WO1989010252A1 - Polyphenylene sulfide film, process for its production, and process for subjecting the film to vacuum deposition - Google Patents

Description

曰月 糸田 »

ポ リ フ ヱ ニ レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム 、 そ の製造方法及び そ の真空蒸着方法

技術分野

本発明 は、 金属を真空蒸着す る際の蒸着適性に優れ た 2 軸配向 ポ リ フ エ 二 レ ン スル フ ィ ド フ ィ ルム 、 そ の製 造方法及びその真空蒸着方法に関す る 。 金属が蒸着さ れ た本発明のポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム は、 コ ン デ ン サ等の用途に用 い る こ と がで き る 。

背景技術

従来、 2 軸配向ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム は 、 優 れ た 特性 を 持 つ 耐熱性 フ ィ ル ム と し て 米 国 特 許 第 4 . 2 8 6 . 0 1 8 号等 に よ っ て 知 ら れ 、 ま た 、 特 開 昭 6 0 - 2 5 5 9 7 8 号等に、 ポ リ フ ェ ニ レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ソレ ム に ア ル ミ ニ ウ ム等を真空蒸着 し て金属化フ ィ ル ム と す る こ と 、 及びその金属ィヒフ ィ ルム を コ ン デ ンサ等の用途に 用 い る こ と が開示さ れて い る 。 ま た、 金属化フ ィ ル ム の 製造に巻取式真空蒸着機を用 いる こ と も広 く 知 られて い る 。

し か し な が ら 、 従来 、 ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム に 、 巻取式真空蒸着機で金属蒸着を行な う 際、 蒸着機の冷却キ ャ ン上で フ ィ ルム に し わが生 じ 易 く 、 蒸 発金属の潜熱で しわが固定さ れて金属化フ ィ ル ム に し わ が残っ て平面性が悪 く な る現象 （以下、 「熱負 け」 と 言 う こ と があ る ） が起 こ り 易い と レヽ ぅ 欠点があ っ た。 こ の 「熱負け」 が発生し た金属化フ ィ ル ムを切断し て コ ン デ ンサ用 テープ等を製造 し ょ う とする と 、 寸法精度が悪く な り 、 例えばマージ ン部 （非蒸着部） の 巾が変動 して コ ン デ ン サの不良の原因 と なる等の悪影響があ る ばか り で な く 、 極端な場合には しわの部分でフ ィ ルム に ノ ッ チが 入 り フ ィ ルムが破断し て し ま う 等の欠点があ っ た。

発明の開示

従っ て、 本発明の 目的は、 上記の よ う な従来のボ リ フ ニ 二 レ ン スル フ ィ ド フ ィ ルムの真空蒸着時に生 じ る欠 点を解消 し 、 巻取式真空蒸着機で金属蒸着を行な う 時 に、 蒸発金属の潜熱で しわが固定さ れ、 金属化フ ィ ルム に しわが残っ て平面性が悪く なる現象 （ 「熱負け」 ） を 生 じ難いポ リ フ エ 二 レ ンスルフ ィ ド フ ィ ルムを提供する こ と である 。

さ ら に ま た、 本発明の目的は、 上記ポ リ フ エ二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム の 製造方法 を 提供す る こ と で あ る 。

さ ら に、 本発明の 目的は、 ポ リ フ エ二 レ ン スルフ ィ ド フ ィ ルム を金属蒸着する際に 「熱負け」 を少な く する こ と がで き る ポ リ フ エ 二 レ ン スルフ ィ ド の真空蒸着方法 を提供する こ と である。

すなわち、 本発明は、 フ ィ ルムの長手方向に断面積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 3 kgの張力を加 えつつ 2 5 。Cか ら 了 0 °C ま で 1 0 °C Z分の速さで昇温 し た時の、 長手方 向の伸びが 0 . 4¾以下である 2 軸配向ポ リ フ エ二 レ ン スル フ ィ ド フ ィ ル ム を提供す る 。

さ ら に ま た、 本発明は、 ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド を主成分 と す る樹脂組成物を溶融押出 し し て無配向 シー 卜 を得る工程 と 、 該無配向 シー ト を縦方向及び横方向に 同時又は逐次延伸 し て 2 軸配向フ ィ ルム を得る工程 と 、 該 2 軸配向 フ ィ ル ム を 2 0 0 °C以上であ っ て該フ ィ ル ム の融点以下の温度下で熱処理 し て中間体を得る工程 と 、 次いで該中間体を 3 0 °C ない し 1 2 0 °C の温度下で 1 秒 間 ない し 1 0 日 間熱処理す る工程を含む上記本発明の 2 軸配向ポ リ フ ヱ ニ レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム の製造方法を 提供す る 。

さ ら に 本発明 は 、 巻取式真空蒸着機に よ っ て ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ムの少な く と も 片面に金属 を真空蒸着す る方法において、 該フ ィ ル ム と し て上記本 発明の フ ィ ルム を用 い、 かつ蒸着機の冷却キ ヤ ン上での フ ィ ル ム の長手方向平均張力を フ ィ ル ム の断面積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 0 . 5 k gなレヽ し 3 k gにす る こ と を特徴 と す る ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム の真空蒸着方法 を提供す る 。

本発明のポ リ フ エ 二 レ ン スル フ ィ ド フ ィ ル ム は、 巻 取式真空蒸着機で金属蒸着 を行 な う 際 、 蒸着機の冷却 キ ャ ン上で フ ィ ル ム に し わが生 じ に く く 、 熱負 けが起 こ り に く く な る 。 ま た、 本発明の製造方法に よ れば、 本発 明 の ポ リ フ ユ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム を効率良 く 製造 す る こ と がで き る 。 ま た、 本発明の真空蒸着方法に よ れ ば、 熱負けの発生を確実に抑制す る こ と がで き る。 すな わち 、 主に金属化フ ィ ルム コ ンデンサを製造する のに有 用 な優れた平面性、 寸法精度を持つ金属化フ ィ ルム を高 い生産性で得る こ と がで き 、 その金属化フ ィ ル ムを用い て 製造 さ れ た コ ン デ ン サ は特性 の 安定 し た も の と な る 。

発明を実施する ための最良の形態 本発明において、 ポ リ フ エ二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム （以下 P P S フ ィ ルム と 略称する こ と があ る ） と は、 ポ リ 一 p — フ ヱニ レ ン ス ルフ ィ ド を主成分 と す る樹脂組 成物の二軸配向 フ ィ ル ムである。

こ こ で、 ボ リ 一 p —フ ヱニレ ン ス ルフ ィ ド を主成分 と す る樹脂組成物 （以下、 P P S 系組成物 と 略称する こ と 力⁵ あ る ） と は、 ポ リ 一 P — フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド を 7 0 重量％以上含む組成物を言 う 。 ポ リ 一 p - フ ニ レ ン ス ル フ ィ ド の含有量が 7 0重量％未満では、 組成物 と しての結晶性、 熱転移温度等が低 く な り 、 該組成物か ら 成る フ ィ ル ムの特徴である耐熱性、 寸法安定性、 機械的 特性等を損な う 。 該組成物中の残 り の 3 0 重量％未満は ポ リ 一 P — フ エ 二 レ ンスルフ イ ド以外のポ リ マー、 無機 又は有機の フ ィ ラー、 滑剤、 着色剤、 紫外線吸収剤等の 添加物を含むこ と も差し支えない。 該樹脂組成物の溶融 粘度は、 温度 3 0 0 °C 、 剪断速度 2 0 0 1 /秒の も と で 、 5 0 0 ボイ ズない し 1 2 0 0 0 ボイ ズの範囲が成形性の点で好 ま し く 、 さ ら に好ま し く は 7 0 0 ボイ ズな い し 1 0 0 0 0 ボイ ズであ る 。 該樹脂組成物の溶融粘度は、 最終的に得 られ る ポ リ フ エ 二 レ ン ス ゾレ フ ィ ド フ ィ ルム の溶融粘度に等 し い。

本発明 にお いて 、 ポ リ 一 p — フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド (以下、 P P S と 略称する こ と があ る ） と は、 繰返 し単 位の 7 0 モル％以上 （好ま し く は 8 5 モ ル％以上） が構 造式 S ~ ) ~~ で示さ れる構成単位か ら成る

重合体 を い う 。 斯か る 成分が 7 ◦ モ ル ％ 未満で は ポ リ マ ーの結晶性、 熱転移温度等が低 く な り P P S を主成分 と す る 樹脂組成物か ら 成 る フ ィ ル ム の特徵で あ る耐熱 性、 寸法安定性、 機械的特性等を損な う 。

繰返 し単位の 3 0 モル ％未満、 好ま し く は 1 5 モ ル %未満であれば共重合可能なスル フ ィ ド結合を有す る単 位が含 ま れて いて も よ い。

本発明の フ ィ ルム は、 フ ィ ル ム の長手方向 に断面積 1 平方 ミ リ メ 一 ト ル当 り 3 kgの張力を加えつつ 2 5 °C力 ら 了 0 °C ま で 1 0 °C Z分の速さ で昇温 し た時の長手方向 の伸びが 0.4¾以下であ り 、 好ま し く は 0.3¾以下で あ る 。 斯かる伸びが 0.4¾を超え る と 、 真空蒸着の時に上述の熱 負けが発生 し易 く な り 、 本発明の 目 的を達成す る こ と 力 で き ない。 ま た、 同様の条件で 8 0 °C ま で昇温 し た時の 伸びが 0.4¾以下で あればさ ら に好ま し い。

本発 明 の フ ィ ル ム の 厚 さ は特 に 限定 さ れな い が 、 0.4 m ない し 1 0 μ m の範囲が真空蒸着時の熱負 け を 防止す る観点か ら好ま し く 、 さ ら に好 ま し く は 0.4 n m ない し 4 x m であ る。

本発明の フ ィ ル ム の表面形態は求め られる 特性に よ っ て適宜選択す る こ と がで き る が、 フ ィ ルム の平均表 面粗さ R a は、 巻回時の作業性及び巻回後の加熱ブ レス 時の密着性の点か ら 、 0.03な い し Q .10の範囲が好 ま し い。 ま た、 後述する方法に よ っ て測定さ れる フ ィ ルム と 金属 の摩擦係数 k は蒸着適性の観点か ら 0.1 な い し 0.8 の範囲である こ と が好ま し い。 ま た、 所望な ら ば、 本発明の フ ィ ルム中に、 表面粗さ を整える 目的等のため に無機微粒子を配合する こ と もで き る。

本発明のフ ィ ルム は、 耐熱性の点から X線回折法に よ る結晶化度が 2 5 % ない し 4 5 %の結晶化フ ィ ルムで あ る こ と が好 ま し い 。 さ ら に 、 広角 X線回折で 2 0 = 2 0 〜 2 1 度の結晶 ピーク について求めた配向度 O F が エ ン ド （ end)方向及びエ ッ ジ （ edge) 方向で 0.07ない し 0.5 、 厚さ （ through)方向で 0.6 ない し 1.0 の範囲にあ る二軸配向フ ィ ルムである こ とが好ま し い。

本発明のポ リ フ エ 二 レ ンスルフ ィ ド フ ィ ルムは、 例 えば、 以下の よ う に して製造する こ と がで き る 。 すなわ ち、 先ず、 ポ リ フ ヱニ レ ン スルフ ィ ド を主成分 と する樹 脂組成物を溶融押出 し して無配向シー ト を得る 。 これは 例えば特開昭 55- 111235 号等に記載さ れた周知の方法に よ り 、 例えば上記樹脂組成物を押出機等に供給 して溶融 し 、 T ダイ か ら冷却 ド ラ ム上に押出す こ と に よ り 行な う こ と がで き る 。 次 に該無配向 シ 一 ト を縦方向及び横'方向 に 延伸 す る 。 延伸は同時延伸で も逐次延伸で も よ く 、 周知の方法 に よ り 行な う こ と がで き る 。 延伸温度は特に限定さ れな いが通常 9 5 °C ない し 1 1 5 °C程度であ り 、 ま た 、 延伸 倍率 も特に限定さ れな いが通常 3 倍ない し 7 倍程度であ る 。

次いで 、 得 られた 2 軸配向フ ィ ル ム を 2 0 0 °C以上 であ っ て フ ィ ルム の融点以下の温度下で熱処理 し て中間 体を得る 。

次に 、 該中間体を 3 0 °C ない し 1 2 0 °C で 1 秒間な い し 1 0 日 間、 好 ま し く は 4 0 °C ない し 1 2 0 °C で 1 分 間ない し 1 0 日 間熱処理する。 こ の熱処理の時間は 、 温 度に よ っ て適宜選定す る こ と がで き る。 一般に低温では 長時間を要 し 、 高温では短時間に なる。 こ の熱処理は、 フ ィ ルム製造ラ イ ン で中間体の製造 と 連続 し て行な う こ と も で き る し 、 一旦巻取っ てか ら行な う こ と も で き る 。 後者の場合に は、 フ ィ ル ムを巻き 出 し なが ら連続的に行 な う こ と も で き る し 、 ロ ール状で熱風オーブ ン 中等に入 れて行な う こ と も で き る 。 ま た、 該熱処理を 、 異な る温 度で 2 段階以上にわた っ て行な う こ と も で き る 。

次に、 本発明の真空蒸着方法について説明す る 。 本 発明 の真空蒸着方法では、 上述 し た本発明のポ リ フ ェ ニ レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム に巻取式真空蒸着機に よ っ て 、 その少な く と も 片面に金属を真空蒸着す る 。 巻取式真空 蒸着機は、 こ の分野にお いて広 く 用 い ら れてお り 、 巻取 ロ ール と 巻出 ロ ールの間に配置さ れた冷却キ ャ ン にフ ィ ルムを接触さ せて冷却 し なが ら金属をフ ィ ルム面上に蒸 着す る 。 冷却キ ャ ンは、 その内部に冷媒を循璟させて冷 却 す る 。 好 ま し い態様で は 、 フ ィ ルム は巻取 ロ ール に よ っ て連続的に巻取られる。

本発明 の真空蒸着方法にお い て は 、 蒸着機の冷却 キ ヤ ン上での フ イ ルムの長手方向平均張力を、 フ ィ ルム の断面積 1 平方ミ リ メ 一 ト ル当 り 0 . 5 kgない し 3 kgにす る 。 該張力が こ の範囲 よ り も小さ く て も大き く て も熱負 けが発生し易 く な る。 こ こ で、 冷却キ ャ ン上での フ ィ ル ムの長手方向平均張力 と は、 フ ィ ルムが冷却キ ャ ン に接 触す る直前の長手方向張力 と 、 冷却キ ャ ン を離れた直後 の長手方向張力 と の算術平均値を言う 。 フ ィ ルムの両面 を連続 し て蒸着する ため 2 個の冷却キ ャ ン を備えた蒸着 機では、 各冷却キ ャ ン毎に上記の張力条件を満たす必要 があ る 。

冷却キ ャ ン内を循環する冷媒の温度は 一 1 5 °C以下 に す る こ と が 、 熱負 け を よ り 少 な く す る 上で好 ま し い

ま た、 金属を蒸着す る速度は、 フ ィ ルム の巻取 られ る速度に し て 5 0 mノ分以上の時、 熱負け防止効果が大 き く な る ので好ま しい。

真空蒸着す る金属はその種類を問わ ないが、 アル ミ 二 ゥ ム 、 亜鉛、 スズ、 銅、 金及び銀等を例示で き る 。 ま た、 真空蒸着する金属を加熱する方法も 、 特に限定さ れ ず、 例え ば抵抗加熱法、 電子 ビーム加熱法等を例示す る こ と がで き る 。

ま た、 蒸着金属膜の厚さ は求め られる特性に よ っ て 適宜選択さ れるが、 20 nm ない し 200 nmであ る と き に本 発明の効果が大き く な る。

次に本発明に関す る特性の測定方法及び評価方法に ついて述べる。

( 1 ) 伸び S 7。 （又は S _β 0 )

本発明 におけ る 、 フ ィ ル ム の長手方向 に断面積 1 平 方 ミ リ メ ー ト ル当 り 3 kgの張力 を力 [I え つつ 2 5 °C 力 ら 7 0 °C (又は 8 0 °C ) ま で 1 0 °Cノ分の速さ で昇温 し た 時の、 長手方向の伸びを測定す る には、 フ ィ ル ム長手方 向に長さ 1100 ram 、 幅 1 0 mmの試験片を切 り 出 し 、 該試 験片の断面積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 3 kgに相当す る荷 重を下端につけて、 温度を 2 5 °C に保っ た熱風オーブ ン の中に 吊 し 、 約 1000 mm の間隔で フ ィ ル ム の両端付近に つ け た標線の間隔 L 。 を 2 台の光学式位置検出機 （ ラ イ ン セ ン サ 一 ） で読み取 り 、 熱風 オ ー ブ ン の温度 を 1 0 で ノ 分 の 速 さ で 昇温 し て 7 0 °C ( 又 は 8 0 °C ) に 達 し た 瞬 間 の 標線 の 間 隔 L を 再 び 読 み 取 っ て 、 100 X (L - L。） /L。 （単位％ ) と し て 、 伸び S ₇。 （又は S ₈。） を算出す る 。

(2) 蒸着時の熱負けの程度

蒸着後の金属化フ ィ ル ム を観察 し 、 次の基準で熱負 けの程度を判定 し た。 〇 ： 金属化フ ィ ルムの縦方向に走る十数本以下の しわが 見 られるが、 他の部分は平面性が良好である 。

厶 ： 金属化フ ィ ルムの縦方向に走る十数本以上の しわ に 加え、 全体に う ね り が見られるが、 張力を加えてい る 間 しわが消える 。

X ： 金属化フ ィ ルムの縦方向に走る十数本以上の しわに 力 Dえ、 全体に う ね り が見 られ、 張力を加えて も しわ が残る。

(3) フ ィ ルムの平均表面粗さ

JIS-R0601 に準じ て lj定する 。

(4) フ ィ ルム と金属の摩擦係数 u k

テーブ走行性試験機 TBT-300 (㈱横浜シス テ ム研究 所製） を用 いて、 2 5 °C、 5 0 % R H の雰囲気でフ ィ ル ムを走行させた時、 下記の式に よ っ て求め られる 。

こ こ で 、 T 。 は入側張力、 T r は出側張力であ り ガ ィ ド径 6 πιιπφ ， ガイ ド材質 sus27 (表面粗度 0.2S) 、 フ ィ ルム巻 き つけ角 1 8 0 度、 走行速度 3.3 m/秒であ る。

次に本発明を実施例に基づき さ ら に詳細に説明す る が、 本発明は下記実施例に限定される ものではない。 実施例 1

(1) 本発明の二軸配向 P P S フ ィ ルムの製造

オー ト ク レープに、 硫化ナ ト リ ウ ム 32.6 kg ( 250 モ ル 、 結晶水 4 0 重量％ を含む） 、 水酸化ナ ト リ ウ ム 100 g 、 安息香酸ナ ト リ ウ ム 36.1 kg ( 250モ ル） 及び N —メ チル ー 2 — ピ ロ リ ド ン （以下 N M P と 略称す る こ と があ る ） 79.2kgを仕込み、 205 °Cで脱水 し た後、 1, 4- ジ ク ロ ロ ベ ンゼ ン （以下 p-DCB と 略称す る こ と があ る ） 37.5 kg ( 255モル） 及び N M P 20.0 kg を力 Πえ 、 265 °C で 4 時間反応さ せた。 反応生成物を水洗、 乾燥 し て 、 P- フ エ 二 レ ン ス ル フ イ ド 1 0 0 モル ％ 力 ら成 り 、 溶融粘度 3100ボ イ ズの ポ リ 一 P —フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド 21 · 1 kg (収率 7 8 % を得た） 。

こ の組成物に 、 平均粒子径 0.7 _m の シ リ カ 微粉末 0.1 重量％ 、 ステ ア リ ン酸カ ルシ ウ ム 0.05重量％ を添カロ し 、 4 0 mm径のェ ク ス ト ル一ダに よ っ て 3 1 0 °C で溶融 し 、 金属繊維を用 いた 9 5 % カ ツ 卜 孔怪 l O m の フ ィ ル タ ーで ろ過 し た後、 長さ 4 0 0 mm、 間隙 1.5 mmの直線 状 リ ッ プ を有す る T ダイ か ら押出 し 、 表面 を 2 5 °C に 保っ た金属 ド ラ ム上に キ ャ ス 卜 し て冷却固化 し 、 厚さ約 2 0 m の未延伸フ ィ ル ム を得た。

こ の フ ィ ルム を ロ ール群か ら成る縦延伸装置に よ つ て 、 フ ィ ル ム温度 1 0 0 °C、 延伸速度 30, 000¾ /分で 3.6 倍に延伸 し 、 続いてテ ン タ を用 いて、 温度 100 °C、 延伸 速度 1000%/分で 3.5 倍延伸 し 、 さ ら に同一テ ン 夕 内の後 続す る熱処理室で、 2 了 0 °Cで 1 0 秒間緊張下に熱処理 し て 、 厚さ 2 μ m の中間体 （中間体一 1 ) を得た。

該中間体を、 ロ ール状に巻取 り 、 該 ロ ールを 1 0 0 °Cの オ ーブ ン中で 2 4 時間熱処理 し て本発明の フ ィ ル ム ( フ ィ ル ム一 1 ) を得た。 該フ ィ ル ム の評価結果を表 1 α に示す。 なお、 熱負けの程度の判定は日本真空技研㈱製 の連続巻取式片面蒸着機を用いて、 幅 5 0 Q mmのフ ィ ルム 試料に ア ル ミ ニ ウ ムを蒸着して行なっ た。 こ の時、 冷却 キ ャ ン前後のフ ィ ルム張力 3 kg/mm ² , 冷却キ ャ ン内循璟 の冷媒温度一 3 0 °C と し 、 9 mm幅の蒸着部 と 1 mm幅の非 蒸着部が交互に繰返されるス ト ラ イ ブ状に蒸着 した。 表 1 か ら 、 中間体 （従来のボ リ フ エ 二 レ ン ス リレフ ィ ド フ ィ ルム に相当） では蒸着時の熱負けが大き いの に対し 、 本 発 明 の フ ィ ル ム は 熱 負 け が起 こ り に く い こ と が わ か る 。

実施例 2

実施例 1 で得た中間体一 1 を ロール状に巻取 り 、 熱 処理の温度 と 時間を適当に変えて、 実施例 1 と 同様に熱 処理 して、 本発明 に言 う フ ィ ルムの長手方向に断面積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 3 kgの張力を加えつつ 2 5 °Cか ら 7 0 ^ ま で 1 0 °〇 7分の速さで昇温 し た時の、 長手方向 の伸び S ₇。の異なる 5種類のフ ィ ルム （ フ ィ ルム一 2 〜 フ ィ ルム一 6 ) を得た。 これ らの フ ィ ル ム を実施例 1 と 同様の方法に よ っ て評価し た結果を表 1 に示す。 表 1 か ら 、 本発明に言う 伸びが 0 . 4¾以下になる と蒸着時の熱負 けが起 こ り に く レゝ こ と がわかる 。

実施例 3

実施例 1 で得たフ ィ ルム一 1 に、 日本真空技研㈱製 の連続巻取 り 式片面蒸着機を用いて、 幅 5 0 0 mmのフ ィ ル ム試料にア ル ミ ニ ウ ムを蒸着 し た。 こ の時、 冷却キ ャ ン 内循環の冷媒温度は一 3 0 °C と し 、 9 mm幅の蒸着部 と 1 m _m幅の非蒸着部が交互に繰返さ れる ス 卜 ラ イ ブ状に蒸着 し た。 こ の と き 冷却キ ャ ン上の平均張力を表 2 の よ う に 変更 し て、 5 種類の条件で蒸着 し 、 5 種類の金属化 P P S フ ィ ル ム を得た。 表 2 か ら、 本発明に規定 し た フ ィ ル ム を 、 本発明の条件下で蒸着 し た時に熱負けが顕著に改 良さ れる こ と がわかる 。

実施例 4

実施例 1 で得た中間体一 1 を ロ ール状に巻取 り 、 熱 処理の温度 と 時間を適当に変えて 、 実施例 1 と 同様に熱 処理 し て、 本発明に言 う フ ィ ルム の長手方向 に断面積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 3 k gの張力を加えつつ 2 5 °C力 ら 7 0 °(： ま で 1 0 °Cノ分の速さ で昇温 し た時の、 長手方向 の伸び S ₇。の異な る 5 種類の フ ィ ル ム （ フ ィ ル ム一 7 — フ ィ ル ム一 1 1 ) を得た。 こ れ ら の フ ィ ル ム に実施例 1 と 同様に し て、 表 3 に示す よ う な冷却キ ャ ン上の平均張 力下で ア ル ミ ニ ウ ムを真空蒸着 し た。 評価結果を表 3 に 示す。 表 3 か ら 、 本発明の方法で蒸着す る と 、 蒸着時の 熱負けが起 こ り に く い こ と 力⁵わ力 る 。

It 表 1

表 2

表 3

条件記号 使用フィ ルム 伸び S 70 冷却キヤン上の 熱負け 備考

( % ) 平均張力 (kg/mm²)

F フィ ルム一 7 0.13 2.5 〇 実施例

G フィルム一 8 0.26 2.5 〇 実施例

H フィ ルム一 9 0.35 2.5 厶 実施例

I フィ ルム一 10 0.36 4.0 X 比較例

J フィルム一 11 0.46 2.5 X 比較例

Claims

言青 求 の 範 圏

1 . フ ィ ル ム の長手方向に断面積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 3 kgの張力を加えつつ 2 5 。Cか ら 了 0 °C ま で 1 0 。C Z 分の速 さ で昇温 し た時の 、 長手方向 の伸び （ S ₇。） が 0.4¾以下であ る 2 軸配向ボ リ フ エ二 レ ン スルフ ィ ド フ ィ ゾレ ム 。

2 . 長手方向の伸び （ S ₇。） が 0.3¾以下である請求項 1 記載のポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ イ リレ ム 。

3 . フ ィ ル ム の長手方向に断面積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 3 kgの張力を加えつつ 2 5 °Cか ら 8 0 °C ま で 1 0 °C Z 分の速 さ で昇温 し た時の 、 長手方向 の伸び （ S ₈。） が 0.4¾以下であ る請求項 1 記載のポ リ フ ユ二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム 。

4 。 フ ィ ルムの厚さ が 0.4 jLi m ない し 4 m である請求 項 I f己載の フ ィ ル ム 。

5 - ポ リ フ 二 レ ン ス ル フ ィ ド を主成分 と する樹脂組成 物を溶融押出 し し て無配向シ一 卜 を得る工程 と 、 該無配 向 シー ト を縦方向及び横方向に同時又は逐次延伸 して 2 軸配向 フ ィ ル ム を得る工程 と 、 該 2 軸配向 フ ィ ル ム を 2 0 0 °C以上であ っ て該フ ィ ル ム の融点.以下の温度下で 熱処理 し て中間体を得る工程と 、 次いで該中間体を 3 0 °C ない し 1 2 0 °Cの温度下で 1 秒間ない し 1 0 日 間熱処 理す る工程を含む請求項 1 記載の 2 軸配向 ポ リ フ ニ レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム の製造方法。

6 . 前記中間体の熱処理は 4 0 °C ない し 1 2 0 °Cの温度 π

下で 1 分間ない し 1 0 日 間行なわれる請求項 5 記載の方 法。

7 . 巻取式真空蒸着機に よ っ てポ リ フ ニ 二 レ ン スル フ ィ ド フ ィ ル ム の少な く と も 片面に金属 を真空蒸着す る方法 にお いて 、 該フ ィ ル ム と し て請求項 1 ない し 4 のいずれ か 1 項に記載のフ ィ ルム を用 い、 かつ蒸着機の冷却 キ ヤ ン上で の フ ィ ル ムの長手方向平均張力を フ ィ ル ム の断面 積 1 平方 ミ リ メ ー ト ル当 り 0 . 5 k gない し 3 k gに す る こ と を特徵 と す る ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド フ ィ ル ム の真空 蒸着方法。

8 . 前記冷却キ ャ ン 内を循環する冷媒の温度が一 1 5 °C 以下で あ る請求項 7記載の方法。

9 . 金属を蒸着す る速度が、 フ ィ ル ム の巻取 り 速度に し て 5 O mノ分以上であ る請求項 7 又は 8 記載の方法。