WO1990009004A1 - Image processing method and apparatus - Google Patents

Description

明 細 書

像処理法および像処理装置 技術分野

本発明は、 被検査対象物の状態をセンサーで像情報と して検 知 し、 こ の像情報を判定または表示する像処理法および像処理 装置に関する。 背景技術

従来、 被検査対象物の状態をセ ンサーで、 像情報と して検知 して、 該検知された像情報を判定または表示する像処理法およ び装置は第 3 0図に示される よ う に、 例えば、 被検査対象物 1 の状態をカメ ラ 2 の レ ンズ 3 を介して複数のセンサー 4 で像情 報と して検知して、 セ ンサー 4の数に対応した像情報信号 S 1 を出力し、 この複数の像情報信号 S 1 を処理手段 5 で処理し、 被検査対象物 1 の状態を判定または表示する。

こ の像処理装置は、 第 2 9図および第 3 0図に示される よ う にカ メ ラ 2 と処理手段 5 とから構成される。

カメ ラ 2 は被検査対象物 1 の状態の像情報を屈折させる レ ン ズ 3 と、 この像情報を検知する複数のセ ンサー 4 と、 こ のセ ン サ一 4 を駆動する駆動回路 6 と、 センサ一 4からの信号を增幅 する増幅器 5 7 と、 増幅器 5 7 で増幅された信号をアナログ信 号か ら デジ タ ル信号に変換す る ア ナ ロ グデジ タ ル変換回路 8 と 、 このデジタル信号を緩衝して出力するバッ フ ァ回路 9 と から成る。

次に、 処理手段 5 はバッ フ ァ回路 9からの像情報信号 S 1 を 入力して緩衝する入力バ ッ フ ァ回路 1 0 と 、 この入力バ ッ フ ァ 回路 1 0 か らの出力信号を記憶す る デ ュ アル ポー ト メ モ リ 1 1 と、 このデュアルポー 卜メモ リ 1 1 からの信号をソフ ト ゥ エア 1 2 に基づいて処理する中央処理装置 1 3 と、 この中央処 理装置 1 3で処理された信号を判定部あるいは表示部へ出力す る出力ポー ト 1 4 と から成る。

他の従来の像処理装置は、 第 2 8図に示される よ う に、 被検 査対象物 1 の状態をレ ンズ 3 を介して像情報と して検知し、 個 数に対応した数の像情報信号 S 1 を出力し、 カメ ラ 2 に具備さ れる複数のセンサー 4 と、 この複数のセンサー 4から出力され る複数の像情報信号 S 1 が並列に同時に入力され、 複数の像情 報信号 S 1 がカ ウ ンタ 7 によ り所定数毎に時間的に順次出力さ れるマルチプレクサ 6 と、 このマルチプレクサ 6 から所定数毎 に時間的に順次出力される複数の像情報信号 S 1 を入力し処理 する処理手段 5 とから成る。

この処理手段 5 は、 さ らに、 表示部あるい判定部へ出力し、 被検査対象物 1 の状態が表示あるいは判定される。

しかし、 上述の従来方法および装置は、 第 3 0 図に示される よ う にセ ンサー 4 の素子 1 個に対 し て 、 1 個の像情報信号 S 1 に基づいて、 判定、 または、 表示する。

このため、 例えば、 1個のセンサ一 4は 2 5 6階調の明度を 検知する こ とができ る ものとする と、 このセンサ一 4 自体の明 度階調検知能力をさ らに高める こ と は困難であ り 、 被検査対象 物 1 の明度階調を、 よ り精緻に検知する こ とが困難である とい う 問題点があっ た。

こ のため 、 被検査対象物 1 の全体的なパタ ー ン 、 詳細なパ ター ン、 集合状態あるいは微妙な欠陥等を検知する こ とが困難 である と いう 問題点があった。

そ こで、 本発明は、 像情報に基づいて、 被検査対象物の明度 階調を、 精緻に検知する こ とができ、 被検査対象物の全体的な パター ン、 詳細なパターン、 集合状態あるいは微妙な欠陥等を 精緻に検知する こ と ができる像処理法およびその像処理装置を 提供する こ と を目的とする。

さ らに、 本発明は、 被検査対象物 と その背景が類似するパ ターンを有する場合にもその明度階調を、 精緻に検知する こ と ができ、 被検査対象物の全体的なパターン、 詳細なパター ン、 集合状態あるいは微妙な欠陥等を精緻に検知する こ と がで き る 像処理法およびその像処理装置を提供する こ と を目的とする。

さ らに、 本発明は、 像情報に基づいて被検査対象物が所定方 向に移動する場合に もその明度階調を、 精緻に検知する こ とが でき、 被検査対象物の全体的なパターン、 詳細なパターン、 集 合状態あるいは微妙な欠陥等を精緻に検知する こ と がで き る像 処理法およびその像処理装置を提供する こ と を目的とする。

発明の開示

本発明によれば、 第 1 図 （ a ) ( b ) ( c ) に示される よ う に複数の像情報信号 S 1 を集約し、 該集約された各々の集約処 理信号 S 2 を判定または表示するため、 被検査対象物の明度階 調を、 よ り 精緻に検知するこ とができ る。

つま り 、 例えば、 センサ一 1個が 2 5 6 階調の明度を検知で きる もの とする と、 例えば、 1 0 0個のセンサ一から出力され る像情報信号 S 1 を第 図に示さ れる よ う に集約処理、 つ ま り 、 集約加算する と 2 5 6階調の 1 0 0倍の明度階調を検知す る こ とができる こ と となる。

さ らに、 第 1 図 （ c ) に示される よ う に多く の該複数の像情 報信号 S 1 を集約した第 1 の集約信号 S 2 a と、 少ない該複数 の像情報信号 S 1 を集約した第 2 の集約信号 S 2 b と を演算 し、 最終的に集約信号 S 2 と して出力 し、 判定または表示す る。

多 く の複数の像情報信号 S 1 を集約 した第 1 の集約信号 S 2 aは被検査対象物 1 の全体的なパターンを認識できる。 少ない該複数の像情報信号 S 1 を集約 した第 2 の集約信号 S 2 b は第 2 図に示される被検査対象物 1 の細部のパターン 1 aあるいは背景 7 6の細部のパターン 7 6 aを認識でき る。 こ こ で 、 こ の第 1 の集約信号 S 2 a と 第 2 の集約信号 S 2 b を加算、 減算、 乗算、 除算などの演算を行なう と、 被検 査対象物 1 の細部のパターン l a、 あるいは、 背景 7 6の細部 のパターン 7 6 aのいずれか一方を認識できる。

従って、 被検査対象物 1 の細部のパターン 1 a と背景 7 6の パターン 7 6 aが類似する場合においても、 パターンおよび明 度階調を よ り 精緻に検知で き 、 被検査対象物 1 の全体的なパ ターン、 詳細なパターン 1 aあるいは 7 6 a、 集合状態、 微妙 な欠陥等を精緻に検知するこ と ができ る。

. ま た、 被検査対象物 1 の位置が背景 7 6 のどの位置にぁって も安定して、 ノ、ター ン l aあるいは 7 6 a等を検知でき る。

さ らに、 第 3図に示されるよ う にカメ ラ 2 の レ ンズ 3 の光軸 と被検査対象物 1 である同 じ幅を有する白線 2 ◦ が角度 0 を形 成する場合に、 第 4 図に示されるよ う に手前付近が拡大されて 検知される。

白線 2 0 の手前付近の拡大された部分を、 例えば、 こ の幅に 対応す る 1 . 0 0 0 個のセ ン サ ー 4 で検知 し 、 像情報信号 S 1 を集約する と 、 白線 2 0 の手前付近の拡大さ れた部分で は、 白線 2 0 のみを検知し、 背景 5 0 は検知しないため、 白線 2 0 の正確な明度が検知される。

しかし、 白線 2 0 の遠い部分の狭く 検知されている部分を同 じ 1 , 0 0 0個のセンサ一 4で検知する と 、 白線 2 0 のみなら ず、 背景 5 0 の明度をも検知し、 この像情報信号 S 1 を集約し て も、 背景 5 0の明度の影響を受けて白線 2 0 の正確な明度が 検知でき に く く なる ため、 これに対応する よ う にセ ンサ一 4 の 個数、 つま り 、 集約する像情報信号 S 1 の数を走査ライ ン毎に 変更する。

つま り 、 白線 2 0 の遠い部分の狭く 検知されている部分を、 例えば、 6 0 0個のセンサ一 4で検知する よ う にセンサ一 4の 個数、 つま り 、 集約する像情報信号 S 1 の数を走査ライ ン に 変更する。

あるいは、 第 5図に示されるよ う にセ ンサー 4の列をレンズ 3 の光軸に対して傾ける よ う に設ける と、 被検査対象物である 白線 2 0 の手前部分と遠い部分と もセンサー 4の列上では同じ 幅となるため、 被検査対象物である白線 2 0の明度を正確に検 知できる。

これによ り カメ ラ 2 のレンズ 3の光軸と被検査対象物 1 が角 度 β を形成する場合にも確実に明度等の状態を検知できる。

このため、 被検査対象物の全体的なパターン、 詳細なパ夕一 ン、 集合状態あるいは微妙な欠陥等を精緻に検知する こ とがで きる。 図面の簡単な説明

第 1 図 （ a ) ( b ) ( c ) は本発明の像処理法および装置の 説明図、 第 2 図は本発明による被検査対象物および背景の説明 図、 第 3 図および第 4 図は本発明によ る被検査対象物の説明 図、 第 5図は本発明の像処理法および装置の説明図、 第 6図な いし第 2 7図は種々 の本発明装置の説明図、 第 2 8図および第 2 9図は従来装置の説明図、 第 3 0図は従来方法およ装置の説 明図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明を図面を参照してその実施例に基づいて説明す る。 第 1 図 （ a ) ( b ) ( c ) は本発明の像処理方法および装置 の概略説明図である。

本発明の像処理方法は、 被検査対象物 1 の状態を、 例えば、 カメ ラ 2 の レ ンズ 3 を介して複数のセンサ一 4 で像情報と して 検知して、 該センサー 4の数に対応した複数の像情報信号 S 1 を出力し、 該複数の像情報信号 S 1 を判定または表示する点に おいては第 2 5 図の従来方法と 同 じである。

こ こで、 本実施例方法は第 1 図 （ a ) ( b ) ( c ) に示され る よ う に複数の像情報信号 S 1 を各々集約 し、 この集約された 各々 の集約信号 S 2 を判定または表示する。

さ らに、 第 1 図 （ c ) に示される よ う に多く の複数の像情報 信号 S 1 を集約した第 1 の集約信号 S 2 a と 、 少ない複数の像 情報信号 S 1 を集約した第 2 の集約信号 S 2 b と を演算し、 集 約信号 S 2 c と し、 最終的に複数の集約信号 S 2 を判定部ある いは表示部へ出力し、 判定または表示する。

こ こで、 演算と は加算、 減算、 乗算、 除算などを言う 。

さ らに、 本発明の像処理方法は、 例えば、 第 3 図お よび第 4 図に示さ れる手前に移動す る被検査対象物 1 であ る 白線 2 0 の状態を複数のセ ンサー 4で像情報と して検知して、 該セ ンサー 4 の数に対応した像情報信号 S 1 を出力し、 像情報信号 S 1 を集約する。

複数の像情報信号 S 1 を各々集約 し、 集約する像情報信号 S 1 の数を走査ライ ン毎に変更する。

さ らに、 該集約された複数の集約信号 S 2 を判定部あるいは 表示部へ出力し、 判定または表示する。

こ こで、 走査ライ ン毎に集約する像情報信号 S 1 の数を予め 設定しても良い。

こ こで、 幅が既知の被検査対象物 1 の幅を像情報信号 S 1 で 検知して、 該検知された幅に対応して走査ライ ン毎に集約する 像情報信号 S 1 の数を設定しても良い。 .

さ らに、 他の本発明方法は、 第 5 図に示される よ う にセ ン サ一列をレ ンズ 3の光軸に対して傾け、 手前に移動する被検査 対象物 1 である白線 2 0の明度を検知して、 複数の像情報信号 S 1 を集約する。

また、 被検査対象物 1 に対する分解能を変えて処理しても良 い。 - 具体的には、 第 1 図 （ a ) ( b ) ( c ) に示されるよ う に被 検査対象物 1 とカメ ラ 2 との距離を変えて、 あるいは、 カメ ラ 2 の図示されないズーム機構によ り分解能を変えて処理しても 良い。

また、 被検査対象物 1 の被検査対象範囲を移動させて処理し ても良いこ とばもちろんである。

また、 所定像情報信号 S 1 の重みを変えて集約しても良い。 この重みは像情報信号 S 1 と して得られた明度に掛ける乗数 を言う。

この重みを変える こ と によ り被検査対象物 1 の重点部分をよ く 検知でき る。

また、 所定範囲の複数のセンサー 4から出力される像情報信 号 S I を処理して も良い。

こ こ で、 所定範囲と は複数のセ ンサー 4の全部あるいは部分 のみを選択でき る こ と を意味する。

複数のセンサ一 4 の必要な部分のみを選択する こ と によ り 被 検査対象物 1 の必要な被検査対象範囲のみの状態を検知 し、 ま た、 処理時間が短縮される。

ま た、 所定範囲と はセンサ一 4の列のみならず、 センサー 4 が平面的に集合した場合をも含むこ と は言う までもない。

ま た、 位置的に連続した複数のセンサー 4から出力される像 情報信号 S 1 を処理する こ と は当然であるが、 さ らに、 位置的 に間欠した複数のセ ンサ一 4から出力される像情報信号 S 1 を 処理して も良い。

位置的に間欠した複数のセンサー 4 を選択する こ と によ り 、 処理時間が短縮される。

ま た、 位置的に異なる第 1 および第 2 の該所定範囲の複数の セ ンサー 4から出力される第 1 および第 2 の像情報信号 S 1 を 各々集約処理し第 1 および第 2 の集約信号 S 2 と し、 第 1 およ び第 2 の集約信号 S 2 同士を比較処理しても良い。

この比較処理によ り 、 被検査対象物 1 の異なる範囲同士のパ ターンの比較が容易になる。

ま た、 予め第 1 の所定範囲の複数のセンサー 4から出力され る第 1 の該像情報信号 S 1 を集約 して第 1 の集約信号 S 2 と し、 この第 1 の集約信号 S 2 をメ モ リ した後、 第 1 の該所定範 囲の複数のセンサ一 4から出力される第 2 の像情報信号 S 1 を 集約し第 2 の集約信号 S 2 と し、 第 1 お よび第 2 の集約信号 S 2 同士を比較処理しても良い。

サンプルを検知し、 メモ リ して、 これと被検査対象物 1 との パタ一ンの比較を容易に行なう こ とができる。

さ らに、 予め第 1 の所定範囲の複数のセンサー 4から出力さ れる第 1 の該像情報信号 S 1 を集約して第 1 の集約信号 S 2 と し、 この第 1 の集約信号 S 2 をメモ リ した後、 第 2の該所定範 囲の複数のセンサー 4から出力される第 2 の像情報信号 S 1 を 集約 し第 2 の集約信号 S 2 と し、 第 1 お よび第 2 の集約信号 S 2 同士を比較処理しても良い。

この比較処理によ り 、 被検査対象物 1 の異なる範囲同士のパ ターンの比較が容易になる。

次に、 上述の本発明の方法に用いられる装置について説明す る。

第 1 図 （ a ) に示される本発明の像処理装置は被検査対象物 1 の状態を像情報と して レンズ 3 を介して検知する複数のセン サー 4 を有し、 セ ンサー 4の個数に対応した数の像情報信号 S 1 を出力するカメ ラ 2 と、 カメラ 2 から出力される像情報信 号 S 1 が入力され、 該複数の像情報信号 S 1 を各々集約し、 集 約された複数の集約信号 S 2 を判定部、 または、 表示部へ出力 する処理手段 5 とから成る。

さ らに、 本実施例においては処理手段 5 は第 6図に示される よ う にデータバス 1 5 と複数の処理回路 1 6 とから成り 、 カメ ラ 2 と被検査対象物 1 との距離、 つま り 、 被検査対象物 1 に対 する分解能を変えずに処理する。

さ らに、 処理回路 1 6 は第 7図に示される よ う にシフ ト 回路 3 〇 、 ゲ一 卜 回路 3 1 、 演算器 3 2 および加算器 3 3 とから成 る。

こ の処理回路 1 6 は被検査対象物 1 上の所定ライ ン上の状態 の像情報信号を集約する場合に用いられる。

像情報信号はデータバス 1 5 から 8 ビ ッ 卜 の明度階調で、 シ フ ト 回路 3 0 および演算器 3 2 に入力される。

シフ 卜 回路 3 0 の シフ 卜数は集約する所定ラ イ ンの長さ に よっ て自在に設定する こ とができる。

ゲー ト 回路 3 1 は演算器 3 2 に対して予め設定された所定ラ ィ ンの長さ に見合っ たシフ 卜数になる までは出力信号は 0 を保 持する。

その間に演算器 3 2 の出力はデータバス 1 5 からの像情報信 号そ の も の を 出力 し 、 フ ィ ー ド バ ッ ク 回路を有す る加算器 3 3 によ っ てシフ ト数分の情報が積算される。

所定ライ ンの長さ に見合った段数の情報信号が入力された後 は、 ゲー ト 回路 3 1 は出力を開け、 シフ ト 回路 3 0 の記憶して いたシフ ト数以前の像情報信号を演算器 3 2 によ り減算する こ と によ り 、 所定ライ ン長を保持しつつ演算を進める。

以上の構成と動作によ り 、 予め決められた規模の集約を実時 間で行なう こ と ができ る。

次に、 他の処理回路 1 6 aは第 8図に示されるよ う にュニッ 卜 3 4 、 3 5および演算器 3 6 とから成る。 このユニッ ト 3 4 、 3 5 は第 7図に示される処理回路 1 6 と 同 じ構成である。

この第 8 図に示される処理回路 1 6 aは被検査対象物 1上の 所定ライ ン上の状態の像情報信号の相関を取り ながら実時間で 集約する場合に用いられる。

データバス 1 5 からの像情報信号はュニ ッ 卜 3 4 に入力さ れ、 ュニ ッ 卜 3 4からの出力信号は被検査対象物 1 上の所定ラ ィ ン上の状態の像情報信号が集約された信号である。

この出力信号はユニッ ト 3 5 、 さ らに、 演算器 3 6 に入力さ れる。

演算器 3 6の入力は所定ライ ン長の集約された信号であるュ ニッ ト 3 4からの出力信号と、 その事象から連続して取られた 所定ライ ン長の集約された信号であるュニッ 卜 3 5の 2信号で ある。

この演算器 3 6の出力信号は結果と して両者の相対的な関係 を演算する こ と となる。

以上の構成と動作によ り 明度のばらつきを含んだ対象物に対 する像処理を実時間で行なう こ とができる。

次に、 さ らに他の処理回路 1 6 は第 9図に示される よ う にュ ニッ ト 3 8 、 3 9 、 演算器 4 0、 デュアルポ一 卜メモ リ 4 1 、 ュニ ッ ト 4 2 、 4 3 、 演算器 4 4 と お よびバレルシフ ト回路 4 5 とから成る。

このュニッ 卜 3 8 、 3 9、 4 2 、 4 3 は第 7図に示される処 理回路 1 6 と同 じ構成である。 さ らに、 ユニ ッ ト 3 8 、 3 9 お よび演算器 4 0 か ら成る第 8 図に示さ れる処理回路 1 6 と 同 じ構成で、 同 じ動作を行な い、 所定ラ イ ン上の像情報信号を集約を相対的に行な う 。

. この結果をデュアルポ一 卜 メ モ リ 4 1 に実時間でマ ツ ビ ング しながら、 ユニ ッ ト 4 2 、 4 3 および演算器 4 4から成る像の 縦ライ ンの集約を行なう部分に接続する。

こ の構成によ り横方向ライ ン と縦ライ ンによ り特定される範 囲の像情報信号の結果が演算器 4 4 の出力信号 と して得られ る。

バレルシフ ト 回路 4 5 は各演算によって桁数の増加した演算 結果を必要なビ ッ 卜数によって実時間で像情報信号の集約を行 な う 。

ま た、 さ らに、 演算を行なう と きに乗算回路を通して、 予め 設定された乗数で演算する こ と によ り実時間で重みを変化させ た処理も容易に行なう こ とができ る。

こ の第 9 図に示される処理回路 1 6 は被検査対象物 1 上の所 定範囲上の状態の像情報信号を実時間で集約する場合に用いら れる。

さ らに、 本発明の他の像処理装置は第 1 0図に示される よ う に、 カメ ラ 2 は図示されないズーム機構を備え、 該ズーム機構 によ り 、 被検査対象物 1 とセ ンサー 4 と の距離を第 1 図 （ _a ) ( b ) ( c ) に示される よ う に変える こ と によ り分解能を変え て処理手段 5 によ り処理し、 該集約された複数の集約信号を各 々 の該分解能に対応して記憶する複数のメ モ リ 2 2 を備える。 さ ら に 、 本発明の他の像処理装置は第 1 図 （ a ) ( b ) ( c ) および第 1 1 図に示されるよう に、 カメラ 2 は被検査対 象物 1 に対する距離、 つま り 、 分解能が異なる よ う に、 例え ば、 3台設けられ、 処理手段 5 はカメ ラ 2 に各々対応して設け られ、 該集約された複数の集約信号を各々の分解能に対応して 記憶する複数のメモ リ 2 2 を備える。

各々 のカメ ラ 2 と被検査対象物 1 との間には全反射ミ ラー 4 6 、 半透明ミ ラー 4 7、 4 8が設けられる。

さ らに、 本発明の他の像処理装置は第 1 2 図に示されるよう に、 被検査対象物 1 の状態を像情報と して検知する複数のセン サ一 4を有し、 センサ一 4の個数に対応した数の第 1 の像情報 信号を出力する第 1 のカメラ 2 a と、 第 1 のカメ ラ 2 aから出 力される像情報信号によ り映像を表示する陰極線管 2 3 と、 陰 極線管 2 3 に検知端部が対向 し、 該映像を検知 し、 陰極線管 2 3 と の距離を変動で き る よ う に設け られる光フ ァ イ ノ 一 2 4 と、 該映像を像情報と して検知する複数のセンサー 4を有 し、 センサー 4の個数に対応した数の第 2の像情報信号を出力 する第 2のカメ ラ 2 b と、 第 2 のカメ ラ 2 bから出力される第 2 の像情報信号が入力され、 位置的に所定範囲の該複数の像情 報信号を単一の所定像情報信号に各々集約し、 該集約された複 数の集約信号を処理する処理手段 5 と、 光フ ァイ バ一 2 4の検 知端部と陰極線管 2 3 との距離の変動に対応して処理手段 5か らの該集約された複数の集約信号を各々記憶する複数のメモリ 2 2 とから成る。 さ らに、 処理手段 5 は該所定像情報信号に対して該所定範囲 の像情報信号の乗数、 すなわち、 重みを変えて集約する。

第 1 3図に示される実施例を構成する処理手段 5 である演算 器 5 a は複数のセンサ一 4から出力される像情報信号 S 1 を単 —の所定像情報信号 S 1 に各々集約し、 集約された各々の集約 信号 S 2 を判定または表示するよ う に構成される。

また、 カ メ ラ 2 は被検査対象物 1 に対する分解能を変えるよ う に構成さ れて も良 く 、 具体的にはカ メ ラ 2 は被検査対象物 1 に対する分解能変えて処理する図示されないズーム機構を備 えるか、 または、 第 1 図 （ a ) ( b ) ( c ) に示される よ う に カメ ラ 2 は被検査対象物 1 に対する距離を変えて分解能が異な るよ う に複数設けられ、 処理手段 5 はカメ ラ 2 に各々対応して 設けられても良い。

ま た、 カメ ラ 2 は被検査対象物 1 の被検査対象範囲を移動で き る よ う に構成されても良いこ と はもちろんである。

また、 処理手段 5 は所定像情報信号 S 1 に対して所定範囲の 像情報信号 S 1 を重みを変えて集約するよ う に構成されても良 い _c

また、 第 1 4図に示される実施例を構成する第 1 のカ ウ ン タ 7 は第 1 のマルチプレクサ 6が所定範囲の像情報信号 S 1 を出 力するよ う に番地を指定するよ う に構成される。

具体的には第 1 のカ ウ ンタ 7 はア ド レスジェネ レータ 7 a , スター ト カ ウ ンタ 7 b とエン ドカ ウ ンタ 7 c を備え、 ク ロ ッ ク 信号によ り カ ウ ン 卜 し、 スター 卜 ア ド レスセ ッ 卜信号とエン ド ァ ド レス信号に よ り 第 1 のマルチプ レクサ 6 の番地を指定す る。

また、 第 1 のマルチプレクサ 6 は位置的に連続した複数のセ ： サー 4から出力される像処理信号 S 1 を処理する よ う に構成 されるが、 位置的に間欠した該複数のセンサー 4から出力され る像処理信号を処理するように構成されても良い。

また、 第 1 5図に示される実施例では第 1 のマルチプレクサ 6 に各々接続され、 位置的に異なる第 1 および第 2 の該所定範 囲の複数のセンサー 4から出力される第 1 および第 2 の該像情 報信号 S 1 を各々加算し集約 し、 第 1 お よび第 2の集約信号 S 2 とする第 1 お よび第 2 の演算装置 5 a , 5 b と 、 この第 1 および第 2 の演算装置 5 a . 5 bから出力される第 1 および 第 2 の集約信号 S 2 の差を演算する第 3の演算器 5 c とから処 理手段 5 は構成される。

第 1 6図に示される実施例は第 1 5図の実施例に第 1 4図の 実施例を構成する第 1 のカ ウンタ 7を備えたものである。

また、 第 1 7図に示される実施例では、 複数のセンサー 4か ら出力される第 1 の該像情報信号 S 1 を加算し集約し第 1 の集 約信号 S 2 と する第 1 の演算装置 5 a と 、 第 1 の集約信号 S 2 を予めメモリ するメモ リ 8 と、 メモ リ された後に複数のセ ンサー 4から出力される第 2の該像情報信号 S 1 を加算し集約 し第 2 の集約信号 S 2 と し、 該第 1 お よび第 2 の集約信号 S 2 同士の差を演算する第 2の演算器 5 d とから処理手段 5 は 構成されても良い。 第 1 8図に示される実施例は第 1 7 図の実施例に第 1 4図の 実施例を構成する第 1 のカ ウ ンタ 7 を備えたものである。

ま た、 第 1 9 図に示さ れる実施例は複数のセ ンサー 4 に第 2 のカ ウ ン タ 1 7 を備えた第 2 のマルチプレクサ 1 6 が接続さ れ、 第 2 のマルチプレクサ 1 6 から複数の像情報信号 S 1 が時 間的に順次入力され、 並列に同時に出力する よ う にシフ 卜 レジ スタ 9 が接続され、 シフ ト レジスタ 9 から出力される複数の像 情報信号 S 1 が入力される よ う に第 1 のマルチプレクサ 9 が接 続される よ う に構成される。

ま た、 第 1 3 図ない し第 1 8 図に示される実施例に第 1 9 図 の実施例を構成する第 2 のカ ウ ンタ 1 了、 第 2 のマルチブレク サ 1 6およびシフ 卜 レジスタ 9 を備えた実施例が第 2 0 図ない し第 2 4図に示される。

第 2 5図および第 2 6図に示される本発明の像処理装置は被 検査対象物 1 の状態を像情報と して レ ンズ 3 を介して検知する 複数のセ ンサ一 4 を有し、 セ ンサー 4の個数に対応した数の像 情報信号 S 1 を出力するカメ ラ 2 と、 カメ ラ 2 から出力される 該像情報信号 S 1 が入力され、 複数の像情報信号 S 1 を集約し た第 1 の集約信号 S 2 a と、 少ない該複数の像情報信号 S 1 を 集約した第 2 の集約信号 S 2 b と を演算し、 判定部または表示 部に出力する処理手段 5 とから成る。

この処理手段 5 は第 2 5図に示される。

図示されないカメ ラ 2 のセンサ一 4 にデ一夕バス 1 5 が接続 され、 こ のデータバス 1 5 に処理回路 1 6が接続される。 さ らに、 処理回路 1 6 はシフ ト回路 3 0 、 ゲー ト回路 3 1 、 演算器 3 2 および加算器 3 3 とから成る。

さ らに、 加算器 3 3 は演算器 3 7に接続される。

像情報信号 S 1 はカ メ ラ 2 のセ ンサ一 4 カゝ ら データ バス 1 5 を介して、 例えば、 8 ピ ッ 卜 の明度階調で、 シフ ト 回路 3 0 および演算器 3 2 に入力される。

シフ 卜回路 3 0 によ り集約する像情報信号 S 1 の数を設定す る。

ゲ一 卜回路 3 1 は集約する像情報信号 S 1 の数に見合っ たシ フ 卜数になる までは演算器 3 2 に対して出力信号 0 を保持す る。

その間に演算器 3 2 の出力はデータバス 1 5からの像情報信 号 S 1 そのものを出力し、 フ ィ ー ドバッ ク回路を有する加算器 3 3 によってシフ ト数分の情報が積算される。

集約する像情報信号 S 1 の数が入力された後は、 ゲー ト回路 3 1 は出力を開け、 シフ 卜回路 3 0で設定されたシフ ト数以前 の像情報信号 S 1 を演算器 3 2 によ り減算する こ と によ り 、 像 情報信号 S 1 の集約数を保持しつつ演算を進め集約する。

この結果、 処理回路 1 6 は被検査対象物 1上の走査ライ ン上 の多く の像情報信号 S 1 を集約した第 1 の集約信号 S 2 aを演 算器 3 7に出力する。

次に、 処理回路 1 6 a はユニ ッ ト 3 4 、 3 5 お よび演算器 3 6 とから成る。

このユニッ ト 3 4 、 3 5 は処理回路 1 6 と同 じ構成である„ データバス 1 5 か らの像情報信号はュニ ッ ト 3 4 に入力さ れ、 ュニ ッ 卜 3 4からの出力信号は同 じ被検査対象物 1 上の像 情報信号 S 1 が集約された信号である。

こ の出力信号はユニ ッ ト 3 5 、 さ らに、 演算器 3 6 に入力さ れる。

演算器 3 6の入力は集約された信号であるュニ ッ 卜 3 4から の出力信号と 、 集約された信号であるユニ ッ ト 3 5の出力信号 の 2信号である。 さ らに、 演算器 3 6 は演算器 3 7 に少ない 数の像情報信号 S 1 が集約された第 2 の集約信号 S 2 b を出力 する。

演算器 3 7 は多 く の像情報信号 S 1 を集約 した第 1 の集約 信号 S 2 a と 、 少ない数の像情報信号 S 1 が集約された第 2 の 集約信号 S 2 b を演算し、 集約信号 S 2 を判定部あるいは表示 部に出力し、 判定ま たは表示する。

こ こで、 演算器 3 7 は加算回路、 減算回路、 乗算回路、 除算 回路、 ゲー ト 回路等から成る。

ま た、 処理回路 1 6 a は処理回路 1 6 と 同様に構成されても 良い。

さ らに、 処理回路 1 6 は第 2 6図に示される よ う に、 ュニ ッ 卜 3 4 a と 、 演算器 3 7 a と、 シフ ト 回路 3 0 a と、 ユニ ッ ト 3 5 a と から構成されても良い。

デー タ バス 1 5 はュニ ッ 卜 3 4 a に接続さ れ、 ュニ ッ 卜 3 4 _aは演算器 3 7 a に接続される。

データバス 1 5 は、 さ らに、 シフ ト 回路 3 0 a 、 ユニ ッ ト 3 5 aを介して演算器 3 7 aに接続される。 演算器 3 7 aは、 さ らに、 演算器 3 了 に接続される。 シフ ト 回路 3 0 aのシフ ト 数はシフ ト 回路 3 0 のシフ ト数の、 例えば、 2 倍に設定され る。

このユニ ッ ト 3 4 a と、 ユニッ ト 3 5 a と は、 第 2 5 図に示 される処理回路 1 6 と 同様に構成される。

ま た、 第 2 5 図に示さ れる処理回路 1 6 お よび処理回路 1 6 a と もに、 第 2 6図に示される よ う に構成されても良い。 カメ ラ 2 は被検査対象物 1 に対する分解能変える図示されな いズーム機構を備えても良い。

また、 カメ ラ 2 は被検査対象物 1 に対する距離を変えて分解 能が異なるよ う に複数設けられても良い。

カメ ラ 2 を移動させて、 被検査対象物 1 の被検査対象範囲を 移動させて処理する よ う に構成されても良い。

さ らに、 処理手段 5 は所定像情報信号 S 1 の重み、 すなわ ち、 乗数を変えて集約するように構成されても良い。

所定範囲の該複数のセンサー 4から出力される該像情報信号 S 1 を処理するよ う に構成されても良い。

位置的に連続した該複数のセンサー 4から出力される像情報 信号 S 1 を処理するよ う に構成されても良い。

位置的に間欠した該複数のセンサー 4から出力される像情報 信号 S 1 を処理する よ う に構成されても良い。

第 1 図 （ a ) に示される本発明の像処理装置は被検査対象物 1 の状態を像情報と してレンズ 3 を介して検知する複数のセン サー 4 を有 し、 セ ンサ一 4 の個数に対応 し た数の像情報信号 S 1 を出力するカメ ラ 2 と、 カメ ラ 2 から出力される像情報信 号 S 1 が入力され、 該複数の像情報信号 S 1 を集約し、 集約す る像情報信号 S 1 の数を走査ライ ン毎に変更して、 該複数の集 約信号 S 2 を判定部または表示部に出力する処理手段 5 と から 成る。

こ こで、 走査ライ ン毎に集約する像情報信号 S 1 の数を予め 設定する よ う に構成して も良い。

こ こで、 幅が既知の被検査対象物 1 の幅を像情報信号 S 1 で 検知して、 該検知された幅に対応して走査ライ ン毎に集約する 像情報信号 S 1 の数を変更するよ う に構成設定しても良い。

さ らに、 本実施例においては処理手段 5 は第 2 7 図に示され る よ う に、 第 1 図 （ a ) に示されるカメ ラ 2 のセンサー 4 に接 続されるデータバス 1 5 と処理回路 1 6 とから成る。

センサー 4 は、 例えば、 5 , 0 0 0個から成り 、 5 , 0 0 0点 の明度を検知する。 各点のデータを図示されていないマルチブ レクサで、 時分割して出力し、 データバスに入力する。

さ らに、 処理回路 1 6 はシフ ト数変更回路 2 9 、 シフ ト 回路 3 0 、 ゲー ト 回路 3 1 、 演算器 3 2 および加算器 3 3 とから成 る。

こ の処理回路 1 6 は被検査対象物 1 上の走査ラ イ ン上の像情 報信号 S 1 を集約する。

像情報信号 S 1 は カ メ ラ 2 のセ ンサー 4 か ら デー タ ノ ス 1 5 を介して 8 ビ ッ 卜 の明度階調で、 シフ 卜 回路 3 0 および演 算器 3 2 に入力される。

シフ 卜数変更回路 2 9 はス夕一 卜パルス信号によ り 、 シフ ト 回路 3 0 を動作させ、 シ フ ト 変更信号に よ り 、 シフ ト 回路 3 0のシフ ト数、 すなわち、 集約する像情報信号 S 1 の数を走 査ライ ン毎に例えば、 1 から 1 , 0 0 0個の間において変更す る。

ゲ一 卜回路 3 1 は集約する像情報信号 S 1 の数に見合ったシ フ 卜数になる までは演算器 3 2 に対して出力信号 0 を保持す る。

その間に演算器 3 2 の出力はデータバス 1 5からの像情報信 号 S 1 そのものを出力 し、 フ ィ ー ドバッ ク回路を有する加算器

3 3 によってシフ ト数分の情報が積算される。

集約する像情報信号 S 1 の数、 つま り 、 シフ ト数が入力され た後は、 ゲ一十 回路 3 1 は出力を開け、 シフ ト 数変更回路 2 9 によ り指定され、 シフ ト回路 3 0 に記憶されていたシフ ト 数以前の像情報信号 S 1 を演算器 3 2 によ り減算する こ と によ り 、 像情報信号 S 1 の集約数を保持しつつ演算を進める。

次に、 他の処理回路 1 6 aは第 8図に示されるよ う にュニッ 卜 3 4 、 3 5および演算器 3 6 とから成る。

こ のユニ ッ ト 3 4 、 3 5 は第 2 7 図に示さ れる処理回路

1 6 b と同 じ構成である。

この第 8図に示される処理回路 1 6 aは被検査対象物 1上の 走査ライ ン上の像情報信号 S 1 の相関を取り ながら実時間で集 約する場合に用いられる。 データ バス 1 5 か らの像情報信号はュニ ッ 卜 3 4 に入力さ れ、 ユニ ッ ト 3 4からの出力信号は被検査対象物 1 上の走査ラ ィ ン上の像情報信号 S 1 が集約された信号である。

こ の出力信号はユニ ッ ト 3 5 、 さ らに、 演算器 3 6 に入力さ れる。

演算器 3 6 の入力は集約された信号であるュニ ッ 卜 3 4から の出力信号と 、 集約された信号であるユニ ッ ト 3 5 の出力信号 の 2信号である。

こ の演算器 3 6の出力信号は結果と して両者の相対的な関係 を演算する こ と と なる。

以上の構成と動作によ り 明度の変化を含んだ対象物に対する 像処理を実時間で行なう こ とができる。

次に、 さ らに他の処理回路 1 6 は第 9図に示される よ う にュ ニ ッ ト 3 8 、 3 9 、 演算器 4 0 、 デュ アルポー 卜 メ モ リ 4 1 、 ユニ ッ ト 4 2 、 4 3 および演算器 4 4 とから成る。

このユニッ ト 3 8 、 3 9 、 4 2 、 4 3 は第 2 7 図に示される 処理回路 1 6 b と同 じ構成である。

さ らに、 ユニ ッ ト 3 8 、 3 9および演算器 4 0 は第 2 7図に 示される処理回路 1 6 b と同じ構成で、 同 じ動作を行ない、 走 査ライ ン上の像情報信号を集約を相対的に行な う 。

この結果をデュアルポー トメ モ リ 4 1 に実時間でマ ツ ビング しながら、 ユニ ッ ト 4 2 、 4 3および演算器 4 4から成る像の 縦走査ライ ンの集約を行なう部分に接続する。

この構成によ り横方向走査ライ ン と縦走査ライ ンによ り特定 される範囲の像情報信号の結果が演算器 4 4の出力信号と して 得られる。

この第 2 7図に示される処理回路 1 6 b は被検査対象物 1 上 の所定範囲上の像情報信号を実時間で集約する場合に用いられ る。

また、 第 5図に示されるよ う に、 レンズ 3 の光軸に対してセ ンサ一列を傾けて設けられたカメ ラ 2 から出力される像情報信 号 S 1 が入力され、 像情報信号 S 1 を集約し、 該集約された複 数の集約信号 S 2 を判定部または表示部に出力する処理手段か ら成る。

また、 以上の全ての実施例において、 センサーは光センサー に限定されず、 圧力、 温度、 湿度センサー等の物体の状態を検 知する全てのセンサ一を含む。

さ らに、 上述の実施例では像情報検知手段は複数のセンサー を用いたが、 単数のセ ンサーを用いて機械的走査手段、 例え ば、 振動ミ ラー、 あるいは、 多面ミラーで走査しても良い。 産業上の利用可能性

本発明は、 製品の傷の有無等を像情報と して検知する製品検 査工程、 例えば、 製鉄、 製紙、 不織布等の地合い欠陥検査等に 用いられる。

Claims

言青 求 の 範

1 被検査対象物の状態をセ ンサーで像情報と して検知 して、 複数の像情報信号を出力 し、 該複数の像情報信号を判定ま たは 表示する像処理法において、

該複数の像情報信号を集約し、 該集約された複数の集約信号 を判定または処理する こ と を特徴とする像処理法。

2 被検査対象物の状態をセンサーで像情報と して検知 して、 複数の像情報信号を出力し、 該複数の像情報信号を判定ま たは 表示する像処理法において、

多く の該複数の像情報信号を集約した第 1 の集約信号と 、 少 ない該複数の像情報信号を集約 し た第 2 の集約信号と を演算 し、 判定または表示する こ と を特徴とする像処理法。

3 被検査対象物の状態をセ ンサーで像情報と して検知して、 複数の像情報信号を出力し、 該複数の像情報信号を判定ま たは 表示する像処理法において、

該複数の像情報信号を集約し、 該像情報信号の集約する数を 走査ライ ン毎に変更する こ と を特徴と する像処理法。

4 該走査ライ ン毎に集約する該像情報信号の数を予め設定す る請求項 3記載の像処理法。

5 幅が既知の該被検査対象物の幅を該像情報信号で検知 し て、 該検知された幅に対応して該走査ライ ン毎に集約する該像 情報信号の数を設定する請求項 3記載の像処理法。

6 被検査対象物の状態をカメ ラのレ ンズを介して複数のセ ン サ一で像情報と して検知して、 該センサーの数に対応した複数 の像情報信号を出力し、 該複数の像情報信号を判定または表示 する像処理法において、

該センサー列を該レンズの光軸に対して傾けて、 該被検査対 象物の状態を検知し、 該複数の像情報信号を集約する こ とを特 徴とする像処理法。

7 該被検査対象物に対する分解能を変えて処理する請求項 1 ないし 6記載の像処理法。

8 該被検査対象物の被検査対象範囲を移動させて処理する請 求項 1 または 7記載の像処理法。

9 該像情報信号の重みを変えて集約する請求項 1 ないし 8の いずれかに記載の像処理法。

1 0 所定範囲の該複数のセンサーから出力される該像情報信 号を処理する請求項 1 ないし 9のいずれかに記載の像処理法。 1 1 位置的に連続しだ該複数のセンサーから出力される該像 情報信号を処理する請求項 1 ないし 1 0のいずれかに記載の像 処理法。

1 2 位置的に間欠した該複数のセンサ一から出力される該像 情報信号を処理する請求項 1 ないし 1 0のいずれかに記載の像 処理法。

1 3 位置的に異なる該第 1 および第 2の所定範囲の該複数の センサ一から出力される第 1 および第 2の該像情報信号を各々 集約する こ とによ り第 1 および第 2の集約信号を形成し、 該第

1 および第 2 の集約信号同士を比較処理する請求項 1 ない し 1 2 のいずれかに記載の像処理法。

1 4 予め該第 1 の所定範囲の該複数のセ ンサ一から出力され る第 1 の該像情報信号を集約して第 1 の該集約信号と し、 該第 1 の集約信号をメ モ リ した後、 該第 1 の所定範囲の該複数のセ ンサ一から出力される第 2 の該像情報信号を集約し第 2 の該集 約信号と し、 該第 1 および第 2 の集約信号同士を比較処理する 請求項 1 ない し 1 3 のいずれかに記載の像処理法。

1 5 予め該第 1 の所定範囲の該複数のセンサーから出力され る第 1 の該像情報信号を集約して第 1 の該集約信号と し、 該第 1 の集約信号をメ モ リ した後、 該第 2 の所定範囲の該複数のセ ンサ一から出力される第 2 の該像情報信号を集約し第 2 の該集 約信号と し、 該第 1 および第 2 の集約信号同士を比較処理する 請求項 1 ない し 1 4 のいずれかに記載の像処理法。

1 6 被検査対象物の状態を像情報と して検知する複数のセ ン サーを有し、 該センサ一の個数に対応した数の像情報信号を出 力するカメ ラ と 、

該カメ ラから出力される該像情報信号が入力され、 該複数の 像情報信号を集約し、 該集約された複数の集約信号を判定部ま たは表示部に出力する処理手段とから成る像処理装置。

1 7 該カメ ラはズーム機構を備え、 該ズーム機構によ り 、 該 被検査対象物に対する分'解能変えて処理し、 該集約された複数 の集約信号を各々の該分解能に対応して記憶する複数のメモ リ を備えた請求項 1 6記載の像処理装置。

1 8 該カメ ラは該被検査対象物に対する距離を変えて分解能 が異なるよ う に複数設けられ、 該処理手段は該カメ ラに各々対 応して設けられ、 該集約された複数の集約信号を各々の該分解 能に対応して記憶する複数のメ モ リ を備えた請求項 1 6記載の 像処理装置。

1 9 被検査対象物の状態を像情報と して検知する複数のセン サーを有し、 該センサ一の個数に対応した数の第 1 の像情報信 号を出力する第 1 のカメ ラ と、

該第 1 のカメ ラから出力される該像情報信号によ り 映像を表 示する陰極線管と、

該陰極線管に検知端部が対向し、'該映像を検知し、 該陰極線 管と の距離を変動でき る よ う に設けられる複数本の光フ アイ ノ 一と、

該映像を像情報と して検知する複数のセンサーを有し、 該セ ンサ一に対応した第 2 の像情報信号を出力する第 2 のカ メ ラ と、

該第 2 のカメ ラから出力される該第 2 の像情報信号が入力さ れ、 位置的に所定範囲の該複数の像情報信号を単一の所定像情 報信号に集約し、 該集約された複数の集約信号を処理する処理 手段と、

該光フ ァイ バ一の検知端部と該陰極線管との距離の変動に対 応して該処理手段からの該集約された複数の集約信号を各々記 憶する複数のメモ リ と、

から成る こ とを特徵とする像処理装置。

2 0 被検査対象物の状態をレンズを介して像情報と して検知 し、 セ ンサーの個数に対応した数の像情報信号を出力し、 カメ ラに具備される複数のセンサ一と 、

該複数のセ ンサーから出力される該複数の像情報信号が並列 に同時に入力され、 該複数の像情報信号が第 1 のカ ウ ン タによ り 所定数毎に時間的に順次出力さ れる第 1 のマルチプ レ クサ と 、

該第 1 のマルチプレクサから所定数毎に時間的に順次出力さ れる該複数の像情報信号を入力し処理する処理手段と から成る 像処理装置において、

該処理手段は該複数のセンサーから出力される像情報信号を 単一の所定像情報信号に各々集約し、 該.集約された各々の集約 信号を判定または表示するよ う に構成される こ と を特徵と する 像処理装置。

2 1 該第 1 のカ ウ ン夕は該第 1 のマルチプレクサが所定範囲 の該像情報信号を出力するよ う に番地を指定する よ う に構成さ れる請求項 2 0記載の像処理装置。

2 2 該第 1 のマルチプレクサは位置的に連続した該複数のセ ンサ一から出力される像処理信号を処理する よ う に構成される 請求項 2 0 または 2 1 記載の像処理装置。

2 3 該第 1 のマルチプレクサは位置的に間欠した該複数のセ ンサ一から出力される像処理信号を処理する よ う に構成される 請求項 2 0 ないし 2 2 のいずれかに記載の像処理装置。

2 4 該第 1 のマルチプレクサに各々接続され、 位置的に異な る第 1 および第 2 の該所定範囲の該複数のセンサーから出力さ れる第 1 お よび第 2 の該像情報.信号を各々加算し集約 し、 第 1 および第 2 の集約信号とする第 1 および第 2 の演算装置と、 該第 1 および第 2の演算装置から出力される該第 1 および第 2 の集約信号の差を演算する第 3の演算器とから該処理手段は 構成される請求項 2 0 ないし 2 3 のいずれかに記載の像処理装 置。

2 5 該複数のセ ンサーから出力される第 1 の該像情報信号を 集約し第 1 の集約信号とする第 1 の演算装置と、

該第 1 の集約信号を予めメモ リ するメモ リ と、

該メモ リ された後に該複数のセンサーから出力される第 2 の 該像情報信号を加算し集約し第 2 の集約信号と し、 該第 1 およ び第 2 の集約信号の差を演算する第 2 の演算器とから該処理手 段は構成される請求項 2 0 ないし 2 3のいずれかに記載の像処 理装置。

2 6 該複数のセンサーに第 2 のカ ウ ンタを備えた第 2 のマル チブレクサが接続され、 該第 2のマルチプレクサから該複数の 像情報信号が時間的に順次入力され、 並列に同時に出力するよ う にシフ ト レジスタが接続され、 該シフ ト レジスタから出力さ れる該複数の像情報信号が入力されるよう に該第 1 のマルチブ レクサが接続される請求項 2 0 ないし 2 5 のぃずれかに記載の 像処理装置。

2 7 被検査対象物の状態を像情報と してレ ンズを介して検知 する複数のセンサーを有し、 該センサーの個数に対応した数の 像情報信号を出力するカメ ラ と、 該カメ ラか ら出力される該像情報信号が入力され、 多 く の該 複数の像情報信号を集約した第 1 の集約信号と 、 少ない該複数 の像情報信号を集約 した第 2 の集約信号と を演算し、 判定部ま たは表示部に出力する処理手段とから成る像処理装置。

2 8 被検査対象物の状態を像情報と して レ ンズを介して検知 する複数のセンサ一を有し、 該センサーの個数に対応した数の 像情報信号を出力するカメ ラ と、

該カメ ラのセ ンサ一か ら出力さ れる該像情報信号が入力さ れ、 該複数の像情報信号を集約し、 該像情報信号の集約する数 を走査ライ ン毎に変更し、 該集約された複数の集約信号を判定 部または表示部に出力する処理手段と、

から成る像処理装置。

2 9 該走査ライ ン毎に集約する該像情報信号の数を予め設定 する請求項 2 8記載の像処理法。

3 0 幅が既知の該被検査対象物の幅を該像情報信号で検知し て、 該検知された幅に対応して該走査ライ ン毎に集約する該像 情報信号の数を設定する請求項 2 8記載の像処理法。

3 1 被検査対象物の状態を像情報と して レ ンズを介して検知 する複数のセ ンサ一を有し、 該 レ ンズの光軸に対 して該セン サ一列を傾けて設け、 該センサ一の個数に対応した数の像情報 信号を出力するカメ ラ と 、

該カメ ラから出力される該像情報信号が入力され、 該複数の 像情報信号を集約し、 該集約された複数の集約信号を判定部ま たは表示部に出力する処理手段とから成る像処理装置。 3 2 該カメ ラは該被検査対象物に対する分解能を変えるよ う に構成される請求項 1 6 ないし 3 1記載の像処理装置。

3 3 該カメ ラは該被検査対象物に対する分解能を変えるズー ム機構を備えた請求項 1 6 ないし 3 2記載の像処理装置。

3 4 該カメ ラは該被検査対象物に対する距離を変えて分解能 が異なる よ う に複数設けられた請求項 1 6 ないし 3 3記載の像 処理装置。

3 5 該被検査対象物の被検査対象範囲を移動するよ う に構成 される請求項 1 6 ないし 3 4のいずれかに記載の像処理装置。 3 6 該像情報信号の重みを変えて集約するするよう に構成さ れる請求項 1 6 ないし 3 5のいずれかに記載の像処理装置。 3 7 所定範囲の該複数のセンサーから出力される該像情報信 号を処理するするよ う に構成される請求項 1 6 ないし 3 6のい ずれかに記載の像処理装置。

3 8 位置的に連続した該複数のセンサーから出力される該像 情報信号を処理するよ う に構成される請求項 1 6 ないし 3 7の いずれかに記載の像処理装置。

3 9 位置的に間欠した該複数のセンサーから出力される該像 情報信号を処理する よ う に構成される請求項 1 6 ないし 3 8 の いずれかに記載の像処理装置。