JP3100140B2 - 像処理法および像処理装置 - Google Patents
像処理法および像処理装置Info
- Publication number
- JP3100140B2 JP3100140B2 JP01232734A JP23273489A JP3100140B2 JP 3100140 B2 JP3100140 B2 JP 3100140B2 JP 01232734 A JP01232734 A JP 01232734A JP 23273489 A JP23273489 A JP 23273489A JP 3100140 B2 JP3100140 B2 JP 3100140B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image information
- sensors
- information signals
- processing
- signals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
して検知し、この像情報を処理する像処理法および像処
理装置に関する。
て検知して、該検知された像情報を処理する像処理法お
よび装置は第15図に示されるように、例えば、被検査対
象物1の状態をカメラ2のレンズ3を介してライン状に
配列された複数のセンサー4で像情報として検知して、
センサー4の数に対応した像情報信号S1を出力し、この
複数の像情報信号S1を処理手段5で処理し、被検査対象
物1の状態を表示または判定する。
れるように、被検査対象物1の状態をレンズ3を介して
像情報として検知し、個数に対応した数の像情報信号S1
を出力し、カメラ2に具備される複数のセンサー4と、
この複数のセンサー4から出力される複数の像情報信号
S1が並列に同時に入力され、複数の像情報信号S1がカウ
ンタ7により所定数毎に時間的に順次出力されるマルチ
プレクサ6と、このマルチプレクサ6から所定数毎に時
間的に順次出力される複数の像情報信号S1を入力し処理
する処理手段5とから成る。
力し、被検査対象物1の状態が表示あるいは判定され
る。
子1個に対して、1個の像情報信号S1に基づいて、処理
手段5が処理する。
度を検知することができるものとすると、このセンサー
4自体の明度階調検知能力をさらに高めることは困難で
あり、被検査対象物1の明度階調を、より精緻に検知す
ることが困難であるという問題点があった。
パターン、集合状態あるいは微妙な欠陥等を検知するこ
とが困難であるという問題点があった。
されたもので、像情報に基づいて、処理手段自体が被検
査対象物の明度階調を、より精緻に検知することがで
き、被検査対象物の全体的なパターン、詳細なパター
ン、集合状態あるいは微妙な欠陥等をより精緻に検知す
ることができる像処理法およびその像処理装置を提供す
ることを目的とする。
ン状に配列された複数のセンサで像情報として検知して
複数の像情報信号を出力し、該複数の像情報信号を処理
する像処理法において、センサの配列方向における位置
的に異なる第1および第2の所定範囲内の複数のセンサ
からそれぞれ出力される複数の像情報信号を前記第1お
よび第2の所定範囲毎に加算することにより集約処理し
て第1および第2の集約処理信号とし、前記被検査対象
物の明度階調を個々の前記センサが検知できる明度階調
よりも精緻に検知すると共に、これら第1および第2の
集約処理信号を比較処理する(例えば、これら第1およ
び第2の集約処理信号を差を演算するの差を演算する)
一連の処理を行うことを特徴とする。
ライン状に配列された複数のセンサで像情報として検知
して複数の像情報信号を出力し、該複数の像情報信号を
処理する像処理法において、予めセンサの配列方向にお
ける第1の所定範囲内の複数のセンサから出力される像
情報信号を加算することにより集約処理して第1の集約
処理信号とし、該第1の集約処理信号をメモリした後、
センサの配列方向における第1の所定範囲と位置的に異
なる第2の所定範囲内の複数のセンサから出力される像
情報信号を加算することにより集約処理して第2の集約
処理信号とし、前記被検査対象物の明度階調を個々の前
記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知すると
共に、前記メモリされた第1の集約処理信号と前記第2
の集約処理信号の差を演算する一連の処理を行うことを
特徴とする。
一連の処理を行うことを特徴とする。
て前記一連の処理を行うことを特徴とする。
記一連の処理を行うことを特徴とする。
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、センサの配列方向における位置的に異な
る第1および第2の所定範囲内のセンサからそれぞれ出
力される像情報信号を取り出すマルチプレクサと、前記
マルチプレクサにより取り出される像情報信号を前記第
1および第2の所定範囲毎に加算することにより集約処
理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前記センサ
が検知できる明度階調よりも精緻に検知し、これら第1
および第2の集約処理信号を差を演算する一連の処理を
行うことを特徴とする 本発明に係る第2の像処理装置は、被検査対象物の状
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、センサの配列方向における位置的に異な
る第1および第2の所定範囲内のセンサからそれぞれ出
力される像情報信号を順次取り出すマルチプレクサと、
前記マルチプレクサにより順次取り出される像情報信号
を前記第1および第2の所定範囲毎に加算することによ
り集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前
記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第
1および第2の集約処理信号を順次出力する第1の演算
手段と、前記第1の演算手段から出力される前記第1の
集約処理信号をメモリするメモリと、前記メモリにメモ
リされた前記第1の集約処理信号と前記第1の演算手段
から出力される前記第2の集約処理信号の差を演算する
第2の演算手段とを備えたことを特徴とする。
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、該複数の像情報信号を順次出力する第1
のマルチプレクサと、前記第1のマルチプレクサから順
次出力される複数の像情報信号を入力し、該複数の像情
報信号を並列に同時に出力するシフトレジスタと、前記
シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を入力
し、センサの配列方向における位置的に異なる第1およ
び第2の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
れる像情報信号を取り出す第2のマルチプレクサと、前
記第2のマルチプレクサにより取り出される像情報信号
を前記第1および第2の所定範囲毎に加算することによ
り集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前
記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第
1および第2の集約処理信号を出力する第1および第2
の演算手段と、前記第1および第2の演算手段から出力
される前記第1および第2の集約処理信号の差を演算す
る第3の演算手段とを備えたことを特徴とする。
態を像情報として検知するライン状に配列された複数の
センサを有し、各センサからの複数の像情報信号を出力
するカメラと、前記カメラから出力される複数の像情報
信号を入力し、該複数の像情報信号を順次出力する第1
のマルチプレクサと、前記第1のマルチプレクサから順
次出力される複数の像情報信号を入力し、該複数の像情
報信号を並列に同時に出力するシフトレジスタと、前記
シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を入力
し、センサの配列方向における位置的に異なる第1およ
び第2の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
れる像情報信号を順次取り出す第2のマルチプレクサ
と、前記第2のマルチプレクサにより順次取り出される
像情報信号を前記第1および第2の所定範囲毎に加算す
ることにより集約処理して前記被検査対象物の明度階調
を個々の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に
検知し、第1および第2の集約処理信号を順次出力する
第1の演算手段と、前記第1の演算手段から出力される
前記第1の集約処理信号をメモリするメモリと、前記メ
モリにメモリされた前記第1の集約処理信号と前記第1
の演算手段から出力される前記第2の集約処理信号の差
を演算する第2の演算手段とを備えたことを特徴とす
る。
能が可変であることを特徴とする。
置的に異なる第1および第2の所定範囲内の複数のセン
サからそれぞれ出力される複数の像情報信号を第1およ
び第2の所定範囲毎に加算することにより集約処理して
第1および第2の集約処理信号とすることによって、被
検査対象物の明度階調をより精緻に検知することができ
(例えば、センサ1個が256階調の明度を検知できるも
のとすると、10個のセンサから出力される像情報信号を
加算して集約処理することにより、256階調の10倍の明
度階調を検知できる)、かつ複数の像情報信号間のばら
つきを除去することができる。
ことにより、信号のレベル差が強調され、さらに温度変
化、検査対象物に対する照明の経時変化、センサの汚れ
その他の起因する各センサからの像情報信号の明度のば
らつきによる影響を除去して、被検査対象物の欠陥をよ
り確実に検知することができる。
せることによって、被検査対象物の全体的なパターン、
詳細なパターン、欠陥の集合状態、微妙な欠陥の検査と
いった各階層毎の検査を容易に行うことが可能となる。
説明する。
び装置の概略説明図である。
成は共通するが、以下の点が異なる特徴的構成である。
報信号S1に各々集約処理し、この集約処理された各々の
集約処理信号S2を判定または表示する。
ても良い。
うに被検査対象物1とセンサー4との距離を変えて処理
しても良い。
処理しても良いことはもちろんである。
も良い。
1の状態を検知できる。
情報信号S1を処理しても良い。
任意の範囲であり、複数のセンサー4の全部あるいは部
分のみを選択できることを意味する。
より被検査対象物1の必要な被検査対象範囲のみの状態
を検知し、また、処理時間が短縮される。
れる像情報信号S1を処理することは当然であるが、さら
に、位置的に間欠した複数のセンサー4から出力される
像情報信号S1を処理しても良い。
より、処理時間が短縮される。
複数のセンサー4から出力される第1および第2の像情
報信号S1を各々集約処理し第1および第2の集約処理信
号S2とし、第1および第2の集約処理信号S2同士を比較
処理しても良い。
士のパターンの比較が容易になる。このように第1およ
び第2の所定範囲の複数のセンサー4から出力される第
1および第2の像情報信号S1を各々集約処理した第1お
よび第2の集約処理信号S2同士を比較することで、被検
査対象物1の異なる範囲同士のパターン比較を行うこと
により、微妙な欠陥等を検知可能であって、かかるパタ
ーン比較においては例えば一方の範囲を基準と考えるこ
とができるため、第1および第2の所定範囲は単に位置
的に異なっていればよく、特に両者が特定の位置関係に
ある必要はない。
力される第1の該像情報信号S1を集約処理して第1の集
約処理信号S2とし、この第1の集約処理信号S2をメモリ
した後、第1の該所定範囲の複数のセンサー4から出力
される第2の像情報信号S1を集約処理し第2の集約処理
信号S2とし、第1および第2の集約処理信号S2同士を比
較処理しても良い。
1とのパターンの比較を容易に行なうことができる。
出力される第1の該像情報信号S1を集約処理して第1の
集約処理信号S2とし、この第1の集約処理信号S2をメモ
リした後、第2の該所定範囲の複数のセンサー4から出
力される第2の像情報信号S1を集約処理し第2の集約処
理信号S2とし、第1および第2の集約処理信号S2同士を
比較処理しても良い。
士のパターンの比較が容易になる。
装置は、第14図に示される従来装置と構成は共通する
が、以下の点が異なる特徴的部分である。
である演算器5aは複数のセンサー4から出力される像情
報信号S1を単一の所定像情報信号S1に各々集約処理し、
集約処理された各々の集約処理信号S2を判定または表示
するように構成される。
えるように構成されても良く、具体的にはカメラ2は被
検査対象物1に対する分解能変えて処理する図示されな
いズーム機構を備えるか、または、カメラ2は被検査対
象物1に対する距離を変えて分解能が異なるように複数
設けられ、処理手段5はカメラ2に各々対応して設けら
れても良い。
移動できるように構成されても良いことはもちろんであ
る。
囲の像情報信号S1を重みを変えて集約処理するように構
成されても良い。
のカウンタ7は第1のマルチプレクサ6が所定範囲の像
情報信号S1を出力するように番地を指定するように構成
される。
7a,スタートカウンタ7bとエンドカウンタ7cを備え、ク
ロック信号によりカウントし、スタートアドレスセット
信号とエンドアドレス信号により第1のマルチプレクサ
6の番地を指定する。
数のセンサー4から出力される像処理信号S1を処理する
ように構成されるが、位置的に間欠した該複数のセンサ
ー4から出力される像処理信号を処理するように構成さ
れても良い。
チプレクサ6に各々接続され、位置的に異なる第1およ
び第2の該所定範囲の複数のセンサー4から出力される
第1および第2の該像情報信号S1を各々加算し集約処理
し、第1および第2の集約処理信号S2とする第1および
第2の演算装置5a,5bと、この第1および第2の演算装
置5a,5bから出力される第1および第2の集約処理信号S
2の差を演算する第3の演算器5cとから処理手段5は構
成される。
3図の実施例を構成する第1のカウンタ7を備えたもの
である。
ンサー4から出力される第1の該像情報信号S1を加算し
集約処理し第1の集約処理信号S2とする第1の演算装置
5aと、第1の集約処理信号S2を予めメモリするメモリ8
と、メモリされた後に複数のセンサー4から出力される
第2の該像情報信号S1を加算し集約処理し第2の集約処
理信号S2とし、該第1および第2の集約処理信号S2同士
の差を演算する第2の演算器5dとから処理手段5は構成
されても良い。
3図の実施例を構成する第1のカウンタ7を備えたもの
である。
ー4に第2のカウンタ17を備えた第2のマルチプレクサ
16が接続され、第2のマルチプレクサ16から複数の像情
報信号S1が時間的に順次入力され、並列に同時に出力す
るようにシフトレジスタ9が接続され、シフトレジスタ
9から出力される複数の像情報信号S1が入力されるよう
に第1のマルチプレクサ9が接続されるように構成され
る。
の実施例に第8図の実施例を構成する第2のカウンタ1
7、第2のマルチプレクサ16およびシフトレジスタ9を
備えた第8ないし第12の実施例が第9図ないし第13図に
示される。
メラは被検査対象物の被検査対象範囲を移動できるよう
に回動するように構成される。
ンサーに限定されず、圧力、温度、湿度センサー等の物
体の状態を検知する全てのセンサーを含む。
向における位置的に異なる第1および第2の所定範囲内
の複数のセンサからそれぞれ出力される複数の像情報信
号を第1および第2の所定範囲毎に加算することにより
集約処理して第1および第2の集約処理信号とし、これ
ら第1および第2の集約処理信号の差を演算することに
より、被検査対象物の明度階調をより精緻に検知するこ
とが可能であり、また複数の像情報信号間のばらつきが
除去されると共に、信号のレベル差が強調され、さらに
温度変化、検査対象物に対する照明の経時変化、センサ
の汚れその他に起因する各センサからの像情報信号の明
度のばらつきによる影響を除去して、被検査対象物の欠
陥をより確実に検知することができる。
ターン、欠陥の集合状態、微妙な欠陥の検査といった各
階層毎の検査を容易に行うことが可能となる。
置の説明図、第2図は本発明装置の第1の実施例の説明
図、第3図は本発明装置の第2の実施例の説明図、第4
図は本発明装置の第3の実施例の説明図、第5図は本発
明装置の第4の実施例の説明図、第6図は本発明装置の
第5の実施例の説明図、第7図は本発明装置の第6の実
施例の説明図、第8図は本発明装置の第7の実施例の説
明図、第9図は本発明装置の第8の実施例の説明図、第
10図は本発明装置の第9の実施例の説明図、第11図は本
発明装置の第10の実施例の説明図、第12図は本発明装置
の第11の実施例の説明図、第13図は本発明装置の第12の
実施例の説明図、第14図は従来装置の説明図、第15図は
従来方法および装置の説明図である。 1……被検査対象物、2……カメラ 4……センサー、5……処理手段 6……第1のマルチプレクサ 16……第2のマルチプレクサ S1……像情報信号 S2……集約処理信号
Claims (11)
- 【請求項1】被検査対象物の状態をライン状に配列され
た複数のセンサで像情報として検知して複数の像情報信
号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法に
おいて、 前記センサの配列方向における位置的に異なる第1およ
び第2の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
れる複数の像情報信号を前記第1および第2の所定範囲
毎に加算することにより集約処理して第1および第2の
集約処理信号とし、前記被検査対象物の明度階調を個々
の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知す
ると共に、これら第1および第2の集約処理信号を比較
処理する一連の処理を行うことを特徴とする像処理法。 - 【請求項2】被検査対象物の状態をライン状に配列され
た複数のセンサで像情報として検知して複数の像情報信
号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法に
おいて、 前記センサの配列方向における位置的に異なる第1およ
び第2の所定範囲内の複数のセンサからそれぞれ出力さ
れる複数の像情報信号を前記第1および第2の所定範囲
毎に加算することにより集約処理して第1および第2の
集約処理信号とし、前記被検査対象物の明度階調を個々
の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知す
ると共に、これら第1および第2の集約処理信号の差を
演算する一連の処理を行うことを特徴とする像処理法。 - 【請求項3】被検査対象物の状態をライン状に配列され
た複数のセンサで像情報として検知して複数の像情報信
号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法に
おいて、 予め前記センサの配列方向における第1の所定範囲内の
複数のセンサから出力される像情報信号を加算すること
により集約処理して第1の集約処理信号とし、該第1の
集約処理信号をメモリした後、前記センサの配列方向に
おける第1の所定範囲と位置的に異なる第2の所定範囲
内の複数のセンサからそれぞれ出力される複数の像情報
信号を前記第1および第2の所定範囲毎に加算すること
により集約処理して第2の集約処理信号とし、前記被検
査対象物の明度階調を個々の前記センサが検知できる明
度階調よりも精緻に検知すると共に、これら第1および
第2の集約処理信号の差を演算する一連の処理を行うこ
とを特徴とする像処理法。 - 【請求項4】前記被検査対象物に対する分解能を変えて
前記一連の処理を行うことを特徴とする請求項1〜3の
いずれか1項記載の像処理法。 - 【請求項5】前記被検査対象物の被検査対象範囲を移動
させて前記一連の処理を行うことを特徴とする請求項1
〜4のいずれか1項記載の像処理法。 - 【請求項6】所定の前記像情報信号に対する重みを変え
て前記一連の処理を行うことを特徴とする請求項1〜5
のいずれか1項記載の像処理法。 - 【請求項7】被検査対象物の状態を像情報として検知す
るライン状に配列された複数のセンサを有し、各センサ
からの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
前記センサの配列方向における位置的に異なる第1およ
び第2の所定範囲内のセンサからそれぞれ出力される像
情報信号を取り出すマルチプレクサと、 前記マルチプレクサにより取り出される像情報信号を前
記第1および第2の所定範囲毎に加算することにより集
約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前記セ
ンサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第1お
よび第2の集約処理信号を出力する第1および第2の演
算手段と、 前記第1および第2の演算手段から出力される前記第1
および第2の集約処理信号の差を演算する第3の演算手
段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。 - 【請求項8】被検査対象物の状態を像情報として検知す
るライン状に配列された複数のセンサを有し、各センサ
からの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
前記センサの配列方向における位置的に異なる第1およ
び第2の所定範囲内のセンサからそれぞれ出力される像
情報信号を順次取り出すマルチプレクサと、 前記マルチプレクサにより順次取り出される像情報信号
を前記第1および第2の所定範囲毎に加算することによ
り集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の前
記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、第
1および第2の集約処理信号を順次出力する第1の演算
手段と、 前記第1の演算手段から出力される前記第1の集約処理
信号をメモリするメモリと、 前記メモリにメモリされた前記第1の集約処理信号と前
記第1の演算手段から出力される前記第2の集約処理信
号の差を演算する第2の演算手段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。 - 【請求項9】被検査対象物の状態を像情報として検知す
るライン状に配列された複数のセンサを有し、各センサ
からの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
該複数の像情報信号を順次出力する第1のマルチプレク
サと、 前記第1のマルチプレクサから順次出力される複数の像
情報信号を入力し、該複数の像情報信号を並列に同時に
出力するシフトレジスタと、 前記シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を
入力し、前記センサの配列方向における位置的に異なる
第1および第2の所定範囲内の複数のセンサからそれぞ
れ出力される像情報信号を取り出す第2のマルチプレク
サと、 前記第2のマルチプレクサにより取り出される像情報信
号を前記第1および第2の所定範囲毎に加算することに
より集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個々の
前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知し、
第1および第2の集約処理信号を出力する第1および第
2の演算手段と、 前記第1および第2の演算手段から出力される前記第1
および第2の集約処理信号の差を演算する第3の演算手
段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。 - 【請求項10】被検査対象物の状態を像情報として検知
するライン状に配列された複数のセンサを有し、各セン
サからの複数の像情報信号を出力するカメラと、 前記カメラから出力される複数の像情報信号を入力し、
該複数の像情報信号を順次出力する第1のマルチプレク
サと、 前記第1のマルチプレクサから順次出力される複数の像
情報信号を入力し、該複数の像情報信号を並列に同時に
出力するシフトレジスタと、 前記シフトレジスタから出力される複数の像情報信号を
入力し、前記センサの配列方向における位置的に異なる
第1および第2の所定範囲内の複数のセンサからそれぞ
れ出力される像情報信号を順次取り出す第2のマルチプ
レクサと、 前記第2のマルチプレクサにより順次取り出される像情
報信号を前記第1および第2の所定範囲毎に加算するこ
とにより集約処理して前記被検査対象物の明度階調を個
々の前記センサが検知できる明度階調よりも精緻に検知
し、第1および第2の集約処理信号を順次出力する第1
の演算手段と、 前記第1の演算手段から出力される前記第1の集約処理
信号をメモリするメモリと、 前記メモリにメモリされた前記第1の集約処理信号と前
記第1の演算手段から出力される前記第2の集約処理信
号の差を演算する第2の演算手段 とを備えたことを特徴とする像処理装置。 - 【請求項11】前記カメラは、前記被検査対象物に対す
る分解能が可変であることを特徴とする請求項7〜10の
いずれか1項記載の像処理装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01232734A JP3100140B2 (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | 像処理法および像処理装置 |
DE69033288T DE69033288T2 (de) | 1989-01-31 | 1990-01-31 | Bildverarbeitungsverfahren und -vorrichtung |
PCT/JP1990/000112 WO1990009004A1 (en) | 1989-01-31 | 1990-01-31 | Image processing method and apparatus |
EP90902680A EP0416114B1 (en) | 1989-01-31 | 1990-01-31 | Image processing method and apparatus |
AT90902680T ATE184717T1 (de) | 1989-01-31 | 1990-01-31 | Bildverarbeitungsverfahren und -vorrichtung |
KR90702199A KR970004543B1 (en) | 1989-01-31 | 1990-09-29 | Image processing method and apparatus |
US08/876,744 US5953462A (en) | 1989-01-31 | 1997-06-16 | Method and apparatus for processing image |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01232734A JP3100140B2 (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | 像処理法および像処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0397072A JPH0397072A (ja) | 1991-04-23 |
JP3100140B2 true JP3100140B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=16943941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01232734A Expired - Lifetime JP3100140B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-09-11 | 像処理法および像処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3100140B2 (ja) |
-
1989
- 1989-09-11 JP JP01232734A patent/JP3100140B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0397072A (ja) | 1991-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4932819B2 (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
JP2002286433A (ja) | 連続移動物体のリアルタイム形状計測方法及びシステム | |
JP2004191112A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2007078483A (ja) | 液面測定方法及び液量測定方法 | |
JP3100140B2 (ja) | 像処理法および像処理装置 | |
JPH06229941A (ja) | 画像検査装置 | |
JP3100143B2 (ja) | 像処理法および像処理装置 | |
JP3100141B2 (ja) | 像処理法および像処理装置 | |
JP4257720B2 (ja) | ハニカム構造体の外形状測定方法及び装置 | |
JP3100144B2 (ja) | 像処理法および像処理装置 | |
US5953462A (en) | Method and apparatus for processing image | |
KR101385592B1 (ko) | 영상인식 방법 및 그 시스템 | |
JP2001004367A (ja) | 測距演算装置 | |
JPH11142118A (ja) | 距離計測方法及び装置及びこの方法を記録した記録媒体 | |
EP0416114B1 (en) | Image processing method and apparatus | |
JP3841882B2 (ja) | 外観検査方法および外観検査装置 | |
JP2000105167A (ja) | 画質検査装置のアドレス・キャリブレーション方法 | |
JPH07270278A (ja) | 表示装置の検査方法 | |
JPH0735699A (ja) | 表面欠陥検出方法およびその装置 | |
JPH0318727A (ja) | 振動モード計測分析装置とその分析方法 | |
JP2000098081A (ja) | 燃料棒間隙計測方法 | |
JP3175946B2 (ja) | 物体位置計測方法およびその装置 | |
JP2004198110A (ja) | 校正用基板 | |
JP2000294139A (ja) | 周期性パターンの欠陥検査方法及び装置 | |
JP2001264031A (ja) | 形状計測方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070818 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080818 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090818 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090818 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 10 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 10 |