JP3100140B2 - 像処理法および像処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、被検査対象物の状態をセンサーで像情報と
して検知し、この像情報を処理する像処理法および像処
理装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、被検査対象物の状態をセンサーで、像情報とし
て検知して、該検知された像情報を処理する像処理法お
よび装置は第15図に示されるように、例えば、被検査対
象物１の状態をカメラ２のレンズ３を介してライン状に
配列された複数のセンサー４で像情報として検知して、
センサー４の数に対応した像情報信号S1を出力し、この
複数の像情報信号S1を処理手段５で処理し、被検査対象
物１の状態を表示または判定する。

この像処理装置は、さらに具体的に、第14図にも示さ
れるように、被検査対象物１の状態をレンズ３を介して
像情報として検知し、個数に対応した数の像情報信号S1
を出力し、カメラ２に具備される複数のセンサー４と、
この複数のセンサー４から出力される複数の像情報信号
S1が並列に同時に入力され、複数の像情報信号S1がカウ
ンタ７により所定数毎に時間的に順次出力されるマルチ
プレクサ６と、このマルチプレクサ６から所定数毎に時
間的に順次出力される複数の像情報信号S1を入力し処理
する処理手段５とから成る。

この処理手段５は、さらに、表示部あるい判定部へ出
力し、被検査対象物１の状態が表示あるいは判定され
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上述の従来方法および装置はセンサー４の素
子１個に対して、１個の像情報信号S1に基づいて、処理
手段５が処理する。

このため、例えば、１個のセンサー４は256階調の明
度を検知することができるものとすると、このセンサー
４自体の明度階調検知能力をさらに高めることは困難で
あり、被検査対象物１の明度階調を、より精緻に検知す
ることが困難であるという問題点があった。

同様に、被検査対象物１の全体的なパターン、詳細な
パターン、集合状態あるいは微妙な欠陥等を検知するこ
とが困難であるという問題点があった。

そこで、本発明は上述の問題点を解決するために提案
されたもので、像情報に基づいて、処理手段自体が被検
査対象物の明度階調を、より精緻に検知することがで
き、被検査対象物の全体的なパターン、詳細なパター
ン、集合状態あるいは微妙な欠陥等をより精緻に検知す
ることができる像処理法およびその像処理装置を提供す
ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る像処理法は、被検査対象物の状態をライ
ン状に配列された複数のセンサで像情報として検知して
複数の像情報信号を出力し、該複数の像情報信号を処理
する像処理法において、センサの配列方向における位置
的に異なる第１および第２の所定範囲内の複数のセンサ
からそれぞれ出力される複数の像情報信号を前記第１お
よび第２の所定範囲毎に加算することにより集約処理し
て第１および第２の集約処理信号とし、前記被検査対象
物の明度階調を個々の前記センサが検知できる明度階調
よりも精緻に検知すると共に、これら第１および第２の
集約処理信号を比較処理する（例えば、これら第１およ
び第２の集約処理信号を差を演算するの差を演算する）
一連の処理を行うことを特徴とする。

本発明に係る他の像処理法は、被検査対象物の状態を
ライン状に配列された複数のセンサで像情報として検知
して複数の像情報信号を出力し、該複数の像情報信号を
処理する像処理法において、予めセンサの配列方向にお
ける第１の所定範囲内の複数のセンサから出力される像
情報信号を加算することにより集約処理して第１の集約
処理信号とし、該第１の集約処理信号をメモリした後、
センサの配列方向における第１の所定範囲と位置的に異
なる第２の所定範囲内の複数のセンサから出力される像
情報信号を加算することにより集約処理して第２の集約
処理信号とし、前記被検査対象物の明度階調を個々の前
記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知すると
共に、前記メモリされた第１の集約処理信号と前記第２
の集約処理信号の差を演算する一連の処理を行うことを
特徴とする。

また、前記被検査対象物に対する分解能を変えて前記
一連の処理を行うことを特徴とする。

また、前記被検査対象物の被検査対象範囲を移動させ
て前記一連の処理を行うことを特徴とする。

また、所定の前記像情報信号に対する重みを変えて前
記一連の処理を行うことを特徴とする。

本発明に係る第１の像処理装置は、被検査対象物の状
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、センサの配列方向における位置的に異な
る第１および第２の所定範囲内のセンサからそれぞれ出
力される像情報信号を取り出すマルチプレクサと、前記
マルチプレクサにより取り出される像情報信号を前記第
１および第２の所定範囲毎に加算することにより集約処
理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前記センサ
が検知できる明度階調よりも精緻に検知し、これら第１
および第２の集約処理信号を差を演算する一連の処理を
行うことを特徴とする 本発明に係る第２の像処理装置は、被検査対象物の状
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、センサの配列方向における位置的に異な
る第１および第２の所定範囲内のセンサからそれぞれ出
力される像情報信号を順次取り出すマルチプレクサと、
前記マルチプレクサにより順次取り出される像情報信号
を前記第１および第２の所定範囲毎に加算することによ
り集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前
記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第
１および第２の集約処理信号を順次出力する第１の演算
手段と、前記第１の演算手段から出力される前記第１の
集約処理信号をメモリするメモリと、前記メモリにメモ
リされた前記第１の集約処理信号と前記第１の演算手段
から出力される前記第２の集約処理信号の差を演算する
第２の演算手段とを備えたことを特徴とする。

本発明に係る第３の像処理装置は、被検査対象物の状
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、該複数の像情報信号を順次出力する第１
のマルチプレクサと、前記第１のマルチプレクサから順
次出力される複数の像情報信号を入力し、該複数の像情
報信号を並列に同時に出力するシフトレジスタと、前記
シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を入力
し、センサの配列方向における位置的に異なる第１およ
び第２の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
れる像情報信号を取り出す第２のマルチプレクサと、前
記第２のマルチプレクサにより取り出される像情報信号
を前記第１および第２の所定範囲毎に加算することによ
り集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前
記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第
１および第２の集約処理信号を出力する第１および第２
の演算手段と、前記第１および第２の演算手段から出力
される前記第１および第２の集約処理信号の差を演算す
る第３の演算手段とを備えたことを特徴とする。

本発明に係る第４の像処理装置は、被検査対象物の状
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、該複数の像情報信号を順次出力する第１
のマルチプレクサと、前記第１のマルチプレクサから順
次出力される複数の像情報信号を入力し、該複数の像情
報信号を並列に同時に出力するシフトレジスタと、前記
シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を入力
し、センサの配列方向における位置的に異なる第１およ
び第２の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
れる像情報信号を順次取り出す第２のマルチプレクサ
と、前記第２のマルチプレクサにより順次取り出される
像情報信号を前記第１および第２の所定範囲毎に加算す
ることにより集約処理して前記被検査対象物の明度階調
を個々の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に
検知し、第１および第２の集約処理信号を順次出力する
第１の演算手段と、前記第１の演算手段から出力される
前記第１の集約処理信号をメモリするメモリと、前記メ
モリにメモリされた前記第１の集約処理信号と前記第１
の演算手段から出力される前記第２の集約処理信号の差
を演算する第２の演算手段とを備えたことを特徴とす
る。

さらに、前記カメラは前記被検査対象物に対する分解
能が可変であることを特徴とする。

〔作用〕

このように本発明では、センサの配列方向において位
置的に異なる第１および第２の所定範囲内の複数のセン
サからそれぞれ出力される複数の像情報信号を第１およ
び第２の所定範囲毎に加算することにより集約処理して
第１および第２の集約処理信号とすることによって、被
検査対象物の明度階調をより精緻に検知することができ
（例えば、センサ１個が256階調の明度を検知できるも
のとすると、10個のセンサから出力される像情報信号を
加算して集約処理することにより、256階調の10倍の明
度階調を検知できる）、かつ複数の像情報信号間のばら
つきを除去することができる。

また、第１および第２の集約処理信号の差を演算する
ことにより、信号のレベル差が強調され、さらに温度変
化、検査対象物に対する照明の経時変化、センサの汚れ
その他の起因する各センサからの像情報信号の明度のば
らつきによる影響を除去して、被検査対象物の欠陥をよ
り確実に検知することができる。

さらに、第１および第２の所定範囲の大きさを変化さ
せることによって、被検査対象物の全体的なパターン、
詳細なパターン、欠陥の集合状態、微妙な欠陥の検査と
いった各階層毎の検査を容易に行うことが可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明を図面を参照してその実施例に基づいて
説明する。

第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の像処理方法およ
び装置の概略説明図である。

本発明の像処理方法は、第15図に示される従来法と構
成は共通するが、以下の点が異なる特徴的構成である。

本実施例方法は複数の像情報信号S1を単一の所定像情
報信号S1に各々集約処理し、この集約処理された各々の
集約処理信号S2を判定または表示する。

また、被検査対象物１に対する分解能を変えて処理し
ても良い。

具体的には、第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示されるよ
うに被検査対象物１とセンサー４との距離を変えて処理
しても良い。

また、被検査対象物１の被検査対象範囲を移動させて
処理しても良いことはもちろんである。

また、所定像情報信号S1の重みを変えて集約処理して
も良い。

この重みを変えることによりより精緻に被検査対象物
１の状態を検知できる。

また、所定範囲の複数のセンサー４から出力される像
情報信号S1を処理しても良い。

ここで、所定範囲とはセンサー４の配列方向における
任意の範囲であり、複数のセンサー４の全部あるいは部
分のみを選択できることを意味する。

複数のセンサー４の必要な部分のみを選択することに
より被検査対象物１の必要な被検査対象範囲のみの状態
を検知し、また、処理時間が短縮される。

また、位置的に連続した複数のセンサー４から出力さ
れる像情報信号S1を処理することは当然であるが、さら
に、位置的に間欠した複数のセンサー４から出力される
像情報信号S1を処理しても良い。

位置的に間欠した複数のセンサー４を選択することに
より、処理時間が短縮される。

また、位置的に異なる第１および第２の該所定範囲の
複数のセンサー４から出力される第１および第２の像情
報信号S1を各々集約処理し第１および第２の集約処理信
号S2とし、第１および第２の集約処理信号S2同士を比較
処理しても良い。

この比較処理により、被検査対象物１の異なる範囲同
士のパターンの比較が容易になる。このように第１およ
び第２の所定範囲の複数のセンサー４から出力される第
１および第２の像情報信号S1を各々集約処理した第１お
よび第２の集約処理信号S2同士を比較することで、被検
査対象物１の異なる範囲同士のパターン比較を行うこと
により、微妙な欠陥等を検知可能であって、かかるパタ
ーン比較においては例えば一方の範囲を基準と考えるこ
とができるため、第１および第２の所定範囲は単に位置
的に異なっていればよく、特に両者が特定の位置関係に
ある必要はない。

また、予め第１の所定範囲の複数のセンサー４から出
力される第１の該像情報信号S1を集約処理して第１の集
約処理信号S2とし、この第１の集約処理信号S2をメモリ
した後、第１の該所定範囲の複数のセンサー４から出力
される第２の像情報信号S1を集約処理し第２の集約処理
信号S2とし、第１および第２の集約処理信号S2同士を比
較処理しても良い。

サンプルを検知し、メモリして、これと被検査対象物
１とのパターンの比較を容易に行なうことができる。

さらに、予め第１の所定範囲の複数のセンサー４から
出力される第１の該像情報信号S1を集約処理して第１の
集約処理信号S2とし、この第１の集約処理信号S2をメモ
リした後、第２の該所定範囲の複数のセンサー４から出
力される第２の像情報信号S1を集約処理し第２の集約処
理信号S2とし、第１および第２の集約処理信号S2同士を
比較処理しても良い。

この比較処理により、被検査対象物１の異なる範囲同
士のパターンの比較が容易になる。

上述の本発明方法に各々対応して用いられる本発明の
装置は、第14図に示される従来装置と構成は共通する
が、以下の点が異なる特徴的部分である。

第２図に示される第１の実施例を構成する処理手段５
である演算器5aは複数のセンサー４から出力される像情
報信号S1を単一の所定像情報信号S1に各々集約処理し、
集約処理された各々の集約処理信号S2を判定または表示
するように構成される。

また、カメラ２は被検査対象物１に対する分解能を変
えるように構成されても良く、具体的にはカメラ２は被
検査対象物１に対する分解能変えて処理する図示されな
いズーム機構を備えるか、または、カメラ２は被検査対
象物１に対する距離を変えて分解能が異なるように複数
設けられ、処理手段５はカメラ２に各々対応して設けら
れても良い。

また、カメラ２は被検査対象物１の被検査対象範囲を
移動できるように構成されても良いことはもちろんであ
る。

また、処理手段５は所定像情報信号S1に対して所定範
囲の像情報信号S1を重みを変えて集約処理するように構
成されても良い。

また、第３図に示される第２の実施例を構成する第１
のカウンタ７は第１のマルチプレクサ６が所定範囲の像
情報信号S1を出力するように番地を指定するように構成
される。

具体的には第１のカウンタ７はアドレスジェネレータ
7a,スタートカウンタ7bとエンドカウンタ7cを備え、ク
ロック信号によりカウントし、スタートアドレスセット
信号とエンドアドレス信号により第１のマルチプレクサ
６の番地を指定する。

また、第１のマルチプレクサ６は位置的に連続した複
数のセンサー４から出力される像処理信号S1を処理する
ように構成されるが、位置的に間欠した該複数のセンサ
ー４から出力される像処理信号を処理するように構成さ
れても良い。

また、第４図に示される第３の実施例では第１のマル
チプレクサ６に各々接続され、位置的に異なる第１およ
び第２の該所定範囲の複数のセンサー４から出力される
第１および第２の該像情報信号S1を各々加算し集約処理
し、第１および第２の集約処理信号S2とする第１および
第２の演算装置5a,5bと、この第１および第２の演算装
置5a,5bから出力される第１および第２の集約処理信号S
2の差を演算する第３の演算器5cとから処理手段５は構
成される。

第５図に示される第４の実施例は第４図の実施例に第
３図の実施例を構成する第１のカウンタ７を備えたもの
である。

また、第６図に示される第７の実施例では、複数のセ
ンサー４から出力される第１の該像情報信号S1を加算し
集約処理し第１の集約処理信号S2とする第１の演算装置
5aと、第１の集約処理信号S2を予めメモリするメモリ８
と、メモリされた後に複数のセンサー４から出力される
第２の該像情報信号S1を加算し集約処理し第２の集約処
理信号S2とし、該第１および第２の集約処理信号S2同士
の差を演算する第２の演算器5dとから処理手段５は構成
されても良い。

第７図に示される第６の実施例は第６図の実施例に第
３図の実施例を構成する第１のカウンタ７を備えたもの
である。

また、第８図に示される第７の実施例は複数のセンサ
ー４に第２のカウンタ17を備えた第２のマルチプレクサ
16が接続され、第２のマルチプレクサ16から複数の像情
報信号S1が時間的に順次入力され、並列に同時に出力す
るようにシフトレジスタ９が接続され、シフトレジスタ
９から出力される複数の像情報信号S1が入力されるよう
に第１のマルチプレクサ９が接続されるように構成され
る。

また、第２図ないし第７図に示される第１ないし第６
の実施例に第８図の実施例を構成する第２のカウンタ1
7、第２のマルチプレクサ16およびシフトレジスタ９を
備えた第８ないし第12の実施例が第９図ないし第13図に
示される。

なお、以上の全ての像処理装置の実施例において、カ
メラは被検査対象物の被検査対象範囲を移動できるよう
に回動するように構成される。

また、以上の全ての実施例において、センサーは光セ
ンサーに限定されず、圧力、温度、湿度センサー等の物
体の状態を検知する全てのセンサーを含む。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によればセンサの配列方
向における位置的に異なる第１および第２の所定範囲内
の複数のセンサからそれぞれ出力される複数の像情報信
号を第１および第２の所定範囲毎に加算することにより
集約処理して第１および第２の集約処理信号とし、これ
ら第１および第２の集約処理信号の差を演算することに
より、被検査対象物の明度階調をより精緻に検知するこ
とが可能であり、また複数の像情報信号間のばらつきが
除去されると共に、信号のレベル差が強調され、さらに
温度変化、検査対象物に対する照明の経時変化、センサ
の汚れその他に起因する各センサからの像情報信号の明
度のばらつきによる影響を除去して、被検査対象物の欠
陥をより確実に検知することができる。

さらに、被検査対象物の全体的なパターン、詳細なパ
ターン、欠陥の集合状態、微妙な欠陥の検査といった各
階層毎の検査を容易に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の像処理法および装
置の説明図、第２図は本発明装置の第１の実施例の説明
図、第３図は本発明装置の第２の実施例の説明図、第４
図は本発明装置の第３の実施例の説明図、第５図は本発
明装置の第４の実施例の説明図、第６図は本発明装置の
第５の実施例の説明図、第７図は本発明装置の第６の実
施例の説明図、第８図は本発明装置の第７の実施例の説
明図、第９図は本発明装置の第８の実施例の説明図、第
10図は本発明装置の第９の実施例の説明図、第11図は本
発明装置の第10の実施例の説明図、第12図は本発明装置
の第11の実施例の説明図、第13図は本発明装置の第12の
実施例の説明図、第14図は従来装置の説明図、第15図は
従来方法および装置の説明図である。 １……被検査対象物、２……カメラ ４……センサー、５……処理手段 ６……第１のマルチプレクサ 16……第２のマルチプレクサ S1……像情報信号 S2……集約処理信号

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査対象物の状態をライン状に配列され
   た複数のセンサで像情報として検知して複数の像情報信
   号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法に
   おいて、 前記センサの配列方向における位置的に異なる第１およ
   び第２の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
   れる複数の像情報信号を前記第１および第２の所定範囲
   毎に加算することにより集約処理して第１および第２の
   集約処理信号とし、前記被検査対象物の明度階調を個々
   の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知す
   ると共に、これら第１および第２の集約処理信号を比較
   処理する一連の処理を行うことを特徴とする像処理法。
2. 【請求項２】被検査対象物の状態をライン状に配列され
   た複数のセンサで像情報として検知して複数の像情報信
   号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法に
   おいて、 前記センサの配列方向における位置的に異なる第１およ
   び第２の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
   れる複数の像情報信号を前記第１および第２の所定範囲
   毎に加算することにより集約処理して第１および第２の
   集約処理信号とし、前記被検査対象物の明度階調を個々
   の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知す
   ると共に、これら第１および第２の集約処理信号の差を
   演算する一連の処理を行うことを特徴とする像処理法。
3. 【請求項３】被検査対象物の状態をライン状に配列され
   た複数のセンサで像情報として検知して複数の像情報信
   号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法に
   おいて、 予め前記センサの配列方向における第１の所定範囲内の
   複数のセンサから出力される像情報信号を加算すること
   により集約処理して第１の集約処理信号とし、該第１の
   集約処理信号をメモリした後、前記センサの配列方向に
   おける第１の所定範囲と位置的に異なる第２の所定範囲
   内の複数のセンサからそれぞれ出力される複数の像情報
   信号を前記第１および第２の所定範囲毎に加算すること
   により集約処理して第２の集約処理信号とし、前記被検
   査対象物の明度階調を個々の前記センサが検知できる明
   度階調よりも精緻に検知すると共に、これら第１および
   第２の集約処理信号の差を演算する一連の処理を行うこ
   とを特徴とする像処理法。
4. 【請求項４】前記被検査対象物に対する分解能を変えて
   前記一連の処理を行うことを特徴とする請求項１〜３の
   いずれか１項記載の像処理法。
5. 【請求項５】前記被検査対象物の被検査対象範囲を移動
   させて前記一連の処理を行うことを特徴とする請求項１
   〜４のいずれか１項記載の像処理法。
6. 【請求項６】所定の前記像情報信号に対する重みを変え
   て前記一連の処理を行うことを特徴とする請求項１〜５
   のいずれか１項記載の像処理法。
7. 【請求項７】被検査対象物の状態を像情報として検知す
   るライン状に配列された複数のセンサを有し、各センサ
   からの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
   前記センサの配列方向における位置的に異なる第１およ
   び第２の所定範囲内のセンサからそれぞれ出力される像
   情報信号を取り出すマルチプレクサと、 前記マルチプレクサにより取り出される像情報信号を前
   記第１および第２の所定範囲毎に加算することにより集
   約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前記セ
   ンサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第１お
   よび第２の集約処理信号を出力する第１および第２の演
   算手段と、 前記第１および第２の演算手段から出力される前記第１
   および第２の集約処理信号の差を演算する第３の演算手
   段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。
8. 【請求項８】被検査対象物の状態を像情報として検知す
   るライン状に配列された複数のセンサを有し、各センサ
   からの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
   前記センサの配列方向における位置的に異なる第１およ
   び第２の所定範囲内のセンサからそれぞれ出力される像
   情報信号を順次取り出すマルチプレクサと、 前記マルチプレクサにより順次取り出される像情報信号
   を前記第１および第２の所定範囲毎に加算することによ
   り集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前
   記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第
   １および第２の集約処理信号を順次出力する第１の演算
   手段と、 前記第１の演算手段から出力される前記第１の集約処理
   信号をメモリするメモリと、 前記メモリにメモリされた前記第１の集約処理信号と前
   記第１の演算手段から出力される前記第２の集約処理信
   号の差を演算する第２の演算手段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。
9. 【請求項９】被検査対象物の状態を像情報として検知す
   るライン状に配列された複数のセンサを有し、各センサ
   からの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
   該複数の像情報信号を順次出力する第１のマルチプレク
   サと、 前記第１のマルチプレクサから順次出力される複数の像
   情報信号を入力し、該複数の像情報信号を並列に同時に
   出力するシフトレジスタと、 前記シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を
   入力し、前記センサの配列方向における位置的に異なる
   第１および第２の所定範囲内の複数のセンサからそれぞ
   れ出力される像情報信号を取り出す第２のマルチプレク
   サと、 前記第２のマルチプレクサにより取り出される像情報信
   号を前記第１および第２の所定範囲毎に加算することに
   より集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の
   前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、
   第１および第２の集約処理信号を出力する第１および第
   ２の演算手段と、 前記第１および第２の演算手段から出力される前記第１
   および第２の集約処理信号の差を演算する第３の演算手
   段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。
10. 【請求項１０】被検査対象物の状態を像情報として検知
    するライン状に配列された複数のセンサを有し、各セン
    サからの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
    該複数の像情報信号を順次出力する第１のマルチプレク
    サと、 前記第１のマルチプレクサから順次出力される複数の像
    情報信号を入力し、該複数の像情報信号を並列に同時に
    出力するシフトレジスタと、 前記シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を
    入力し、前記センサの配列方向における位置的に異なる
    第１および第２の所定範囲内の複数のセンサからそれぞ
    れ出力される像情報信号を順次取り出す第２のマルチプ
    レクサと、 前記第２のマルチプレクサにより順次取り出される像情
    報信号を前記第１および第２の所定範囲毎に加算するこ
    とにより集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個
    々の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知
    し、第１および第２の集約処理信号を順次出力する第１
    の演算手段と、 前記第１の演算手段から出力される前記第１の集約処理
    信号をメモリするメモリと、 前記メモリにメモリされた前記第１の集約処理信号と前
    記第１の演算手段から出力される前記第２の集約処理信
    号の差を演算する第２の演算手段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。
11. 【請求項１１】前記カメラは、前記被検査対象物に対す
    る分解能が可変であることを特徴とする請求項７〜10の
    いずれか１項記載の像処理装置。