JPH0397072A - 像処理法および像処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野Ｊ 本発明は、被検査対象物の状態をセンサーで像情報とし
て検知し、この像情報を処理する像処理法および像処理
装置に関する。

〔従来の技術Ｊ 従来、被検査対象物の状態をセンサーで、像情、報とし
て検知して、該検知された像情報を処理する像処理法お
よび装置は第１５図に示されるように，例えば、被検査
対象物ｌの状態をカメラ２のレンズ３を介してＷ！数の
センサー４で像情報として検知して、センサー４の数に
対応した像情報信号Ｓｔを出力し，この複数の像情報信
号Ｓｌを処理千段５で処理し，被検査対象物ｌの状態を
表示または判定する． この像処理装置は、さらに具体的に、第１４図にも示さ
れるように，被検査対象物ｌの状態をレンズ３を介して
像情報として検知し、個数に対応した数の像情報信号Ｓ
Ｌを出力し，カメラ２に具備される複数のセンサー４と
，この複数のセンサー４から出力される複数の像情報信
号Ｓｌが並列に同時に入力され、複数の像情報信号Ｓ１
がカウンタ７により所定数毎に時間的に順次出力される
マルチプレクサ６と、このマルチプレクサ６から所定数
毎に時間的に順次出力される複数の像情報信号Ｓｔを入
力し処理する処理手段５とから成る。

この処理千段５は、さらに、表示部あるい判定部へ出力
し，被検査対象物ｌの状態が表示あるいは判定される． ［発明が解決しようとする課題］ しかし、上述の従来方法および装置はセンサー４の素子
■個に対して、１個の像情報信号Ｓ１に基づいて、処理
千段５が処理する． このため，例えば、１個のセンサー４は２５６階調の明
度を検知することができるものとすると、このセンサー
４自体の明度階調検知能力をさらに高めることは困難で
あり、被検査対象物ｌの明度階調を，より精緻に検知す
ることが困難であるという問題点があった。

同様に、被検査対象物ｌの全体的なパターン，詳細なパ
ターン，集合状態あるいは微妙な欠陥等を検知すること
が困難であるという問題点があった。

そこで、本発明は上述の問題点を解決するために提案さ
れたもので、像情報に基づいて、処理手段自体が被検査
対象物の明度階調を、より精緻に検知することができ、
被検査対象物の全体的なパターン、詳細なパターン、集
合状態あるいは微妙な欠陥等をより精緻に検知すること
ができる像処理法およびその像処理装置を提供すること
を目的とする， 〔課題を解決するための千段Ｊ 本発明方法は、被検査対象物の状態を複数のセンサーで
像情報として検知して、該センサーの数に対応した像情
報信号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理
法を改良するもので、該ｗｌ数の像情報信号を単一の所
定像情報信号に各々集約処理し、該集約処理された各々
の集約処理信号を判定あるいは表示することを特徴とす
る像処理法である。

さらに、本発明装置は、被検査対象物の状態をレンズを
介して像情報として検知し、センサーの個数に対応した
数の像情報信号を出力し，カメラに具備される複数のセ
ンサーと， 該複数のセンサーから出力される該複数の像情報信号が
並列に同時に入力され、該複数の像情報信号が第１のカ
ウンタにより所定数毎に時間的に順次出力される第１の
マルチプレクサと、該第１のマルチプレクサから所定数
毎に時間的に順次出力される該複数の像情報信号を入力
し処理する処理手段とから成る像処理装置を改良するも
ので、 該処理手段は該複数のセンサーから出力される像情報信
号を単一の所定像情報信号に各々集約処理し、該集約処
理された各々の集約処理信号を判定または表示するよう
に構成されることを特徴とする像処理装置である。

〔作用］ 本発明によれば、複数の像情報信号を単一の所定像情報
信号に各々集約処理し，該集約処理された各々の集約処
理信号を処理するため，被検査対象物の明度階調を，よ
り精緻に検知することができる． つまり、例えば、センサー１個が２５６階調の明度を検
知できるものとすると，例えば、ＩＯ個のセンサーから
出力される像情報信号を単一の所定像信号に集約処理，
つまり，集約加算すると２５６階調の１０倍の明度階調
を検知することができることとなる。

このため、明度階調をより精緻に検知でき、さらに、被
検査対象物の全体的なパターン、詳細なパターン、集合
状態あるいは微妙な欠陥等をより精緻に検知することが
できる。

〔実廊例］ 以下、本発明を図面を参照してその実施例に基づいて説
明する。

第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の像処理方法および
装置の概略説明図である。

本発明の像処理方法は、第１５図に示される従来ｌ去と
構成は共通するが，以下の点が異なる特徴的構成である
． 本実庵例方法は複数の像情報信号ＳＬを単一の所定像情
報信号Ｓｔに各々集約処理し、この集約処理された各々
の集約処理信号Ｓ２を判定または表示する。

また、被検査対象物ｌに対する分解能を変えて処理して
も良い。

具体的には、第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示されるよう
に被検査対象物ｌとセンサー４との距離を変えて処理し
ても良い。

また、被検査対象物ｌの被検査対象範囲を移動させて処
理しても良いことはもちろんである．また、所定像情報
信号Ｓｌの重みを変えて集約処理しても良い。

この重みを変えることによりより精緻に被検査対象物ｌ
の状態を検知できる。

また，所定範囲の複数のセンサー４がら出力される像情
報信号Ｓｔを処理しても良い。

ここで，所定範囲とは複数のセンサー４の全部あるいは
部分のみを選択できることを意味する．複数のセンサー
４の必要な部分のみを還択することにより被検査対象物
ｌの必要な被検査対象範囲のみの状態を検知し、また、
処理時間が短縮される。

また，位置的に連続した複数のセンサー４から出力され
る像情報信号ＳＬを処理することは当然であるが、さら
に、位置的に間欠した複数のセンサー４から出力される
像情報信号Ｓｔを処理しても良い６ 位置的に間欠した複数のセンサー４を選択することによ
り、処理時間が短縮される。

また、位置的に異なる第１ｊ５よび第２の該所定範囲の
複数のセンサー４から出力される第１および第２の像情
報信号Ｓｌを各々集約処理し第１および第２の集約処理
信号Ｓ２とし、第ＩＪよび第２の集約処理信号Ｓ２同士
を比較処理しても良い。

この比較処理により、被検査対象物ｌの異なる範囲同士
のパターンの比較が容易になる。

また，予め第１の所定範囲の複数のセンサー４から出力
される第１の該像ｔ＃報信号Ｓ１を集約処理して第１の
集約処理信号Ｓ２とし、この第ｔの集約処理信号Ｓ２を
メモリした後、第１の該所定範囲の複数のセンサー４か
ら出力される第２の像情報信号Ｓ１を集約処理し第２の
集約処理信号Ｓ２とし、第１および第２の集約処理信号
３２同士を比較処理しても良い。

サンプルを検知し，メモリして、これと被検査対象物ｌ
とのパターンの比較を容易に行なうことができる。

さらに、予め第１の所定範囲の複数のセンサー４から出
力される第１の該像情報信号Ｓｌを集約処理して第１の
集約処理信号Ｓ２とし、この第１の集約処理信号Ｓ２を
メモリした後、第２の該所定範囲の複数のセンサー４か
ら出力される第２の像情報信号ＳＬを集約処理し第２の
集約処理信号Ｓ２とし、第ｉ右よび第２の集約処理信号
３２同士を比較処理しても良い． この比較処理により、被検査対象物ｌの異なる範囲同士
のパターンの比較が容易になる。

上述の本発明方法に各々対応して用いられる本発明の装
置は、第１４図に示される従来装置と構成は共通するが
、以下の点が異なる特徴的部分である。

第２図に示される第１の実施例を構成する処理手段５で
ある演算器５ａは複数のセンサー４から出力される像情
報信号ＳＬを単一の所定像情報信号Ｓｔに各々集約処理
し、集約処理された各々の集約処理信号Ｓ２を判定また
は表示するように構成される。

また、カメラ２は被検査対象物ｌに対する分解能を変え
るように構成されても良く、具体的にはカメラ２は被検
査対象物ｌに対する分解能変えて処理する図示されない
ズーム機構を備えるか、または、カメラ２は被検査対象
物ｌに対する距離を変えて分解能が異なるように複数設
けられ、処理千段５はカメラ２に各々対応して設けられ
ても良い。

また、カメラ２は被検査対象物ｌの被検査対象範囲を移
動できるように構成されても良いことばもちろんである
。

また，処理千段５は所定像情報信号Ｓｔに対して所定範
囲の像情報信号Ｓｔを重みを変えて集約処理するように
構成されても良い。

また、第３図に示される第２の実庵例を構成する第１の
カウンタ７は第■のマルチプレクサ６が所定範囲の像情
報信号Ｓｔを出刀するように番地を指定するように構成
される。

具体的には第１のカウンタ７はアドレスジエネレータ７
ａ．スタートカウンタ７ｂとエンドヵウンタ７ｃを備え
、クロツク信号によりカウントし，スタートアドレスセ
ット信号とエンドアドレス信号により第１のマルチプレ
クサ６の番地を指定する。

また、第１のマルチプレクサ６は位置的に連続した複数
のセンサー４から出刀される像処理信号Ｓｌを処理する
ように構成されるが、位置的に間欠した該複数のセンサ
ー４がら出刀される像処理信号を処理するように構成さ
れても良い。

また、第４図に示される第３の実廁例では第１のマルチ
プレクサ６に各々接続され、位置的に異なる第１ｉ５よ
び第２の該所定範囲の複数のセンサー４から出力される
第１および第２の該像情報信号ＳＬを各々加算し集約処
理し、第１および第２の集約処理信号Ｓ２とする第１１
３よび第２の演算装置５ａ．５ｂと、この第１および第
２の演算装置５ａ．５ｂから出力される第１！３よび第
２の集約処理信号Ｓ２の差を演算する第３の演算器５ｃ
とから処理千段５は構成される． 第５図に示される第４の実施例は第４図の実施例に第３
図の実施例を構成する第１のカウンタ７を備えたもので
ある。

また，第６図に示される第７の実施例では、複数のセン
サー４から出力される第１の該像情報信号ＳＬを加算し
集約処理し第１の集約処理信号Ｓ２どする第１の演算装
置５ａと、第１の集約処理信号Ｓ２を予めメモリするメ
モリ８と、メモリされた後にａｈのセンサー４から出力
される第２の該像情報信号Ｓｔを加算し集約処理し第２
の集約処理信号Ｓ２とし、該第１および第２の集約処理
信号Ｓ２同士の差を演算する第２の演算器５ｄとから１
処理千段５は構成されても良い。

第７図に示される第６の実旅例は第６図の実施例に第３
図の実施例を構成する第１のカウンタ７を備えたもので
ある。

また，第８図に示される第７の実廁例は複数のセンサー
４に第２のカウンタ１７を備えた第２のマルチプレクサ
１６が接続され、第２のマルチプレクサ１６から複数の
像情報信号Ｓｌが時間的に順次入力され、並列に同時に
出力するようにシフトレジスタ９が接続され，シフトレ
ジスタ９から出力される複数の像情報信号Ｓｌが入力さ
れるように第１のマルチプレクサ９が接続されるように
構成される． また，第２図ないし第７図に示される第１ないし第６の
実施例に第８図の実施例を構成する第２のカウンタ１７
、第２のマルチプレクサ１６およびシフトレジスタ９を
備えた第８ないし第１２の実施例が第９図ないし第１３
図に示される． なお、以上の全ての像処理装置の実施例において、カメ
ラは被検査対象物の被検査対象範囲を移動できるように
回動するように構成される。

また、以上の全ての実廁例において，センサーは光セン
サーに限定されず、圧力、温度、湿度センサー等の物体
の状態を検知する全てのセンサーを含む。

［発明の効果１ 本発明は以上説明したように、被検査対象物の明度階調
を、より精緻に検知することができる。

さらに、処理手段自体が被検査対象物の全体的なパター
ン、詳細なパターン、集合状態あるいは微妙な欠陥等を
より精緻に検知することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の像処理法および装
置の説明図、第２図は本発明装置の第１の実施例の説明
図、第３図は本発明装置の第２の実応例の説明図、第４
図は本発明装置の第３の実庵例の説明図，第５図は本発
明装置の第４の実施例の説明図、第６図は本発明装置の
第５の実施例の説明図，第７図は本発明装置の第６の実
施例の説明図、第８図は本発明装置の第７の実施例の説
明図、第９図は本発明装置の第８の実施例の説明図，第
１Ｏ図は本発明装置の第９の実施例の説明図、第１１図
は本発明装置の第１Ｏの実施例の説明図、第１２図は本
発明装置の第１１の実施例の説明図、第１３図は本発明
装置の第１２の実旅例の説明図、第１４図は従来装置の
説明図、第１５図は従来方法および装置の説明図である
。 ｌ・−・被検査対象物　　　　　２・・・カメラ４・・
・センサー　　　　　　　５・・一処理手段６・・一第
１のマルチプレクサ １６・・一第２のマルチプレクサ Ｓ　ｔ　−・一像情報信号 Ｓ　２−・・集約処理信号

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　被検査対象物の状態を複数のセンサーで像情報とし
   て検知して、該センサーの数に対応した像情報信号を出
   力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法において
   、 該複数の像情報信号を単一の所定像情報信 号に各々集約処理し、該集約処理された各々の集約処理
   信号を判定あるいは表示することを特徴とする像処理法
   。 ２　該被検査対象物に対する分解能を変えて処理する請
   求項１記載の像処理法。 ３　該被検査対象物の被検査対象範囲を移動させて処理
   する請求項１または２記載の像処理法。 ４　所定の該像情報信号の重みを変えて集約処理する請
   求項１ないし３のいずれかに記載の像処理法。 ５　所定範囲の該複数のセンサーから出力される該像情
   報信号を処理する請求項１ないし４のいずれかに記載の
   像処理法。 ６　位置的に連続した該複数のセンサーから出力される
   該像情報信号を処理する請求項 １ないし５のいずれかに記載の像処理法。 ７　位置的に間欠した該複数のセンサーから出力される
   該像情報信号を処理する請求項 １ないし５のいずれかに記載の像処理法。 ８　位置的に異なる該第１および第２の所定範囲の該複
   数のセンサーから出力される第 １および第２の該像情報信号を各々集約処理し第１およ
   び第２の該集約処理信号とし、該第１および第２の集約
   処理信号同士を比較処理する請求項１ないし７のいずれ
   かに記載の像処理法。 ９　予め該第１の所定範囲の該複数のセン サーから出力される第１の該像情報信号を集約処理して
   第１の該集約処理信号とし、該第１の集約処理信号をメ
   モリした後、該第１の所定範囲の該複数のセンサーから
   出力される第２の該像情報信号を集約処理し第２の該集
   約処理信号とし、該第１および第２の集約処理信号同士
   を比較処理する請求項１ないし ７のいずれかに記載の像処理法。 １０　予め該第１の所定範囲の該複数のセンサーから出
   力される第１の該像情報信号を集約処理して第１の該集
   約処理信号とし、該第１の集約処理信号をメモリした後
   、該第２の所定範囲の該複数のセンサーから出力される
   第２の該像情報信号を集約処理し第２の該集約処理信号
   とし、該第１および第２の集約処理信号同士を比較処理
   する請求項１ないし ７のいずれかに記載の像処理法。 １１　被検査対象物の状態をレンズを介して像情報とし
   て検知し、センサーの個数に対応した数の像情報信号を
   出力し、カメラに具備される複数のセンサーと、 該複数のセンサーから出力される該複数の 像情報信号が並列に同時に入力され、該複数の像情報信
   号が第１のカウンタにより所定数毎に時間的に順次出力
   される第１のマルチプレクサと、 該第１のマルチプレクサから所定数毎に時 間的に順次出力される該複数の像情報信号を入力し処理
   する処理手段とから成る像処理装置において、 該処理手段は該複数のセンサーから出力さ れる像情報信号を単一の所定像情報信号に各々集約処理
   し、該集約処理された各々の集約処理信号を判定または
   表示するように構成されることを特徴とする像処理装置
   。 １２　該カメラは該被検査対象物に対する分解能を変え
   るように構成される請求項１１記載の像処理装置。 １３　該カメラは該被検査対象物に対する分解能を変え
   て処理するズーム機構を備える請求項１１または１２記
   載の像処理装置。 １４　該カメラは該被検査対象物に対する距離を変えて
   分解能が異なるように複数設けられ、該処理手段は該カ
   メラに各々対応して設けられる請求項１１ないし１３記
   載の像処理装置。 １５　該カメラは該被検査対象物の被検査対象範囲を移
   動できるように構成される請求項１１ないし１４のいず
   れかに記載の像処理装置。 １６　該処理手段は所定の該像情報信号の重みを変えて
   集約処理するように構成される請求項１１ないし１５の
   いずれかに記載の像処理装置。 １７　該第１のカウンタは該第１のマルチプレクサが所
   定範囲の該像情報信号を出力するように番地を指定する
   ように構成される請求項１１ないし１６のいずれかに記
   載の像処理装置。 １８　該第１のマルチプレクサは位置的に連続した該複
   数のセンサーから出力される像処理信号を処理するよう
   に構成される請求項 １１ないし１７のいずれかに記載の像処理装置。 １９　該第１のマルチプレクサは位置的に間欠した該複
   数のセンサーから出力される像処理信号を処理するよう
   に構成される請求項 １１ないし１７のいずれかに記載の像処理装置。 ２０　該第１のマルチプレクサに各々接続され、位置的
   に異なる第１および第２の該所定範囲の該複数のセンサ
   ーから出力される第 １および第２の該像情報信号を各々加算し集約処理し、
   第１および第２の集約処理信号とする第１および第２の
   演算装置と、 該第１および第２の演算装置から出力され る該第１および第２の集約処理信号の差を演算する第３
   の演算器とから該処理手段は構成される請求項１１ない
   し１９のいずれかに記載の像処理装置。 ２１　該複数のセンサーから出力される第１の該像情報
   信号を集約処理し第１の集約処理信号とする第１の演算
   装置と、 該第１の集約処理信号を予めメモリするメ モリと、 該メモリされた後に該複数のセンサーから 出力される第２の該像情報信号を加算し集約処理し第２
   の集約処理信号とし、該第１および第２の集約処理信号
   の差を演算する第２の演算器とから該処理手段は構成さ
   れる請求項１１ないし１９のいずれかに記載の像処理装
   置。 ２２　該複数のセンサーに第２のカウンタを備えた第２
   のマルチプレクサが接続され、該第２のマルチプレクサ
   から該複数の像情報信号が時間的に順次入力され、並列
   に同時に出力するようにシフトレジスタが接続され、該
   シフトレジスタから出力される該複数の像情報信号が入
   力されるように該第１のマルチプレクサが接続される請
   求項１１ないし２１のいずれかに記載の像処理装置。