aus der Lösung durch Tauchen, Sprühen oder Schleudern aufgebracht. Prinzipiell ist die Verarbeitung des linearen statistischen Copolyimids für die Herstellung der Polyimidschicht 4 direkt aus der bei der Polykondensation erhaltenen Lösung möglich. Ebenso kann aber das Polyimid
zuvor ausgefällt, getrocknet und gelagert werden und erst bei Bedarf eine geeignete Lösung hergestellt werden. Die Ver¬ wendung des genannten Copolymeren hat besonders gute Empfind¬ lichkeit und verbessertes Ansprechverhalten gegenüber her¬ kömmlichen mit Polyimidfolien hergestellten kapazitiven Feuchtigkeitssensoren ergeben.